JP2006349548A - Built-in self-checking circuit - Google Patents

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Kenichiro Azuma
健一郎 東
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means which easily tests a fault of a scan path itself in an LSI test using a built-in self-checking circuit, and furthermore to provide a means which easily determines a fault location in the scan path in its fault diagnosis process. <P>SOLUTION: A comparator circuit 304 for comparing output responses both of which are output by the scan path 303 is disposed in the built-in self-checking circuit, and an output response of the comparator circuit 304 is used as a test termination signal of the built-in self-checking circuit. Furthermore, the comparator circuit 304 of the scan path 303 is arranged for a flip-flop 302 in each stage on the scan path 303, in order to enable output responses of each flip-flop 302 to be compared, in addition to comparing outputs of the final stage of the scan path 303. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、組み込み自己検査回路に係り、LSI等の半導体集積回路などのテストを行うためのスキャンパスの故障について検査、診断を行うための回路構成を備える組み込み自己検査回路に関する。   The present invention relates to a built-in self-test circuit, and more particularly to a built-in self-test circuit having a circuit configuration for testing and diagnosing a scan path failure for testing a semiconductor integrated circuit such as an LSI.

LSIの検査においては、テスタを用いてテストパタンの印加および出力応答の観測を行う。しかし、近年のLSIの大規模化、高速化に伴い、テスタの動作周波数がLSIの動作周波数に追いつかないといった問題や、テストパタンのデータがテスタメモリに対して大きすぎて格納できない等の問題が生じてきている。そこで、これらの問題を回避するためのテスト容易化設計方法の一つとして、組み込み自己検査(BIST:Built-in Self Test)手法が提案されている。   In LSI inspection, test patterns are applied and output responses are observed using a tester. However, along with the recent increase in scale and speed of LSIs, there are problems such as the tester operating frequency not being able to keep up with the LSI operating frequency, and the test pattern data being too large to store in the tester memory. It is happening. Therefore, a built-in self test (BIST) method has been proposed as one of the testability design methods for avoiding these problems.

組み込み自己検査とは、LSIに検査用回路を内蔵させ、LSI内部でテストパタンの生成や出力応答と期待値の比較を行うことにより、外部からテストパタンを与えることなく、LSI自身で検査を行う事ができるようにしたものである(非特許文献1を参照)。   Built-in self-inspection is a test circuit built into the LSI, and the test itself is generated without externally providing a test pattern by generating a test pattern and comparing the output response with the expected value inside the LSI. (See Non-Patent Document 1).

組み込み自己検査回路を内蔵したLSIの検査においては、テストパタンの生成、出力応答の観測が回路内部で行われるため、回路本来の動作周波数で検査することができ、また、回路内部からの良否判定信号のみを観測すれば検査が行えるなどの利点がある。   When testing LSIs with built-in self-test circuits, test patterns are generated and output responses are observed inside the circuit, so the test can be performed at the circuit's original operating frequency. There is an advantage that inspection can be performed if only the signal is observed.

しかし、良否判定信号は所定のテストパタンの全てが印加された後に、出力応答圧縮器に格納された値と期待値を比較することで出力されるため、検査対象回路にテストパタンを印加するために備えられたスキャンパス自体が故障し、テストパタンの印加自体が正常に行えていない場合でも最後まで検査が続行されてしまい、検査時間の無駄が生じるという問題があった。   However, the pass / fail judgment signal is output by comparing the expected value with the value stored in the output response compressor after all of the predetermined test patterns are applied, so that the test pattern is applied to the circuit to be inspected. Even if the scan path provided in the test fails itself and the test pattern application itself cannot be performed normally, the inspection is continued to the end, resulting in a waste of inspection time.

また、全パタン印加後の出力応答圧縮器の値を検査するだけでは、故障の原因箇所を特定する故障診断処理時に故障の原因が検査対象回路にあるのか、スキャンパスにあるのかを区別をすることが難しいという問題がある。   Also, just by checking the value of the output response compressor after all patterns are applied, it is distinguished whether the cause of the failure is in the circuit to be inspected or in the scan path during the failure diagnosis process for identifying the cause of the failure. There is a problem that it is difficult.

これに対して、特許文献1では、検査対象回路に書き込み可能なメモリが搭載されている場合に、スキャンパスからの出力データを一旦メモリに格納しておき、格納されたデータを正常値と比較することでスキャンパス上の故障も検査可能としている。しかし、この方法ではスキャンパスを回路内部のメモリに格納させるために通常テスト時には使用しない特別な設定を必要とし、またスキャンパスの出力がメモリに全て格納された後に期待される値との比較を行うため、スキャンパス自体の故障を即座に検出することはできない。
特開2003−234409 “Digital Systems Testing and Testable DESIGN” 11章、ビルト-イン セルフ‐テスト(Built-In Self-Test)コンピュータサイエンスプレス(Computer Science Press)刊 1990年
On the other hand, in Patent Document 1, when a writable memory is mounted on the circuit to be inspected, output data from the scan path is temporarily stored in the memory, and the stored data is compared with a normal value. By doing so, it is possible to inspect failures on the scan path. However, this method requires special settings that are not used during normal testing in order to store the scan path in the memory inside the circuit, and compares the expected value after all the scan path output has been stored in the memory. Therefore, it is impossible to immediately detect a failure of the scan path itself.
JP 2003-234409 A “Digital Systems Testing and Testable DESIGN”, Chapter 11, published by Built-In Self-Test Computer Science Press 1990

上記したように、従来のLSIの組み込み自己検査回路では、テストパタンの印加のために備えられたスキャンパス自体が故障し、テストパタンの印加自体が正常に行えていない場合でも、全てのテストパタンが印加されるまで検査が続行されてしまうという課題があった。また、全テストパタン印加後に出力応答圧縮器に格納された値を検査するだけでは、故障診断処理時にスキャンパスが故障しているのか、検査対象回路が故障しているのかを区別するのが難しいという課題があった。   As described above, in the built-in self-test circuit of the conventional LSI, even if the scan path itself provided for the test pattern application fails and the test pattern application itself cannot be performed normally, all the test patterns are applied. There is a problem that the inspection is continued until is applied. Moreover, it is difficult to distinguish whether the scan path is faulty or the circuit to be inspected is faulty at the time of fault diagnosis processing only by inspecting the value stored in the output response compressor after applying all test patterns. There was a problem.

本発明はこれらの問題に対し、スキャンパス自体の故障を容易に検査する手段を有する組み込み自己検査回路を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a built-in self-inspection circuit having means for easily inspecting a failure of a scan path itself for these problems.

また、故障診断処理時にスキャンパスのどの部分が故障しているのかを容易に判定する手段を有する組み込み自己検査回路を提供することを課題とする。   It is another object of the present invention to provide a built-in self-inspection circuit having means for easily determining which part of the scan path is faulty during failure diagnosis processing.

上記課題を解決するために、本発明では以下の手段を講じる。   In order to solve the above problems, the present invention takes the following measures.

本発明の組み込み自己検査回路は、テストを行うための複数のスキャンパスと、前記スキャンパスにテストパタンを供給するパタン生成器と、前記スキャンパスからの出力応答を格納する出力応答圧縮器とを備えた組み込み自己検査回路であって、前記複数のスキャンパス間の出力応答を比較するスキャンパス比較手段を有することを特徴とする。   The built-in self-test circuit according to the present invention includes a plurality of scan paths for performing a test, a pattern generator for supplying a test pattern to the scan path, and an output response compressor for storing an output response from the scan path. A built-in self-test circuit comprising scan path comparison means for comparing output responses between the plurality of scan paths.

上記構成において、スキャンパス比較手段は、その比較結果をテスト終了信号として用いる。   In the above configuration, the scan path comparison unit uses the comparison result as a test end signal.

上記構成において、複数のスキャンパスは複数段のフリップフロップを有し、スキャンパス比較手段は前記スキャンパス上に存在する各段の前記フリップフロップの出力応答を比較する。   In the above configuration, the plurality of scan paths have a plurality of stages of flip-flops, and the scan path comparison means compares the output responses of the flip-flops of each stage existing on the scan path.

上記構成において、スキャンパス比較手段は、その比較結果出力値をチェーン状に構成された複数のフリップフロップに格納する。   In the above configuration, the scan path comparison unit stores the comparison result output value in a plurality of flip-flops configured in a chain.

本発明によれば、テスト開始時にスキャンパス間の出力応答を比較することにより、スキャンパスが故障し、テストパタンの印加自体が正常に行えない場合に即座にテストを終了させることにより、無駄にテストが続行されることを防ぐことが可能となる。   According to the present invention, by comparing output responses between scan paths at the start of a test, if the scan path fails and the application of the test pattern itself cannot be performed normally, the test is immediately terminated, which is useless. It is possible to prevent the test from continuing.

また、スキャンパス間の出力応答比較をスキャンパス上の各段のフリップフロップについて行うことで、スキャンパス上のどのフリップフロップが故障しているかを特定することが可能となる。   Further, by comparing output responses between scan paths for flip-flops at each stage on the scan path, it is possible to identify which flip-flop on the scan path is faulty.

さらにこのとき、各段のフリップフロップの出力応答の比較結果出力値をフリップフロップに格納し、チェーン状に構成することで、比較結果出力値の観測用の外部出力ピンの増加を防ぐことができる。   Further, at this time, the comparison result output value of the output response of each stage flip-flop is stored in the flip-flop, and is configured in a chain shape, thereby preventing an increase in external output pins for observing the comparison result output value. .

(実施の形態1)
図1は本発明の第1の実施形態(請求項1に対応)における組み込み自己検査回路の基本構成を示す図である。図1において、100はランダムパタンを生成する生成器であるパタン発生器、101は出力応答圧縮器、102は被検査回路内のスキャンフリップフロップ、103はスキャンフリップフロップ102をチェーン上に構成したスキャンパス、104は複数のスキャンパス103同士の出力応答を比較するスキャンパス出力応答比較回路である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a built-in self-test circuit in a first embodiment (corresponding to claim 1) of the present invention. In FIG. 1, 100 is a pattern generator which is a generator for generating a random pattern, 101 is an output response compressor, 102 is a scan flip-flop in the circuit under test, 103 is a scan flip-flop 102 configured on a chain. A campus 104 is a scan path output response comparison circuit that compares output responses of a plurality of scan paths 103.

テストは、パタン発生器100で発生したパタンをスキャンパス103に入力し、その出力応答を出力応答圧縮器101に格納し、期待値と比較して良否判定信号を出力することにより行われる。   The test is performed by inputting the pattern generated by the pattern generator 100 to the scan path 103, storing the output response in the output response compressor 101, and comparing the expected value with a pass / fail judgment signal.

以下に本実施の形態によるスキャンパスの故障検出のための動作を説明する。まず、パタン発生器100で発生されたパタンを用いて上記した通常の検査を行う前に、回路内のスキャンパス103の全てに0を印加する。このとき、各スキャンパス103からの出力値は0となる。本実施の形態では、スキャンパス出力応答比較回路104はExclusive-ORゲートで構成されており、2本のスキャンパス103が接続されているため、スキャンパス出力応答比較回路104への入力値は(0,0)となる。このとき、Exclusive-ORゲートの論理特性から出力値は0となるが、片方のスキャンパス103が故障しており、スキャンパス103からの出力値が1となった場合はExclusive-ORゲートの入力値は(0,1)、あるいは(1,0)となり、出力値は1となる。同様にして、スキャンパス103の全てに1を印加すれば、スキャンパス103が正常であれば、スキャンパス応答比較回路104は0を出力するが、スキャンパスが故障により0を出力した時、スキャンパス出力応答比較回路104は1を出力する。   The operation for detecting a scan path failure according to this embodiment will be described below. First, before performing the above-described normal inspection using the pattern generated by the pattern generator 100, 0 is applied to all the scan paths 103 in the circuit. At this time, the output value from each scan path 103 is zero. In this embodiment, the scan path output response comparison circuit 104 is configured by an exclusive-OR gate, and the two scan paths 103 are connected. Therefore, the input value to the scan path output response comparison circuit 104 is ( 0,0). At this time, the output value is 0 due to the logical characteristics of the exclusive-OR gate, but if one scan path 103 is faulty and the output value from the scan path 103 is 1, the input to the exclusive-OR gate The value is (0,1) or (1,0), and the output value is 1. Similarly, if 1 is applied to all of the scan paths 103, the scan path response comparison circuit 104 outputs 0 if the scan path 103 is normal, but when the scan path outputs 0 due to a failure, The campus output response comparison circuit 104 outputs 1.

以上のように、本実施形態によればテスト開始時に全てのスキャンパス103に0あるいは1を入力することで、いずれかのスキャンパス103に故障が存在する場合、スキャンパス出力応答比較回路104からは1が出力され、即座にスキャンパス103の故障が判明する。   As described above, according to the present embodiment, by inputting 0 or 1 to all the scan paths 103 at the start of the test, if any scan path 103 has a failure, the scan path output response comparison circuit 104 1 is output, and the failure of the scan path 103 is immediately identified.

なお、本実施の形態ではスキャンパス出力応答比較回路104としてExclusive-ORゲートを用いているが、実際には他の論理素子を用いても良い。また、スキャンパス出力応答比較回路104は複数のスキャンパス103の出力を入力とするが、スキャンパス103の出力応答は数本ずつ比較しても良いし、全てのスキャンパス103を一つのスキャンパス出力応答比較器104で比較しても良い。   In this embodiment, an exclusive-OR gate is used as the scan path output response comparison circuit 104. However, other logic elements may be used in practice. The scan path output response comparison circuit 104 receives the outputs of a plurality of scan paths 103, but the output responses of the scan paths 103 may be compared several by one, or all the scan paths 103 may be compared with one scan path. The output response comparator 104 may perform comparison.

(実施の形態2)
図2は本発明の第2の実施形態(請求項2に対応)における組み込み自己検査回路の構成を示す図である。200はパタン発生器、201は出力応答圧縮器、202は被検査回路内のスキャンフリップフロップ、203はスキャンフリップフロップ202をチェーン上に構成したスキャンパス、204は複数のスキャンパス203同士の出力応答を比較するスキャンパス出力応答比較回路、205はテスト終了信号発生器である。本組み込み自己検査回路によるテストは第1の実施の形態と同様である。
(Embodiment 2)
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a built-in self-test circuit according to the second embodiment (corresponding to claim 2) of the present invention. Reference numeral 200 denotes a pattern generator, 201 denotes an output response compressor, 202 denotes a scan flip-flop in the circuit to be tested, 203 denotes a scan path in which the scan flip-flop 202 is configured on a chain, and 204 denotes an output response between a plurality of scan paths 203 A scan path output response comparison circuit 205 for comparing the two is a test end signal generator. The test by the built-in self-test circuit is the same as that of the first embodiment.

本実施形態は、第1の実施の形態におけるスキャンパス出力応答比較回路104に相当する各スキャンパス出力応答比較回路204の出力をテスト終了信号発生器205の入力としたものである。   In the present embodiment, the output of each scan path output response comparison circuit 204 corresponding to the scan path output response comparison circuit 104 in the first embodiment is input to the test end signal generator 205.

このように構成される本実施形態による動作を以下に説明する。第1の実施の形態と同じく、スキャンパス203の全てに0または1を印加すると、各スキャンパス203の出力値が正常であればスキャンパス出力応答比較回路204は0を出力し、いずれかのスキャンパス203が故障している場合、スキャンパス出力応答比較回路204は1を出力する。テスト終了信号発生器205は、スキャンパス出力応答比較回路204の出力値が1であれば、テスト終了信号を発生し、組み込み自己検査回路による通常のテストが行われる前にテストを終了させる。   The operation according to this embodiment configured as described above will be described below. As in the first embodiment, when 0 or 1 is applied to all of the scan paths 203, if the output value of each scan path 203 is normal, the scan path output response comparison circuit 204 outputs 0, When the scan path 203 is out of order, the scan path output response comparison circuit 204 outputs 1. If the output value of the scan path output response comparison circuit 204 is 1, the test end signal generator 205 generates a test end signal and ends the test before the normal test by the built-in self-test circuit is performed.

以上のように、本実施形態によればスキャンパス出力応答比較回路204からの出力を外部に出力するのではなく、テスト終了信号発生器205に接続したことにより、外部ピンの増加を防ぎつつ、スキャンパス203の故障が判明した時点でテストを終了させることができ、スキャンパス203自体が故障しているにもかかわらず無駄にテストが継続されることを防ぐことができる。   As described above, according to the present embodiment, the output from the scan path output response comparison circuit 204 is not output to the outside, but connected to the test end signal generator 205, thereby preventing an increase in external pins, When the failure of the scan path 203 is found, the test can be terminated, and it is possible to prevent the test from being continued unnecessarily even though the scan path 203 itself has failed.

(実施の形態3)
図3は本発明の第3の実施形態(請求項3に対応)における構成を示す図である。図3において、300はパタン発生器、301は出力応答圧縮器、302は被検査回路内のスキャンフリップフロップ、303はスキャンフリップフロップ302をチェーン状に構成したスキャンパス、304はスキャンパス出力応答比較回路である。本実施形態はスキャンパス出力応答比較回路304を第1の実施の形態および第2の実施の形態のように各スキャンパス303の最終出力だけでなく、スキャンパス303上の各段のフリップフロップ302に対して設けたものであり、スキャンパス303上の各段のフリップフロップ302の出力値を比較し、異なる出力値を出力しているスキャンフリップフロップ302が存在すれば、テスト終了信号が発生される。
(Embodiment 3)
FIG. 3 is a diagram showing a configuration in the third embodiment (corresponding to claim 3) of the present invention. In FIG. 3, 300 is a pattern generator, 301 is an output response compressor, 302 is a scan flip-flop in the circuit under test, 303 is a scan path in which the scan flip-flop 302 is configured in a chain, and 304 is a scan path output response comparison. Circuit. In this embodiment, the scan path output response comparison circuit 304 includes not only the final output of each scan path 303 as in the first and second embodiments but also the flip-flops 302 at each stage on the scan path 303. The output value of the flip-flop 302 at each stage on the scan path 303 is compared, and if there is a scan flip-flop 302 that outputs a different output value, a test end signal is generated. The

このように、本実施形態によれば、スキャンパス出力応答比較がスキャンパス303上の各段のフリップフロップ302について行えるため、スキャンパス303に故障が存在するか否かをテストするだけでなく、スキャンパス303上のどの段のフリップフロップ302に故障が存在するかを特定することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, since the scan path output response comparison can be performed for the flip-flops 302 at each stage on the scan path 303, not only the test whether there is a failure in the scan path 303, It is possible to specify which stage of the flip-flop 302 on the scan path 303 has a fault.

(実施の形態4)
図4は本発明の第4の実施形態(請求項4に対応)における基本構成を示す図である。図4において、400はパタン発生器、401は出力応答圧縮器、402は被検査回路内のスキャンフリップフロップ、403はスキャンフリップフロップ402をチェーン状に構成したスキャンパス、404はスキャンパス出力応答比較回路、405はスキャンパス403の出力応答比較結果を記録するスキャンフリップフロップ406をチェーン状に構成したスキャンパスである。本実施の形態は第3の実施の形態において出力応答比較用スキャンパス405を追加したものである。
(Embodiment 4)
FIG. 4 is a diagram showing a basic configuration in the fourth embodiment (corresponding to claim 4) of the present invention. 4, 400 is a pattern generator, 401 is an output response compressor, 402 is a scan flip-flop in the circuit under test, 403 is a scan path in which the scan flip-flop 402 is configured in a chain, and 404 is a scan path output response comparison. A circuit 405 is a scan path in which scan flip-flops 406 for recording the output response comparison result of the scan path 403 are configured in a chain shape. In this embodiment, an output response comparison scan path 405 is added to the third embodiment.

本実施の形態におけるスキャンパス405の故障検出の動作を以下に説明する。第3の実施の形態と同様にしてスキャンパス403上の各段のフリップフロップ402について出力応答を比較した結果は、出力応答比較用スキャンパス405の各フリップフロップ406に格納される。出力応答比較用スキャンパス405はチェーン状に構成されているため、格納された比較結果は出力応答比較用スキャンパス405のシフト動作を行うことで出力応答比較用スキャンパス405の最終出力信号線に次々と伝播される。この結果、シフト動作中の各時刻における最終出力信号線の値を観測すれば、各段のスキャンフリップフロップ406の比較結果の観測ができる。   An operation for detecting a failure in the scan path 405 in the present embodiment will be described below. The result of comparing the output responses of the flip-flops 402 at each stage on the scan path 403 as in the third embodiment is stored in the flip-flops 406 of the output response comparison scan path 405. Since the output response comparison scan path 405 is configured in a chain, the stored comparison result is transferred to the final output signal line of the output response comparison scan path 405 by performing a shift operation of the output response comparison scan path 405. Propagated one after another. As a result, if the value of the final output signal line at each time during the shift operation is observed, the comparison result of the scan flip-flop 406 at each stage can be observed.

以上のように、本実施形態によれば、スキャンパス403上の各段のフリップフロップ402について出力応答比較を行った結果は出力応答比較用フリップフロップ406に格納される。また、それらの出力応答比較用フリップフロップ406はチェーン状に構成されており、チェーン上の各フリップフロップ406の値をシフトしていくことで、一つの出力端子のみで出力応答比較結果の観測が可能である。これにより、スキャンパス出力応答比較回路404の出力を観測するための外部出力端子の増加を最小限に抑えつつ、検査対象のスキャンパス403上の各スキャンフリップフロップ402について故障の有無を検査することができる。   As described above, according to the present embodiment, the output response comparison result for the flip-flop 402 at each stage on the scan path 403 is stored in the output response comparison flip-flop 406. Further, these output response comparison flip-flops 406 are configured in a chain shape, and by shifting the value of each flip-flop 406 on the chain, the output response comparison results can be observed only with one output terminal. Is possible. Thus, it is possible to inspect each scan flip-flop 402 on the scan path 403 to be inspected for a failure while minimizing an increase in the number of external output terminals for observing the output of the scan path output response comparison circuit 404. Can do.

本発明にかかる組み込み自己検査回路は、スキャンパスの故障検出機能を有し、テストパタンの印加自体が正常に行えない場合に即座にテストを終了させることにより、無駄にテストが続行されることを防ぐことが可能な半導体集積回路の検査回路等として有用である。また半導体集積回路の故障診断等の用途にも応用できる。   The built-in self-inspection circuit according to the present invention has a scan path failure detection function, and when the test pattern application itself cannot be normally performed, the test is immediately terminated, so that the test can be continued unnecessarily. This is useful as a semiconductor integrated circuit inspection circuit that can be prevented. It can also be applied to applications such as failure diagnosis of semiconductor integrated circuits.

請求項1に対応する発明の第1の実施の形態における組み込み自己検査回路の基本構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a basic configuration of a built-in self-test circuit in the first embodiment of the invention corresponding to claim 1. 請求項2に対応する発明の第2の実施の形態における組み込み自己検査回路の基本構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the basic composition of the built-in self-test circuit in 2nd Embodiment of the invention corresponding to Claim 2. 請求項3に対応する発明の第3の実施形態における組み込み自己検査回路の基本構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the basic composition of the built-in self test circuit in the 3rd Embodiment of the invention corresponding to Claim 3. 請求項4に対応する発明の第4の実施形態における組み込み自己検査回路の基本構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the basic composition of the built-in self test circuit in 4th Embodiment of the invention corresponding to Claim 4.

符号の説明Explanation of symbols

100,200,300,400 パタン発生器
101,201,301,401 出力応答圧縮器
102,202,302,402 スキャンフリップフロップ
103,203,303,403 スキャンパス
104,204,304,404 スキャンパス出力応答比較回路
205 テスト終了信号発生器
100,200,300,400 pattern generator
101,201,301,401 Output response compressor
102,202,302,402 Scan flip-flop
103,203,303,403 Scan campus
104,204,304,404 Scan campus output response comparison circuit
205 Test end signal generator

Claims (4)

テストを行うための複数のスキャンパスと、前記スキャンパスにテストパタンを供給するパタン生成器と、前記スキャンパスからの出力応答を格納する出力応答圧縮器とを備えた組み込み自己検査回路であって、前記複数のスキャンパス間の出力応答を比較するスキャンパス比較手段を有することを特徴とする組み込み自己検査回路。   A built-in self-test circuit comprising a plurality of scan paths for performing a test, a pattern generator for supplying a test pattern to the scan path, and an output response compressor for storing an output response from the scan path. A built-in self-test circuit comprising scan path comparison means for comparing output responses between the plurality of scan paths. スキャンパス比較手段は、その比較結果をテスト終了信号として用いる請求項1記載の組み込み自己検査回路。   The built-in self-test circuit according to claim 1, wherein the scan path comparison means uses the comparison result as a test end signal. 複数のスキャンパスは複数段のフリップフロップを有し、スキャンパス比較手段は前記スキャンパス上に存在する各段の前記フリップフロップの出力応答を比較する請求項1または請求項2記載の組み込み自己検査回路。   3. The built-in self-test according to claim 1, wherein the plurality of scan paths have a plurality of stages of flip-flops, and the scan path comparison means compares the output responses of the flip-flops of each stage existing on the scan path. circuit. スキャンパス比較手段は、その比較結果出力値をチェーン状に構成された複数のフリップフロップに格納する請求項3記載の組み込み自己検査回路。
4. The built-in self-test circuit according to claim 3, wherein the scan path comparison means stores the comparison result output value in a plurality of flip-flops configured in a chain.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011133356A (en) * 2009-12-24 2011-07-07 Fujitsu Semiconductor Ltd Integrated circuit and failure diagnostic circuit
US10215808B2 (en) 2016-01-20 2019-02-26 Megachips Corporation Scan test circuit, scan test method, and method of designing scan test circuit
US10401430B2 (en) 2017-03-21 2019-09-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor integrated circuit and semiconductor integrated circuit diagnosis method

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