JP2008201899A - Surface-protecting adhesive tape for solid state image pickup device and method for mounting solid state image pickup device - Google Patents

Surface-protecting adhesive tape for solid state image pickup device and method for mounting solid state image pickup device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface-protecting adhesive tape for solid state image pickup devices, effective for protecting the surface of an image sensor from contamination with foreign materials and damage in the production process of a solid state image pickup device in a high-temperature atmosphere and resistant to the peeling of the adhesive tape from the image sensor, and to provide a method for mounting a solid state image pickup device by using the adhesive tape. <P>SOLUTION: The surface-protecting adhesive tape for solid state image pickup devices has an adhesive layer on one surface of a substrate and the adhesive layer contains an lipophilic laminar clay mineral. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、固体撮像デバイス用表面保護粘着テープ及びこれを用いた固体撮像デバイスの実装方法、に関するものである。   The present invention relates to a surface protective adhesive tape for a solid-state imaging device and a method for mounting a solid-state imaging device using the same.

固体撮像デバイスの製造工程において、実装および製造工程における映像センサ表面へのゴミの付着、傷つきを防止するために、映像センサの受光部側に対して粘着剤層を有する表面保護粘着テープを貼り合せる手法が取られている。   In the manufacturing process of a solid-state imaging device, a surface protective adhesive tape having an adhesive layer is bonded to the light receiving part side of the image sensor in order to prevent dust from adhering to the surface of the image sensor during mounting and manufacturing processes. The method is taken.

このとき、部品実装工程は、映像センサの端子部と実装基板を位置合わせした状態で半田リフロー炉へ投入することで一度に接続実装する方法が用いられることが多くなり、半田付け等の高温領域での工程が含まれるため、基材であるフィルムおよび粘着剤層には、耐熱性が要求される。しかし、現状の表面保護粘着テープの多くは、上記工程に相当する耐熱性を有さないため、部品実装工程の際に、一度、表面保護粘着テープが剥され、部品実装工程後に、再度、別途表面保護粘着テープを貼り合せることになる。   At this time, in the component mounting process, a method of connecting and mounting at a time by using a solder reflow furnace in a state where the terminal portion of the image sensor and the mounting substrate are aligned is often used, and a high temperature region such as soldering is used. Therefore, heat resistance is required for the film and the pressure-sensitive adhesive layer that are base materials. However, since many of the current surface protective adhesive tapes do not have the heat resistance equivalent to the above process, the surface protective adhesive tape is once peeled off during the component mounting process, and again after the component mounting process. A surface protective adhesive tape will be attached.

現在その改善策として、ポリイミドを主成分とした高耐熱性を有するフィルムを用いた表面保護用粘着テープを用いる手法も採用されているが、ポリイミドフィルムが茶褐色の色相を有するために、視認性が悪く、部品実装後の光学検査を行う際の全光線透過率が低い。そのため、テープ貼付形態での光学検査は困難である。   Currently, as an improvement measure, a method using a surface-protective adhesive tape using a high heat-resistant film mainly composed of polyimide is also adopted, but the visibility is low because the polyimide film has a brownish hue. Unfortunately, the total light transmittance is low when performing optical inspection after component mounting. For this reason, optical inspection in a tape application form is difficult.

そこで、ポリエチレンテレフタラートやポリエチレンナフタレートのような透明性に秀でたフィルムを使用する手法が提案されている(特許文献1)。   Then, the method of using the film excellent in transparency like a polyethylene terephthalate and a polyethylene naphthalate is proposed (patent document 1).

しかし、高温雰囲気での工程において、粘着剤層の耐熱性が低い場合には、映像センサ表面から粘着テープが剥がれ、傷付きやゴミの付着などの問題を生ずる場合がある。   However, if the heat resistance of the pressure-sensitive adhesive layer is low in a process in a high-temperature atmosphere, the pressure-sensitive adhesive tape may be peeled off from the surface of the image sensor, which may cause problems such as scratches and dust adhesion.

特開2005−341523号公報JP-A-2005-341523

本発明は、高温雰囲気下における固体撮像デバイスの製造工程において、映像センサ表面を異物による汚染、傷つきから保護するとともに、映像センサから、粘着テープが剥離しない固体撮像デバイス用表面保護用粘着テープ、およびこの粘着テープを用いた固体撮像デバイスの実装方法を提供することを目的とする。   The present invention protects the surface of a video sensor from contamination and scratches due to foreign matters in the manufacturing process of a solid-state imaging device in a high-temperature atmosphere, and the adhesive tape for surface protection for a solid-state imaging device in which the adhesive tape does not peel from the video sensor, and It aims at providing the mounting method of the solid-state imaging device using this adhesive tape.

本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下粘着テープにより、上記目的を達成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above object can be achieved with an adhesive tape, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、基材の片面に粘着剤層を有する固体撮像デバイス用表面保護粘着テープであって、前記粘着剤層が親油性層状粘土鉱物を含有することを特徴とする。   That is, the present invention is a surface protective adhesive tape for a solid-state imaging device having an adhesive layer on one side of a substrate, wherein the adhesive layer contains a lipophilic layered clay mineral.

本発明の固体撮像デバイス用表面保護粘着テープは、前記粘着剤層が、粘着剤100重量部に対して親油性層状粘土鉱物を1〜40重量部含有することが好ましい。   In the surface protective pressure-sensitive adhesive tape for a solid-state imaging device of the present invention, the pressure-sensitive adhesive layer preferably contains 1 to 40 parts by weight of a lipophilic layered clay mineral with respect to 100 parts by weight of the pressure-sensitive adhesive.

本発明の固体撮像デバイス用表面保護粘着テープは、前記親油性層状粘土鉱物が、層状珪酸塩であることが好ましい。   In the surface protective adhesive tape for a solid-state imaging device according to the present invention, the lipophilic layered clay mineral is preferably a layered silicate.

本発明の固体撮像デバイスの実装方法は、前記固体撮像デバイス用表面保護粘着テープを用いることを特徴とする。   The solid-state imaging device mounting method of the present invention is characterized by using the surface protective adhesive tape for a solid-state imaging device.

本発明の固体撮像デバイス用表面保護粘着テープは、粘着剤層に親油性の層状粘土鉱物を含有することにより、粘着剤の凝集力が高まり、部品実装工程での高温条件下において、被着体、例えば映像センサの受光部側に対して、粘着力を保持することができるため、映像センサから剥がれることなく、映像センサ表面を異物による汚染、傷つきから保護することができる。また、180℃程度の高温加熱処理後であっても、映像センサに対して、糊残りを生じさせることなく、剥離することができ、有効である。   The surface protective pressure-sensitive adhesive tape for solid-state imaging device of the present invention contains a lipophilic layered clay mineral in the pressure-sensitive adhesive layer, so that the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive is increased, and the adherend is subjected to high temperature conditions in the component mounting process. For example, since the adhesive force can be maintained with respect to the light receiving portion side of the image sensor, the surface of the image sensor can be protected from contamination and scratches by a foreign substance without being peeled off from the image sensor. Even after high-temperature heat treatment at about 180 ° C., the image sensor can be peeled off without causing adhesive residue, which is effective.

以下、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

本発明の粘着テープは、基本的に、基材および基材の片面に設けられた粘着剤層から形成されるが、少なくとも片方の面に離型処理を施した離型フィルムを、粘着剤層を介して貼り合わせても良い。   The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is basically formed of a base material and a pressure-sensitive adhesive layer provided on one side of the base material, and a release film having a release treatment applied to at least one side is used as a pressure-sensitive adhesive layer. You may stick together.

粘着テープの基材は、特に限定されないが、高温条件下、例えば100〜200℃の温度範囲において耐熱性を有するフィルムであることが好ましい。具体的には、ポリエチレンテレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)フィルム、ポリエーテルイミド(PEI)フィルム、ポリサルフォン(PSF)フィルム、ポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)フィルム、ポリアリレート(PAR)フィルム、アラミドフィルム、ポリイミドフィルム、又は液晶ポリマー(LCP)フィルムからなることが好ましい。   Although the base material of an adhesive tape is not specifically limited, It is preferable that it is a film which has heat resistance in high temperature conditions, for example in the temperature range of 100-200 degreeC. Specifically, polyethylene terephthalate (PET) film, polyethylene naphthalate film (PEN), polyethersulfone (PES) film, polyetherimide (PEI) film, polysulfone (PSF) film, polyphenylene sulfide (PPS) film , A polyetheretherketone (PEEK) film, a polyarylate (PAR) film, an aramid film, a polyimide film, or a liquid crystal polymer (LCP) film.

基材の厚さは、10〜50μmが好ましく、より好ましくは30〜45μm、さらに好ましくは35〜40μmであることが望ましい。基材の厚さが10μm未満の場合、剥離する際に剥離し難い。また、50μmを超える場合には、高温雰囲気中において、センサから剥がれてしまう。   As for the thickness of a base material, 10-50 micrometers is preferable, More preferably, it is 30-45 micrometers, More preferably, it is desirable that it is 35-40 micrometers. When the thickness of the substrate is less than 10 μm, it is difficult to peel off when peeling. Moreover, when exceeding 50 micrometers, it will peel from a sensor in a high temperature atmosphere.

基材の熱収縮率は、1.0%以下であることが好ましく、より好ましくは0.5%以下であり、更に好ましくは、0.3%以下である。熱収縮率の測定方法は、テープ形態にて、粘着テープを20mm角にカットし、BA板に貼り合わせ、180℃の温度条件下で1時間放置し、その加熱前後のテープのサイズを、投影機(ミツトヨ製:PROFILE PROJECTOR PJ−H300F)を用いてMD方向およびTD方向のいずれもについて測定する。なお、BA板とは、JIS「BA仕上げ」に準じ、BA5号に表面仕上げしたSUS304板(日本金属(株)製BA5号仕上げSUS304)をいう。なお、基材の収縮率や映像センサへの貼り付けを鑑みると、耐熱性と貼り合わせの際の視認性を併せ持つポリエチレンナフタレートを主成分とする基材からなることが好ましい。   The heat shrinkage rate of the substrate is preferably 1.0% or less, more preferably 0.5% or less, and still more preferably 0.3% or less. The heat shrinkage rate is measured in the form of a tape by cutting the adhesive tape into 20 mm square, pasting it on a BA plate, leaving it at 180 ° C. for 1 hour, and projecting the tape size before and after the heating. Both MD direction and TD direction are measured using a machine (Mitutoyo: PROFILE PROJECTOR PJ-H300F). The BA plate refers to a SUS304 plate (BA5 finish SUS304 manufactured by Nippon Metal Co., Ltd.) surface-finished to BA5 in accordance with JIS “BA finish”. In view of the shrinkage rate of the base material and sticking to the image sensor, the base material is preferably made of a base material mainly composed of polyethylene naphthalate having both heat resistance and visibility at the time of pasting.

本発明の粘着剤層については、粘着性及び耐熱性を有するものであれば、特に限定されないが、例えば、アクリル系粘着剤などが挙げられる。アクリル系粘着剤としては、具体的には、少なくともアルキル(メタ)アクリレートを含むモノマーの共重合から得られたアクリル系ポリマーからなる粘着剤である。ここでいうアルキル(メタ)アクリレートの例としては、メチル(メタ)アクリレート,エチル(メタ)アクリレート,ブチル(メタ)アクリレート,イソアミル(メタ)アクリレート,n−ヘキシル(メタ)アクリレート,2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート,イソオクチル(メタ)アクリレート,イソノニル(メタ)アクリレート,デシシル(メタ)アクリレート,ドデシル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。前記アクリル系粘着剤は比較的耐熱性も高く、本発明に最も好適な粘着剤である。   Although it will not specifically limit about the adhesive layer of this invention if it has adhesiveness and heat resistance, For example, an acrylic adhesive etc. are mentioned. Specifically, the acrylic pressure-sensitive adhesive is a pressure-sensitive adhesive made of an acrylic polymer obtained by copolymerization of a monomer containing at least an alkyl (meth) acrylate. Examples of the alkyl (meth) acrylate herein include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) ) Acrylate, isooctyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, and the like. The acrylic pressure-sensitive adhesive has relatively high heat resistance and is the most suitable pressure-sensitive adhesive for the present invention.

前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、前記(メタ)アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル(メタ)アクリレート、カルボキシペンチル(メタ)アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー;(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸6−ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸8−ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸10−ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸12−ヒドロキシラウリル、(4−ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー;スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー;2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー;(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸N−ヒドロキシメチルアミド、(メタ)アクリル酸アルキルアミノアルキルエステル(例えば、ジメチルアミノエチルメタクリレート、t−ブチルアミノエチルメタクリレート等)、N−ビニルピロリドン,アクリロイルモルフォリン、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル;(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル(例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステルなど)などがあげられる。これら共重合可能なモノマー成分は、1種又は2種以上使用できる。前記共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の70重量%以下が好ましく、40重量%以下がより好ましい。   The acrylic polymer may contain units corresponding to other monomer components copolymerizable with the (meth) acrylic acid alkyl ester, if necessary, for the purpose of modifying cohesive force, heat resistance and the like. . Examples of such monomer components include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl (meth) acrylate, carboxypentyl (meth) acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid; maleic anhydride Acid anhydride monomers such as itaconic anhydride; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate Hydroxyl group-containing monomers such as 8-hydroxyoctyl (meth) acrylate, 10-hydroxydecyl (meth) acrylate, 12-hydroxylauryl (meth) acrylate, (4-hydroxymethylcyclohexyl) methyl (meth) acrylate; The Sulfonic acid groups such as lensulfonic acid, allylsulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methylpropanesulfonic acid, (meth) acrylamidepropanesulfonic acid, sulfopropyl (meth) acrylate, (meth) acryloyloxynaphthalenesulfonic acid Containing monomer; Phosphoric acid group-containing monomer such as 2-hydroxyethylacryloyl phosphate; (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid N-hydroxymethylamide, (meth) acrylic acid alkylaminoalkyl ester (For example, dimethylaminoethyl methacrylate, t-butylaminoethyl methacrylate, etc.), N-vinylpyrrolidone, acryloylmorpholine, vinyl acetate, vinyl propionate, styrene, acryloni Lil; (meth) acrylic acid cycloalkyl esters (e.g., cyclopentyl ester and cyclohexyl ester) and the like, such as. One or more of these copolymerizable monomer components can be used. The amount of the copolymerizable monomer used is preferably 70% by weight or less, more preferably 40% by weight or less based on the total monomer components.

さらに、前記アクリル系ポリマーは、架橋させるため、多官能性モノマーなども、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。このような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートなどがあげられる。これらの多官能性モノマーも1種又は2種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の70重量%以下がこのましく、30重量%以下がより好ましい。   Furthermore, since the acrylic polymer is crosslinked, a polyfunctional monomer or the like can be included as a monomer component for copolymerization as necessary. Examples of such polyfunctional monomers include hexanediol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, Pentaerythritol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, urethane (meth) Examples include acrylates. These polyfunctional monomers can also be used alone or in combination of two or more. The amount of the polyfunctional monomer used is preferably 70% by weight or less, more preferably 30% by weight or less, based on the adhesive properties and the like.

また、これらのアクリル系粘着剤には適宜な架橋剤を含有しうる。例えば一例として、イソシアネート架橋剤、エポキシ架橋剤、アジリジン系化合物、キレート系架橋剤などである。   Further, these acrylic pressure-sensitive adhesives can contain an appropriate crosslinking agent. For example, an isocyanate crosslinking agent, an epoxy crosslinking agent, an aziridine-based compound, a chelate-based crosslinking agent and the like are examples.

架橋剤の使用量は特に制限されるものではないが、例えば、前記アクリル系ポリマー100重量部に対して、0.1〜15重量部が好ましく、1〜10重量部がより好ましい。   Although the usage-amount of a crosslinking agent in particular is not restrict | limited, For example, 0.1-15 weight part is preferable with respect to 100 weight part of said acrylic polymers, and 1-10 weight part is more preferable.

親油性の層状粘土鉱物としては、特に限定されないが、層状珪酸塩を用いることが好ましい態様である。層状珪酸塩としては、例えば、サボナイト、ソーコナイト、スチブンサイト、ヘクトライト、マーガライト、タルク、金雲母、白雲母、クリソタイル、緑泥石、バーミキュライト、カオリナイト、ザンソフィライト、ディッカイト、ナクライト、バイロフィライト、モンモリロナイト、ハイデライト、ノントナイト、テトラシリリックマイカ、ナトリウムテニオライト、アンチゴライト、ハロイサイトなどが挙げられる。前記層状珪酸塩は、天然物又は合成物のいずれであってもよく、これらの1種類あるいは2種類以上を同時に使用しても問題ないが、特に、モンモリロナイトを使用することが好ましい態様である。   Although it does not specifically limit as a lipophilic layered clay mineral, It is a preferable aspect to use a layered silicate. Examples of layered silicates include sabonite, saconite, stevensite, hectorite, margarite, talc, phlogopite, muscovite, chrysotile, chlorite, vermiculite, kaolinite, zansophyllite, dickite, nacrite, bayophyllite, Examples include montmorillonite, hydelite, nontonite, tetrasilic mica, sodium teniolite, antigolite, and halloysite. The layered silicate may be either a natural product or a synthetic product, and even if one or more of these are used at the same time, there is no problem, but it is particularly preferable to use montmorillonite.

前記層状珪酸塩の平均粒径は、0.01〜100μmが好ましく、より好ましくは0.05〜10μmであり、アスペクト比は20〜500が好ましく、より好ましくは50〜200である。   The average particle size of the layered silicate is preferably 0.01 to 100 μm, more preferably 0.05 to 10 μm, and the aspect ratio is preferably 20 to 500, more preferably 50 to 200.

前記層状粘土鉱物の使用量は、特に限定されるものではいが、被着体に応じて耐熱性及び離型効果が得られるようにするため、使用量が適宜決定される。例えば、前記アクリル系共重合体100重量部に対して、1〜40重量部含有することが好ましく、より好ましくは10〜30重量部である。使用量が1重量部未満であると、耐熱性が発現されにくくなる。上記使用量をもとに、剥離効果に応じて、適宜調整することが好ましい態様である。また、粘着剤の塗工や粘着力の調製が困難になるという理由から、使用量は100重量部未満であることが好ましい態様であるが、上記使用量に特に限定されるものではなく、100重量部以上添加することも可能である。   The amount of the layered clay mineral used is not particularly limited, but the amount used is appropriately determined in order to obtain heat resistance and a releasing effect according to the adherend. For example, it is preferable to contain 1-40 weight part with respect to 100 weight part of said acrylic copolymers, More preferably, it is 10-30 weight part. When the amount used is less than 1 part by weight, the heat resistance is hardly exhibited. It is a preferable aspect to adjust appropriately according to the peeling effect based on the amount used. In addition, the amount used is preferably less than 100 parts by weight because it is difficult to apply the pressure-sensitive adhesive or to adjust the adhesive strength, but the amount used is not particularly limited. It is possible to add more than parts by weight.

さらに、必要に応じて他の添加剤として、例えば、開始剤、充填剤、老化防止剤、顔料、染料、シランカップリング剤等の各種添加剤を添加することができる。   Furthermore, as necessary, various additives such as an initiator, a filler, an antiaging agent, a pigment, a dye, and a silane coupling agent can be added as necessary.

前記粘着剤の調製に用いる溶媒は特に制限されないが、通常は、有機溶媒が用いられる。有機溶媒としては、粘着剤組成物を均一に溶解できるものが、製膜時の塗膜安定性の面でよい。有機溶媒としては、例えば、ブタン、ヘキサン、ヘプタン、トルエン、o‐キシレン、m‐キシレン、p‐キシレン、シクロヘキサン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、1‐ペンタノール、シクロヘキサノール、2‐メチルシクロヘキサノール、ジエチルエーテル、イソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジベンジルエーテル、テトラヒドロフラン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、2‐ヘプタノン(メチルペンチルケトン)、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、シクロペンタノン、酢酸アミル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、N,N‐ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N‐ジメチルアセトアミド(DMAc)、N‐メチルピロリドン、2‐メトキシエタノール、2‐エトキシエタノール、2‐ブトキシエタノールなどがあげられる。前記有機溶媒としては、酢酸エチル、トルエン、キシレン等が好ましい。溶媒により、粘着剤組成物は、通常、固形分濃度が、5〜50重量%、好ましくは5〜30重量%、さらに好ましくは10〜25重量%の溶液に調製される。   The solvent used for preparing the pressure-sensitive adhesive is not particularly limited, but an organic solvent is usually used. As an organic solvent, what can melt | dissolve an adhesive composition uniformly may be sufficient at the surface of the coating-film stability at the time of film forming. Examples of the organic solvent include butane, hexane, heptane, toluene, o-xylene, m-xylene, p-xylene, cyclohexane, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, 1-pentanol, cyclohexanol, 2-methylcyclohexanol, Diethyl ether, isopropyl ether, dibutyl ether, dibenzyl ether, tetrahydrofuran, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone (methylpentyl ketone), diisobutyl ketone, cyclohexanone, methylcyclohexanone, cyclopentanone, amyl acetate, methyl acetate, Ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, N, N-dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methylpyrrole Down, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, and 2-butoxyethanol and the like. As the organic solvent, ethyl acetate, toluene, xylene and the like are preferable. Depending on the solvent, the pressure-sensitive adhesive composition is usually prepared in a solution having a solid concentration of 5 to 50% by weight, preferably 5 to 30% by weight, and more preferably 10 to 25% by weight.

粘着剤層の形成方法は、アクリル系粘着剤を、基材上に塗布して、粘着剤組成物層を形成する。当該形成方法としては、各種方法を採用できる。例えば、粘着剤組成物層の形成に連続塗工装置を用いる場合は、粘着剤組成物(溶液)を連続的に供給して、装置先端に取り付けたダイスなどの吐出手段より連続的にシート基材上に薄層に押出してする方法が挙げられる。また、粘着剤組成物層を形成する方法として、バッチ方式を採用する場合には、基材上に粘着剤組成物(溶液)を基材上に流延して、アプリケーターや、マイヤーバー、ナイフコーターで成形する方法が挙げられる。このようにして、薄層化した粘着剤組成物を基材上に積層した後、加熱して、溶媒を除去する。   The pressure-sensitive adhesive layer is formed by applying an acrylic pressure-sensitive adhesive on a base material to form a pressure-sensitive adhesive composition layer. Various methods can be adopted as the forming method. For example, when a continuous coating apparatus is used for forming the pressure-sensitive adhesive composition layer, the pressure-sensitive adhesive composition (solution) is continuously supplied, and the sheet base is continuously formed by a discharge means such as a die attached to the front end of the apparatus. The method of extruding to a thin layer on a material is mentioned. When a batch method is adopted as a method for forming the pressure-sensitive adhesive composition layer, the pressure-sensitive adhesive composition (solution) is cast on the base material, and an applicator, a Meyer bar, or a knife is used. A method of forming with a coater is mentioned. Thus, after laminating | stacking the thinned adhesive composition on a base material, it heats and removes a solvent.

粘着剤層の厚さは、3〜20μmが好ましく、より好ましくは5〜15μm、さらに好ましくは8〜12μmであることが望ましい。3μm未満の場合、高温雰囲気中においてセンサから剥がれてしまう。また、20μmを超える場合には、剥離する際に、剥離することができない。   The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably 3 to 20 μm, more preferably 5 to 15 μm, and still more preferably 8 to 12 μm. If it is less than 3 μm, it will be peeled off from the sensor in a high temperature atmosphere. Moreover, when exceeding 20 micrometers, when peeling, it cannot peel.

本発明の粘着テープの厚さは、折れや裂けを防止するため少なくとも5μm以上が好ましく、さらに、好適なハンドリング性に鑑みると10〜100μmが好ましい。   The thickness of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is preferably at least 5 μm or more in order to prevent breakage or tearing, and further preferably 10 to 100 μm in view of suitable handling properties.

さらに、本発明では、粘着テープの熱収縮率が、1.0%以下であることが好ましく、より好ましくは0.5%以下であり、さらに好ましくは0.3%以下であることが好ましい。ここでいう熱収縮率は、粘着テープ形態にて、BA板に貼り合せ、180℃の温度条件下にて1時間放置した後の値が基準となる。具体的な熱収縮率の測定方法は、粘着テープを20mm角にカットし、BA板に貼付け、180℃の温度条件下で加熱し、その加熱前後のテープのサイズを、投影機(ミツトヨ製:PROFILE PROJECTOR PJ−H300F)を用いてMD方向およびTD方向のいずれもについて測定するものである。   Furthermore, in this invention, it is preferable that the thermal contraction rate of an adhesive tape is 1.0% or less, More preferably, it is 0.5% or less, More preferably, it is preferable that it is 0.3% or less. The heat shrinkage referred to here is based on the value after bonding to a BA plate in the form of an adhesive tape and leaving it at 180 ° C. for 1 hour. Specifically, the heat shrinkage rate is measured by cutting an adhesive tape into 20 mm square, sticking it to a BA plate, heating it at a temperature of 180 ° C., and measuring the size of the tape before and after the heating by a projector (Mitutoyo: Both the MD direction and the TD direction are measured using PROFILE PROJECTOR PJ-H300F).

また、本発明においては、180℃の加熱を1時間実施した後の粘着テープの粘着力が、0.5N/19mm以上であることが好ましく、より好ましくは0.5〜5.0N/19mmであり、更に好ましくは1.0〜2.5N/19mmである。0.5N/19mmを下回ると、加熱中の工程において映像センサより粘着テープの剥離を生じる可能性がある。5.0N/19mmを超える粘着力では、被着体からのテープ剥離が工程上困難かつ、被着体表面に粘着剤層を残存させる可能性がある。ここでいう粘着力は、JIS Z0237に準じて測定した値が基準となる。   Moreover, in this invention, it is preferable that the adhesive force of the adhesive tape after implementing a heating at 180 degreeC for 1 hour is 0.5 N / 19mm or more, More preferably, it is 0.5-5.0 N / 19mm. More preferably, it is 1.0 to 2.5 N / 19 mm. If it is less than 0.5 N / 19 mm, the adhesive tape may be peeled off from the image sensor during the heating process. When the adhesive strength exceeds 5.0 N / 19 mm, it is difficult to remove the tape from the adherend in the process, and the adhesive layer may remain on the adherend surface. The adhesive force here is based on a value measured according to JIS Z0237.

本発明における粘着テープの光透過率は、50%以上であることが好ましく、より好ましくは70%以上であることが望まれる。部品実装後の内部を光学検査する際にも、粘着テープの光透過率を所定値以上確保することで、粘着テープの剥離を伴うことなく検査を行うことができるためである。ここでいう光透過率とは、可視光領域での光透過性を示しており、波長領域としては400〜700nmでの透過率を意味する。本発明においては、この波長領域でのいずれの透過率も50%以上であることが好ましい。50%を下回る透過率の場合は、粘着テープを介しての固体撮像デバイスの有する結線工程等の確認が困難になるためである。ここでいう光透過率は以下の測定方法による値が基準となる。   The light transmittance of the pressure-sensitive adhesive tape in the present invention is preferably 50% or more, and more preferably 70% or more. This is because, even when optically inspecting the interior after component mounting, the optical tape can be inspected without peeling of the adhesive tape by securing the light transmittance of the adhesive tape to a predetermined value or more. Here, the light transmittance means light transmittance in the visible light region, and means a light transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm. In the present invention, any transmittance in this wavelength region is preferably 50% or more. This is because, when the transmittance is less than 50%, it is difficult to confirm the connection process or the like of the solid-state imaging device via the adhesive tape. The light transmittance here is based on the value measured by the following measurement method.

<光透過率の測定方法>
(1)測定装置:分光光度計(島津製作所製、MPS−2000)
(2)測定範囲:波長域400nm〜700nmの範囲
(3)サンプルサイズ:測定装置に対し適切な大きさに切断
(4)粘着テープの測定は粘着剤側から測定を行った。なお、基材の測定については、粘着剤が塗布あるいは存在する側から測定を行った。
<Measurement method of light transmittance>
(1) Measuring apparatus: spectrophotometer (manufactured by Shimadzu Corporation, MPS-2000)
(2) Measurement range: Wavelength range of 400 nm to 700 nm (3) Sample size: Cut to an appropriate size for the measuring device (4) Measurement of the adhesive tape was performed from the adhesive side. In addition, about the measurement of a base material, it measured from the side in which an adhesive was apply | coated or exists.

また、粘着テープに離型フィルムを使用する場合、離型フィルムは、公知のいずれのものを使用してもよい。具体的には、離型フィルムの基材の、粘着剤層との接合面に、離型コート層、例えばシリコーン層が形成されたものを用いることができる。離型フィルムの基材としては、例えば、グラシン紙のような紙材や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等よりなる樹脂フィルムが挙げられる。   Moreover, when using a release film for an adhesive tape, you may use any well-known thing as a release film. Specifically, it is possible to use a release film base material having a release coat layer, for example, a silicone layer formed on the bonding surface with the pressure-sensitive adhesive layer. Examples of the substrate for the release film include paper materials such as glassine paper and resin films made of polyethylene, polypropylene, polyester, and the like.

また、本発明の粘着テープは、対象とする固体撮像デバイスのサイズに応じて加工されていてもよい。加工方法に関しては、均一な形状が保たれ、かつ、加工断面部に粘着剤を残さない方法であれば、特に限定されないが、生産性を鑑みて打ち抜き加工が好ましい。   The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may be processed according to the size of the target solid-state imaging device. The processing method is not particularly limited as long as it is a method that maintains a uniform shape and does not leave a pressure-sensitive adhesive in the processed cross section, but punching is preferable in view of productivity.

以下、本発明の構成と効果を具体的に示す実施例等について説明する。また、実施例等における評価方法は下記のように行った。なお、本発明がかかる実施例、評価方法に限定されるものでないことはいうまでもない。   Examples and the like specifically showing the configuration and effects of the present invention will be described below. Moreover, the evaluation method in an Example etc. was performed as follows. In addition, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this Example and evaluation method.

<実施例1>
厚さが25μmのポリエチレンナフタレート(基材の熱収縮率0.4%:150℃−30分)からなる基材を用いた。また、粘着剤層としては、アクリル酸ブチル50重量部、アクリル酸エチル50重量部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル0.1重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート0.3重量部、アクリル酸5重量部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリル系ポリマーを調製した。このアクリル系ポリマー100重量部に対して、層状粘土鉱物のモンモリロナイト(クニミネ工業製、クニピアG、平均粒径0.1μm)10重量部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業製、商品名:コロネートL)1重量部、ポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学製、商品名:テトラッドC)4重量部、溶剤をメチルエチルケトンとして、溶液濃度を19重量%に調製した。得られたアクリル系粘着剤溶液を前記基材上に塗布し、更に乾燥して、厚さが10μmの粘着剤層を有する粘着テープを作成した。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると、1.00N/19mmであり、粘着テープの熱収縮率は0.15%であった。
<Example 1>
A substrate made of polyethylene naphthalate having a thickness of 25 μm (thermal shrinkage of substrate 0.4%: 150 ° C.-30 minutes) was used. Moreover, as an adhesive layer, butyl acrylate 50 weight part, ethyl acrylate 50 weight part, 2-hydroxyethyl acrylate 0.1 weight part, trimethylol propane triacrylate 0.3 weight part, acrylic acid 5 weight part An acrylic polymer, which is a base polymer obtained from a monomer mixed solution consisting of With respect to 100 parts by weight of this acrylic polymer, 10 parts by weight of layered clay mineral montmorillonite (Kunimine Industries, Kunipia G, average particle size 0.1 μm), polyisocyanate compound (manufactured by Nippon Polyurethane Industry, trade name: 1 part by weight of Coronate L), 4 parts by weight of a polyepoxy compound (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name: Tetrad C) and methyl ethyl ketone as a solvent were prepared to a solution concentration of 19% by weight. The obtained acrylic pressure-sensitive adhesive solution was applied onto the substrate and further dried to prepare a pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 10 μm. After the adhesive tape was heated at 180 ° C. for about 1 hour, and the adhesive strength was measured according to JIS Z0237, it was 1.00 N / 19 mm, and the thermal shrinkage of the adhesive tape was 0.15%.

<実施例2>
実施例1の層状粘土鉱物のモンモリロナイトの含有量が1重量部である点以外は、同様の方法で粘着テープを作成した。この粘着テープの粘着力を測定すると、0.55N/19mmであり、粘着テープの熱収縮率は0.15%であった。
<Example 2>
An adhesive tape was prepared in the same manner except that the content of montmorillonite of the layered clay mineral of Example 1 was 1 part by weight. When the adhesive strength of this adhesive tape was measured, it was 0.55 N / 19 mm, and the thermal shrinkage of the adhesive tape was 0.15%.

<実施例3>
実施例1の層状粘土鉱物のモンモリロナイトの含有量が40重量部である点以外は、同様の方法で粘着テープを作成した。この粘着テープの粘着力を測定すると、0.75N/19mmであり、粘着テープの熱収縮率は0.15%であった。
<Example 3>
A pressure-sensitive adhesive tape was prepared in the same manner except that the content of montmorillonite of the layered clay mineral of Example 1 was 40 parts by weight. When the adhesive strength of this adhesive tape was measured, it was 0.75 N / 19 mm, and the thermal shrinkage rate of the adhesive tape was 0.15%.

<実施例4>
実施例1の層状粘土鉱物のモンモリロナイトの含有量が30重量部である点以外は、同様の方法で粘着テープを作成した。この粘着テープの粘着力を測定すると、1.20N/19mmであり、粘着テープの熱収縮率は0.15%であった。
<Example 4>
A pressure-sensitive adhesive tape was prepared in the same manner except that the content of montmorillonite in the layered clay mineral of Example 1 was 30 parts by weight. When the adhesive strength of this adhesive tape was measured, it was 1.20 N / 19 mm, and the thermal shrinkage rate of the adhesive tape was 0.15%.

<比較例1>
実施例1の層状粘土鉱物のモンモリロナイトを含有しない点以外は、同様の方法で粘着テープを作成した。この粘着テープの粘着力を測定すると、0.03N/19mmであり、粘着テープの熱収縮率は0.15%であった。
<Comparative Example 1>
An adhesive tape was prepared in the same manner except that it did not contain the layered clay mineral montmorillonite of Example 1. When the adhesive strength of this adhesive tape was measured, it was 0.03 N / 19 mm, and the thermal shrinkage of the adhesive tape was 0.15%.

<比較例2>
実施例1の層状粘土鉱物のモンモリロナイトの含有量が1000重量部である点以外は、同様の方法で粘着剤層の作成を試みたが、粘着剤としての塗工が困難で、均一に粘着剤層を作成することができなかった。
<Comparative example 2>
Except that the content of the montmorillonite of the layered clay mineral of Example 1 is 1000 parts by weight, an attempt was made to create an adhesive layer by the same method, but coating as an adhesive was difficult, and the adhesive was uniformly applied. The layer could not be created.

Figure 2008201899
Figure 2008201899

以上の結果より、本発明の固体撮像デバイス用表面保護粘着テープによれば、180℃という高温雰囲気下の部品実装工程で使用した場合であっても、粘着力及び熱収縮率に優れ、映像センサから粘着テープが剥がれることがなく、センサを好適に保護できることが確認できた。
From the above results, according to the surface protective adhesive tape for solid-state imaging device of the present invention, even when used in a component mounting process under a high temperature atmosphere of 180 ° C., the adhesive film and the heat shrinkage rate are excellent. It was confirmed that the adhesive tape could not be peeled off and the sensor could be suitably protected.

Claims (4)

基材の片面に粘着剤層を有する固体撮像デバイス用表面保護粘着テープであって、
前記粘着剤層が粘着剤及び親油性層状粘土鉱物を含有することを特徴とする固体撮像デバイス用表面保護粘着テープ。
A surface protective adhesive tape for a solid-state imaging device having an adhesive layer on one side of a substrate,
A surface protective adhesive tape for a solid-state imaging device, wherein the adhesive layer contains an adhesive and a lipophilic layered clay mineral.
前記粘着剤層は、粘着剤100重量部に対して親油性層状粘土鉱物を1〜40重量部含有することを特徴とする請求項1記載の固体撮像デバイス用表面保護粘着テープ。 The surface-protective pressure-sensitive adhesive tape for a solid-state imaging device according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive layer contains 1 to 40 parts by weight of a lipophilic layered clay mineral with respect to 100 parts by weight of the pressure-sensitive adhesive. 請求項1又は2記載の親油性層状粘土鉱物が、層状珪酸塩であることを特徴とする固体撮像デバイス用表面保護粘着テープ。 The surface-protective pressure-sensitive adhesive tape for a solid-state imaging device, wherein the lipophilic layered clay mineral according to claim 1 or 2 is a layered silicate. 請求項1〜3いずれかに記載の固体撮像デバイス用表面保護粘着テープを用いた固体撮像デバイスの実装方法。
The mounting method of the solid-state imaging device using the surface protection adhesive tape for solid-state imaging devices in any one of Claims 1-3.
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