JP2008216422A - Electrooptical device and manufacturing method of same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は電気光学装置、及び、電気光学装置の製造方法に係り、特に、電気光学装置のカラーフィルタ層を形成するための技術に関する。 The present invention relates to an electro-optical device and a method for manufacturing the electro-optical device, and more particularly, to a technique for forming a color filter layer of the electro-optical device.
一般に、フラットパネルディスプレイ(FPD)に用いられるカラーフィルタとしては、赤、緑、青、黒等の各色のフィルタ材料や遮光材料を基板上に順次にパターニングしてフィルタ領域及び遮光領域を形成したものがある。 In general, color filters used in flat panel displays (FPDs) are formed by sequentially patterning filter materials and light-shielding materials of red, green, blue, black, etc. on a substrate to form filter regions and light-shielding regions. There is.
ところが、このように複数の工程でカラーフィルタを形成する方法では、異なる色の領域同士が周縁部で重なり合ったり、異なる色の領域間に隙間ができたりすることで、色の再現性その他の光学特性の悪化が生じる場合があった。また、上記の重なり部分や隙間が生ずると、カラーフィルタに厚みの差(段差)が生じ、これによって電気光学物質の厚み等が場所によって変化することで表示品位が低下する場合もある。 However, in this method of forming a color filter in a plurality of steps, different color regions overlap each other at the peripheral edge, or a gap is formed between different color regions, so that color reproducibility and other optical properties can be achieved. In some cases, the characteristics deteriorated. In addition, when the above-described overlapping portion or gap is generated, a difference in thickness (a step) is generated in the color filter, and the thickness of the electro-optical material or the like may change depending on the location, which may reduce the display quality.
そこで、上記のフィルタ領域間の隙間(遮光領域)にSiO2等の微粒子をスピン塗布で埋めることにより、カラーフィルタ層を平坦化する方法が提案されている(たとえば、以下の特許文献1参照)。また、隣接するフィルタ領域間の遮光領域に形成される段差を、上層に形成される透明樹脂膜によって補正する方法も提案されている(たとえば、以下の特許文献2参照)。
しかしながら、前述のカラーフィルタの平坦化方法では、カラーフィルタの平坦化を果たすために本来のカラーフィルタ工程とは異なる専用の工程が必要になるため、製造コストが増大するという問題点がある。 However, the above-described color filter flattening method requires a dedicated process different from the original color filter process in order to achieve the flattening of the color filter, which increases the manufacturing cost.
また、カラーフィルタに生じた段差を別の材料で補償する方法を採用しているため、カラーフィルタの平坦化度合が不十分となる結果、電気光学物質の厚み等の均一性が十分に得られず、製品の品位向上を図ることができない場合があるという問題点もある。 In addition, since a method of compensating for the level difference generated in the color filter with another material is adopted, the flatness degree of the color filter becomes insufficient, and as a result, uniformity such as the thickness of the electro-optical material is sufficiently obtained. Therefore, there is a problem that the quality of the product cannot be improved.
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、電気光学装置におけるカラーフィルタ方法において従来とは異なる手法を採用することにより、カラーフィルタ層に段差が生じないようにした電気光学装置及びその製造方法を実現することにある。 Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, and the problem is that an electric current in which no step is generated in the color filter layer by adopting a method different from the conventional color filter method in an electro-optical device. An optical device and a method for manufacturing the same are provided.
斯かる実情に鑑み、本発明の電気光学装置は、一対の基板間に電気光学物質を配置してなる電気光学装置において、一方の前記基板上に配置され、露光波長分布に応じた複数色の感光発色機能を有する感光性発色剤を露光し現像してなる、複数色の領域を含むカラーフィルタ層を有することを特徴とする。 In view of such circumstances, the electro-optical device of the present invention is an electro-optical device in which an electro-optical material is disposed between a pair of substrates, and is disposed on one of the substrates, and has a plurality of colors according to the exposure wavelength distribution. It is characterized by having a color filter layer including a plurality of color areas formed by exposing and developing a photosensitive color former having a photosensitive color development function.
この発明によれば、露光波長分布に応じた少なくとも複数色の感光性発色機能を有する感光性発色剤を露光し現像してなるカラーフィルタ層を形成することで、フィルタ領域や遮光領域の色ごとに別々に着色層を形成してパターニングする必要がなくなるので、製造工程を簡略化することができる。また、フィルタ領域や遮光領域の位置ずれが発生しないことから、それらの境界に重なり部分や隙間が生ずることがなくなるので、電気光学装置の品位低下を防止できる。 According to this invention, by forming a color filter layer formed by exposing and developing a photosensitive color former having at least a plurality of photosensitive color development functions corresponding to the exposure wavelength distribution, each color of the filter area and the light shielding area is formed. In addition, it is not necessary to separately form a colored layer and pattern it, so that the manufacturing process can be simplified. In addition, since the positional displacement of the filter region and the light shielding region does not occur, there is no overlap portion or gap at the boundary between them, so that the quality of the electro-optical device can be prevented from deteriorating.
ここで、感光性発色剤としては、以下に述べるように予め発色カプラを混入したもの(所謂、内式)を用いることができるが、たとえば、発色カプラを含まず、現像工程の発色段階で発色カプラを導入するもの(所謂、外式)など、感光剤と発色材を含むことにより結果として感光性と発色性を機能として備えたものであればよい。 Here, as the photosensitive color former, as described below, a color coupler (so-called internal formula) previously mixed with a color coupler can be used. For example, it does not contain a color coupler and develops color at the color development stage of the development process. What is necessary is just to have photosensitivity and color developability as a function by including a photosensitizer and a color developing material, such as a type in which a coupler is introduced (so-called external type).
本発明において、前記感光性発色剤は、感光剤であるハロゲン化銀化合物と前記発色剤である複数色の発色カプラとを含むことが好ましい。これによれば、露光が終了した後に、ハロゲン化銀化合物よりなる感光剤で色ごとに潜像を形成し、この潜像に基づいて発色カプラを反応させて色素に変化させることで、露光時の露光波長分布に応じた着色状態を備えた領域を形成することができる。特に、予め発色カプラを内蔵させた感光性発色剤を用いることで現像処理が容易になる。このような方法はきわめて高感度で彩度の高い発色が可能であり、しかも、一括露光にも容易に対応することが可能である。 In the present invention, it is preferable that the photosensitive color former includes a silver halide compound as a photosensitive agent and a plurality of color couplers as the color former. According to this, after the exposure is completed, a latent image is formed for each color with a photosensitive agent made of a silver halide compound, and a coloring coupler is reacted on the basis of the latent image to change into a dye. A region having a colored state corresponding to the exposure wavelength distribution can be formed. In particular, the development processing is facilitated by using a photosensitive color former in which a color coupler is previously incorporated. Such a method is capable of highly sensitive and highly saturated color development, and can easily cope with batch exposure.
本発明において、前記感光性発色剤は、前記ハロゲン化銀化合物及び前記発色カプラを含水性透光基材中に配合してなることが好ましい。これによれば、含水性透光基材により支障なく露光・現像を行うことができるようになる。現像処理としては、現像工程の漂白処理段階において銀粒子(及び必要に応じて不要なカプラ等)の可溶性化及び溶出を確実に行うことでカラーフィルタの所望の色調及びその安定性を確保できる。ここで、含水性透光基材としては、ゼラチン、含水性アクリル樹脂、ポリビニルアルコール(PVA)、その他親水性コロイドなどを主剤として含む乳剤などが挙げられる。 In the present invention, the photosensitive color former is preferably formed by blending the silver halide compound and the color coupler in a water-containing translucent substrate. According to this, exposure / development can be performed without any trouble by the water-containing translucent substrate. As the development processing, the desired color tone of the color filter and its stability can be ensured by surely solubilizing and eluting silver particles (and unnecessary couplers and the like if necessary) in the bleaching step of the development step. Here, examples of the water-containing light-transmitting substrate include emulsions containing gelatin, a water-containing acrylic resin, polyvinyl alcohol (PVA), and other hydrophilic colloids as main ingredients.
本発明において、他方の前記基板上に第1電極及び第2電極を備え、前記第1電極と前記第2電極間に生ずる電界で前記電気光学物質を制御することが好ましい。これによれば、他方の基板上に形成された第1電極と第2電極の間に電界を生じさせて電気光学物質を制御することで、一方の基板上に電極を形成する必要がなくなるので、上記カラーフィルタ層を形成した後の高温プロセスを容易になくすことができるため、カラーフィルタ層の耐熱性が不要となる。一般に感光性発色層は、耐熱温度が400〜500℃程度であるものが多いため、上記構成であれば感光性発色層の選択肢が増加し、良好なフィルタ特性を容易に得ることが可能になる。 In the present invention, it is preferable that a first electrode and a second electrode are provided on the other substrate, and the electro-optical material is controlled by an electric field generated between the first electrode and the second electrode. According to this, it is not necessary to form an electrode on one substrate by generating an electric field between the first electrode and the second electrode formed on the other substrate to control the electro-optic material. Since the high-temperature process after forming the color filter layer can be easily eliminated, the heat resistance of the color filter layer becomes unnecessary. In general, the photosensitive color developing layer has many heat resistant temperatures of about 400 to 500 ° C. Therefore, with the above configuration, the choice of the photosensitive color developing layer increases, and good filter characteristics can be easily obtained. .
本発明において、前記一方の基板上に電極を有しないことが好ましい。これによれば、一方の基板上に電極を形成する必要がなくなるので、上記カラーフィルタ層を形成した後の高温プロセスが不要となるため、カラーフィルタ層の耐熱性が不要となる。一般に感光性発色層は、耐熱温度が400〜500℃程度であるものが多いため、上記構成であれば感光性発色層の選択肢が増加し、良好なフィルタ特性を容易に得ることが可能になる。 In the present invention, it is preferable that no electrode is provided on the one substrate. According to this, since it is not necessary to form an electrode on one substrate, a high temperature process after the color filter layer is formed becomes unnecessary, and thus the heat resistance of the color filter layer becomes unnecessary. In general, the photosensitive color developing layer has many heat resistant temperatures of about 400 to 500 ° C. Therefore, with the above configuration, the choice of the photosensitive color developing layer increases, and good filter characteristics can be easily obtained. .
本発明において、前記一方の基板上に、前記感光性発色剤で発色形成され、該一方の基板と平面的に重ねて配置される他の部材とのアライメントに用いるアライメントマークを備えていることが好ましい。これによれば、感光性発色剤でアライメントマークを形成することで、視認性の高いマークを容易に形成できるとともに、他にマーク形成工程を設ける必要がなくなるという利点がある。ここで、上記他の部材には、前記一方の基板と対向配置される他方の基板に限らず、前記一方の基板と平面的に重ねて配置される種々の部材を含む。 In the present invention, an alignment mark that is formed on the one substrate with the photosensitive color former and is used for alignment with another member that is arranged to overlap the one substrate in a plane is provided. preferable. According to this, by forming the alignment mark with the photosensitive color former, it is possible to easily form a mark with high visibility, and there is an advantage that it is not necessary to provide another mark forming step. Here, the other member includes not only the other substrate disposed to face the one substrate but also various members disposed to overlap the one substrate in a plane.
次に、本発明の電子機器は、上記いずれかの電気光学装置を搭載してなることを特徴とする。上記の電気光学装置は表示装置として構成されているものであることが好ましく、この場合、上記の電子機器は表示部に上記電気光学装置を備えたものとなる。この種の電子機器としては、たとえば、テレビジョン受像機、各種モニタ装置、電子時計、携帯電話、プロジェクタ装置などが挙げられる。 Next, an electronic apparatus according to the present invention includes any one of the above electro-optical devices. The electro-optical device is preferably configured as a display device. In this case, the electronic apparatus includes the electro-optical device in a display unit. Examples of this type of electronic device include a television receiver, various monitor devices, an electronic timepiece, a mobile phone, and a projector device.
次に、本発明の電気光学装置の製造方法は、一対の基板間に電気光学物質を配置してなる電気光学装置の製造方法において、一方の前記基板上に、露光波長分布に応じた複数色の感光発色機能を有する感光性発色剤を配置する原剤配置工程と、前記感光性発色剤を異なる複数の波長分布を備えた光で複数の領域を露光して感光作用を生じさせる露光工程と、露光された前記感光性発色剤を現像して前記領域に発色作用を生じさせ、複数色の前記フィルタ領域を形成する現像工程と、を具備することを特徴とする。 Next, an electro-optical device manufacturing method according to the present invention is an electro-optical device manufacturing method in which an electro-optical material is disposed between a pair of substrates, and a plurality of colors corresponding to an exposure wavelength distribution is provided on one of the substrates. A base material arranging step of arranging a photosensitive color former having a photosensitive color development function, and an exposure step of causing a plurality of regions to be exposed to light having a plurality of different wavelength distributions to cause the photosensitive color former to generate a photosensitive action. A developing step of developing the exposed photosensitive color former to develop a color developing action in the region and forming the filter region of a plurality of colors.
本発明において、前記露光工程では、異なる複数の波長分布を備えた光で一括露光することにより複数色の前記領域を形成することことが好ましい。これによれば、感光性発色剤の配置工程のみならず、露光工程も一度に行うことができるので、さらに効率的に電気光学装置を製造できる。 In the present invention, in the exposure step, it is preferable that the regions of a plurality of colors are formed by performing batch exposure with light having a plurality of different wavelength distributions. According to this, since not only the arrangement process of the photosensitive color former but also the exposure process can be performed at a time, the electro-optical device can be manufactured more efficiently.
本発明において、他方の前記基板上に第1電極及び第2電極を形成する電極形成工程と、前記一方の基板と前記他方の基板とを貼り合わせるとともに両基板間に前記電気光学物質を配置するパネル形成工程と、をさらに具備することが好ましい。これによれば、一方の基板に上記カラーフィルタ層を形成するとともに、他方の基板に前記電気光学物質に電界を付与するための第1電極と第2電極とを形成することで、一方の基板においては電極等の高温プロセスが必要な構造を省略することができる。 In the present invention, an electrode forming step of forming the first electrode and the second electrode on the other substrate, the one substrate and the other substrate are bonded together, and the electro-optical material is disposed between the two substrates. And a panel forming step. According to this, one substrate is formed by forming the color filter layer on one substrate and forming the first electrode and the second electrode for applying an electric field to the electro-optic material on the other substrate. In this case, a structure requiring a high temperature process such as an electrode can be omitted.
本発明において、前記一方の基板上に、前記原剤露光工程における露光と前記原剤発色工程における発色により形成されたアライメントマークを予め設けておき、前記パネル形成工程では、前記アライメントマークを前記他方の基板上の所定位置に整合させることで前記一対の基板間のアライメントを行うことが好ましい。これによれば、電極等を設けない基板上にも専用工程を設けることなくアライメントマークを形成できる。 In the present invention, an alignment mark formed by exposure in the raw material exposure step and color development in the raw material color development step is provided in advance on the one substrate, and in the panel formation step, the alignment mark is placed on the other substrate. It is preferable to perform alignment between the pair of substrates by aligning with a predetermined position on the substrate. According to this, an alignment mark can be formed on a substrate without an electrode or the like without providing a dedicated process.
次に、本発明の電気光学装置用カラーフィルタ基板は、基板と、該基板上に配置され、露光波長に応じた複数色の感光発色機能を有する感光性発色剤を露光してなる、複数色の領域を含むカラーフィルタ層と、を具備することを特徴とする。 Next, a color filter substrate for an electro-optical device according to the present invention has a plurality of colors formed by exposing a substrate and a photosensitive colorant that is disposed on the substrate and has a photosensitive color developing function of a plurality of colors according to an exposure wavelength. And a color filter layer including the region.
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図1乃至図4は本実施形態の電気光学装置に用いるカラーフィルタ基板及びその製造工程を示す工程断面図である。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 4 are process cross-sectional views showing a color filter substrate used in the electro-optical device of this embodiment and a manufacturing process thereof.
本実施形態のカラーフィルタ基板を製造するに当たっては、まず、図1に示すように、ガラスやプラスチック等よりなる透明な基板20上に感光性発色剤21を配置する。基板20は後述するカラーフィルタ層を反射型で用いる場合には透明でなくてもよく、基板表面が反射面を構成する素材、たとえば、鏡面や白色面で構成されているものであってもよい。また、感光性発色剤21は含水性透光基材を含み、この含水性透光基材はいわゆる写真乳剤であり、ゼラチン、ポリヒドロキシメチルメタクリレート等の含水性アクリル樹脂、ポリビニルアルコール(PVA)、その他親水性コロイド等を主剤とし、各種の添加剤を調合したものである。感光性発色剤21には、上記含水性透光基材中に、たとえば、ハロゲン化銀化合物等の感光剤と、発色カプラ等の発色剤とが配合される。本発明の感光性発色剤は複数色の感光性発色機能を有するので、異なる波長域の感光特性を有する複数種類の感光剤が配合されることが好ましく、また、異なる波長域に対応する感光反応に対応して発色する複数種類の発色剤が配合されることが好ましい。
In manufacturing the color filter substrate of the present embodiment, first, as shown in FIG. 1, a photosensitive color former 21 is disposed on a
上記のハロゲン化銀化合物の具体例としては、塩化銀、塩臭化銀、臭化銀、沃臭化銀もしくは塩沃臭化銀、並びに、これらの化合物などが挙げられる。感光剤としては、赤感光性、緑感光性、青感光性といったように複数色の波長域にそれぞれ感光性を有する複数の感光剤を配合してもよい。 Specific examples of the silver halide compound include silver chloride, silver chlorobromide, silver bromide, silver iodobromide or silver chloroiodobromide, and compounds thereof. As a photosensitizer, a plurality of photosensitizers having photosensitivity in a plurality of color wavelength ranges such as red photosensitivity, green photosensitivity, and blue photosensitivity may be blended.
本発明の感光材料の乳剤層に用いる結合剤または保護コロイドとしては、ゼラチンを用いるのが有利であるが、それ以外の親水性コロイドも用いることができる。例えばゼラチン誘導体、ゼラチンと他の高分子とのグラフトポリマー、アルブミン、カゼインの蛋白質;ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、セルロース硫酸エステル類の如きセルロース誘導体、アルギン酸ソーダ、澱粉誘導体などの糖誘導体;ポリビニルアルコール、ポリビニルアルコール部分アセタール、ポリ−N−ビニルピロリドン、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリルアミド、ポリビニルイミダゾール、ポリビニルピラゾールの単一あるいは共重合体などといった、合成親水性高分子物質を用いることができる。 As the binder or protective colloid used in the emulsion layer of the light-sensitive material of the present invention, gelatin is advantageously used, but other hydrophilic colloids can also be used. For example, gelatin derivatives, graft polymers of gelatin and other polymers, albumin, casein proteins; cellulose derivatives such as hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, cellulose sulfates, sugar derivatives such as sodium alginate, starch derivatives; polyvinyl alcohol, polyvinyl Synthetic hydrophilic polymer materials such as alcohol partial acetals, poly-N-vinylpyrrolidone, polyacrylic acid, polymethacrylic acid, polyacrylamide, polyvinylimidazole, polyvinylpyrazole mono- or copolymers, and the like can be used.
ゼラチンとしては汎用の石灰処理ゼラチンのほか、酸処理ゼラチンや日本科学写真協会誌(Bull.Soc.Phot.Japan),No.16,30頁(1966)に記載されたような酵素処理ゼラチンを用いても良く、また、ゼラチンの加水分解物を用いることができる。
As the gelatin, in addition to general-purpose lime-processed gelatin, acid-processed gelatin and Journal of Japan Scientific Photography Association (Bull. Soc. Photo. Japan), No. An enzyme-treated gelatin as described in
一方、上記の発色剤としては、イエロー、マゼンタ、及び、シアンにそれぞれ発色するカプラーを配合することが好ましい。たとえば、イエロー形成カプラーとしては、典型例としてacylacetamide型の化合物が挙げられ、例えば米国特許第3,933,501号、同第4,022,620号、同第4,326,024号、同第4,401,752号等に記載のものが例示される。イエロー形成カプラーとして常用されるものにα−acylacetamide型の化合物がある。 On the other hand, as the color former, it is preferable to add a coupler that develops yellow, magenta, and cyan, respectively. For example, typical examples of yellow forming couplers include aylacetamide type compounds such as U.S. Pat. Nos. 3,933,501, 4,022,620, 4,326,024, The thing as described in 4,401,752 grade | etc., Is illustrated. Among those commonly used as yellow-forming couplers are α-acylactamide type compounds.
また、マゼンタ形成カプラーとしては、pyrazolone型の5−ピラゾロン系及びピラゾロアゾール系の化合物が好ましい。例えば、米国特許第4,310,619号、同第4,351,897号、同第3,061,432号、同第3,725,067号、欧州特許第73,636号等に記載のものが挙げられる。また、マゼンタ形成カプラーとしては、上記のpyrazolone系のほかに、cyanoacetyl系、indazolone系などが挙げられる。 The magenta-forming coupler is preferably a pyrazolone-type 5-pyrazolone-based or pyrazoloazole-based compound. For example, U.S. Pat. Nos. 4,310,619, 4,351,897, 3,061,432, 3,725,067, European Patent 73,636, etc. Things. Examples of the magenta-forming coupler include cyanoacetyl and indazolone systems in addition to the above-described pyrazole system.
さらに、シアン形成カプラーとしては、1−hydrozy−2−phenylamine型及び1−hydrozy−2−naphtahamide型等のフェノール系及びナフトール系カプラーが好ましく、例えば米国特許第4,052,212号、同第4,146,396号、同第4,228,233号、同第4,296,200号、同第2,369,929号、同第2,801,171号、同第2,772,162号、同第2,895,826号、同第3,772,002号、同第3,758,308号、同第4,334,011号、同第4,327,173号等に記載のものが挙げられる。 Further, as the cyan forming coupler, phenol-type and naphthol-type couplers such as 1-hydroxy-2-phenylamine type and 1-hydroxy-2-naphthahamide type are preferable. For example, U.S. Pat. No. 4,052,212, No. 4 No. 4,146,396, No. 4,228,233, No. 4,296,200, No. 2,369,929, No. 2,801,171, No. 2,772,162 2,895,826, 3,772,002, 3,758,308, 4,334,011, 4,327,173, etc. Is mentioned.
なお、発色カプラーとしては、2当量カプラーでも4当量カプラーでもよく、外式カプラーでも内式カプラーでもよい。内式カプラーでは水溶性カプラーと油溶性カプラーのいずれでもよい。 The color coupler may be a 2-equivalent coupler or a 4-equivalent coupler, and may be an outer coupler or an inner coupler. The internal coupler may be either a water-soluble coupler or an oil-soluble coupler.
また、上記に例示した複数色の感光剤及び発色剤を混合して単層としてもよく、或いは、赤感性乳剤層、緑感性乳剤層および青感性乳剤層というようにそれぞれ異なる波長域の感光性を備えた層を別々に形成するとともに、これらの各層にそれぞれ対応する1又は複数の発色剤を含有させ、感光性発色剤21を積層構造(多層式カラー感剤)としてもよい。 Further, a plurality of color sensitizers and color formers exemplified above may be mixed to form a single layer, or sensitivities in different wavelength ranges such as a red-sensitive emulsion layer, a green-sensitive emulsion layer, and a blue-sensitive emulsion layer. Are separately formed, and one or a plurality of color formers corresponding to each of these layers may be included, and the photosensitive color former 21 may have a laminated structure (multilayer color sensitizer).
さらに、遮光領域は、上記の複数色の発色カプラー(CMY)をすべて発色させることで形成してもよいが、黒色形成カプラーを配合し、この黒色形成カプラーで黒色を発色させることで形成してもよい。 Further, the light-shielding area may be formed by coloring all of the above-mentioned multiple color couplers (CMY), but it is formed by blending a black-forming coupler and coloring black with this black-forming coupler. Also good.
本技術に用いられるハロゲン化銀を含む写真乳剤は、感光材料の製造工程、保存中あるいは写真処理中のカブリを防止し、あるいは写真性能を安定化させるなどの目的で、種々の化合物を含有させることができる。すなわちアゾール類、例えばベンゾチアゾリウム塩、ニトロイミダゾール類、ニトロベンズイミダゾール類、クロロベンズイミダゾール類、ブロモベンズイミダゾール類、メルカプトチアゾール類、メルカプトベンズチアゾール類、メルカプトベンズイミダゾール類、メルカプトチアジアゾール類、アミノトリアゾール類、ベンゾトリアゾール類、ニトロベンゾトリアゾール類、メルカプトテトラゾール類(特に1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール);メルカプトピリミジン類、メルカプトトリアジン類;例えばオキサドリンチオンのようなチオケト化合物;アザインデン類、例えばトリアザインデン類、テトラアザインデン類(特に4−ヒドロキシ置換(1,3,3a,7)テトラアザインデン類)、ペンタアザインデン類など;ベンゼンチオスルフォン酸、ベンゼンスルフイン酸、ベンゼンスルフォン酸アミドのようなカブリ防止剤または安定剤として知られた、多くの化合物を加えることができる。 The photographic emulsion containing silver halide used in the present technology contains various compounds for the purpose of preventing fogging during the production process, storage or photographic processing of the light-sensitive material, or stabilizing the photographic performance. be able to. That is, azoles such as benzothiazolium salts, nitroimidazoles, nitrobenzimidazoles, chlorobenzimidazoles, bromobenzimidazoles, mercaptothiazoles, mercaptobenzthiazoles, mercaptobenzimidazoles, mercaptothiadiazoles, aminotriazoles Benzotriazoles, nitrobenzotriazoles, mercaptotetrazoles (especially 1-phenyl-5-mercaptotetrazole); mercaptopyrimidines, mercaptotriazines; thioketo compounds such as oxadoline thione; Dens, tetraazaindenes (especially 4-hydroxy substituted (1,3,3a, 7) tetraazaindenes), pentaazaindenes, etc .; Emissions Zen thio sulfonic acid, benzenesulfonic fins acid, known as antifoggants or stabilizers such as benzenesulfonic acid amide, can be added to many compounds.
なお、感光性発色剤21は、各種の増感剤を含むことが好ましく、また、塗布助剤、帯電防止、スベリ性改良、乳化分散、接着防止および写真特性改良(たとえば現像促進、硬調化、増感)など種々の目的で一種以上の界面活性剤を含んでもよい。 The photosensitive color former 21 preferably contains various sensitizers. Also, coating aids, antistatic properties, slipperiness improvement, emulsification dispersion, adhesion prevention, and photographic property improvements (for example, development acceleration, high contrast, One or more surfactants may be included for various purposes such as sensitization.
フィルター染料として、またはイラジェーションもしくはハレーション防止その他種々の目的のために親水性コロイド層中に水溶性染料を含有してもよい。このような染料として、オキソノール染料、ヘキオキソノール染料、スチリル染料、メロシアニン染料、アントラキノン染料、アゾ染料が好ましく使用され、この他にシアニン染料、アゾメチン染料、トリアリールメチン染料、フタロシアニン染料も有用である。油溶性染料を水中油滴分散法により乳化して親水性コロイド層に添加することもできる。 A water-soluble dye may be contained in the hydrophilic colloid layer as a filter dye or for various purposes such as prevention of irradiation or halation. As such dyes, oxonol dyes, hexoxonol dyes, styryl dyes, merocyanine dyes, anthraquinone dyes, and azo dyes are preferably used, and cyanine dyes, azomethine dyes, triarylmethine dyes, and phthalocyanine dyes are also useful. An oil-soluble dye can be emulsified by an oil-in-water dispersion method and added to the hydrophilic colloid layer.
なお、感光性発色剤21の基板20上への配置方法としては、スピンコーティング法、スクリーン印刷等の印刷法、塗布ローラを用いたロールコーティング法、ディスペンサ等を用いる塗布方法、予め感光性発色剤をシート化しておいて基板に貼着する方法、その他の任意の塗布方法を用いることができる。また、感光性発色剤の層の厚みは特に限定されないが、カラーフィルタとして十分な彩度を確保するためには5〜30μmであることが好ましく、10〜20μmの範囲内であることが特に望ましい。
In addition, as a method for arranging the photosensitive color former 21 on the
また、感光性発色剤21は基板20の表面(内面)の全面に配置することが好ましい。本実施形態では従来のようにフィルタ色ごとの膜形成やパターニング処理を行わなくてもよいという効果が得られるが、感光性発色剤21を基板20の全面に配置することで、基板20上で選択的に配置するための選択的塗布法、或いは、不要部分を除去するためのパターニング処理を実施する必要がなくなるというさらなる利点が得られる。
The photosensitive color former 21 is preferably disposed on the entire surface (inner surface) of the
次に、図2に示すように、図示しない光源と予め形成してなるカラーマスク22とを用いて、上記感光性発色剤21を一括露光する。カラーマスク22は、カラーフィルタに形成すべき複数の領域(フィルタ領域及び遮光領域)に対応するマスク領域22A、22B、22C、22Dを有している。たとえば、マスク領域22A、22B、22Cは赤、緑、青に相当する光学フィルタとなっており、マスク領域22Dは黒に相当する遮光フィルタとなっている。
Next, as shown in FIG. 2, the photosensitive color former 21 is collectively exposed using a light source (not shown) and a
ここで、上記カラーマスク22を用いて一括露光する代わりに、所定領域のみで透光性を有するマスクと、これに対応する所定の波長分布を有する光とを用いた露光を、異なるマスクと異なる光で順次に露光していくことも可能である。このように順次露光をする場合でも、露光対象となる感光性発色剤21は共通である。
Here, instead of performing batch exposure using the
次に、上記のように露光された感光性発色剤21を現像処理し、図3に示すように、フィルタ領域23A、23B、23C及び遮光領域23Dを有するカラーフィルタ層23を形成する。たとえば、フィルタ領域23Aは赤色フィルタであり、フィルタ領域23Bは緑色フィルタであり、フィルタ領域23Cは青色フィルタであり、遮光領域23Dは黒色の遮光部である。カラーフィルタ層23における複数の領域としては、少なくとも二色以上の異なる色を有する領域が含まれていることが好ましく、特に、3色以上の異なる色を有する領域が含まれていることが望ましい。実際には、フルカラー表示を行う場合には、3又は4色のフィルタ領域を含むことが望ましい。
Next, the photosensitive color former 21 exposed as described above is developed to form a
上記の現像工程は、上記のようにハロゲン化銀化合物及び発色カプラを含水性透光基材中に配合してなる感光性発色剤21を用いる場合には、通常、露光による潜像を反応させて銀粒子を生成する黒白現像段階、露光されなかった部分に潜像を形成する反転処理段階、発色カプラを色素に変化させることで反転処理段階で潜像化された部分を発色させる発色現像段階、生成された銀粒子(及び必要に応じて不要なカプラ等)を可溶化するとともに水洗等で溶出させる漂白処理段階を順次行う。最後の漂白処理段階では透光基材の含水性を利用して銀粒子の除去処理が行われる。 In the above development step, when the photosensitive color former 21 formed by blending the silver halide compound and the color coupler in the water-containing translucent substrate as described above is used, the latent image by exposure is usually reacted. Black and white development stage to produce silver particles, reversal processing stage to form a latent image on the unexposed area, color development stage to color the latent image part in the reversal processing stage by changing the color coupler to a dye Then, a bleaching step is performed in which the produced silver particles (and unnecessary couplers, etc., if necessary) are solubilized and eluted by washing with water. In the final bleaching step, silver particles are removed using the water content of the light-transmitting substrate.
最後に、図4に示すように、上記カラーフィルタ層23上に透明な保護膜24をアクリル樹脂等によって形成する。この保護膜24はカラーフィルタ層23を保護し、異物の進入を防止する。なお、カラーフィルタ層23が十分な耐性を備えているものである場合、或いは、カラーフィルタ層23と接する部分による影響がない場合には上記保護膜24は不要である。
Finally, as shown in FIG. 4, a transparent
本実施形態では、上記のように共通する感光性発色剤21の領域ごとに異なる波長分布で露光を実施し、その後、現像処理を施すことで、複数色のフィルタ領域23A、23B、23C及び遮光領域23Dを有するカラーフィルタ層23を形成することができるので、カラーフィルタ層の製造工程が簡略化されるとともに、カラーフィルタ層23の各領域に位置ずれが生ずることがなく、さらに、その表面に段差が生ずることもない。したがって、当該カラーフィルタ層23上に他の構造を形成する場合でも、その位置ずれや段差に伴う不具合を防止することができる。
In the present embodiment, as described above, exposure is performed with a different wavelength distribution for each region of the photosensitive color former 21 that is common, and then development processing is performed, so that the
次に、図5及び図6を参照して、本発明に係る電気光学装置の実施形態について説明する。上記のように形成されたカラーフィルタ層23は、液晶表示装置をはじめとする各種の電気光学装置のカラーフィルタとして広く用いることができるものであるが、特に、横電界方式と呼ばれる、一方の基板上に電極を形成する必要のない電気光学装置に用いることが好ましい。一例として、一方の基板上には電極が存在せず、他方の基板上にのみ液晶に電界を付与するための2種類の電極を備えた横電界方式の液晶表示装置がある。以下では、この横電界方式の液晶表示装置を例として説明する。
Next, an embodiment of the electro-optical device according to the invention will be described with reference to FIGS. The
図5は本発明の電機光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネル100の全体構成を模式的に示す概略構成縦断面図である。液晶表示パネル100は、ガラスやプラスチックなどで構成された透明な基板10及び20を、シール材30を介して貼り合わせてセル構造を形成し、その内部に液晶31を封入して構成される。ここで、図5に示すように、基板10は、基板20の外縁より外側へ張り出した張り出し部10Tを有している。また、基板10の外面上には偏光板19が設置され、また、基板20の外面上には偏光板29が設置されている。
FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view schematically showing the overall configuration of a liquid
上記の液晶表示パネル100には、一般的には、基板10側にバックライトとして図示しない照明装置(面状光源)が隣接配置され、この照明装置から放出された照明光が偏光板19、基板10、液晶31、基板20、偏光板29を順次に通過することでサブ画素Pごとに光が変調され、その結果、表示領域100Aに所望の画像が形成される。また、当該照明装置と基板10の間には、図示しない拡散シートやプリズムシートが設けられる。拡散シートは、照明装置より出射された照明光を全方位に拡散する役割を有する。プリズムシートは、照明光を液晶表示パネル100に集光する役割を有する。
In the liquid
ここで、液晶表示パネル100の内部構造について説明する。この液晶表示パネル100は、横電界方式の液晶表示パネルである。図6(a)には1つのサブ画素Pにおける液晶表示パネル100の拡大縦断面図を示す。ここでは、液晶表示パネル100は、一例として、FFS(Fringe Field Switching)方式の液晶表示パネルであるとする。ただし、横電界モードとしてはIPS(In−plane Switching)方式などの他形式の液晶表示パネルとしてもよい。
Here, the internal structure of the liquid
先にも述べたように、液晶表示パネル100は、基板10及び基板20の間に液晶31を配置することで構成されている。基板10の内面上には、ITOなどの透明導電体により共通電極11が面状に形成されている。共通電極11の内面上には、アクリル樹脂などにより絶縁層12が面状に形成され、共通電極11を被覆している。絶縁層12の内面上にはITOなどの透明導電体により画素電極13が形成されている。また、基板10の内面上の一部領域(図示例ではシール材30の外側の領域)に、アライメントマーク18が形成されている。このアライメントマーク18は後述するアライメントマーク28とともに基板10と20を貼り合わせる際のアライメントに用いられるマークである。
As described above, the liquid
一方、基板20の内面上には、前述のフィルタ領域23A、23B、23C及び遮光領域23Dを含むカラーフィルタ層23が形成されている。また、カラーフィルタ層23の内面上には、必要に応じて保護膜24が形成され、さらにその内面上には配向膜25が形成されている。カラーフィルタ層23の一部領域(図示例ではシール材30の外側の領域)に、明度と色相の少なくとも一方が周囲と異なるアライメントマーク28が設けられ、このアライメントマーク28は上記アライメントマーク18と対応する位置(アライメント可能な位置)に形成されている。
On the other hand, on the inner surface of the
図6(b)には画素電極13の平面図を示す。図6(b)に示すように、画素電極13は櫛歯形状をなしている。具体的には、画素電極13は、それぞれ直線状に構成され、相互にストライプ状に配列された導電部13a、導電部13b、導電部13c、導電部13d、導電部13eの各導電部より構成され、これらの複数の導電部が一体化されている。液晶表示パネル100は、画素電極13の各導電部13a〜13eと共通電極11との間で横方向の電界(横電界)Eを発生させる。
FIG. 6B shows a plan view of the
図5に戻り説明を続けると、上記のように構成された液晶表示パネル100では、表示領域100A内に複数のサブ画素Pが配列されている。サブ画素Pはカラーフィルタ層23のフィルタ領域23A、23B、23Cのいずれかを含み、これらの領域と対応した平面範囲を占める。また、サブ画素P間には遮光領域23Dによって形成された画素間領域Gが構成され、当該部分が遮光領域23Dによって遮光されることにより、上記電界Eによる制御が不十分な画素間領域G内の液晶31の配向状態による光漏れ等が防止され、表示品位が確保される。
Returning to FIG. 5 and continuing the description, in the liquid
ここで、図示例ではカラーフィルタ層23が基板20の内面上に全面的に形成されており、これによって上記のカラーフィルタ層23の形成工程において選択的塗布法やパターニング処理を不要とすることが可能となっている。ただし、シール材30との密着性、液晶31の厚み等に応じて、カラーフィルタ層23をシール材30の内側の領域に限定して形成してもよい。
Here, in the illustrated example, the
また、基板10の張り出し部10Tの表面上には、COG(Chip On Glass)技術により、液晶駆動用IC(ドライバ)である駆動回路32が直接配置されている。液晶表示パネル100の端部には、フレキシブル基板たるFPC(Flexible Printed Circuit)33が配置されている。また、基板10の張り出し部10Tの表面上には、例えば、銅箔をフォトエッチング法などによりパターニング形成することで、配線15、16、17が形成されている。駆動回路32の一部の端子は基板10の張り出し部10T上に形成された配線17を通じてFPC33に電気的に接続されている。
Further, on the surface of the projecting
共通電極11は、基板10の張り出し部10T上に形成された配線15を通じて駆動回路32の共通電位用端子(COM端子)と電気的に接続されている。画素電極13は、基板10の張り出し部10T上に形成された配線16(配線15が示される図5の断面とは異なる断面位置に形成されている。)を通じて駆動回路32の一部の端子と電気的に接続されている。駆動回路32は、外部の電子機器からFPC33を介して供給された制御信号を基に電界Eの大きさを制御する。横電界方式の液晶表示パネル100では、電界Eの大きさを制御することにより、液晶31における液晶分子の配向状態を変化させ、表示画面における階調を変化させる。
The
以上のことから分かるように、横電界方式の液晶表示パネル100では、基板10の内面上にのみ、画素電極13及び共通電極11といった上記電界Eを形成するための電極が形成され、基板20の内面上には電極が形成されない。そのため、例えば、カラーフィルタ基板である基板20の内面上に形成されたカラーフィルタ層23は、その内面上に電極形成工程を施す必要がなくなり、特に、ITO等の透明導電体を形成するために必要な高温プロセス、たとえば400℃を越える温度の影響を受けることがなくなる。なお、配向膜25の形成プロセスは高々200〜400℃程度の加熱で足りる。
As can be seen from the above, in the horizontal electric field type liquid
その結果、本実施形態に係る液晶表示パネル100では、上述のように形成されたカラーフィルタ層23が高温にさらされないため、上記のような含水性透光基材を主体とする構成でも質的な影響を受けることがなくなる。したがって、カラーフィルタ層23の材質の選択肢が広がり、光透過特性の最適化を図りやすくなる。
As a result, in the liquid
また、本実施形態では、上述のカラーフィルタ層23を用いることにより、カラーフィルタ層23の表面に段差が生じないように構成できるので、液晶31の厚みの均一性を高めることが可能になり、その結果、表示品位を向上させることが可能になる。
Further, in the present embodiment, by using the
(液晶装置の製造方法) (Manufacturing method of liquid crystal device)
次に、本実施形態に係る液晶表示パネル100の製造方法について説明する。まず、基板形成工程として、図5に示すように、上記の基板10の内面上に共通電極11、絶縁膜12、画素電極13、配線15、16、17を形成するとともに、基板20の内面上にカラーフィルタ層23、保護膜24、配向膜25を形成する。
Next, a method for manufacturing the liquid
このとき、基板10の内面上(図示例の場合にはシール材30の外側にある領域)には、アライメントマーク18が形成される。このアライメントマーク18は、基板10の内面上の構造を形成するためのいずれかの工程と同時に形成することができる。たとえば、図示例の場合には、アライメントマーク18は共通電極11又は画素電極13の形成工程と同時に同材質で形成される。
At this time, the
一方、基板20の内面上((図示例の場合にはシール材30の外側にある領域)には、アライメントマーク28が形成される。このアライメントマーク28は、基板20の内面上の構造を形成するためのいずれかの工程と同時に形成することができる。たとえば、図示例の場合には、アライメントマーク28はカラーフィルタ層23の形成工程と同時に同材質で形成される。具体的に述べると、図2に示す露光工程においてカラーマスク22等で構成される露光パターン内にアライメントマーク28に対応するパターンを組み込んでおくことで、図3に示す現像工程後においてカラーフィルタ層23の一部に周囲と異なる光透過特性(たとえば、明度と色相の少なくとも一方が異なる特性)を備えたアライメントマーク28が形成される。
On the other hand, an
次に、表示パネル製造工程として、2枚の基板10と20がシール材30を介して貼り合わされる。このとき、当該貼り合わせの前に、上記のアライメントマーク28をアライメントマーク18に合わせることで、基板10と20のアライメントが行われる。なお、アライメントマーク18を設けずに、この代わりに基板10の内面上の配線、端子等の他の構造にアライメントマーク28を合わせることでもアライメントを行うことは可能である。
Next, as a display panel manufacturing process, the two
その後、貼り合わされた2枚の基板10、20の間に液晶31が封入され、基板10の張り出し部10T上にパターニングされた配線15、16,17と電気的に接続されるように、COG(Chip On Glass)技術により駆動回路32及びFPC33が基板10に配置され、実装される。
Thereafter, the
なお、上記の製造方法では、横電界方式の液晶表示パネル100を製造する場合を例として説明したが、このように横電界方式の電気光学パネルを形成することで、カラーフィルタ層23を形成した後に400℃を超える高温プロセスを行わなくてもよいため、カラーフィルタ層23の耐熱性の許容範囲が広がり、光学特性の最適化を図ることができる。
In the above manufacturing method, the case where the horizontal electric field type liquid
ただし、上記の構成ではなくても、カラーフィルタ層23の形成後のプロセスを低温化することで対応することは可能である。たとえば、基板20の内面上においてカラーフィルタ層23上にITO等の透明導電体で電極を形成する場合であっても、この電極をアモルファス透明導電膜として形成することで高温プロセスを回避することができる。また、酸素プラズマを利用した亜鉛蒸気からの成膜により酸化亜鉛薄膜を形成することでも低温プロセスで透明導電膜を形成できる。一方、反射型パネル等で用いられる金属電極でもスパッタリング法や蒸着法により低温で電極形成を行うことは可能である。
However, even if it is not said structure, it can respond by reducing the process after formation of the
[電子機器]
最後に、上述した各実施形態に係る電気光学装置を電子機器に搭載してなる実施形態に説明する。この電子機器は、上記液晶表示パネル100を表示部に搭載してなる電子機器であり、図7は、電子機器における液晶表示装置に対する制御系(表示制御系)の全体構成を示す概略構成図である。ここに示す電子機器は、表示情報出力源291と、表示情報処理回路292と、電源回路293と、タイミングジェネレータ294と、バックライト140への電力供給を行う光源制御回路295とを含む表示制御回路290を有する。また、液晶表示装置には、上述の構成を有する液晶表示パネル100と、この液晶表示パネル100を駆動する駆動回路132と、液晶表示パネル100を照明するためのバックライト140とが設けられている。この駆動回路132は、上記のように液晶表示パネル100に直接実装されている電子部品で構成されるが、上記のような態様の他に、液晶表示パネル100の基板表面上に形成された回路パターン、或いは、液晶表示パネル100に導電接続された回路基板(上記のFPC133)上に実装された半導体ICチップ若しくは回路パターンなどによっても構成することができる。
[Electronics]
Finally, an embodiment in which the electro-optical device according to each embodiment described above is mounted on an electronic apparatus will be described. This electronic device is an electronic device in which the liquid
表示情報出力源291は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)等からなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスク等からなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備え、タイミングジェネレータ294によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等の形で表示情報を表示情報処理回路292に供給するように構成されている。
The display
表示情報処理回路292は、シリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKと共に駆動回路132へ供給する。駆動回路132は、走査線駆動回路、信号線駆動回路及び検査回路を含む。また、電源回路293は、上述の各構成要素にそれぞれ所定の電圧を供給する。
The display information processing circuit 292 includes various known circuits such as a serial-parallel conversion circuit, an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit, and executes processing of input display information to obtain image information. Are supplied to the
光源制御回路295は、電源回路293から供給される電圧に基づいてバックライト140の光源に電力を供給し、所定の制御信号に基づいて光源の点灯の有無及びその輝度等を制御するようになっている。
The light
図8は、本発明に係る電子機器の一実施形態である携帯電話機を示している。ここに示す携帯電話機1000は、複数の操作ボタン、送話口などを備えた操作部1001と、受話口などを備えた表示部1002とを有し、表示部1002の内部に上記の液晶表示パネル100が組み込まれてなる。そして表示部1002の表面(内面)上に液晶表示パネル100の表示領域100A(図5参照)を視認することができるようになっている。この場合、携帯電話機1000の内部には、上記液晶表示パネル100を制御する上記の表示制御回路290が設けられる。この表示制御回路290は液晶表示パネル100の表示態様を決定する。
FIG. 8 shows a mobile phone which is an embodiment of an electronic apparatus according to the present invention. A
また、本発明に係る電子機器としては、図8に示す携帯電話機の他に、液晶テレビ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワークステーション、テレビ電話、POS端末機などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として本発明に係る液晶表示装置を用いることができる。 In addition to the mobile phone shown in FIG. 8, examples of the electronic apparatus according to the present invention include a liquid crystal television, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a workstation, a videophone, and a POS terminal. And the liquid crystal display device which concerns on this invention can be used as a display part of these various electronic devices.
尚、本発明は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記の実施形態においては、液晶表示パネルを備えた液晶表示装置について説明したが、本発明は、液晶表示装置に限らず、有機エレクトロルミネッセンス表示装置や電気泳動表示装置などの他の電気光学装置であっても構わない。 Note that the present invention is not limited to the illustrated examples described above, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the liquid crystal display device including the liquid crystal display panel has been described. However, the present invention is not limited to the liquid crystal display device, and other electro-optical devices such as an organic electroluminescence display device and an electrophoretic display device. It may be a device.
10、20…基板、11…共通電極、12…絶縁層、13…画素電極、15、16、17…配線、18…アライメントマーク、19…偏光板、21…感光性発色剤、22…カラーマスク、23…カラーフィルタ層、23A,23B,23C…フィルタ領域、23D…遮光領域、24…保護膜、25…配向膜、28…アライメントマーク、29…偏光板、100…液晶表示パネル(電気光学パネル)、30…シール材、31…液晶、32…駆動回路、33…FPC、290…表示制御回路、1000…電子機器(携帯電話機)
DESCRIPTION OF
Claims (9)
一方の前記基板上に、露光波長分布に応じた複数色の感光発色機能を有する感光性発色剤を配置する原剤配置工程と、
前記感光性発色剤を異なる複数の波長分布を備えた光で複数の領域を露光して感光作用を生じさせる露光工程と、
露光された前記感光性発色剤を現像して前記領域に発色作用を生じさせ、複数色の前記領域を形成する現像工程と、
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 In a method for manufacturing an electro-optical device in which an electro-optical material is disposed between a pair of substrates,
On the one substrate, a base agent arrangement step of arranging a photosensitive color former having a photosensitive color development function of a plurality of colors according to the exposure wavelength distribution;
An exposure step of exposing a plurality of regions with light having a plurality of different wavelength distributions to produce a photosensitive action by the photosensitive color former;
Developing the exposed photosensitive color former to cause color development in the region, and forming the region of a plurality of colors;
An electro-optical device manufacturing method comprising:
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