JP2008216593A - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カラーフィルタ基板7を一方向に搬送する搬送手段1と、一列のマスクパターン12の列の中心軸に平行な軸上に形成され、該軸に対して互いに異なる角度で交差する三本の細線状パターンとを設けたフォトマスク9をカラーフィルタ基板7に近接対向させて保持するマスクステージ2と、フォトマスク9を介してカラーフィルタ基板7に照射する露光光を放射する光源3と、カラーフィルタ基板7の搬送方向と略直交する方向に一直線状に並べて複数の受光素子22を有し、フォトマスク9の三本の細線状パターンを撮像する撮像手段4と、撮像手段4により撮像された画像を処理し、三本の細線状パターンの間隔を計測して記フォトマスク9の上記搬送方向へのずれ量を算出し、露光光の照射タイミングをフォトマスク9のずれ量により補正制御する制御手段6と、を備えたものである。
【選択図】図1
Description
そして、上記制御部32は、上記各構成要素が適切に駆動するように装置全体を統合して制御するものである。
先ず、フォトマスク9が遮光膜11を形成した側を下にし、覗き窓14をカラーフィルタ基板7の搬送方向(矢印A方向)手前側に位置させ、且つマスクパターン12の列の中心軸Xが上記搬送方向と略直交するようにしてマスクステージ2に保持される。
P=Ks×P0+L+Ke×G…(1)
を演算することによって求められる。そして、この演算結果はメモリ31に一時保存される。なお、式(1)において、Ks,Keは撮像手段4の分解能であり、Ksはカラーフィルタ基板7の搬送方向の分解能を示し、Keは撮像手段4の隣接する受光素子22間の分解能を示している。
2…マスクステージ
3…光源
4…撮像手段
6…制御手段
7…カラーフィルタ基板(被露光体)
9…フォトマスク
12…マスクパターン
14…覗き窓
16…ピクセル(基準パターン)
18a〜18c…細線状パターン
Claims (12)
- 表面に基準パターンが設けられた被露光体を一方向に搬送し、光源から前記被露光体にフォトマスクを介して所定のタイミングで露光光を照射し、前記フォトマスク上に前記被露光体の搬送方向と略直交する方向に少なくとも一列に並べて設けられた複数のマスクパターンを露光する露光方法であって、
前記フォトマスクのマスクパターンの列の中心軸に平行な軸上に形成され、該軸に対して互いに異なる角度で交差する少なくとも二本の細線状パターンを、前記被露光体の搬送方向と略直交する方向に複数の受光素子を一直線状に並べた撮像手段により撮像する段階と、
前記撮像手段により撮像された画像を処理し、前記少なくとも二本の細線状パターンの間隔を計測して前記フォトマスクの前記搬送方向へのずれ量を算出する段階と、
前記フォトマスクのずれ量により前記露光光の照射タイミングを自動補正して露光光を照射する段階と、
を実行することを特徴とする露光方法。 - 前記撮像手段は、前記被露光体上に設けられた基準パターン、及び前記少なくとも二本の細線状パターンを同時に撮像することを特徴とする請求項1記載の露光方法。
- 前記露光光を照射する段階は、前記撮像手段により撮像された画像に基づいて、前記被露光体に形成された基準パターンの搬送方向の先頭側に位置する縁部を検出し、該縁部が検出されてから、予め設定された値に前記フォトマスクのずれ量を加算補正した距離だけ前記被露光体が移動したタイミングで露光光を照射することを特徴とする請求項2記載の露光方法。
- 前記露光光を照射する段階の前に、前記撮像手段により撮像された画像を処理し、前記被露光体上に設けられた基準パターンの前記搬送方向に平行して伸びた縁部と前記少なくとも二本の細線状パターンに設定された基準位置との間の距離を演算して該距離が所定値となるように前記フォトマスクを前記被露光体に対して相対的に前記搬送方向と略直交する方向に変位することを特徴とする請求項2又は3記載の露光方法。
- 前記フォトマスクは、前記被露光体上に設けられた基準パターンを観察可能とする覗き窓を前記マスクパターンの列の側方に設け、前記少なくとも二本の細線状パターンを前記覗き窓内又は覗き窓外に形成し、前記覗き窓が前記被露光体の搬送方向手前側となるように前記被露光体に対して対向配置されることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の露光方法。
- 前記少なくとも二本の細線状パターンは、前記マスクパターンの列の中心軸に平行な軸に対して直交して伸びた細線状パターンと、前記軸に対して所定の角度で傾斜した細線状パターンとから成ることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の露光方法。
- 前記少なくとも二本の細線状パターンは、前記マスクパターンの列の中心軸に平行な軸に対して直交して伸びた二本の細線状パターン、及び該二本の細線状パターンの間に設けられ前記軸に対して所定の角度で傾斜した細線状パターンを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の露光方法。
- 表面に基準パターンが設けられた被露光体を一方向に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の上方に配設され、少なくとも一列に並んだ複数のマスクパターンと、該マスクパターンの列の中心軸に平行な軸上に形成され、該軸に対して互いに異なる角度で交差する少なくとも二本の細線状パターンとを設けたフォトマスクを、前記マスクパターンの列の中心軸が前記被露光体の搬送方向に略直交するようにして被露光体と近接対向させて保持するマスクステージと、
前記フォトマスクを介して前記被露光体に照射する露光光を放射する光源と、
前記被露光体の搬送方向と略直交する方向に一直線状に並べて複数の受光素子を有し、前記フォトマスクの少なくとも二本の細線状パターンを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像を処理し、前記少なくとも二本の細線状パターンの間隔を計測して前記フォトマスクの前記搬送方向へのずれ量を算出し、前記露光光の照射タイミングを前記フォトマスクのずれ量により補正制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記撮像手段は、前記被露光体上に設けられた基準パターン、及び前記少なくとも二本の細線状パターンを同時に撮像することを特徴とする請求項8記載の露光装置。
- 前記制御手段は、前記撮像手段により撮像された画像に基づいて、前記被露光体に形成された基準パターンの搬送方向の先頭側に位置する縁部を検出し、該縁部が検出されてから、予め設定された値に前記フォトマスクのずれ量を加算補正した距離だけ前記被露光体が移動したタイミングで露光光が照射されるように制御することを特徴とする請求項9記載の露光装置。
- 前記マスクステージは、前記被露光体の搬送方向と略直交する方向に前記フォトマスクを変位可能に形成され、
前記制御手段は、前記撮像手段により撮像された前記基準パターン及び少なくとも二本の細線状パターンの画像に基づいて、前記基準パターンの前記搬送方向に平行して伸びた縁部と前記少なくとも二本の細線状パターンに設定された基準位置との間の距離を演算し、該距離が所定値となるように前記マスクステージを駆動制御して前記フォトマスクを前記搬送方向と交差する方向に変位させることを特徴とする請求項9記載の露光装置。 - 前記光源は、前記制御手段によって制御されて点灯及び消灯するフラッシュランプであることを特徴とする請求項8〜11のいずれか1項に記載の露光装置。
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