JP2008232597A

JP2008232597A - 流体温調装置

Info

Publication number: JP2008232597A
Application number: JP2007076864A
Authority: JP
Inventors: Kenji Taguchi; 謙司田口
Original assignee: Komatsu Electronic Metals Co Ltd
Current assignee: Sumco Techxiv Corp
Priority date: 2007-03-23
Filing date: 2007-03-23
Publication date: 2008-10-02

Abstract

【課題】本発明は、被温調流体を加熱／冷却する温調ユニットを、断熱性および緩衝性を備えた保持体を介在させて、外部筐体の内部に収容設置して成る流体温調装置を対象とし、その目的は、振動や衝撃に起因する温調ユニットの外部筐体に対する位置ずれを防止し得る流体温調装置を提供することにある。
【解決手段】上記目的を達成するべく、本発明に関わる流体温調装置は、外部筐体の内部に収容された保持体に、温調ユニットと係合して該温調ユニットを保持する係合保持部を設け、保持体に対する温調ユニットの移動を規制するよう構成している。
【選択図】図１４

Description

本発明は、流体温調装置に関するものであり、詳しくは、被温調流体を加熱／冷却するための温調ユニットを、断熱性および緩衝性を備えた保持体を介在させて、外部筐体の内部に収容設置して成る流体温調装置の構成に関する。

例えば、半導体装置の製造分野においては、様々な製造プロセスに使用される薬液(被温調流体)を温度管理するために、ケミカルサーキュレータ(流体温調装置)が広く使用されており、このケミカルサーキュレータは、被温調流体を加熱／冷却するための温調ユニットを、ケーシング(外部筐体)の内部に収容設置することによって構成されている。

また、上記ケミカルサーキュレータにおいては、温調ユニットによる加熱／冷却の効率を向上させるため、ケーシングの内面に断熱材パネルを貼り付けて外部との断熱を図っている(例えば、特許文献１参照)。

図１６〜図１９は、従来のケミカルサーキュレータの一例を示しており、このケミカルサーキュレータＡは、ケーシング(外部筐体)Ｂの内部に、断熱性および緩衝性を備えた保持体Ｃを介在させて、温調ユニットＤを収容設置することにより構成されている。

上記ケーシングBは、後述する温調ユニットＤに沿って延在する直方体形状を呈しており、上面と一方の端面とが開放された本体Ｂａと、該本体Ｂａの上面を覆う上部パネルＢｂ、および上記本体Ｂａの端面を覆う正面パネルＢｃとを有し、これら上部パネルＢｂおよび正面パネルＢｃは、ケーシングBを密閉構造とするため、図示していないシール材を介して本体Ｂａにネジ止めされている。

一方、温調ユニットＤは、薬液の流入／排出される本体ブロックＤｂと、該本体ブロックＤｂにおける左右の側面に設置された伝熱板Ｄｐとを備え、本体ブロックＤｂの端部からは、導入パイプＤｉと排出パイプＤｏとが延出している。

また、各伝熱板Ｄｐの外面には熱電モジュールＤｍが取付けられ、さらに各熱電モジュールＤｍの外側には、該熱電モジュールＤｍの放熱／給熱を行う水冷板(ウォータジャケット)Ｄｃが取付けられている。

因みに、本体ブロックＤｂの流路(図示せず)を通過する薬液が伝熱板Ｄｐと接触することにより、該伝熱板Ｄｐを介して熱電モジュールＤｍと薬液との間で熱交換が行われ、上記薬液に対する温度の調節が為されることとなる。

上述したケーシングＢと温調ユニットＤとの間に介在する保持体Ｃは、断熱性および緩衝性を有する発泡スチロール材から形成され、一端が開口する直方体の筐体を左右に半割りとした左方保持体Ｃａと右方保持体Ｃｂとから成り、これら左方保持体Ｃａと右方保持体Ｃｂとを、温調ユニットＤの左右から被せて組み合わせることで、温調ユニットＤは保持体Ｃに収容されることとなる。

上述の如く、左方保持体Ｃａと右方保持体Ｃｂとを組付けて温調ユニットＤを保持体Ｃに収容し、次いで温調ユニットＤを収容した保持体ＣをケーシングＢの本体Ｂａに嵌入れた後、上記本体Ｂａ上部パネルＢｂと正面パネルＢｃとをネジ止めすることで、ケミカルサーキュレータＡの組立てが為され、完成したケミカルサーキュレータＡの正面パネルＢｃからは、温調ユニットＤにおける導入パイプＤｉや排出パイプＤｏ等が貫通して延出することとなる。
特開２００５−３０８２５７号公報

ところで、上述した従来のケミカルサーキュレータＡにおいて、ケーシングＢと温調ユニットＤとの間に介在する保持体Ｃは、図１９に示す如く温調ユニットＤを収容した状態において、上記温調ユニットＤの上面、下面、および左右の側面に圧接(面接触)しているに過ぎない。

このため、ケミカルサーキュレータＡの運搬時等に伴う振動や衝撃により、保持体Ｃに対して温調ユニットＤがズレ動いてしまい、これによりケーシングＢに対する温調ユニットＤの設置位置がズレることとなる。

このように、ケーシングＢの内部において温調ユニットＤがズレ動くことは、電気配線の断線等に起因する動作信頼性の低下を招くばかりでなく、導入パイプＤｉや排出パイプＤｏ等の長さ(正面パネルＢｃから突出する長さ)が所期の寸法から狂うことで、設備を構成する他の装置における配管との接続に支障を来す虞れがあった。

本発明の目的は、上記実状に鑑みて、被温調流体を加熱／冷却する温調ユニットを、断熱性および緩衝性を備えた保持体を介在させて、外部筐体の内部に収容設置して成る流体温調装置を対象とし、例えば運搬時や設置時における振動や衝撃に起因して生じる、外部筐体に対する温調ユニットの位置ずれを未然に防止することの可能な流体温調装置の提供にある。

上記目的を達成するべく、請求項１に関わる流体温調装置は、被温調流体を加熱／冷却する温調ユニットを、断熱性および緩衝性を備えた保持体を介在させて、外部筐体の内部に収容設置して成る流体温調装置において、外部筐体の内部に設置された保持体に、温調ユニットと係合して該温調ユニットを保持する係合保持部を設け、保持体に対する温調ユニットの移動を規制するよう構成したことを特徴としている。

また、請求項２の発明に関わる流体温調装置は、請求項１の発明に関わる流体温調装置において、外部筐体が、温調ユニットに沿って延在する直方体形状を呈し、一方の端面のみが開放された筐体本体と、この筐体本体に取付けられて一方の端面を閉止する蓋体とを備えて成ることを特徴としている。

また、請求項３の発明に関わる流体温調装置は、請求項２の発明に関わる流体温調装置において、保持体が、外部筐体の内部に収容され且つ温調ユニットを収容する筐体形状を呈し、１つの端面と１つの側面との２面が開放された保持体本体と、この保持体本体の開放された側面を閉止する蓋体とを備えて成ることを特徴としている。

また、請求項４の発明に関わる流体温調装置は、請求項３の発明に関わる流体温調装置において、外部筐体の内部に臨む保持体の各稜部に面取部を形成して成ることを特徴としている。

請求項１の発明に関わる流体温調装置によれば、外部筐体の内部に設置された保持体に、温調ユニットと係合して該温調ユニットを保持する係合保持部を設けたことで、保持体に対する温調ユニットの移動が規制されることとなり、もって運搬時や設置時における振動や衝撃に起因して生じる、外部筐体に対する温調ユニットの位置ずれを未然に防止することが可能となる。

また、請求項２の発明に関わる流体温調装置によれば、直方体形状を呈する外部筐体を、一方の端面のみが開放された筐体本体と、開放された一方の端面を閉止する蓋体とから構成したことで、組立時やメンテナンス時において、外部筐体に対する温調ユニットおよび保持体の組付け／取出しに際し、１つの蓋体のみを取付け／取外しすれば良いので作業性が良く、併せて筐体本体と１つの蓋体との接合箇所のみをシールすれば良いために、外部筐体における密閉性を向上させることができる。

また、請求項３の発明に関わる流体温調装置によれば、筐体形状を呈する保持体を、１つの端面と１つの側面との２面が開放された箱状の保持体本体と、該保持体本体の開放された側面を閉止する板状の蓋体とから構成したことで、温調ユニットを保持体に収容する際、保持体を保持体本体にのみ嵌め合わせれば良いために作業性が良く、併せて一方の保持体本体のみを箱形状としたことで、保持体の製造が簡易となるため生産コストの低減を図ることができる。

また、請求項４の発明に関わる流体温調装置によれば、外部筐体の内部に臨む保持体の各稜部に面取りを施したことで、温調ユニットを収容した保持体の外部筐体に対する組付け／取出しに際して、保持体が外部筐体の内部に不用意に引っ掛かることが抑えられ、もって極めてスムーズに組付け／取出し作業を行うことができる。

以下、実施例を示す図面に基づいて、本発明を詳細に説明する。
図１および図２は、本発明に関わる流体温調装置を、半導体製造プロセスに使用される薬液(被温調流体)を温度管理するケミカルサーキュレータに適用した例を示している。

上記ケミカルサーキュレータ(流体温調装置)１は、ケーシング(外部筐体)２の内部に、後に詳述する保持筐体(保持体)２０を介して、温調ユニット１０を収容設置することによって構成されている。

上記ケーシング２は、後述する温調ユニット１０に沿って延在する直方体形状を呈しており、一方の端面(正面)のみが開放された本体(筐体本体)２Ａと、該本体２Ａの端部開口２Ａｏを覆う正面パネル(蓋体)２Ｂとを有し、この正面パネル２Ｂはケーシング２を密閉構造とするため、図示していないシール材を介して本体２Ａにネジ止めされている。

一方、上記温調ユニット１０は、図３〜図７に示す如く、薬液の流入／排出される本体ブロック１１と、該本体ブロック１１における左右の側面に設置された伝熱板１２、１２とを備え、本体ブロック１１の端部からは、導入パイプ１１ｉと排出パイプ１１ｏとが延出している。

上記本体ブロック１１は、薬液に対する耐蝕性を備えたテフロン(登録商標)等の樹脂材料から形成され、該本体ブロック１１の側面に取付けられた伝熱板１２、１２は、ボルト・ナット等を用いて互いに締結することで、本体ブロック１１を左右から挟付ける態様で所定位置に設置されている。

各伝熱板１２の外面には熱電モジュール１３、１３が取付けられ、さらに各熱電モジュール１３の外側には、該熱電モジュール１３の放熱／給熱を行う水冷板(ウォータジャケット)１４が取付けられている。

各々の水冷板１４、１４は、該水冷板１４および熱電モジュール１３を貫通して伝熱板１２に螺着した締結ネジ１５ｎと、該締結ネジ１５ｎとの間に介装された締結部材１５とによって、上記熱電モジュール１３を伝熱板１２に押付ける態様で設置され、また上記熱電モジュール１３は、伝熱板１２と水冷板１４とに挟付けられる態様で設置されている。

ここで、上記締結ネジ１５ｎおよび締結部材１５は、１個の熱電モジュール１３に対して９ヶ所に亘って設置されており、さらに上記締結ネジ１５ｎおよび締結部材１５は、後述する保持筐体２０と係合するためのピン状突起１５を構成している。

なお、上記温調ユニット１０においては、本体ブロック１１の流路(図示せず)を通過する薬液が伝熱板１２と接触することにより、該伝熱板１２を介して熱電モジュール１３と薬液との間で熱交換が行われ、もって上記薬液に対する温度の調節が為されることとなる。

上述したケーシング２と温調ユニット１０との間に介在する保持筐体(保持体)２０は、断熱性および緩衝性を有する発泡スチロール材から形成され、図２および図３に示す如く、互いに組合わされる本体(保持体本体)２１と蓋体２２とから成り、これら左方保持体Ｃａと右方保持体Ｃｂとを組み合わせることで、一端が開口した直方体の筐体が構成されることとなる。

温調ユニット１０を上記本体２１に嵌め入れるとともに、該本体２１に蓋体２２を組み合わせることによって、上記温調ユニット１０は保持筐体２０に収容されることとなり、本体２１と蓋体２２とを組み合わせて成る温調ユニット１０の外寸は、上述したケーシング２における本体２Ａの内寸にマイナス公差を設けた寸法に設定されている。

図８および図９に示す如く、上記保持筐体２０の本体２１は、発泡スチロールの板材から成る側板２１ｓ、底板２１ｂ、天板２１ｔ、および端板２１ｅを接着して組立てることにより、１つの端面(正面)と１つの側面との２面が開放された筐体形状を呈している。

上記本体２１の側板２１ｓには、上述した如く温調ユニット１０を収容した状態において、該温調ユニット１０の一方の側面(水冷板１４)から突出したピン状突起１５、１５…の挿入される孔部(係合保持部)２１ｏ、２１ｏ…が形成されている。

また、側板２１ｓの中央に形成された開口２１ｊの縁部には、上述したピン状突起１５、１５…の係合する切欠部(係合保持部)２１ｒ、２１ｒ…が形成され、さらに上記側板２１ｓの内面には、温調ユニット１０の一方の側面(水冷板１４)と当接する突部(係合保持部)２１ｈ、２１ｈ…が形成(接着)されている。

上記本体２１の底板２１ｂには、温調ユニット１０における本体ブロック１１の下面に当接する突部(係合保持部)２１ｇと、同じく本体ブロック１１の前面に当接する突部(係合保持部)２１ｆとが形成(接着)され、上記本体２１の天板２１ｔには、温調ユニット１０における本体ブロック１１の上面に当接する突部(係合保持部)２１ｇと、同じく本体ブロック１１の前面に当接する突部(係合保持部)２１ｆとが形成(接着)されている。

一方、図１０に示す如く、上記保持筐体２０の蓋体２２は、発泡スチロールの１枚の板材から形成されており、上記保持筐体２０に温調ユニット１０を収容した状態において、該温調ユニット１０の他方の側面(水冷板１４)から突出したピン状突起１５、１５…の挿入される孔部(係合保持部)２２ｏ、２２ｏ…が形成されている。

また、蓋体２２の中央に形成された開口２２ｊの縁部には、上述したピン状突起１５、１５…の係合する切欠部(係合保持部)２２ｒ、２２ｒ…が形成され、さらに上記蓋体２２の内面には、温調ユニット１０の他方の側面(水冷板１４)と当接する突部(係合保持部)２２ｈ、２２ｈ…が形成(接着)されている。

また、互いに組付けられて保持筐体２０を構成する本体２１および蓋体２２の各稜部、詳しくは、保持筐体２０をケーシング２に収容した際、本体２Ａにおける内部に臨む各稜部には、本体２１において面取部２１ｃ、２１ｃ…が形成され、蓋体２２において面取部２２ｃ、２２ｃ…が形成されている。

上述した構成のケミカルサーキュレータ１を組立てる場合には、先ず、保持筐体２０の本体２１に温調ユニット１０を嵌め入れるとともに、上記本体２１に蓋体２２を組み合わせることにより、上記温調ユニット１０を保持筐体２０に収容設置する。

この状態において、温調ユニット１０の一方の側面(水冷板１４)から突出したピン状突起１５、１５…が、本体２１の側板２１ｓに形成された孔部(係合保持部)２１ｏ、２１ｏ…、および切欠部(係合保持部)２１ｒ、２１ｒ…に嵌合するとともに、温調ユニット１０の他方の側面(水冷板１４)から突出したピン状突起１５、１５…が、蓋体２２に形成された孔部(係合保持部)２２ｏ、２２ｏ…、および切欠部(係合保持部)２２ｒ、２２ｒ…に嵌合している。

また、上記温調ユニット１０の一方の側面(水冷板１４)には、本体２１の側板２１ｓに形成された突部(係合保持部)２１ｈ、２１ｈ…が当接するとともに、上記温調ユニット１０の他方の側面(水冷板１４)には、蓋体２２に形成された突部(係合保持部)２２ｈ、２２ｈ…が当接している。

さらに、温調ユニット１０の下面および上面には、本体２１の底板２１ｂおよび天板２１ｔに形成された突部(係合保持部)２１ｇが当接し、温調ユニット１０の前面における下部と上部とには、本体２１の底板２１ｂおよび天板２１ｔに形成された突部(係合保持部)２１ｆが当接しているとともに、温調ユニット１０の後面は本体２１の端板２１ｅと当接している。

すなわち、保持筐体２０に収容設置された温調ユニット１０は、上述した孔部２１ｏ，２２ｏ、切欠部２１ｒ，２２ｒ、突部２１ｈ，２２ｈ、突部２１ｇ、突部２１ｆ等、様々な係合保持部によって保持筐体２０に対する不用意な移動(ズレ)の規制が為されている。

次いで、図１５に示す如く、作業台１００上にケーシング２の本体２Ａを横倒しの姿勢でセットするとともに、上記作業台１００上における本体２Ａの端部開口２Ａｏと臨む位置に、温調ユニット１０を収容設置した保持筐体２０を横倒しの姿勢で載置し、上記保持筐体２０を矢印で示す方向にスライドさせることにより、端部開口２Ａｏから鎖線で示す如く本体２Ａの内部へ挿入して設置する。

このとき、上述した如く保持筐体２０の各稜部には、面取部２１ｃおよび面取部２２ｃが形成されているため、温調ユニット１０を収容設置した保持筐体２０は、極めてスムーズに本体２Ａの内部に挿入されることとなる。

上述の如く、温調ユニット１０を収容設置した保持筐体２０を、ケーシング２における本体２Ａの内部に収容設置した後、上記本体２Ａを横倒しの状態から所定の設置姿勢に起こし、この本体２Ａにおける一方の端面(正面)に、端部開口２Ａｏを覆う正面パネル２Ｂをネジ止めすることで、ケミカルサーキュレータＡの組立てが完了し、完成したケミカルサーキュレータ１の正面パネル２Ｂからは、温調ユニット１０における導入パイプ１１ｉや排出パイプ１１ｏ等が貫通して延出することとなる。

因みに、上記ケミカルサーキュレータ１のメンテナンス時においては、上述した組立て作業時と逆の作業手順により、ケーシング２の本体２Ａから正面パネル２Ｂを取外し、ケーシング２の本体２Ａから温調ユニット１０および保持筐体２０を取出した後、温調ユニット１０から保持筐体２０の本体２１と蓋体２２とを取外すことで、上記温調ユニット１０の全体を露呈させることができる。

上述した構成のケミカルサーキュレータ１によれば、ケーシング２の内部に設置された保持筐体２０に、温調ユニット１０と係合して該温調ユニット１０を保持する係合保持部としての孔部２１ｏ、切欠部２１ｒ、突部２１ｈ、突部２１ｇ、突部２１ｆ、さらに孔部２２ｏ、切欠部２２ｒ、突部２２ｈを設けたことで、保持筐体２０に対する温調ユニット１０の移動が規制されることとなり、もって運搬時や設置時における振動や衝撃に起因して生じる、ケーシング２に対する温調ユニット１０の位置ずれを未然に防止することが可能となる。

かくして、ケーシングの内部において温調ユニットがズレ動くことに伴う、電気配線の断線等に起因する動作信頼性の低下を未然に防止することができ、併せてケーシングからの導入パイプや排出パイプ等の突出寸法の狂いを防止でき、もって設備を構成する他の装置における配管との接続に支障を来すことがない。

また、上述した構成のケミカルサーキュレータ１によれば、直方体形状を呈するケーシング２を、一方の端面(正面)のみが開放された本体２Ａと、開放された端面を閉止する正面パネル２Ｂとから構成したことで、組立て時やメンテナンス時において、ケーシング２に対する温調ユニット１０および保持筐体２０の組付け／取出しに際し、１つの正面パネル２Ｂのみを取付け／取外しすれば良いので作業性が良く、併せて本体２Ａと正面パネル２Ｂとの接合箇所のみをシールすれば良いために、ケーシング２における密閉性を向上させることが可能となる。

また、上述した構成のケミカルサーキュレータ１によれば、筐体形状を呈する保持筐体２０を、１つの端面と１つの側面との２面が開放された箱状の本体２１と、該本体２１の開放された側面を閉止する板状の蓋体２２とから構成したことで、温調ユニット１０を保持筐体２０に収容する際、箱状の本体２１に対して温調ユニット１０を嵌め合わせれば良いので、図１８に示す如く温調ユニットＤの左右から、保持体Ｃを半割りとした左方保持体Ｃａと右方保持体Ｃｂとを被せる従来の構成に比べて作業性が大幅に向上することとなる。

さらに、保持筐体２０を構成する一方の本体２１のみを箱形状としたことで、図１８に示す如く、保持体Ｃを構成する左方保持体Ｃａと右方保持体Ｃｂとを共に箱形状とした従来の構成に比べ、保持筐体２０(本体２１)の製造が簡易となり、もってケミカルサーキュレータ１の製造に関わるコストの低減を図ることができる。

また、上述した構成のケミカルサーキュレータ１によれば、保持筐体２０の各稜部に面取部２１ｃ、２１ｃ…、および面取部２２ｃ、２２ｃ…を形成したことで、温調ユニット１０を収容した保持筐体２０を、ケーシング２(本体２Ａ)に組付ける際、あるいはケーシング２(本体２Ａ)から取出す際に、保持筐体２０がケーシング２(本体２Ａ)の内部に不用意に引っ掛かることが抑えられ、もって組立て時やメンテナンス時における極めてスムーズな作業を実施することが可能となる。

なお、上述した実施例においては、半導体製造のウェットプロセス等で使用される薬液の温度管理を行うケミカルサーキュレータに、本発明に関わる流体温調装置を適用した例を示したが、様々な薬液の温度管理を行う装置においても、本発明を有効に適用し得ることは勿論である。

さらに、半導体製造の分野に限定されることなく、様々な被温調流体の温度調節を必要とする様々な分野における流体温調装置においても、本発明を有効に適用し得ることは言うまでもない。

本発明に関わる流体温調装置の一実施例を示す概念的な外観斜視図。図１に示した流体温調装置の概念的な分解斜視図。図１に示した流体温調装置における温調ユニットと断熱保持部材との分解斜視図。図１に示した流体温調装置における温調ユニットの平面図。図４に示した温調ユニットを一方側から観た側面図。図４に示した温調ユニットを他方側から観た側面図。図４に示した温調ユニットの正面図。 (ａ)は図１に示した流体温調装置の断熱保持部材における筐体の平面図、(ｂ)は断熱保持部材の筐体を内面側から観た側面図。 (ａ)は図８中の IX−IX 線断面図、(ｂ)は断熱保持部材における筐体の正面図。 (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図１に示した流体温調装置の断熱保持部材における蓋体の平面図、内面側から観た側面図および正面図。図１に示した流体温調装置の断面側面図。図１１中の XII−XII 線断面図。図１１中の XIII−XIII 線断面図。図１１中の XIV−XIV 線断面図。 (ａ)および(ｂ)は、図１に示した流体温調装置の組立て工程を概念的に示す平面図および側面図。従来の流体温調装置を示す概念的な外観斜視図。従来の流体温調装置を示す概念的な分解斜視図。従来の流体温調装置における温調ユニットと断熱部材とを示す分解斜視図。 (ａ)は従来の流体温調装置における断面側面図、(ｂ)は(ａ)中のｂ−ｂ線断面端面図。

符号の説明

１…流体温調装置、
２…ケーシング(外部筐体)、
２Ａ…筐体本体、
２Ａｏ…端部開口、
２Ｂ…蓋体、
１０…温調ユニット、
１１…本体ブロック、
１２…伝熱板、
１３…熱電モジュール、
１４…水冷板、
１５…ピン状突起、
１５ｎ…締結ネジ、
１５ｓ…締結部材、
２０…保持筐体(保持体)、
２１…保持体本体、
２１ｓ…側板、
２１ｂ…底板、
２１ｔ…天板、
２１ｅ…端板、
２１ｃ…面取部、
２１ｏ…孔部(係合保持部)、
２１ｒ…切欠部(係合保持部)、
２１ｆ…突部(係合保持部)、
２１ｇ…突部(係合保持部)、
２１ｈ…突部(係合保持部)、
２２…蓋体、
２２ｃ…面取部、
２２ｏ…孔部(係合保持部)、
２２ｒ…切欠部(係合保持部)、
２２ｈ…突部(係合保持部)。

Claims

被温調流体を加熱／冷却する温調ユニットを、断熱性および緩衝性を備えた保持体を介在させて、外部筐体の内部に収容設置して成る流体温調装置において、
前記外部筐体の内部に収容された前記保持体に、前記温調ユニットと係合して該温調ユニットを保持する係合保持部を設け、前記保持体に対する前記温調ユニットの移動を規制するよう構成したことを特徴とする流体温調装置。
前記外部筐体は、前記温調ユニットに沿って延在する直方体形状を呈し、一方の端面のみが開放された筐体本体と、該筐体本体に取付けられて前記一方の端面を閉止する蓋体とを備えて成ることを特徴とする請求項１記載の流体温調装置。
前記保持体は、前記外部筐体の内部に収容され且つ前記温調ユニットを収容する筐体形状を呈し、１つの端面と１つの側面との２面が開放された保持体本体と、前記保持体本体の開放された側面を閉止する蓋体とを備えて成ることを特徴とする請求項２記載の流体温調装置。
筐体形状を呈する前記保持体は、前記外部筐体の内部に臨む各稜部に面取部を形成して成ることを特徴とする請求項３記載の流体温調装置。