JP2008197216A - Antireflection coating and method of producing the same - Google Patents

Antireflection coating and method of producing the same Download PDF

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克宏 小嶋
Hideko Okamoto
英子 岡本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing an antireflection coating on which a convex part having excellent scratch resistance at the tip thereof is formed, and to provide the antireflection coating having excellent scratch resistance at the tip of the convex part formed on the surface thereof. <P>SOLUTION: The method for producing the antireflection coating 30 having the convex part 32 on the surface thereof includes: a step (i) of supplying a liquid resin material having a viscosity of 1 to 1×10<SP>5</SP>Pa-s onto the surface of a mold on the surface of which a concave part corresponding to the convex part 32 is formed; a step (ii) of solidifying the supplied liquid resin material to form the antireflection coating 30; a step (iii) of separating the antireflection coating 30 from the mold; and a step (iv) of, if necessary, further solidifying the solidified resin material. The antireflection coating 30 obtained by this producing method satisfies 0<r<R (wherein r is the curvature radius of the tip of the convex part 32; and R is a half of the maximum width of the convex part). <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、反射防止膜およびその製造方法に関する。   The present invention relates to an antireflection film and a manufacturing method thereof.

近年、可視光の波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有する材料は、反射防止機能、Lotus効果等の機能性を発現することから、その有用性が注目されている。特に、略円錐形状の凸部を並べたMoth−Eye構造と呼ばれる微細凹凸構造は、空気の屈折率から材料の屈折率に連続的に増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。   In recent years, materials having a fine concavo-convex structure with a period equal to or less than the wavelength of visible light on the surface exhibit functionality such as an antireflection function and a Lotus effect, and thus have been attracting attention for their usefulness. In particular, a fine concavo-convex structure called a Moth-Eye structure in which approximately conical convex portions are arranged can be an effective antireflection means by continuously increasing from the refractive index of air to the refractive index of the material. It has been known.

材料表面に微細凹凸構造を形成する方法としては、材料の表面を直接加工する方法、微細凹凸構造に対応した反転構造を有するモールドを用いる方法があり、生産性、経済性の点から、後者の方法が優れている。モールドに反転構造を形成する方法としては、電子線描画法、レーザー光干渉法等が知られている。しかし、これらの方法によるモールドの製造コストは、非常に高く、微細凹凸構造を表面に有する材料にも多大なコストが上乗せされる結果となっている。   As a method for forming a fine concavo-convex structure on the material surface, there are a method of directly processing the surface of the material and a method using a mold having an inverted structure corresponding to the fine concavo-convex structure. From the viewpoint of productivity and economy, the latter The method is excellent. As a method for forming an inverted structure in a mold, an electron beam drawing method, a laser beam interference method, and the like are known. However, the manufacturing cost of the mold by these methods is very high, resulting in a large cost added to the material having a fine concavo-convex structure on the surface.

近年、簡便に製造できるモールドとして、陽極酸化ポーラスアルミナが注目されている(例えば、特許文献1)。この陽極酸化ポーラスアルミナを用いて、微細凹凸構造を正確に形成する技術は着実に進歩してきている。   In recent years, anodized porous alumina has attracted attention as a mold that can be easily produced (for example, Patent Document 1). A technique for accurately forming a fine concavo-convex structure using this anodized porous alumina has steadily advanced.

一般に表面に微細凹凸構造を有する場合、機械的強度が低く耐擦傷性が不充分であることが知られており、その改良が図られている。例えば、凸部の断面形状が0.3<h/h<0.9(ただし、hは実際の凸部の高さであり、hは凸部の断面において凸部の両側面の底に接する部分での接線tが交わる点までの高さである。)を満足する微細凹凸構造が提案されている(特許文献2)。
しかしながら、特許文献2には、シミュレーションの結果のみが記載され、実際に前記式を満足する凸部の製造方法については触れられていない。
In general, when the surface has a fine concavo-convex structure, it is known that the mechanical strength is low and the scratch resistance is insufficient. For example, the cross-sectional shape of the convex portion is 0.3 <h / h * <0.9 (where h is the actual height of the convex portion, and h * is the bottom of both side surfaces of the convex portion in the cross-section of the convex portion. Is a height up to the point where the tangent line t at the part in contact with the surface intersects.) (Patent Document 2).
However, Patent Document 2 describes only the result of the simulation, and does not mention a method of manufacturing a convex portion that actually satisfies the above formula.

なお、モールドの凹部の形状と、このモールドを用いて形成される凸部の形状とが一致しない光学素子の製造方法が開示されている(特許文献3)。しかし、特許文献3に記載の発明においては、モールドの凹部の深さが、形成される凸部の高さの1.5〜10倍とするための射出成型条件が記載されているだけであり、先端部の耐擦傷性に優れた円錐形状の凸部を形成する方法については触れられていない。
特開2005−156695号公報 特開2005−173457号公報 特開2006−133722号公報
A method for manufacturing an optical element in which the shape of the concave portion of the mold does not match the shape of the convex portion formed using this mold is disclosed (Patent Document 3). However, the invention described in Patent Document 3 only describes the injection molding conditions for making the depth of the concave portion of the mold 1.5 to 10 times the height of the convex portion to be formed. The method for forming a conical convex portion having excellent scratch resistance at the tip is not mentioned.
JP 2005-156695 A JP 2005-173457 A JP 2006-133722 A

よって、本発明の目的は、先端部の耐擦傷性に優れる凸部が形成された反射防止膜を製造できる方法、および表面に形成された凸部の先端部の耐擦傷性に優れる反射防止膜を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method capable of producing an antireflection film having a convex portion having excellent scratch resistance at the tip portion, and an antireflection film having excellent scratch resistance at the tip portion of the convex portion formed on the surface. Is to provide.

本発明の反射防止膜の製造方法は、表面に凸部が形成された反射防止膜の製造方法であって、(i)表面に前記凸部に対応する凹部が形成されたモールドの表面に、粘度が1〜1×10Pa・sの液状の樹脂材料を接触させる工程と、(ii)前記樹脂材料を固体状もしくは半固体状にし、前記反射防止膜を形成する工程と、(iii)前記反射防止膜と前記モールドとを分離する工程とを有することを特徴とする。 The method for producing an antireflection film of the present invention is a method for producing an antireflection film having a convex portion formed on a surface thereof, (i) on the surface of a mold having a concave portion corresponding to the convex portion formed on the surface, A step of contacting a liquid resin material having a viscosity of 1 to 1 × 10 4 Pa · s, (ii) a step of forming the antireflection film by making the resin material solid or semi-solid, and (iii) And a step of separating the antireflection film and the mold.

本発明の反射防止膜は、本発明の反射防止膜の製造方法によって得られた、表面に凸部が形成された反射防止膜であって、前記凸部の先端部の曲率半径rが、下記式(1)を満足することを特徴とする。
0<r<R ・・・(1)。
ただし、Rは、凸部の最大幅の半分である。
The antireflection film of the present invention is an antireflection film obtained by the production method of the antireflection film of the present invention and having a convex portion formed on the surface, and the curvature radius r of the tip portion of the convex portion is as follows: The expression (1) is satisfied.
0 <r <R (1).
However, R is half of the maximum width of the convex portion.

本発明の反射防止膜の製造方法によれば、先端部の耐擦傷性に優れる凸部が形成された反射防止膜を製造できる。
本発明の反射防止膜は、表面に形成された凸部の先端部の耐擦傷性に優れる。
According to the method for producing an antireflection film of the present invention, it is possible to produce an antireflection film in which a convex portion having excellent scratch resistance at the tip portion is formed.
The antireflection film of the present invention is excellent in scratch resistance at the tip of the convex portion formed on the surface.

本明細書において、(メタ)アクリレートは、アクリレートまたはメタクリレートを意味する。   In this specification, (meth) acrylate means an acrylate or a methacrylate.

<反射防止膜の製造方法>
本発明の反射防止膜の製造方法は、表面に凸部が形成された反射防止膜の製造方法であって、下記工程を有する方法である。
(i)表面に前記凸部に対応する凹部が形成されたモールドの表面に、粘度が1〜1×10Pa・sの液状の樹脂材料を接触させる工程。
(ii)前記樹脂材料を固体状にし、前記反射防止膜を形成する工程。
(iii)前記反射防止膜と前記モールドとを分離する工程。
なお、本発明においては、必要であればさらに、(iv)前記(iii)の工程後に前記樹脂材料を固体状にする工程を有してもよい。
<Method for producing antireflection film>
The method for producing an antireflection film of the present invention is a method for producing an antireflection film having a convex portion formed on the surface, and includes the following steps.
(I) A step of bringing a liquid resin material having a viscosity of 1 to 1 × 10 5 Pa · s into contact with the surface of the mold in which concave portions corresponding to the convex portions are formed on the surface.
(Ii) The step of forming the resin material into a solid state and forming the antireflection film.
(Iii) A step of separating the antireflection film and the mold.
In the present invention, if necessary, the method may further include (iv) a step of making the resin material solid after the step (iii).

(i)工程:
(モールド)
モールドとしては、表面に微細凹部を有するものを用いることができ、アルミニウムの酸化皮膜(アルマイト)に細孔(凹部)が形成された、いわゆる陽極酸化ポーラスアルミナが好ましい。
(I) Process:
(mold)
As the mold, a mold having fine recesses on the surface can be used, and so-called anodized porous alumina in which pores (recesses) are formed in an aluminum oxide film (alumite) is preferable.

陽極酸化ポーラスアルミナは、例えば、下記(a)〜(e)工程を経て製造できる。
(a)アルミニウムを電解液中、定電圧下で陽極酸化して酸化皮膜を形成する工程。
(b)酸化皮膜を除去し、陽極酸化の細孔発生点を形成する工程。
(c)アルミニウムを電解液中、再度陽極酸化し、細孔発生点に細孔を有する酸化皮膜を形成する工程。
(d)細孔の径を拡大させる工程。
(e)前記(c)工程と(d)工程を繰り返し行う工程。
Anodized porous alumina can be produced, for example, through the following steps (a) to (e).
(A) A step of forming an oxide film by anodizing aluminum in an electrolytic solution under a constant voltage.
(B) A step of removing the oxide film and forming pore generation points for anodic oxidation.
(C) A step of anodizing aluminum again in an electrolytic solution to form an oxide film having pores at the pore generation points.
(D) A step of enlarging the diameter of the pores.
(E) A step of repeatedly performing the steps (c) and (d).

(a)工程:
アルミニウムの純度は、90%以上が好ましく、99%以上がより好ましく、99.5%以上が特に好ましい。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化した時に、不純物の偏析により可視光を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で得られる細孔の規則性が低下したりすることがある。
(A) Process:
The purity of aluminum is preferably 90% or more, more preferably 99% or more, and particularly preferably 99.5% or more. When the purity of aluminum is low, when anodized, an uneven structure having a size to scatter visible light may be formed due to segregation of impurities, or the regularity of pores obtained by anodization may be lowered.

電解液としては、酸性電解液、アルカリ性電解液が挙げられ、酸性電解液が好ましい。
酸性電解液とは、硫酸、シュウ酸、リン酸、これらの混合物等が挙げられる。
Examples of the electrolytic solution include an acidic electrolytic solution and an alkaline electrolytic solution, and an acidic electrolytic solution is preferable.
Examples of the acidic electrolyte include sulfuric acid, oxalic acid, phosphoric acid, and a mixture thereof.

シュウ酸を電解液として用いる場合:
シュウ酸の濃度は、0.7M以下が好ましい。シュウ酸の濃度が0.7Mを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。
電圧が30〜60Vの時、周期が100nmの規則性の高い細孔を有する陽極酸化ポーラスアルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にあり、周期が可視光の波長より大きくなることがある。
電解液の温度は、60℃以下が好ましく、45℃以下がより好ましい。電解液の温度が60℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
When using oxalic acid as electrolyte:
The concentration of oxalic acid is preferably 0.7 M or less. When the concentration of oxalic acid exceeds 0.7M, the current value becomes too high, and the surface of the oxide film may become rough.
When the voltage is 30-60 V, anodized porous alumina having highly regular pores with a period of 100 nm can be obtained. Regardless of whether the formation voltage is higher or lower than this range, the regularity tends to decrease, and the period may be longer than the wavelength of visible light.
The temperature of the electrolytic solution is preferably 60 ° C. or lower, and more preferably 45 ° C. or lower. When the temperature of the electrolytic solution exceeds 60 ° C., a so-called “burn” phenomenon occurs, and the pores may be broken, or the surface may melt and the regularity of the pores may be disturbed.

硫酸を電解液として用いる場合:
硫酸の濃度は0.7M以下が好ましい。硫酸の濃度が0.7Mを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。
電圧が25〜30Vの時、周期が63nmの規則性の高い細孔を有する陽極酸化ポーラスアルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向があり、周期が可視光の波長より大きくなることがある。
電解液の温度は、30℃以下が好ましく、20℃以下がよりに好ましい。電解液の温度が30℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
When using sulfuric acid as the electrolyte:
The concentration of sulfuric acid is preferably 0.7M or less. If the concentration of sulfuric acid exceeds 0.7M, the current value may become too high to maintain a constant voltage.
When the voltage is 25 to 30 V, anodized porous alumina having highly regular pores with a period of 63 nm can be obtained. Regardless of whether the formation voltage is higher or lower than this range, the regularity tends to decrease, and the period may be longer than the wavelength of visible light.
The temperature of the electrolytic solution is preferably 30 ° C. or lower, and more preferably 20 ° C. or lower. When the temperature of the electrolytic solution exceeds 30 ° C., a so-called “burn” phenomenon occurs, and the pores may be broken, or the surface may melt and the regularity of the pores may be disturbed.

細孔の直径制御は、常法に従って行えばよい。例えば、陽極酸化を高電圧で行うほど細孔の直径は大きくなる。また、酸性電解液を用いた場合、硫酸、シュウ酸、リン酸の順で細孔の直径は大きくなる。
細孔の周期は、20〜500nmが好ましい。細孔の周期が20nm未満では、陽極酸化の制御が難しく、目的に応じた周期の細孔が得られない。細孔の周期が500nmを超えると、電圧が電解液の耐電圧を超え、細孔を形成できない。細孔の周期は、細孔の中心から、これに隣接する細孔の中心までの距離である。
The diameter control of the pores may be performed according to a conventional method. For example, the diameter of the pores increases as the anodic oxidation is performed at a higher voltage. When an acidic electrolyte is used, the pore diameter increases in the order of sulfuric acid, oxalic acid, and phosphoric acid.
The period of the pores is preferably 20 to 500 nm. If the period of the pores is less than 20 nm, it is difficult to control anodization, and pores having a period according to the purpose cannot be obtained. If the period of the pores exceeds 500 nm, the voltage exceeds the withstand voltage of the electrolyte, and pores cannot be formed. The period of the pore is a distance from the center of the pore to the center of the pore adjacent to the pore.

酸化皮膜の厚さは、電界放出形走査電子顕微鏡で観察した時に、10μm以下が好ましく、1〜5μmがより好ましく、1〜3μmが特に好ましい。酸化皮膜の厚さが10μmを超えると、アルミニウムの結晶粒界が目視でも確認できるようになり、反射防止膜表面に結晶粒界の凹凸までもが転写されることがある。   The thickness of the oxide film is preferably 10 μm or less, more preferably 1 to 5 μm, and particularly preferably 1 to 3 μm when observed with a field emission scanning electron microscope. When the thickness of the oxide film exceeds 10 μm, the crystal grain boundaries of aluminum can be visually confirmed, and even the irregularities of the crystal grain boundaries may be transferred to the antireflection film surface.

(b)工程:
酸化皮膜を一旦除去し、これを陽極酸化の細孔発生点にすることで細孔の規則性を向上することができる(例えば、益田,応用物理,vol.69,No.5,p558(2000))。
酸化皮膜を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、アルミナを選択的に溶解する溶液に溶解させて除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、クロム酸/リン酸混合液等が挙げられる。
(B) Process:
The regularity of the pores can be improved by once removing the oxide film and using this as the pore generation point for anodization (for example, Masuda, Applied Physics, vol. 69, No. 5, p 558 (2000). )).
Examples of the method for removing the oxide film include a method in which aluminum is not dissolved but is dissolved in a solution that selectively dissolves alumina and removed. Examples of such a solution include a chromic acid / phosphoric acid mixed solution.

(c)工程:
図1に示すように、酸化皮膜を除去したアルミニウム12を再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔(凹部14)を有する酸化皮膜16が形成される。
陽極酸化は、(a)工程と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
(C) Process:
As shown in FIG. 1, when the aluminum 12 from which the oxide film has been removed is anodized again, an oxide film 16 having cylindrical pores (recesses 14) is formed.
Anodization may be performed under the same conditions as in step (a). Deeper pores can be obtained as the anodic oxidation time is lengthened.

(d)工程:
図1に示すように、細孔(凹部14)の径を拡大させる処理(以下、細孔径拡大処理と記す。)を行う。細孔径拡大処理は、アルミナを溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば、5質量%程度のリン酸水溶液等が挙げられる。
細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。
(D) Process:
As shown in FIG. 1, a process of expanding the diameter of the pore (recessed portion 14) (hereinafter referred to as a pore diameter expanding process) is performed. The pore diameter expansion treatment is a treatment for expanding the diameter of the pores obtained by anodic oxidation by immersing in a solution dissolving alumina. Examples of such a solution include a phosphoric acid aqueous solution of about 5% by mass.
The longer the pore diameter expansion processing time, the larger the pore diameter.

(e)工程:
図1に示すように、(c)工程の陽極酸化と、(d)工程の細孔径拡大処理を繰り返すと、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔(凹部14)を有する陽極酸化ポーラスアルミナ(モールド10)が得られる。
同じ条件で陽極酸化と細孔径拡大処理とを繰り返すことで、図2に示すような略円錐形状の細孔(凹部14)が形成される。陽極酸化時間、細孔径拡大処理時間を変化させることで、図3に示すような逆釣鐘形状の細孔(凹部14)、図4に示すような先鋭形状の細孔(凹部14)等を形成できる。
繰り返し回数は、合計で3回以上が好ましく、5回以上がより好ましい。繰り返し回数が2回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を有するモールドを用いて製造された反射防止膜の反射率低減効果が劣る。
(E) Process:
As shown in FIG. 1, when the anodic oxidation in the step (c) and the pore diameter enlargement process in the step (d) are repeated, pores having a shape in which the diameter continuously decreases in the depth direction from the opening (recess 14). ) Anodized porous alumina (mold 10) is obtained.
By repeating the anodic oxidation and the pore diameter enlargement process under the same conditions, substantially conical pores (recesses 14) as shown in FIG. 2 are formed. By changing the anodizing time and the pore diameter expansion processing time, a reverse bell-shaped pore (recessed portion 14) as shown in FIG. 3 and a sharp-shaped pore (recessed portion 14) as shown in FIG. 4 are formed. it can.
The total number of repetitions is preferably 3 times or more, and more preferably 5 times or more. If the number of repetitions is 2 times or less, the diameter of the pores decreases discontinuously, so that the antireflection film manufactured using a mold having such pores is inferior in the reflectance reduction effect.

図2〜4に示すような細孔(凹部)を有するモールドを用いて製造された反射防止膜の表面は、いわゆるMoth−Eye構造となり、有効な反射防止の手段となる。
細孔の深さは、50nm以上が好ましく、100nm以上がより好ましい。細孔の深さが50nm以上であれば、得られる反射防止膜の反射率が十分に低くなる。
細孔のアスペクト比(深さ/周期)は、0.5以上が好ましく、1以上がより好ましい。アスペクト比が0.5以上であれば、得られる反射防止膜の反射率が十分に低くなり、かつ入射角依存性も小さくなる。
細孔の開口径は、10〜500nmが好ましく、20〜300nmがより好ましい。細孔の開口径が10nm以上であれば、モールドの作製を任意に制御できる。細孔の開口径が500nm以下であれば、細孔に液状の樹脂材料が完全に充填しないように液状の樹脂材料の粘度を調整しやすい。
The surface of the antireflection film manufactured using a mold having pores (concave portions) as shown in FIGS. 2 to 4 has a so-called Moth-Eye structure, which is an effective antireflection means.
The depth of the pores is preferably 50 nm or more, and more preferably 100 nm or more. When the depth of the pores is 50 nm or more, the reflectance of the obtained antireflection film is sufficiently low.
The aspect ratio (depth / cycle) of the pores is preferably 0.5 or more, and more preferably 1 or more. When the aspect ratio is 0.5 or more, the reflectance of the obtained antireflection film is sufficiently low, and the incident angle dependency is also small.
The opening diameter of the pores is preferably 10 to 500 nm, and more preferably 20 to 300 nm. If the opening diameter of the pore is 10 nm or more, the production of the mold can be arbitrarily controlled. If the opening diameter of the pores is 500 nm or less, it is easy to adjust the viscosity of the liquid resin material so that the liquid resin material is not completely filled into the pores.

モールドの表面は、反射防止膜との分離が容易になるように、離型剤で処理されていてもよい。処理方法としては、例えば、シリコーン系ポリマーまたはフッ素ポリマーをコーティングする方法、フッ素化合物を蒸着する方法、フッ素系シランカップリング剤またはフッ素シリコーン系シランカップリング剤をコーティングする方法等が挙げられる。
モールドの形状は、平板状、円柱状、円筒形状等が挙げられる。円柱状または円筒形状のモールドは、円柱状または円筒形状のアルミニウムからなるモールド、または円柱状または円筒形状の支持体の表面にアルミニウム層を有するモールドが挙げられる。
The surface of the mold may be treated with a release agent so as to facilitate separation from the antireflection film. Examples of the treatment method include a method of coating a silicone polymer or a fluorine polymer, a method of depositing a fluorine compound, a method of coating a fluorine silane coupling agent or a fluorine silicone silane coupling agent, and the like.
Examples of the shape of the mold include a flat plate shape, a columnar shape, and a cylindrical shape. Examples of the columnar or cylindrical mold include a mold made of columnar or cylindrical aluminum, or a mold having an aluminum layer on the surface of a columnar or cylindrical support.

(液状の樹脂材料)
液状の樹脂材料としては、硬化性樹脂組成物、または溶融状態にある熱可塑性樹脂が挙げられる。
(Liquid resin material)
Examples of the liquid resin material include a curable resin composition or a thermoplastic resin in a molten state.

硬化性樹脂組成物としては、光硬化反応、電子線硬化反応または熱硬化反応を起こす成分と、これらの反応を促進する成分との混合物が挙げられ、例えば、重合性化合物と重合開始剤との混合物が挙げられる。   Examples of the curable resin composition include a mixture of a component that causes a photocuring reaction, an electron beam curing reaction, or a thermosetting reaction, and a component that accelerates these reactions. For example, the curable resin composition includes a polymerizable compound and a polymerization initiator. A mixture is mentioned.

重合性化合物としては、例えば、1モルの多価アルコールと、2モル以上の(メタ)アクリル酸またはその誘導体とから得られるエステル化物A;多価アルコールと、多価カルボン酸またはその無水物と、(メタ)アクリル酸またはその誘導体とから得られるエステル化物B等が挙げられる。   Examples of the polymerizable compound include an esterified product A obtained from 1 mol of a polyhydric alcohol and 2 mol or more of (meth) acrylic acid or a derivative thereof; a polyhydric alcohol and a polyvalent carboxylic acid or an anhydride thereof. And esterified product B obtained from (meth) acrylic acid or a derivative thereof.

エステル化物Aとしては、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   As esterified product A, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate , Trimethylolethane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate , Tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, and the like.

エステル化物Bとしては、マロン酸、コハク酸、アジピン酸、グルタル酸、セバシン酸、フマル酸、イタコン酸、無水マレイン酸等の多価カルボン酸またはその無水物と、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、グリセリン、ペンタエリスリトール等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸またはその誘導体からそれぞれ任意に選択された組み合わせで得られるエステル化物等が挙げられる。
重合性化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Examples of the esterified product B include polycarboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, adipic acid, glutaric acid, sebacic acid, fumaric acid, itaconic acid and maleic anhydride, or anhydrides thereof, trimethylolethane, trimethylolpropane, Examples thereof include esterified products obtained by combinations selected arbitrarily from polyhydric alcohols such as glycerin and pentaerythritol, and (meth) acrylic acid or derivatives thereof.
A polymeric compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

光硬化反応を利用する場合、光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジル、ベンゾフェノン、p−メトキシベンゾフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、α,α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン、メチルフェニルグリオキシレート、エチルフェニルグリオキシレート、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のカルボニル化合物;テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド等の硫黄化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ベンゾイルジエトキシフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   When utilizing a photocuring reaction, examples of the photopolymerization initiator include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl, benzophenone, p-methoxybenzophenone, 2,2-diethoxy. Acetophenone, α, α-dimethoxy-α-phenylacetophenone, methylphenylglyoxylate, ethylphenylglyoxylate, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane- Carbonyl compounds such as 1-one; sulfur compounds such as tetramethylthiuram monosulfide and tetramethylthiuram disulfide; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, benzoic acid Diethoxy phosphine oxide, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

電子線硬化反応を利用する場合、重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン、メチルオルソベンゾイルベンゾエート、4−フェニルベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン等のチオキサントン;ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、2−メチル−2−モルホリノ(4−チオメチルフェニル)プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン等のアセトフェノン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド;メチルベンゾイルホルメート、1,7−ビスアクリジニルヘプタン、9−フェニルアクリジン等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   When using an electron beam curing reaction, examples of the polymerization initiator include benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, methyl orthobenzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, t- Thioxanthone such as butylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone; diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyl Dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone, 2-methyl-2-morpholino (4-thiomethylphenyl) propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholy Acetophenone such as phenyl) -butanone; benzoin ether such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl)- Acylphosphine oxides such as 2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide; methylbenzoylformate, 1,7-bisacridinylheptane, 9-phenyl Examples include acridine. These may be used alone or in combination of two or more.

熱硬化反応を利用する場合、熱重合開始剤としては、例えば、メチルエチルケトンパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、t−ブチルパーオキシオクトエート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ラウロイルパーオキサイド等の有機過酸化物;アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系化合物;前記有機過酸化物にN,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチル−p−トルイジン等のアミンを組み合わせたレドックス重合開始剤等が挙げられる。   When a thermosetting reaction is used, examples of the thermal polymerization initiator include methyl ethyl ketone peroxide, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, t-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, t-butyl peroxy octoate, organic peroxides such as t-butylperoxybenzoate and lauroyl peroxide; azo compounds such as azobisisobutyronitrile; N, N-dimethylaniline, N, N-dimethyl-p- Examples thereof include a redox polymerization initiator combined with an amine such as toluidine.

重合開始剤の量は、重合性化合物100質量部に対して、0.01〜10質量部が好ましい。重合開始剤の量が0.01質量部未満では、硬化性樹脂組成物の十分な硬化を実現できない。重合開始剤の量が10質量部を超えると、樹脂の分子量が下がり、樹脂の強度が不十分となったり、重合開始剤の残留物等のために硬化後の反射防止膜の着色問題が生じたりする。   As for the quantity of a polymerization initiator, 0.01-10 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of polymeric compounds. If the amount of the polymerization initiator is less than 0.01 parts by mass, sufficient curing of the curable resin composition cannot be realized. If the amount of the polymerization initiator exceeds 10 parts by mass, the molecular weight of the resin decreases, the strength of the resin becomes insufficient, or a problem of coloring the antireflection film after curing occurs due to a residue of the polymerization initiator, etc. Or

硬化性樹脂組成物は、必要に応じて非反応性のポリマー、活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物を含んでいてもよい。
非反応性のポリマーとしては、アクリル樹脂、スチレン系樹脂、ポリウレタン樹脂、セルロース樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリエステル樹脂、熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物としては、例えば、アルコキシシラン化合物、アルキルシリケート化合物等が挙げられる。
The curable resin composition may contain a non-reactive polymer and an active energy ray sol-gel reactive composition as necessary.
Non-reactive polymers include acrylic resins, styrene resins, polyurethane resins, cellulose resins, polyvinyl butyral resins, polyester resins, thermoplastic elastomers, and the like.
Examples of the active energy ray sol-gel reactive composition include alkoxysilane compounds and alkylsilicate compounds.

アルコキシシラン化合物としては、下記式(2)の化合物が挙げられる。
Si(OR’) ・・・(2)。
ただし、R、R’は、それぞれ炭素数1〜10のアルキル基を表し、x、yは、x+y=4の関係を満たす整数を表す。
As an alkoxysilane compound, the compound of following formula (2) is mentioned.
R x Si (OR ′) y (2).
However, R and R ′ each represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and x and y represent integers satisfying the relationship of x + y = 4.

アルコキシシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラ−iso−プロポキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラン、テトラ−sec−ブトキシシラン、テトラ−tert−ブトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルプロポキシシラン、トリメチルブトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the alkoxysilane compound include tetramethoxysilane, tetra-iso-propoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane, tetra-sec-butoxysilane, tetra-tert-butoxysilane, methyltriethoxysilane, Examples include methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylpropoxysilane, and trimethylbutoxysilane.

アルキルシリケート化合物としては、下記式(3)の化合物が挙げられる。
O(Si(OR)(OR)O) ・・・(3)。
ただし、R〜Rは、それぞれ炭素数1〜5のアルキル基を表し、zは、3〜20の整数を表す。
Examples of the alkyl silicate compound include compounds of the following formula (3).
R 1 O (Si (OR 3 ) (OR 4 ) O) z R 2 (3).
However, R < 1 > -R < 4 > represents a C1-C5 alkyl group, respectively, and z represents the integer of 3-20.

アルキルシリケート化合物としては、メチルシリケート、エチルシリケート、イソプロピルシリケート、n−プロピルシリケート、n−ブチルシリケート、n−ペンチルシリケート、アセチルシリケート等が挙げられる。   Examples of the alkyl silicate compound include methyl silicate, ethyl silicate, isopropyl silicate, n-propyl silicate, n-butyl silicate, n-pentyl silicate, acetyl silicate and the like.

硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、増粘剤、レベリング剤、紫外線吸収剤、光安定剤、熱安定剤、溶剤、無機フィラー等の各種添加剤を含んでいてもよい。   The curable resin composition may further contain various additives such as a thickener, a leveling agent, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a heat stabilizer, a solvent, and an inorganic filler as necessary.

溶融状態にある熱可塑性樹脂としては、溶融温度以上に加熱された、ポリエステル樹脂(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等。)、ポリメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、スチレン樹脂等が挙げられる。   Examples of the thermoplastic resin in a molten state include polyester resin (polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, etc.), polymethacrylate resin, polycarbonate resin, vinyl chloride resin, ABS resin, styrene resin, etc. heated to the melting temperature or higher. It is done.

液状の樹脂材料の粘度は、1Pa・s〜1×10Pa・sであり、1Pa・s〜5×10Pa・sが好ましい。液状の樹脂材料の粘度が1Pa・s未満であれば、モールドの凹部への樹脂材料の浸入を制御することができないため、モールドの凹部への樹脂材料が完全に充填されてしまう。その結果、先端部の曲率半径rが式(1)を満足する凸部を有する反射防止膜を得ることができない。液状の樹脂材料の粘度が1×10Pa・sを超えると、液状の樹脂材料の流動性が低くなり、安定した膜を形成できない。 The viscosity of the liquid resin material is 1 Pa · s to 1 × 10 4 Pa · s, and preferably 1 Pa · s to 5 × 10 3 Pa · s. If the viscosity of the liquid resin material is less than 1 Pa · s, the penetration of the resin material into the concave portion of the mold cannot be controlled, so that the resin material is completely filled into the concave portion of the mold. As a result, it is not possible to obtain an antireflection film having a convex portion in which the radius of curvature r of the tip satisfies the formula (1). When the viscosity of the liquid resin material exceeds 1 × 10 4 Pa · s, the fluidity of the liquid resin material becomes low and a stable film cannot be formed.

液状樹脂の粘度は、一般のレオメーター等によって測定することができ、測定される粘度としては例えば複素粘性率がある。
液状の樹脂材料の粘度の調整方法としては、成分の混合比を変える方法、増粘剤または溶剤を用いる方法、温度を変える方法等が挙げられる。このように粘度を調整することによって、凸部の先端部の形状を変えることができる。
The viscosity of the liquid resin can be measured by a general rheometer or the like, and the measured viscosity includes, for example, a complex viscosity.
Examples of methods for adjusting the viscosity of the liquid resin material include a method of changing the mixing ratio of components, a method of using a thickener or a solvent, and a method of changing the temperature. Thus, the shape of the front-end | tip part of a convex part can be changed by adjusting a viscosity.

モールドの表面に液状の樹脂材料を接触させる方法としては、下記(I)または(II)の方法が挙げられる。
(I)図5に示すように、モールド10の表面に液状の樹脂材料20を塗布する方法。モールド10の表面に液状の樹脂材料20を塗布した後、液状の樹脂材料20の塗膜を樹脂基材24で覆ってもよい。
(II)図6に示すように、樹脂基材24上に液状の樹脂材料20を塗布した後、液状の樹脂材料20の塗膜にモールド10を押し付ける方法。
Examples of the method of bringing the liquid resin material into contact with the surface of the mold include the following method (I) or (II).
(I) A method of applying a liquid resin material 20 to the surface of the mold 10 as shown in FIG. After applying the liquid resin material 20 to the surface of the mold 10, the coating film of the liquid resin material 20 may be covered with the resin base material 24.
(II) A method of pressing the mold 10 against the coating film of the liquid resin material 20 after applying the liquid resin material 20 on the resin substrate 24 as shown in FIG.

塗布方法としては、ローラーコート法、バーコート法、エアーナイフコート法等が挙げられる。
樹脂基材24としては、ポリエステル樹脂(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等。)、ポリメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、スチレン樹脂等が挙げられる。
Examples of the coating method include a roller coating method, a bar coating method, and an air knife coating method.
Examples of the resin base material 24 include polyester resins (polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, etc.), polymethacrylate resins, polycarbonate resins, vinyl chloride resins, ABS resins, styrene resins, and the like.

(ii)工程:
液状の樹脂材料を固体状もしくは半固体状にする方法としては、樹脂材料が光硬化性樹脂組成物の場合は、光を照射する方法、樹脂材料が電子線硬化性樹脂組成物の場合は、電子線を照射する方法、樹脂材料が熱硬化性樹脂組成物の場合は、加熱する方法、樹脂材料が溶融状態にある熱可塑性樹脂の場合は、冷却する方法等が挙げられる。
(Ii) Process:
As a method of making the liquid resin material solid or semi-solid, when the resin material is a photocurable resin composition, a method of irradiating light, when the resin material is an electron beam curable resin composition, Examples include a method of irradiating an electron beam, a method of heating when the resin material is a thermosetting resin composition, and a method of cooling when the resin material is a thermoplastic resin in a molten state.

(iii)工程:
液状の樹脂材料を樹脂基材に接触させた状態で固体状にした場合、樹脂基材とともに反射防止膜をモールドから分離する。反射防止膜とともにボールドから分離された樹脂基材は、反射防止膜とともに反射防止部材の一部として用いてもよい。
(Iii) Process:
When the liquid resin material is brought into a solid state in contact with the resin base material, the antireflection film is separated from the mold together with the resin base material. The resin base material separated from the bold together with the antireflection film may be used as a part of the antireflection member together with the antireflection film.

(iv)工程:
液状の樹脂材料を固体状にする方法としては、(ii)と同様の操作を行うことになるが、樹脂材料が光硬化性樹脂組成物の場合は、光を照射する方法、樹脂材料が電子線硬化性樹脂組成物の場合は、電子線を照射する方法、樹脂材料が熱硬化性樹脂組成物の場合は、加熱する方法、樹脂材料が溶融状態にある熱可塑性樹脂の場合は、冷却する方法等が挙げられる。
(Iv) Process:
As a method for making a liquid resin material into a solid state, the same operation as in (ii) is performed. However, when the resin material is a photocurable resin composition, a method of irradiating light, and the resin material is an electron. In the case of a linear curable resin composition, a method of irradiating with an electron beam, a heating method in the case where the resin material is a thermosetting resin composition, a cooling in the case of a thermoplastic resin in which the resin material is in a molten state Methods and the like.

<反射防止膜>
図7は、本発明の反射防止膜の一例を示す断面図である。反射防止膜30は、表面に複数の凸部32が形成された膜である。反射防止膜30の裏面には、樹脂基材24が設けられていてもよい。
<Antireflection film>
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of the antireflection film of the present invention. The antireflection film 30 is a film having a plurality of convex portions 32 formed on the surface. A resin base material 24 may be provided on the back surface of the antireflection film 30.

本発明の製造方法によって得られた反射防止膜は、凸部の先端部の曲率半径rが、下記式(1)を満足し、好ましくは下記式(1−1)を満足する。
0<r<R ・・・(1)。
20nm≦r<R ・・・(1−1)。
ただし、Rは、凸部の最大幅の半分である。
In the antireflection film obtained by the production method of the present invention, the radius of curvature r of the tip of the convex portion satisfies the following formula (1), and preferably satisfies the following formula (1-1).
0 <r <R (1).
20 nm ≦ r <R (1-1).
However, R is half of the maximum width of the convex portion.

すなわち、凸部の形状は、図8に示す形状(先端部の曲率半径が0のもの。)と、図9に示す形状(先端部の曲率半径がRのもの。)との中間の形状となる。
先端部の曲率半径rが0である場合、先端部が先鋭状となるため擦傷に対して非常に弱くなる。先端部の曲率半径rがR以上となる場合、先端部が平坦になるため、反射防止膜と空気との界面において屈折率が急激に変化し、Moth−Eye構造による反射防止効果が弱くなってしまう。
That is, the shape of the convex portion is an intermediate shape between the shape shown in FIG. 8 (the tip radius of curvature is 0) and the shape shown in FIG. 9 (the tip radius of curvature is R). Become.
When the curvature radius r of the tip portion is 0, the tip portion is sharpened, so that it is very weak against abrasion. When the radius of curvature r of the tip is greater than or equal to R, the tip becomes flat, so the refractive index changes abruptly at the interface between the antireflection film and air, and the antireflection effect by the Moth-Eye structure is weakened. End up.

曲率半径rは、原子間力顕微鏡観察、電子顕微鏡観察等によって求めることができる。例えば、電子顕微鏡により凸部の断面観察を行い、得られた断面図から先端部を円弧で近似することにより求めることができる。
凸部の最大幅とは、凸部の断面を観察した際に、凸部を横断する方向の幅の最大値であり、通常は、凸部の底部の幅となる。凸部の最大幅の半分Rは、例えば、凸部が略円錐形状の場合、円錐の底面の半径となる。
The radius of curvature r can be obtained by observation with an atomic force microscope, observation with an electron microscope, or the like. For example, it can be obtained by observing the cross section of the convex portion with an electron microscope and approximating the tip portion with an arc from the obtained cross-sectional view.
The maximum width of the convex portion is the maximum value of the width in the direction crossing the convex portion when the cross section of the convex portion is observed, and is usually the width of the bottom portion of the convex portion. For example, when the convex portion has a substantially conical shape, half R of the maximum width of the convex portion is the radius of the bottom surface of the cone.

凸部の周期は、可視光の波長(380〜780nm)以下が好ましく、モールドの凹部の周期と同じ20〜500nmがより好ましい。凸部の周期は、凸部の中心から、これに隣接する凸部の中心までの距離である。
凸部の高さは、50nm以上が好ましく、100nm以上がより好ましい。凸部の高さが50nm以上であれば、反射防止膜の反射率が十分に低くなる。
凸部のアスペクト比(高さ/周期)は、0.5以上が好ましく、1.0以上がより好ましい。アスペクト比が0.5以上であれば、反射防止膜の反射率が十分に低くなり、かつ入射角依存性も小さくなる。
The period of the convex part is preferably not more than the wavelength of visible light (380 to 780 nm), and more preferably 20 to 500 nm which is the same as the period of the concave part of the mold. The period of a convex part is the distance from the center of a convex part to the center of the convex part adjacent to this.
The height of the convex part is preferably 50 nm or more, and more preferably 100 nm or more. When the height of the convex portion is 50 nm or more, the reflectance of the antireflection film is sufficiently low.
The aspect ratio (height / cycle) of the convex part is preferably 0.5 or more, and more preferably 1.0 or more. When the aspect ratio is 0.5 or more, the reflectance of the antireflection film is sufficiently low and the incident angle dependency is also small.

反射防止膜のヘイズは、3%以下が好ましく、1%以下がより好ましく、0.5%以下が特に好ましい。ヘイズが3%を超えると、例えば画像表示装置に用いた場合、画像の鮮明度が低下する。
反射防止膜は、外光を散乱させるアンチグレア機能を有していてもよい。可視光の波長以上の周期を有する微細凹凸構造上に、可視光の波長以下の周期を有する本発明における凸部を設けることでアンチグレア機能を付与できる。
The haze of the antireflection film is preferably 3% or less, more preferably 1% or less, and particularly preferably 0.5% or less. When the haze exceeds 3%, for example, when used in an image display device, the sharpness of the image is lowered.
The antireflection film may have an antiglare function that scatters external light. An anti-glare function can be imparted by providing a convex portion in the present invention having a period equal to or less than the wavelength of visible light on a fine concavo-convex structure having a period equal to or greater than the wavelength of visible light.

本発明の反射防止膜は、例えば、画像表示装置(液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、陰極管表示装置等。)、レンズ、ショーウィンドー、眼鏡等の反射防止膜、反射防止フィルム、反射防止シート等として用いられる。
画像表示装置に用いる場合は、最表面上に反射防止膜を貼り付けてもよく、直接最表面を形成する材料上に反射防止膜を形成してもよく、画像表示装置の前面板に反射防止膜を設けてもよい。
The antireflection film of the present invention is, for example, an image display device (liquid crystal display device, plasma display panel, electroluminescence display, cathode tube display device, etc.), lens, show window, antireflection film such as glasses, and antireflection film. It is used as an antireflection sheet.
When used in an image display device, an antireflection film may be applied on the outermost surface, or an antireflection film may be formed directly on the material forming the outermost surface, and the antireflection film is formed on the front plate of the image display device. A film may be provided.

以上説明した本発明の反射防止膜の製造方法にあっては、粘度が1〜1×10Pa・sの液状の樹脂材料を用いているため、先端部の耐擦傷性に優れる凸部が形成された反射防止膜を製造できる。すなわち、粘度が1〜1×10Pa・sの液状の樹脂材料は、モールドの凹部に完全に充填されることがないため、形成される凸部の先端部の曲率半径rは0を超えることになる。先端部の曲率半径rが0を超える凸部は、擦傷に対して強さを発揮する。
また、液状の樹脂材料の粘度を変えることによって、凸部の形状を変更できるため、ひとつのモールドで数種類の反射防止膜を製造でき、モールドの製造にかかる莫大なコストを抑えることができる。
In the manufacturing method of the antireflection film of the present invention described above, since the liquid resin material having a viscosity of 1 to 1 × 10 4 Pa · s is used, the convex portion having excellent scratch resistance at the tip portion is formed. The formed antireflection film can be manufactured. That is, since the liquid resin material having a viscosity of 1 to 1 × 10 4 Pa · s is not completely filled in the concave portion of the mold, the curvature radius r of the tip portion of the convex portion to be formed exceeds 0. It will be. A convex portion having a radius of curvature r of the tip portion exceeding 0 exhibits strength against abrasion.
Moreover, since the shape of the convex portion can be changed by changing the viscosity of the liquid resin material, several types of antireflection films can be manufactured with one mold, and the enormous cost for manufacturing the mold can be suppressed.

以下に本発明の実施例を示す。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。
実施例中における各種測定、評価は、下記方法に従って行った。
Examples of the present invention are shown below. However, the present invention is not limited to these.
Various measurements and evaluations in the examples were performed according to the following methods.

(酸化皮膜の厚さ、細孔形状)
モールドの一部を削り、断面にプラチナを1分間蒸着し、電界放出形走査電子顕微鏡(日本電子社製、JSM−7400F)を用いて、加速電圧3.00kVの条件にて、断面を観察し、酸化皮膜の厚さ、細孔の周期、細孔の開口径、細孔の深さを測定した。各測定は、それぞれ5点について行い、平均値を求めた。
(Thickness of oxide film, pore shape)
Part of the mold is shaved, platinum is deposited on the cross section for 1 minute, and the cross section is observed under a condition of an acceleration voltage of 3.00 kV using a field emission scanning electron microscope (JSM-7400F, manufactured by JEOL Ltd.). The thickness of the oxide film, the period of the pores, the opening diameter of the pores, and the depth of the pores were measured. Each measurement was performed for 5 points, and the average value was obtained.

(凸部形状)
反射防止膜の破断面にプラチナを5分間蒸着し、モールドと同様に断面を観察し、凸部の周期、凸部の高さ、凸部の底部の幅、凸部の先端部の曲率半径を測定した。各測定は、それぞれ5点について行い、平均値を求めた。
(Convex shape)
Platinum is deposited on the fracture surface of the anti-reflection film for 5 minutes, and the cross section is observed in the same manner as the mold. It was measured. Each measurement was performed for 5 points, and the average value was obtained.

(粘度)
硬化性樹脂組成物の粘度は、レオメーター(ティー・エイ・インスツルメント社製、ARES)を用い25mmパラレルプレートにサンプルを挟み込んで、プレート間距離1mmにて30℃から120℃の温度範囲で10rad/secの角周波数にて複素粘性率を測定した。
(viscosity)
The viscosity of the curable resin composition is such that the sample is sandwiched between 25 mm parallel plates using a rheometer (manufactured by TA Instruments Inc., ARES), and the temperature is 30 ° C. to 120 ° C. at a distance of 1 mm between the plates. The complex viscosity was measured at an angular frequency of 10 rad / sec.

(反射率)
反射防止膜の反射率は、分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製:U−4100)に5°正反射付属装置を取り付け、可視域(380〜780nm)における反射率を測定した。ちなみにサンプル裏面の反射を抑える目的で裏面に黒色スプレーを吹きつける操作を行った後、測定を行った。
(Reflectance)
For the reflectance of the antireflection film, a spectrophotometer (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation: U-4100) was attached with a 5 ° regular reflection accessory device, and the reflectance in the visible region (380 to 780 nm) was measured. By the way, the measurement was performed after the operation of spraying black spray on the back surface for the purpose of suppressing the reflection on the back surface of the sample.

(耐擦傷性)
眼鏡拭き(東レ社製、商品名:トレシー)を用いて摩耗試験を行った。条件は、荷重2000g/20mmφ、往復回数300回とした。試験後のサンプルを目視して、以下の基準で評価した。
◎:傷跡が見られない。
○:凝視すると傷跡が確認できる。
△:傷跡が数本確認できる。
×:傷跡が10本以上確認できる。
(Abrasion resistance)
An abrasion test was performed using a spectacles wipe (trade name: Toraysee, manufactured by Toray Industries, Inc.). The conditions were a load of 2000 g / 20 mmφ and 300 reciprocations. The sample after the test was visually observed and evaluated according to the following criteria.
A: No scar is seen.
○: Scars can be confirmed when staring.
Δ: Several scars can be confirmed.
X: 10 or more scars can be confirmed.

〔製造例1〕
(a)工程:
電解液として0.5Mシュウ酸を用い、陰極および陽極としてそれぞれ厚さ0.5mmのアルミニウム板を用い、電圧40V、温度16℃の条件で0.5時間陽極酸化を行った。得られた酸化皮膜の厚みは2.8μmであった。
(b)工程:
酸化皮膜が形成された陽極を、70℃の6質量%リン酸/1.8質量%クロム酸混酸に浸漬して、酸化皮膜を除去した。
[Production Example 1]
(A) Process:
Anodization was carried out for 0.5 hour under conditions of a voltage of 40 V and a temperature of 16 ° C. using 0.5 M oxalic acid as the electrolyte, and an aluminum plate having a thickness of 0.5 mm as the cathode and the anode, respectively. The thickness of the obtained oxide film was 2.8 μm.
(B) Process:
The anode on which the oxide film was formed was immersed in 6% by mass phosphoric acid / 1.8% by mass chromic acid mixed acid at 70 ° C. to remove the oxide film.

(c)工程:
陽極を純水で洗浄した後、電解液として0.3Mシュウ酸を用い、電圧40V、温度16℃の条件で30秒陽極酸化を行った。
(d)工程:
陽極を32℃の5質量%リン酸に8分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
(C) Process:
After the anode was washed with pure water, anodization was performed for 30 seconds using 0.3 M oxalic acid as an electrolyte under conditions of a voltage of 40 V and a temperature of 16 ° C.
(D) Process:
The anode was immersed in 5% by mass phosphoric acid at 32 ° C. for 8 minutes to carry out pore size expansion treatment.

(e)工程:
前記(c)工程および(d)工程を合計で5回繰り返し、細孔の周期100nm、細孔の開口径80nm、細孔の深さ250nmの陽極酸化ポーラスアルミナを得た。
陽極酸化ポーラスアルミナを、シランカップリング剤(信越シリコーン社製、KP−801M)で処理することにより、酸化皮膜表面のフッ素化処理を行った。
(E) Process:
The steps (c) and (d) were repeated five times in total to obtain anodized porous alumina having a pore period of 100 nm, a pore opening diameter of 80 nm, and a pore depth of 250 nm.
The anodized porous alumina was treated with a silane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., KP-801M) to perform a fluorination treatment on the oxide film surface.

〔製造例2〕
(a)工程:
電解液として0.5Mシュウ酸を用い、陰極および陽極としてそれぞれ厚さ0.5mmのアルミニウム板を用い、電圧120V、温度1℃の条件で0.5時間陽極酸化を行った。なお、いきなり120Vの電圧をかけると、いわゆる「ヤケ」が発生してしまうため、40V程度の定電圧から徐々に電圧を上げる必要がある。得られた酸化皮膜の厚さは、2.7μmであった。
(b)工程:
酸化皮膜が形成された陽極を、70℃の6質量%リン酸/1.8質量%クロム酸混酸に浸漬して、酸化皮膜を除去した。
[Production Example 2]
(A) Process:
Anodization was performed for 0.5 hour under the conditions of a voltage of 120 V and a temperature of 1 ° C. using 0.5 M oxalic acid as the electrolyte, and an aluminum plate having a thickness of 0.5 mm as the cathode and the anode, respectively. If a voltage of 120V is suddenly applied, so-called “burning” occurs, and it is necessary to gradually increase the voltage from a constant voltage of about 40V. The thickness of the obtained oxide film was 2.7 μm.
(B) Process:
The anode on which the oxide film was formed was immersed in 6% by mass phosphoric acid / 1.8% by mass chromic acid mixed acid at 70 ° C. to remove the oxide film.

(c)工程:
陽極を純水で洗浄した後、電解液として4質量%リン酸を用い、電圧80V、温度1℃の条件で30秒陽極酸化を行った。
(d)工程:
陽極を32℃の5質量%リン酸に8分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
(C) Process:
After the anode was washed with pure water, anodization was performed for 30 seconds under conditions of a voltage of 80 V and a temperature of 1 ° C. using 4% by mass phosphoric acid as an electrolytic solution.
(D) Process:
The anode was immersed in 5% by mass phosphoric acid at 32 ° C. for 8 minutes to carry out pore size expansion treatment.

(e)工程:
前記(c)工程および(d)工程を合計で5回繰り返し、細孔の周期280nm、細孔の開口径260nm、細孔の深さ250nmの陽極酸化ポーラスアルミナを得た。
陽極酸化ポーラスアルミナを、シランカップリング剤(信越シリコーン社製、KP−801M)で処理することにより、酸化皮膜表面のフッ素化処理を行った。
(E) Process:
The steps (c) and (d) were repeated 5 times in total to obtain anodized porous alumina having a pore period of 280 nm, a pore opening diameter of 260 nm, and a pore depth of 250 nm.
The anodized porous alumina was treated with a silane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., KP-801M) to perform a fluorination treatment on the oxide film surface.

〔調製例1〕
ヘキサメチレンジイソシアネート 30質量部、
ポリカプロラクトンジオール(ダイセル化学社製、プラクセル205) 30質量部、
ヒドロキシエチルアクリレート 40質量部、および
1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(チバ・スペシャリティーケミカルズ社製、イルガキュア184)3質量部を混合し、硬化性樹脂組成物Aを調製した。
[Preparation Example 1]
30 parts by mass of hexamethylene diisocyanate,
30 parts by mass of polycaprolactone diol (Daicel Chemical Industries, Plaxel 205),
A curable resin composition A was prepared by mixing 40 parts by mass of hydroxyethyl acrylate and 3 parts by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (Ciba Specialty Chemicals, Irgacure 184).

〔実施例1〕
(i)工程:
製造例1で得た陽極酸化ポーラスアルミナの表面に、硬化性樹脂組成物A(粘度2.7×10Pa・s)を塗布し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを被せた。
(ii)工程:
紫外線照射機(高圧水銀ランプ、積算光量3600mJ/cm、ピーク照度180mW/cm)を用いて、硬化性樹脂組成物Aの塗膜に紫外線を照射し、硬化性樹脂組成物Aの硬化を行い、反射防止膜を形成した。
[Example 1]
(I) Process:
A curable resin composition A (viscosity 2.7 × 10 3 Pa · s) was applied to the surface of the anodized porous alumina obtained in Production Example 1 and covered with a polyethylene terephthalate film.
(Ii) Process:
Using a UV irradiation machine (high pressure mercury lamp, integrated light amount 3600 mJ / cm 2 , peak illuminance 180 mW / cm 2 ), the coating film of the curable resin composition A is irradiated with UV rays to cure the curable resin composition A. The antireflection film was formed.

(iii)工程:
反射防止膜と前記モールドとを分離し、表面に凸部が形成された反射防止膜を得た。凸部の周期は、100nmであり、凸部の高さは200nmであり、凸部の底部の幅は、80nmであり、凸部の先端部の曲率半径は、20nmであった。反射防止膜の反射率は、380〜780nmの範囲の全てで0.6%以下となり、波長依存性の少ない反射防止膜としての適用が期待できる。また、耐擦傷性の評価は○であった。
(Iii) Process:
The antireflection film and the mold were separated to obtain an antireflection film having convex portions formed on the surface. The period of the convex part was 100 nm, the height of the convex part was 200 nm, the width of the bottom part of the convex part was 80 nm, and the curvature radius of the tip part of the convex part was 20 nm. The reflectance of the antireflection film is 0.6% or less in the whole range of 380 to 780 nm, and application as an antireflection film with little wavelength dependency can be expected. Further, the evaluation of scratch resistance was ◯.

〔実施例2〕
(i)工程:
製造例1で得た陽極酸化ポーラスアルミナの表面に、硬化性樹脂組成物Aを塗布し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを被せた。
(ii)工程:
紫外線照射機(高圧水銀ランプ、積算光量600mJ/cm、ピーク照度180mW/cm)を用いて、硬化性樹脂組成物Aの塗膜に紫外線を照射し、硬化性樹脂組成物Aの硬化を行い、反射防止膜を形成した。
[Example 2]
(I) Process:
The curable resin composition A was applied to the surface of the anodized porous alumina obtained in Production Example 1 and covered with a polyethylene terephthalate film.
(Ii) Process:
Using a UV irradiation machine (high pressure mercury lamp, integrated light quantity 600 mJ / cm 2 , peak illuminance 180 mW / cm 2 ), the coating film of the curable resin composition A is irradiated with UV light to cure the curable resin composition A. The antireflection film was formed.

(iii)工程:
反射防止膜と前記モールドとを分離し、表面に凸部が形成された反射防止膜を得た。
(iv)工程:
紫外線照射機(高圧水銀ランプ、積算光量3600mJ/cm、ピーク照度180mW/cm)を用いて、反射防止膜に紫外線を照射し、硬化性樹脂組成物Aの硬化を行い、反射防止膜を形成した。凸部の周期は、100nmであり、凸部の高さは240nmであり、凸部の底部の幅は、80nmであり、凸部の先端部の曲率半径は、20nmであった。反射防止膜の反射率は、380〜780nmの範囲の全てで0.6%以下となり、波長依存性の少ない反射防止膜としての適用が期待できる。また、耐擦傷性の評価は○であった。
(Iii) Process:
The antireflection film and the mold were separated to obtain an antireflection film having convex portions formed on the surface.
(Iv) Process:
Using an ultraviolet irradiation machine (high pressure mercury lamp, integrated light amount 3600 mJ / cm 2 , peak illuminance 180 mW / cm 2 ), the antireflection film is irradiated with ultraviolet rays to cure the curable resin composition A, and the antireflection film is applied. Formed. The period of the convex part was 100 nm, the height of the convex part was 240 nm, the width of the bottom part of the convex part was 80 nm, and the radius of curvature of the tip part of the convex part was 20 nm. The reflectance of the antireflection film is 0.6% or less in the whole range of 380 to 780 nm, and application as an antireflection film with little wavelength dependency can be expected. Further, the evaluation of scratch resistance was ◯.

〔実施例3〕
製造例2で得た陽極酸化ポーラスアルミナを用いた以外は、実施例1と同様にして反射防止膜を得た。凸部の周期は、280nmであり、凸部の高さは200nmであり、凸部の底部の幅は、260nmであり、凸部の先端部の曲率半径は、60nmであった。反射防止膜の反射率は、380〜780nmの範囲の全てで0.6%以下となり、波長依存性の少ない反射防止膜としての適用が期待できる。また、耐擦傷性の評価は◎であった。
Example 3
An antireflection film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the anodized porous alumina obtained in Production Example 2 was used. The period of the convex part was 280 nm, the height of the convex part was 200 nm, the width of the bottom part of the convex part was 260 nm, and the radius of curvature of the tip part of the convex part was 60 nm. The reflectance of the antireflection film is 0.6% or less in the whole range of 380 to 780 nm, and application as an antireflection film with little wavelength dependency can be expected. Further, the evaluation of scratch resistance was ◎.

〔実施例4〕
(ii)工程の前に70℃で5分間保持したこと以外は、実施例1と同様にして反射防止膜を得た。なお、硬化性樹脂組成物の70℃での粘度は2.4Pa・sであった。凸部の周期は、100nmであり、凸部の高さは、220nmであり、凸部の底部の幅は、80nmであり、凸部の先端部の曲率半径は、10nmであった。反射防止膜の反射率は、380〜780nmの範囲の全てで0.6%以下となり、波長依存性の少ない反射防止膜としての適用が期待できる。また、耐擦傷性の評価は○であった。
Example 4
(Ii) An antireflection film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the step was held at 70 ° C. for 5 minutes before the step. The viscosity of the curable resin composition at 70 ° C. was 2.4 Pa · s. The period of the convex part was 100 nm, the height of the convex part was 220 nm, the width of the bottom part of the convex part was 80 nm, and the radius of curvature of the tip part of the convex part was 10 nm. The reflectance of the antireflection film is 0.6% or less in the whole range of 380 to 780 nm, and application as an antireflection film with little wavelength dependency can be expected. Further, the evaluation of scratch resistance was ◯.

本発明の製造方法で製造された反射防止膜は、耐擦傷性に優れているため、従来の反射防止膜に比べ、適用範囲が広い。また、微細凹凸構造を有しているため、反射防止膜以外にも、光導波路、レリーフホログラム、レンズ、偏光分離素子等の光学物品、細胞培養シート、超撥水性フィルム、超親水性フィルム等としての用途展開が期待できる。   Since the antireflection film produced by the production method of the present invention is excellent in scratch resistance, the applicable range is wider than that of the conventional antireflection film. In addition to the antireflection film, it has a fine concavo-convex structure, such as optical articles such as optical waveguides, relief holograms, lenses, and polarization separation elements, cell culture sheets, superhydrophobic films, superhydrophilic films, etc. Can be expected.

陽極酸化ポーラスアルミナの製造工程の一部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of manufacturing process of an anodized porous alumina. 陽極酸化ポーラスアルミナの細孔の形状の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the shape of the pore of an anodized porous alumina. 陽極酸化ポーラスアルミナの細孔の形状の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the shape of the pore of an anodized porous alumina. 陽極酸化ポーラスアルミナの細孔の形状の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the shape of the pore of an anodized porous alumina. 本発明の反射防止膜の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the anti-reflective film of this invention. 本発明の反射防止膜の製造方法の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the antireflection film of this invention. 本発明の反射防止膜の製造方法の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the manufacturing method of the antireflection film of this invention. 先端部の曲率半径が0である凸部の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the convex part whose curvature radius of a front-end | tip part is 0. 先端部の曲率半径がRである凸部の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the convex part whose curvature radius of a front-end | tip part is R.

符号の説明Explanation of symbols

10 モールド
14 凹部
20 液状の樹脂材料
30 反射防止膜
32 凸部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Mold 14 Concave part 20 Liquid resin material 30 Antireflection film 32 Convex part

Claims (3)

表面に凸部が形成された反射防止膜の製造方法であって、
(i)表面に前記凸部に対応する凹部が形成されたモールドの表面に、粘度が1〜1×10Pa・sの液状の樹脂材料を接触させる工程と、
(ii)前記樹脂材料を固体状もしくは半固体状にし、前記反射防止膜を形成する工程と、
(iii)前記反射防止膜と前記モールドとを分離する工程と
を有する、反射防止膜の製造方法。
A method for producing an antireflection film having convex portions formed on the surface,
(I) a step of bringing a liquid resin material having a viscosity of 1 to 1 × 10 4 Pa · s into contact with the surface of the mold in which concave portions corresponding to the convex portions are formed on the surface;
(Ii) making the resin material solid or semi-solid, and forming the antireflection film;
(Iii) A method for producing an antireflection film, comprising the step of separating the antireflection film and the mold.
さらに、(iv)前記(iii)の工程後に前記樹脂材料を固体状にする工程を有する、請求項1に記載の反射防止膜の製造方法。   Furthermore, the manufacturing method of the anti-reflective film of Claim 1 which has the process of making the said resin material into a solid state after the process of (iv) said (iii). 請求項1に記載の反射防止膜の製造方法によって得られた、表面に凸部が形成された反射防止膜であって、
前記凸部の先端部の曲率半径rが、下記式(1)を満足する、反射防止膜。
0<r<R ・・・(1)。
ただし、Rは、凸部の最大幅の半分である。
An antireflection film obtained by the method for producing an antireflection film according to claim 1 and having a convex portion formed on a surface thereof,
An antireflection film in which the radius of curvature r of the tip of the convex portion satisfies the following formula (1).
0 <r <R (1).
However, R is half of the maximum width of the convex portion.
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