JP2008243359A

JP2008243359A - Microactuator and its manufacturing method

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Publication number: JP2008243359A
Application number: JP2008073479A
Authority: JP
Inventors: Ming Gao Yao; 姚明高; Lin Guo; 郭林; Yu Sun; 孫雨
Original assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Current assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Priority date: 2007-03-23
Filing date: 2008-03-21
Publication date: 2008-10-09
Also published as: CN101271692A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microactuator having good resonance and servo characteristics. <P>SOLUTION: The microactuator 401 includes two side arms, a bottom support arm 430 for interconnecting the two side arms, and a roughly U-shaped frame for forming a cavity capable of holding a magnetic head slider at least in one part. Each side arm includes a PZT element 435 disposed in the outer front surface of each side arm positioned opposite to the cavity, a lower part 432 positioned near the bottom support arm, and an upper part 433 positioned in an end opposite to the bottom support arm of the lower part, the lower and upper parts being partially separated from each other with a space. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、情報を記録するディスク装置にかかり、特に、分離された柔軟なサイドアームを有する、及び／又は、磁気ヘッドスライダとサスペンションタング部との間が減少された隙間を有するマイクロアクチュエータが搭載された、ヘッドジンバルアセンブリ及び／又はディスク装置に用いるマイクロアクチュエータに関する。また、マイクロアクチュエータの製造方法に関する。 The present invention relates to a disk device for recording information, and in particular, a microactuator having a separated flexible side arm and / or having a reduced gap between a magnetic head slider and a suspension tongue. The present invention relates to a microactuator used for a head gimbal assembly and / or a disk device. The present invention also relates to a method for manufacturing a microactuator.

情報記憶装置として、データを記憶するための磁気ディスクと、この磁気ディスク上で位置決めされ当該磁気ディスクに対してデータを記録再生するための可動式記録再生ヘッドと、を備えたディスク装置がある。 As an information storage device, there is a disk device including a magnetic disk for storing data and a movable recording / reproducing head that is positioned on the magnetic disk and records / reproduces data on / from the magnetic disk.

ユーザは、上述したようなディスク装置に対して、大記憶容量を希望することはもちろんのこと、より高速にかつより正確な記録再生動作をも期待している。従って、ディスク装置の製造者は、例えば、データトラックの密度の増加や、トラック幅を狭くしたり、かつ／あるいは、トラック間隔を狭くしたりすることによって、より大容量になるようディスク装置を改良し続けている。 The user expects not only a large storage capacity but also a faster and more accurate recording / reproducing operation for the disk device as described above. Therefore, disk device manufacturers have improved disk devices to increase capacity by increasing the density of data tracks, reducing track width, and / or reducing track spacing, for example. I keep doing it.

一方で、トラック密度を増加させ、高記録密度のディスクを用いて迅速かつ正確に記録再生動作を実現するためには、ディスク装置が記録再生ヘッドの位置決め制御において、上記トラック密度の増加に適切に対応して作動する必要がある。ところが、トラック密度の増加に伴い、記憶媒体上の目的のデータトラック上で迅速かつ正確な記録再生ヘッドの位置決め制御を行うことは、より困難な技術となる。従って、ディスク装置の製造者は、増加し続けているトラック密度の利益を生かすために、記録再生ヘッドの位置決め制御を改良する方法を常に探究している。 On the other hand, in order to increase the track density and realize a recording / reproducing operation quickly and accurately using a disk with a high recording density, the disk device is suitable for increasing the track density in the positioning control of the recording / reproducing head. It is necessary to operate correspondingly. However, as the track density increases, it becomes more difficult to quickly and accurately control the recording / reproducing head positioning on the target data track on the storage medium. Therefore, disk device manufacturers are constantly searching for ways to improve the positioning control of the read / write head in order to take advantage of the ever-increasing track density.

そして、高密度のディスクに対する記録再生ヘッドの位置決め制御を改良するためにディスクドライブの製造者によって効果的に用いられている一つの手法として、主となるアクチュエータと連動して作動するマイクロアクチュエータとして知られている補助アクチュエータを用いており、これにより、迅速かつ正確な記録再生ヘッドの位置決め制御を実現している。このようなマイクロアクチュエータが組み込まれたディスクドライブは、２段アクチュエータシステムとして知られている。 One technique that has been used effectively by disk drive manufacturers to improve the positioning control of the read / write head for high-density disks is known as a microactuator that operates in conjunction with the main actuator. This makes it possible to achieve quick and accurate positioning control of the recording / reproducing head. A disk drive incorporating such a microactuator is known as a two-stage actuator system.

そして、記録再生ヘッドの速度を増加したり、高密度記録媒体上の目的のトラック上に記録再生ヘッドを微小位置調整するために、従来より、種々の２段アクチュエータシステムが開発されている。そのような２段アクチュエータシステムは、一般的には、主のアクチュエータとなるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）と、ＰＺＴマイクロアクチュエータといった補助的なマイクロアクチュエータと、を備えている。 In order to increase the speed of the recording / reproducing head or to finely adjust the recording / reproducing head on the target track on the high-density recording medium, various two-stage actuator systems have been developed. Such a two-stage actuator system generally includes a voice coil motor (VCM) serving as a main actuator and an auxiliary microactuator such as a PZT microactuator.

上述した主なアクチュエータとなるボイルコイルモータ（ＶＣＭアクチュエータ）は、記録媒体上の目的のデータトラック上に、記録再生ヘッドを位置合わせするために支持するアクチュエータアームを回転させるサーボコントロールシステムによって制御されている。また、補助アクチュエータであるＰＺＴマイクロアクチュエータは、位置決め速度を増加させたり、目的のトラック上に記録再生ヘッドを正確に微小調整するよう、ＶＣＭアクチュエータと協働して用いられる。従って、ＶＣＭアクチュエータが、記録再生ヘッドの位置を大きく調整し、その上で、ＰＺＴマイクロアクチュエータが、記録媒体と相対的に記録再生ヘッドの位置が最適となるよう微小調整する。このようにＶＣＭアクチュエータとＰＺＴマイクロアクチュエータが連結して協働することによって、効果的にかつ正確に高密度記録媒体に対する情報の記録再生を実現している。 The above-described boil coil motor (VCM actuator) serving as the main actuator is controlled by a servo control system that rotates an actuator arm that supports a recording / reproducing head on a target data track on a recording medium. Yes. The PZT microactuator, which is an auxiliary actuator, is used in cooperation with the VCM actuator so as to increase the positioning speed and to finely adjust the recording / reproducing head on the target track. Accordingly, the VCM actuator greatly adjusts the position of the recording / reproducing head, and then the PZT microactuator finely adjusts the position of the recording / reproducing head relative to the recording medium. As described above, the VCM actuator and the PZT microactuator are connected and cooperated to realize information recording / reproduction on a high-density recording medium effectively and accurately.

そして、マイクロアクチュエータの周知の構成としては、記録再生ヘッドの微小な位置決め調整を行うためのＰＺＴ素子が組み込まれているものがある。そのようなＰＺＴマイクロアクチュエータは、選択的にＰＺＴ素子を伸縮させるよう励起可能な電気的構成を備えている。そして、ＰＺＴマイクロアクチュエータは、例えば、記録再生ヘッドを回転させて駆動する動作をマイクロアクチュエータに生じさせるべく、伸縮するよう構成されている。このような動作は、ＶＣＭアクチュエータだけを用いたディスクドライブと比較して、記録再生ヘッドの位置を高速かつ高精度に調整するために行われる。例えば、下記の特許文献１，２，３，４に、典型的なＰＺＴマイクロアクチュエータが開示されている。 As a well-known configuration of the microactuator, there is one in which a PZT element for performing minute positioning adjustment of the recording / reproducing head is incorporated. Such a PZT microactuator has an electrical configuration that can be excited to selectively expand and contract the PZT element. The PZT microactuator is configured to expand and contract so as to cause the microactuator to drive and rotate the recording / reproducing head, for example. Such an operation is performed in order to adjust the position of the recording / reproducing head at high speed and with high accuracy as compared with the disk drive using only the VCM actuator. For example, the following Patent Documents 1, 2, 3, and 4 disclose typical PZT microactuators.

ここで、図１に、従来例におけるディスク装置、及び、ディスク１０１を回転させるスピンドルモータ１０２に搭載された磁気ディスク１０１を示している。このディスク装置では、ボイスコイルモータアーム１０４が、記録再生ヘッドが組み込まれた磁気ヘッドスライダ１０３を搭載したマイクロアクチュエータ１０５を有するヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１００を支持している。このボイスコイルモータ（ＶＣＭ）は、ボイスコイルモータアーム１０４の動作を制御するために設けられており、換言すると、磁気ヘッドスライダ１０３をディスク１０１の表面にてトラック間を移動するよう制御するために備えられている。これにより、記録再生ヘッドにて、ディスク１０１に対するデータの記録再生が可能となる。 Here, FIG. 1 shows a disk device in a conventional example and a magnetic disk 101 mounted on a spindle motor 102 that rotates the disk 101. In this disk apparatus, a voice coil motor arm 104 supports a head gimbal assembly (HGA) 100 having a microactuator 105 on which a magnetic head slider 103 incorporating a recording / reproducing head is mounted. This voice coil motor (VCM) is provided to control the operation of the voice coil motor arm 104, in other words, to control the magnetic head slider 103 to move between tracks on the surface of the disk 101. Is provided. As a result, data can be recorded / reproduced with respect to the disk 101 by the recording / reproducing head.

そして、ＶＣＭやヘッドサスペンションアセンブリの固有の誤差により（例えば、動的な動作）、ディスクに対してデータの記録再生を正確に行うための記録再生ヘッドの性能に悪影響を与え、磁気ヘッドスライダは、迅速かつ微小位置決め制御を実現することができない。従って、ＰＺＴマイクロアクチュエータは、上述したように、磁気ヘッドスライダ１０３と記録再生ヘッドとの位置制御を改善するために備えられている。特に、ＰＺＴマイクロアクチュエータは、ＶＣＭ及び／又はヘッドサスペンションアセンブリの共振誤差を補うために、ＶＣＭと比べてより微小に磁気ヘッドスライダの位置ずれを補正する。そして、マイクロアクチュエータは、例えば、より狭いデータトラック間隔を有するディスクに対して使用することで、ディスク装置におけるトラックパーインチ（トラック／インチ（ＴＰＩ））の値を増加させることができ、同時に、ヘッドのシークタイム、及び、セットリングタイムを減少させることができる。このように、ＰＺＴマイクロアクチュエータによって、ディスク装置、及び、それに用いられるデータ記録ディスクの表面記録密度の飛躍的な増加が可能となる。 The inherent error of the VCM and the head suspension assembly (for example, dynamic operation) adversely affects the performance of the recording / reproducing head for accurately recording / reproducing data on / from the disk. Rapid and minute positioning control cannot be realized. Therefore, the PZT microactuator is provided to improve the position control between the magnetic head slider 103 and the recording / reproducing head, as described above. In particular, the PZT microactuator corrects the positional deviation of the magnetic head slider more minutely than the VCM in order to compensate for the resonance error of the VCM and / or the head suspension assembly. The microactuator can be used for a disk having a narrower data track interval, for example, to increase the value of track per inch (track / inch (TPI)) in the disk device, and at the same time, Seek time and settling time can be reduced. Thus, the PZT microactuator can dramatically increase the surface recording density of the disk device and the data recording disk used therefor.

ここで、図２ａは、従来例におけるマイクロアクチュエータを有するＨＧＡ２７７の斜視図であり、図２ｂは、図２ａのＨＧＡのタング部分を示す部分斜視図である。図２ｃは、磁気ヘッドスライダとマイクロアクチュエータとを相互に組み付ける従来の方法を示す図である。図２ａ乃至図２ｃに示すように、従来のＰＺＴマイクロアクチュエータ２０５は、セラミック製のＵ字型フレーム２９７にて構成されている。そして、フレーム２９７は、作動させるために搭載されたＰＺＴ部材（図示せず）をそれぞれ有する２本のセラミックビーム２０７を備えている。また、ＰＺＴマイクロアクチュエータ２０５は、各セラミックビーム２０７がサスペンション２１３に物理的に装着されており、複数（例えば３つ）の電気的接続用ボール２０９（例えば、金ボール（ＧＢＢ）又は半田ボール（ＳＢＢ）で形成されている）にて、マイクロアクチュエータとサスペンショントレース２１０とを、各セラミックビーム２０７の側面にてそれぞれ接合している。加えて、複数（例えば、４つ）の金属ボール２０８（例えば、ＧＢＢ又はＳＢＢで形成されている）が、磁気ヘッドスライダ２０３とサスペンショントレース２１０とを接合して、記録再生素子を接続するために設けられている。そして、マイクロアクチュエータ２０５は、フレーム２９７のボトムアームにて、サスペンションタングに搭載されており、磁気ヘッドスライダ２０３が、マイクロアクチュエータ２０５の２本のサイドアームの間に、少なくとも部分的に搭載されている。 Here, FIG. 2a is a perspective view of an HGA 277 having a microactuator in a conventional example, and FIG. 2b is a partial perspective view showing a tongue portion of the HGA of FIG. 2a. FIG. 2c shows a conventional method for assembling the magnetic head slider and the microactuator together. As shown in FIGS. 2a to 2c, the conventional PZT microactuator 205 is composed of a U-shaped frame 297 made of ceramic. The frame 297 includes two ceramic beams 207 each having a PZT member (not shown) mounted for operation. The PZT microactuator 205 has each ceramic beam 207 physically mounted on the suspension 213, and a plurality (for example, three) of electrical connection balls 209 (for example, gold balls (GBB) or solder balls (SBB)). The microactuator and the suspension trace 210 are joined to the side surfaces of the ceramic beams 207, respectively. In addition, a plurality of (for example, four) metal balls 208 (for example, formed of GBB or SBB) join the magnetic head slider 203 and the suspension trace 210 to connect the recording / reproducing element. Is provided. The microactuator 205 is mounted on the suspension tongue at the bottom arm of the frame 297, and the magnetic head slider 203 is mounted at least partially between the two side arms of the microactuator 205. .

また、図２ｃに示すように、磁気ヘッドスライダ２０３は、Ｕ字フレームの開口部付近に、符号２０６で示す部分で、例えば、エポキシ２１２を用いて２本のサイドアーム２０７に接合される。なお、フレーム２９７は、磁気ヘッドスライダ２０３を収容可能な略長方形の凹部を形成されている。また、フレーム２９７のボトムアームは、サスペンションのサスペンションタング領域に装着される。そして、磁気ヘッドスライダ２０３とサイドアーム２０７とは、直接的にサスペンションと接触せず、サスペンションに対して自由に可動可能となっている。 Also, as shown in FIG. 2c, the magnetic head slider 203 is joined to the two side arms 207 using, for example, epoxy 212 at a portion indicated by reference numeral 206 in the vicinity of the opening of the U-shaped frame. The frame 297 is formed with a substantially rectangular recess that can accommodate the magnetic head slider 203. The bottom arm of the frame 297 is attached to the suspension tongue region of the suspension. The magnetic head slider 203 and the side arm 207 are not in direct contact with the suspension and are freely movable with respect to the suspension.

そして、サスペンショントレース２１０を通じて駆動電力が供給されると、サイドアーム２０７間に搭載されたＰＺＴ素子は、２本のサイドアーム２０７を同一の側面方向に曲げるよう伸縮する。そして、セラミックビームが曲げられることにより、フレーム２９７が変形し、その形状が平行四辺形となる。すると、この平行四辺形の可動側面に装着された磁気ヘッドスライダ２０３は、横に移動することとなる。このようにして、磁気ヘッドスライダの微小位置決め制御を実現している。 When driving power is supplied through the suspension trace 210, the PZT element mounted between the side arms 207 expands and contracts to bend the two side arms 207 in the same side surface direction. When the ceramic beam is bent, the frame 297 is deformed, and the shape becomes a parallelogram. Then, the magnetic head slider 203 mounted on the movable side surface of the parallelogram moves sideways. In this way, fine positioning control of the magnetic head slider is realized.

特開２００２−１３３８０３号公報JP 2002-133803 A 米国特許第６，６７１，１３１号明細書US Pat. No. 6,671,131 米国特許第６，７００，７４９号明細書US Pat. No. 6,700,749 米国特許出願公開第２００３／０１６８９３５号明細書US Patent Application Publication No. 2003/0168935

しかしながら、磁気ヘッドスライダ２０３の移動は、サスペンションベースプレートを振動させることと同様な共振効果を有するサスペンション共振振動を引き起こす横方向の慣性力を生じさせる。すると、このような力は、ＨＧＡの動的特性に影響を及ぼし、また、ＨＤＤのサーボ帯域や性能の低下を引き起こす。ここで、図３ａに示すように、典型的な従来のマイクロアクチュエータであるＵ字方マイクロアクチュエータ２０５は、サスペンションタングに少なくとも部分的に搭載されている。そして、マイクロアクチュエータ２０５が作動すると、２つのサイドアーム３０７ａが外方向に曲げられる。また、一方のサイドアーム３０７ａが矢印３００ａ方向に沿って曲げられると、ボトムアームに矢印Ｆａの反作用の力が生じ、この反作用の力Ｆａは、サスペンションに伝達し、サスペンションベースプレートを振動させる、あるいは、それに近い影響を及ぼす振動を生じさせる。同様に、他方のサイドアーム３０７ｂが矢印３００ｂ方向に沿って曲げられると、ボトムアームに矢印Ｆｂの反作用の力が生じ、この反作用の力Ｆｂは、サスペンションに伝達し、サスペンションベースプレートを振動させる、あるいは、それに近い影響を及ぼす振動を生じさせる。 However, the movement of the magnetic head slider 203 generates a lateral inertial force that causes suspension resonance vibration having the same resonance effect as vibrating the suspension base plate. Then, such a force affects the dynamic characteristics of the HGA, and causes a decrease in the servo bandwidth and performance of the HDD. Here, as shown in FIG. 3a, a U-shaped microactuator 205, which is a typical conventional microactuator, is at least partially mounted on a suspension tongue. When the microactuator 205 is activated, the two side arms 307a are bent outward. Further, when one side arm 307a is bent along the direction of the arrow 300a, a reaction force of the arrow Fa is generated in the bottom arm, and this reaction force Fa is transmitted to the suspension to vibrate the suspension base plate, or It produces vibrations that affect it. Similarly, when the other side arm 307b is bent along the direction of the arrow 300b, a reaction force of the arrow Fb is generated in the bottom arm, and this reaction force Fb is transmitted to the suspension to vibrate the suspension base plate, or , Causing vibrations that affect it.

そして、図３ｂに、従来のマイクロアクチュエータの共振特性を示す。この図に示すように、符号３０１の曲線は、サスペンションベースプレートが振動されたときの共振曲線を表し、符号３０２の曲線は、図３ａに示すマイクロアクチュエータ２０５が励起されたときの共振曲線を表す。この図に示すように、サスペンション周波数応答においていくつかの大きなピークと谷が見られ、共振特性の低下を示している。 FIG. 3b shows the resonance characteristics of the conventional microactuator. As shown in the figure, a curve 301 represents a resonance curve when the suspension base plate is vibrated, and a curve 302 represents a resonance curve when the microactuator 205 shown in FIG. 3a is excited. As shown in this figure, some large peaks and valleys are seen in the suspension frequency response, indicating a decrease in resonance characteristics.

従って、上述した不都合を回避すべく、改善されたマイクロアクチュエータ、ＨＧＡ、ディスク装置、また、それらの製造方法が必要とされる。 Therefore, there is a need for improved microactuators, HGAs, disk drives, and methods of manufacturing them to avoid the disadvantages described above.

本発明は、変位を引き起こすことが可能なフレキシブルサイドアームを有するマイクロアクチュエータに関する。 The present invention relates to a microactuator having a flexible side arm capable of causing displacement.

また、本発明は、磁気ヘッドスライダとサスペンションタング部との間の隙間を減少させる、あるいは、除去させることが可能なマイクロアクチュエータに関する。 The present invention also relates to a microactuator that can reduce or eliminate a gap between a magnetic head slider and a suspension tongue.

さらに、本発明は、良好な共振特性及びサーボ特性を有し、スライダとマイクロアクチュエータとの搭載工程における困難性を減少し、及び／あるいは、良好な振動特性を有するマイクロアクチュエータに関する。 Furthermore, the present invention relates to a microactuator having good resonance characteristics and servo characteristics, reducing difficulty in the mounting process of the slider and the microactuator, and / or having good vibration characteristics.

そして、本発明の一形態であるマイクロアクチュエータは、２本のサイドアームと、当該２本のサイドアームを連結するボトム支持アームと、を有し、少なくとも一部に磁気ヘッドスライダを保持可能な空洞部を形成する略Ｕ字型フレームを備えている。そして、上記各サイドアームは、空洞部とは反対側に位置する当該各サイドアームの外表面に設けられたＰＺＴ素子をそれぞれ有すると共に、隙間をあけて少なくとも一部分が相互に分離された、ボトム支持アーム付近に位置する下側部と、当該下側部のボトム支持アームとは反対側の端部側に位置する上側部と、をそれぞれ有する、という構成を採っている。 A microactuator according to one embodiment of the present invention includes two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and a cavity that can hold a magnetic head slider at least partially. A substantially U-shaped frame forming the portion is provided. And each said side arm has a PZT element provided in the outer surface of each said side arm located in the opposite side to the cavity part, respectively, and at least one part was mutually separated with the clearance gap, and bottom support It has a configuration in which a lower side portion located in the vicinity of the arm and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion are provided.

また、本発明の他の形態であるヘッドジンバルアセンブリは、ロードビームとベースプレートとに連結されたヒンジ部を有し、マイクロアクチュエータと磁気ヘッドスライダとをサスペンションタング領域上に支持するサスペンションを備えている。そして、上記マイクロアクチュエータは、２本のサイドアームと、当該２本のサイドアームを連結するボトム支持アームと、を有し、少なくとも一部に磁気ヘッドスライダを保持可能な空洞部を形成する略Ｕ字型フレームを備えている。さらに、上記各サイドアームは、空洞部とは反対側に位置する当該各サイドアームの外表面に設けられたＰＺＴ素子をそれぞれ有すると共に、隙間をあけて少なくとも一部分が相互に分離された、ボトム支持アーム付近に位置する下側部と、当該下側部のボトム支持アームとは反対側の端部側に位置する上側部と、をそれぞれ有する、という構成を採っている。 According to another aspect of the present invention, there is provided a head gimbal assembly including a suspension having a hinge connected to a load beam and a base plate and supporting a microactuator and a magnetic head slider on a suspension tongue region. . The microactuator has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and at least part of the microactuator forms a hollow portion that can hold the magnetic head slider. It has a letter-shaped frame. Furthermore, each side arm has a PZT element provided on the outer surface of each side arm located on the side opposite to the cavity, and at least a part is separated from each other with a gap therebetween. It has a configuration in which a lower side portion located in the vicinity of the arm and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion are provided.

また、本発明の他の形態であるディスク装置は、磁気ヘッドスライダとマイクロアクチュエータとを移動させるヘッドジンバルアセンブリと、ヘッドジンバルアセンブリに連結されるドライブアームと、ディスクと、当該ディスクを回転駆動するスピンドルモータと、を備えている。そして、上記マイクロアクチュエータは、２本のサイドアームと、当該２本のサイドアームを連結するボトム支持アームと、を有し、少なくとも一部に磁気ヘッドスライダを保持可能な空洞部を形成する略Ｕ字型フレームを備えている。さらに、上記各サイドアームは、空洞部とは反対側に位置する当該各サイドアームの外表面に設けられたＰＺＴ素子をそれぞれ有すると共に、隙間をあけて少なくとも一部分が相互に分離された、ボトム支持アーム付近に位置する下側部と、当該下側部のボトム支持アームとは反対側の端部側に位置する上側部と、をそれぞれ有する、という構成を採っている。 A disk device according to another embodiment of the present invention includes a head gimbal assembly that moves a magnetic head slider and a microactuator, a drive arm connected to the head gimbal assembly, a disk, and a spindle that rotationally drives the disk. And a motor. The microactuator has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and at least part of the microactuator forms a hollow portion that can hold the magnetic head slider. It has a letter-shaped frame. Furthermore, each side arm has a PZT element provided on the outer surface of each side arm located on the side opposite to the cavity, and at least a part is separated from each other with a gap therebetween. It has a configuration in which a lower side portion located in the vicinity of the arm and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion are provided.

そして、本発明では、上述したマイクロアクチュエータでは、上記各サイドアームは、それぞれのサイドアームが有する上側部と下側部とが隙間によって完全に分離されている、という構成を採る。また、ボトム支持アームから空洞部に向かって突出する突出部を有する、という構成を採る。また、上記突出部と上記各サイドアームの各下側部との間に、少なくとも一部が凹んだ２つの窪みがそれぞれ形成されている、という構成を採る。さらに、上記マイクロアクチュエータは、サスペンションタング上に配置可能であり、空洞部内に挿入された磁気ヘッドスライダが、当該磁気ヘッドスライダとサスペンションタング部との間の隙間の少なくとも一部が満たされるよう位置している、という構成を採る。また、上記マイクロアクチュエータは、各サイドアームの各上側部を相互に連結するトップ支持アームを備えた、という構成を採る。また、上記マイクロアクチュエータは、ボトム支持アームとトップ支持アームとは、磁気ヘッドスライダを収容可能なよう略かご状に形成されている、という構成を採る。 In the present invention, in the microactuator described above, each side arm has a configuration in which the upper side and the lower side of each side arm are completely separated by a gap. Moreover, the structure which has a protrusion part which protrudes toward a cavity part from a bottom support arm is taken. Further, a configuration is adopted in which two dents, at least part of which are recessed, are formed between the protruding portion and the lower side portions of the side arms. Furthermore, the microactuator can be disposed on the suspension tongue, and the magnetic head slider inserted into the cavity is positioned so that at least a part of the gap between the magnetic head slider and the suspension tongue is filled. The structure is taken. In addition, the microactuator has a configuration in which a top support arm that connects the upper portions of the side arms to each other is provided. The microactuator has a configuration in which the bottom support arm and the top support arm are formed in a substantially cage shape so as to accommodate the magnetic head slider.

さらに、本発明の他の形態であるマイクロアクチュエータの製造方法は、１つ又はそれ以上の中心支持部の周囲に２つのサイド部を接合すると共に、ボックス構造体を形成するために各サイド部の外側にＰＺＴ素子を接合する第１のステップと、ボックス構造体を高温焼成する第２のステップと、ボックス構造体から少なくとも１つのマイクロアクチュエータを切り出す第３のステップと、を有している。そして、上記第３のステップで切り出した少なくとも１つのマイクロアクチュエータは、２本のサイドアームと、当該２本のサイドアームを連結するボトム支持アームと、を有し、少なくとも一部に磁気ヘッドスライダを保持可能な空洞部を形成する略Ｕ字型フレームを備えており、上記各サイドアームは、隙間をあけて少なくとも一部分が相互に分離された、ボトム支持アーム付近に位置する下側部と、当該下側部のボトム支持アームとは反対側の端部側に位置する上側部と、をそれぞれ有する、という構成を採っている。また、上記第１のステップは、２つのサイド部と中心支持部との間に、それぞれスペーサー部を配置する、という構成を採る。 Furthermore, a method of manufacturing a microactuator according to another aspect of the present invention joins two side parts around one or more central support parts, and forms each box to form a box structure. A first step of bonding the PZT element to the outside; a second step of firing the box structure at a high temperature; and a third step of cutting out at least one microactuator from the box structure. The at least one microactuator cut out in the third step has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and at least a part of the magnetic head slider is provided. A substantially U-shaped frame that forms a holdable cavity, and each side arm includes a lower side portion that is located near the bottom support arm and that is separated from each other by a gap. It has a configuration of having an upper portion located on the end portion opposite to the bottom support arm of the lower portion. The first step employs a configuration in which spacer portions are respectively disposed between the two side portions and the center support portion.

なお、本発明の他の特徴や効果は、本発明の本質の一例を説明する一部である添付の図面と共に以下の実施形態にて詳細に説明する。 Other features and effects of the present invention will be described in detail in the following embodiments together with the accompanying drawings, which are a part of explaining an example of the essence of the present invention.

本発明は、以上のように構成されるため、少なくとも１つの柔軟性を有するサイドアームを有し、かつ／あるいは、磁気ヘッドスライダとサスペンションとの間の隙間が減少された（あるいは除去されている）マイクロアクチュエータ、当該マイクロアクチュエータを有するヘッドジンバルアセンブリ、ディスク装置となる。 Since the present invention is configured as described above, it has at least one flexible side arm and / or the clearance between the magnetic head slider and the suspension is reduced (or eliminated). ) A microactuator, a head gimbal assembly having the microactuator, and a disk device.

これにより、本発明は、良好な共振及びサーボ特性を備えると共に、磁気ヘッドスライダマイクロアクチュエータの搭載工程における困難性を減少させ、及び／あるいは、より良好な耐衝撃性能を有する。例えば、通常、マイクロアクチュエータは略Ｕ字型であり、マイクロアクチュエータとサスペンションとの間に平行な隙間を有しているが、本発明におけるマイクロアクチュエータは、Ｕ字型フレームの少なくとも一つのサイドアームに隙間を設けており、スライダとサスペンションとの間の隙間が減少されている。そして、本発明は、いかなるタイプのディスク装置に適用可能であるが、特に、高ＲＰＭ（Revolutions Per Minute）、つまり、高回転のディスク装置に好適である。 Thereby, the present invention has good resonance and servo characteristics, reduces the difficulty in the mounting process of the magnetic head slider microactuator, and / or has better shock resistance performance. For example, the microactuator is generally U-shaped and has a parallel gap between the microactuator and the suspension. However, the microactuator in the present invention is attached to at least one side arm of the U-shaped frame. A gap is provided, and the gap between the slider and the suspension is reduced. The present invention can be applied to any type of disk device, and is particularly suitable for a high RPM (Revolutions Per Minute), that is, a high-speed disk device.

＜実施形態１＞
本発明の第１の実施形態を説明する。図４ａは、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）の斜視図を示している。まず、サスペンション４００は、対応する磁気ヘッドスライダ２０３を有するマイクロアクチュエータ４０１を支持している。そして、サスペンション４００は、ベースプレート４１１と、ヒンジ４１２と、フレキシャ４１０と、ロードビーム４１４と、を備えている。上記フレキシャ４１０に形成されたアウタートレース４０６は、磁気ヘッドスライダ２０３の記録再生素子と接続パッド４１５とを接続している。また、フレキシャ４１０に形成されたインナートレース４０５は、マイクロアクチュエータ４０１と接続パッド４１５とを接続している。なお、上記接続パッド４１５は、ハードディスク装置（ＨＤＤ）の制御装置に接続されている。 <Embodiment 1>
A first embodiment of the present invention will be described. FIG. 4a shows a perspective view of a head gimbal assembly (HGA). First, the suspension 400 supports a microactuator 401 having a corresponding magnetic head slider 203. The suspension 400 includes a base plate 411, a hinge 412, a flexure 410, and a load beam 414. The outer trace 406 formed on the flexure 410 connects the recording / reproducing element of the magnetic head slider 203 and the connection pad 415. The inner trace 405 formed on the flexure 410 connects the microactuator 401 and the connection pad 415. The connection pad 415 is connected to a hard disk device (HDD) control device.

図４ｂは、上記図４ａに示した本実施形態におけるＨＧＡのタング領域の詳細を示す部分斜視図である。この図に示すように、マイクロアクチュエータ４０１は、サスペンションタング領域に搭載されており、磁気ヘッドスライダ２０３が少なくとも部分的にマイクロアクチュエータ４０１に搭載されている。そして、磁気ヘッドスライダ２０３をサスペンショントレース４０６に接続するための複数の接続用ボール４０７（例えば、図４ｂに示すように６つの接続用ボール（但し、本発明では、いかなる数の接続用ボールあるいは接続手段が用いられてもよい））が設けられている。また、アウターとレース４０６には、２箇所の湾曲部４０４が形成されており（図６参照）、これら湾曲部４０４は、マイクロアクチュエータ４０１の作動中に、上記アウタートレース４０６の剛性に関係して生じるストレス（応力）を解放するよう機能する。従って、上記湾曲部４０４を設けることにより、マイクロアクチュエータ４０１はより円滑に作動させることが可能となる。加えて、接続用ボール４０８がマイクロアクチュエータ４０１とサスペンショントレース４０５とを接続している。 FIG. 4B is a partial perspective view showing details of the tongue area of the HGA in the present embodiment shown in FIG. 4A. As shown in this figure, the microactuator 401 is mounted in the suspension tongue region, and the magnetic head slider 203 is at least partially mounted on the microactuator 401. Then, a plurality of connection balls 407 for connecting the magnetic head slider 203 to the suspension trace 406 (for example, six connection balls as shown in FIG. 4b (however, in the present invention, any number of connection balls or connections) Means may be used))). Further, the outer and race 406 are formed with two curved portions 404 (see FIG. 6), and these curved portions 404 are related to the rigidity of the outer trace 406 during the operation of the microactuator 401. It functions to release the stress that occurs. Therefore, by providing the bending portion 404, the microactuator 401 can be operated more smoothly. In addition, a connection ball 408 connects the microactuator 401 and the suspension trace 405.

また、図４ｃは、図４ａ及び図４ｂに開示した本実施形態におけるマイクロアクチュエータの拡大図である。この図に示すように、マイクロアクチュエータ４０１は、ボトム支持部４３０（ボトム支持アーム）と、当該ボトム支持部４３０にそれぞれ一端側が連結され途中で分割されて形成された２本のサイドアームと、を備えている。そして、２本のサイドアームの外表面には、それぞれＰＺＴ素子４３５が設けられている。具体的に、各分割されたサイドアームは、それぞれ、ＰＺＴ素子４３５に連結された上側部４３３と、マイクロアクチュエータ４０１のボトム支持部４３０に連結された下側部４３２と、を備えている。そして、各サイドアームには、上側部４３３と下側部４３２との間に、空間部あるいは隙間４３１が形成されている。 FIG. 4c is an enlarged view of the microactuator in the present embodiment disclosed in FIGS. 4a and 4b. As shown in this figure, the microactuator 401 includes a bottom support portion 430 (bottom support arm) and two side arms formed by dividing one end side of the bottom support portion 430 and being divided in the middle. I have. PZT elements 435 are provided on the outer surfaces of the two side arms, respectively. Specifically, each divided side arm includes an upper portion 433 connected to the PZT element 435 and a lower portion 432 connected to the bottom support portion 430 of the microactuator 401. In each side arm, a space portion or a gap 431 is formed between the upper side portion 433 and the lower side portion 432.

また、図４ｃに示すように、磁気ヘッドスライダ２０３を収容して支持する細長い略長方形状の空洞部（スロット）側のボトム支持部４３０の両端には、２つの窪み４３６が形成されている。なお、かかる窪み４３６を形成する代わりに、あるいは窪み４３６を形成することに加えて、ボトム支持部４３０から上記空洞部に向かって突出した突出部４３７を形成して、各サイドアームの下側部４３２と突出部４３７との間に隙間４３６を形成してもよい。また、２つのＰＺＴ素子４３５の外表面の端部に、当該２つのＰＺＴ素子４３５をそれぞれ駆動（例えば、電気による駆動）するための２つのパッド３２０ｂが、それぞれ設けられている。上述した構成、あるいは、これと同様の構成にすることで、２つのサイドアームの柔軟性が維持され、さらに、磁気ヘッドスライダを移動させることに好適である。 Also, as shown in FIG. 4c, two recesses 436 are formed at both ends of the bottom support portion 430 on the side of the elongated rectangular portion (slot) that accommodates and supports the magnetic head slider 203. Instead of forming the dent 436 or in addition to forming the dent 436, a protruding portion 437 protruding from the bottom support portion 430 toward the cavity portion is formed, and the lower side portion of each side arm is formed. A gap 436 may be formed between 432 and the protrusion 437. In addition, two pads 320b for driving (for example, driving by electricity) the two PZT elements 435 are provided at the end portions of the outer surfaces of the two PZT elements 435, respectively. By adopting the configuration described above or a configuration similar to this, the flexibility of the two side arms is maintained, and it is suitable for moving the magnetic head slider.

図４ｄは、本実施形態におけるＨＧＡのタング領域の側面図である。この図４ｄに示すように、サスペンションロードビーム４１４上には、サスペンションフレキシャのタング４１８を支持するディンプル４１７が形成されている。このディンプル４１７は、サスペンションタング４１８の背面の中心を支持している。なお、支持点は、サスペンションタング４１８の背面の中心を補正するよう機能している。そして、磁気ヘッドスライダ２０３は、マイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームによって支持されている。 FIG. 4d is a side view of the tongue region of the HGA in the present embodiment. As shown in FIG. 4d, a dimple 417 for supporting a tongue 418 of the suspension flexure is formed on the suspension load beam 414. The dimple 417 supports the center of the back surface of the suspension tongue 418. Note that the support point functions to correct the center of the back surface of the suspension tongue 418. The magnetic head slider 203 is supported by two side arms of the microactuator 401.

また、マイクロアクチュエータ４０１のボトム支持部４３０は、サスペンションタング４１８上に搭載されている。そして、サスペンションタング４１８に磁気ヘッドスライダを搭載するために使用される点状のエポキシからなるエポキシプロット４２０が、サスペンションタング４１８の中心領域に配置されている。これにより、磁気ヘッドスライダ２０３のおおよそ中心に、サスペンションタング４１８から少なくとも部分的に磁気ヘッドスライダを引き離す隙間４２１が形成される。そして、この隙間４２１は、少なくとも部分的に、上記エポキシプロット４２０及びボトム支持部４３０の搭載領域によって規定される。換言すると、上記エポキシプロット４２０により、磁気ヘッドスライダ２０３とサスペンションタング４１８との隙間の少なくとも一部が満たされた状態となる。このような構成にすることで、磁気ヘッドスライダは、マイクロアクチュエータ４０１の作動時に、実質上自由に回転可能となる。なお、磁気ヘッドスライダ２０３とサスペンションタング４１８との隙間の少なくとも一部に充填される部材はエポキシであることに限定されず、他のいかなる部材（所定の部材）であってもよい。このような構成にすることで、磁気ヘッドスライダは、マイクロアクチュエータ４０１の作動時に、実質上自由に回転可能となる。 The bottom support portion 430 of the microactuator 401 is mounted on the suspension tongue 418. An epoxy plot 420 made of dotted epoxy used to mount the magnetic head slider on the suspension tongue 418 is arranged in the central region of the suspension tongue 418. As a result, a gap 421 for separating the magnetic head slider from the suspension tongue 418 is formed at approximately the center of the magnetic head slider 203. The gap 421 is defined at least partially by the mounting area of the epoxy plot 420 and the bottom support 430. In other words, the epoxy plot 420 fills at least a part of the gap between the magnetic head slider 203 and the suspension tongue 418. With such a configuration, the magnetic head slider can be substantially freely rotated when the microactuator 401 is operated. The member filled in at least a part of the gap between the magnetic head slider 203 and the suspension tongue 418 is not limited to epoxy, and may be any other member (predetermined member). With such a configuration, the magnetic head slider can be substantially freely rotated when the microactuator 401 is operated.

また、図５は、本実施形態における作動状態を示すＨＧＡのタング部領域の部分拡大斜視図である。具体的に、マイクロアクチュエータ４０１が作動すると、ＰＺＴ素子の両方あるいは１つに生じる動作により、一方のサイドアームが収縮し、他方のサイドアームが伸張する。そして、磁気ヘッドスライダの背面中心が上記エポキシプロット４２０により支持（固定）され、マイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームの先端部が磁気ヘッドスライダ２０３の端部付近の両側面に接合しているため、プッシュ／プル動作が磁気ヘッドスライダの移動を引き起こし、これにより磁気ヘッドスライダが回転する。 FIG. 5 is a partially enlarged perspective view of the tongue portion region of the HGA showing the operating state in the present embodiment. Specifically, when the microactuator 401 is actuated, one side arm contracts and the other side arm expands due to an operation that occurs in both or one of the PZT elements. The center of the back surface of the magnetic head slider is supported (fixed) by the epoxy plot 420, and the tips of the two side arms of the microactuator 401 are joined to both side surfaces near the end of the magnetic head slider 203. The push / pull operation causes the magnetic head slider to move, which causes the magnetic head slider to rotate.

また、図６は、図４ａに開示した本実施形態におけるＨＧＡのタング領域の部分分解図である。図６に示すように、マイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームに警醒された各空間部４３１には、それぞれエポキシが充填されることによって形成されたエポキシプロット６０６が配設されている。これにより、２本のアームが柔軟性を維持しつつ、また、剛性も維持することができる。そして、かかる構造は、マイクロアクチュエータが、大きな移動特性を達成することを容易にする少なくとも１つの柔軟性のある支持アームを有していることを示している。また、この構造は、２本のサイドアームの剛性によって、マイクロアクチュエータの耐衝撃性能を改善している。 FIG. 6 is a partially exploded view of the tongue region of the HGA in the present embodiment disclosed in FIG. 4a. As shown in FIG. 6, epoxy plots 606 formed by filling epoxy are disposed in the respective space portions 431 alerted to the two side arms of the microactuator 401. As a result, the two arms can maintain flexibility while maintaining rigidity. Such a structure then indicates that the microactuator has at least one flexible support arm that facilitates achieving large movement characteristics. In addition, this structure improves the impact resistance performance of the microactuator by the rigidity of the two side arms.

また、図６に示すように、エポキシからなるエポキシプロット６０２がサスペンションタング４１８に供給され、マイクロアクチュエータ４０１は、エポキシプロット６０２を介してサスペンションタング４１８に搭載される。また、点状のエポキシからなるエポキシプロット６０１がサスペンションタング４１８の中心に供給される。そして、磁気ヘッドスライダ２０３はマイクロアクチュエータ４０１の空洞部に挿入され、当該磁気ヘッドスライダ２０３はサスペンションタング４１８に搭載される。また、エポキシプロット６０５によって、磁気ヘッドスライダ２０３はマイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームに装着される。 As shown in FIG. 6, an epoxy plot 602 made of epoxy is supplied to the suspension tongue 418, and the microactuator 401 is mounted on the suspension tongue 418 via the epoxy plot 602. In addition, an epoxy plot 601 made of dotted epoxy is supplied to the center of the suspension tongue 418. The magnetic head slider 203 is inserted into the cavity of the microactuator 401, and the magnetic head slider 203 is mounted on the suspension tongue 418. Further, the magnetic head slider 203 is attached to the two side arms of the microactuator 401 by the epoxy plot 605.

ここで、図６を参照して、ＨＧＡの製造方法について説明する。まず、２つのエポキシプロット６０６が、マイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームにそれぞれ形成された各空間部４３１に配置される。続いて、２つのエポキシプロット６０５が、磁気ヘッドスライダ２０３とマイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームとを連結するために配置される。最後に、マイクロアクチュエータ４０１と磁気ヘッドスライダ２０３とをサスペンション上に搭載する前に、エポキシ６０２とエポキシプロット６０１とが、サスペンションタング４１８に供給される。以上のような製造方法、あるいは、その他の製造方法が、上述したＨＧＡ構造あるいは上記同様のＨＧＡ構造を実現するために使用される。 Here, with reference to FIG. 6, the manufacturing method of HGA is demonstrated. First, two epoxy plots 606 are arranged in each space portion 431 formed on each of the two side arms of the microactuator 401. Subsequently, two epoxy plots 605 are arranged to connect the magnetic head slider 203 and the two side arms of the microactuator 401. Finally, the epoxy 602 and the epoxy plot 601 are supplied to the suspension tongue 418 before the microactuator 401 and the magnetic head slider 203 are mounted on the suspension. The above manufacturing method or other manufacturing methods are used for realizing the above-described HGA structure or the same HGA structure as described above.

そして、図７（ａ）及び図７（ｂ）は、本実施形態におけるマイクロアクチュエータ４０１を駆動する技術を示している。例えば、相互に反対の極性を有する２つのサイドアームを備えたマイクロアクチュエータ４０１に、正弦波の電圧を供給する。すると、マイクロアクチュエータ４０１の一方のサイドアームは収縮し、他方のサイドアームは伸張する。そして、磁気ヘッドスライダ２０３は、マイクロアクチュエータ４０１の２本のサイドアームに少なくとも部分的に装着されており、また、サスペンションタング４１８にも少なくとも部分的に搭載されているため、当該磁気ヘッドスライダ２０３に回転力が生じ、当該磁気ヘッドスライダ２０３がエポキシプロット６０１を支点として回転し、移動が生じる。このとき、点状のエポキシプロット６０１は、磁気ヘッドスライダ２０３の背面のほぼ中心に位置しているため、当該磁気ヘッドスライダ２０３はそのほぼ中心を軸として回転する。 7A and 7B show a technique for driving the microactuator 401 in the present embodiment. For example, a sine wave voltage is supplied to the microactuator 401 having two side arms having opposite polarities. Then, one side arm of the microactuator 401 contracts and the other side arm expands. The magnetic head slider 203 is at least partially mounted on the two side arms of the microactuator 401 and is also at least partially mounted on the suspension tongue 418. A rotational force is generated, and the magnetic head slider 203 rotates with the epoxy plot 601 as a fulcrum, thereby moving. At this time, since the dot-like epoxy plot 601 is positioned substantially at the center of the back surface of the magnetic head slider 203, the magnetic head slider 203 rotates about the center.

ここで、図７（ａ）は、単一の電圧波を入力する場合を示しており、これに対して、図７（ｂ）は、同一の極性を有するマイクロアクチュエータ４０１の２つのＰＺＴ素子に対して、相互に反対の位相を有する２つの正弦波を入力している。これにより、マイクロアクチュエータ４０１の一方のサイドアームは収縮し、他方のサイドアームは伸張し、上述同様に、磁気ヘッドスライダを中心周りに回転させる回転力が発生する。そして、図７（ｃ）は、マイクロアクチュエータを駆動させる電圧を印加していない初期状態を示し、図７（ｄ）は、電圧を供給したときのマイクロアクチュエータの回転、及び、磁気ヘッドスライダの移動、の様子を示している。 Here, FIG. 7A shows a case where a single voltage wave is input, whereas FIG. 7B shows two PZT elements of the microactuator 401 having the same polarity. On the other hand, two sine waves having opposite phases are input. As a result, one side arm of the microactuator 401 contracts and the other side arm expands, generating a rotational force that rotates the magnetic head slider around the center, as described above. FIG. 7C shows an initial state where a voltage for driving the microactuator is not applied, and FIG. 7D shows the rotation of the microactuator and the movement of the magnetic head slider when the voltage is supplied. The state of is shown.

そして、図８ａは、本実施形態における共振テストデータを示す。そして、曲線８０１は、サスペンションベースプレートが励起されたときのＨＧＡの共振ゲインを示し、曲線８０２は、ＰＺＴマイクロアクチュエータが励起されたときの共振ゲインを示す。ここで、上述したように、本実施形態では、マイクロアクチュエータは回転可動するため、サスペンションに伝達される応力量が減少する。その結果、マイクロアクチュエータの動作時におけるサスペンション共振量を減少させることができる。 FIG. 8a shows resonance test data in the present embodiment. A curve 801 indicates the resonance gain of the HGA when the suspension base plate is excited, and a curve 802 indicates the resonance gain when the PZT microactuator is excited. Here, as described above, in this embodiment, since the microactuator is rotatable, the amount of stress transmitted to the suspension is reduced. As a result, the amount of suspension resonance during the operation of the microactuator can be reduced.

同様に、図８ｂは、本実施形態におけるＨＧＡの共振位相を示している。曲線８０３は、サスペンションベースプレートが励起されたときの位相−周波数の関係を示し、曲線８０４は、ＰＺＴマイクロアクチュエータが励起されたときの位相−周波数の関係を示す。 Similarly, FIG. 8b shows the resonance phase of the HGA in this embodiment. Curve 803 shows the phase-frequency relationship when the suspension base plate is excited, and curve 804 shows the phase-frequency relationship when the PZT microactuator is excited.

続いて、図９（ａ）〜図９（ｄ）は、本実施形態におけるセラミック材料（例えば、ジルコニアやシリコン）から形成されるマイクロアクチュエータの製造方法の一例を示している。具体的には、図９（ａ）は、本実施形態におけるマイクロアクチュエータの製造方法の一工程を示す部分分解図である。この図に示すように、まず、各ＰＺＴ層９０４ａ，９０４ｂが、トップシート９０２ａ及びボトムシート９０２ｂの外側にそれぞれ接合（例えば、積層）されている。そして、セラミックで形成されている上側サイドアーム部９０６ａ’，９０６ｂ’及び下側サイドアーム部９０６ａ，９０６ｂ（２つのサイド部）は、上記トップシートとボトムシート９０２ａ，９０２ｂとの内側の一部（セラミックで形成されている）にそれぞれ接合される。また、セラミックで形成されているスペーサーシート９０８ａ，９０８ｂ（スペーサー部）は、上側サイドアーム部９０６ａ’，９０６ｂ’及び下側サイドアーム部９０６ａ，９０６ｂとメインボディ部９１０ａ，９１０ｂ（中心支持部）との間に配設される。 9A to 9D show an example of a method for manufacturing a microactuator formed from a ceramic material (for example, zirconia or silicon) in the present embodiment. Specifically, FIG. 9A is a partially exploded view showing one step of the method of manufacturing the microactuator in the present embodiment. As shown in this figure, first, the PZT layers 904a and 904b are joined (for example, laminated) to the outside of the top sheet 902a and the bottom sheet 902b, respectively. The upper side arm portions 906a ′ and 906b ′ and the lower side arm portions 906a and 906b (two side portions) made of ceramic are part of the inside of the top sheet and the bottom sheets 902a and 902b ( Each of which is made of ceramic). Further, spacer sheets 908a and 908b (spacer portions) formed of ceramic include upper side arm portions 906a 'and 906b', lower side arm portions 906a and 906b, main body portions 910a and 910b (center support portions), and Between the two.

なお、メインボディ部９１０ａ，９１０ｂは、内部に空洞部分が形成されており、磁気ヘッドスライダ２０３を収容する空洞部を形成しつつ、ボトム支持部４３０（突出部４３７を含む）を形成するための部材である。また、上側サイドアーム部９０６ａ’，９０６ｂ’及び下側サイドアーム部９０６ａ，９０６ｂは、２本のサイドアームを形成する部材である。さらに、スペーサーシート９０８ａ，９０８ｂは、内部に形成された空洞部分が上記メインボディ部９１０ａ，９１０ｂに形成された空洞部分よりも小さく形成されていることにより、上記突出部４３７とサイドアームとの間の窪み４３６を形成するための部材である。以上のようにして、メインボディ部９１０ａ，９１０ｂの周囲に、スペーサーシート９０８ａ，９０８ｂを挟んで上側サイドアーム部９０６ａ’，９０６ｂ’及び下側サイドアーム部９０６ａ，９０６ｂを積層し、さらに、その外側に各ＰＺＴ層９０４ａ，９０４ｂが形成されたトップシート９０２ａ及びボトムシート９０２ｂを積層することによって、複数のマイクロアクチュエータが連結した状態のボックス構造体９１２を形成する（第１のステップ）。 The main body portions 910a and 910b have hollow portions formed therein, and form the bottom support portion 430 (including the protruding portion 437) while forming the hollow portion that accommodates the magnetic head slider 203. It is a member. The upper side arm portions 906a 'and 906b' and the lower side arm portions 906a and 906b are members that form two side arms. Further, the spacer sheets 908a and 908b are formed such that the hollow portions formed inside are smaller than the hollow portions formed in the main body portions 910a and 910b, so that the space between the protruding portions 437 and the side arms is reduced. This is a member for forming the recess 436. As described above, the upper side arm portions 906a 'and 906b' and the lower side arm portions 906a and 906b are stacked around the main body portions 910a and 910b with the spacer sheets 908a and 908b interposed therebetween, and further outside A box structure 912 in which a plurality of microactuators are connected is formed by laminating a top sheet 902a and a bottom sheet 902b on which the PZT layers 904a and 904b are formed (first step).

ここで、上記ボックス構造体を構成する種々の構成要素は、１つ又はそれ以上の支持シートが接合されることで形成された部材であってもよく、あるいは、既に設計されたサイズに形成された単一のシートが設けられてもよい。例えば、トップ又はボトムシート９０２ａ，９０２ｂ、上側及び下側サイドアーム部９０６ａ’，９０６ｂ’，９０６ａ，９０６ｂ、スペーサーシート９０８ａ，９０８ｂ、メインボディ部９１０ａ，９１０ｂは、それぞれが２つあるいはそれ以上の分離可能な積層シートによって形成されていてもよい。 Here, the various components constituting the box structure may be members formed by joining one or more support sheets, or may be formed to an already designed size. A single sheet may be provided. For example, the top or bottom sheet 902a, 902b, the upper and lower side arm portions 906a ′, 906b ′, 906a, 906b, the spacer sheets 908a, 908b, and the main body portions 910a, 910b are each separated into two or more. It may be formed by a possible laminated sheet.

なお、もちろん、サイドアーム部、スペーサーシート、メインボディ部などの位置や形状は、実施形態によって変化しうる。また、シート積層方法は、最終的に製造するマイクロアクチュエータである製品の構造によって異なる。 Of course, the positions and shapes of the side arm portion, the spacer sheet, the main body portion, and the like may vary depending on the embodiment. In addition, the sheet stacking method varies depending on the structure of a product that is a microactuator to be finally manufactured.

上述した接合工程（例えば、積層）が完了すると、ボックス構造体９２１は高温焼成の対象となり、高温焼成される（第２のステップ）。その後、図９（ｂ）に示す大きなＵ字型ボックス構造体９１２が、例えば、図９（ｃ）の点線に沿って切断される。（第３のステップ）すると、図９（ｄ）の符号９１４に示すような形状のマイクロアクチュエータ９１４ｂ〜９１４ｄが複数形成される。なお、上記点線は一例として示しており、その形状はこれに限定されるものではなく、逆に点線を設けなくてもよい。例えば、本実施形態では、単一の大きなＵ字状ボックス構造体が、より多くあるいは少なく切断して製造するよう利用されてもよい。また、マイクロアクチュエータの厚みは任意である。 When the above-described joining process (for example, lamination) is completed, the box structure 921 is subjected to high-temperature firing, and is fired at a high temperature (second step). Thereafter, the large U-shaped box structure 912 shown in FIG. 9B is cut along, for example, the dotted line in FIG. (Third step) Then, a plurality of microactuators 914b to 914d having a shape as indicated by reference numeral 914 in FIG. 9D are formed. In addition, the said dotted line is shown as an example, The shape is not limited to this, On the contrary, it is not necessary to provide a dotted line. For example, in this embodiment, a single large U-shaped box structure may be utilized to produce more or less cuts. Further, the thickness of the microactuator is arbitrary.

そして、図１０は、本実施形態におけるマイクロアクチュエータを製造する方法の一例を示すフローチャートである。まず、例えば、図９（ａ）に示すように、複数のシートを積層して（ステップＳ９０２）、図９（ｂ）に示すようなボックス構造体を形成する（ステップＳ９０４、第１のステップ）。続いて、積層されたボックス構造体は、高温焼成される（ステップＳ９０６、第２のステップ）。続いて、単一のマイクロアクチュエータを複数生産するよう、図９（ｃ）に示すように点線に沿って、各マイクロアクチュエータに切断する（ステップＳ９０８、第３のステップ）。続いて、切断された単独のマイクロアクチュエータは、テスト及び検査が行われる（ステップＳ９１０）。なお、任意のタイミングで、単独のマイクロアクチュエータの状態で洗浄されてもよい。最後に、単独のマイクロアクチュエータは、使用されるよう準備される。 FIG. 10 is a flowchart showing an example of a method for manufacturing the microactuator in the present embodiment. First, for example, as shown in FIG. 9A, a plurality of sheets are stacked (step S902) to form a box structure as shown in FIG. 9B (step S904, first step). . Subsequently, the stacked box structures are fired at a high temperature (step S906, second step). Subsequently, in order to produce a plurality of single microactuators, each microactuator is cut along the dotted line as shown in FIG. 9C (step S908, third step). Subsequently, the cut single microactuator is tested and inspected (step S910). In addition, you may wash | clean in the state of a single microactuator at arbitrary timings. Finally, a single microactuator is prepared for use.

続いて、図１１は、本実施形態におけるマイクロアクチュエータ４０１’の他の構成を示す拡大図である。この図に示すマイクロアクチュエータ４０１’は、フレーム（例えば、金属フレーム）と２つのＰＺＴ素子４３５’とを備えている。そして、フレームは、トップ支持部４３６’とボトム支持部４３０’とを備えている。また、マイクロアクチュエータ４０１’は、２つのサイドアームを備えており、それぞれにＰＺＴ素子４３５’が１つ接合されている。これら２つのサイドアームは、ボトム支持部４３０’に連結された下側部４３２’と、トップ支持部４３６’に連結された上端部４３３’とを、それぞれ備えている。つまり、各サイドアームの各上側部４３３’は、トップ支持部４３６’（トップ支持アーム）にて相互に連結されており、各下側部４３２’は、ボトム支持部４３０’にて相互に連結されている。 Next, FIG. 11 is an enlarged view showing another configuration of the microactuator 401 ′ in the present embodiment. The microactuator 401 'shown in this figure includes a frame (for example, a metal frame) and two PZT elements 435'. The frame includes a top support 436 'and a bottom support 430'. Further, the microactuator 401 'includes two side arms, and one PZT element 435' is bonded to each. Each of these two side arms includes a lower side portion 432 'connected to the bottom support portion 430' and an upper end portion 433 'connected to the top support portion 436'. That is, the upper portions 433 ′ of the side arms are connected to each other by a top support portion 436 ′ (top support arm), and the lower portions 432 ′ are connected to each other by a bottom support portion 430 ′. Has been.

そして、本実施形態では、下側部４３２’及びボトム支持部４３０’のみならず、上側部４３３’及びトップ支持部４３６’が、磁気ヘッドスライダ２０３を収容可能なよう略かご状に形成されており、クレードル（かご体）を構成している。また、各サイドアームの中間、つまり上側部４３３’と下側部４３２’との間には、空間部４３１’が形成されており、上述したようにマイクロアクチュエータ４０１’の柔軟性を確保し、磁気ヘッドスライダの移動の優位性を提供している。 In the present embodiment, not only the lower side portion 432 ′ and the bottom support portion 430 ′ but also the upper side portion 433 ′ and the top support portion 436 ′ are formed in a substantially cage shape so as to accommodate the magnetic head slider 203. And constitutes a cradle (cage body). Further, a space portion 431 ′ is formed in the middle of each side arm, that is, between the upper side portion 433 ′ and the lower side portion 432 ′, to ensure the flexibility of the microactuator 401 ′ as described above, It offers the advantage of moving the magnetic head slider.

また、図１２は、組み付けられたディスク装置（ＨＤＤ）を示す斜視図である。このＨＤＤは、フレーム１１０１、ディスク１１０２と、スピンドルモータ１１０３と、上述したＨＧＡが接合されたＶＣＭ１１０４と、が組み付けられることによって実現されている。そして、１つ又は複数のディスク１１０２がスピンドルモータ１２０３によって回転される。また、ＶＣＭは、ディスク１１０２上を浮上する磁気ヘッドスライダ１１０５を制御する。この磁気ヘッドスライダ１１０５は、上述した実施形態にて説明したマイクロアクチュエータフレーム（図示せず）に搭載されている。なお、図１１に開示のディスク装置の構造、動作及び製造方法は、いわゆる当業者にとっては周知であるため、その詳細な説明は省略する。 FIG. 12 is a perspective view showing the assembled disk device (HDD). This HDD is realized by assembling the frame 1101, the disk 1102, the spindle motor 1103, and the VCM 1104 to which the above-described HGA is joined. One or more disks 1102 are rotated by the spindle motor 1203. The VCM controls the magnetic head slider 1105 that floats on the disk 1102. The magnetic head slider 1105 is mounted on the microactuator frame (not shown) described in the above embodiment. The structure, operation, and manufacturing method of the disk device disclosed in FIG. 11 are well known to those skilled in the art, and thus detailed description thereof is omitted.

ここで、マイクロアクチュエータフレームは、適切な材料にて形成可能であり、その材料は、限定されない。例えば、マイクロアクチュエータフレームは、セラミックで形成されていてもよく、他のいかなる材料にて形成されていてもよい。 Here, the microactuator frame can be formed of an appropriate material, and the material is not limited. For example, the microactuator frame may be formed of ceramic or any other material.

加えて、上記ＰＺＴ素子は、例えば、セラミックＰＺＴ、薄膜ＰＺＴ、ＰＭＮ−ＰＴ（マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛）など、いかなるＰＺＴ部材にて形成されていてもよい。さらに、ＰＺＴ素子は、単層構造であってもよく、あるいは、多層構造であってもよい。 In addition, the PZT element may be formed of any PZT member such as ceramic PZT, thin film PZT, and PMN-PT (lead magnesium niobate titanate). Furthermore, the PZT element may have a single layer structure or a multilayer structure.

また、上記では、各サイドアームに形成された空間部、つまり、当該サイドアームを構成する上側部と下側部との間は、完全に分離していることとして説明したが、これに限定されない。例えば、上記隙間は、各サイドアームを構成する１つあるいは複数の部材間に形成された１つあるいは複数の隙間によって規定される１つあるいは複数の凸部及び／あるいは凹部にて構成されていてもよい。 Further, in the above description, the space portion formed in each side arm, that is, the upper side portion and the lower side portion constituting the side arm are described as being completely separated, but the present invention is not limited to this. . For example, the gap is composed of one or more protrusions and / or recesses defined by one or more gaps formed between one or more members constituting each side arm. Also good.

本発明は、上述した実施例を参照して説明したが、かかる内容に限定されず、本発明の思想の範囲に含まれる種々の改良や同等の変形例も含まれる。 Although the present invention has been described with reference to the above-described embodiments, the present invention is not limited to such contents, and includes various improvements and equivalent modifications that are included in the scope of the idea of the present invention.

本発明のマイクロアクチュエータは、ディスク装置に搭載されるヘッドジンバルアセンブリ及びディスク装置に利用することができ、産業上の利用可能性を有する。 The microactuator of the present invention can be used for a head gimbal assembly and a disk device mounted on the disk device, and has industrial applicability.

従来例におけるディスク装置の構成を示す部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view which shows the structure of the disc apparatus in a prior art example. 従来例におけるマイクロアクチュエータを備えたヘッドジンバルアッセンブリの構成を示す部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view which shows the structure of the head gimbal assembly provided with the microactuator in a prior art example. 図２ａに開示したヘッドジンバルアッセンブリのタング領域の構成を示す部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view which shows the structure of the tongue area | region of the head gimbal assembly disclosed by FIG. 2a. 従来例における磁気ヘッドスライダとマイクロアクチュエータとを相互に組み付ける方法を示す図である。It is a figure which shows the method of mutually assembling the magnetic head slider and microactuator in a prior art example. 従来例におけるマイクロアクチュエータの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the microactuator in a prior art example. 従来例におけるマイクロアクチュエータの共振特性を示す図である。It is a figure which shows the resonance characteristic of the microactuator in a prior art example. 本発明におけるヘッドジンバルアセンブリの構成を示す部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view which shows the structure of the head gimbal assembly in this invention. 図４ａに開示したヘッドジンバルアセンブリのタング領域の構成を示す部分斜視図である。FIG. 4B is a partial perspective view illustrating a configuration of a tongue region of the head gimbal assembly disclosed in FIG. 4A. 図４ａ及び図４ｂに開示したマイクロアクチュエータの構成を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the structure of the microactuator disclosed in FIG. 4a and 4b. 本発明におけるヘッドジンバルアセンブリのタング領域を示す側面図である。It is a side view which shows the tongue area | region of the head gimbal assembly in this invention. 本発明におけるヘッドジンバルアセンブリのタング領域の部分拡大図であり、その動作を示す図である。It is the elements on larger scale of the tongue area | region of the head gimbal assembly in this invention, and is a figure which shows the operation | movement. 図４ａに開示したヘッドジンバルアセンブリのタング領域の部分分解図である。4b is a partially exploded view of a tongue region of the head gimbal assembly disclosed in FIG. 4a. FIG. 図７（ａ）、図７（ｂ）は、本発明におけるマイクロアクチュエータを駆動するために印加する電圧を示す図である。図７（ｃ）は、マイクロアクチュエータに電圧を印加していない初期状態を示す図である。図７（ｄ）は、マイクロアクチュエータに電圧を印加したときのマイクロアクチュエータの回転及び磁気ヘッドスライダの移動の様子を示す図である。7 (a) and 7 (b) are diagrams showing voltages applied to drive the microactuator according to the present invention. FIG. 7C is a diagram illustrating an initial state where no voltage is applied to the microactuator. FIG. 7D is a diagram showing a state of rotation of the microactuator and movement of the magnetic head slider when a voltage is applied to the microactuator. 本発明における共振テストデータを示す図であり、共振ゲイン特性を示す図である。It is a figure which shows the resonance test data in this invention, and is a figure which shows a resonance gain characteristic. 本発明における共振テストデータを示す図であり、共振位相特性を示す図である。It is a figure which shows the resonance test data in this invention, and is a figure which shows a resonance phase characteristic. 図９（ａ）〜（ｄ）は、本発明におけるマイクロアクチュエータの製造工程を示す図である。FIGS. 9A to 9D are diagrams showing the manufacturing process of the microactuator in the present invention. 本発明におけるマイクロアクチュエータの製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the microactuator in this invention. 本発明におけるマイクロアクチュエータの他の構成を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the other structure of the microactuator in this invention. 本発明におけるディスク装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the disc apparatus in this invention.

Explanation of symbols

２０３磁気ヘッドスライダ
４００サスペンション
４０１，４０１’ マイクロアクチュエータ
４０５インナートレース
４０６アウタートレース
４１０フレキシャ
４１１ベースプレート
４１２ヒンジ
４１４ロードビーム
４１７ディンプル
４１８サスペンションタング
４２０エポキシプロット
４３０，４３０’ ボトム支持部
４３１，４３１’ 空間部（隙間）
４３２，４３２’ 下側部
４３３，４３３’ 上側部
４３５，４３５’ ＰＺＴ素子
４３６窪み
４３６’ トップ支持部
４３７突出部
９０２ａトップシート
９０２ｂボトムシート
９０４ａ，９０４ｂＰＺＴ層
９０６ａ，９０６ｂ下側サイドアーム部
９０６ａ’，９０６ｂ’ 上側サイドアーム部
９０８ａ，９０８ｂスペーサーシート
９１０ａ，９１０ｂメインボディ部
９１２ボックス構造体
９１４，９１４ｂ，９１４ｃ，９１４ｄマイクロアクチュエータ
203 Magnetic head slider 400 Suspension 401, 401 ′ Microactuator 405 Inner trace 406 Outer trace 410 Flexure 411 Base plate 412 Hinge 414 Load beam 417 Dimple 418 Suspension tongue 420 Epoxy plot 430, 430 ′ Bottom support part 431, 431 ′ Space part (gap )
432, 432 ′ Lower side portion 433, 433 ′ Upper side portion 435, 435 ′ PZT element 436 Depression 436 ′ Top support portion 437 Projection portion 902a Top sheet 902b Bottom sheet 904a, 904b PZT layer 906a, 906b Lower side arm portion 906a ′ , 906b 'Upper side arm portion 908a, 908b Spacer sheet 910a, 910b Main body portion 912 Box structure 914, 914b, 914c, 914d Microactuator

Claims

A substantially U-shaped frame that has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and that forms a cavity that can hold the magnetic head slider at least in part;
Each of the side arms
Each has a PZT element provided on the outer surface of each side arm located on the opposite side of the cavity,
A lower side portion located in the vicinity of the bottom support arm, at least partially separated from each other with a gap, and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion, Each having
A microactuator characterized by that.

In each side arm, the upper side and the lower side of each side arm are completely separated by the gap.
The microactuator according to claim 1.

Having a protrusion protruding from the bottom support arm toward the cavity,
The microactuator according to claim 1 or 2, characterized in that

Two depressions at least partially recessed are formed between the protruding portion and the lower side portions of the side arms, respectively.
The microactuator according to claim 3.

Can be placed on the suspension tongue,
The magnetic head slider inserted into the cavity is positioned so that at least a part of the gap between the magnetic head slider and the suspension tongue is filled.
5. The microactuator according to claim 1, 2, 3 or 4.

A top support arm for interconnecting the upper portions of the side arms;
The microactuator according to claim 1, 2, 3, 4 or 5.

The bottom support arm and the top support arm are formed in a substantially basket shape so as to accommodate the magnetic head slider.
The microactuator according to claim 6.

It has a hinge portion connected to the load beam and the base plate, and includes a suspension for supporting the microactuator and the magnetic head slider on the suspension tongue region.
The microactuator has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and has a substantially U-shape that forms a cavity that can hold the magnetic head slider at least in part. With a frame,
Each of the side arms
Each has a PZT element provided on the outer surface of each side arm located on the opposite side of the cavity,
A lower side portion located in the vicinity of the bottom support arm, at least partially separated from each other with a gap, and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion, Each having
A head gimbal assembly characterized by that.

In each side arm, the upper side and the lower side of each side arm are completely separated by the gap.
9. The head gimbal assembly according to claim 8, wherein:

The microactuator has a protrusion that protrudes from the bottom support arm toward the cavity,
10. The head gimbal assembly according to claim 8 or 9,

Two depressions at least partially recessed are formed between the projecting portion of the microactuator and the lower side portions of the side arms, respectively.
The head gimbal assembly according to claim 10.

The magnetic head slider inserted into the cavity of the microactuator is positioned so that at least a part of the gap between the magnetic head slider and the suspension tongue is filled.
12. The head gimbal assembly according to claim 8, 9, 10 or 11.

The microactuator includes a top support arm that interconnects the upper portions of the side arms.
13. The head gimbal assembly according to claim 8, 9, 10, 11 or 12.

The bottom support arm and the top support arm of the microactuator are formed in a substantially basket shape so as to accommodate the magnetic head slider.
The head gimbal assembly according to claim 13.

A head gimbal assembly that moves a magnetic head slider and a microactuator, a drive arm coupled to the head gimbal assembly, a disk, and a spindle motor that rotationally drives the disk;
The microactuator has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and has a substantially U-shape that forms a cavity that can hold the magnetic head slider at least in part. With a frame,
Each of the side arms
Each has a PZT element provided on the outer surface of each side arm located on the opposite side of the cavity,
A lower side portion located in the vicinity of the bottom support arm, at least partially separated from each other with a gap, and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion, Each having
A disk device characterized by the above.

Each of the side arms of the microactuator is such that the upper side and the lower side of each side arm are completely separated by the gap.
The disk device according to claim 15.

The microactuator has a protrusion that protrudes from the bottom support arm toward the cavity,
17. The disk device according to claim 15, wherein the disk device is characterized in that:

Two depressions at least partially recessed are formed between the projecting portion of the microactuator and the lower side portions of the side arms, respectively.
The disk device according to claim 17.

The microactuator can be disposed on a suspension tongue;
The magnetic head slider inserted into the cavity of the microactuator is positioned so that at least a part of the gap between the magnetic head slider and the suspension tongue is filled.
19. The disk device according to claim 15, 16, 17 or 18.

The microactuator includes a top support arm that interconnects the upper portions of the side arms.
20. The disk device according to claim 15, 16, 17, 18 or 19.

The bottom support arm and the top support arm of the microactuator are formed in a substantially basket shape so as to accommodate the magnetic head slider.
21. The disk device according to claim 20, wherein:

Joining two side parts around one or more central support parts and joining PZT elements outside each side part to form a box structure;
A second step of firing the box structure at a high temperature;
Cutting out at least one microactuator from the box structure;
The at least one microactuator cut out in the third step has two side arms and a bottom support arm that connects the two side arms, and holds a magnetic head slider at least partially. A substantially U-shaped frame forming a possible cavity,
Each of the side arms
A lower side portion located in the vicinity of the bottom support arm, at least partially separated from each other with a gap, and an upper side portion located on the end side opposite to the bottom support arm of the lower side portion, Each having
A manufacturing method of a microactuator characterized by the above.

In the first step, spacer portions are respectively disposed between the two side portions and the center support portion.
The method of manufacturing a microactuator according to claim 22,

The at least one microactuator has at least a portion of the microactuator mounted on a head gimbal assembly.
24. The method of manufacturing a microactuator according to claim 22 or 23.

The head gimbal assembly is mounted on a disk device.
25. The method of manufacturing a microactuator according to claim 24.