JP2012199098A - Sealing glass, organic el display device provided with the same, and method for manufacturing organic el display device - Google Patents

Sealing glass, organic el display device provided with the same, and method for manufacturing organic el display device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sealing glass which is capable of preventing reflection of light at a gas/solid interface on the organic EL element side of the sealing glass.SOLUTION: A sealing glass 30 comprises a glass substrate 31 and an antireflection film 32 which is formed on one surface 31a of the glass substrate 31 and is made of a heat-resistant material 36. The antireflection film 32 has a moth eye structure part 34 having an uneven shape. The heat-resistant material 36 of the antireflection film 32 contains a siloxane resin.

Description

本発明は封止ガラスに係り、とりわけ、有機EL素子を外部環境から封止するための封止ガラスに関する。また本発明は、封止ガラスを備えた有機EL表示装置、および有機EL表示装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a sealing glass, and more particularly to a sealing glass for sealing an organic EL element from an external environment. The present invention also relates to an organic EL display device including a sealing glass and a method for manufacturing the organic EL display device.

従来、平面ディスプレイ等の分野において、陽極と陰極との間に有機発光層を挟持して構成された有機EL層を利用して映像光を放射する有機EL表示装置が提案されており、その応用研究が盛んに行われている。しかしながら、有機発光層は周囲に存在する水分および酸素の影響を受けやすく、このため有機EL表示装置内に水分および酸素が入り込むと、有機EL表示装置の発光性能が劣化するという問題がある。   2. Description of the Related Art Conventionally, in the field of flat displays and the like, organic EL display devices that emit image light using an organic EL layer configured by sandwiching an organic light emitting layer between an anode and a cathode have been proposed. There is a lot of research. However, the organic light emitting layer is easily affected by moisture and oxygen present in the surroundings. Therefore, when moisture and oxygen enter the organic EL display device, there is a problem that the light emitting performance of the organic EL display device deteriorates.

このような問題を解決するため、有機EL表示装置を封止するための様々な方法が提案されている。例えば特許文献1において、有機EL層を有する有機EL素子に対向するよう封止ガラスを配置し、そして、有機EL素子と封止ガラスとの間をガラスフリットにより封止する方法が提案されている。   In order to solve such a problem, various methods for sealing the organic EL display device have been proposed. For example, Patent Document 1 proposes a method in which a sealing glass is disposed so as to face an organic EL element having an organic EL layer, and the organic EL element and the sealing glass are sealed with a glass frit. .

ガラスフリットによる封止が用いられる場合、一般に、まずガラスフリットと適切な溶液とを混合してガラスペーストを作製し、次にガラスペーストを封止ガラスの外縁に沿って封止ガラス上に塗布する。その後、ガラスペーストが塗布された封止ガラスを、ガラスフリットの軟化点よりも高い温度、例えば400℃以上の温度で所定時間焼成する。これによって、封止ガラス上にガラスフリットからなる封止部が形成される。次に、封止ガラスと有機EL素子とを組み合わせ、その後、封止部を加熱して溶融させることにより、封止部が有機EL素子に融着される。このようにして、有機EL素子と封止ガラスとの間が封止される。この際、有機EL素子と封止ガラスとの間には不活性ガスが封入される。   When sealing with glass frit is used, generally glass frit and a suitable solution are first mixed to make a glass paste, and then the glass paste is applied onto the sealing glass along the outer edge of the sealing glass . Thereafter, the sealing glass coated with the glass paste is baked for a predetermined time at a temperature higher than the softening point of the glass frit, for example, a temperature of 400 ° C. or higher. As a result, a sealing portion made of glass frit is formed on the sealing glass. Next, the sealing part is fused to the organic EL element by combining the sealing glass and the organic EL element and then heating and melting the sealing part. In this way, the space between the organic EL element and the sealing glass is sealed. At this time, an inert gas is sealed between the organic EL element and the sealing glass.

特表2008−517446号公報Special table 2008-517446 gazette

トップエミッション型の有機EL表示装置においては、有機EL素子の有機EL層から放射された光が、封止ガラスを通って観察者側に到達する。ところで上述のように、有機EL素子と封止ガラスとの間には一般に不活性ガスが封入されている。このため、光が封止ガラスの有機EL素子側の面に入射する際、光が気体/固体(ガラス)の界面を通過することになる。この場合、封止ガラスの屈折率を考慮すると、約4%の反射がこの気体/固体の界面において発生し、これによって光の利用効率が低くなってしまうことが考えられる。   In the top emission type organic EL display device, the light emitted from the organic EL layer of the organic EL element reaches the observer side through the sealing glass. Incidentally, as described above, an inert gas is generally sealed between the organic EL element and the sealing glass. For this reason, when light enters the surface of the sealing glass on the organic EL element side, the light passes through the gas / solid (glass) interface. In this case, when the refractive index of the sealing glass is taken into consideration, it is considered that about 4% of reflection occurs at the gas / solid interface, thereby reducing the light utilization efficiency.

気体/固体の界面における光の反射を防止するための手段として、ガラス上に、ガラスよりも低い屈折率を有する低屈折率材料からなる低屈折率層を設けることが知られている。しかしながら、従来知られている低屈折率層は、十分な耐熱性を有しておらず、このため、従来知られている低屈折率層は、ガラスペーストの焼成工程に耐えることができないと考えらえる。   As a means for preventing light reflection at the gas / solid interface, it is known to provide a low refractive index layer made of a low refractive index material having a refractive index lower than that of glass on glass. However, the conventionally known low refractive index layer does not have sufficient heat resistance, and therefore, the conventionally known low refractive index layer is considered unable to withstand the baking process of the glass paste. Get it.

本発明は、このような課題を効果的に解決し得る封止ガラス、封止ガラスを備えた有機EL表示装置および有機EL表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the manufacturing method of the sealing glass which can solve such a subject effectively, the organic electroluminescence display provided with the sealing glass, and an organic electroluminescence display.

本発明は、有機EL表示装置で用いられる封止ガラスにおいて、ガラス基板と、前記ガラス基板の一側の面上に形成され、耐熱性材料からなる反射防止膜と、を備え、前記反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有し、前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含むことを特徴とする封止ガラスである。   The present invention relates to a sealing glass used in an organic EL display device, comprising: a glass substrate; and an antireflection film formed on one surface of the glass substrate and made of a heat resistant material, the antireflection film Is a sealing glass characterized in that it has a moth-eye structure having an uneven shape, and the heat-resistant material contains a siloxane resin.

本発明による封止ガラスにおいて、前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物をさらに含み、前記感光性化合物は、光酸発生剤または光塩基発生剤を含んでいてもよい。   In the sealing glass according to the present invention, the heat-resistant material may further contain a photosensitive compound dispersed in a siloxane resin, and the photosensitive compound may contain a photoacid generator or a photobase generator.

本発明による封止ガラスは、前記ガラス基板の他側に設けられ、導電体の接近を感知するセンサ部をさらに備えていてもよい。この場合、前記センサ部は、前記ガラス基板の他側の面上に形成され、導電性および透明性を有する透明導電パターンを有していてもよい。   The sealing glass according to the present invention may further include a sensor unit that is provided on the other side of the glass substrate and senses the approach of the conductor. In this case, the sensor unit may be formed on the other surface of the glass substrate and have a transparent conductive pattern having conductivity and transparency.

本発明による封止ガラスにおいて、前記センサ部は、前記透明導電パターンを覆う保護層をさらに有し、前記保護層は、シロキサン樹脂を含む材料から構成されていてもよい。   The sealing glass by this invention WHEREIN: The said sensor part may further have a protective layer which covers the said transparent conductive pattern, and the said protective layer may be comprised from the material containing a siloxane resin.

本発明による封止ガラスは、前記ガラス基板の外縁に沿って前記ガラス基板の一側の面上に形成された封止部をさらに備えていてもよい。この場合、前記封止部は、ガラスフリットから構成されていてもよい。   The sealing glass by this invention may further be equipped with the sealing part formed on the surface of the one side of the said glass substrate along the outer edge of the said glass substrate. In this case, the sealing portion may be made of glass frit.

本発明は、有機EL素子と、前記有機EL素子に対向するよう設けられた封止ガラスと、を備え、前記有機EL素子は、有機EL用基板と、前記有機EL用基板上に設けられ、陽極と、陰極と、陽極と陰極の間に設けられた有機発光層とを含む有機EL層と、を有し、前記封止ガラスは、ガラス基板と、前記ガラス基板の前記有機EL素子側の面上に形成され、耐熱性材料からなる反射防止膜と、前記ガラス基板の外縁に沿って前記ガラス前記有機EL素子側の面上に形成された封止部と、を有し、前記反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有し、前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含み、
前記封止部は、ガラスフリットを含むことを特徴とする有機EL表示装置である。
The present invention comprises an organic EL element and a sealing glass provided to face the organic EL element, the organic EL element being provided on the organic EL substrate and the organic EL substrate, An organic EL layer including an anode, a cathode, and an organic light emitting layer provided between the anode and the cathode, and the sealing glass includes a glass substrate and the organic EL element side of the glass substrate. An antireflection film formed on a surface and made of a heat-resistant material, and a sealing portion formed on the surface of the glass on the organic EL element side along an outer edge of the glass substrate, and the antireflection The film has a moth-eye structure having an uneven shape, and the heat-resistant material includes a siloxane resin,
The sealing portion is an organic EL display device including glass frit.

本発明による有機EL表示装置において、前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物をさらに含み、前記感光性化合物は、光酸発生剤または光塩基発生剤を含んでいてもよい。   In the organic EL display device according to the present invention, the heat-resistant material further includes a photosensitive compound dispersed in a siloxane resin, and the photosensitive compound may include a photoacid generator or a photobase generator. .

本発明による有機EL表示装置において、前記封止ガラスは、前記ガラス基板の有機EL素子側とは反対の側に設けられ、導電体の接近を感知するセンサ部をさらに有していてもよい。この場合、前記センサ部は、前記ガラス基板の有機EL素子側とは反対の側の面上に形成され、導電性および透明性を有する透明導電パターンを有していてもよい。   In the organic EL display device according to the present invention, the sealing glass may further include a sensor unit that is provided on a side opposite to the organic EL element side of the glass substrate and senses the approach of the conductor. In this case, the sensor part may be formed on the surface of the glass substrate opposite to the organic EL element side, and may have a transparent conductive pattern having conductivity and transparency.

本発明による有機EL表示装置において、前記センサ部は、前記透明導電パターンを覆う保護層をさらに有し、前記保護層は、シロキサン樹脂を含む材料から構成されていてもよい。   In the organic EL display device according to the present invention, the sensor unit may further include a protective layer covering the transparent conductive pattern, and the protective layer may be made of a material containing a siloxane resin.

本発明は、有機EL素子を備えた有機EL表示装置の製造方法において、ガラス基板を準備する工程と、前記ガラス基板の一側の面上に耐熱性材料からなる反射防止膜を形成する工程と、前記ガラス基板の外縁に沿って前記ガラス基板の一側の面上にガラスフリットを設ける工程と、前記ガラスフリットを少なくとも400℃以上の温度で焼成して、ガラスフリットからなる封止部を形成する工程と、前記有機EL素子を前記ガラス基板の一側に配置する工程と、前記封止部を溶融させ、これによって前記ガラス基板と前記有機EL素子との間を封止する工程と、を備え、前記反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有し、前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含むことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法である。   The present invention relates to a method of manufacturing an organic EL display device including an organic EL element, a step of preparing a glass substrate, and a step of forming an antireflection film made of a heat resistant material on one surface of the glass substrate. A step of providing a glass frit on one surface of the glass substrate along an outer edge of the glass substrate, and firing the glass frit at a temperature of at least 400 ° C. to form a sealing portion made of the glass frit A step of arranging the organic EL element on one side of the glass substrate, a step of melting the sealing portion, and thereby sealing between the glass substrate and the organic EL element. And the antireflection film has a moth-eye structure having an uneven shape, and the heat-resistant material includes a siloxane resin.

本発明による有機EL表示装置の製造方法において、前記ガラス基板の一側の面上に前記封止部が形成される前に、前記ガラス基板の他側に、導電体の接近を感知するセンサ部が設けられてもよい。この場合、前記センサ部は、前記ガラス基板の他側の面上に形成され、導電性および透明性を有する透明導電パターンと、前記透明導電パターンを覆う保護層と、を有し、前記保護層は、シロキサン樹脂を含む材料から構成されていてもよい。   In the method of manufacturing an organic EL display device according to the present invention, a sensor unit that senses the approach of a conductor on the other side of the glass substrate before the sealing unit is formed on one surface of the glass substrate. May be provided. In this case, the sensor unit includes a transparent conductive pattern that is formed on the other surface of the glass substrate and has conductivity and transparency, and a protective layer that covers the transparent conductive pattern, and the protective layer. May be made of a material containing a siloxane resin.

本発明によれば、封止ガラスのガラス基板の有機EL素子側の面上に形成され、耐熱性材料からなる反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有している。また耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含んでいる。このため、ガラスフリットからなる封止部によって封止される有機EL表示装置において、封止ガラスの有機EL素子側の気体/固体の界面における光の反射を抑制することができる。   According to the present invention, the antireflection film formed on the surface of the glass substrate of the sealing glass on the organic EL element side and made of a heat-resistant material has a moth-eye structure portion having an uneven shape. The heat resistant material includes a siloxane resin. For this reason, in the organic EL display device sealed by the sealing portion made of glass frit, reflection of light at the gas / solid interface on the organic EL element side of the sealing glass can be suppressed.

図1は、本発明の第1の実施の形態における有機EL表示装置を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an organic EL display device according to a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1の実施の形態における封止ガラスを示す図。FIG. 2 is a view showing the sealing glass in the first embodiment of the present invention. 図3Aは、タッチパネルセンサの一例を示す平面図。FIG. 3A is a plan view showing an example of a touch panel sensor. 図3Bは、図3AのタッチパネルセンサをIIIB−IIIB方向から見た断面図。3B is a cross-sectional view of the touch panel sensor of FIG. 3A as viewed from the IIIB-IIIB direction. 図3Cは、図3AのタッチパネルセンサをIIIC−IIIC方向から見た断面図。3C is a cross-sectional view of the touch panel sensor of FIG. 3A as viewed from the IIIC-IIIC direction. 図4は、封止ガラスの製造工程において用いられるスタンパ版を示す図。FIG. 4 is a view showing a stamper plate used in the manufacturing process of the sealing glass. 図5(a)(b)(c)は、本発明の第1の実施の形態における封止ガラスの製造工程を示す図。FIGS. 5A, 5B, and 5C are views showing a manufacturing process of the sealing glass in the first embodiment of the present invention. 図6は、本発明の第1の実施の形態における封止ガラスの製造工程の変形例を示す図。FIG. 6 is a view showing a modified example of the manufacturing process of the sealing glass in the first embodiment of the present invention. 図7(a)(b)(c)は、封止ガラスを用いて有機EL素子を封止する工程を示す図。7A, 7B, and 7C are views showing a process of sealing an organic EL element using a sealing glass. 図8(a)(b)(c)は、第1の比較の形態における有機EL表示装置の製造工程を示す図。8A, 8B, and 8C are views showing a manufacturing process of the organic EL display device according to the first comparative embodiment. 図9(a)(b)(c)(d)は、本発明の第2の実施の形態における封止ガラスの製造工程を示す図。FIGS. 9A, 9B, 9C, and 9D are views showing a manufacturing process of the sealing glass in the second embodiment of the present invention. 図10は、本発明の第2の実施の形態における封止ガラスの製造工程の変形例を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a modification of the manufacturing process of the sealing glass in the second embodiment of the present invention. 図11は、本発明の第3の実施の形態における有機EL表示装置を示す図。FIG. 11 is a diagram showing an organic EL display device according to the third embodiment of the present invention. 図12は、本発明の第3の実施の形態における封止ガラスを示す図。FIG. 12 is a view showing a sealing glass in a third embodiment of the present invention. 図13(a)(b)(c)(d)は、本発明の第3の実施の形態における封止ガラスの製造工程を示す図。FIGS. 13A, 13B, 13C, and 13D are views showing a manufacturing process of the sealing glass in the third embodiment of the present invention. 図14(a)(b)(c)(d)は、本発明の第3の実施の形態における封止ガラスの製造工程の変形例を示す図。FIGS. 14A, 14B, 14C, and 14D are views showing a modification of the manufacturing process of the sealing glass in the third embodiment of the present invention. 図15(a)(b)(c)(d)は、第2の比較の形態における有機EL表示装置の製造工程を示す図。FIGS. 15A, 15B, 15C, and 15D are views showing manufacturing steps of the organic EL display device according to the second comparative embodiment.

第1の実施の形態
以下、図1乃至図7(a)(b)(c)を参照して、本発明の第1の実施の形態について説明する。まず図1および図2により、本実施の形態における有機EL表示装置10全体について説明する。
First Embodiment Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7A, 7B and 7C. First, the entire organic EL display device 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

有機EL表示装置
図1に示すように、有機EL表示装置10は、有機EL素子20と、有機EL素子20に対向するよう設けられた封止ガラス30と、を備えている。また封止ガラス30には、有機EL素子20と封止ガラス30との間を封止するための封止部15が取り付けられている。
Organic EL Display Device As shown in FIG. 1, the organic EL display device 10 includes an organic EL element 20 and a sealing glass 30 provided to face the organic EL element 20. In addition, a sealing portion 15 for sealing between the organic EL element 20 and the sealing glass 30 is attached to the sealing glass 30.

〔有機EL素子〕
はじめに有機EL素子20について説明する。図1に示すように、有機EL素子20は、有機EL用基板27と、有機EL用基板27上に設けられ、光を放射する有機EL層24と、を有している。なお図示はしないが、有機EL用基板27上には、有機EL層24を駆動するためのトランジスタなどの駆動素子が形成されている。すなわち有機EL用基板27は、有機EL層24を駆動するための基板、いわゆるTFT基板となっている。
[Organic EL device]
First, the organic EL element 20 will be described. As shown in FIG. 1, the organic EL element 20 includes an organic EL substrate 27 and an organic EL layer 24 that is provided on the organic EL substrate 27 and emits light. Although not shown, a driving element such as a transistor for driving the organic EL layer 24 is formed on the organic EL substrate 27. That is, the organic EL substrate 27 is a substrate for driving the organic EL layer 24, that is, a so-called TFT substrate.

本実施の形態において、有機EL素子20の有機EL層24において発光した光は、有機EL用基板27が位置する側とは反対の側へ取り出される。すなわち、有機EL層24からの光は、TFT基板を構成する有機EL用基板27の上方から取り出される。このように本実施の形態における有機EL表示装置10は、いわゆるトップエミッション型の有機EL表示装置となっている。   In the present embodiment, light emitted from the organic EL layer 24 of the organic EL element 20 is extracted to the side opposite to the side where the organic EL substrate 27 is located. That is, light from the organic EL layer 24 is extracted from above the organic EL substrate 27 constituting the TFT substrate. Thus, the organic EL display device 10 in the present embodiment is a so-called top emission type organic EL display device.

有機EL用基板27は、有機EL層24を支持するとともに、外気を遮断することができるものであれば特に限定されるものではないが、安定性、耐久性等が良好なことから、ガラスや透明ポリマーであることが好ましい。   The organic EL substrate 27 is not particularly limited as long as it supports the organic EL layer 24 and can block outside air. However, since the stability, durability, and the like are good, glass or A transparent polymer is preferred.

図1に示すように、有機EL層24は、陽極21と、陰極23と、陽極21と陰極23の間に設けられた有機発光層22とを有している。陽極21としては、効率良く正孔を注入できる材料であれば特に限定されるものではないが、例えば、アルミニウム、クロム、モリブデン、タングステン、銅、銀または金およびそれらの合金等を使用することが好ましい。一方、陰極23としては、電子を注入しやすく、かつ光透過性の良好な材料が用いられており、例えば酸化リチウム、炭酸セシウム等が用いられる。有機発光層22としては、所定の電圧を印加することにより発光する蛍光性有機物質を含有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば、キノリノール錯体、オキサゾール錯体、各種レーザー色素、ポリパラフェニレンビニレン等が挙げられる。   As shown in FIG. 1, the organic EL layer 24 includes an anode 21, a cathode 23, and an organic light emitting layer 22 provided between the anode 21 and the cathode 23. The anode 21 is not particularly limited as long as it is a material that can inject holes efficiently. For example, aluminum, chromium, molybdenum, tungsten, copper, silver, gold, or an alloy thereof may be used. preferable. On the other hand, the cathode 23 is made of a material that is easy to inject electrons and has good light transmission properties, such as lithium oxide and cesium carbonate. The organic light emitting layer 22 is not particularly limited as long as it contains a fluorescent organic substance that emits light when a predetermined voltage is applied. For example, a quinolinol complex, an oxazole complex, various laser dyes, Paraphenylene vinylene etc. are mentioned.

なお、陽極21から注入された正孔を有機発光層22に効率的に輸送するため、陽極21と有機発光層22との間に正孔輸送層(図示せず)が設けられていてもよい。正孔輸送層の構成材料として、例えばテトラフェニルベンジジンが挙げられる。さらに、陽極21と正孔輸送層との間に正孔注入層(図示せず)が設けられていてもよい。また、有機発光層22と陰極23との間に、電子注入層(図示せず)や電子輸送層(図示せず)が設けられていてもよい。また、水分を遮蔽するバリア膜(図示せず)が有機EL層24上に設けられていてもよい。   Note that a hole transport layer (not shown) may be provided between the anode 21 and the organic light emitting layer 22 in order to efficiently transport holes injected from the anode 21 to the organic light emitting layer 22. . An example of the constituent material of the hole transport layer is tetraphenylbenzidine. Furthermore, a hole injection layer (not shown) may be provided between the anode 21 and the hole transport layer. Further, an electron injection layer (not shown) or an electron transport layer (not shown) may be provided between the organic light emitting layer 22 and the cathode 23. In addition, a barrier film (not shown) that shields moisture may be provided on the organic EL layer 24.

〔封止ガラス〕
次に、封止ガラス30について説明する。図1に示すように、封止ガラス30は、ガラス基板31と、ガラス基板31の一側(有機EL素子20側)の面31a上に形成された反射防止膜32と、を備えている。ガラス基板31としては、様々な公知のガラスが用いられ得る。ガラス基板31の厚みは、特には限られないが、例えば約0.5mmとなっている。図2は、封止ガラス30を拡大して示す図である。なお本実施の形態において、「一側」は、有機EL素子20からの光が入射される側、いわゆる光源側となっており、「他側」は、有機EL素子20からの光を視認する観察者が居る側、いわゆる観察者側となっている。
(Sealing glass)
Next, the sealing glass 30 will be described. As shown in FIG. 1, the sealing glass 30 includes a glass substrate 31 and an antireflection film 32 formed on a surface 31 a on one side (the organic EL element 20 side) of the glass substrate 31. Various known glasses can be used as the glass substrate 31. The thickness of the glass substrate 31 is not particularly limited, but is about 0.5 mm, for example. FIG. 2 is an enlarged view showing the sealing glass 30. In the present embodiment, “one side” is a side on which light from the organic EL element 20 is incident, that is, a so-called light source side, and “other side” visually recognizes the light from the organic EL element 20. It is the side where there is an observer, the so-called observer side.

後述するように、封止ガラス30は、上述の封止部15を形成するため、後にガラスペーストを塗布され、そして400℃以上の温度で焼成される。このため、封止ガラス30の反射防止膜32には、ガラスペーストの焼成に耐えうる程度の耐熱性が求められる。このため本実施の形態による封止ガラス30の反射防止膜32は、耐熱性材料から構成されている。この耐熱性材料については後に説明する。   As will be described later, the sealing glass 30 is later applied with a glass paste and baked at a temperature of 400 ° C. or higher in order to form the sealing portion 15 described above. For this reason, the antireflection film 32 of the sealing glass 30 is required to have heat resistance enough to withstand the firing of the glass paste. Therefore, the antireflection film 32 of the sealing glass 30 according to the present embodiment is made of a heat resistant material. This heat resistant material will be described later.

ところで上述のように、気体/固体の界面における光の反射を防止するための反射防止膜は、従来、ガラスよりも低い屈折率を有する低屈折率材料から構成されていた。この場合、気体/固体の界面における光の反射を十分に抑制するためには、ガラスよりも十分に低い屈折率を有する低屈折率材料が必要となる。しかしながら、ガラスよりも十分に低い屈折率を有するとともに、ガラスペーストの焼成に耐えうる程度の耐熱性を有する低屈折率材料を準備することは容易ではない。   By the way, as described above, the antireflection film for preventing the reflection of light at the gas / solid interface has been conventionally made of a low refractive index material having a lower refractive index than that of glass. In this case, in order to sufficiently suppress the reflection of light at the gas / solid interface, a low refractive index material having a refractive index sufficiently lower than that of glass is required. However, it is not easy to prepare a low refractive index material having a sufficiently lower refractive index than glass and heat resistance enough to withstand the firing of the glass paste.

このような課題を効果的に解決するため、本実施の形態においては、凹凸の周期が可視光の波長以下に設定された微細な凹凸形状を反射防止膜32の表面に形成することによって光の反射を抑制する技術が採用されている。このような技術は、いわゆるモスアイ(蛾の目)構造の原理を利用したものであり、反射防止膜32に入射した光に対する屈折率を連続的に変化させ、屈折率の不連続界面を消失させることによって光の反射を抑制するものである。   In order to effectively solve such a problem, in the present embodiment, by forming a fine concavo-convex shape in which the period of the concavo-convex is set to be equal to or less than the wavelength of visible light, Technology that suppresses reflection is adopted. Such a technique uses the principle of a so-called moth-eye structure, and continuously changes the refractive index of light incident on the antireflection film 32 to eliminate the discontinuous interface of the refractive index. This suppresses the reflection of light.

本実施の形態においては、このようなモスアイ構造を採用することにより、反射防止膜32を構成する耐熱性材料の屈折率がガラス基板31の屈折率よりも十分に低くなっていない場合であっても、封止ガラス30の有機EL素子20側の界面における光の反射を十分に抑制することが可能となっている。従って本実施の形態によれば、反射防止膜32を構成する材料を、主に耐熱性の観点から選択することができ、これによって、反射防止膜32の材料の入手を容易にすることができる。   In the present embodiment, by adopting such a moth-eye structure, the refractive index of the heat resistant material constituting the antireflection film 32 is not sufficiently lower than the refractive index of the glass substrate 31. In addition, it is possible to sufficiently suppress the reflection of light at the interface of the sealing glass 30 on the organic EL element 20 side. Therefore, according to the present embodiment, the material constituting the antireflection film 32 can be selected mainly from the viewpoint of heat resistance, thereby making it easy to obtain the material of the antireflection film 32. .

(モスアイ構造部)
次に、反射防止膜32におけるモスアイ構造について詳細に説明する。図2に示すように、反射防止膜32は、ガラス基板31の一側の面31a上に形成された基底部33と、基底部33上に形成され、凹凸形状からなるモスアイ構造部34と、を有している。モスアイ構造部34は、図2に示すように、周期的に配置され、円錐、四角錐などの錐形状を有する複数の凸部35を含んでいる。なお図2においては、各凸部35の頂部が湾曲している例を示したが、これに限られることはなく、各凸部35の頂部は、平坦に形成されていてもよく、若しくは鋭角に形成されていてもよい。
(Moss eye structure)
Next, the moth-eye structure in the antireflection film 32 will be described in detail. As shown in FIG. 2, the antireflection film 32 includes a base portion 33 formed on one surface 31a of the glass substrate 31, a moth-eye structure portion 34 formed on the base portion 33 and having an uneven shape, have. As shown in FIG. 2, the moth-eye structure 34 includes a plurality of convex portions 35 that are periodically arranged and have a cone shape such as a cone or a quadrangular pyramid. In addition, in FIG. 2, although the example which the top part of each convex part 35 curved is shown, it is not restricted to this, The top part of each convex part 35 may be formed flat, or an acute angle It may be formed.

図2に示すように、各凸部35は符号pによって表される周期で配置されている。また、各凸部35間の間隔はdとなっており、各凸部35の高さはhになっている。ここで、反射防止膜32により実現される反射抑制機能は、主としてこれら周期p,間隔dおよび高さhに依存している。周期p,間隔dおよび高さhに基づいて反射防止膜32の反射防止機能を設計する方法は既に当業者にとって周知であるので、詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 2, each convex part 35 is arrange | positioned with the period represented by the code | symbol p. Moreover, the space | interval between each convex part 35 is d, and the height of each convex part 35 is h. Here, the reflection suppressing function realized by the antireflection film 32 mainly depends on the period p, the interval d, and the height h. Since a method for designing the antireflection function of the antireflection film 32 based on the period p, the interval d, and the height h is already well known to those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.

各凸部35の周期pは、可視光領域の波長以下であれば特に限定されるものではなく、望まれる反射抑制機能に応じて適宜決定される。例えば、周期pは10nm〜400nmの範囲内となっており、より具体的には約150nmとなっている。   The period p of each convex part 35 will not be specifically limited if it is below the wavelength of a visible light area | region, According to the reflection suppression function desired, it determines suitably. For example, the period p is in the range of 10 nm to 400 nm, more specifically about 150 nm.

各凸部35の高さhも、特に限定されるものではなく、望まれる反射抑制機能に応じて適宜決定される。例えば、高さhは100nm〜600nmの範囲内となっている。また、反射防止膜32全体の高さ、すなわち基底部33の高さとモスアイ構造部34の凸部35の高さの合計は、例えば約1μmとなっている。   The height h of each convex portion 35 is not particularly limited, and is appropriately determined according to a desired reflection suppressing function. For example, the height h is in the range of 100 nm to 600 nm. Further, the total height of the antireflection film 32, that is, the total height of the base portion 33 and the height of the convex portion 35 of the moth-eye structure portion 34 is, for example, about 1 μm.

凸部35間の間隔dも、特に限定されるものではなく、望まれる反射抑制機能に応じて適宜決定される。   The distance d between the convex portions 35 is not particularly limited, and is appropriately determined according to a desired reflection suppressing function.

なお図2においては、上述の周期p,間隔dおよび高さhがモスアイ構造部34の全域にわたって均一となっている例を示したが、これに限られることはなく、望まれる反射抑制機能に応じて、周期p,間隔dおよび高さhが不均一となっていてもよい。このように周期p,間隔dおよび高さhを不均一にすることにより、反射防止膜32の反射抑制機能がより広い波長域にわたって実現され得る。   2 shows an example in which the above-described period p, interval d, and height h are uniform over the entire area of the moth-eye structure 34. However, the present invention is not limited to this, and the desired reflection suppressing function can be achieved. Accordingly, the period p, the interval d, and the height h may be nonuniform. Thus, by making the period p, the interval d, and the height h nonuniform, the reflection suppressing function of the antireflection film 32 can be realized over a wider wavelength range.

(耐熱性材料)
次に、反射防止膜32を構成する耐熱性材料について説明する。耐熱性材料は、ケイ素と酸素を骨格とする化合物であって、Si−O−Si結合(シロキサン結合)を持つ化合物、いわゆるシロキサン樹脂を含むものとなっている。このようなシロキサン樹脂としては、公知のものが使用され得るが、例えば、式R SiX4−nで表される化合物を必須成分として加水分解縮合して得られる樹脂等が使用され得る。ここで、式中、Rは、H原子若しくはF原子、またはB原子、N原子、Al原子、P原子、Si原子、Ge原子若しくはTi原子を含む基、又は、炭素数1〜20の有機基を示し、Xは加水分解性基を示している。また、nは0〜2の整数を示している。ここで、nが2のとき、各Rは同一でも異なっていてもよく、またnが0〜2のとき、各Xは同一でも異なっていてもよい。式R SiX4−nで表される化合物の詳細については、特許第3821165号に開示されており、本実施の形態においても、当該特許第3821165号に開示されている化合物を適宜用いることができる。このようにして構成される耐熱性材料の光屈折率は、特には限定されないが、例えばガラスの光屈折率よりも小さくなっており、より具体的には1.40〜1.46の範囲内となっている。
(Heat resistant material)
Next, the heat resistant material constituting the antireflection film 32 will be described. The heat-resistant material is a compound having a skeleton of silicon and oxygen, and includes a compound having a Si—O—Si bond (siloxane bond), a so-called siloxane resin. As such a siloxane resin, known ones can be used. For example, a resin obtained by hydrolysis and condensation using a compound represented by the formula R 1 n SiX 4-n as an essential component can be used. Here, in the formula, R 1 is an H atom or F atom, or a group containing a B atom, an N atom, an Al atom, a P atom, a Si atom, a Ge atom, or a Ti atom, or an organic compound having 1 to 20 carbon atoms Represents a group, and X represents a hydrolyzable group. Moreover, n has shown the integer of 0-2. Here, when n is 2, each R 1 may be the same or different, and when n is 0 to 2, each X may be the same or different. Details of the compound represented by the formula R 1 n SiX 4-n are disclosed in Japanese Patent No. 3821165, and in this embodiment, the compound disclosed in Japanese Patent No. 3821165 is appropriately used. Can do. The optical refractive index of the heat-resistant material thus configured is not particularly limited, but is, for example, smaller than the optical refractive index of glass, and more specifically within the range of 1.40 to 1.46. It has become.

本実施の形態によれば、上述のように、反射防止膜32がシロキサン樹脂から構成されている。このため反射防止膜32は、後に封止ガラス30に設けられるガラスペーストの焼成工程に耐えうる程度の耐熱性を有している。例えば後述するように、ガラスペーストの焼成が実施される430℃の温度まで加熱された場合であってもその特性が劣化しない程度の耐熱性を有している。これによって、ガラスフリットによる強固な封止を実現するとともに、封止ガラス30の有機EL素子20側の界面における光の反射を抑制することができる。   According to the present embodiment, as described above, the antireflection film 32 is made of a siloxane resin. For this reason, the antireflection film 32 has heat resistance enough to withstand a baking process of a glass paste provided on the sealing glass 30 later. For example, as will be described later, even when the glass paste is heated to a temperature of 430 ° C. where the glass paste is fired, it has heat resistance to such an extent that its characteristics do not deteriorate. Accordingly, it is possible to realize strong sealing with glass frit and to suppress light reflection at the interface of the sealing glass 30 on the organic EL element 20 side.

〔封止部〕
次に、有機EL素子20と封止ガラス30との間に設けられる封止部15について説明する。封止部15は、所定以上の温度で溶融するガラス材料から構成されている。例えば、粉末状のガラスからなるガラスフリットを焼成することにより形成されている。
(Sealing part)
Next, the sealing part 15 provided between the organic EL element 20 and the sealing glass 30 will be described. The sealing portion 15 is made of a glass material that melts at a predetermined temperature or higher. For example, it is formed by firing a glass frit made of powdered glass.

次に、有機EL表示装置10に含まれるその他の構成要素について説明する。図1に示すように、有機EL表示装置10は、封止ガラス30の観察者側に設けられたタッチパネルセンサ40と、タッチパネルセンサ40の観察者側に設けられた円偏光板70と、円偏光板70の観察者側に設けられた強化ガラス75と、をさらに備えていてもよい。以下、これらの構成要素について説明する。   Next, other components included in the organic EL display device 10 will be described. As shown in FIG. 1, the organic EL display device 10 includes a touch panel sensor 40 provided on the viewer side of the sealing glass 30, a circularly polarizing plate 70 provided on the viewer side of the touch panel sensor 40, and circularly polarized light. And a tempered glass 75 provided on the viewer side of the plate 70. Hereinafter, these components will be described.

(タッチパネルセンサ)
タッチパネルセンサ40は、観察者側から有機EL表示装置10に接近または接触する、導電体からなる被検出体の位置を感知するものである。このようなタッチパネルセンサ40のタイプが特に限られることはなく、様々なタイプのタッチパネルセンサ40が適宜用いられ得る。例えば、被検出体からの圧力に基づいてタッチ箇所を検出する抵抗膜方式のタッチパネルセンサや、人体などの被検出体からの静電気に基づいてタッチ箇所を検出する静電容量方式のタッチパネルセンサが用いられ得る。その他にも、光センサ方式、マトリクス・スイッチ方式、表面弾性波方式、電磁誘導方式など、様々な方式のタッチパネルセンサが用いられ得る。
(Touch panel sensor)
The touch panel sensor 40 senses the position of a detected object made of a conductor that approaches or contacts the organic EL display device 10 from the observer side. The type of the touch panel sensor 40 is not particularly limited, and various types of touch panel sensors 40 can be used as appropriate. For example, a resistive touch panel sensor that detects a touch location based on a pressure from a detected object or a capacitive touch panel sensor that detects a touch location based on static electricity from a detected body such as a human body is used. Can be. In addition, various types of touch panel sensors such as an optical sensor method, a matrix switch method, a surface acoustic wave method, and an electromagnetic induction method can be used.

(静電容量方式のタッチパネルセンサ)
次に図3A乃至図3Cを参照して、タッチパネルセンサ40が静電容量方式のものである場合の、タッチパネルセンサ40の構成の一例について説明する。図3Aは、静電容量方式のタッチパネルセンサ40を示す平面図であり、図3Bは,図3Aのタッチパネルセンサ40をIIIB−IIIB方向から見た断面図であり、図3Cは,図3Aのタッチパネルセンサ40をIIIC−IIIC方向から見た断面図である。
(Capacitive touch panel sensor)
Next, an example of the configuration of the touch panel sensor 40 in the case where the touch panel sensor 40 is a capacitive type will be described with reference to FIGS. 3A to 3C. 3A is a plan view showing a capacitive touch panel sensor 40, FIG. 3B is a cross-sectional view of the touch panel sensor 40 of FIG. 3A viewed from the IIIB-IIIB direction, and FIG. 3C is a touch panel of FIG. 3A. It is sectional drawing which looked at the sensor 40 from the IIIC-IIIC direction.

図3A乃至図3Cに示すように、静電容量方式のタッチパネルセンサ40は、タッチパネルセンサ用基板46と、タッチパネルセンサ用基板46の観察者側の面上に所定のパターンで設けられた複数のx透明導電パターン41およびy透明導電パターン42とを有している。図3Aに示すように、x透明導電パターン41はx方向に延びており、またy透明導電パターン42はx方向に直交するy方向に延びている。   As shown in FIGS. 3A to 3C, the capacitive touch panel sensor 40 includes a touch panel sensor substrate 46 and a plurality of x provided in a predetermined pattern on the viewer side surface of the touch panel sensor substrate 46. A transparent conductive pattern 41 and a y transparent conductive pattern 42 are provided. As shown in FIG. 3A, the x transparent conductive pattern 41 extends in the x direction, and the y transparent conductive pattern 42 extends in the y direction orthogonal to the x direction.

各x透明導電パターン41は、略正方形の形状を有する複数のx電極単位41aと、隣接するx電極単位41a間をx方向において接続するx接続部41bと、を有している。このようなx透明導電パターン41により、被検出体のタッチ箇所のy方向における位置が検出される。また、各y透明導電パターン42は、略正方形の形状を有する複数のy電極単位42aと、隣接するy電極単位42a間をy方向において接続するy接続部42bと、を有している。このようなy透明導電パターン42により、被検出体のタッチ箇所のx方向における位置が検出される。   Each x transparent conductive pattern 41 includes a plurality of x electrode units 41a having a substantially square shape, and an x connection portion 41b that connects adjacent x electrode units 41a in the x direction. By such an x transparent conductive pattern 41, the position in the y direction of the touch location of the detection object is detected. Each of the y transparent conductive patterns 42 includes a plurality of y electrode units 42a having a substantially square shape, and a y connection portion 42b that connects adjacent y electrode units 42a in the y direction. By such a y transparent conductive pattern 42, the position in the x direction of the touch location of the detection object is detected.

またタッチパネルセンサ用基板46上には、所定のパターンで設けられ、x透明導電パターン41およびy透明導電パターン42にそれぞれ電気的に接続された取出配線43および取出配線44と、取出配線43および取出配線44に接続され、x透明導電パターン41およびy透明導電パターン42からの信号を外部へ取り出すための端子部45と、が設けられている。   Further, on the touch panel sensor substrate 46, the extraction wiring 43 and the extraction wiring 44, which are provided in a predetermined pattern and are electrically connected to the x transparent conductive pattern 41 and the y transparent conductive pattern 42, respectively, and the extraction wiring 43 and the extraction wiring. A terminal unit 45 connected to the wiring 44 and for taking out signals from the x transparent conductive pattern 41 and the y transparent conductive pattern 42 to the outside is provided.

タッチパネルセンサ40においては、上述の各導電パターン41,42、取出配線43,44および端子部45の組合体により、タッチ位置を検出するとともに検出信号を外部へ取り出すというタッチパネル機能を実現するセンサ部50が構成されている。   In the touch panel sensor 40, a sensor unit 50 that realizes a touch panel function of detecting a touch position and taking out a detection signal to the outside by a combination of the conductive patterns 41 and 42, the extraction wirings 43 and 44, and the terminal unit 45. Is configured.

次に、タッチパネルセンサ40の各構成要素の材料について説明する。各x透明導電パターン41およびy透明導電パターン42は、映像を表示させるための表示領域に配置される。このため各x透明導電パターン41およびy透明導電パターン42は、導電性および透明性を有する材料、例えばITOなどから構成される。一方、取出配線43、取出配線44および端子部45は、表示領域の周縁に位置する非表示領域に配置される。このため、取出配線43、取出配線44および端子部45を構成する材料が透明性を有する必要はない。従って取出配線43、取出配線44および端子部45は一般に、x透明導電パターン41およびy透明導電パターン42の材料よりも高い電気伝導率を有する金属材料から構成される。   Next, the material of each component of the touch panel sensor 40 will be described. Each x transparent conductive pattern 41 and y transparent conductive pattern 42 are arranged in a display area for displaying an image. Therefore, each x transparent conductive pattern 41 and y transparent conductive pattern 42 is made of a conductive and transparent material, such as ITO. On the other hand, the lead-out wiring 43, the lead-out wiring 44, and the terminal portion 45 are arranged in a non-display area located at the periphery of the display area. For this reason, the material which comprises the extraction wiring 43, the extraction wiring 44, and the terminal part 45 does not need to have transparency. Therefore, the lead-out wiring 43, the lead-out wiring 44, and the terminal portion 45 are generally made of a metal material having a higher electrical conductivity than the materials of the x transparent conductive pattern 41 and the y transparent conductive pattern 42.

タッチパネルセンサ用基板46の材料は、各導電パターン41,42、取出配線43,44および端子部45を支持するとともに、透明性を有する限り特に限定されない。例えばタッチパネルセンサ用基板46の材料として、透明性を有するガラスやポリマーなどが用いられる。   The material of the touch panel sensor substrate 46 is not particularly limited as long as it supports the conductive patterns 41 and 42, the extraction wirings 43 and 44, and the terminal portion 45 and has transparency. For example, transparent glass or polymer is used as the material of the touch panel sensor substrate 46.

図3Bおよび図3Cに示すように、各導電パターン41,42、取出配線43,44および端子部45を含むセンサ部50は、タッチパネルセンサ用基板46上にITOや金属材料などを積層させることにより形成される。なお図3Bおよび図3Cに示すように、x接続部41bとy接続部42bとが電気的に接続されることを防ぐため、x接続部41bとy接続部42bとの間に絶縁層47が介在されていてもよい。また、図3Bおよび図3Cにおいて一点鎖線で示されているように、各導電パターン41,42、取出配線43,44および端子部45を保護するための保護層49が設けられていてもよい。保護層49としては、透明性および絶縁性を有する樹脂材料などが適宜用いられる。   As shown in FIGS. 3B and 3C, the sensor unit 50 including the conductive patterns 41 and 42, the extraction wirings 43 and 44, and the terminal unit 45 is formed by laminating ITO or a metal material on the touch panel sensor substrate 46. It is formed. As shown in FIGS. 3B and 3C, in order to prevent the x connection portion 41b and the y connection portion 42b from being electrically connected, an insulating layer 47 is provided between the x connection portion 41b and the y connection portion 42b. It may be interposed. 3B and 3C, a protective layer 49 may be provided to protect the conductive patterns 41 and 42, the extraction wirings 43 and 44, and the terminal portion 45, as indicated by a one-dot chain line. As the protective layer 49, a resin material having transparency and insulation is appropriately used.

(円偏光板70)
図1に示す円偏光板70は、位相板72と、位相板72の観察者側に設けられた偏光板71と、を有している。このうち位相板72は、位相差が光の波長の1/4になるよう制御されている。また偏光板71は、特定の方向に偏光している光のみを透過させる直線偏光板となっている。
(Circularly polarizing plate 70)
A circularly polarizing plate 70 shown in FIG. 1 includes a phase plate 72 and a polarizing plate 71 provided on the observer side of the phase plate 72. Among these, the phase plate 72 is controlled so that the phase difference becomes 1/4 of the wavelength of light. The polarizing plate 71 is a linear polarizing plate that transmits only light polarized in a specific direction.

有機EL表示装置10がこのような円偏光板70を備えることの効果について説明する。外部から有機EL表示装置10に入射した光は、はじめに偏光板71によって直線偏光となり、次に、位相板72によって円偏光となる。その後、有機EL層24の陽極21によって光が反射される際、光の円偏光状態が反転する。反射された光が再び位相板72を通過すると、この光は、偏光板71をはじめに通過した時に比べて90度傾いた直線偏光となる。従って、この直線偏光は、再び偏光板71に到達する際に吸収される。   The effect of the organic EL display device 10 including such a circularly polarizing plate 70 will be described. The light incident on the organic EL display device 10 from the outside is first linearly polarized by the polarizing plate 71 and then circularly polarized by the phase plate 72. Thereafter, when light is reflected by the anode 21 of the organic EL layer 24, the circular polarization state of the light is reversed. When the reflected light passes through the phase plate 72 again, this light becomes linearly polarized light inclined by 90 degrees compared to when it first passes through the polarizing plate 71. Therefore, this linearly polarized light is absorbed when it reaches the polarizing plate 71 again.

このように円偏光板70を設けることにより、外部から有機EL表示装置10に入射した光が有機EL層24で反射されて観察者側へ放射されるのを防ぐことができる。すなわち、円偏光板70によって、外光の映り込みを防ぎ、これによって有機EL表示装置10のコントラストを向上させることができる。   By providing the circularly polarizing plate 70 as described above, it is possible to prevent light incident on the organic EL display device 10 from the outside from being reflected by the organic EL layer 24 and emitted to the viewer side. That is, the circularly polarizing plate 70 can prevent external light from being reflected, thereby improving the contrast of the organic EL display device 10.

(強化ガラス)
強化ガラス75は、観察者側から加えられる衝撃から有機EL表示装置10を保護するためのものである。このような強化ガラス75として、様々なタイプのものが用いられ得るが、例えば、観察者側の最表面に化学強化層が設けられた化学強化ガラスが用いられてもよい。ここで化学強化層とは、ガラス中のナトリウムをカリウムに置換することにより形成される層である。このような化学強化層を表面に形成することにより、強化ガラス75に何らかの衝撃が加えられた場合に強化ガラス75が割れてしまうことを抑制することができる。なお、このような化学強化層の厚みが特に限られることはなく、求められる特性に応じて化学強化層の厚みが適宜設定される。
このように表面に化学強化層が形成された強化ガラスの例としては、例えば、コーニング社のGorilla Glass(ゴリラガラス)や、旭硝子社のDragontrail(ドラゴントレイル)などが挙げられる。
(Tempered glass)
The tempered glass 75 is for protecting the organic EL display device 10 from an impact applied from the observer side. Various types of tempered glass 75 can be used. For example, chemically tempered glass in which a chemically strengthened layer is provided on the outermost surface on the observer side may be used. Here, the chemical strengthening layer is a layer formed by replacing sodium in the glass with potassium. By forming such a chemically strengthened layer on the surface, it is possible to prevent the tempered glass 75 from being broken when any impact is applied to the tempered glass 75. Note that the thickness of such a chemically strengthened layer is not particularly limited, and the thickness of the chemically strengthened layer is appropriately set according to required characteristics.
Examples of tempered glass having a chemically strengthened layer formed on the surface thereof include, for example, Corning Gorilla Glass (Gorilla Glass) and Asahi Glass Company Dragontrail.

ところで、ガラス基板31に直接的にタッチパネルセンサ40が接している場合、ガラス基板31とタッチパネルセンサ40との間にエアギャップがところどころ生じることが考えられる。エアギャップが存在していると、ガラス基板31の他側の面31bで光の反射が生じることが考えられる。このような反射を防ぐため、封止ガラス30のガラス基板31とタッチパネルセンサ40との間に接着層(図示せず)が介在されていてもよい。これによって、ガラス基板31とタッチパネルセンサ40との間にエアギャップが生じるのを防ぐことができ、このことにより、ガラス基板31の他側の面31bで光の反射が生じるのを防ぐことができる。   By the way, when the touch panel sensor 40 is in direct contact with the glass substrate 31, it is conceivable that air gaps are generated between the glass substrate 31 and the touch panel sensor 40 in some places. If there is an air gap, it is conceivable that light is reflected on the other surface 31 b of the glass substrate 31. In order to prevent such reflection, an adhesive layer (not shown) may be interposed between the glass substrate 31 of the sealing glass 30 and the touch panel sensor 40. Accordingly, it is possible to prevent an air gap from being generated between the glass substrate 31 and the touch panel sensor 40, thereby preventing light from being reflected on the other surface 31 b of the glass substrate 31. .

同様に、タッチパネルセンサ40と円偏光板70との間、および円偏光板70と強化ガラス75との間に、接着層が設けられていてもよい。   Similarly, an adhesive layer may be provided between the touch panel sensor 40 and the circularly polarizing plate 70 and between the circularly polarizing plate 70 and the tempered glass 75.

封止ガラスの製造方法
次に封止ガラス30の製造方法について説明する。ここでは、賦形により封止ガラス30の反射防止膜32のモスアイ構造部34を作製する方法について説明する。はじめに、賦形のために用いられる版について説明する。
Manufacturing method of sealing glass Next, the manufacturing method of the sealing glass 30 is demonstrated. Here, a method for producing the moth-eye structure 34 of the antireflection film 32 of the sealing glass 30 by shaping will be described. First, the plate used for shaping will be described.

(スタンパ版)
図4は、賦形により反射防止膜32のモスアイ構造部34を作製するために用いられるスタンパ版60を示す図である。図4に示すように、スタンパ版60は、反射防止膜32のモスアイ構造部34の凸部35に対応する凹部61を適切な基材に形成することにより作製される。
(Stamper version)
FIG. 4 is a view showing a stamper plate 60 used for forming the moth-eye structure 34 of the antireflection film 32 by shaping. As shown in FIG. 4, the stamper plate 60 is manufactured by forming a concave portion 61 corresponding to the convex portion 35 of the moth-eye structure portion 34 of the antireflection film 32 on an appropriate base material.

このような凹部61を基材に形成する方法が特に限られることはなく、様々な方法が適宜採用され得る。例えば、アルミニウムからなる基材を陽極酸化することによって凹部61を形成してもよく、若しくは、基材上に感光性材料からなる層を設け、この層を露光することにより凹部61を形成してもよい。露光方法としては、例えば、レーザー光の干渉を利用して微細パターンで露光する方法などが適宜用いられる。   There is no particular limitation on the method of forming the concave portion 61 on the base material, and various methods can be appropriately employed. For example, the concave portion 61 may be formed by anodizing a base material made of aluminum, or a layer made of a photosensitive material is provided on the base material, and the concave portion 61 is formed by exposing this layer. Also good. As the exposure method, for example, a method of performing exposure with a fine pattern using interference of laser light is appropriately used.

(反射防止膜の形成方法)
次に図5(a)(b)(c)を参照して、スタンパ版60を用いて賦形により反射防止膜32を形成する方法について説明する。
(Method for forming antireflection film)
Next, a method for forming the antireflection film 32 by shaping using the stamper plate 60 will be described with reference to FIGS.

はじめに図5(a)に示すように、ガラス基板31を準備する。次にガラス基板31の一側の面31a上に耐熱性材料36を塗布または滴下する。耐熱性材料36を塗布または滴下する方法が特に限られることはなく、公知の方法が適宜用いられ得る。なお耐熱性材料36には、塗布性を向上させるための適切な溶剤が含まれている。   First, as shown in FIG. 5A, a glass substrate 31 is prepared. Next, the heat resistant material 36 is applied or dropped onto the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. The method for applying or dropping the heat-resistant material 36 is not particularly limited, and a known method can be appropriately used. The heat resistant material 36 contains an appropriate solvent for improving the coating property.

その後、耐熱性材料36が設けられたガラス基板31を加熱し、これによって、耐熱性材料36中の溶剤を蒸発させる。この際の加熱条件は、耐熱性材料36および含まれる溶剤の特性に応じて適宜設定されるが、例えば80℃で10分間加熱するという加熱条件が設定される。   Thereafter, the glass substrate 31 provided with the heat resistant material 36 is heated, and thereby the solvent in the heat resistant material 36 is evaporated. The heating conditions at this time are appropriately set according to the characteristics of the heat-resistant material 36 and the solvent contained. For example, a heating condition of heating at 80 ° C. for 10 minutes is set.

次に、図5(b)に示すように、ガラス基板31上の耐熱性材料36をスタンパ版60によって押圧する。これによって、耐熱性材料36に、スタンパ版60の凹部61に対応する形状が付与される。   Next, as shown in FIG. 5B, the heat resistant material 36 on the glass substrate 31 is pressed by the stamper plate 60. As a result, a shape corresponding to the recess 61 of the stamper plate 60 is imparted to the heat resistant material 36.

次に、耐熱性材料36からスタンパ版60を剥離させ、その後、ガラス基板31および耐熱性材料36を所定の温度で加熱して焼成する。例えば、400℃で加熱する。この結果、図5(c)に示すように、ガラス基板31上に、基底部33とモスアイ構造部34とを含む反射防止膜32が形成される。このようにして、ガラス基板31と反射防止膜32とからなる封止ガラス30が得られる。   Next, the stamper plate 60 is peeled from the heat resistant material 36, and then the glass substrate 31 and the heat resistant material 36 are heated and fired at a predetermined temperature. For example, heating is performed at 400 ° C. As a result, as shown in FIG. 5C, the antireflection film 32 including the base portion 33 and the moth-eye structure portion 34 is formed on the glass substrate 31. Thus, the sealing glass 30 composed of the glass substrate 31 and the antireflection film 32 is obtained.

(反射防止膜の形成方法の変形例)
なお図5(a)(b)(c)においては、平板状のスタンパ版60によって耐熱性材料36の賦形が実施される例を示したが、これに限られることはない。例えば図6に示すように、表面にスタンパ版66が巻きつけられたロール体65を用いることにより、耐熱性材料36の賦形が実施されてもよい。この場合、スタンパ版66には、スタンパ版60の凹部61と同様の凹部が形成されている。このため、図6に示すように、耐熱性材料36が設けられたガラス基板31を矢印Dで示される方向に搬送させながら、スタンパ版66が設けられたロール体65を矢印Dで示される方向に回転させ、そしてスタンパ版66によって耐熱性材料36を押圧することにより、耐熱性材料36の賦形を実施することができる。
(Modification of the method of forming the antireflection film)
5A, 5 </ b> B, and 5 </ b> C show an example in which the heat-resistant material 36 is shaped by the flat stamper plate 60, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 6, the heat-resistant material 36 may be shaped by using a roll body 65 having a stamper plate 66 wound around the surface. In this case, the stamper plate 66 is formed with a recess similar to the recess 61 of the stamper plate 60. Therefore, as shown in FIG. 6, shown with the glass substrate 31 that heat-resistant material 36 is provided is conveyed in the direction indicated by the arrow D 1, the roll body 65 of the stamper plate 66 is provided with an arrow D 2 The heat resistant material 36 can be shaped by rotating it in the direction to be pressed and pressing the heat resistant material 36 with the stamper plate 66.

有機EL表示装置の製造方法
次に図7(a)(b)(c)を参照して、封止ガラス30と有機EL素子20とを組み合わせて有機EL表示装置10を形成する方法について説明する。
Method for Manufacturing Organic EL Display Device Next, a method for forming the organic EL display device 10 by combining the sealing glass 30 and the organic EL element 20 will be described with reference to FIGS. 7 (a), 7 (b), and 7 (c). .

はじめに、ガラス基板31の一側の面31a上に、ガラス基板31の外縁に沿ってガラスペーストを塗布する。このガラスペーストは、ガラスフリットと適切な溶液とを混合することにより構成されている。その後、ガラス基板31上に塗布されたガラスペーストを所定の条件で加熱する。例えば、加熱速度7〜10℃/分で330℃まで昇温させた後、330℃で30分間の加熱が実施される。その後、430℃まで昇温させた後、10分間の加熱が実施される。これによってガラスペーストが焼成され、この結果、図7(a)に示すように封止部15が形成される。なお上述のように、反射防止膜32は、シロキサン樹脂を含む耐熱性材料36から構成されている。このため、ガラスペーストの焼成工程の際に反射防止膜32が損傷または劣化することが防がれている。   First, a glass paste is applied along the outer edge of the glass substrate 31 on the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. This glass paste is constituted by mixing glass frit and an appropriate solution. Thereafter, the glass paste applied on the glass substrate 31 is heated under predetermined conditions. For example, after heating up to 330 ° C. at a heating rate of 7 to 10 ° C./min, heating is performed at 330 ° C. for 30 minutes. Then, after heating up to 430 degreeC, the heating for 10 minutes is implemented. As a result, the glass paste is baked, and as a result, the sealing portion 15 is formed as shown in FIG. As described above, the antireflection film 32 is made of a heat resistant material 36 containing a siloxane resin. For this reason, the antireflection film 32 is prevented from being damaged or deteriorated during the baking process of the glass paste.

その後、図7(b)に示すように、封止部15を介して封止ガラス30と有機EL素子20とを組み合わせる。その後、図7(c)に示すように、有機EL素子20側から封止部15にレーザー光Lを照射し、これによって封止部15を局所的に加熱する。この結果、封止部15が溶融され、これによって封止部15が有機EL素子20に融着される。このようにして、封止部15によって封止された有機EL表示装置10が得られる。このため、有機EL表示装置10の内部に水分および酸素が入り込むことを強固に防ぐことができる。 Thereafter, as shown in FIG. 7B, the sealing glass 30 and the organic EL element 20 are combined through the sealing portion 15. Thereafter, as shown in FIG. 7 (c), irradiated with laser light L 1 to the sealing portion 15 from the organic EL element 20 side, thereby locally heating the sealing portion 15. As a result, the sealing portion 15 is melted, whereby the sealing portion 15 is fused to the organic EL element 20. In this way, the organic EL display device 10 sealed by the sealing portion 15 is obtained. For this reason, it is possible to firmly prevent moisture and oxygen from entering the organic EL display device 10.

また本実施の形態によれば、封止ガラス30のガラス基板31の一側の面31a上に形成され、耐熱性材料36からなる反射防止膜32は、凹凸形状からなるモスアイ構造部34を有している。このため、封止ガラス30の一側の気体/固体の界面における光の反射を抑制することができる。また反射防止膜32を構成する耐熱性材料36は、シロキサン樹脂を含んでいる。このため、ガラスフリットを含むガラスペーストの焼成工程の際に反射防止膜32が損傷または劣化することを防ぐことができる。   Further, according to the present embodiment, the antireflection film 32 formed on the one surface 31 a of the glass substrate 31 of the sealing glass 30 and made of the heat-resistant material 36 has the moth-eye structure portion 34 having an uneven shape. is doing. For this reason, reflection of light at the gas / solid interface on one side of the sealing glass 30 can be suppressed. The heat resistant material 36 constituting the antireflection film 32 contains a siloxane resin. For this reason, it is possible to prevent the antireflection film 32 from being damaged or deteriorated during the baking process of the glass paste containing glass frit.

第1の比較の形態
次に、図8(a)(b)(c)(d)を参照して、本実施の形態の効果を第1の比較の形態と比較して説明する。図8(a)(b)(c)に示す第1の比較の形態による有機EL表示装置110の製造方法は、賦形により反射防止膜が形成されるよりも前にガラス基板31の一側の面31a上に封止部15が形成される点が異なるのみであり、他の構成は、上述の本実施の形態における有機EL表示装置10の製造方法と略同一である。図8(a)(b)(c)に示す第1の比較の形態において、上述の本実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
First Comparison Mode Next, the effects of the present embodiment will be described in comparison with the first comparison mode with reference to FIGS. 8 (a), (b), (c), and (d). The manufacturing method of the organic EL display device 110 according to the first comparative embodiment shown in FIGS. 8A, 8 </ b> B, and 8 </ b> C is performed on one side of the glass substrate 31 before the antireflection film is formed by shaping. The only difference is that the sealing portion 15 is formed on the surface 31a, and the other configuration is substantially the same as the manufacturing method of the organic EL display device 10 in the present embodiment described above. In the first comparative embodiment shown in FIGS. 8A, 8B, and 8C, the same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図8(a)(b)(c)(d)は、第1の比較の形態による有機EL表示装置110を製造する方法を示す図である。   8A, 8B, 8C, and 8D are views showing a method for manufacturing the organic EL display device 110 according to the first comparative embodiment.

はじめに図8(a)に示すように、ガラス基板31を準備する。次に、ガラス基板31の一側の面31a上に、ガラス基板31の外縁に沿ってガラスペーストを塗布する。その後、ガラス基板31上に塗布されたガラスペーストを焼成する。この結果、図8(a)に示すように封止部15が形成される。焼成条件は、上述の本実施の形態における条件と略同一となっている。   First, as shown in FIG. 8A, a glass substrate 31 is prepared. Next, a glass paste is applied along the outer edge of the glass substrate 31 on the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. Thereafter, the glass paste applied on the glass substrate 31 is baked. As a result, the sealing portion 15 is formed as shown in FIG. The firing conditions are substantially the same as those in the present embodiment described above.

次に図8(b)に示すように、ガラス基板31の一側の面31a上に、反射防止膜を構成するための材料を塗布する。なお第1の比較の形態においては、上述のように、既にガラスペーストの焼成が実施されている。このため、上述の本実施の形態の場合とは異なり、反射防止膜を構成するための材料は、ガラスペーストの焼成に耐えうる耐熱性を有していなくてもよい。従って第1の比較の形態においては、ガラス基板31上に非耐熱性材料136が塗布される。なお非耐熱性材料136には、塗布性を向上させるための適切な溶剤が含まれている。その後、非耐熱性材料136が設けられたガラス基板31を加熱し、これによって、非耐熱性材料136中の溶剤を蒸発させる。   Next, as shown in FIG. 8B, a material for forming an antireflection film is applied on the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. In the first comparative embodiment, the glass paste is already fired as described above. For this reason, unlike the case of this Embodiment mentioned above, the material for comprising an antireflection film does not need to have the heat resistance which can endure baking of a glass paste. Therefore, in the first comparative embodiment, the non-heat resistant material 136 is applied on the glass substrate 31. Note that the non-heat resistant material 136 contains an appropriate solvent for improving the coating property. Thereafter, the glass substrate 31 provided with the non-heat resistant material 136 is heated, and thereby the solvent in the non-heat resistant material 136 is evaporated.

次に、図8(c)に示すように、ガラス基板31上の非耐熱性材料136をスタンパ版160によって押圧する。これによって、非耐熱性材料136に、スタンパ版160の凹部61に対応する形状が付与される。次に、非耐熱性材料136からスタンパ版160を剥離させ、その後、ガラス基板31および非耐熱性材料136を所定の温度で加熱する。この結果、ガラス基板31上に反射防止膜132が形成され、第1の比較の形態による封止ガラス130が得られる。なお、ガラス基板31および非耐熱性材料136の加熱温度は、本実施の形態における耐熱性材料36の加熱温度、例えば400℃よりも低くなっている。   Next, as shown in FIG. 8C, the non-heat resistant material 136 on the glass substrate 31 is pressed by the stamper plate 160. As a result, a shape corresponding to the recess 61 of the stamper plate 160 is given to the non-heat resistant material 136. Next, the stamper plate 160 is peeled from the non-heat resistant material 136, and then the glass substrate 31 and the non-heat resistant material 136 are heated at a predetermined temperature. As a result, the antireflection film 132 is formed on the glass substrate 31, and the sealing glass 130 according to the first comparative embodiment is obtained. In addition, the heating temperature of the glass substrate 31 and the non-heat resistant material 136 is lower than the heating temperature of the heat resistant material 36 in this Embodiment, for example, 400 degreeC.

その後、封止部15を介して封止ガラス130と有機EL素子20とを組み合わせ、有機EL表示装置110を形成する。この際の手順は、上述の本実施の形態における手順と略同一であるので、詳細な説明は省略する。   Thereafter, the sealing glass 130 and the organic EL element 20 are combined through the sealing portion 15 to form the organic EL display device 110. Since the procedure at this time is substantially the same as the procedure in the above-described embodiment, detailed description thereof is omitted.

ところで第1の比較の形態においては、上述のように、スタンパ版160を用いた賦形の際に既にガラス基板31の一側の面31a上に封止部15が形成されている。このため、非耐熱性材料136を押圧する際に封止部15に接触しないようスタンパ版160を構成する必要がある。また、スタンパ版160によって非耐熱性材料136を押圧する際、スタンパ版160が封止部15に接触しないようスタンパ版160を精密に操作する必要がある。   By the way, in the first comparative embodiment, as described above, the sealing portion 15 is already formed on the surface 31a on one side of the glass substrate 31 during the shaping using the stamper plate 160. For this reason, it is necessary to configure the stamper plate 160 so as not to contact the sealing portion 15 when the non-heat resistant material 136 is pressed. Further, when the non-heat resistant material 136 is pressed by the stamper plate 160, it is necessary to precisely operate the stamper plate 160 so that the stamper plate 160 does not contact the sealing portion 15.

これに対して本実施の形態によれば、上述のように、スタンパ版60を用いた賦形の際、ガラス基板31の一側の面31a上に封止部15がまだ形成されていない。このため、図5(b)に示すように、ガラス基板31の一側の面31aの全域にわたって広がるスタンパ版60を用いることができる。若しくは図6に示すように、ロール体65に巻きつけられたスタンパ版66を用いることができる。また、スタンパ60,66によって耐熱性材料36を押圧する際、スタンパ版60,66が封止部15に接触するという懸念がない。このため本実施の形態によれば、より簡易にスタンパ版60,66による賦形を実施することができる。   On the other hand, according to the present embodiment, as described above, the sealing portion 15 is not yet formed on the surface 31a on one side of the glass substrate 31 during shaping using the stamper plate 60. For this reason, as shown in FIG.5 (b), the stamper plate 60 extended over the whole surface 31a of the one side of the glass substrate 31 can be used. Alternatively, as shown in FIG. 6, a stamper plate 66 wound around a roll body 65 can be used. Further, when the heat resistant material 36 is pressed by the stampers 60, 66, there is no concern that the stamper plates 60, 66 come into contact with the sealing portion 15. For this reason, according to the present embodiment, shaping by the stamper plates 60 and 66 can be performed more easily.

なお本実施の形態において、耐熱性材料36からスタンパ版60が剥離された後、ガラス基板31および耐熱性材料36が所定の温度で加熱され、これによって耐熱性材料36が焼成される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、耐熱性材料36の焼成が、後に行われるガラスペーストの焼成と同時に実現されてもよい。これによって、焼成工程の数を1つ削減することができる。   In this embodiment, after the stamper plate 60 is peeled from the heat resistant material 36, the glass substrate 31 and the heat resistant material 36 are heated at a predetermined temperature, whereby the heat resistant material 36 is fired. It was. However, the present invention is not limited to this, and the baking of the heat resistant material 36 may be realized simultaneously with the baking of the glass paste performed later. This can reduce the number of firing steps by one.

第2の実施の形態
次に図9(a)(b)(c)(d)を参照して、本発明の第2の実施の形態について説明する。図9(a)(b)(c)(d)に示す第2の実施の形態は、反射防止膜32を構成する材料として、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物を含む耐熱性材料が用いられる点が異なるのみであり、他の構成は、図1乃至図7(a)(b)(c)に示す第1の実施の形態と略同一である。図9(a)(b)(c)(d)に示す第2の実施の形態において、図1乃至図7(a)(b)(c)に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 (a), 9 (b), 9 (c) and 9 (d). In the second embodiment shown in FIGS. 9A, 9B, 9C, and 9D, a heat-resistant material containing a photosensitive compound dispersed in a siloxane resin is used as a material constituting the antireflection film 32. Only the difference is used, and other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7A, 7B, and 7C. In the second embodiment shown in FIGS. 9A, 9B, 9C, and 9D, the same parts as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7A, 7B, and 7C are used. Are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

(耐熱性材料)
上述のように、本実施の形態においては、反射防止膜32を構成する材料として、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物を含む耐熱性材料37が用いられる。用いられるシロキサン樹脂は、上述の第1の実施の形態におけるシロキサン樹脂と略同一であるので、詳細な説明は省略する。
(Heat resistant material)
As described above, in the present embodiment, the heat resistant material 37 containing the photosensitive compound dispersed in the siloxane resin is used as the material constituting the antireflection film 32. Since the siloxane resin used is substantially the same as the siloxane resin in the first embodiment described above, detailed description thereof is omitted.

耐熱性材料37に含まれる感光性化合物は、光が照射されることにより酸性活性物質または塩基性活性物質を放出する光酸発生剤または光塩基発生剤を含んでいる。このような感光性化合物を耐熱性材料37に包含させることにより、光を耐熱性材料37に照射することで耐熱性材料37を硬化させることが可能となる。なお感光性化合物は、光酸発生剤または光塩基発生剤の他に重合性化合物や増感剤等をさらに含んでいてもよい。   The photosensitive compound contained in the heat-resistant material 37 includes a photoacid generator or a photobase generator that releases an acidic active substance or a basic active substance when irradiated with light. By including such a photosensitive compound in the heat resistant material 37, the heat resistant material 37 can be cured by irradiating the heat resistant material 37 with light. The photosensitive compound may further contain a polymerizable compound, a sensitizer and the like in addition to the photoacid generator or the photobase generator.

用いられる光酸発生剤または光塩基発生剤が特に限られることはなく、公知のものが適宜用いられ得る。例えば、特許第3821165号に記載の光酸発生剤または光塩基発生剤を用いることができる。   The photoacid generator or photobase generator used is not particularly limited, and known ones can be used as appropriate. For example, a photoacid generator or a photobase generator described in Japanese Patent No. 3821165 can be used.

(反射防止膜の形成方法)
次に図9(a)(b)(c)(d)を参照して、スタンパ版60を用いて賦形により反射防止膜32を形成する方法について説明する。
(Method for forming antireflection film)
Next, with reference to FIGS. 9A, 9B, 9C, and 9D, a method of forming the antireflection film 32 by shaping using the stamper plate 60 will be described.

はじめに図9(a)に示すように、ガラス基板31を準備する。次にガラス基板31の一側の面31a上に耐熱性材料37を塗布または滴下する。耐熱性材料37を塗布または滴下する方法が特に限られることはなく、公知の方法が適宜用いられ得る。なお耐熱性材料37には、塗布性を向上させるための適切な溶剤が含まれている。   First, as shown in FIG. 9A, a glass substrate 31 is prepared. Next, a heat-resistant material 37 is applied or dropped onto the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. The method for applying or dropping the heat-resistant material 37 is not particularly limited, and a known method can be appropriately used. The heat resistant material 37 contains an appropriate solvent for improving the coating property.

その後、耐熱性材料37が設けられたガラス基板31を加熱し、これによって、耐熱性材料37中の溶剤を蒸発させる。この際の加熱条件は、耐熱性材料37および含まれる溶剤の特性に応じて適宜設定されるが、例えば80℃で10分間加熱するという加熱条件が設定される。   Thereafter, the glass substrate 31 provided with the heat resistant material 37 is heated, and thereby the solvent in the heat resistant material 37 is evaporated. The heating conditions at this time are set as appropriate according to the characteristics of the heat-resistant material 37 and the solvent contained. For example, a heating condition of heating at 80 ° C. for 10 minutes is set.

次に、図9(b)に示すように、ガラス基板31上の耐熱性材料37をスタンパ版60によって押圧する。これによって、耐熱性材料37に、スタンパ版60の凹部61に対応する形状が付与される。   Next, as shown in FIG. 9B, the heat resistant material 37 on the glass substrate 31 is pressed by the stamper plate 60. As a result, a shape corresponding to the concave portion 61 of the stamper plate 60 is imparted to the heat resistant material 37.

その後、図9(c)に示すように、スタンパ版60によって押圧されている耐熱性材料37に対して光を照射する。例えば紫外線Lを照射する。これによって、光酸発生剤または光塩基発生剤を含む感光性化合物が、酸性活性物質または塩基性活性物質を放出する。その後、放出された酸性活性物質または塩基性活性物質を触媒として、耐熱性材料37の硬化(加水分解重縮合)が進行する。このため、耐熱性材料37が硬化するとともに収縮し、これによって、耐熱性材料37の離型性が向上する。 Thereafter, as shown in FIG. 9C, the heat resistant material 37 pressed by the stamper plate 60 is irradiated with light. For example irradiation with ultraviolet L 2. Thereby, the photosensitive compound containing a photoacid generator or a photobase generator releases an acidic active substance or a basic active substance. Thereafter, curing (hydrolysis polycondensation) of the heat-resistant material 37 proceeds using the released acidic active substance or basic active substance as a catalyst. For this reason, the heat-resistant material 37 is cured and contracted, thereby improving the releasability of the heat-resistant material 37.

次に、耐熱性材料37からスタンパ版60を剥離させ、その後、ガラス基板31および耐熱性材料37を所定の温度で加熱して焼成する。例えば、400℃で加熱する。この結果、図9(d)に示すように、ガラス基板31上に、基底部33とモスアイ構造部34とを含む反射防止膜32が形成される。このようにして、ガラス基板31と反射防止膜32とからなる封止ガラス30が得られる。   Next, the stamper plate 60 is peeled off from the heat resistant material 37, and then the glass substrate 31 and the heat resistant material 37 are heated at a predetermined temperature and fired. For example, heating is performed at 400 ° C. As a result, as shown in FIG. 9D, the antireflection film 32 including the base portion 33 and the moth-eye structure portion 34 is formed on the glass substrate 31. Thus, the sealing glass 30 composed of the glass substrate 31 and the antireflection film 32 is obtained.

このように本実施の形態によれば、反射防止膜32を構成する材料として、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物を含む耐熱性材料37が用いられる。ここで感光性化合物は、光が照射されることにより酸性活性物質または塩基性活性物質を放出する光酸発生剤または光塩基発生剤を含んでいる。このため、スタンパ版60によって押圧されている耐熱性材料37に対して紫外線Lを照射することによって、耐熱性材料37を硬化させるとともに収縮させることができる。このことにより、スタンパ版60が耐熱性材料37から剥離されやすくなる。 As described above, according to the present embodiment, the heat-resistant material 37 containing the photosensitive compound dispersed in the siloxane resin is used as the material constituting the antireflection film 32. Here, the photosensitive compound contains a photoacid generator or a photobase generator that releases an acidic active substance or a basic active substance when irradiated with light. Therefore, by irradiating the ultraviolet rays L 2 with respect to heat-resistant material 37 that is pressed by the stamper plate 60, it can be contracted together to cure the heat-resistant material 37. As a result, the stamper plate 60 is easily peeled off from the heat resistant material 37.

(反射防止膜の形成方法の変形例)
なお図9(a)(b)(c)(d)においては、平板状のスタンパ版60によって耐熱性材料37の賦形が実施される例を示したが、これに限られることはない。例えば図10に示すように、表面にスタンパ版66が巻きつけられたロール体65を用いることにより、耐熱性材料37の賦形が実施されてもよい。
(Modification of the method of forming the antireflection film)
9A, 9B, 9C, and 9D show examples in which the heat-resistant material 37 is shaped by the flat stamper plate 60, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 10, the heat-resistant material 37 may be shaped by using a roll body 65 having a stamper plate 66 wound around the surface.

なお本実施の形態において、耐熱性材料37からスタンパ版60が剥離された後、ガラス基板31および耐熱性材料37が所定の温度で加熱され、これによって耐熱性材料37が焼成される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、耐熱性材料37の焼成が、後に行われるガラスペーストの焼成と同時に実現されてもよい。これによって、焼成工程の数を1つ削減することができる。   In the present embodiment, after the stamper plate 60 is peeled from the heat resistant material 37, the glass substrate 31 and the heat resistant material 37 are heated at a predetermined temperature, whereby the heat resistant material 37 is fired. It was. However, the present invention is not limited to this, and the baking of the heat-resistant material 37 may be realized simultaneously with the baking of the glass paste performed later. This can reduce the number of firing steps by one.

第3の実施の形態
次に図11乃至図14(a)(b)(c)(d)を参照して、本発明の第3の実施の形態について説明する。図11乃至図14(a)(b)(c)(d)に示す第3の実施の形態は、タッチパネルセンサが封止ガラスと一体に形成されている点が異なるのみであり、他の構成は、図1乃至図7(a)(b)(c)に示す第1の実施の形態と略同一である。図11乃至図14(a)(b)(c)(d)に示す第3の実施の形態において、図1乃至図7(a)(b)(c)に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
Third Embodiment Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 11 to 14 (a), (b), (c) and (d). The third embodiment shown in FIGS. 11 to 14 (a), (b), (c), and (d) is different only in that the touch panel sensor is formed integrally with the sealing glass. Is substantially the same as the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7A, 7B, and 7C. 11 to 14 (a) (b) (c) (d) in the third embodiment shown in FIGS. 1 to 7 (a) (b) (c) and the first embodiment. The same parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

(タッチパネルセンサ一体型封止ガラス)
図12は、タッチパネルセンサと一体に形成されたタッチパネルセンサ一体型の封止ガラス30Aを示す図である。また図11は、本実施の形態による封止ガラス30Aを備えた有機EL表示装置10を示す図である。図12に示すように、封止ガラス30Aは、ガラス基板31と、ガラス基板31の一側の面31a上に形成された反射防止膜32と、ガラス基板31の他側の面31b上に形成されたセンサ部50Aと、を備えている。
(Touch panel sensor integrated sealing glass)
FIG. 12 is a diagram showing a sealing glass 30A integrated with a touch panel sensor formed integrally with the touch panel sensor. Moreover, FIG. 11 is a figure which shows the organic electroluminescence display 10 provided with the sealing glass 30A by this Embodiment. As shown in FIG. 12, the sealing glass 30 </ b> A is formed on the glass substrate 31, the antireflection film 32 formed on the one surface 31 a of the glass substrate 31, and the other surface 31 b of the glass substrate 31. Sensor unit 50A.

封止ガラス30Aのセンサ部50Aは、絶縁層47Aおよび保護層49Aが、シロキサン樹脂を含む材料から構成される点が異なるのみであり、他の構成は、第1の実施の形態におけるセンサ部50と略同一である。封止ガラス30Aのセンサ部50Aにおいて、第1の実施の形態におけるセンサ部50と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   The sensor unit 50A of the sealing glass 30A is different only in that the insulating layer 47A and the protective layer 49A are made of a material containing a siloxane resin, and other configurations are the sensor unit 50 in the first embodiment. Is substantially the same. In the sensor unit 50A of the sealing glass 30A, the same parts as those of the sensor unit 50 in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態においては、上述のように、絶縁層47Aおよび保護層49Aが、シロキサン樹脂を含む材料から構成されている。このためセンサ部50Aは、ガラスペーストの焼成に耐えうる程度の耐熱性を有している。なお絶縁層47Aおよび保護層49Aの材料を構成するシロキサン樹脂は、上述の耐熱性材料36および耐熱性材料37を構成するシロキサン樹脂と同一となっていてもよく、異なっていてもよい。   In the present embodiment, as described above, the insulating layer 47A and the protective layer 49A are made of a material containing a siloxane resin. For this reason, the sensor unit 50A has heat resistance enough to withstand baking of the glass paste. The siloxane resin constituting the material of the insulating layer 47A and the protective layer 49A may be the same as or different from the siloxane resin constituting the heat resistant material 36 and the heat resistant material 37 described above.

ここで「タッチパネルセンサが封止ガラス30Aと一体に形成される」とは、図12に示されているように、封止ガラス30Aのガラス基板31が、タッチパネルセンサのセンサ部50Aを支持するための基板を兼ねていることを意味している。   Here, “the touch panel sensor is formed integrally with the sealing glass 30A” means that the glass substrate 31 of the sealing glass 30A supports the sensor unit 50A of the touch panel sensor as shown in FIG. This means that it also serves as a substrate.

(封止ガラスの形成方法)
次に図13(a)(b)(c)(d)を参照して、本実施の形態による封止ガラス30Aを形成する方法について説明する。
(Method for forming sealing glass)
Next, with reference to FIGS. 13A, 13B, 13C, and 13D, a method of forming the sealing glass 30A according to the present embodiment will be described.

はじめに図13(a)に示すように、ガラス基板31を準備する。次に、ガラス基板31の他側の面31b上に、タッチパネル機能を実現するための上述のセンサ部50Aを形成する。センサ部50Aを形成する方法としては、例えばフォトリソグラフィー法が用いられ得る。   First, as shown in FIG. 13A, a glass substrate 31 is prepared. Next, the above-described sensor unit 50A for realizing the touch panel function is formed on the other surface 31b of the glass substrate 31. As a method of forming the sensor unit 50A, for example, a photolithography method can be used.

その後、図13(b)に示すように、ガラス基板31を上下反転させ、次に、ガラス基板31の一側の面31a上に耐熱性材料36を塗布または滴下する。なお耐熱性材料36には、塗布性を向上させるための適切な溶剤が含まれている。その後、耐熱性材料36が設けられたガラス基板31を加熱し、これによって、耐熱性材料36中の溶剤を蒸発させる。この際の加熱条件は、耐熱性材料36および含まれる溶剤の特性に応じて適宜設定されるが、例えば80℃で10分間加熱するという加熱条件が設定される。   Thereafter, as shown in FIG. 13B, the glass substrate 31 is turned upside down, and then a heat resistant material 36 is applied or dropped onto the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. The heat resistant material 36 contains an appropriate solvent for improving the coating property. Thereafter, the glass substrate 31 provided with the heat resistant material 36 is heated, and thereby the solvent in the heat resistant material 36 is evaporated. The heating conditions at this time are appropriately set according to the characteristics of the heat-resistant material 36 and the solvent contained. For example, a heating condition of heating at 80 ° C. for 10 minutes is set.

次に、図13(c)に示すように、ガラス基板31上の耐熱性材料36をスタンパ版60によって押圧する。これによって、耐熱性材料36に、スタンパ版60の凹部61に対応する形状が付与される。   Next, as shown in FIG. 13C, the heat resistant material 36 on the glass substrate 31 is pressed by the stamper plate 60. As a result, a shape corresponding to the recess 61 of the stamper plate 60 is imparted to the heat resistant material 36.

次に、耐熱性材料36からスタンパ版60を剥離させ、その後、ガラス基板31および耐熱性材料36を所定の温度で加熱する。例えば、400℃で加熱する。この結果、図13(d)に示すように、ガラス基板31上に、基底部33とモスアイ構造部34とを含む反射防止膜32が形成される。このようにして、ガラス基板31と、ガラス基板31の一側の面31a上に形成された反射防止膜32と、ガラス基板31の他側の面31b上に形成されたセンサ部50Aと、からなるタッチパネルセンサ一体型の封止ガラス30Aが得られる。   Next, the stamper plate 60 is peeled from the heat resistant material 36, and then the glass substrate 31 and the heat resistant material 36 are heated at a predetermined temperature. For example, heating is performed at 400 ° C. As a result, as shown in FIG. 13D, an antireflection film 32 including a base portion 33 and a moth-eye structure portion 34 is formed on the glass substrate 31. Thus, from the glass substrate 31, the antireflection film 32 formed on the one surface 31a of the glass substrate 31, and the sensor unit 50A formed on the other surface 31b of the glass substrate 31. Thus, the sealing glass 30A integrated with the touch panel sensor is obtained.

なお上述のように、センサ部50Aは保護層49Aを含んでいる。このため、ガラス基板31を上下反転させてガラス基板31の一側の面31a上に反射防止膜32を形成する際にセンサ部50Aが損傷することを防ぐことができる。   As described above, the sensor unit 50A includes the protective layer 49A. For this reason, it is possible to prevent the sensor unit 50A from being damaged when the glass substrate 31 is turned upside down to form the antireflection film 32 on the one surface 31a of the glass substrate 31.

(有機EL表示装置の形成方法)
その後、封止部15を介して封止ガラス30Aと有機EL素子20とを組み合わせ、有機EL表示装置10を形成する。この手順は、上述の第1の実施の形態における手順と略同一であるので、詳細な説明は省略する。
(Method for forming organic EL display device)
Thereafter, the sealing glass 30 </ b> A and the organic EL element 20 are combined via the sealing portion 15 to form the organic EL display device 10. Since this procedure is substantially the same as the procedure in the first embodiment described above, detailed description is omitted.

本実施の形態によれば、タッチパネルセンサが封止ガラス30Aに一体化されている。これによって、より簡易に封止ガラス30Aにタッチパネル機能を付与することができる。また、タッチパネルセンサ40と封止ガラス30とが別体で構成される場合に比べて、タッチパネルセンサ用基板を不要にすることができる。従って、封止ガラス30Aを用いてタッチパネル機能付きの有機EL表示装置10を構成する場合、タッチパネルセンサ用基板の分だけ有機EL表示装置10の厚みおよび重量を低減することができる。   According to the present embodiment, the touch panel sensor is integrated with the sealing glass 30A. Thereby, a touch panel function can be given to sealing glass 30A more simply. Moreover, compared with the case where the touch panel sensor 40 and the sealing glass 30 are comprised separately, the board | substrate for touch panel sensors can be made unnecessary. Therefore, when the organic EL display device 10 with a touch panel function is configured using the sealing glass 30A, the thickness and weight of the organic EL display device 10 can be reduced by the amount of the touch panel sensor substrate.

また本実施の形態によれば、ガラス基板31の他側の面31bがセンサ部50Aによって覆われている。従って、ガラス基板31の他側の面31bにエアギャップが形成されることはない。このため、上述の第1の実施の形態の場合のようにガラス基板31の他側に接着層などを設けることなく、ガラス基板31の他側において光の反射が生じるのを防ぐことができる。すなわち本実施の形態によれば、封止ガラス30Aにタッチパネル機能を付与するだけでなく、同時に、ガラス基板31の他側において光の反射が生じるのを防ぐこともできる。   According to the present embodiment, the other surface 31b of the glass substrate 31 is covered with the sensor unit 50A. Accordingly, no air gap is formed on the other surface 31 b of the glass substrate 31. For this reason, it is possible to prevent light from being reflected on the other side of the glass substrate 31 without providing an adhesive layer or the like on the other side of the glass substrate 31 as in the case of the first embodiment described above. That is, according to the present embodiment, not only can the sealing glass 30A be provided with a touch panel function, but at the same time, light reflection on the other side of the glass substrate 31 can be prevented.

また、センサ部50Aとガラス基板31との間に接着層が介在されないようにすることにより、センサ部50Aの感度を向上させるとともに、光の透過率を向上させることができる。また、接着層を介して封止ガラス30とタッチパネルセンサ40とを貼り合わせる工程が不要となり、これによって、製造の工数を削減するとともに、貼り合わせの際に生じうる不具合を回避することができる。例えば、貼り合わせの際に気泡などが混入し、これによって歩留りが低下するというような懸念をなくすことができる。   Further, by preventing the adhesive layer from being interposed between the sensor unit 50A and the glass substrate 31, the sensitivity of the sensor unit 50A can be improved and the light transmittance can be improved. Moreover, the process of bonding the sealing glass 30 and the touch panel sensor 40 through the adhesive layer is not required, thereby reducing the number of manufacturing steps and avoiding problems that may occur during bonding. For example, it is possible to eliminate the concern that bubbles or the like are mixed at the time of bonding, thereby reducing the yield.

(封止ガラスの形成方法の変形例)
なお図13(a)(b)(c)(d)においては、はじめに、ガラス基板31の他側の面31b上にセンサ部50Aが形成され、その後、ガラス基板31の一側の面31a上に反射防止膜32が形成される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図14(a)(b)(c)(d)に示すように、はじめに、ガラス基板31の一側の面31a上に反射防止膜32を形成し、その後、ガラス基板31の他側の面31b上にセンサ部50Aを形成してもよい。この場合、反射防止膜32を構成する耐熱性材料36は、フォトリソグラフィー法によりセンサ部50Aを形成する際に実施されるエッチングによって損傷しないよう適宜選択される。例えば、エッチングにおいてシュウ酸を含むエッチング液やリン酸・硝酸・酢酸が混合されてなるエッチング液が用いられる場合、耐熱性材料36は、これらのエッチング液に対する耐性を有するよう選択される。
(Modification of the method for forming the sealing glass)
13A, 13 </ b> B, 13 </ b> C, and 13 </ b> D, first, the sensor unit 50 </ b> A is formed on the other surface 31 b of the glass substrate 31, and then, on the one surface 31 a of the glass substrate 31. An example in which the antireflection film 32 is formed is shown in FIG. However, the present invention is not limited to this. First, as shown in FIGS. 14A, 14B, 14C, and 14D, an antireflection film 32 is formed on the surface 31a on one side of the glass substrate 31, Thereafter, the sensor unit 50 </ b> A may be formed on the other surface 31 b of the glass substrate 31. In this case, the heat resistant material 36 constituting the antireflection film 32 is appropriately selected so as not to be damaged by the etching performed when the sensor portion 50A is formed by photolithography. For example, when an etching solution containing oxalic acid or a mixture of phosphoric acid, nitric acid, and acetic acid is used in etching, the heat-resistant material 36 is selected to have resistance to these etching solutions.

第2の比較の形態
次に、図15(a)(b)(c)(d)を参照して、本実施の形態の効果を第2の比較の形態と比較して説明する。図15(a)(b)(c)(d)に示す第2の比較の形態は、ガラス基板31上にセンサ部50および反射防止膜132が形成されるよりも前にガラス基板31の一側の面31a上に封止部15が形成される点が異なるのみであり、他の構成は、上述の本実施の形態における有機EL表示装置10の製造方法と略同一である。図15(a)(b)(c)(d)に示す第2の比較の形態において、上述の本実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
Second Comparison Mode Next, with reference to FIGS. 15A, 15B, 15C, and 15D, the effect of the present embodiment will be described in comparison with the second comparison mode. 15 (a), (b), (c), and (d), the second comparative form is the same as that of the glass substrate 31 before the sensor unit 50 and the antireflection film 132 are formed on the glass substrate 31. The only difference is that the sealing portion 15 is formed on the side surface 31a, and the other configuration is substantially the same as the method of manufacturing the organic EL display device 10 in the present embodiment described above. In the second comparison mode shown in FIGS. 15A, 15B, 15C, and 15D, the same parts as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図15(a)(b)(c)(d)は、第2の比較の形態による有機EL表示装置110を製造する方法を示す図である。   FIGS. 15A, 15B, 15C, and 15D are views showing a method of manufacturing the organic EL display device 110 according to the second comparative embodiment.

はじめに図15(a)に示すように、ガラス基板31を準備する。次に、ガラス基板31の一側の面31a上に、ガラス基板31の外縁に沿ってガラスペーストを塗布する。その後、ガラス基板31上に塗布されたガラスペーストを焼成する。この結果、図15(a)に示すように封止部15が形成される。焼成条件は、上述の本実施の形態における条件と略同一となっている。   First, as shown in FIG. 15A, a glass substrate 31 is prepared. Next, a glass paste is applied along the outer edge of the glass substrate 31 on the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. Thereafter, the glass paste applied on the glass substrate 31 is baked. As a result, the sealing portion 15 is formed as shown in FIG. The firing conditions are substantially the same as those in the present embodiment described above.

次に図15(b)に示すように、ガラス基板31の一側の面31a上に、反射防止膜を構成するための材料を塗布する。なお第2の比較の形態においては、上述のように既にガラスペーストの焼成が実施されている。このため、上述の本実施の形態の場合とは異なり、反射防止膜を構成するための材料は、ガラスペーストの焼成に耐えうる耐熱性を有していなくてもよい。従って第2の比較の形態においては、上述の第1の比較の形態の場合と同様に、ガラス基板31上に非耐熱性材料136が塗布される。なお非耐熱性材料136には、塗布性を向上させるための適切な溶剤が含まれている。その後、非耐熱性材料136が設けられたガラス基板31を加熱し、これによって、非耐熱性材料136中の溶剤を蒸発させる。   Next, as shown in FIG. 15 (b), a material for forming an antireflection film is applied on the surface 31 a on one side of the glass substrate 31. In the second comparative embodiment, the glass paste is already fired as described above. For this reason, unlike the case of this Embodiment mentioned above, the material for comprising an antireflection film does not need to have the heat resistance which can endure baking of a glass paste. Therefore, in the second comparative embodiment, the non-heat resistant material 136 is applied on the glass substrate 31 as in the case of the first comparative embodiment described above. Note that the non-heat resistant material 136 contains an appropriate solvent for improving the coating property. Thereafter, the glass substrate 31 provided with the non-heat resistant material 136 is heated, and thereby the solvent in the non-heat resistant material 136 is evaporated.

次に、ガラス基板31上の非耐熱性材料136をスタンパ版160によって押圧する。これによって、非耐熱性材料136に、スタンパ版160の凹部61に対応する形状が付与される。次に、非耐熱性材料136からスタンパ版160を剥離させ、その後、ガラス基板31および耐熱性材料136を所定の温度で加熱する。この結果、ガラス基板31上に反射防止膜132が形成される。なお、ガラス基板31および非耐熱性材料136の加熱温度は、本実施の形態における耐熱性材料36の加熱温度、例えば400℃よりも低くなっている。   Next, the non-heat resistant material 136 on the glass substrate 31 is pressed by the stamper plate 160. As a result, a shape corresponding to the recess 61 of the stamper plate 160 is given to the non-heat resistant material 136. Next, the stamper plate 160 is peeled from the non-heat resistant material 136, and then the glass substrate 31 and the heat resistant material 136 are heated at a predetermined temperature. As a result, an antireflection film 132 is formed on the glass substrate 31. In addition, the heating temperature of the glass substrate 31 and the non-heat resistant material 136 is lower than the heating temperature of the heat resistant material 36 in this Embodiment, for example, 400 degreeC.

その後、図15(c)に示すように、ガラス基板31を上下反転させ、そして、ガラス基板31の他側の面31b上に、タッチパネル機能を実現するためのセンサ部50を形成する。これによって、タッチパネルセンサ一体型の封止ガラス130Aが得られる。なお第2の比較の形態においては、上述のように既にガラスペーストの焼成が実施されている。このため、上述の本実施の形態の場合とは異なり、センサ部50の絶縁層47および保護層49は、ガラスペーストの焼成に耐えうる耐熱性を有していなくてもよい。   Thereafter, as shown in FIG. 15C, the glass substrate 31 is turned upside down, and the sensor unit 50 for realizing the touch panel function is formed on the other surface 31 b of the glass substrate 31. Thereby, the sealing glass 130A integrated with the touch panel sensor is obtained. In the second comparative embodiment, the glass paste is already fired as described above. For this reason, unlike the case of the above-described embodiment, the insulating layer 47 and the protective layer 49 of the sensor unit 50 do not have to have heat resistance that can withstand firing of the glass paste.

その後、図15(d)に示すように、封止部15を介して封止ガラス130Aと有機EL素子20とを組み合わせ、有機EL表示装置110を形成する。   Thereafter, as shown in FIG. 15D, the organic EL display device 110 is formed by combining the sealing glass 130 </ b> A and the organic EL element 20 through the sealing portion 15.

ところで第2の比較の形態においては、上述のように、スタンパ版160を用いた賦形の際に既にガラス基板31の一側の面31a上に封止部15が形成されている。このため、非耐熱性材料136を押圧する際に封止部15に接触しないようスタンパ版160を構成する必要がある。また、スタンパ版160によって非耐熱性材料136を押圧する際、スタンパ版160が封止部15に接触しないようスタンパ版160を精密に操作する必要がある。   By the way, in the 2nd comparison form, as mentioned above, the sealing part 15 is already formed on the surface 31a of the one side of the glass substrate 31 in the shaping using the stamper plate 160. For this reason, it is necessary to configure the stamper plate 160 so as not to contact the sealing portion 15 when the non-heat resistant material 136 is pressed. Further, when the non-heat resistant material 136 is pressed by the stamper plate 160, it is necessary to precisely operate the stamper plate 160 so that the stamper plate 160 does not contact the sealing portion 15.

また第2の比較の形態においては、上述のように、ガラス基板31の他側の面31b上にセンサ部50を形成する際、既にガラス基板31の一側の面31a上に封止部15が形成されている。このため、フォトリソグラフィー法によりガラス基板31の他側の面31b上にセンサ部50を形成する工程が困難になると考えられる。   In the second comparative embodiment, as described above, when the sensor unit 50 is formed on the other surface 31 b of the glass substrate 31, the sealing portion 15 has already been formed on the one surface 31 a of the glass substrate 31. Is formed. For this reason, it is considered that the process of forming the sensor unit 50 on the other surface 31b of the glass substrate 31 by the photolithography method becomes difficult.

これに対して本実施の形態によれば、上述のように、ガラス基板31上に反射防止膜32およびセンサ部50Aを形成する際、封止部15がまだ形成されていない。このため、図13(b)または図14(b)に示すように、ガラス基板31の一側の面31aの全域にわたって広がるスタンパ版60を用いることができる。また、スタンパ60によって耐熱性材料36を押圧する際、スタンパ版60が封止部15に接触するという懸念がない。このため本実施の形態によれば、より簡易にスタンパ版60による賦形を実施することができる。   In contrast, according to the present embodiment, as described above, when the antireflection film 32 and the sensor unit 50A are formed on the glass substrate 31, the sealing unit 15 is not yet formed. For this reason, as shown in FIG.13 (b) or FIG.14 (b), the stamper plate 60 extended over the whole surface 31a of the one side of the glass substrate 31 can be used. Further, when the heat resistant material 36 is pressed by the stamper 60, there is no concern that the stamper plate 60 contacts the sealing portion 15. For this reason, according to this Embodiment, the shaping by the stamper plate 60 can be implemented more simply.

また本実施の形態によれば、絶縁層47Aおよび保護層49Aが、シロキサン樹脂を含む材料から構成されている。このためセンサ部50Aは、ガラスペーストの焼成に耐えうる程度の耐熱性を有している。このことにより、ガラス基板31の一側の面31a上に封止部15を形成するよりも前に、ガラス基板31の他側の面31b上にセンサ部50Aを形成することが可能となっている。   Further, according to the present embodiment, the insulating layer 47A and the protective layer 49A are made of a material containing a siloxane resin. For this reason, the sensor unit 50A has heat resistance enough to withstand baking of the glass paste. Thus, the sensor unit 50A can be formed on the other surface 31b of the glass substrate 31 before the sealing portion 15 is formed on the one surface 31a of the glass substrate 31. Yes.

なお本実施の形態において、反射防止膜32が耐熱性材料36から構成される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、上述の第2の実施の形態の場合と同様に、反射防止膜32が、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物を含む耐熱性材料37から構成されていてもよい。   In the present embodiment, the example in which the antireflection film 32 is made of the heat resistant material 36 is shown. However, the present invention is not limited to this, and as in the case of the second embodiment described above, the antireflection film 32 is made of a heat resistant material 37 containing a photosensitive compound dispersed in a siloxane resin. May be.

また上述の各実施の形態において、ガラスフリットを含むガラスペーストの焼成が430℃で実施され、そして反射防止膜32を構成する耐熱性材料が430℃に耐えうる程度の耐熱性を有している例を示した。しかしながら、ガラスペーストの焼成が実施される温度が430℃に限られることはなく、用いられるガラスフリットの特性に応じて、少なくとも400℃以上の様々な温度で焼成され得る。また反射防止膜32を構成する耐熱性材料の耐熱性が、430℃に耐えうる程度の耐熱性に限られることはなく、ガラスフリットを含むガラスペーストの焼成温度に応じて、反射防止膜32を構成する耐熱性材料の耐熱性が設計され得る。   In each of the above-described embodiments, the glass paste containing glass frit is fired at 430 ° C., and the heat-resistant material constituting the antireflection film 32 has heat resistance enough to withstand 430 ° C. An example is shown. However, the temperature at which the glass paste is fired is not limited to 430 ° C., and can be fired at various temperatures of at least 400 ° C. or more depending on the characteristics of the glass frit used. Further, the heat resistance of the heat-resistant material constituting the antireflection film 32 is not limited to the heat resistance that can withstand 430 ° C., and the antireflection film 32 is formed according to the firing temperature of the glass paste containing glass frit. The heat resistance of the refractory material to be constructed can be designed.

また上述の各実施の形態において、ガラス基板31上に設けられた耐熱性材料の賦形が枚葉で実施される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、はじめに一方向に連続的に延びるガラスシートを準備し、このガラスシート上に耐熱性材料を連続的に設け、その後、スタンパ版が巻きつけられたロール体を用いることによって耐熱性材料の賦形を連続的に実施してもよい。これによって、ガラスシート上に連続的に反射防止膜が形成される。その後、反射防止膜が形成されたガラスシートを所定の寸法に切断することにより、ガラス基板と、ガラス基板上に軽視された反射防止膜と、を備えた封止ガラスが得られる。ガラスシートの厚みは特には限られないが、例えば約100μmとなっている。   Moreover, in each above-mentioned embodiment, the example in which the shaping of the heat resistant material provided on the glass substrate 31 was implemented with the sheet | seat was shown. However, the present invention is not limited to this. First, a glass sheet continuously extending in one direction is prepared, a heat-resistant material is continuously provided on the glass sheet, and then a roll body around which a stamper plate is wound is prepared. By using it, the heat-resistant material may be shaped continuously. Thereby, an antireflection film is continuously formed on the glass sheet. Thereafter, the glass sheet on which the antireflection film is formed is cut into a predetermined size, thereby obtaining a sealing glass including the glass substrate and the antireflection film that is neglected on the glass substrate. The thickness of the glass sheet is not particularly limited, but is about 100 μm, for example.

10 有機EL表示装置
15 封止部
20 有機EL素子
21 陽極
22 有機発光層
23 陰極
24 有機EL層
27 有機EL用基板
30,30A 封止ガラス
31 ガラス基板
32 反射防止膜
33 基底部
34 モスアイ構造部
35 凸部
36 耐熱性材料
37 耐熱性材料
40 タッチパネルセンサ
41 x透明導電パターン
41a x電極単位
41b x接続部
42 y透明導電パターン
42a x電極単位
42b x接続部
43 取出配線
44 取出配線
45 端子部
46 タッチパネルセンサ用基板
47,47A 絶縁層
49,49A 保護層
50,50A センサ部
60 スタンパ版
61 凹部
65 ロール体
66 スタンパ版
70 円偏光板
71 偏光板
72 位相板
75 強化ガラス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Organic EL display device 15 Sealing part 20 Organic EL element 21 Anode 22 Organic light emitting layer 23 Cathode 24 Organic EL layer 27 Organic EL substrate 30, 30A Sealing glass 31 Glass substrate 32 Antireflection film 33 Base part 34 Mosaic structure part 35 convex part 36 heat-resistant material 37 heat-resistant material 40 touch panel sensor 41 x transparent conductive pattern 41a x electrode unit 41b x connecting part 42 y transparent conductive pattern 42a x electrode unit 42b x connecting part 43 lead-out wiring 44 lead-out wiring 45 terminal part 46 Touch panel sensor substrate 47, 47A Insulating layer 49, 49A Protective layer 50, 50A Sensor portion 60 Stamper plate 61 Recess 65 Roll body 66 Stamper plate 70 Circularly polarizing plate 71 Polarizing plate 72 Phase plate 75 Tempered glass

Claims (11)

有機EL表示装置で用いられる封止ガラスにおいて、
ガラス基板と、
前記ガラス基板の一側の面上に形成され、耐熱性材料からなる反射防止膜と、を備え、
前記反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有し、
前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含むことを特徴とする封止ガラス。
In the sealing glass used in the organic EL display device,
A glass substrate;
An antireflection film formed on one surface of the glass substrate and made of a heat-resistant material,
The antireflection film has a moth-eye structure portion having an uneven shape,
The sealing glass, wherein the heat-resistant material contains a siloxane resin.
前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物をさらに含み、
前記感光性化合物は、光酸発生剤または光塩基発生剤を含むことを特徴とする請求項1に記載の封止ガラス。
The heat resistant material further includes a photosensitive compound dispersed in a siloxane resin,
The sealing glass according to claim 1, wherein the photosensitive compound contains a photoacid generator or a photobase generator.
前記ガラス基板の他側に設けられ、導電体の接近を感知するセンサ部をさらに備え、
前記センサ部は、前記ガラス基板の他側の面上に形成され、導電性および透明性を有する透明導電パターンを有することを特徴とする請求項1または2に記載の封止ガラス。
A sensor unit that is provided on the other side of the glass substrate and senses the approach of a conductor;
3. The sealing glass according to claim 1, wherein the sensor unit has a transparent conductive pattern that is formed on the other surface of the glass substrate and has conductivity and transparency.
前記センサ部は、前記透明導電パターンを覆う保護層をさらに有し、
前記保護層は、シロキサン樹脂を含む材料から構成されることを特徴とする請求項3に記載の封止ガラス。
The sensor unit further includes a protective layer covering the transparent conductive pattern,
The sealing glass according to claim 3, wherein the protective layer is made of a material containing a siloxane resin.
前記ガラス基板の外縁に沿って前記ガラス基板の一側の面上に形成された封止部をさらに備え、
前記封止部は、ガラスフリットから構成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の封止ガラス。
A sealing part formed on the surface of one side of the glass substrate along the outer edge of the glass substrate;
The sealing glass according to claim 1, wherein the sealing portion is made of glass frit.
有機EL素子と、
前記有機EL素子に対向するよう設けられた封止ガラスと、を備え、
前記有機EL素子は、有機EL用基板と、前記有機EL用基板上に設けられ、陽極と、陰極と、陽極と陰極の間に設けられた有機発光層とを含む有機EL層と、を有し、
前記封止ガラスは、ガラス基板と、前記ガラス基板の前記有機EL素子側の面上に形成され、耐熱性材料からなる反射防止膜と、前記ガラス基板の外縁に沿って前記ガラス前記有機EL素子側の面上に形成された封止部と、を有し、
前記反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有し、
前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含み、
前記封止部は、ガラスフリットを含むことを特徴とする有機EL表示装置。
An organic EL element;
Sealing glass provided to face the organic EL element,
The organic EL element includes an organic EL substrate, an organic EL layer provided on the organic EL substrate, and including an anode, a cathode, and an organic light emitting layer provided between the anode and the cathode. And
The sealing glass is formed on a glass substrate, a surface of the glass substrate on the organic EL element side, an antireflection film made of a heat-resistant material, and the glass the organic EL element along an outer edge of the glass substrate. A sealing portion formed on the side surface,
The antireflection film has a moth-eye structure portion having an uneven shape,
The heat resistant material includes a siloxane resin,
The organic EL display device, wherein the sealing portion includes glass frit.
前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂中に分散された感光性化合物をさらに含み、
前記感光性化合物は、光酸発生剤または光塩基発生剤を含むことを特徴とする請求項6に記載の有機EL表示装置。
The heat resistant material further includes a photosensitive compound dispersed in a siloxane resin,
The organic EL display device according to claim 6, wherein the photosensitive compound includes a photoacid generator or a photobase generator.
前記封止ガラスは、前記ガラス基板の有機EL素子側とは反対の側に設けられ、導電体の接近を感知するセンサ部をさらに有し、
前記センサ部は、前記ガラス基板の有機EL素子側とは反対の側の面上に形成され、導電性および透明性を有する透明導電パターンを有することを特徴とする請求項6または7に記載の有機EL表示装置。
The sealing glass is provided on a side opposite to the organic EL element side of the glass substrate, and further includes a sensor unit that senses the approach of the conductor,
The said sensor part is formed on the surface on the opposite side to the organic EL element side of the said glass substrate, and has a transparent conductive pattern which has electroconductivity and transparency, The Claim 6 or 7 characterized by the above-mentioned. Organic EL display device.
前記センサ部は、前記透明導電パターンを覆う保護層をさらに有し、
前記保護層は、シロキサン樹脂を含む材料から構成されることを特徴とする請求項8に記載の有機EL表示装置。
The sensor unit further includes a protective layer covering the transparent conductive pattern,
The organic EL display device according to claim 8, wherein the protective layer is made of a material containing a siloxane resin.
有機EL素子を備えた有機EL表示装置の製造方法において、
ガラス基板を準備する工程と、
前記ガラス基板の一側の面上に耐熱性材料からなる反射防止膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の外縁に沿って前記ガラス基板の一側の面上にガラスフリットを設ける工程と、
前記ガラスフリットを少なくとも400℃以上の温度で焼成して、ガラスフリットからなる封止部を形成する工程と、
前記有機EL素子を前記ガラス基板の一側に配置する工程と、
前記封止部を溶融させ、これによって前記ガラス基板と前記有機EL素子との間を封止する工程と、を備え、
前記反射防止膜は、凹凸形状からなるモスアイ構造部を有し、
前記耐熱性材料は、シロキサン樹脂を含むことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。
In a method for manufacturing an organic EL display device including an organic EL element,
Preparing a glass substrate;
Forming an antireflection film made of a heat-resistant material on one surface of the glass substrate;
Providing a glass frit on a surface of one side of the glass substrate along an outer edge of the glass substrate;
Baking the glass frit at a temperature of at least 400 ° C. to form a sealing portion made of glass frit;
Arranging the organic EL element on one side of the glass substrate;
Melting the sealing portion, thereby sealing between the glass substrate and the organic EL element,
The antireflection film has a moth-eye structure portion having an uneven shape,
The method for manufacturing an organic EL display device, wherein the heat-resistant material contains a siloxane resin.
前記ガラス基板の一側の面上に前記封止部が形成される前に、前記ガラス基板の他側に、導電体の接近を感知するセンサ部が設けられ、
前記センサ部は、前記ガラス基板の他側の面上に形成され、導電性および透明性を有する透明導電パターンと、前記透明導電パターンを覆う保護層と、を有し、
前記保護層は、シロキサン樹脂を含む材料から構成されることを特徴とする請求項10に記載の有機EL表示装置の製造方法。
Before the sealing part is formed on the surface of one side of the glass substrate, a sensor part for detecting the approach of the conductor is provided on the other side of the glass substrate,
The sensor unit is formed on the other surface of the glass substrate, and has a conductive conductive and transparent transparent conductive pattern, and a protective layer covering the transparent conductive pattern,
The method for manufacturing an organic EL display device according to claim 10, wherein the protective layer is made of a material containing a siloxane resin.
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