JP2008214368A - 粘着シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粘着シートは、基材と、基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを含む。エネルギー線硬化型粘着剤層においては、極性が高く、重合反応等に悪影響を及ぼすことのない2−アセトアセトキシエチルメタクリレートをモノマーとして用いたエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、極性の高いエネルギー線硬化型ウレタンアクリレートオリゴマーとが併用されている。このため、粘着シートは、ウエハ回路面等に対する凹凸追従性能、粘着力に優れ、研削時の研削水等のウエハ回路面への浸入を防止可能であるとともにカーフシフトを発生させず、なおかつ粘着剤残渣を生じさせない。
【選択図】図1
Description
また、DBGプロセスの工程においては、通常の研削とは異なり、研削中にチップが小さく個片化されるため、各チップに加えられる大きな研削圧力により、本来のチップ間隔が崩れてしまう(カーフシフト)可能性がある。このようにチップの整列性が崩れると、研削工程や、次の搬送工程、ピックアップ工程におけるチップ同士の接触等により不具合が生じるという問題があった。
また、エネルギー線硬化型アクリル共重合体において、2−アセトアセトキシアルキル(メタ)アクリレートが共重合されているため、エネルギー線硬化型粘着剤層の凝集力は高くなっている。これにより、本発明の粘着シートが先ダイシング工程に使用された場合において、研削加工時の回転砥石の剪断力によるチップの位置ずれ(カーフシフト)がより生じにくくなり、チップ同士の端部がぶつかり合って破損することが防止される。
この粘着シートの剥離シートを除去し、JIS K7105に基づきエネルギー線硬化型粘着剤面よりヘイズを測定した。
目視:エネルギー線硬化型粘着剤層を粘着シートの外観から目視観察した。
◎:エネルギー線硬化型粘着剤層に分離、懸濁(白濁)が全く観察されなかった。
○:エネルギー線硬化型粘着剤層に懸濁がわずかに観察された。
×:エネルギー線硬化型粘着剤層に明瞭な懸濁または分離が観察された。
この試料の25℃における貯蔵弾性率およびtanδを、粘弾性測定装置(REOMETRIC社製、DYNAMIC ANALYZER RDAII)を用いて測定した。
また、粘着シートをシリコンウエハの鏡面に貼付してから23℃、50%RHの雰囲気に20分間放置した後、粘着シートの基材側より、紫外線照射装置(リンテック社製、RAD−2000)を用いて、エネルギー線として紫外線の照射(照射条件:照度350mW/cm2、光量200mJ/cm2)を行った。紫外線照射後の粘着シートにつき、上記と同様にして粘着力を測定し、エネルギー線硬化後の粘着力とした。
○:上記のズレ量の合計値が11(μm)以下で、かつチップ同士が接触していない場合。
×:上記のズレ量の合計値が11(μm)を超える、またはチップ同士が接触している場合。
Claims (5)
- 基材と、前記基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを備えた粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、
アセトアセトキシル基を有する(メタ)アクリレートを1〜30重量%共重合してなり、かつ側鎖に不飽和基を有するエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、
ウレタンアクリレートとを含むことを特徴とする粘着シート。 - 前記エネルギー線硬化型アクリル共重合体が、モノマーとして官能基含有モノマーとアセトアセトキシル基を有する(メタ)アクリレートとを含むアクリル系共重合体と、前記官能基含有モノマーの官能基に反応する置換基を有する不飽和基含有化合物との反応により生成され、前記官能基100当量に対して前記置換基が20〜100当量の前記不飽和基含有化合物を反応させたことを特徴とする請求項1に記載の粘着シート。
- 前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、前記エネルギー線硬化型アクリル共重合体100重量部に対しウレタンアクリレートオリゴマーを1〜200重量部配合して生成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の粘着シート。
- エネルギー線硬化前の状態における前記エネルギー線硬化型粘着剤層の貯蔵弾性率が、25℃において0.04MPa以上0.11MPa以下であり、tanδの値が25℃において0.6以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の粘着シート。
- エネルギー線硬化前の状態における粘着力が、7000mN/25mm以上であり、エネルギー線硬化後の状態における粘着力が、500mN/25mm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の粘着シート。
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