JP2008235321A - Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same - Google Patents

Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same Download PDF

Info

Publication number
JP2008235321A
JP2008235321A JP2007068400A JP2007068400A JP2008235321A JP 2008235321 A JP2008235321 A JP 2008235321A JP 2007068400 A JP2007068400 A JP 2007068400A JP 2007068400 A JP2007068400 A JP 2007068400A JP 2008235321 A JP2008235321 A JP 2008235321A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
lead frame
conductive substrate
heat conductive
transfer layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007068400A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaru Nakagawa
優 中川
Tatsuichi Yamanouchi
辰一 山之内
Toshiyuki Nakada
俊之 中田
Koji Nakajima
浩二 中嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2007068400A priority Critical patent/JP2008235321A/en
Publication of JP2008235321A publication Critical patent/JP2008235321A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve air-cooling property of a heat conductive substrate itself by fitting a heat generating component to a part where a lead frame is bent and also improve air-cooling property even in combination with a printed circuit board. <P>SOLUTION: In the heat conductive substrate formed of a sheet type heat conductive layer 12 on a metal plate 11 and a lead frame 13 fixed to the heat conductive layer 12, a part of the lead frame 13 is bent almost vertically at the external circumferential part of the heat conductive circuit board and a heat generating component 15 is mounted here (for example, the side of the metal part 20 is located in the side of lead frame 13 and the lead wire 21 is located in the side of the printed circuit board 24). Accordingly, heat radiating effect of the heat conductive substrate can be improved and a floor area of the conductive circuit board can be reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子機器のパワー半導体等を用いた電源回路等に使用される熱伝導基板とその製造方法及びこれを用いた回路モジュールに関するものである。   The present invention relates to a heat conductive substrate used in a power circuit using a power semiconductor or the like of an electronic device, a manufacturing method thereof, and a circuit module using the same.

近年、電子機器の高性能化、小型化の要求に伴い、パワー半導体等を用いた電源回路には、更なる小型化が求められている。しかしパワー系電子部品(例えばパワー半導体素子等)は大電流、高発熱を伴うため、大電流、高放熱に対応する熱伝導基板の上に実装する必要がある。こうしたパワー系電子部品に比べ、信号系電子部品(例えば、信号系半導体素子や各種チップ部品等)は、それほど発熱を伴わないため、高密度に実装することができる。そのため従来より、パワー系電子部品を高放熱基板に実装しこれを熱部品ユニット(例えば後述する図10の熱部品ユニット7)、信号系電子部品は一般的なプリント配線板に実装し、こうして作成した複数の基板間を電気的に接続して、一つの回路モジュールとすることが、特許文献1等で提案されている。次に図10を用いて、従来の回路モジュールの一例について説明する。   In recent years, with the demand for higher performance and miniaturization of electronic devices, further miniaturization is required for power supply circuits using power semiconductors and the like. However, since power system electronic components (for example, power semiconductor elements) generate large current and high heat generation, it is necessary to mount them on a heat conductive substrate corresponding to large current and high heat dissipation. Compared with such power electronic components, signal electronic components (for example, signal semiconductor elements and various chip components) do not generate much heat and can be mounted with high density. Therefore, conventionally, power system electronic components are mounted on a high heat dissipation board, this is mounted on a thermal component unit (for example, thermal component unit 7 in FIG. 10 to be described later), and signal system electronic components are mounted on a general printed wiring board. Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228707 proposes that a plurality of substrates are electrically connected to form a single circuit module. Next, an example of a conventional circuit module will be described with reference to FIG.

図10は、従来の回路モジュールを説明する斜視図であり、例えばプラズマディスプレイ装置に使われる回路モジュールの一つである。この回路モジュールは、熱部品ユニットと、その上に複数本のリード線を介して固定されたプリント配線板から構成されている。   FIG. 10 is a perspective view for explaining a conventional circuit module, which is one of the circuit modules used in a plasma display device, for example. This circuit module includes a thermal component unit and a printed wiring board fixed on the thermal component unit via a plurality of lead wires.

図10において、熱部品ユニット7は、金属板4の上に固定した絶縁体5、金属パターン6、リード線1等から形成されている。そして金属パターン6の上には、発熱部品3が端子2を介して半田付けされている。またプリント配線板8の一部には孔9が形成されており、前記リード線1が一括して挿入可能な状態となっている。そしてプリント配線板8の孔9に、熱部品ユニット7のリード線1を挿入し一体化して、一つの回路モジュールとする。
特開2006−308620号公報
In FIG. 10, the thermal component unit 7 is formed of an insulator 5 fixed on a metal plate 4, a metal pattern 6, a lead wire 1, and the like. On the metal pattern 6, the heat generating component 3 is soldered via the terminal 2. Further, a hole 9 is formed in a part of the printed wiring board 8 so that the lead wires 1 can be inserted all together. The lead wire 1 of the thermal component unit 7 is inserted into the hole 9 of the printed wiring board 8 and integrated into one circuit module.
JP 2006-308620 A

このように図10の構成では、発熱を伴う(あるいは放熱が必要な)発熱部品3を実装した熱部品ユニット7と、信号系電子部品等を実装したプリント配線板8とを、略平行に積み重ねるため、熱部品ユニット7に発生した熱が、その間に、こもりやすいため、回路モジュールとした場合に、空冷による放熱には限界があった。   As described above, in the configuration of FIG. 10, the thermal component unit 7 on which the heat generating component 3 accompanied by heat generation (or needs heat dissipation) and the printed wiring board 8 on which the signal system electronic component or the like is mounted are stacked substantially in parallel. For this reason, the heat generated in the thermal component unit 7 is likely to be trapped in the meantime, so that when the circuit module is used, there is a limit to heat radiation by air cooling.

そこで本発明は、発熱部品は、リードフレームを折り曲げた部分に取り付けることで、熱伝導基板自体の空冷性を高めると共に、プリント配線板と組み合わせた場合でもその空冷性を高めることを目的とする。   Therefore, the present invention aims to enhance the air cooling performance of the heat-generating component by attaching it to the bent part of the lead frame, and improving the air cooling performance of the heat conductive substrate itself even when combined with a printed wiring board.

そしてこの本発明は、上記目的を達成するために、金属板と、前記金属板の上に固定したシート状の伝熱層と、前記伝熱層に固定したリードフレームと、からなる熱伝導基板であって、前記リードフレームの一部を外周部で前記伝熱層から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部に発熱部品を実装している熱伝導基板としたものである。   In order to achieve the above object, the present invention provides a heat conductive substrate comprising a metal plate, a sheet-like heat transfer layer fixed on the metal plate, and a lead frame fixed to the heat transfer layer. In this case, a part of the lead frame is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer at the outer peripheral portion, and a heat conductive substrate is mounted with a heat generating component mounted on the bent portion.

以上のように本発明によれば、発熱部品は、リードフレームを折り曲げ部分に実装することになり、熱伝導基板の放熱性(更には空冷性)を高めることができ、熱伝導基板の実装面積(あるいは床面積)を小さくできる。その結果、プリント配線板と組み合わせて、回路モジュールとした場合でも、小型で放熱性の良い回路モジュールを提供できることとなる。   As described above, according to the present invention, the heat generating component is mounted on the bent portion of the lead frame, so that the heat dissipation performance (and further the air cooling performance) of the heat conductive substrate can be improved. (Or floor area) can be reduced. As a result, even when a circuit module is combined with a printed wiring board, a small circuit module with good heat dissipation can be provided.

更にプリント配線板の上に、個別に実装していた発熱部品も、必要に応じて、前記熱伝導基板にまとめて実装することができ、空冷ファン等を用いた場合での空冷効率を高めることができる。   In addition, heat-generating components that have been individually mounted on the printed wiring board can be mounted together on the heat conductive substrate as necessary, thereby improving the air cooling efficiency when using an air cooling fan or the like. Can do.

なお本発明の実施の形態に示された一部の製造工程は、成型金型等を用いて行われる。但し説明するために必要な場合以外は、成形金型は図示していない。また図面は模式図であり、各位置関係を寸法的に正しく示したものではない。   Note that some of the manufacturing steps shown in the embodiment of the present invention are performed using a molding die or the like. However, the molding die is not shown unless it is necessary for explanation. Further, the drawings are schematic views and do not show the positional relations in terms of dimensions.

(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における熱伝導基板について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the heat conductive substrate according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施の形態における熱伝導基板の斜視図である。図1において、11は金属板、12は伝熱層、13はリードフレーム、14はトランス等(例えば発熱を伴うトランスや一部の半導体等)、15は発熱部品(例えば、パワートランジスタやパワーFET等)、16は絶縁伝導接着剤であり、熱伝導性に優れた絶縁接着剤であり、市販品を使うことができる。17は放熱用のフィンであり、アルミニウム製等の市販品を使うことができる。18は空冷用のファン(あるいは扇風機)であり、市販品を使うことができる。19は矢印である。この矢印19は、例えばファン18の回転方向や、風の向き、発熱部品15の熱の伝わる方向等を模式的に説明するものである。   FIG. 1 is a perspective view of a heat conductive substrate in an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 11 is a metal plate, 12 is a heat transfer layer, 13 is a lead frame, 14 is a transformer or the like (for example, a transformer or a part of a semiconductor with heat generation), 15 is a heat generating component (for example, a power transistor or a power FET). Etc.), 16 is an insulating conductive adhesive, which is an insulating adhesive excellent in thermal conductivity, and a commercially available product can be used. 17 is a fin for heat dissipation, and a commercially available product such as aluminum can be used. Reference numeral 18 denotes an air cooling fan (or a fan), and a commercially available product can be used. 19 is an arrow. The arrow 19 schematically illustrates, for example, the rotation direction of the fan 18, the direction of the wind, the direction in which heat of the heat generating component 15 is transmitted, and the like.

まず図1を用いて説明する。図1は、実施の形態における熱伝導基板に、発熱部品15やトランス等14、放熱用にフィン17等を実装してなる回路モジュールの一例である。図1において、金属板11の上には、伝熱層12を介して、複数のリードフレーム13が一種の配線として、その一部以上を埋め込んで形成している。そしてリードフレーム13の上(例えば図1の中央部に示すように)には、複数のトランス等14を実装している。そしてトランス等14の上には、市販の絶縁伝導接着剤16等を用いて、放熱用のフィン17を固定している。これは実施の形態における回路(例えば、DCDCコンバーター等)におけるトランス等14が発熱を伴う場合がある。こうした場合、トランス等14の上にも、絶縁伝導接着剤16を用いて、放熱用のフィン17を固定することで、局所的にトランス等14を冷却するためである(詳細は図3(B)等で説明する)。   First, a description will be given with reference to FIG. FIG. 1 shows an example of a circuit module in which a heat-generating component 15, a transformer 14 and the like, and fins 17 and the like for heat dissipation are mounted on a heat conductive substrate in the embodiment. In FIG. 1, a plurality of lead frames 13 are formed on a metal plate 11 by embedding a part or more of them as a kind of wiring via a heat transfer layer 12. A plurality of transformers 14 are mounted on the lead frame 13 (for example, as shown in the center of FIG. 1). On the transformer 14 or the like, a heat radiating fin 17 is fixed using a commercially available insulating conductive adhesive 16 or the like. In some cases, the transformer 14 in the circuit (for example, a DCDC converter) in the embodiment generates heat. In such a case, the transformer and the like 14 are locally cooled by fixing the heat radiation fins 17 on the transformer and the like 14 using the insulating conductive adhesive 16 (see FIG. 3B for details). ) Etc.).

また図1において、リードフレーム13の一部(例えば、図1に示すように熱伝導基板の外周部、あるいはその周縁部)を、略垂直に折り曲げ、折り曲げた部分のリードフレーム13に(あるいはその外側に)、発熱部品15(発熱部品15に形成したリード線等は図示していない)を実装している。そして必要に応じて、その内側(あるいはリードフレーム13の発熱部品15を実装していない面側)に絶縁伝導接着剤16を介して、放熱用のフィン17を固定する。こうすることで、発熱部品15に発生した熱を、フィン17を介して空冷する。また必要に応じて、フィン17の数を増やし、例えば図1に示すように熱伝導基板の表面(あるいは上面)は、複数のフィン17で覆うこともできる。そしてこの複数のフィン17を、空冷用のファン18を、矢印19aのように回転することで、発生した風(矢印19bで図示)で空冷することになる。なお図1において、熱伝導基板の外周部(あるいは周縁部)のすべてのリードフレーム13を折り曲げる必要は無い。これは後述する図2や図3で、熱伝導基板とプリント配線板とを、電気的に接続するためである。   Further, in FIG. 1, a part of the lead frame 13 (for example, the outer peripheral portion of the heat conducting substrate or the peripheral portion thereof as shown in FIG. 1) is bent substantially vertically, and the bent lead frame 13 (or the portion thereof) is bent. On the outside, a heat generating component 15 (the lead wire formed on the heat generating component 15 is not shown) is mounted. Then, if necessary, the heat dissipating fins 17 are fixed to the inner side (or the side of the lead frame 13 where the heat generating component 15 is not mounted) via the insulating conductive adhesive 16. In this way, the heat generated in the heat generating component 15 is air-cooled through the fins 17. If necessary, the number of fins 17 can be increased, and for example, as shown in FIG. 1, the surface (or upper surface) of the heat conductive substrate can be covered with a plurality of fins 17. The plurality of fins 17 are cooled by the generated wind (shown by the arrow 19b) by rotating the air cooling fan 18 as shown by the arrow 19a. In FIG. 1, it is not necessary to bend all the lead frames 13 on the outer peripheral portion (or the peripheral portion) of the heat conducting substrate. This is for electrically connecting the heat conductive substrate and the printed wiring board in FIGS. 2 and 3 described later.

本実施の形態では、放熱が必要な電子部品(例えば、発熱部品15や、トランス等14)を熱伝導基板の上に集中させることができる。このように発熱源となる発熱部品15やトランス等14を高密度に集合させた(あるいは実装させた)場合でも、図1に示すように、熱伝導基板の上面の多くの部分(例えば、殆どの部分)をフィン17で覆うことができ、ファン18等で集中的に冷却することができ、その冷却効率を高めることができる。なお図1では強制空冷としたが、他の方法(例えば、ヒートパイプを用いる、水冷循環設備を用いる)等でも、同様の効果が得られる。そして、本実施の形態における熱伝導基板は、単独でもその放熱効果が優れたものであるが、プリント配線板と組み合わせて回路モジュールとすることで、更に利用価値を高めることができる。次に、図2〜3を用いて、熱伝導基板をプリント配線板と組み合わせて作成した回路モジュールにおける放熱効果について説明する。   In the present embodiment, electronic components that require heat dissipation (for example, the heat generating component 15 and the transformer 14) can be concentrated on the heat conductive substrate. Even when the heat generating components 15 and the transformers 14 serving as heat sources are assembled (or mounted) with high density in this way, as shown in FIG. ) Can be covered with the fins 17 and can be intensively cooled by the fan 18 or the like, and the cooling efficiency can be increased. Although forced air cooling is used in FIG. 1, the same effect can be obtained by other methods (for example, using a heat pipe or a water-cooled circulation facility). And although the heat conductive board in this Embodiment is the thing excellent in the heat dissipation effect by itself, it can raise a utility value further by combining with a printed wiring board and setting it as a circuit module. Next, the heat radiation effect in the circuit module created by combining the heat conductive substrate with the printed wiring board will be described with reference to FIGS.

次に図2を用いて、発熱部品15となるパワー半導体の一例について説明する。図2(A)(B)は、それぞれ発熱部品15を説明する断面図と斜視図である。図2において、20は金属部、21はリード線、22は樹脂部である。パワー半導体15の一部(例えば、TO−220C、TO−3P等のパッケージ形態によっては)には、その放熱性を高めるために、その一部に金属部20を設けたものがある。   Next, an example of a power semiconductor serving as the heat generating component 15 will be described with reference to FIG. FIGS. 2A and 2B are a cross-sectional view and a perspective view, respectively, for explaining the heat generating component 15. In FIG. 2, 20 is a metal part, 21 is a lead wire, and 22 is a resin part. Some of the power semiconductors 15 (for example, depending on the package form such as TO-220C, TO-3P, etc.) are provided with a metal part 20 in a part thereof in order to improve heat dissipation.

図2(A)は、発熱部品15の断面図であり、例えば金属部20の上に、所定の半導体チップを実装し、リード線21と共に、樹脂部22で覆ったものである。なお金属部20を活電部とすることで、金属部20を放熱以外に給電等に使うことができる。ここでリード線21は、例えば、パワーFETにおけるソース、ドレイン、バックゲートあるいはバルク等の端子に相当するものであり、発熱部品15から突き出したものであり、一部のリード線21を、金属部20と同電位とすることもできる。   FIG. 2A is a cross-sectional view of the heat generating component 15. For example, a predetermined semiconductor chip is mounted on the metal portion 20 and covered with the resin portion 22 together with the lead wires 21. In addition, the metal part 20 can be used for electric power feeding etc. other than heat dissipation by making the metal part 20 into an active part. Here, the lead wire 21 corresponds to, for example, a source, drain, back gate, or bulk terminal in the power FET, and protrudes from the heat generating component 15. 20 and the same potential.

図2(B)は、発熱部品15の斜視図であり、金属部20は、樹脂部22と略同一面に形成していることが判る。こうすることで、金属部20や樹脂部22を、図1等で図示したように、リードフレーム13に密着して固定でき、放熱性を高めることができる。なお発熱部品15のリード線21は、一般的に2〜3本であるが、この数が変更されても、本実施の形態の場合、リードフレーム13を適宜分割することで対応することもできる。   FIG. 2B is a perspective view of the heat generating component 15, and it can be seen that the metal portion 20 is formed on substantially the same surface as the resin portion 22. By doing so, the metal part 20 and the resin part 22 can be fixed in close contact with the lead frame 13 as shown in FIG. 1 and the like, and heat dissipation can be improved. The number of lead wires 21 of the heat generating component 15 is generally two to three. However, even if this number is changed, in the case of the present embodiment, it can be dealt with by appropriately dividing the lead frame 13. .

なお本実施の形態において用いるパワー半導体15の形状は、図2(A)(B)に示すように金属部20を有するものが望ましい。これは活電部や放熱部を兼用する金属部20を直接、電流容量の大きく熱伝導性の高いリードフレーム13に直接固定できるためである。なお固定方法は、半田付け、ネジ止め等の電気的、機械的に信頼性の高いものを選ぶことが望ましい。これは後述する図3や図4で説明するように、パワー半導体15の金属部20をリードフレーム13に、リード線21はプリント配線板24に固定するためである。   Note that the shape of the power semiconductor 15 used in this embodiment preferably has a metal portion 20 as shown in FIGS. This is because the metal part 20 that also serves as a live part and a heat dissipation part can be directly fixed to the lead frame 13 having a large current capacity and high thermal conductivity. As a fixing method, it is desirable to select an electrically and mechanically reliable method such as soldering and screwing. This is because the metal part 20 of the power semiconductor 15 is fixed to the lead frame 13 and the lead wire 21 is fixed to the printed wiring board 24, as will be described later with reference to FIGS.

次に図3を用いて、放熱効果について説明する。図3(A)(B)は、それぞれ回路モジュールの組立方を説明する断面図と、その放熱効果について説明する断面図である。図3(A)(B)において、23は電子部品であり、例えばチップ部品(角チップ抵抗器や積層セラミックコンデンサ等)、あるいは発熱部品15を制御するための半導体素子等である。24はプリント配線板(例えば、ガラスエポキシ製の両面や多層等の一般のプリント配線板24であるが、銅箔からなる電極パターンやスルーホール、ソルダーレジスト等は図示していない)である。25はシャーシ(例えば、プラズマTVにおけるアルミニウムシャーシ、あるいは金属筐体部分等である)、26a、26bは孔であり、孔26a、26bはプリント配線板24の一部に形成したものである。   Next, the heat dissipation effect will be described with reference to FIG. 3A and 3B are a cross-sectional view for explaining how to assemble the circuit module and a cross-sectional view for explaining the heat dissipation effect. 3A and 3B, reference numeral 23 denotes an electronic component such as a chip component (such as a square chip resistor or a multilayer ceramic capacitor) or a semiconductor element for controlling the heat generating component 15. Reference numeral 24 denotes a printed wiring board (for example, a general printed wiring board 24 made of glass epoxy, such as double-sided or multilayered, but an electrode pattern made of copper foil, a through hole, a solder resist, etc. are not shown). Reference numeral 25 denotes a chassis (for example, an aluminum chassis in a plasma TV or a metal housing portion), 26a and 26b are holes, and the holes 26a and 26b are formed in a part of the printed wiring board 24.

図3(A)(B)に示すように、このリード線21(あるいはリード線21の少なくとも一部以上)を、プリント配線板24に形成した孔26bに差込み(あるいは孔26bを用いて実装することで)、発熱部品15をプリント配線板24上に実装し電子部品23(例えば、パワー半導体を制御するための制御用半導体等)に近づけて(あるいは高密度に)実装することができる。なお熱伝導基板と、プリント配線板24との接続には、熱伝導基板から横に伸びるリードフレーム13の一部を用いることもできる。なお熱伝導基板とプリント配線板24を接続するリードフレーム13は、その先端部を略垂直に折り曲げたものとし、この折り曲げ部分を、プリント配線板24に形成した孔26bに差し込むようにすることで、作業性や接続安定性を高めることができる。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the lead wire 21 (or at least a part of the lead wire 21) is inserted into the hole 26b formed in the printed wiring board 24 (or mounted using the hole 26b). Thus, the heat generating component 15 can be mounted on the printed wiring board 24 and mounted close to (or at a high density) the electronic component 23 (for example, a control semiconductor for controlling the power semiconductor). A part of the lead frame 13 extending laterally from the heat conductive substrate can be used for connection between the heat conductive substrate and the printed wiring board 24. Note that the lead frame 13 connecting the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 is bent at a substantially vertical end, and this bent portion is inserted into a hole 26b formed in the printed wiring board 24. , Workability and connection stability can be improved.

そして、熱伝導基板は、プリント配線板24に形成した孔26aに挿入するようにして、矢印19aのように、シャーシ25の上にセットする。なお図3(A)(B)では、プリント配線板24に対して、上側から熱伝導基板を挿入(あるいはセット)するように図示しているが、逆にすることも可能である。例えば熱伝導基板の上に、プリント配線板24を挿入(あるいはセット)するようにしても良い。この場合、図3(A)(B)に示すリードフレーム13と、プリント配線板24の孔26bの挿入部(あるいはそのリードフレーム13の先端を孔26bに挿入するように曲げた部分)は、上下反転(下から上に挿入するように、あるいはプリント配線板24の上に熱伝導基板を挿入するように)しても良い。   The heat conductive substrate is set on the chassis 25 as indicated by an arrow 19a so as to be inserted into the hole 26a formed in the printed wiring board 24. In FIGS. 3A and 3B, the heat conductive substrate is inserted (or set) from the upper side with respect to the printed wiring board 24, but the reverse is also possible. For example, the printed wiring board 24 may be inserted (or set) on the heat conductive substrate. In this case, the lead frame 13 shown in FIGS. 3A and 3B and the insertion portion of the hole 26b of the printed wiring board 24 (or the portion bent so that the tip of the lead frame 13 is inserted into the hole 26b) It may be turned upside down (inserted from bottom to top, or inserted a heat conductive substrate on the printed wiring board 24).

なお図3(A)(B)で、プリント配線板24に形成した孔26bに挿入するリードフレーム13の先端は、折り曲げ、プリント配線板24に挿入するようにすることが望ましい。プリント配線板24に形成した孔26bに挿入し(あるいは突き刺して)、半田付けすることで、リードフレーム13とプリント配線板24との半田付け部の信頼性を高めることができる。その結果、半田接続部分の接続抵抗を下げることができ、熱伝導基板の大電流化にも対応できる。また必要に応じて孔26bの内部にスルーホールめっきすることで、更に信頼性を高めることができる。   3A and 3B, it is preferable that the tip of the lead frame 13 inserted into the hole 26b formed in the printed wiring board 24 is bent and inserted into the printed wiring board 24. By inserting (or piercing) into the hole 26b formed in the printed wiring board 24 and soldering, the reliability of the soldered portion between the lead frame 13 and the printed wiring board 24 can be improved. As a result, it is possible to reduce the connection resistance of the solder connection portion, and to cope with an increase in current of the heat conduction substrate. Further, reliability can be further improved by plating through holes 26b as needed.

ここで発熱が課題とならない電子部品23等は、プリント配線板24側に高密度に実装することが、低コスト化、小型化に有利であるためである。しかしこうした電子部品23に近接して発熱部品15を実装した場合、発熱部品15に発生する熱が、電子部品23等に影響を与えてしまう。しかし本実施の形態においては、図3(B)に示すようにプリント配線板24の上に、リード線21を用いて実装した発熱部品15に発生した熱は、図3(B)に示すように、熱伝導基板側に放熱することができ、熱の影響を抑えることができ、回路モジュールの小型化が可能となる。   This is because it is advantageous for cost reduction and miniaturization to mount the electronic parts 23 and the like that do not generate heat at high density on the printed wiring board 24 side. However, when the heat generating component 15 is mounted close to the electronic component 23, the heat generated in the heat generating component 15 affects the electronic component 23 and the like. However, in the present embodiment, as shown in FIG. 3B, the heat generated in the heat generating component 15 mounted on the printed wiring board 24 using the lead wires 21 as shown in FIG. In addition, heat can be radiated to the heat conductive substrate side, the influence of heat can be suppressed, and the circuit module can be miniaturized.

図3(B)は、回路モジュールにおける放熱メカニズムを説明する断面図である。図3(B)において、矢印19bは、放熱用のファン18が回転する様子を示す。また矢印19cは、発熱部品15やトランス等14に発生した熱が、広がる方向等を示す。図3(B)において、発熱部品15に発生した熱は、リードフレーム13に伝わる。そしてリードフレーム13に伝わった熱の一部は、絶縁伝導接着剤16を介してフィン17に伝わり、空冷される。またリードフレーム13の熱の一部は、リードフレーム13の一部以上を埋め込む伝熱層12を介して、金属板11に伝わる。ここで金属板11を、シャーシ25にネジ等で固定(固定方法は図示していない)しておくことで、金属板11に伝わった熱は、矢印19cに示すように、シャーシ25へと広がる。   FIG. 3B is a cross-sectional view illustrating a heat dissipation mechanism in the circuit module. In FIG. 3B, an arrow 19b indicates how the heat dissipating fan 18 rotates. An arrow 19c indicates a direction in which heat generated in the heat generating component 15, the transformer 14 or the like spreads. In FIG. 3B, the heat generated in the heat generating component 15 is transmitted to the lead frame 13. A part of the heat transferred to the lead frame 13 is transferred to the fins 17 through the insulating conductive adhesive 16 and is air-cooled. A part of the heat of the lead frame 13 is transmitted to the metal plate 11 through the heat transfer layer 12 in which a part or more of the lead frame 13 is embedded. Here, by fixing the metal plate 11 to the chassis 25 with screws or the like (the fixing method is not shown), the heat transmitted to the metal plate 11 spreads to the chassis 25 as indicated by an arrow 19c. .

更にファン18を矢印19bに示すように回転することで(例えば、風を吸い込むようにすることで)、シャーシ25とプリント配線板24の隙間から、矢印19cに示すように、冷却用の空気を効率良く吸い込むことができる。この場合、略垂直に折り曲げたリードフレーム13の一部や、フィン17等を組み合わせて、積極的に煙突構造を構成するようにすることで、煙突効果による効率的な空冷効果も得られる。ここで煙突効果とは、例えば煙突状の空間の中で、空気を暖めた場合、温まって密度が小さくなった空気が煙突の上方に浮上すると同時に、煙突の下の方から冷たい空気を吸い込む効果のことである。そして発熱部品15やトランス等14に発生した熱によって、フィン17を暖め煙突効果を発生させることができる。このように図3(A)(B)に示す構造とすることで、シャーシ25等への直接的な熱伝導以外に、ファン18や煙突効果による積極的な空冷効果も生かすことができる。   Further, by rotating the fan 18 as indicated by an arrow 19b (for example, by sucking wind), air for cooling is supplied from the gap between the chassis 25 and the printed wiring board 24 as indicated by an arrow 19c. You can inhale efficiently. In this case, an efficient air cooling effect due to the chimney effect can be obtained by combining the part of the lead frame 13 bent substantially vertically, the fins 17 and the like to positively configure the chimney structure. Here, the chimney effect is, for example, the effect of inhaling cold air from the bottom of the chimney, when the air is warmed in a chimney-like space, and the air that has become warmer and has a lower density rises above the chimney. That's it. And the heat | fever which generate | occur | produced in the heat-emitting component 15 or the transformer 14 can warm the fin 17 and can generate | occur | produce a chimney effect. By adopting the structure shown in FIGS. 3A and 3B in this way, in addition to direct heat conduction to the chassis 25 and the like, a positive air cooling effect due to the fan 18 and the chimney effect can be utilized.

更に図3(B)に示すように、発熱部品15の金属部20を活電部として、リードフレーム13に直接、半田付けすることで発熱部品15との接続信頼性や接続強度を高められる。更に(あるいは同時に)発熱部品15のリード線21をプリント配線板24に接続することで、その回路パターンの引き回し距離(あるいは線路長)を短くできる。   Furthermore, as shown in FIG. 3B, the reliability and connection strength with the heat generating component 15 can be improved by soldering directly to the lead frame 13 using the metal portion 20 of the heat generating component 15 as a live part. Further (or at the same time), by connecting the lead wire 21 of the heat generating component 15 to the printed wiring board 24, the circuit pattern routing distance (or line length) can be shortened.

なおプリント配線板24とシャーシ25の間を一定距離(例えば3〜20mm、望ましくは5〜10mm)離すことで、シャーシ25に伝わった熱の積極的な煙突効果による吸出しも可能となり、熱伝導基板部分のみならず、シャーシ25の冷却効果も得られる。   Note that by separating the printed wiring board 24 and the chassis 25 by a certain distance (for example, 3 to 20 mm, preferably 5 to 10 mm), the heat transferred to the chassis 25 can be sucked out by a positive chimney effect. The cooling effect of the chassis 25 can be obtained as well as the portion.

なお図3(A)(B)において、熱伝導基板とプリント配線板24の電気的な接続は、発熱部品15から伸びるリード線21と、リードフレーム13とを、それぞれ用途に応じて併用することで、回路設計やその熱対策を容易にできることは言うまでもない。   3A and 3B, the electrical connection between the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 uses the lead wire 21 extending from the heat-generating component 15 and the lead frame 13 in accordance with each application. Needless to say, circuit design and thermal countermeasures can be easily achieved.

次に図4(A)(B)を用いて、回路モジュールの組立方及びその放熱効果について説明する。図4(A)(B)は、それぞれ回路モジュールの組立方を説明する断面図と、その放熱効果について説明する断面図である。   Next, with reference to FIGS. 4A and 4B, the assembly method of the circuit module and the heat dissipation effect thereof will be described. 4A and 4B are a cross-sectional view for explaining how to assemble a circuit module and a cross-sectional view for explaining the heat dissipation effect.

図4(A)は、回路モジュールを組み立てる様子を示す断面図、図4(B)は回路モジュールとした場合の放熱効果を説明する断面図である。なお図4(A)(B)においても、熱伝導基板とプリント配線板24の電気的な接続は、必要に応じて発熱部品15から伸びるリード線21によって(図示していない)も、行うことができる。   FIG. 4A is a cross-sectional view showing how the circuit module is assembled, and FIG. 4B is a cross-sectional view illustrating the heat dissipation effect when the circuit module is used. 4A and 4B, the electrical connection between the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 is also made by a lead wire 21 (not shown) extending from the heat generating component 15 as necessary. Can do.

図4(A)(B)とすることで、従来、プリント配線板24の上に実装していた発熱部品15であっても、熱伝導基板を一種の放熱部として、ここに取り付けることができる。またその場合、発熱部品15を取り付けている、リードフレーム13の折り曲げ部分は、リードフレーム13の他の配線から絶縁するようなパターン設計する(一種の浮島状態として設計する)こともできる。また発熱部品15の金属部20を、直接リードフレーム13に接続し、発熱部品15のリード線21をプリント配線板24に接続することで、回路パターンの引き回し距離が短くでき、機器の小型化を可能にする。   4 (A) and 4 (B), even the heat-generating component 15 conventionally mounted on the printed wiring board 24 can be attached here as a kind of heat-radiating part. . In that case, the bent portion of the lead frame 13 to which the heat generating component 15 is attached can be designed to be insulated from other wirings of the lead frame 13 (designed as a kind of floating island state). Further, by connecting the metal part 20 of the heat generating component 15 directly to the lead frame 13 and connecting the lead wire 21 of the heat generating component 15 to the printed wiring board 24, the circuit pattern routing distance can be shortened and the device can be downsized. enable.

次に図5を用いて、熱伝導基板を組み立てる様子を説明する。図5(A)(B)は、共に熱伝導基板を組み立てる様子を説明する断面図である。図5(A)は、熱伝導基板に発熱部品15やフィン17を取り付ける様子を説明する断面図、図5(B)は、熱伝導基板の一部を折り曲げる様子を説明する断面図である。図5(A)において、熱伝導基板は、金属板11の上に、シート状の伝熱層12を介してリードフレーム13を固定したものから構成されている。そしてリードフレーム13は、伝熱層12に一部以上を埋め込まれ(これはリードフレーム13に肉厚のものを選んでも、その凹凸が基板表面に表れにくくするため)、リードフレーム13の一部は熱伝導基板から、突き出している。そしてこの突き出した部分に、矢印19aに示すように必要に応じて発熱部品15を実装し、フィン17を絶縁伝導接着剤16等で固定する。また熱伝導基板の中央部には、トランス等14の発熱部品15を実装する。そしてトランス等14の上にも、必要に応じてフィン17を絶縁伝導接着剤16等で固定する。なお図5(A)(B)において、実装用の半田等は図示していない。また発熱部品15において、金属部20やリード線21も図示していない。   Next, the state of assembling the heat conductive substrate will be described with reference to FIG. 5 (A) and 5 (B) are cross-sectional views illustrating how the heat conductive substrates are assembled together. FIG. 5A is a cross-sectional view illustrating a state in which the heat-generating component 15 and the fins 17 are attached to the heat conductive substrate, and FIG. 5B is a cross-sectional view illustrating a state in which a part of the heat conductive substrate is bent. In FIG. 5A, the heat conductive substrate is configured by fixing a lead frame 13 on a metal plate 11 via a sheet-like heat transfer layer 12. A part of the lead frame 13 is embedded in the heat transfer layer 12 (this is because even if a thick lead frame 13 is selected, the unevenness does not easily appear on the substrate surface). Protrudes from the heat conductive substrate. Then, the heat generating component 15 is mounted on the protruding portion as necessary as indicated by an arrow 19a, and the fin 17 is fixed with an insulating conductive adhesive 16 or the like. A heat generating component 15 such as a transformer 14 is mounted on the center of the heat conducting substrate. Then, the fins 17 are also fixed on the transformer 14 or the like with an insulating conductive adhesive 16 or the like as necessary. 5A and 5B, mounting solder and the like are not shown. In the heat generating component 15, the metal part 20 and the lead wire 21 are not shown.

その後、図5(B)に示すように、所定部分を矢印19bに示すように、略垂直に折り曲げることで、図1等に示した形状とする。なお図5(B)において、熱伝導基板から左右に突き出したリードフレーム13の全てに発熱部品15やフィン17を固定する必要は無い。また左右に突き出したリードフレーム13の一部を用いて、図3(A)(B)、図4(A)(B)に示したように、熱伝導基板とプリント配線板24とを電気的に(更には最短距離で)接続することができる。   Thereafter, as shown in FIG. 5B, the predetermined portion is bent substantially vertically as shown by an arrow 19b to obtain the shape shown in FIG. In FIG. 5B, it is not necessary to fix the heat generating components 15 and the fins 17 to all of the lead frames 13 protruding left and right from the heat conductive substrate. Further, as shown in FIGS. 3A, 3B, 4A, and 4B, a part of the lead frame 13 protruding left and right is used to electrically connect the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 to each other. (And even the shortest distance).

次に図6を用いて、熱伝導基板の製造方法の一例について説明する。図6(A)(B)は、共に熱伝導基板の製造方法を説明する断面図である。図6(A)(B)において、27はプレス、28はフィルムであり、汚れ防止用のものである。29はV溝であり、リードフレーム13の一部にプレス等で折り曲げしやすいように加工した部分である。まず図6(A)に示すように、プレス27に、金属板11や、伝熱層12や汚れ防止用にフィルム28をセットする。なお図6(A)(B)において、プレス27にセットする金型等は図示していない。またリードフレーム13は、所定の銅板は銅箔等の金属材を配線パターン状に打抜き加工したものである。またリードフレーム13の所定位置(例えば、図5(B)で説明した折り曲げ位置)に、予めV溝29を形成しておくことが望ましい。ここで伝熱層12とは、後述する伝熱材料を例えばシート状に予備成形したものである。なお図6(A)において、伝熱層12の中央部を、プレス時に空気を抜けやすくするために、中央部を僅かに凸状としても良い。   Next, an example of the manufacturing method of a heat conductive board | substrate is demonstrated using FIG. 6A and 6B are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a heat conductive substrate. 6 (A) and 6 (B), 27 is a press and 28 is a film for preventing dirt. Reference numeral 29 denotes a V-groove, which is a portion processed into a part of the lead frame 13 so as to be easily bent by a press or the like. First, as shown in FIG. 6A, a metal plate 11, a heat transfer layer 12, and a film 28 for preventing dirt are set on a press 27. 6 (A) and 6 (B), a die set on the press 27 is not shown. The lead frame 13 is obtained by punching a predetermined copper plate into a wiring pattern from a metal material such as a copper foil. Further, it is desirable to form the V-groove 29 in advance at a predetermined position of the lead frame 13 (for example, the bending position described with reference to FIG. 5B). Here, the heat transfer layer 12 is obtained by preforming a heat transfer material, which will be described later, into a sheet shape, for example. In FIG. 6A, the central portion of the heat transfer layer 12 may be slightly convex so that air can be easily removed during pressing.

図6(B)は、プレスが終了した後の様子を説明する断面図である。図6(B)に示すように、フィルム28を用いることで、プレス27や金型(図示していない)の表面に、伝熱層12が汚れとして付着しない。またフィルム28をプレス27や金型と、リードフレーム13との間の緩衝材(あるいは、パッキング、あるいはシール材)とすることで、リードフレーム13の表面への、伝熱層12の回り込みを防止したり、プレス圧力を高めることができる。その結果、リードフレーム13間に形成された狭い隙間まで伝熱層12を回り込ませることができる。   FIG. 6B is a cross-sectional view illustrating a state after the press is completed. As shown in FIG. 6B, by using the film 28, the heat transfer layer 12 does not adhere to the surface of the press 27 or a mold (not shown) as dirt. Further, by using the film 28 as a cushioning material (or packing or sealing material) between the press 27 and the mold and the lead frame 13, the heat transfer layer 12 is prevented from wrapping around the surface of the lead frame 13. Or press pressure can be increased. As a result, the heat transfer layer 12 can be made to wrap around a narrow gap formed between the lead frames 13.

なお図6(A)(B)において、伝熱層12等をプレス時に加熱することで、伝熱層12を軟化でき、金属板11との密着効果を高めている。   6A and 6B, the heat transfer layer 12 and the like are heated at the time of pressing, so that the heat transfer layer 12 can be softened and the adhesion effect with the metal plate 11 is enhanced.

そして図6(B)に示すように、所定形状に成形した後、フィルム28を、伝熱層12の表面から引き剥がす。そして金属板11の上に、リードフレーム13を埋め込んで一体化した伝熱層12を、加熱装置の中で加熱し、硬化させ、図1(A)(B)等で示した伝熱層12とする。なおフィルム28を剥離した状態で、加熱することで、フィルム28の熱収縮(シワ発生)が、伝熱層12の硬化に影響を与えなくできる。   Then, as shown in FIG. 6B, after forming into a predetermined shape, the film 28 is peeled off from the surface of the heat transfer layer 12. The heat transfer layer 12 in which the lead frame 13 is embedded and integrated on the metal plate 11 is heated and cured in a heating device, and the heat transfer layer 12 shown in FIGS. And In addition, by heating the film 28 in a peeled state, the heat shrinkage (wrinkle generation) of the film 28 can be prevented from affecting the curing of the heat transfer layer 12.

ここでシート状の伝熱層12としては、熱硬化性樹脂とフィラーとからなる伝熱性のコンポジット材料を用いることができる。例えば無機フィラー70重量%以上95重量%以下と、熱硬化性樹脂5重量%以上30重量%以下からなる部材が望ましい。ここで無機フィラーは略球形状で、その直径は0.1μm以上100μm以下が適当である(0.1μm未満の場合、樹脂への分散が難しくなる場合、また100μmを超えると伝熱層12の厚みが厚くなり熱拡散性に影響を与える)。そのため伝熱層12における無機フィラーの充填量は、熱伝導率を上げるために70から95重量%と高濃度に充填している。特に、本実施の形態では、無機フィラーは、平均粒径3μmと平均粒径12μmの2種類のアルミナを混合したものを用いている。この大小2種類の粒径のアルミナを用いることによって、大きな粒径のアルミナの隙間に小さな粒径のアルミナを充填できるので、アルミナを90重量%近くまで高濃度に充填できるものである。この結果、伝熱層12の熱伝導率は5W/(m・K)程度となる。なお無機フィラーとしてはアルミナ、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種以上を含んでもよい。   Here, as the sheet-like heat transfer layer 12, a heat transfer composite material made of a thermosetting resin and a filler can be used. For example, a member composed of 70 to 95% by weight of an inorganic filler and 5 to 30% by weight of a thermosetting resin is desirable. Here, the inorganic filler has a substantially spherical shape, and its diameter is suitably 0.1 μm or more and 100 μm or less (if it is less than 0.1 μm, it becomes difficult to disperse in the resin, and if it exceeds 100 μm, the heat transfer layer 12 Thickness increases and affects thermal diffusivity). Therefore, the filling amount of the inorganic filler in the heat transfer layer 12 is filled at a high concentration of 70 to 95% by weight in order to increase the thermal conductivity. In particular, in the present embodiment, the inorganic filler is a mixture of two types of alumina having an average particle diameter of 3 μm and an average particle diameter of 12 μm. By using alumina having two kinds of large and small particle diameters, it is possible to fill the gaps between the large particle diameters of alumina with small particle diameters, so that alumina can be filled at a high concentration to nearly 90% by weight. As a result, the heat conductivity of the heat transfer layer 12 is about 5 W / (m · K). The inorganic filler may include at least one selected from the group consisting of alumina, magnesium oxide, boron nitride, silicon oxide, silicon carbide, silicon nitride, and aluminum nitride.

なお無機フィラーを用いると、放熱性を高められるが、特に酸化マグネシウムを用いると線熱膨張係数を大きくできる。また酸化ケイ素を用いると誘電率を小さくでき、窒化ホウ素を用いると線熱膨張係数を小さくできる。こうして伝熱層12としての熱伝導率が1W/(m・K)以上20W/(m・K)以下のものを形成することができる。なお熱伝導率が1W/(m・K)未満の場合、熱伝導基板の放熱性に影響を与える。また熱伝導率を20W/(m・K)より高くしようとした場合、フィラー量を増やす必要があり、プレス時の加工性に影響を与える場合がある。なお熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびシアネート樹脂の内、少なくとも1種類の樹脂を含んでいる。これらの樹脂は耐熱性や電気絶縁性に優れている。   When an inorganic filler is used, the heat dissipation can be improved, but in particular when magnesium oxide is used, the linear thermal expansion coefficient can be increased. Further, when silicon oxide is used, the dielectric constant can be reduced, and when boron nitride is used, the linear thermal expansion coefficient can be reduced. Thus, the heat transfer layer 12 having a thermal conductivity of 1 W / (m · K) or more and 20 W / (m · K) or less can be formed. In addition, when heat conductivity is less than 1 W / (m * K), it influences the heat dissipation of a heat conductive board | substrate. Moreover, when it is going to make thermal conductivity higher than 20 W / (m * K), it is necessary to increase the amount of fillers and may affect the workability at the time of a press. The thermosetting resin contains at least one kind of resin among epoxy resin, phenol resin and cyanate resin. These resins are excellent in heat resistance and electrical insulation.

次にリードフレーム13の材質について説明する。ここでリードフレーム13の材料としては、銅を主体とするもの(例えば銅箔や銅板)が望ましい。これは銅が熱伝導性と導電率が共に優れているためである。リードフレーム13用の銅板としては、例えば厚み200μm以上〜2000μm以下(望ましくは500μm以上1000μm以下)を利用できる。厚み200μm未満の場合、折り曲げた場合所定の強度が得られない場合がある。また厚みが2000μmを超えると、高精度な折り曲げが難しく、コストアップする可能性がある。こうしたリードフレーム13用の銅板としては、例えばタフピッチ銅(合金記号:C1100)や無酸素銅(合金記号:C1020)等を用いることが望ましい。こうした材料は原料の電気銅を溶解して製造したものある。ここでタフピッチ銅は、銅中に酸素を残した精錬銅であり、電気伝導性や加工性に優れている。タフピッチ銅は例えばCu99.90wt%以上、無酸素銅は例えばCu99.96wt%以上が望ましい。銅の純度が、これら数字未満の場合、不純物(例えば酸素の影響によるCu2Oの含有量が大きくなるので)の影響によって、加工性のみならず熱伝導性や電気伝導性に影響を受ける場合がある。こうした部材は安価であり、量産性に優れている。なおリードフレーム13のパターニング方法としては、エッチングでも良いが、プレス27(あるいは金型)による打ち抜きがパターンの同一性、量産性の面から適している。   Next, the material of the lead frame 13 will be described. Here, the material of the lead frame 13 is preferably a material mainly composed of copper (for example, a copper foil or a copper plate). This is because copper has both excellent thermal conductivity and electrical conductivity. As the copper plate for the lead frame 13, for example, a thickness of 200 μm to 2000 μm (desirably 500 μm to 1000 μm) can be used. When the thickness is less than 200 μm, a predetermined strength may not be obtained when it is bent. On the other hand, if the thickness exceeds 2000 μm, it is difficult to bend with high accuracy, which may increase the cost. As such a copper plate for the lead frame 13, for example, tough pitch copper (alloy symbol: C1100), oxygen-free copper (alloy symbol: C1020), or the like is desirably used. These materials are manufactured by melting the raw copper. Here, tough pitch copper is refined copper in which oxygen remains in copper, and is excellent in electrical conductivity and workability. For example, tough pitch copper is desirably 99.90 wt% or more of Cu, and oxygen free copper is desirably 99.96 wt% or more of Cu, for example. If the purity of copper is less than these numbers, it may be affected not only by workability but also by thermal conductivity and electrical conductivity due to the influence of impurities (for example, the content of Cu2O due to the influence of oxygen increases). . Such a member is inexpensive and excellent in mass productivity. Etching may be used as a patterning method for the lead frame 13, but punching with a press 27 (or a mold) is suitable from the viewpoint of pattern identity and mass productivity.

更に必要に応じて各種銅合金を選ぶことも出来る。例えば、リードフレーム13として、加工性や、熱伝導性を高めるためには、銅素材に銅以外の少なくともSn、Zr、Ni、Si、Zn、P、Fe等の群から選択される少なくとも1種類以上の材料とからなる合金を使うことも可能である。例えばCuを主体として、ここにSnを加えた、銅材料(以下、Cu+Snとする)を用いることができる。Cu+Sn銅材料(あるいは銅合金)の場合、例えばSnを0.1重量%以上0.15重量%未満添加することで、その軟化温度を400℃まで高められる。比較のためSn無しの銅(Cu>99.96重量%)を用いて、リードフレーム13を作成したところ、導電率は低いが、出来上がった熱伝導基板において特に形成部等に歪が発生する場合があった。そこで詳細に調べたところ、その材料の軟化点が200℃程度と低いため、後の部品実装時(半田付け時)に変形する可能性があることが予想された。一方、Cu+Sn>99.96重量%の銅系の材料を用いた場合、実装された各種部品の発熱の影響は特に受けなかった。また半田付け性やダイボンド性にも影響が無かった。そこでこの材料の軟化点を測定したところ、400℃であることが判った。このように、銅を主体として、いくつかの元素を添加することが望ましい。銅に添加する元素として、Zrの場合、0.015重量%以上0.15重量%の範囲が望ましい。添加量が0.015重量%未満の場合、軟化温度の上昇効果が少ない場合がある。また添加量が0.15重量%より多いと電気特性に影響を与える場合がある。また、Ni、Si、Zn、P等を添加することでも軟化温度を高くできる。この場合、Niは0.1重量%以上5重量%未満、Siは0.01重量%以上2重量%以下、Znは0.1重量%以上5重量%未満、Pは0.005重量%以上0.1重量%未満が望ましい。そしてこれらの元素は、この範囲で単独、もしくは複数を添加することで、銅素材の軟化点を高くできる。なお添加量がここで記載した割合より少ない場合、軟化点上昇効果が低い場合がある。またここで記載した割合より多い場合、導電率への影響の可能性がある。同様に、Feの場合0.1重量%以上5重量%以下、Crの場合0.05重量%以上1重量%以下が望ましい。これらの元素の場合も前述の元素と同様である。   Furthermore, various copper alloys can be selected as necessary. For example, in order to improve workability and thermal conductivity as the lead frame 13, at least one kind selected from the group of at least Sn, Zr, Ni, Si, Zn, P, Fe, etc. other than copper is used for the copper material. It is also possible to use an alloy made of the above materials. For example, it is possible to use a copper material (hereinafter referred to as Cu + Sn) in which Cu is mainly used and Sn is added thereto. In the case of a Cu + Sn copper material (or copper alloy), for example, by adding Sn to 0.1 wt% or more and less than 0.15 wt%, the softening temperature can be increased to 400 ° C. For comparison, the lead frame 13 was made using Sn-free copper (Cu> 99.96% by weight), but the conductivity was low, but the formed heat conduction substrate was particularly distorted in the formation area. was there. As a result, the softening point of the material was as low as about 200 ° C., and it was expected that the material could be deformed during subsequent component mounting (soldering). On the other hand, when a copper-based material with Cu + Sn> 99.96% by weight was used, it was not particularly affected by the heat generation of various mounted parts. There was no effect on solderability and die bondability. Therefore, when the softening point of this material was measured, it was found to be 400 ° C. Thus, it is desirable to add some elements mainly composed of copper. As an element added to copper, in the case of Zr, the range of 0.015 wt% or more and 0.15 wt% is desirable. When the addition amount is less than 0.015% by weight, the effect of increasing the softening temperature may be small. On the other hand, if the amount added is more than 0.15% by weight, the electrical characteristics may be affected. Also, the softening temperature can be increased by adding Ni, Si, Zn, P or the like. In this case, Ni is 0.1 wt% or more and less than 5 wt%, Si is 0.01 wt% or more and 2 wt% or less, Zn is 0.1 wt% or more and less than 5 wt%, and P is 0.005 wt% or more. Less than 0.1% by weight is desirable. And these elements can make the softening point of a copper raw material high by adding single or multiple in this range. In addition, when there are few addition amounts than the ratio described here, the softening point raise effect may be low. Moreover, when there are more than the ratio described here, there exists a possibility of affecting the electrical conductivity. Similarly, in the case of Fe, 0.1% by weight to 5% by weight is desirable, and in the case of Cr, 0.05% by weight to 1% by weight is desirable. These elements are the same as those described above.

なおこれらリードフレーム13に使う銅材料の引張り強度は、600N/平方mm以下が望ましい。引張り強度が600N/平方mmを超える材料の場合、これらリードフレーム13の加工性に影響を与える場合がある。一方、引張り強度が600N/平方mm以下(更にこれらリードフレーム13に微細で複雑な加工が必要な場合、望ましくは400N/平方mm以下)とすることでスプリングバック(必要な角度まで曲げても圧力を除くと反力によってはねかえってしまうこと)の発生を抑えられ、形成精度を高められる。このようにこれらリードフレーム13の材料としては、Cuを主体とすることで導電率を下げられ、更に柔らかくすることで加工性を高められ、更にこれらリードフレーム13による放熱効果も高められる。なおこれらリードフレーム13に使う銅合金の引張り強度は、10N/平方mm以上が望ましい。これは一般的な鉛フリー半田の引張り強度(30〜70N/平方mm程度)に対して、これらリードフレーム13に用いる銅合金はそれ以上の強度が必要なためである。これらリードフレーム13に用いる銅合金の引張り強度が、10N/平方mm未満の場合、これらリードフレーム13の上に発熱部品15等を半田付け実装する場合、半田部分ではなくてこれらリードフレーム13の部分で凝集破壊する可能性がある。   The tensile strength of the copper material used for the lead frame 13 is desirably 600 N / square mm or less. In the case of a material having a tensile strength exceeding 600 N / square mm, the workability of these lead frames 13 may be affected. On the other hand, by setting the tensile strength to 600 N / square mm or less (and, if these lead frames 13 require fine and complicated processing, desirably 400 N / square mm or less), the spring back (pressure even if bent to the required angle) The occurrence of rebound by reaction force is suppressed, and the formation accuracy can be improved. As described above, the material of these lead frames 13 is mainly composed of Cu, so that the electrical conductivity can be lowered, and further softening can improve the workability, and further the heat dissipation effect by these lead frames 13 can be enhanced. The tensile strength of the copper alloy used for the lead frame 13 is desirably 10 N / square mm or more. This is because the copper alloy used for the lead frame 13 needs to have a strength higher than the tensile strength (about 30 to 70 N / square mm) of general lead-free solder. When the tensile strength of the copper alloy used for these lead frames 13 is less than 10 N / square mm, when the heat-generating component 15 or the like is mounted on the lead frames 13 by soldering, these lead frame 13 portions are not solder portions. May cause cohesive failure.

なおリードフレーム13の発熱部品15等の実装面に、予め半田付け性を改善するように半田層や錫層を形成しておくことも有用である。なおリードフレーム13の伝熱層12に接する面には、半田層は形成しないことが望ましい。このように伝熱層12と接する面に半田層や錫層を形成すると、半田付け時にこの層が柔らかくなり、リードフレーム13と、伝熱層12との接着性(もしくは結合強度)に影響を与える場合がある。   It is also useful to previously form a solder layer or tin layer on the mounting surface of the lead frame 13 such as the heat generating component 15 so as to improve solderability. It is desirable that no solder layer be formed on the surface of the lead frame 13 that contacts the heat transfer layer 12. If a solder layer or a tin layer is formed on the surface in contact with the heat transfer layer 12 in this way, this layer becomes soft during soldering, which affects the adhesion (or bond strength) between the lead frame 13 and the heat transfer layer 12. May give.

また金属板11は、熱伝導の良いアルミニウム、銅またはそれらを主成分とする合金からできている。特に本実施の形態では、金属板11の厚みを1mm(望ましくは0.1mm以上50mm以下の厚み)としているが、その厚みは製品仕様に応じて設計できる(なお金属板11の厚みが0.1mm以下の場合、放熱性や強度的に不足する可能性がある。また金属板11の厚みが50mmを超えると、重量面で不利になる)。金属板11としては、単なる板状のものだけでなく、より放熱性を高めるため、伝熱層12を積層した面とは反対側の面に、表面積を広げるためにフィン部(あるいは凹凸部)を形成しても良い。全膨張係数は8〜20ppm/℃としており、本発明の熱伝導基板や、これを用いた電源ユニット全体の反りや歪みを小さくできる。またこれらの部品を表面実装する際、互いに熱膨張係数をマッチングさせることは信頼性的にも重要となる。   The metal plate 11 is made of aluminum, copper, or an alloy containing them as a main component, which has good thermal conductivity. In particular, in the present embodiment, the thickness of the metal plate 11 is 1 mm (desirably 0.1 mm or more and 50 mm or less), but the thickness can be designed according to product specifications (note that the thickness of the metal plate 11 is 0.2 mm). If the thickness is less than 1 mm, heat dissipation and strength may be insufficient, and if the thickness of the metal plate 11 exceeds 50 mm, it is disadvantageous in terms of weight). The metal plate 11 is not only a plate-like one, but also fin portions (or uneven portions) for increasing the surface area on the surface opposite to the surface on which the heat transfer layer 12 is laminated in order to further improve heat dissipation. May be formed. The total expansion coefficient is 8 to 20 ppm / ° C., and warpage and distortion of the heat conductive substrate of the present invention and the entire power supply unit using the same can be reduced. In addition, when these components are surface-mounted, matching the thermal expansion coefficients with each other is also important in terms of reliability.

(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2における熱伝導基板について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 2)
Hereinafter, the heat conductive substrate according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図7は、本発明の実施の形態における熱伝導基板の斜視図である。図7と図1の違いは、リードフレーム13の一部(例えば、その先端部)を、熱伝導基板の外周部で伝熱層から複数回折り曲げ、その折り曲げ部に発熱部品15を実装(あるいは包み込むように固定)している点である。   FIG. 7 is a perspective view of the heat conductive substrate in the embodiment of the present invention. The difference between FIG. 7 and FIG. 1 is that a part of the lead frame 13 (for example, the tip thereof) is bent a plurality of times from the heat transfer layer at the outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and the heat generating component 15 is mounted on the bent portion (or It is fixed to wrap it around.

図7において、リードフレーム13の一部(例えば、図1に示すように熱伝導基板の外周部、あるいはその周縁部)を、複数回折り曲げ、折り曲げた部分のリードフレーム13に(あるいは複数回折り曲げたリードフレーム13で囲まれた中に)、発熱部品15(発熱部品15に形成したリード線やその半田付け部分等は、図1においては図示していない)を実装している。そして必要に応じて、その内側(あるいはリードフレーム13の発熱部品15を実装していない面側)に絶縁伝導接着剤16を介して、放熱用のフィン17を固定する。こうすることで、発熱部品15に発生した熱を、フィン17を介して空冷する。また必要に応じて、フィン17の数を増やし、例えば図1に示すように熱伝導基板の表面(あるいは上面)は、複数のフィン17で覆うこともできる。そしてこの複数のフィン17を、空冷用のファン18を、矢印19aのように回転することで、発生した風(矢印19bで図示)で空冷することになる。なお図1において、熱伝導基板の外周部(あるいは周縁部)のすべてのリードフレーム13を折り曲げる必要は無い。これは後述する図2や図3で、熱伝導基板とプリント配線板とを、電気的に接続するためである。   In FIG. 7, a part of the lead frame 13 (for example, the outer peripheral portion of the heat conductive substrate or its peripheral portion as shown in FIG. 1) is bent a plurality of times and bent into the lead frame 13 (or the plurality of bent portions). The heat generating component 15 (the lead wire formed on the heat generating component 15 and the soldered portion thereof are not shown in FIG. 1) is mounted. Then, if necessary, the heat dissipating fins 17 are fixed to the inner side (or the side of the lead frame 13 where the heat generating component 15 is not mounted) via the insulating conductive adhesive 16. In this way, the heat generated in the heat generating component 15 is air-cooled through the fins 17. If necessary, the number of fins 17 can be increased, and for example, as shown in FIG. 1, the surface (or upper surface) of the heat conductive substrate can be covered with a plurality of fins 17. The plurality of fins 17 are cooled by the generated wind (shown by the arrow 19b) by rotating the air cooling fan 18 as shown by the arrow 19a. In FIG. 1, it is not necessary to bend all the lead frames 13 on the outer peripheral portion (or the peripheral portion) of the heat conducting substrate. This is for electrically connecting the heat conductive substrate and the printed wiring board in FIGS. 2 and 3 described later.

実施の形態2では、放熱が必要な電子部品(例えば、発熱が伴う発熱部品15や、トランス等14)を熱伝導基板の上に集中させることができる。このように発熱源となる発熱部品15やトランス等14を高密度に集合させた(あるいは実装させた)場合でも、図1に示すように、熱伝導基板の上面の多くの部分(例えば、殆どの部分を)フィン17で覆うことができ、ファン18等で集中的に冷却することができ、その冷却効率を高めることができる。なお図1では強制空冷としたが、他の方法(例えば、ヒートパイプを用いる、水冷循環設備を用いる)等でも、同様の効果が得られる。そして、本実施の形態における熱伝導基板は、単独でもその放熱効果が優れたものであるが、プリント配線板と組み合わせて回路モジュールとすることで、更に利用価値を高めることができる。   In the second embodiment, electronic components that require heat dissipation (for example, the heat-generating component 15 that generates heat and the transformer 14) can be concentrated on the heat conductive substrate. Even when the heat generating components 15 and the transformers 14 serving as heat sources are assembled (or mounted) with high density in this way, as shown in FIG. Can be covered with the fins 17 and can be intensively cooled by the fan 18 or the like, and the cooling efficiency can be increased. Although forced air cooling is used in FIG. 1, the same effect can be obtained by other methods (for example, using a heat pipe or a water-cooled circulation facility). And although the heat conductive board in this Embodiment is the thing excellent in the heat dissipation effect by itself, it can raise a utility value further by combining with a printed wiring board and setting it as a circuit module.

次に図8を用いて、放熱効果について説明する。図8(A)(B)は、それぞれ回路モジュールの組立方を説明する断面図と、その放熱効果について説明する断面図である。   Next, the heat dissipation effect will be described with reference to FIG. 8A and 8B are a cross-sectional view for explaining how to assemble the circuit module and a cross-sectional view for explaining the heat dissipation effect.

図8(A)(B)に示すように、このリード線21(あるいはリード線21の少なくとも一部以上)を、プリント配線板24に形成した孔26bに差込み(あるいは孔26bを用いて実装することで)、発熱部品15をプリント配線板24上に実装し電子部品23(例えば、パワー半導体を制御するための制御用半導体等)に近づけて(あるいは高密度に)実装することができる。なお熱伝導基板と、プリント配線板24との接続には、熱伝導基板から横に伸びるリードフレーム13の一部を用いることもできる。なお熱伝導基板とプリント配線板24を接続するリードフレーム13は、その先端部を複数回折り曲げたものとし、この折り曲げ部分を、プリント配線板24に形成した孔26bに差し込むようにすることで、作業性や接続安定性を高めることができる。   As shown in FIGS. 8A and 8B, the lead wire 21 (or at least a part of the lead wire 21) is inserted into the hole 26b formed in the printed wiring board 24 (or mounted using the hole 26b). Thus, the heat generating component 15 can be mounted on the printed wiring board 24 and mounted close to (or at a high density) the electronic component 23 (for example, a control semiconductor for controlling the power semiconductor). A part of the lead frame 13 extending laterally from the heat conductive substrate can be used for connection between the heat conductive substrate and the printed wiring board 24. Note that the lead frame 13 connecting the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 has its tip end bent a plurality of times, and the bent portion is inserted into the hole 26b formed in the printed wiring board 24. Workability and connection stability can be improved.

そして、熱伝導基板は、プリント配線板24に形成した孔26aに挿入するようにして、矢印19aのように、シャーシ25の上にセットする。なお図8(A)(B)では、プリント配線板24に対して、上側から熱伝導基板を挿入(あるいはセット)するように図示しているが、逆にすることも可能である。例えば熱伝導基板の上に、プリント配線板24を挿入(あるいはセット)するようにしても良い。この場合、図8(A)(B)に示すリードフレーム13と、プリント配線板24の孔26bの挿入部(あるいはそのリードフレーム13の先端を孔26bに挿入するように曲げた部分)は、上下反転(下から上に挿入するように、あるいはプリント配線板24の上に熱伝導基板を挿入するように)しても良い。   The heat conductive substrate is set on the chassis 25 as indicated by an arrow 19a so as to be inserted into the hole 26a formed in the printed wiring board 24. In FIGS. 8A and 8B, the heat conductive substrate is inserted (or set) from the upper side with respect to the printed wiring board 24, but the reverse is also possible. For example, the printed wiring board 24 may be inserted (or set) on the heat conductive substrate. In this case, the lead frame 13 shown in FIGS. 8A and 8B and the insertion portion of the hole 26b of the printed wiring board 24 (or the portion bent so that the tip of the lead frame 13 is inserted into the hole 26b) It may be turned upside down (inserted from bottom to top, or inserted a heat conductive substrate on the printed wiring board 24).

なお図8(A)(B)で、プリント配線板24に形成した孔26bに挿入するリードフレーム13の先端は、折り曲げ、プリント配線板24に挿入するようにすることが望ましい。プリント配線板24に形成した孔26bに挿入し(あるいは突き刺して)、半田付けすることで、リードフレーム13とプリント配線板24との半田付け部の信頼性を高めることができる。その結果、半田接続部分の接続抵抗を下げることができ、熱伝導基板の大電流化にも対応できる。また必要に応じて孔26bの内部にスルーホールめっきすることで、更に信頼性を高めることができる。   8A and 8B, it is preferable that the tip of the lead frame 13 inserted into the hole 26b formed in the printed wiring board 24 is bent and inserted into the printed wiring board 24. By inserting (or piercing) into the hole 26b formed in the printed wiring board 24 and soldering, the reliability of the soldered portion between the lead frame 13 and the printed wiring board 24 can be improved. As a result, it is possible to reduce the connection resistance of the solder connection portion, and to cope with an increase in current of the heat conduction substrate. Further, reliability can be further improved by plating through holes 26b as needed.

ここで発熱が課題とならない電子部品23等は、プリント配線板24側に高密度に実装することが、低コスト化、小型化に有利であるためである。しかしこうした電子部品23に近接して発熱部品15を実装した場合、発熱部品15に発生する熱が、電子部品23等に影響を与えてしまう。しかし本実施の形態においては、図8(B)に示すようにプリント配線板24の上に、リード線21を用いて実装した発熱部品15に発生した熱は、図8(B)に示すように、熱伝導基板側に放熱することができ、熱の影響を抑えることができ、回路モジュールの小型化が可能となる。   This is because it is advantageous for cost reduction and miniaturization to mount the electronic parts 23 and the like that do not generate heat at high density on the printed wiring board 24 side. However, when the heat generating component 15 is mounted close to the electronic component 23, the heat generated in the heat generating component 15 affects the electronic component 23 and the like. However, in the present embodiment, as shown in FIG. 8B, the heat generated in the heat generating component 15 mounted on the printed wiring board 24 using the lead wires 21 as shown in FIG. In addition, heat can be radiated to the heat conductive substrate side, the influence of heat can be suppressed, and the circuit module can be miniaturized.

図8(B)は、回路モジュールにおける放熱メカニズムを説明する断面図である。図8(B)において、矢印19bは、放熱用のファン18が回転する様子を示す。また矢印19cは、発熱部品15やトランス等14に発生した熱が、広がる方向等を示す。図8(B)において、発熱部品15に発生した熱は、リードフレーム13に伝わる。そしてリードフレーム13に伝わった熱の一部は、絶縁伝導接着剤16を介してフィン17に伝わり、空冷される。またリードフレーム13の熱の一部は、リードフレーム13の一部以上を埋め込む伝熱層12を介して、金属板11に伝わる。ここで金属板11を、シャーシ25にネジ等で固定(固定方法は図示していない)しておくことで、金属板11に伝わった熱は、矢印19cに示すように、シャーシ25へと広がる。   FIG. 8B is a cross-sectional view illustrating a heat dissipation mechanism in the circuit module. In FIG. 8B, an arrow 19b indicates how the heat dissipating fan 18 rotates. An arrow 19c indicates a direction in which heat generated in the heat generating component 15, the transformer 14 or the like spreads. In FIG. 8B, the heat generated in the heat generating component 15 is transmitted to the lead frame 13. A part of the heat transferred to the lead frame 13 is transferred to the fins 17 through the insulating conductive adhesive 16 and is air-cooled. A part of the heat of the lead frame 13 is transmitted to the metal plate 11 through the heat transfer layer 12 in which a part or more of the lead frame 13 is embedded. Here, by fixing the metal plate 11 to the chassis 25 with screws or the like (the fixing method is not shown), the heat transmitted to the metal plate 11 spreads to the chassis 25 as indicated by an arrow 19c. .

更にファン18を矢印19bに示すように回転することで(例えば、風を吸い込むようにすることで)、シャーシ25とプリント配線板24の隙間から、矢印19cに示すように、冷却用の空気を効率良く吸い込むことができる。この場合、複数回折り曲げたリードフレーム13の一部や、フィン17等を組み合わせて、積極的に煙突構造を構成するようにすることで、煙突効果による効率的な空冷効果も得られる。ここで煙突効果とは、例えば煙突状の空間の中で、空気を暖めた場合、温まって密度が小さくなった空気が煙突の上方に浮上すると同時に、煙突の下の方から冷たい空気を吸い込む効果のことである。そして発熱部品15やトランス等14に発生した熱によって、フィン17を暖め煙突効果を発生させることができる。このように図8(A)(B)に示す構造とすることで、シャーシ25等への直接的な熱伝導以外に、ファン18や煙突効果による積極的な空冷効果も生かすことができる。   Further, by rotating the fan 18 as indicated by an arrow 19b (for example, by sucking wind), air for cooling is supplied from the gap between the chassis 25 and the printed wiring board 24 as indicated by an arrow 19c. You can inhale efficiently. In this case, an efficient air cooling effect due to the chimney effect can be obtained by combining the part of the lead frame 13 bent a plurality of times, the fins 17 and the like to positively form the chimney structure. Here, the chimney effect is, for example, the effect of inhaling cold air from the bottom of the chimney, when the air is warmed in a chimney-like space, and the air that has become warmer and has a lower density rises above the chimney. That is. And the heat | fever which generate | occur | produced in the heat-emitting component 15 or the transformer 14 can warm the fin 17 and can generate | occur | produce a chimney effect. By adopting the structure shown in FIGS. 8A and 8B in this way, in addition to direct heat conduction to the chassis 25 and the like, a positive air cooling effect due to the fan 18 and the chimney effect can be utilized.

なおプリント配線板24とシャーシ25の間を一定距離(例えば3〜20mm、望ましくは5〜10mm)離すことで、シャーシ25に伝わった熱の積極的な煙突効果による吸出しも可能となり、熱伝導基板部分のみならず、シャーシ25の冷却効果も得られる。   Note that by separating the printed wiring board 24 and the chassis 25 by a certain distance (for example, 3 to 20 mm, preferably 5 to 10 mm), the heat transferred to the chassis 25 can be sucked out by a positive chimney effect. The cooling effect of the chassis 25 can be obtained as well as the portion.

なお図8(A)(B)において、熱伝導基板とプリント配線板24の電気的な接続は、発熱部品15から伸びるリード線21と、リードフレーム13とを、それぞれ用途に応じて併用することで、回路設計やその熱対策を容易にできることは言うまでもない。   In FIGS. 8A and 8B, the electrical connection between the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 uses the lead wire 21 extending from the heat-generating component 15 and the lead frame 13 in accordance with the respective applications. Needless to say, circuit design and thermal countermeasures can be easily achieved.

更に図8(B)に示すように、発熱部品15の金属部20を活電部として、リードフレーム13に直接、半田付けすることで発熱部品15との接続信頼性や接続強度を高められる。更に(あるいは同時に)発熱部品15のリード線21をプリント配線板24に接続することで、その回路パターンの引き回し距離(あるいは線路長)を短くできる。   Further, as shown in FIG. 8B, the reliability and connection strength with the heat generating component 15 can be improved by soldering directly to the lead frame 13 using the metal portion 20 of the heat generating component 15 as a live part. Further (or at the same time), by connecting the lead wire 21 of the heat generating component 15 to the printed wiring board 24, the circuit pattern routing distance (or line length) can be shortened.

なお発熱部品15の金属部20を、直接リードフレーム13に接続し、発熱部品15のリード線21をプリント配線板24に接続することで、回路パターンの引き回し距離が短くなり、機器の小型化を可能にする。   By connecting the metal part 20 of the heat generating component 15 directly to the lead frame 13 and connecting the lead wire 21 of the heat generating component 15 to the printed wiring board 24, the circuit pattern routing distance can be shortened and the device can be downsized. enable.

次に図9(A)〜(C)を用いて、回路モジュールの放熱効果の改善例について説明する。図9(A)〜(C)は、共に回路モジュールの放熱効果の改善例を示す部分断面図であり、例えば前述の図8(A)の側面部分(例えば右側面)の断面図に相当する。なお図9(A)〜(C)において、(中央部省略)と図示しているのは、回路モジュールの部分断面であることを示すためのものである。図9(A)は、複数回折り曲げてなるリードフレーム13aの内部に、矢印19aが示すように発熱部品15、絶縁伝導接着剤16a、16b、フィン17bを順番にセットする様子を示す。図9(B)は、複数回折り曲げてなるリードフレーム13aの中(あるいは折り曲げた中)に、発熱部品15をセットし、更に絶縁伝導接着剤16bで固定した様子を示す。そしてこの上に、絶縁伝導接着剤16bを用いて、フィン17bを固定する。図9(C)は、こうして作成した回路モジュールの放熱効果を説明する断面図である。図9(C)において、矢印19bは、発熱部品15に発生した熱が、フィン17a、17b等を介して放熱する様子を示す。なお図9(A)〜(C)における発熱部品15としては、樹脂モールドしたものを使うことができる。図9(B)(C)に示すように、発熱部品15の一部(例えば、フィン17c部分)を、複数回折り曲げてなるリードフレーム13aで囲っても良い。更に囲った後、ネジ止めし(図4においてネジ等は図示していない)、絶縁伝導接着剤16で固定することで、発熱部品15に発生した熱を、多面的(あるいは発熱部品15の上面や下面、側面等から)にリードフレーム13aやフィン17bに伝える。   Next, an example of improving the heat dissipation effect of the circuit module will be described with reference to FIGS. FIGS. 9A to 9C are partial cross-sectional views showing examples of improving the heat dissipation effect of the circuit module, and correspond to, for example, the cross-sectional view of the side surface portion (for example, the right side surface) of FIG. 8A described above. . In FIGS. 9A to 9C, (the center portion is omitted) is shown to indicate a partial cross section of the circuit module. FIG. 9A shows a state in which the heat generating component 15, the insulating conductive adhesives 16a and 16b, and the fins 17b are sequentially set in the lead frame 13a formed by bending multiple times as indicated by an arrow 19a. FIG. 9B shows a state in which the heat generating component 15 is set in a lead frame 13a bent (or bent) and bent with an insulating conductive adhesive 16b. And the fin 17b is fixed on this using the insulating conductive adhesive 16b. FIG. 9C is a cross-sectional view for explaining the heat dissipation effect of the circuit module thus created. In FIG. 9C, an arrow 19b indicates how heat generated in the heat generating component 15 is dissipated through the fins 17a, 17b and the like. In addition, as the heat-emitting component 15 in FIGS. 9A to 9C, a resin-molded one can be used. As shown in FIGS. 9B and 9C, a part of the heat generating component 15 (for example, the fin 17c portion) may be surrounded by a lead frame 13a formed by bending multiple times. After further enclosing, screws (screws and the like are not shown in FIG. 4) and fixing with an insulating conductive adhesive 16, heat generated in the heat generating component 15 is multifaceted (or the upper surface of the heat generating component 15). To the lead frame 13a and the fin 17b.

以上のようにして、金属板11と、前記金属板11の上に固定したシート状の伝熱層12と、前記伝熱層12に固定したリードフレーム13と、からなる熱伝導基板であって、前記リードフレーム13の一部を、前記熱伝導基板の外周部で前記伝熱層12から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部に発熱部品15を実装している熱伝導基板を提供することができ、熱伝導基板の放熱性や小型化(あるいは床面積の低減)を実現することができる。   As described above, the heat conductive substrate includes the metal plate 11, the sheet-like heat transfer layer 12 fixed on the metal plate 11, and the lead frame 13 fixed to the heat transfer layer 12. It is possible to provide a heat conductive substrate in which a part of the lead frame 13 is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer 12 at the outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and the heat generating component 15 is mounted on the bent portion. In addition, heat dissipation and miniaturization (or reduction in floor area) of the heat conductive substrate can be realized.

また金属板11と、前記金属板11の上に固定したシート状の伝熱層12と、前記伝熱層12に一部以上を埋め込んだリードフレーム13と、からなる熱伝導基板であって、前記リードフレーム13の一部を、前記熱伝導基板の外周部で前記伝熱層12から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部にフィン17を取り付けている熱伝導基板とすることで、熱伝導基板の放熱性や小型化(あるいは床面積の低減)を実現することができる。   A heat conductive substrate comprising a metal plate 11, a sheet-like heat transfer layer 12 fixed on the metal plate 11, and a lead frame 13 having a part or more embedded in the heat transfer layer 12, A portion of the lead frame 13 is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer 12 at the outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and a fin 17 is attached to the bent portion, thereby forming a heat conductive substrate. Heat dissipation and downsizing (or floor area reduction) can be realized.

また図7等に示すように、金属板11と、前記金属板11の上に固定したシート状の伝熱層12と、前記伝熱層12に固定したリードフレーム13と、からなる熱伝導基板として、そのリードフレーム13の一部を、前記熱伝導基板の外周部で前記伝熱層12から複数回折り曲げ、その折り曲げ部に発熱部品15を実装することで、その放熱性を高めることができる。   Further, as shown in FIG. 7 and the like, a heat conductive substrate comprising a metal plate 11, a sheet-like heat transfer layer 12 fixed on the metal plate 11, and a lead frame 13 fixed to the heat transfer layer 12. As described above, a part of the lead frame 13 is bent a plurality of times from the heat transfer layer 12 at the outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and the heat-radiating component 15 is mounted on the bent portion, thereby improving the heat dissipation. .

あるいは、金属板11と、前記金属板11の上に固定したシート状の伝熱層12と、前記伝熱層12に一部以上を埋め込んだリードフレーム13と、からなる熱伝導基板であって、前記リードフレーム13の一部を、前記熱伝導基板の外周部で前記伝熱層12から複数回折り曲げ、その折り曲げ部にフィン17を取り付けている熱伝導基板とすることで、その放熱性を高めることができる。   Alternatively, a heat conductive substrate comprising a metal plate 11, a sheet-like heat transfer layer 12 fixed on the metal plate 11, and a lead frame 13 in which a part or more is embedded in the heat transfer layer 12, A part of the lead frame 13 is bent a plurality of times from the heat transfer layer 12 at the outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and a heat conductive substrate in which fins 17 are attached to the bent portion, thereby improving the heat dissipation. Can be increased.

また伝熱層12は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、及びイソシアネート樹脂からなる群から選択される少なくとも一種類以上の樹脂と、アルミナ、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化珪素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種類以上の無機フィラーと、を含む熱伝導基板とすることで、熱伝導基板の放熱性や小型化(あるいは床面積の低減)を実現することができる。   The heat transfer layer 12 includes at least one resin selected from the group consisting of epoxy resins, phenol resins, and isocyanate resins, and alumina, magnesium oxide, boron nitride, silicon oxide, silicon carbide, silicon nitride, and aluminum nitride. By using a heat conductive substrate that includes at least one inorganic filler selected from the group consisting of the above, it is possible to achieve heat dissipation and downsizing (or floor area reduction) of the heat conductive substrate.

リードフレーム13は、Snは0.1重量%以上0.15重量%以下、Zrは0.015重量%以上0.15重量%以下、Niは0.1重量%以上5重量%以下、Siは0.01重量%以上2重量%以下、Znは0.1重量%以上5重量%以下、Pは0.005重量%以上0.1重量%以下、Feは0.1重量%以上5重量%以下である群から選択される少なくとも一種以上を含む、銅を主体とする金属材料である熱伝導基板とすることで、熱伝導基板の放熱性や小型化(あるいは床面積の低減)を実現することができる。   In the lead frame 13, Sn is 0.1 wt% or more and 0.15 wt% or less, Zr is 0.015 wt% or more and 0.15 wt% or less, Ni is 0.1 wt% or more and 5 wt% or less, Si is 0.01% to 2% by weight, Zn is 0.1% to 5% by weight, P is 0.005% to 0.1% by weight, Fe is 0.1% to 5% by weight Realizing heat dissipation and miniaturization (or floor area reduction) of a heat conductive substrate by using a heat conductive substrate that is a metal material mainly composed of copper, including at least one selected from the following group: be able to.

少なくとも、金属板11と、リードフレーム13とを、伝熱層12を介して一体化する工程と、前記伝熱層12を硬化させる工程と、前記リードフレーム13の表面に、発熱部品15やトランス等14の電子部品を実装する工程と、前記リードフレーム13の表面にフィン17を取り付ける工程と、前記リードフレーム13を略垂直に折り曲げる工程とを、含む熱伝導基板の製造方法とすることで、放熱性の優れた小型(あるいは床面積の小さい)熱伝導基板を製造することができる。なおこれらの工程順番(例えば発熱部品15を実装した後、リードフレーム13を折り曲げる)は、用途に応じて前後することができることは、言うまでも無い。   At least a step of integrating the metal plate 11 and the lead frame 13 via the heat transfer layer 12, a step of curing the heat transfer layer 12, and a heat generating component 15 or a transformer on the surface of the lead frame 13. A method of manufacturing a heat conductive substrate including a step of mounting electronic components such as 14, a step of attaching fins 17 to the surface of the lead frame 13, and a step of bending the lead frame 13 substantially vertically; A small (or small floor area) heat conductive substrate with excellent heat dissipation can be manufactured. Needless to say, the order of these steps (for example, the lead frame 13 is bent after the heat-generating component 15 is mounted) can be changed depending on the application.

少なくとも、プリント配線板24と、熱伝導基板と、発熱部品15とからなる回路モジュールであって、前記熱伝導基板は、金属板11と、前記金属板11の上に固定したシート状の伝熱層12と、前記伝熱層12に一部以上を埋め込んだリードフレーム13と、からなり、前記リードフレーム13の一部は外周部で前記伝熱層12から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部に前記発熱部品15の一部を実装したものであり、前記熱伝導基板は、前記プリント配線板24に形成した孔26a、26bに挿入したものであって、前記熱伝導基板と前記プリント配線板24とは、前記発熱部品15のリード線21もしくは、前記リードフレーム13を介して電気的に接続している回路モジュールとすることで、回路モジュールの小型化が可能となる。また回路モジュールを小型化することで、配線長を短くでき、DCDCコンバーター等における配線長さを短くしたり、最適化設計することができ、回路動作を安定化できる。   A circuit module comprising at least a printed wiring board 24, a heat conductive substrate, and a heat generating component 15, wherein the heat conductive substrate is a metal plate 11 and a sheet-like heat transfer fixed on the metal plate 11. A layer 12 and a lead frame 13 in which a part or more is embedded in the heat transfer layer 12, and a part of the lead frame 13 is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer 12 at the outer peripheral portion. A part of the heat generating component 15 is mounted, and the heat conductive substrate is inserted into holes 26 a and 26 b formed in the printed wiring board 24, and the heat conductive substrate and the printed wiring board 24 are provided. Is a circuit module that is electrically connected via the lead wire 21 of the heat generating component 15 or the lead frame 13, so that the circuit module can be reduced in size.Further, by reducing the size of the circuit module, the wiring length can be shortened, the wiring length in the DCDC converter or the like can be shortened, or the optimization design can be performed, and the circuit operation can be stabilized.

そして、金属板11上に、シート状の伝熱層12と、前記伝熱層12に固定したリードフレーム13とからなる熱伝導基板において、前記リードフレーム13の一部を熱伝導基板の外周部で略垂直に折り曲げ、ここに発熱部品15(例えば、その金属部20側をリードフレーム13側に、そのリード線21側をプリント配線板24側に)を実装することで、熱伝導基板の放熱効果を高め、その床面積を小さくすることができる。   And in the heat conductive board which consists of the sheet-like heat-transfer layer 12 on the metal plate 11, and the lead frame 13 fixed to the said heat-transfer layer 12, a part of said lead frame 13 is outer peripheral part of a heat-conductive board | substrate. The heat-generating component 15 (for example, the metal part 20 side on the lead frame 13 side and the lead wire 21 side on the printed wiring board 24 side) is mounted on the heat-generating part 15 here. The effect can be enhanced and the floor area can be reduced.

以上のように、本発明にかかる熱伝導基板とその製造方法及びこれを用いた回路モジュールによって、プラズマテレビ、液晶テレビ、あるいは車載用各種電装品、あるいは産業用の放熱が要求される機器の小型化、高性能化が可能となる。   As described above, the heat conductive substrate according to the present invention, the manufacturing method thereof, and the circuit module using the substrate can reduce the size of plasma televisions, liquid crystal televisions, various in-vehicle electrical components, or devices requiring industrial heat dissipation. And high performance.

本発明の実施の形態における熱伝導基板の斜視図The perspective view of the heat conductive board | substrate in embodiment of this invention (A)(B)は、それぞれ発熱部品15を説明する断面図と斜視図(A) and (B) are a sectional view and a perspective view, respectively, for explaining the heat generating component 15. (A)(B)は、それぞれ回路モジュールの組立方を説明する断面図と、その放熱効果について説明する断面図(A) (B) is sectional drawing explaining the assembly method of a circuit module, respectively, and sectional drawing explaining the heat dissipation effect (A)(B)は、それぞれ回路モジュールの組立方を説明する断面図と、その放熱効果について説明する断面図(A) (B) is sectional drawing explaining the assembly method of a circuit module, respectively, and sectional drawing explaining the heat dissipation effect (A)(B)は、共に熱伝導基板を組み立てる様子を説明する断面図(A) (B) is sectional drawing explaining a mode that a heat conductive board is assembled together. (A)(B)は、共に熱伝導基板の製造方法を説明する断面図(A) (B) is sectional drawing explaining the manufacturing method of a heat conductive board | substrate together 本発明の実施の形態における熱伝導基板の斜視図The perspective view of the heat conductive board | substrate in embodiment of this invention (A)(B)は、それぞれ回路モジュールの組立方を説明する断面図と、その放熱効果について説明する断面図(A) (B) is sectional drawing explaining the assembly method of a circuit module, respectively, and sectional drawing explaining the heat dissipation effect (A)〜(C)は、共に回路モジュールの放熱効果の改善例を示す部分断面図(A)-(C) are partial sectional views showing an improvement example of the heat dissipation effect of the circuit module. 従来の回路モジュールを説明する斜視図The perspective view explaining the conventional circuit module

符号の説明Explanation of symbols

11 金属板
12 伝熱層
13 リードフレーム
14 トランス等
15 発熱部品
16 絶縁伝導接着剤
17 フィン
18 ファン
19 矢印
20 金属部
21 リード線
22 樹脂部
23 電子部品
24 プリント配線板
25 シャーシ
26 孔
27 プレス
28 フィルム
29 V溝
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Metal plate 12 Heat transfer layer 13 Lead frame 14 Transformer etc. 15 Heat generating component 16 Insulating conductive adhesive 17 Fin 18 Fan 19 Arrow 20 Metal part 21 Lead wire 22 Resin part 23 Electronic component 24 Printed wiring board 25 Chassis 26 Hole 27 Press 28 Film 29 V-groove

Claims (6)

金属板と、前記金属板の上に固定したシート状の伝熱層と、前記伝熱層に固定したリードフレームと、からなる熱伝導基板であって、
前記リードフレームの一部を、前記熱伝導基板の外周部で前記伝熱層から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部に発熱部品を実装している熱伝導基板。
A heat conductive substrate comprising a metal plate, a sheet-like heat transfer layer fixed on the metal plate, and a lead frame fixed to the heat transfer layer,
A heat conductive substrate in which a part of the lead frame is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer at an outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and a heat generating component is mounted on the bent portion.
金属板と、前記金属板の上に固定したシート状の伝熱層と、前記伝熱層に一部以上を埋め込んだリードフレームと、からなる熱伝導基板であって、
前記リードフレームの一部を、前記熱伝導基板の外周部で前記伝熱層から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部にフィンを取り付けている熱伝導基板。
A heat conductive substrate comprising a metal plate, a sheet-like heat transfer layer fixed on the metal plate, and a lead frame embedded in part or more in the heat transfer layer,
A heat conductive substrate in which a part of the lead frame is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer at an outer peripheral portion of the heat conductive substrate, and fins are attached to the bent portion.
伝熱層は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、及びイソシアネート樹脂からなる群から選択される少なくとも一種類以上の樹脂と、
アルミナ、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化珪素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種類以上の無機フィラーと、
を含む請求項1または請求項2に記載の熱伝導基板。
The heat transfer layer includes at least one resin selected from the group consisting of an epoxy resin, a phenol resin, and an isocyanate resin;
At least one inorganic filler selected from the group consisting of alumina, magnesium oxide, boron nitride, silicon oxide, silicon carbide, silicon nitride, and aluminum nitride;
The heat conductive board according to claim 1 or 2 containing.
リードフレームは、Snは0.1重量%以上0.15重量%以下、Zrは0.015重量%以上0.15重量%以下、Niは0.1重量%以上5重量%以下、Siは0.01重量%以上2重量%以下、Znは0.1重量%以上5重量%以下、Pは0.005重量%以上0.1重量%以下、Feは0.1重量%以上5重量%以下である群から選択される少なくとも一種以上を含む、銅を主体とする金属材料である請求項1または請求項2に記載の熱伝導基板。 In the lead frame, Sn is 0.1% by weight to 0.15% by weight, Zr is 0.015% by weight to 0.15% by weight, Ni is 0.1% by weight to 5% by weight, and Si is 0%. 0.01 wt% or more and 2 wt% or less, Zn is 0.1 wt% or more and 5 wt% or less, P is 0.005 wt% or more and 0.1 wt% or less, Fe is 0.1 wt% or more and 5 wt% or less The heat conductive substrate according to claim 1 or 2, wherein the heat conductive substrate is a metal material mainly composed of copper, including at least one selected from the group consisting of: 少なくとも、金属板と、リードフレームとを、伝熱層を介して一体化する工程と、
前記伝熱層を硬化させる工程と、
前記リードフレームの表面に電子部品を実装する工程と、
前記リードフレームの表面にフィンを取り付ける工程と、
前記リードフレームを略垂直に折り曲げる工程とを、含む熱伝導基板の製造方法。
At least a step of integrating the metal plate and the lead frame via the heat transfer layer;
Curing the heat transfer layer;
Mounting electronic components on the surface of the lead frame;
Attaching fins to the surface of the lead frame;
And a step of bending the lead frame substantially vertically.
少なくとも、プリント配線板と、熱伝導基板と、発熱部品とからなる回路モジュールであって、
前記熱伝導基板は、金属板と、前記金属板の上に固定したシート状の伝熱層と、前記伝熱層に一部以上を埋め込んだリードフレームと、からなり、
前記リードフレームの一部は外周部で前記伝熱層から略垂直に折り曲げ、その折り曲げ部に前記発熱部品の一部を実装したものであり、
前記熱伝導基板は、前記プリント配線板に形成した孔に挿入したものであって、
前記熱伝導基板と前記プリント配線板とは、前記発熱部品のリード線もしくは、前記リードフレームを介して電気的に接続している回路モジュール。
At least a circuit module comprising a printed wiring board, a heat conductive substrate, and a heat generating component,
The heat conductive substrate comprises a metal plate, a sheet-like heat transfer layer fixed on the metal plate, and a lead frame embedded in part or more in the heat transfer layer,
A part of the lead frame is bent substantially perpendicularly from the heat transfer layer at the outer periphery, and a part of the heat generating component is mounted on the bent part.
The thermally conductive substrate is inserted into a hole formed in the printed wiring board,
The circuit module in which the heat conductive substrate and the printed wiring board are electrically connected via a lead wire of the heat generating component or the lead frame.
JP2007068400A 2007-03-16 2007-03-16 Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same Pending JP2008235321A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007068400A JP2008235321A (en) 2007-03-16 2007-03-16 Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007068400A JP2008235321A (en) 2007-03-16 2007-03-16 Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008235321A true JP2008235321A (en) 2008-10-02

Family

ID=39907834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007068400A Pending JP2008235321A (en) 2007-03-16 2007-03-16 Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008235321A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013239676A (en) * 2012-05-17 2013-11-28 Toyota Industries Corp Cooler and manufacturing method of the same
JP2017055137A (en) * 2013-03-15 2017-03-16 エクスカリバー アイピー リミテッド ライアビリティ カンパニー Ambient cooling of server of data center
CN108490723A (en) * 2015-05-12 2018-09-04 苏州佳世达光电有限公司 Projection arrangement

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013239676A (en) * 2012-05-17 2013-11-28 Toyota Industries Corp Cooler and manufacturing method of the same
JP2017055137A (en) * 2013-03-15 2017-03-16 エクスカリバー アイピー リミテッド ライアビリティ カンパニー Ambient cooling of server of data center
CN108490723A (en) * 2015-05-12 2018-09-04 苏州佳世达光电有限公司 Projection arrangement

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4007304B2 (en) Semiconductor device cooling structure
JPWO2007037190A1 (en) Heat dissipation wiring board, manufacturing method thereof, and electric equipment using heat dissipation wiring board
JP5446302B2 (en) Heat sink and module
JP4882562B2 (en) Thermally conductive substrate, manufacturing method thereof, power supply unit, and electronic device
JP4992532B2 (en) Heat dissipation board and manufacturing method thereof
JP2008192787A (en) Heat conduction board, circuit module using the same and its manufacturing method
JP4946488B2 (en) Circuit module
JP2008205344A (en) Conductive heat transfer board, manufacturing method therefor, and circuit module using the board
JP2008098493A (en) Heat-conducting substrate and manufacturing method thereof, and circuit module
JP5003202B2 (en) Thermally conductive substrate, manufacturing method thereof, and circuit module
JP2008124243A (en) Heat transfer substrate, its production process and circuit module
JP2008235321A (en) Heat conductive substrate and manufacturing method, and circuit module using the same
JP4924045B2 (en) Circuit module
JP2010003718A (en) Heat-dissipating substrate and its manufacturing method, and module using heat-dissipating substrate
JP4862601B2 (en) Thermally conductive substrate, manufacturing method thereof, and circuit module
JP2007227489A (en) Heat dissipation substrate, its production method and light emitting module employing it
JP2009218254A (en) Circuit module, and method of manufacturing the same
JP4635977B2 (en) Heat dissipation wiring board
JP2008098488A (en) Heat-conducting substrate, and manufacturing method thereof
JP2008177382A (en) Thermally conductive substrate, method of manufacturing the same, and circuit module using the same
JP2008021817A (en) Heat conducting base board, manufacturing method thereof, power supply unit, and electronic equipment
JP2008066360A (en) Heat dissipating wiring board and its manufacturing method
JP2008124242A (en) Heat transfer substrate, its production process and circuit module
JP2008177381A (en) Thermally conductive substrate, method of manufacturing the same, and module
JP2009188192A (en) Circuit device