JP2008249969A - 表示装置の製造方法及びそれにより製造された表示装置 - Google Patents

表示装置の製造方法及びそれにより製造された表示装置 Download PDF

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Abstract

【課題】可撓性基板を用いて表示装置を製造する際、圧着前の基板の寸法変化の影響を抑え、外部接続端子と外部配線との圧着時の位置精度を向上させることができる表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】画素20を、可撓性基板10上の交差する2つの方向に配列するように形成する工程を含み、前記基板上の2つの方向に配列した画素をそれぞれ外部の配線に接続する端子14,18を、前記基板上の2つの方向のうち該基板の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【選択図】図1

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)、液晶素子等を用いた表示装置の製造方法及びそれにより製造された表示装置に関する。
近年、液晶素子、有機EL素子などを用いた薄型の表示装置が多く利用されている。図10は、有機EL素子1の構成を概略的に示している。ガラス等の基板2上に、陽極3、有機EL層8(正孔輸送層4、発光層5、及び電子輸送層6)、陰極7等が形成されている。引出配線(端子)9を介して外部の配線と接続し、両極3,7に電界を印加することにより、電極3,7間に挟まれた領域の発光層5が励起状態となって発光する。
カラー表示をする場合には、一般的に、基板上の直交する方向、例えば縦横に、赤(R)、緑(G)、青(B)といった発光色が異なるサブピクセルを含む画素を多数配列する必要がある。
有機EL素子によりカラー表示が可能な表示装置を製造する場合は、例えば、基板上に陽極をストライプ状に形成した後、陽極上にRGBに対応した有機EL層が繰り返し現れるように有機色素材料の蒸着を順次行う。次いで、有機EL層上に陰極を形成し、さらに、各電極の端子(外部接続端子)に制御配線、信号配線等の外部配線を接続する。これにより、電極間に挟まれた隣接するRGBの有機EL層がサブピクセルとなって1つの画素を構成し、図11に示すように、RGBのサブピクセルを含む多数の画素74が基板72の縦横2方向に配列されることになる。
画素が形成される基板(表示用基板)に関しては、ガラス基板のほか、樹脂フィルムや薄い金属板等の可撓性基板を用いた表示装置が提案されている(例えば特許文献1〜3参照)。可撓性基板であれば大きく曲げてもガラス基板のように割れず、耐衝撃性が高い表示装置とすることができる。特に樹脂フィルムからなる可撓性基板であれば、光透過性が高く、軽量であるといった利点もある。
一方、外部配線に関しては、一般的にポリイミド等の樹脂フィルムにCu等の配線が形成された配線基板76,78が用いられる。配線基板76,78には、外部接続端子と接続するように所定のピッチで配線が形成されている。接着剤中に導電性粒子が分散された異方性導電性材料(ACF等)を表示用基板と配線基板との間に付与し、外部接続端子と外部配線とが電気的に接続するように位置合わせをした上で加熱圧着する。
圧着の際、レーザー光を照射して高速で接着させる方法(特許文献4参照)や、表示用基板と配線基板にそれぞれ別々の接着剤を付与し、常温加圧で接着させる方法(特許文献5参照)などが提案されている。しかし、これらの方法は、表示装置の製造過程における基板の加熱やフォトリソ工程の影響、また、保管時の大気中の水分などによる圧着前の基板の寸法変化は考慮されていない。
圧着前の可撓性基板の寸法変化量が大きい場合、例えば図12に示すように各電極の外部接続端子80と外部配線82との位置が合わず、精度良く圧着ができないといった問題が生じる。
特開平7−78690号公報 特開2002−15859号公報 特開2004−361774号公報 特開平10−321265号公報 特開2006−253665号公報
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、可撓性基板を用いて表示装置を製造する際、圧着前の基板の寸法変化の影響を抑え、外部接続端子と外部配線との圧着時の位置精度を向上させることができる表示装置の製造方法を提供することを主な目的とする。
上記目的を達成するため、本発明では以下の表示装置の製造方法等が提供される。
<1> 画素を、可撓性基板上の交差する2つの方向に配列するように形成する工程を含み、前記基板上の2つの方向に配列した画素をそれぞれ外部の配線に接続する端子を、前記基板上の2つの方向のうち該基板の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
<2> 画素を、可撓性基板上の交差する2つの方向に配列するようにパターニングするフォトリソグラフィー工程を含み、前記基板上の2つの方向に配列した画素をそれぞれ外部の配線に接続する端子を、前記基板上の2つの方向のうち前記フォトリソグラフィー工程前後の基板の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
<3> 前記画素の長手方向が、前記寸法変化率が大きい方向と同一となるように前記画素を形成することを特徴とする<1>又は<2>に記載の表示装置の製造方法。
<4> 前記基板の寸法変化率が、該基板の熱寸法変化率であることを特徴とする<1>〜<3>のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
<5> 前記画素として、発光色が異なる複数のサブピクセルを含む画素を形成することを特徴とする<1>〜<4>のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
<6> 前記<1>〜<5>のいずれかに記載の方法により製造されたことを特徴とする表示装置。
本発明によれば、可撓性基板を用いて表示装置を製造する際、圧着前の基板の寸法変化の影響を抑え、外部接続端子と外部配線との圧着時の位置精度を向上させることができる表示装置の製造方法が提供される。
以下、添付の図面を参照しながら、主に有機EL素子による表示装置を製造する場合について説明する。
表示装置に用いるフィルム基板としては、PEN(ポリエチレンテレフタレート)、PET(ポリエチレンテレフタレート)などの樹脂を一方向にのみ延伸すると強度や伸びに方向性が生じてしまうため、機械的強度、寸法安定性、熱安定性などの向上のため、一般的に、直角2方向に延伸した、いわゆる二軸延伸フィルムが使用される。そして、このような二軸延伸フィルム等の可撓性基板を用いて表示装置を製造する場合、基板の方向性については特に考慮せずに表示素子が形成されていた。
ところが、二軸延伸では、ポリマーをロール・ツー・ロール(RtoR)でフィルム状に形成するため、縦横に力が均一に掛からず、フィルムの寸法安定性や熱安定性が軸方向により異なってしまう。そして、本発明者の研究によれば、可撓性基板を用いて表示装置を製造する際、例えば、PEN又はPETで成形した200mm×200mmの二軸延伸フィルムを基板として用いても、蒸着時の加熱や、フォトリソグラフィー工程での溶剤により基板の寸法が変化し、軸方向によって200μm程度の伸びの差が生じることがわかった。
一方、基板上に1辺が数十μm〜数百μm程度のサイズの画素を形成する場合、このような微小な画素に接続する端子の幅やピッチもμmオーダーとなる。そのため、基板の寸法変化率のわずかな違いが端子と外部配線との接続に大きな影響を及ぼしてしまう。
そこで、本発明者は、上記のような可撓性基板の寸法変化率の違いを考慮し、表示装置を製造する際、可撓性基板上の交差する2つの方向に配列した画素をそれぞれ外部の配線に接続する端子を、前記基板上の2つの方向のうち該基板の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成すれば、外部接続端子と外部配線との圧着時の位置精度を向上させることができることを見出した。
図1は、本発明により有機EL表示装置を製造する際、可撓性の樹脂フィルム基板20上に形成された画素20、引出配線12,16、及び端子14,18の配列の一例を示している。基板上10上の縦横の2つの方向XYに多数の画素20が配列しており、画素部の周囲には、縦横の画素列ごとに引出配線12,16が形成されている。各引出配線12,16の先端部には、外部の配線に接続するための端子14,18が形成されており、各外部接続端子14,18は、画素20が配列された基板10上の2つの方向XYのうち該基板10の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成されている。
<基板>
本発明で使用する基板10は、表示装置の表示用基板として使用することができる可撓性基板であれば特に限定されず、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリ(クロロトリフルオロエチレン)等の樹脂を用いた二軸延伸フィルムを好適に用いることができる。このようなフィルム基板であれば、光透過性及び強度が高く、表示用基板として好適に使用することができる。
可撓性基板の厚さは、表示装置の使用目的等に応じて決めれば良いが、表示用基板としての強度、光透過性、可撓性等を考慮すると、好ましくは、50μm〜3mm、より好ましくは、100μm〜300μm程度とすることができる。
また、上記のような樹脂製の可撓性基板には、水分や酸素の透過を防止するためのガスバリア層、有機EL素子の傷付きを防止するためのハードコート層、基板の平坦性や陽極との密着性を向上するためのアンダーコート層等を適宜備えることも可能である。
<有機EL素子>
上記のような可撓性基板10上に発光層を含む有機EL素子を形成する。なお、本発明に係る表示装置の表示方式は、可撓性基板10上の交差する2つの方向に画素20を配列することができれば特に限定されず、塗り分け方式(色発光方式)、カラーフィルタ方式、色変換方式等、公知のいずれの方式も採用することができる。以下、塗り分け方式により有機EL素子を形成する場合について主に説明する。
有機EL素子の層構成は特に限定されるものではなく、目的に応じて適宜設定すればよい。例えば下記のような層構成が挙げられるが、本発明はこれらの構成に限定されるものではない。
・陽極/発光層/陰極
・陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
・陽極/正孔輸送層/発光層/ブロック層/電子輸送層/陰極
・陽極/正孔輸送層/発光層/ブロック層/電子輸送層/電子注入層/陰極
・陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/ブロック層/電子輸送層/陰極
・陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/ブロック層/電子輸送層/電子注入層/陰極
<陽極>
まず、基板10上に、陽極、引出配線12、及び外部接続端子14を形成する。陽極材料は公知のものを用いることができ、例えば、アンチモンやフッ素等をドープした酸化錫(ATO、FTO)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)、アルミニウムやガリウムをドープした酸化亜鉛(AZO、GZO)等の導電性金属酸化物を好適に用いることができる。このような陽極材料を用い、例えばスパッタ蒸着により基板10上に全面蒸着した後、フォトリソグラフィーにより、陽極、引出配線12、及び外部接続端子14のパターニングを行う。このとき、例えば図2に示すように、陽極28をストライプ状に形成するとともに、外部接続端子14は基板10上に画素が配列される交差する2つの方向XYのうち、該基板10の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成する。
ここで、基板10の寸法変化率は、電極材料や後述する有機EL層の蒸着等の際に基板10が曝される温度等に応じて決めればよく、例えば、基板10の蒸着時の温度に近い温度での寸法と、室温における寸法との差に基づいて決めることができる。具体的には、測定用の可撓性基板に対し、20℃と80℃での基板の縦横の寸法(L20、L80)をそれぞれ測定し、(L80−L20)/L20で表される寸法変化率(絶対値)を算出することで、寸法変化率の大きい方向(第1の方向)と小さい方向(第2の方向)を予め調べることができる。このように可撓性基板の熱寸法変化率の大小方向を調べた後、測定用の基板と同様に製造した可撓性基板10を用い、基板10上の所定の方向に陽極用の外部接続端子等を形成することができる。
なお、上記のように陽極28、陽極用端子14等をパターニングする際、陰極用の引出配線16及び端子18を同時に形成することもできる。例えば、ITO等を用いて基板全面にスパッタ蒸着を行い、陽極28のほか、両極の引出配線12,16及び外部接続端子14,18のパターニングを行う。この場合、陰極用端子18も、画素20が配列される交差する2つの方向XYのうち、基板10の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成する。
<有機EL層>
陽極を形成した後、絶縁膜や隔壁を形成し、さらに発光層を含む有機EL層を形成する。有機EL層は少なくとも発光層を含み、電圧の印加により所定の発光色を呈することができれば、層構成、厚み、材料等は特に限定されるものではなく、公知の層構成、材料等を採用することができる。
例えば、発光層は少なくとも一種の発光材料を含み、必要に応じて正孔輸送材、電子輸送材、ホスト材を含んでもよい。発光材料は特に限定されることはなく、蛍光発光材料または燐光発光材料のいずれも用いることができる。
蛍光発光材料としては、例えばベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリルベンゼン誘導体、ポリフェニル誘導体、ジフェニルブタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、ナフタルイミド誘導体、クマリン誘導体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アルダジン誘導体、ピラリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、キナクリドン誘導体、ピロロピリジン誘導体、チアジアゾロピリジン誘導体、スチリルアミン誘導体、芳香族ジメチリデン化合物、8−キノリノール誘導体の金属錯体や希土類錯体に代表される各種金属錯体、ポリチオフェン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、およびポリフルオレン誘導体等の高分子化合物等が挙げられる。これらは1種または2種以上を混合して用いることができる。
燐光発光材料としては特に限定されることはないが、オルトメタル化金属錯体、又はポルフィリン金属錯体が好ましい。
上記オルトメタル化金属錯体を形成する配位子としては種々のものがあり、好ましい配位子としては、2−フェニルピリジン誘導体、7,8−ベンゾキノリン誘導体、2−(2−チエニル)ピリジン誘導体、2−(1−ナフチル)ピリジン誘導体、および2−フェニルキノリン誘導体等が挙げられる。これらの誘導体は必要に応じて置換基を有してもよい。また、上記オルトメタル化金属錯体は、上記配位子のほかに、他の配位子を有していてもよい。
また、ポルフィリン金属錯体の中ではポルフィリン白金錯体が好ましい。
燐光発光材料は1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。また、蛍光発光材料と燐光発光材料を同時に用いてもよい。
陽極28上に必要に応じて正孔輸送層等を形成した後、RGBのサブピクセルの大きさに準じた孔(開口部)が形成されたマスク(シャドーマスク)を用い、所定のピッチ分だけずらしてRGBに対応した発光層を順次蒸着して形成する。このようにRGBごとに順次マスク蒸着を行うことで、図2に示すように陽極28上にそれぞれRGBに対応した発光層22,24,26を形成することができる。なお、各発光層22,24,26の形成方法は上記のようなマスク蒸着に限定されず、例えばインクジェット法、印刷法、型転写などを採用してもよい。
RGBに対応した発光層22,24,26を形成した後、必要に応じて電子輸送層等を形成する。
有機EL層を上記のようにマスク蒸着により形成する際も、基板10は加熱され、通常、縦横に徐々に伸びて寸法が変化し、基板10上に形成されている各外部接続端子14の間隔等も変化することになる。しかし、各端子14は、基板10上の画素20が配列される交差する2つの方向XYのうち基板10の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成されているため、工程中の基板10の寸法変化による影響を小さく抑えることができる。
<陰極>
発光層を含む有機EL層を形成した後、例えば図3に示すように陽極28と直交する方向にストライプ状の陰極29を形成する。陰極29を構成する材料も特に限定されず、公知の材料、例えばAl、MgAg、AlLi等を用いて蒸着により形成することができる。具体的には、陰極29等を形成する領域にマスク蒸着を行うことで、陽極28と直交する方向にストライプ状の陰極29を形成するとともに、陰極用の引出配線16及び外部接続端子18を同時に形成する。この場合、陰極用端子18は、陽極用端子14と同様、画素20が配列された基板10上の交差する2つの方向XYのうち該基板10の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成する。なお、前記したように陽極形成時に陰極用の外部接続端子18等を既に形成した場合には、ここでは、陰極29が引出配線16と接続するようにパターニングを行えばよい。
上記のように陰極29等を形成することで、両極28,29間に挟まれた隣接するRGBに対応した発光層22,24,26を含む有機EL素子がそれぞれサブピクセルとなって1つの画素20を構成する。これにより、RGBのサブピクセルを含む多数の画素20が基板10上の縦横の直交する方向に配列されることになる。
<封止部材>
陰極29を形成した後、水分や酸素による有機EL素子の劣化を抑制するため、封止部材(保護層)により被覆する。封止部材としては、ガラス、金属、プラスチック等を用いることができる。
<外部配線>
封止後、例えば図4に示すように、制御配線、信号配線等の外部配線が形成された配線基板30a,30b,30cを、外部接続端子14,18が並列している表示用基板10の縁に沿って配置し、位置合わせをして圧着させる。配線基板30a,30b,30cとしては、例えば、ポリイミド、ポリエステルなどの可撓性を有するフィルム基板上に、表示用基板10上の各端子14,18の幅及びピッチに対応するようにCu等のめっきにより予め配線を形成した配線基板を用いることができる。表示用基板10が、蒸着時の加熱や、フォトリソグラフィー時の溶剤等により寸法が変化しても、両極の各端子14,18は、基板10の寸法変化率の小さい方向に沿って並列するように形成されているため、設計位置からのずれが少ない。従って、図5に示すように、表示用基板10上の外部接続端子14,18と配線基板30の外部配線32を高いアライメント精度で位置合わせすることができ、それらの間にACP(異方性導電ペースト)、ACF(異方性導電フィルム)等、接着剤38中にNi等の導電性粒子39が分散された異方性導電性材料36を付与して加熱圧着する。これにより各電極の端子14,18と外部配線32とが精度良く接続された表示装置40を製造することができる。従って、有機EL表示装置を連続生産する際、本発明を適用することで品質及び歩留りを確実に向上させることができる。
なお、両極の外部接続端子14,18の配列は図1に示したものに限定されず、画素20が配列される表示用基板10上の2つの方向XYのうち該基板10の寸法変化率が小さい方向Xに並列するように形成すればよい。すなわち、基板10のX方向の寸法変化率が小さい場合には、両極の外部接続端子がともにX方向に並列すればよく、例えば、図6に示すように両極の外部接続端子42,44が、基板10の同じ側で略半々に分かれて並列するようにパターニングしてもよいし、図7に示すように両極の外部接続端子52,54が基板10の対向する側でそれぞれ並列するようにパターニングしてもよい。
画素の形状、配列、構成等も特に限定されず、例えば、RBGのサブピクセルで構成した縦型のストライプ配列のほか、横型のストライプ配列、デルタ配列、あるいは、1つの画素にRGBのサブピクセルのほかに白色(W)のサブピクセルを含んでいてもよい。
また、単純マトリクス型の有機EL表示装置の場合など、図8に示すように画素20の長手方向が、寸法変化率が大きい方向Yと同一となるようにパターニングを行えば画素の位置精度が向上するため好ましい。
<カラーフィルタ方式の場合>
上記ではマスク蒸着により各発光色に対応した発光層を塗り分ける方式について説明したが、カラーフィルタ方式や色変換方式を採用してもよい。
カラーフィルタによりカラー表示を行う場合は、例えば、図9に示すように可撓性基板60上にRGBに対応したカラーフィルタ62が並列するようにフォトリソグラフィーによりパターニングし、その上に陽極64、発光層(白色)を含む有機EL層66、陰極68を順次形成する。このようなフォトリソグラフィー工程では、基板60へのレジストの塗布、露光、アルカリ現像、溶剤によるレジストの剥離などの処理が行われ、フォトリソグラフィー工程においてフィルム基板の寸法が変化し易い。
そこで、可撓性基板上に画素をパターニングするフォトリソグラフィー工程を含む場合は、両極の外部接続端子は、画素が配列される基板上の交差する2つの方向のうちフォトリソグラフィー工程前後の基板60の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成することが好ましい。すなわち、フォトリソグラフィー工程前後の基板の寸法変化率を基準とし、両極の外部接続端子を、基板の寸法変化率の小さい方向に沿って並列するように形成することで、各端子の設計位置からのずれが抑制され、各端子と外部配線との位置合わせを高精度に行うことができる。
<液晶表示装置の場合>
上記では有機EL表示装置を製造する場合について説明したが、液晶素子を用いた表示装置の製造にも本発明を好適に適用することができる。
液晶表示装置を製造する場合は、一般的にカラーフィルタ方式が採用され、フォトリソグラフィー工程が含まれることになる。そこで、外部接続端子を、画素が配列される基板上の2つの方向のうちフォトリソグラフィー工程前後の基板の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成する。これにより、各外部接続端子の設計位置からのずれが抑制され、各端子と外部配線との位置合わせを高精度に行うことができる。このようにして液晶表示装置を製造すれば、端子と外部配線とが確実に接続され、高精度の表示が可能な液晶表示装置を製造することができる。
以上、本発明について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、可撓性基板は二軸延伸フィルムに限定されるものではなく、他の製造方法により成形したフィルム基板を用いることもできる。
また、本発明は、例えば複数の有機EL層を積層したマルチフォトンエミッション素子を備えた有機EL表示装置としてもよいし、無機EL素子、プラズマ素子、電気泳動素子などを用いた表示装置の製造にも適用することができる。
駆動方式も限定されず、パッシブマトリクス方式の表示装置及びアクティブマトリクス方式の表示装置のいずれにも本発明を適用することができる。表示もフルカラー表示に限らず、例えばエリアカラー表示の表示装置を製造する場合にも本発明を適用することができる。また、両面表示装置としてもよいし、片面表示装置としてもよい。
本発明により可撓性基板上に形成する外部接続端子の配列の一例を示す概略平面図である。 陽極上にRGBに対応する発光層を形成した状態を示す概略平面図である。 有機EL層上に陰極を形成した状態を示す概略平面図である。 表示用基板に配線基板を圧着した状態を示す概略平面図である。 本発明により可撓性基板上に形成した外部接続端子と配線基板上の外部配線との位置関係を示す概略図である。 外部接続端子の配列の他の例を示す概略平面図である。 外部接続端子の配列のさらに他の例を示す概略平面図である。 RGBのサブピクセルがストライプ状に配列(ストライプ配列)した画素の一例を示す概略図である。 カラーフィルタによる表示方式の構成の一例を示す概略図である。 有機EL素子の構成の一例を示す概略図である。 配線基板の一般的な配置を示す概略平面図である。 外部接続端子と外部配線との位置のずれを示す概略図である。
符号の説明
10・・・可撓性基板(表示用基板)
12・・・陽極用引出配線
14・・・陽極用外部接続端子
16・・・陰極用引出配線
18・・・陰極用外部接続端子
20・・・画素
22,24,26・・・発光層
28・・・陽極
29・・・陰極
30,30a,30b,30c・・・配線基板
32・・・外部配線

Claims (6)

  1. 画素を、可撓性基板上の交差する2つの方向に配列するように形成する工程を含み、前記基板上の2つの方向に配列した画素をそれぞれ外部の配線に接続する端子を、前記基板上の2つの方向のうち該基板の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
  2. 画素を、可撓性基板上の交差する2つの方向に配列するようにパターニングするフォトリソグラフィー工程を含み、前記基板上の2つの方向に配列した画素をそれぞれ外部の配線に接続する端子を、前記基板上の2つの方向のうち前記フォトリソグラフィー工程前後の基板の寸法変化率が小さい方向に並列するように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
  3. 前記画素の長手方向が、前記寸法変化率が大きい方向と同一となるように前記画素を形成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表示装置の製造方法。
  4. 前記基板の寸法変化率が、該基板の熱寸法変化率であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
  5. 前記画素として、発光色が異なる複数のサブピクセルを含む画素を形成することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
  6. 前記請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の方法により製造されたことを特徴とする表示装置。
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