JP2008242455A - 連続スペクトルの波長端を越えた光生成を含む光連続スペクトル源 - Google Patents

Abstract

【課題】連続スペクトルの波長端を越えた光生成を含む光連続スペクトル源を提供すること。
【解決手段】連続スペクトル、および連続スペクトルの帯域幅の外側の１つまたは複数の光ピークの両方を生成するために使用される光連続スペクトル源が形成される。特に、所定の連続スペクトルの短波長端よりも短い（または長波長端よりも長い）共振波長を示す１つまたは複数のファイバ・ブラッグ・グレーティングが、高非線形ファイバ（ＨＮＬＦ）の区間に刻まれ、付加的な光ピークを生成するために使用される。グレーティングは、連続スペクトル・パワー密度が本質的に「零」であるファイバに沿った区域に対して形成することもできる。ブラッグ・グレーティングを使用すると伝搬光信号との位相整合が生成され、したがって、付加的なピークが創出されることが発見された。
【選択図】図１

Description

本発明は光連続スペクトルを生成するための光源に関し、より詳細には、短波長端および長波長端を越え、連続スペクトルの外側に１つまたは複数の光ピークを生成することを含む光源に関する。

高パワー、低ノイズ、広帯域の光源に特に関心があるファイバ・オプティクス分野に用途がある。例えば、現在、共通光源を使用して多数の波長分割多重（ＷＤＭ）信号を生成するスペクトルスライシング（ｓｐｅｃｔｒａｌ ｓｌｉｃｉｎｇ）に向けて努力がなされている。したがって、そのような用途は多数のレーザを単一の光源に取り替える可能性を有する。他の用途は、限定はしないが、周波数計測学、デバイス・キャラクタリゼーション、特製ファイバに行われる分散測定、および回折格子の透過特性の測定を含む。これらの様々な診断ツールの全てならびに多くの他の用途は、そのような広帯域光源の可用性によって大幅に強化することができる。

一般に、連続スペクトル生成は比較的高いレーザパワーを、一般に光パルスの形態で、光ファイバ、導波路、または他の微細構造（ｍｉｃｒｏｓｇｔｒｕｃｔｕｒｅ）に送り出すことを必要とし、レーザ・パルス列はファイバ中の非線形相互作用に起因してかなりのスペクトル幅広がりを被る。ファイバのキロメートル長においてピコ秒（１０^−１２秒）の程度の継続時間を有する光パルスを使用して一般に行われる連続スペクトル生成への従来の取組みは、残念ながら生成プロセスでコヒーレンスの劣化を示した。特に、付加的なノイズがプロセスのスペクトル広がり局面の間にシステムに導入されることが見いだされた。

１オクターブを超える範囲に及ぶ波長の連続スペクトル光（当技術分野で「スーパーコンティニューム（ｓｕｐｅｒｃｏｎｔｉｎｕｕｍ）」と様々に呼ばれる）は、微細構造化されテーパー化された光ファイバ内で、そのような微細構造化またはテーパー化されたファイバの端部にフェムト秒（１０^−１５秒）の程度の継続時間を有する光パルスを送り出すことによって生成された。このように生成された極限スペクトルは、例えば、パルス・ツー・パルス搬送波包絡位相（ｐｕｌｓｅ−ｔｏ−ｐｕｌｓｅ ｃａｒｒｉｅｒ ｅｎｖｅｌｏｐｅ ｐｈａｓｅ）の測定および安定化においてならびに高精度光周波数コムにおいて有用である。修正された非線形シュレーディンガー方程式（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ ｎｏｎｌｉｎｅａｒ Ｓｃｈｒｏｄｉｎｇｅｒ ｅｑｕａｔｉｏｎ（ＮＬＳＥ））に基づいて微細構造化ファイバ内の連続スペクトルをモデル化する取組みはスペクトル生成に必要とされる基本プロセスを理解することを目的としており、送り出されたパルスの継続時間がピコ秒の程度からフェムト秒に短縮されるにつれてコヒーレンスがより良好に維持されることを示している。

以下で「高非線形ファイバ」またはＨＮＬＦと呼ばれる、低い分散スロープおよび小さい有効面積をもつ比較的新しいタイプのゲルマニウムドープ・シリカ・ファイバが、光連続スペクトル源の導波媒体として使用するために最近開発された。ＨＮＬＦの非線形係数は小さいコアの微細構造化ファイバで得られるものよりもかなり小さいが、ＨＮＬＦの有効面積が小さいためこの係数は標準伝送ファイバのものよりも数倍大きい。ＨＮＬＦおよびフェムト秒ファイバ・レーザを使用するスーパーコンティニューム生成がこれまで文献で報告されている。２００４年８月１０日にＪ．Ｗ．Ｎｉｃｈｏｌｓｏｎ等に発行された米国特許第６７７５４４７号明細書は、各々が光源波長で異なる分散値、および５平方ミクロンと１５平方ミクロンとの間の有効面積を有する、一緒に溶合された、ＨＮＬＦファイバのいくつかの別個の区間から形成されたＨＮＬＦスーパーコンティニューム源を開示している。より一般的な形態では、「高非線形光導波路」は、基板などに形成された光導波路などのファイバ以外の様々な光媒体を含むように定義することができる。本発明の目的では、「高非線形導波路」という用語は、非線形長が分散長のせいぜい１０分の１である導波路として定義され（「Ｎｏｎｌｉｎｅａｒ Ｆｉｂｅｒ Ｏｐｔｉｃｓ」、Ｇ．Ｐ．Ａｇｒａｗａｌを参照）、ここで「非線形長」は入力パルスのピークパワーに導波路非線形係数を乗じたものの逆数として定義され、「分散長」は入力パルス幅のピークパワーの２乗を導波路分散パラメータβ_２の大きさで除算したものとして定義される。
米国特許第６７７５４４７号明細書 米国特許第７１１６８７４号明細書 「Ｎｏｎｌｉｎｅａｒ Ｆｉｂｅｒ Ｏｐｔｉｃｓ」、Ｇ．Ｐ．Ａｇｒａｗａｌ

いくつかの用途では、所与の連続スペクトルの波長端を越えて光を生成することが望まれる（ほとんどの場合、単に狭い波長範囲内におけるそのような生成が必要とされる）。本発明の目的では、連続スペクトルの「端」は、スペクトル・パワーが所定の値（２０ｄＢまたは３０ｄＢなどの）未満に低下する波長として定義することができる。実際の「端」は異なる用途では異なることがある。安定した連続スペクトル周波数コムをコムのスペクトル帯域幅の外側にある別の光源と比較することが目標である周波数計測学用途では、現在の手法（高調波生成）は、周波数コムの一部が測定されるべき波長と一部重なり合うように「周波数倍増」されることが必要とされる。この構成は所望の結果をもたらすが、それは付加的な非線形素子の使用が必要である。

付加的な非線形素子を必要とせず連続スペクトルを拡大する方法は（周波数の狭い範囲に対してさえ）当技術分野において重要な進歩と考えられるであろう。連続スペクトルの短波長端は通常導波路媒体自体の大きい材料分散によって制限されるために、単にポンプ・パワーを増加することによってこの方向で連続スペクトルを拡大しようとする試みは効果がないことが見いだされた。さらに、連続スペクトルがその連続スペクトルから遠く離れている高調波を含む状況で、高調波と連続スペクトルとの間のスペクトルに沿って１つまたは複数のピークを「挿入する」ことができるのは有益であろう。

したがって、付加的な非線形構成要素を含むことに頼らずに、生成された連続スペクトルの外側に（または連続スペクトル生成が非常に弱いスペクトル領域に）光パルスを生成することができる装置への要求が当技術分野に残されている。

当技術分野に残されている要求が本発明によって対処され、本発明は光連続スペクトルを生成する光源に関し、より詳細には、短波長端および長波長端の両方を越え、連続スペクトルの外側に（ならびに連続スペクトルを生成するのに使用される非線形媒体の長さに沿って生成が非常に弱い領域で）１つまたは複数の光ピークを生成することができる光源に関する。

本発明によれば、連続スペクトル帯域幅のそれほど外側でないところに共振波長を示す１つまたは複数のファイバ・ブラッグ・グレーティングが高非線形ファイバ（ＨＮＬＦ）の区間に刻まれる。次に、刻まれたＨＮＬＦはフェムト秒Ｅｒファイバ・レーザなどの光源からのパルスを受け取り、その結果、従来の連続スペクトルおよびその連続スペクトルの外側のスペクトル領域の光ピークの両方が形成されることになる。実際には、ファイバ分散が有効な連続スペクトル生成を妨げる連続スペクトルの短波長端を越えてそのようなグレーティングを形成することができる。ブラッグ・グレーティングを使用すると伝搬光信号との位相整合が生成され、したがって、これらの付加的なピークが創出されることが発見された。好ましい実施形態はＨＮＬＦを利用しているが、導波路と光学的に結合されるように形成された本発明のブラッグ・グレーティングと共に、様々な他のタイプの高非線形光媒体も使用できることが理解されるべきである。

様々な数およびタイプのブラッグ・グレーティングを本発明の構成で使用することができ、異なる共振波長を示す多数のグレーティングを使用して連続スペクトルの短／長波長側に多数のピークを生成することができる。さらに、そのようなグレーティングは、本発明に従って、パワーが連続スペクトルを生成するのに使用される非線形媒体の長さに沿って「微弱」（平均スペクトル・パワー密度の１／１０００未満のスペクトル・パワー密度）であるスペクトル領域で使用することができる。複数のそのようなグレーティングは、あるグレーティングが別のグレーティングにおけるのと同じファイバ区間内に「書き込まれた」状態でＨＮＬＦ媒体の単一の区間内に形成することができ、または代りに各グレーティングはＨＮＬＦ媒体の伸ばされた部分に沿って順に書き込むことができる。

本発明の別の態様は、ブラッグ共振の近くで生成されるパワーを最大化するように非線形源をグレーティングのピークに完全に位相整合させるのに波長を調節するための「調整可能な」グレーティング（例えば、熱的チューニングまたは機械的チューニング）を利用する機能である。このチューニングのプロファイルはグレーティング構造の範囲に沿って一様とすることもまたは非一様とすることもできる。

本発明の他のならびにさらなる利点および実施形態は、以下の説明の過程の間におよび添付図面を参照して明らかになるであろう。

２００６年１０月３日にＢｒｏｗｎ等に発行された米国特許第７１１６８７４号明細書に開示されているように、ファイバ・ブラッグ・グレーティングは非線形ファイバにおいて連続スペクトル生成を非常に増強することができることが以前から示されている。Ｂｒｏｗｎ等の教示では、連続スペクトルの帯域幅内にブラッグ波長（共振波長）を有する１つまたは複数のブラッグ・グレーティングを使用して、ブラッグ波長の局所区域中で連続スペクトルが「増強された」。Ｂｒｏｗｎ等の構成では、波長は連続スペクトル内にあるように選択され、その結果、増強が生じるのを可能にするのに十分な量の光エネルギーがあった。

その後、既存の連続スペクトルの外側に共振波長を有するブラッグ・グレーティングにより、やはり共振ピークが生成されるはずであることが発見された。すなわち、連続スペクトル生成に使用されるＨＮＬＦの区間内にブラッグ・グレーティングを組み込むことによる付加的な光の生成はかなり大きい基礎的な連続スペクトル・エネルギーの存在に依存せず、連続スペクトル外の光が創出されることが見いだされた。実際には、以下で詳細に説明されるように、ブラッグ波長があると光エネルギーの付加的なピークが生成されるように伝搬信号との位相整合がもたらされることが見いだされた。

Ｂｒｏｗｎ等の教示のようなグレーティング増強ピークは、まずグレーティングなしの連続スペクトルの形状を求め（計算し）、次にグレーティング関連の分散があるときに生じる光のビルドアップのための光源項としてこの場（ｆｉｅｌｄ）を使用することによって理解された。特に、グレーティング増強ピークは連続スペクトルとグレーティング誘起波との干渉に起因することが示されており、グレーティングなしの解に関する積分と近似的に関係づけられる。

ここで、Ａはブラッグ・グレーティングがある場合の連続スペクトル電界と定義され、Ａ_０はグレーティングが存在しない場合の連続スペクトルと定義される。Ｄの項はファイバ分散オペレータと定義され、ｚはファイバに沿った軸座標であり、Ｌは刻まれたグレーティングの長さである。δβ_ｆｂｇの項は、ブラッグ・グレーティングが「ある場合」とそれが「ない場合」との間の導波路（ファイバ）の伝搬定数の差と定義される。この項の実数部および虚数部は、ファイバによる伝搬に起因する位相が除去されていることを除いて、それぞれブラッグ・グレーティングの位相および振幅応答になぞらえることができる。図５はこのグレーティング伝搬定数の実数部および虚数部のプロットを含む。

連続スペクトル帯域幅の外側でブラッグ・グレーティングを使用することに関する本発明の基礎的発見を理解するために、連続スペクトル電界に対する前述の関係が従来の連続スペクトル帯域幅から十分に外側にある周波数で適用される。実際には、前述の関係は、ブラッグ・グレーティングが位相整合要素として働くことをより明確に示す形態で書き直すことができる。前述の式の第２項に部分積分を使用して、書き直された形態は以下の通りである。

積分中のブラケット内の項は、グレーティングなしで計算されたＮＬＳＥからの単なる非線形偏光である。前述の式は、励起非低下近似（ｕｎｄｅｐｌｅｔｅｄ ｐｕｍｐ ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｉｏｎ）で高調波生成を計算するのに使用される形態と同様のものを有する。第１項はグレーティングを通る入力場の単なる線形伝搬であり（この場合、ほぼ零）、積分項はグレーティングにより位相整合されたカー非線形によって生成された光を定義する。グレーティング分散は指数関数項を介して入り、それは簡単化されたグレーティング・グリーン関数とみなすことができる。

前述の式はブラッグ・グレーティングについて簡単化した見方を与え、δβ_ｆｂｇの項がグレーティングの範囲に沿って一定であると仮定して、電界の位相は積分中の指数関数項によって与えられる。システム用途では、周期、有効インデックス、およびインデックス変調振幅はグレーティングの範囲に沿ってほとんど任意の方法で変えることができる。

ここで、ｎ_０はコア・モードの有効インデックスと定義され、ｎ_１はインデックス変調振幅であり、θ_{ｇｒａｔｉｎｇ}はグレーティング変調の位相であり、Ｋ_{ｇｒａｔｉｎｇ}＝２π／Λ_{ｇｒａｔｉｎｇ}はグレーティング径方向空間周期であり、Λ_{ｇｒａｔｉｎｇ}はグレーティング周期である。これらの項のどれもグレーティングをファイバ内に刻むプロセス中に変化させることができ、あるいは温度／歪みチューニングを使用してこれらのパラメータの実時間常時調節を行うことができる。この非一様グレーティングはファイバに沿って変化するδβ_ｆｂｇ値によって記述することができ、δβ_ｆｂｇ＝δβ_ｆｂｇ（ω，ｚ）である。グレーティング・プロファイルの適切なチューニングを用いて、ファイバの全長の端から端まで非線形源を完全に（実質的に）位相整合させるためにこの変化を行わせることができる。別の方法を述べると、前述の式中の被積分関数の位相はｚの関数として実質的に一定にすることができる。

ここで、この場合、非線形源の項は完全な位相整合であり、ブラッグ共振の近くのピークは最大化される。図６は前述の位相整合式を使用して計算された連続スペクトルのシミュレーションであり、グレーティング増強が「ある場合」およびそれが「ない場合」の両方の連続スペクトルを示す。図７は図６の連続スペクトル中のピークの周囲のスペクトル領域の拡大であり、計算された増強が１０ｄＢ以上の程度であることを示す。

したがって、本発明によれば、グレーティングを「チューニングする」機能は様々な状況で位相整合を可能にする。実際には、チューニングはファイバ・ブラッグ・グレーティングの長さに沿って調節可能ヒーターを加えることによって最適に達成され、ファイバの温度はグレーティングに沿った各ポイントで位相整合を得るために局所的区域で各様に調節することができる。チューニングはグレーティングの範囲の端から端まで一様なプロファイルであるか、または特定の状況で、すなわち特定の目的で必要とされるピークのある構成を得るために望まれる特定の非一様プロファイルを示すことができる。

図１は、本発明によるファイバ・ブラッグ・グレーティングを使用して、連続スペクトルを越えて光生成を行うための例示的な構成１０を示す。構成１０はポンプ光源１２、この場合、増幅型モードロック・エルビウムドープ・ファイバ・レーザを含む。実験構成では、光源１２は４６ＭＨｚの繰返し速度、３５フェムト秒のパルス継続時間、１５８０ｎｍの中心波長、および光源１２の出力部に結合された単一モード・ファイバ１４の区間の終端で測定されたとき約０．１Ｗの平均パワーを有していた。単一モード・ファイバ１４は高非線形ファイバ（ＨＮＬＦ）１６の区間にスプライスされたものとして示される。本発明によれば、ブラッグ・グレーティング１８はＨＮＬＦ１６の長さＬに沿って刻まれる。実験構成では、グレーティングは位相マスクを通して２４８ｎｍのガウス形エキシマー・ビームによる単一のフラッド露光を使用してＨＮＬＦ１６のコアに書き込まれた。形成されたブラッグ・グレーティング１８は、２３６ｎｍの周期（Λ）および７０２ｎｍのブラッグ波長（λ）を示し、約３ｃｍの長さを有するものと画定された。光スペクトル・アナライザ２０はＨＮＬＦ１６の遠端部の終端に結合されるものとして示され、本発明のＨＮＬＦ／ブラッグ・グレーティング構成の出力を測定するために使用される。図１の構成は連続スペクトルを生成するためにＨＮＬＦ区間の利用を示しているが、本発明の原理は様々な他のタイプの高非線形光導波路での使用に同様に適用可能であることが理解されるべきである。

図２は、ＯＳＡ２０によって測定された、図１の構成で生成されたスペクトルの一部のプロットを含む。この場合、生成された連続スペクトルの下方の波長部分だけが示され、生成されたときの連続スペクトルはプロットにおいて１２００ｎｍ値を越えて十分に延びている。図２のプロットにおいてＰで表示された、ブラッグ・グレーティング１８の中心波長の近くのグレーティング・ピークの生成は、本発明の主題にとって関心の対象である。グレーティング・ピークＰは従来技術の周波数倍増構成で得られるパワー・レベルに近い０．３μＷの程度の全パワーを有すると評価された。図３は、ピークＰの近くの光生成、ならびに白色光ランプ源で測定された透過スペクトルを示す。光はブラッグ共振の端部の内側およびその近くで生成されることが見いだされた。このプロット中の残りの共振ディップはＨＮＬＦ内の高次導波モードおよびクラッド・モードへの結合のためである。

前述のように、本発明の別の重要な態様は、既存の連続スペクトルが導波路の長さに沿っていたるところで実質的に弱い（本発明の目的では、「実質的に弱い」とは平均連続スペクトル密度の１／１０００未満のスペクトル密度と定義される）区域における光の生成である。生成されたエネルギーが連続スペクトルから外れたスペクトル領域にある１組の高調波を含む光源構成がある。図４は５００〜１５００ｎｍの波長範囲にわたる連続スペクトル・パワーのグラフであり、約９００ｎｍの値から上方に延びる連続スペクトル領域を示す。ＴＨＧと記された第三高調波生成の区域が狭帯域区域±５００ｎｍ内に形成されるように示されている。前述のように「実質的に弱い」連続スペクトルという定義を利用して、この第三高調波生成と連続スペクトルの短波長端との間の領域は「弱い」、および本発明によるファイバ・ブラッグ・グレーティングの使用が１つの（または複数の）エネルギー・ピークの追加をもたらすことができる区域と定義することができる。この例では、約７５０ｎｍに中心があるグレーティング・ピークが示される。実際には、このピークは本発明によるファイバ・ブラッグ・グレーティングを含んだ結果であり、グレーティングの中心波長は従来の連続スペクトル帯域幅内にない。

したがって、本発明によるファイバ・ブラッグ・グレーティングを使用して、ＨＮＬＦを使用して形成された連続スペクトルの波長端を越えて、または連続スペクトル内で「実質的に弱い」と定義された領域で光を生成することができる。短波長端に対して、この領域は、短波長でのこれらのファイバの大きな分散の結果として、これまで近づきがたかった。本発明によるファイバ・ブラッグ・グレーティングの分散を使用することにより、現在、この制限を克服し、ファイバ分散によって決定された波長よりも大きく離れた波長で光を生成することが可能である。

前述の説明は本発明の好ましい実施形態を示しているが、以下の特許請求の範囲によって指摘されるように本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく様々な変更を行うことができることが当業者には明らかであろう。

生成された連続スペクトルの短波長端よりも短い共振波長をもつファイバ・ブラッグ・グレーティングを含むことによって連続スペクトルの帯域幅の外側に光エネルギーを生成するときに有用な本発明の例示的な連続スペクトル源を示す図である。 図１の構成で生成された連続スペクトルの下方の波長部分（すなわち、１２００ｎｍ以下）のプロットであり、連続スペクトルの短波長端（約８００ｎｍ）未満の７００ｎｍにおけるピークの生成を示す。 ７００ｎｍのピークの近傍内の光生成およびこの波長領域に関連する透過スペクトルの両方を示すプロットである。 生成された代替連続スペクトルのプロットであり、この場合、主連続スペクトルと高調波との間の「弱い」スペクトル領域に形成された本発明の付加的なピークと共に第三高調波生成の領域が含まれる。 グレーティング伝搬定数増加分δβ_ｆｂｇの実数部および虚数部のプロットである。 本発明による位相整合を使用して計算された連続スペクトルのシミュレーションであり、グレーティング増強が「ある場合」およびそれが「ない場合」の両方の連続スペクトルを示す。 図６の連続スペクトルの増強ピークの周囲のスペクトル領域の拡大図である。

Claims (10)

1. 連続スペクトルおよび付加的な光ピークの両方を出力部において発生するのに適する光源であって、
   連続スペクトル放射を生成するのに適する継続時間の出力光パルスを発生することができるレーザ・パルス源と、
   前記レーザ・パルス源からの前記出力光パルスを受け取るように結合された高非線形光導波媒体の区間とを含み、前記高非線形光導波媒体によるパルスの伝搬は、その前記出力部において光連続スペクトルを発生し、そして前記光連続スペクトルは低い短波長端から高い長波長端まで光エネルギーを示すものであり、さらに、
   前記高非線形光導波媒体の区間に沿って刻まれた少なくとも１つのブラッグ・グレーティングを含み、前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングは、前記生成された光連続スペクトルを越えて少なくとも１つの光ピークを創出するために、前記生成された光連続スペクトルの外側に共振波長を示すことを特徴とする光源。
2. 前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングが、前記共振波長の場所を調節するように、調整可能であることを特徴とする請求項１に記載の光源。
3. 前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングのインデックス・プロファイルが、刻みの間に、前記ブラッグ共振の近くで前記スペクトル・ピークを最大化するように変えられることを特徴とする請求項２に記載の光源。
4. 前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングは複数の個別のブラッグ・グレーティングを含み、前記複数の個別のブラッグ・グレーティングが前記生成された光連続スペクトルの前記波長端を越えて複数の光ピークを生成するように、前記ブラッグ・グレーティングの各々が異なる共振波長を示すことを特徴とする請求項１に記載の光源。
5. 前記高非線形光導波媒体の区間は高非線形光ファイバの区間を含むことを特徴とする請求項１に記載の光源。
6. 前記光源は、前記レーザ・パルス源の出力部と前記高非線形光導波媒体の区間との間に結合される単一モード・ファイバの区間をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光源。
7. 光連続スペクトル出力と前記生成された連続スペクトルの波長端の外側の少なくとも１つの光ピークとの両方を生成する方法であって、
   ａ）高非線形光導波路の少なくとも１つの区間を設けるステップと、
   ｂ）前記高非線形光導波路の一部に沿って少なくとも１つのブラッグ・グレーティング構造を刻むステップとを含み、前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングは前記生成された連続スペクトルの前記波長端を越えた共振波長を有し、さらに、
   ｃ）ステップｂ）で形成された構成部をレーザ・パルスで照明するステップを含み、前記レーザ・パルスの継続時間は、短波長の下端および長波長の上端によって境界を定められた波長領域に沿って連続スペクトル光出力を生成し、そして前記連続スペクトルの前記波長端を越えて少なくとも１つの光ピークをもまた生成することが可能であることを特徴とする方法。
8. ｄ）前記グレーティングの近くで前記光ピークを最大化するために前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングの前記共振波長を長さに沿って調節するステップをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. ステップｂ）を行う際に、前記少なくとも１つのブラッグ・グレーティングの特性が、それが刻まれているとき前記グレーティングの前記長さに沿って変更されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
10. ステップｂ）を行う際に、複数の個別のブラッグ・グレーティングが前記高非線形光導波路の区間に沿って刻まれ、各ブラッグ・グレーティングが異なる共振波長を有することを特徴とする請求項７に記載の方法。

Images