JP2008216030A

JP2008216030A - Semiconductor test system

Info

Publication number: JP2008216030A
Application number: JP2007053674A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Kinoshita; 博之木下
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2007-03-05
Filing date: 2007-03-05
Publication date: 2008-09-18
Anticipated expiration: 2027-03-05
Also published as: JP5067605B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor test system that does not affect the accuracy of measurement under execution while shortening the switching period of a test program. <P>SOLUTION: This semiconductor test system comprises a server 20 for storing a plurality of test programs to a semiconductor device and transferring a test program to a tester according to the transfer request from the tester, a test executing means 34 that is disposed in the tester 30 and measures the device according to one test program, a spare time recognizing means 36 for recognizing the measurement stopping time to the device, and a transfer requesting means 40 for requesting the transfer of another test program from the server during the measurement stopping time. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ＩＣデバイスやメモリデバイス等の半導体デバイスを試験する半導体試験システムに関するものである。 The present invention relates to a semiconductor test system for testing a semiconductor device such as an IC device or a memory device.

この種のシステムは半導体デバイスの製造ラインに配置され、デバイスの機能動作等を試験し、このデバイスからの出力信号に応じてその良否を判定している（特許文献１参照）。
また、従来のシステムは図８に示されている。詳しくは、システム１００はファイルサーバ１２０とテスタ１３０とを備えており、これらサーバ１２０とテスタ１３０とはネットワークを介してデータが交換可能に構成されている。 This type of system is arranged in a semiconductor device manufacturing line, tests the functional operation of the device, etc., and determines its quality according to the output signal from this device (see Patent Document 1).
A conventional system is shown in FIG. Specifically, the system 100 includes a file server 120 and a tester 130, and the server 120 and the tester 130 are configured to exchange data via a network.

サーバ１２０は複数の格納部１２１，１２２を有し、各格納部１２１，１２２には、最初に試験を行う品種用の試験プログラムや、次に試験を行う品種用の試験プログラムがそれぞれ予め用意されている。まず、最初の品種用の試験プログラムがＨＤＤ１３１に転送され、このプログラムがメモリ１３３にロードされる。そして、テスタ１３０では当該プログラムに沿ってデバイスの測定を開始する。続いて、この試験の終了後には、オペレータからの指示に基づいてプログラムを次のプログラムに切り替える。これにより、次の品種用の試験プログラムがＨＤＤ１４１に転送され、メモリ１４３にロードされたこのプログラムに沿ってデバイスの測定を開始する。 The server 120 has a plurality of storage units 121 and 122. Each storage unit 121 and 122 is prepared in advance with a test program for a product type to be tested first and a test program for a product type to be tested next. ing. First, a test program for the first product type is transferred to the HDD 131, and this program is loaded into the memory 133. Then, the tester 130 starts measuring the device according to the program. Subsequently, after the end of this test, the program is switched to the next program based on an instruction from the operator. As a result, the test program for the next product type is transferred to the HDD 141, and device measurement is started in accordance with this program loaded in the memory 143.

特開平０６−０８２５２５号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 06-082525

ところで、近年のデバイスには種々の機能が求められ、デバイスの試験内容は複雑になっている。換言すれば、試験プログラムのサイズが大きくなり、このプログラムの切り替え時間も長くなっている。そして、この切り替え時間中には測定を開始できないので、システムの生産能力やテスタの稼働率が低下するとの問題がある。 By the way, various functions are required for recent devices, and the test contents of the devices are complicated. In other words, the size of the test program is increased, and the switching time of this program is also increased. And since measurement cannot be started during this switching time, there is a problem that the production capacity of the system and the operation rate of the tester are lowered.

一方、テスタがデバイスを測定しながら、次の品種用の試験プログラムがＨＤＤに転送されると、実行中の測定精度に影響を与えるとの問題が別途生ずるのである。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解消し、試験プログラムの切り替え時間の短縮化を達成しつつ、実行中の測定精度に影響を及ぼさない半導体試験システムを提供することである。 On the other hand, if the test program for the next product type is transferred to the HDD while the tester measures the device, another problem arises that the measurement accuracy during execution is affected.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor test system that solves the above-described problems and achieves a reduction in test program switching time while not affecting the measurement accuracy during execution.

上記目的を達成するための第１の発明は、半導体デバイスに対する複数の試験プログラムを格納し、テスタからの転送要求に応じて試験プログラムをテスタに向けて転送するサーバと、テスタに備えられており、一の試験プログラムに沿ってデバイスを測定するテスト実行手段と、デバイスに対する測定停止時間を認識する空き時間認識手段と、測定停止時間中にサーバに対して他の試験プログラムの転送を要求する転送要求手段とを具備する。 A first invention for achieving the above object is provided in a tester and a server for storing a plurality of test programs for a semiconductor device and transferring the test program to the tester in response to a transfer request from the tester. , Test execution means for measuring a device in accordance with one test program, idle time recognition means for recognizing a measurement stop time for the device, and transfer for requesting the server to transfer another test program during the measurement stop time Requesting means.

第１の発明によれば、サーバは、半導体デバイスに対する複数の試験プログラムを格納し、テスタからの転送要求に応じて各試験プログラムをテスタに向けて転送する。
ここで、テスタには、一の試験プログラムによる測定停止時間中にサーバに対して他の試験プログラムの転送を要求する転送要求手段が備えられており、空き時間認識手段で認識された空き時間中には他の試験プログラムがサーバからテスタに向けて転送される。よって、当該他の試験プログラムに要する転送時間が従来に比して短縮され、試験プログラムの切り替え時間が短くて済む。この結果、次の試験プログラムに基づく測定が速やかに開始可能となる。
しかも、空き時間中に他のプログラムがテスタに向けて転送されることから、実行中の測定精度に影響を及ぼさず、試験システムの信頼性の向上に寄与する。 According to the first invention, the server stores a plurality of test programs for the semiconductor device, and transfers each test program to the tester in response to a transfer request from the tester.
Here, the tester is provided with transfer request means for requesting the server to transfer another test program during the measurement stop time by one test program, and during the free time recognized by the free time recognition means. The other test program is transferred from the server to the tester. Therefore, the transfer time required for the other test program is shortened as compared with the conventional one, and the test program switching time can be shortened. As a result, measurement based on the next test program can be started quickly.
In addition, since other programs are transferred to the tester during the idle time, the measurement accuracy during execution is not affected, and the reliability of the test system is improved.

第２の発明は、第１の発明の構成において、サーバは、転送要求手段による転送要求に基づいてテスタに対して他の試験プログラムを転送する転送実行手段を有し、転送実行手段は、測定停止時間中には、他の試験プログラムを分割して転送していることを特徴とする。
第２の発明によれば、第１の発明の作用に加えてさらに、サーバには他の試験プログラムを転送する転送実行手段が備えられ、認識された空き時間中には他の試験プログラムを分割して転送しているので、空き時間の長さに応じた試験プログラムの転送が可能になる。 According to a second invention, in the configuration of the first invention, the server has a transfer execution means for transferring another test program to the tester based on a transfer request by the transfer request means. During the stop time, another test program is divided and transferred.
According to the second invention, in addition to the operation of the first invention, the server is further provided with transfer execution means for transferring another test program, and the other test program is divided during the recognized free time. Therefore, the test program can be transferred according to the length of the free time.

第３の発明は、第１や第２の発明の構成において、サーバは、転送要求手段による転送要求があった場合には、他の試験プログラムの更新を禁止するロック手段を有していることを特徴とする。
第３の発明によれば、第１や第２の発明の作用に加えてさらに、他の試験プログラムの転送要求があった場合には、ロック手段によって当該他の試験プログラムの更新が禁止される。よって、当該他の試験プログラムは追加・変更・削除されることなくテスタに転送されることから、試験システムのさらなる信頼性向上に寄与する。 According to a third invention, in the configuration of the first or second invention, the server has a lock unit that prohibits updating of another test program when a transfer request is made by the transfer request unit. It is characterized by.
According to the third invention, in addition to the operation of the first and second inventions, when there is a request to transfer another test program, the update of the other test program is prohibited by the lock means. . Therefore, the other test program is transferred to the tester without being added, changed, or deleted, which contributes to further improving the reliability of the test system.

本発明によれば、試験プログラムの切り替え時間が短縮され、次の試験を速やかに開始可能な半導体試験システムを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor test system in which the test program switching time is shortened and the next test can be started quickly.

以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は本実施例の半導体試験システム１０のブロック図であり、このシステム１０は図示しない被試験対象（ＤＵＴ）であるＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）デバイスの製造ラインに配置されている。
システム１０はファイルサーバ（サーバ）２０とＩＣテスタ３０とを備えており、これらサーバ２０とテスタ３０とは各種のデータがネットワークを介して相互に交換可能に構成されている。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor test system 10 according to the present embodiment. This system 10 is arranged on a production line of an IC (Integrated Circuit) device which is a device under test (DUT) (not shown).
The system 10 includes a file server (server) 20 and an IC tester 30. The server 20 and the tester 30 are configured such that various types of data can be exchanged with each other via a network.

サーバ２０は複数の格納部２１，２２を有している。格納部２１には最初に試験を行う品種用の試験プログラムが、格納部２２には次に試験を行う品種用の試験プログラムがそれぞれ用意され、サーバ２０にて一元管理されている。そして、各プログラムはテスタ３０からの転送要求に応じて格納部２１，２２から読み出される。 The server 20 has a plurality of storage units 21 and 22. A test program for a product type to be tested first is prepared in the storage unit 21, and a test program for a product type to be tested next is prepared in the storage unit 22, which are centrally managed by the server 20. Each program is read from the storage units 21 and 22 in response to a transfer request from the tester 30.

また、本実施例のサーバ２０はファイルロック部（ロック手段）２４を有し、このロック部２４では、テスタ３０から転送要求があった場合には格納部２１，２２から読み出された各プログラムの更新は禁止され、当該プログラムが転送実行部（転送実行手段）２６に出力される。
本実施例の実行部２６では、テスタ３０からの転送要求に応じてプログラムが一括或いは分割してテスタ３０に転送される。そして、実行部２６では、プログラムがテスタ３０に転送された場合にはロック部２４に転送の完了が通知され、ロック部２４ではこのプログラムの更新の禁止が解除される。 In addition, the server 20 of this embodiment has a file lock unit (lock unit) 24, and each program read from the storage units 21 and 22 when a transfer request is made from the tester 30. Updating is prohibited, and the program is output to the transfer execution unit (transfer execution means) 26.
In the execution unit 26 of this embodiment, the program is transferred to the tester 30 in a batch or divided according to a transfer request from the tester 30. Then, when the program is transferred to the tester 30, the execution unit 26 notifies the lock unit 24 of the completion of the transfer, and the lock unit 24 cancels the prohibition of updating the program.

なお、上記ロック部２４では、テスタ３０から転送要求があったとしても、万一、このプログラムが既に更新中である場合には、実行部２６からテスタ３０への当該プログラムの転送が禁止される。
一方、テスタ３０はＨＤＤ３１を有しており、プログラムはＨＤＤ３１に転送されている。このプログラムの転送が完了したか否かは転送判定部３２にて判別されており、転送が完了した場合には、このプログラムはメモリ３３にロードされる。 In the lock unit 24, even if there is a transfer request from the tester 30, if the program is already being updated, transfer of the program from the execution unit 26 to the tester 30 is prohibited. .
On the other hand, the tester 30 has an HDD 31, and the program is transferred to the HDD 31. Whether or not the transfer of the program is completed is determined by the transfer determination unit 32. When the transfer is completed, the program is loaded into the memory 33.

テスト実行部（テスト実行手段）３４では、ＤＵＴがメモリ３３にロードされたプログラムに沿って試験される。詳しくは、この実行部３４では、例えば読み出し（Ｒｅａｄ）、書き込み（Ｗｒｉｔｅ）及び消去（Ｅｒａｓｅ）等の各機能を動作させるパターンがプローバ(或いはハンドラ)を介してＤＵＴに出力されており、このＤＵＴからの出力信号を測定してその良否が判定される。 In the test execution unit (test execution means) 34, the DUT is tested according to the program loaded in the memory 33. Specifically, in the execution unit 34, for example, a pattern for operating each function such as reading, writing, and erasing is output to the DUT via a prober (or handler). The output signal from is measured to determine its quality.

本実施例の空き時間認識部（空き時間認識手段）３６はテスタ３０に備えられている。この認識部３６では、実行部３４による今回の測定停止時刻及び次回の測定開始時刻がそれぞれ検出されており、試験の空き時間を認識し、この空き時間が転送要求部４０に出力されている。そして、この要求部４０では次の品種用のプログラムの転送がサーバ２０に要求される。 The free time recognition unit (free time recognition means) 36 of this embodiment is provided in the tester 30. In the recognizing unit 36, the current measurement stop time and the next measurement start time by the execution unit 34 are respectively detected, the free time of the test is recognized, and this free time is output to the transfer request unit 40. The request unit 40 requests the server 20 to transfer a program for the next product type.

このように本実施例では、テスタ３０は、最初の品種用のプログラムによる試験中に現れる空き時間を見つけ、サーバ２０に次の品種用のプログラムの転送を要求する。そして、サーバ２０は次の品種用のプログラムをテスタ３０に向けて転送する動作に入る。
より具体的には、仮に、１枚のウェハにはＸ個のＤＵＴが形成され、１つのロットはＹ枚のウェハで構成されており、Ｚ個のロットで１つの品種が構成されているとする。 As described above, in this embodiment, the tester 30 finds a free time that appears during the test by the program for the first product type, and requests the server 20 to transfer the program for the next product type. Then, the server 20 enters an operation of transferring a program for the next product type toward the tester 30.
More specifically, suppose that X DUTs are formed on one wafer, one lot is composed of Y wafers, and one lot is composed of Z lots. To do.

この場合の認識部３６は、実行部３４の実行中のうち測定停止時間中、例えば、最初の品種において、ロット番号１におけるウェハ番号１のＤＵＴ番号１の測定終了から同じウェハ番号１のＤＵＴ番号２の測定開始までの期間（ＤＵＴ切り替え時間）、このウェハ番号１のＤＵＴ番号Ｘの測定終了からウェハ番号２のＤＵＴ番号１の測定開始までの期間（ウェハ切り替え時間）、このロット番号１のウェハ番号Ｙの測定終了からロット番号２のウェハ番号１の測定開始までの期間（ロット切り替え時間）がそれぞれ空き時間として認識される。つまり、仮に、ＤＵＴが１個ずつ測定される場合には、ＤＵＴ切り替え時間はＸ−１個、ウェハ切り替え時間はＹ−１個、及びロット切り替え時間はＺ−１個存在する。なお、複数個のＤＵＴを同時に測定しても良く、この場合には、ＤＵＴ切り替え時間はその同測数に応じて少なくなる。 In this case, the recognizing unit 36 performs the DUT number of the same wafer number 1 from the end of the measurement of the DUT number 1 of the wafer number 1 in the lot number 1 during the measurement stop time during the execution of the execution unit 34. 2 until the start of measurement (DUT switching time), the period from the end of measurement of DUT number X of wafer number 1 to the start of measurement of DUT number 1 of wafer number 2 (wafer switching time), the wafer of this lot number 1 Periods (lot switching time) from the end of measurement of number Y to the start of measurement of wafer number 1 of lot number 2 are recognized as idle times. That is, if one DUT is measured at a time, there are X-1 DUT switching times, Y-1 wafer switching times, and Z-1 lot switching times. Note that a plurality of DUTs may be measured simultaneously, and in this case, the DUT switching time is reduced according to the same number of measurements.

そして、要求部４０では、長さの異なる各空き時間中に、次の品種用のプログラムの転送がロック部２４に要求されており、転送実行部２６では、要求されたプログラムが各空き時間中にＨＤＤ３１に少しずつ転送されている。
また、切り替え実行部３８では、最初の品種用のプログラムが終了した場合にはオペレータからの指示に基づき、要求部４０を介してこのプログラムを次の品種用のプログラムに切り替える信号がサーバ２０に出力されている。そして、次の品種用のプログラムの総てがＨＤＤ３１に転送された場合には、このプログラムはメモリ３３にロードされ、テスト実行部３４にて該当品種のＤＵＴが試験される。 The request unit 40 requests the lock unit 24 to transfer a program for the next product type during each idle time having a different length, and the transfer execution unit 26 receives the requested program during each idle time. Are transferred to the HDD 31 little by little.
Further, in the switching execution unit 38, when the program for the first product is completed, a signal for switching this program to the program for the next product is output to the server 20 via the request unit 40 based on an instruction from the operator. Has been. When all the programs for the next product type are transferred to the HDD 31, the program is loaded into the memory 33, and the test execution unit 34 tests the DUT of the corresponding product type.

次に、図２から図６を参照すると、システム１０におけるＤＵＴの試験フローチャート等が示されており、以下、上記のように構成されたシステム１０の作用について説明する。 Next, referring to FIG. 2 to FIG. 6, there are shown test flowcharts of the DUT in the system 10, and the operation of the system 10 configured as described above will be described below.

まず、図２はサーバ２０による動作フローチャートであり、ステップＳ２０１では、要求部４０からプログラムに関する転送要求があるか否かを判別する。そして、転送要求があることを条件としてステップＳ２０２に進み、ロック部２４にて当該プログラムの更新を禁止する。
ステップＳ２０３では実行部２６にて当該プログラムの転送を実行してステップＳ２０４に進み、転送が完了した後にロック部２４にて当該プログラムの更新の禁止を解除して一連のルーチンを抜ける。 First, FIG. 2 is an operation flowchart by the server 20. In step S 201, it is determined whether or not there is a transfer request related to the program from the request unit 40. Then, the process proceeds to step S202 on the condition that there is a transfer request, and the lock unit 24 prohibits the update of the program.
In step S203, the execution unit 26 transfers the program and proceeds to step S204. After the transfer is completed, the lock unit 24 cancels the prohibition of updating the program and exits a series of routines.

この実行部２６の動作は図３に示されている。
同図のステップＳ３０１では、テスト実行部３４による測定停止時間中であるか否かを判別し、上述した認識部３６による空き時間の認識中である場合、すなわちＹＥＳと判定した場合にはステップＳ３０２に進む。
ステップＳ３０２では、次の品種用のプログラムを空き時間の長さに合わせて分割してＨＤＤ３１に転送し、所定の空き時間が経過するまでこのプログラムを転送する（ステップＳ３０３）。 The operation of the execution unit 26 is shown in FIG.
In step S301 in the figure, it is determined whether or not it is during the measurement stop time by the test execution unit 34. If the recognition unit 36 is recognizing the free time, that is, if YES is determined, step S302 is performed. Proceed to
In step S302, the program for the next product type is divided according to the length of the free time and transferred to the HDD 31, and this program is transferred until a predetermined free time has passed (step S303).

詳しくは、図４に示される如く、プローバにてＤＵＴとの接触が解かれている間（図中、実線で示す）は、上述したＤＵＴ切り替え時間、ウェハ切り替え時間、或いはロット切り替え時間のいずれかに該当することから、テスト実行部３４では測定停止時間中（図中、一点鎖線で示す）になる。より具体的には、プローバとＤＵＴとが接触すると、プローバから実行部３４に測定開始が指示される。この実行部３４では、測定データ収集機能を有効にすることにより、測定開始時刻Ｔｍｓが記録される。続いて、測定終了時刻Ｔｍｅが記録されると、実行部３４はプローバに測定終了を通知する。これにより、プローバとＤＵＴとの接触が解かれ、次の測定開始時刻Ｔｍｓが記録されるまでは、実行部３４の試験中であっても空き時間となる。 Specifically, as shown in FIG. 4, while the contact with the DUT is released by the prober (indicated by a solid line in the figure), any one of the above-described DUT switching time, wafer switching time, or lot switching time. Therefore, the test execution unit 34 is in the measurement stop time (indicated by the alternate long and short dash line in the figure). More specifically, when the prober contacts the DUT, the prober instructs the execution unit 34 to start measurement. The execution unit 34 records the measurement start time Tms by enabling the measurement data collection function. Subsequently, when the measurement end time Tme is recorded, the execution unit 34 notifies the prober of the measurement end. As a result, the contact between the prober and the DUT is released, and there is an idle time even during the test of the execution unit 34 until the next measurement start time Tms is recorded.

同時に、転送判定部３２では、転送開始時刻Ｔｔｓがネットワークアナライザで記録され、転送終了時刻Ｔｔｅが記録されるまでの間（図中、実線で示す）は常に上記測定停止時間内に該当することから、次の品種用のプログラムが転送可能となる。
このように、本実施例のシステム１０によれば、実行部３４による測定終了時刻Ｔｍｅと測定開始時刻Ｔｍｓとをそれぞれ記録するとともに、判定部３２による転送開始時刻Ｔｔｓと転送終了時刻Ｔｔｅとをそれぞれ記録することにより、測定停止時間の毎にプログラムの転送期間が発生し、プログラムは頻繁に転送可能であることが分かる。 At the same time, the transfer determination unit 32 always records the transfer start time Tts by the network analyzer and the transfer end time Tte (shown by a solid line in the figure) within the measurement stop time. The program for the next type can be transferred.
As described above, according to the system 10 of the present embodiment, the measurement end time Tme and the measurement start time Tms by the execution unit 34 are recorded, and the transfer start time Tts and the transfer end time Tte by the determination unit 32 are respectively recorded. By recording, a program transfer period occurs at every measurement stop time, and it can be seen that the program can be transferred frequently.

なお、上記ステップＳ３０１にて、例えばシステム１０の起動直後等の如く、空き時間が未だ認識されていない場合には、ステップＳ３０４に進んで最初の品種用のプログラムを一括してＨＤＤ３１に転送する。また、最初の品種に対する試験終了後において次の品種用のプログラムの総てが転送されていない場合にも、ステップＳ３０４に進む。 In step S301, if the free time has not yet been recognized, for example, immediately after the system 10 is started, the process proceeds to step S304 and the programs for the first product type are collectively transferred to the HDD 31. Also, if all the programs for the next product have not been transferred after the test for the first product is completed, the process proceeds to step S304.

次に、図５はテスタ３０による動作フローチャートである。
ステップＳ５０１では、生産計画に基づいて作成された試験順の品種名リストが予め準備されており、要求部４０にてサーバ２０にプログラムの転送を要求する。ステップＳ５０２では、判定部３２にて当該プログラムの転送がＨＤＤ３１に完了しているか否かを判別する。そして、転送が総て完了している場合、すなわちＹＥＳと判定した場合にはステップＳ５０３に進み、メモリ３３に当該プログラムをロードしてステップＳ５０４に進む。 Next, FIG. 5 is an operation flowchart by the tester 30.
In step S501, a list of product names in a test order created based on the production plan is prepared in advance, and the request unit 40 requests the server 20 to transfer a program. In step S <b> 502, the determination unit 32 determines whether the transfer of the program has been completed to the HDD 31. If all the transfers have been completed, that is, if YES is determined, the process proceeds to step S503, the program is loaded into the memory 33, and the process proceeds to step S504.

ステップＳ５０４では、実行部３４にて最初の品種用のプログラムによるＤＵＴを試験する。
実行部３４の動作は図６に示されるように、ステップＳ６０１では、プローバからの測定開始の指示に基づいてロット番号１におけるウェハ番号１のＤＵＴ番号１の測定を開始し、ステップＳ６０２ではこの測定が終了しているか否かを判別する。そして、測定終了を判定した場合にはウェハ番号１のＤＵＴ番号１の測定が終了する。同時に、プローバに測定終了を通知してステップＳ６０３に進み、認識部３６にて空き時間を認識する。次いで、このウェハ番号１のＤＵＴ番号２の測定を開始するまでの間が空き時間となり、図５のステップＳ５０１にて要求部４０がサーバ２０に次の品種用のプログラムの転送を要求する。 In step S504, the execution unit 34 tests the DUT according to the program for the first product type.
As shown in FIG. 6, the operation of the execution unit 34 starts the measurement of the DUT number 1 of the wafer number 1 in the lot number 1 based on the measurement start instruction from the prober in step S601. In step S602, this measurement is performed. It is determined whether or not the process is finished. When it is determined that the measurement has been completed, the measurement of DUT number 1 of wafer number 1 is completed. At the same time, the prober is notified of the end of measurement, the process proceeds to step S603, and the recognition unit 36 recognizes the free time. Next, the time until the measurement of DUT number 2 of wafer number 1 is started becomes idle time, and the request unit 40 requests the server 20 to transfer a program for the next product type in step S501 of FIG.

また、このウェハ番号１のＤＵＴ番号２以降の測定を開始するにあたり、仮に、次の品種用のプログラムが分割転送中であり、プログラムの総ての転送が未だ完了していないときにはステップＳ５０２からステップＳ５０５、そして、ステップＳ５０４の順に進む。以降、Ｘ個のＤＵＴ、Ｙ枚のウェハ、及びＺ個のロットの測定が終了するまで、最初の品種用のプログラムによるＤＵＴを試験する。 Further, when starting measurement of wafer number 1 after DUT number 2, if the program for the next product type is being divided and transferred, and all the programs have not yet been transferred, step S502 to step S502 are performed. The process proceeds to S505 and then to step S504. Thereafter, the DUT by the program for the first product type is tested until the measurement of X DUTs, Y wafers, and Z lots is completed.

一方、このステップＳ５０５にて、Ｚ個のロットの測定が終了している場合にはステップＳ５０６に進む。
この切り替え実行部３８の動作は図７に示される如く、ステップＳ７０１では、実行部２６にて次の品種用のプログラムが総て転送されているか否かを判別し、総ての分割転送が完了している場合、すなわちＹＥＳと判定した場合には、オペレータの指示に応じて最初の品種用のプログラムを次の品種用のプログラムに切り替える。これにより、当該次の品種用のプログラムによるＤＵＴを試験する。これに対し、この分割転送が完了していない場合にはステップＳ７０２に進み、要求部４０がサーバ２０に信号を出力する。これにより、次の品種用のプログラムの残り分が一括してＨＤＤ３１に転送される。 On the other hand, if the measurement of Z lots is completed in step S505, the process proceeds to step S506.
As shown in FIG. 7, in the operation of the switching execution unit 38, in step S701, the execution unit 26 determines whether all the programs for the next product type have been transferred, and all divided transfers are completed. If it is determined, that is, if YES is determined, the program for the first product type is switched to the program for the next product type in accordance with an instruction from the operator. Thereby, the DUT by the program for the next product is tested. On the other hand, if the divided transfer is not completed, the process proceeds to step S702, and the request unit 40 outputs a signal to the server 20. As a result, the remaining program for the next product type is transferred to the HDD 31 at once.

以上のように、本実施例によれば、ファイルサーバ２０は、ＤＵＴに対する複数の機能試験プログラムを格納し、テスタ３０からの転送要求に応じて各プログラムをテスタ３０に向けて転送している。
ここで、テスタ３０には、最初の品種用のプログラムによる測定停止時間中にサーバ２０に対して次の品種用のプログラムの転送を要求する転送要求部４０が備えられており、空き時間認識部３６で認識された空き時間中には次のプログラムがサーバ２０からテスタ３０に向けて転送される。よって、当該次のプログラムに要する転送時間が従来に比して短縮され、プログラムの切り替え時間が短くて済む。この結果、次のプログラムに基づく測定が速やかに開始可能となる。 As described above, according to the present embodiment, the file server 20 stores a plurality of functional test programs for the DUT, and transfers each program toward the tester 30 in response to a transfer request from the tester 30.
Here, the tester 30 is provided with a transfer request unit 40 that requests the server 20 to transfer the program for the next product during the measurement stop time by the program for the first product, and the free time recognition unit. During the idle time recognized at 36, the next program is transferred from the server 20 to the tester 30. Therefore, the transfer time required for the next program is shortened as compared with the prior art, and the program switching time can be shortened. As a result, measurement based on the next program can be started quickly.

この点につき、より詳しく述べる。仮に、上述したプログラムの転送には約１０分間必要であって、１個のＤＵＴの測定には約０．５秒間必要であるとすると、従来の如くオペレータからの切り替え指示に伴って始めて実行されるプログラムの転送時間の総てが削減された場合には、本実施例のテスタでは、従来に比して約１２００個のＤＵＴをさらに測定できるのである。
また、テスタでは当該転送時間にも電力が消費されている点を鑑みれば、この転送時間の削減は、生産活動に直接的に関わらない電力量の削減になるので、生産コストの削減になるし、電力量の削減はＣＯ_２排出量の削減になることから、地球環境も保護される。 This point will be described in more detail. If the program transfer described above requires about 10 minutes and the measurement of one DUT requires about 0.5 seconds, it is executed for the first time in response to a switching instruction from the operator as in the prior art. When all the program transfer times are reduced, the tester of this embodiment can further measure about 1200 DUTs as compared with the prior art.
In view of the fact that the tester consumes power during the transfer time, this reduction in transfer time reduces the amount of power that is not directly related to production activities. Since the reduction in power consumption results in a reduction in CO ₂ emissions, the global environment is also protected.

しかも、ＤＵＴの測定時間中ではなく、測定停止時間中に次のプログラムがテスタ３０に向けて転送されることから、実行中の測定精度に影響を及ぼさず、システムの信頼性の向上に寄与する。 In addition, since the next program is transferred to the tester 30 during the measurement stop time, not during the DUT measurement time, it does not affect the measurement accuracy during execution and contributes to the improvement of system reliability. .

また、サーバには次のプログラムを転送する転送実行部２６が備えられ、認識された空き時間中には、次のプログラムを分割して転送していることから、空き時間の長さに応じたプログラムの転送が可能になる。
さらに、次のプログラムの転送要求があった場合には、ファイルロック部２４により、当該次のプログラムの更新が禁止されている。よって、次のプログラムは追加・変更・削除されることなくＨＤＤ３１に転送されるので、システムのさらなる信頼性向上に寄与する。 Further, the server is provided with a transfer execution unit 26 for transferring the next program, and during the recognized free time, the next program is divided and transferred, so that it corresponds to the length of the free time. The program can be transferred.
Further, when there is a transfer request for the next program, the file lock unit 24 prohibits the update of the next program. Therefore, the next program is transferred to the HDD 31 without being added, changed, or deleted, which contributes to further improving the reliability of the system.

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施例ではＩＣデバイスをＤＵＴの例として挙げ、このデバイスを試験するＩＣテスタについて説明されているが、メモリデバイスを試験するメモリテスタであっても良い。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims.
For example, in the above embodiment, an IC device is taken as an example of a DUT and an IC tester for testing this device has been described. However, a memory tester for testing a memory device may be used.

本実施例における半導体試験システムのブロック図である。It is a block diagram of the semiconductor test system in a present Example. 図１のサーバによる動作フローチャートである。It is an operation | movement flowchart by the server of FIG. 図２の転送実行部による動作フローチャートである。3 is an operation flowchart by a transfer execution unit in FIG. 2. 図１のシステムによるタイミングチャートである。It is a timing chart by the system of FIG. 図１のテスタによる動作フローチャートである。It is an operation | movement flowchart by the tester of FIG. 図５のテスト実行部による動作フローチャートである。It is an operation | movement flowchart by the test execution part of FIG. 図５の切り替え実行部による動作フローチャートである。6 is an operation flowchart by the switching execution unit of FIG. 5. 従来の半導体試験システムの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the conventional semiconductor test system.

Explanation of symbols

１０半導体試験システム
２０ファイルサーバ（サーバ）
２４ファイルロック部（ロック手段）
２６転送実行部（転送実行手段）
３０ＩＣテスタ（テスタ）
３４テスト実行部（テスト実行手段）
３６空き時間認識部（空き時間認識手段）
４０転送要求部（転送要求手段） 10 Semiconductor test system 20 File server (server)
24 File lock part (locking means)
26 Transfer execution unit (transfer execution means)
30 IC tester (tester)
34 Test execution unit (test execution means)
36 Free time recognition unit (free time recognition means)
40 Transfer request section (transfer request means)

Claims

A server for storing a plurality of test programs for a semiconductor device, and transferring the test program to the tester in response to a transfer request from the tester;
The tester is provided with a test execution means for measuring the device in accordance with one test program, a free time recognition means for recognizing a measurement stop time for the device, and for the server during the measurement stop time. And a transfer request means for requesting transfer of another test program.

The semiconductor test system according to claim 1,
The server has transfer execution means for transferring the other test program to the tester based on a transfer request by the transfer request means,
The transfer execution means divides and transfers the other test program during the measurement stop time.

The semiconductor test system according to claim 1 or 2,
The semiconductor test system according to claim 1, wherein the server includes a lock unit that prohibits updating of the other test program when a transfer request is made by the transfer request unit.