JP2008192834A - 露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法 - Google Patents
露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008192834A JP2008192834A JP2007025865A JP2007025865A JP2008192834A JP 2008192834 A JP2008192834 A JP 2008192834A JP 2007025865 A JP2007025865 A JP 2007025865A JP 2007025865 A JP2007025865 A JP 2007025865A JP 2008192834 A JP2008192834 A JP 2008192834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- flare
- exposure apparatus
- monitor
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【課題】露光装置のフレアを正確に測定することができ、メンテナンス効率の向上をはかる。
【解決手段】フォトマスクの像を基板上に投影する露光装置のフレアの測定方法であって、基板上にフォトマスク上のモニタパターンを露光することにより、第1のパターンを形成するステップ(S1,S3)と、基板上の前記第1のパターンを形成する領域とは異なる領域又は別の基板上に、フォトマスク上のモニタパターン及び遮光パターンを同一位置に露光することにより、第2のパターンを形成するステップ(S2,S3)と、第1のパターンの寸法と第2のパターンの寸法をそれぞれ計測し(S4)、これらの寸法差を求めるステップ(S5)とを含む。
【選択図】 図1
【解決手段】フォトマスクの像を基板上に投影する露光装置のフレアの測定方法であって、基板上にフォトマスク上のモニタパターンを露光することにより、第1のパターンを形成するステップ(S1,S3)と、基板上の前記第1のパターンを形成する領域とは異なる領域又は別の基板上に、フォトマスク上のモニタパターン及び遮光パターンを同一位置に露光することにより、第2のパターンを形成するステップ(S2,S3)と、第1のパターンの寸法と第2のパターンの寸法をそれぞれ計測し(S4)、これらの寸法差を求めるステップ(S5)とを含む。
【選択図】 図1
Description
本発明は、露光装置のメンテナンスのために露光装置のフレアを測定する方法、更には測定されたフレアの情報を基に露光装置を管理する方法に関する。
従来、半導体基板上にLSIパターンを形成するものとして、露光用マスクのパターンを投影レンズにより基板上に縮小転写する露光装置が用いられている。この種の露光装置において発生するフレアとしては、マスクパターンと相関のある分布を示すフレア(ミッドレンジフレア)と、マスクパターンの微細構造とはあまり相関がなく、マスク全体の被覆率と関係するフレア(ロングレンジフレア)が存在する。このうち後者は、投影レンズ表面が汚れることによって増大することが知られている。レンズ表面の汚染は、ウェーハ処理枚数と関係があるから、フレアを定期的に計測し、フレアが所定値を超えた場合にレンズを清掃するなどの処置がとられる。
ロングレンジフレアの計測方法としては、例えば(非特許文献1)に記載された方法が一般的に使われている。この方法では、マスクパターンとして1辺100μm程度の正方形(寸法はウェーハ上スケール)の遮光パターンを用い、このパターンをポジ型レジスト膜上に露光する。通常の露光量程度では正方形のレジストパターン(残しパターン)が形成されるが、通常より高い露光量で露光を行うと、フレアの影響によりレジストパターンが消失する。この残しパターンが消失する最小の露光量Eと、大きな透過パターン領域を露光した際のレジストが消失する最小の露光量Ethとの比率R=Eth/Eがフレアの大きさを表している。従って、EとEthを求めることによりフレアを計測することができる。
しかしながら、この種の方法にあっては次のような問題があって。即ち、残しパターンの消失は光学顕微鏡を用いて、作業者の視覚により判断する。このとき、膜の色の変化で判断することになるが、膜厚変化に対して膜の色の変化が小さい場合があるため、誤りを生じやすい。特に、作業者間で計測の結果がばらつきやすいという問題があった。
J. P. Kirk, Proc. SPIE Vol.2197 (1994) pp.566-572
J. P. Kirk, Proc. SPIE Vol.2197 (1994) pp.566-572
このように従来、露光装置のフレアを測定する場合、作業者の目視により判定しているため、測定にバラツキが生じる問題があった。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、露光装置のフレアを正確に測定することができ、メンテナンス効率の向上をはかり得る露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法を提供することにある。
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
即ち、本発明の一態様は、フォトマスクの像を試料基板上に投影する露光装置のフレアを測定する方法であって、フレア測定用基板上にフォトマスク上のモニタパターンを露光することにより、第1のパターンを形成するステップと、前記フレア測定用基板上の前記第1のパターンを形成する領域とは異なる領域又は別の基板上に、前記フォトマスク上のモニタパターン及び遮光パターンを同一位置に露光することにより、第2のパターンを形成するステップと、前記第1のパターンの寸法と前記第2のパターンの寸法をそれぞれ計測し、これらの寸法差を求めるステップと、を含むことを特徴とする。
また、本発明の別の一態様は、フォトマスクの像を投影レンズを介して試料基板上に投影する露光装置に対し、フレアの量に基づくメンテナンスを行う露光装置の管理方法であって、フレア測定用基板上にフォトマスク上のモニタパターンを露光することにより、第1のパターンを形成するステップと、前記フレア測定用基板上の前記第1のパターンを形成する領域とは異なる領域又は別の基板上に、前記フォトマスク上のモニタパターン及び遮光パターンを同一位置に露光することにより、第2のパターンを形成するステップと、前記第1のパターンの寸法と前記第2のパターンの寸法をそれぞれ計測し、これらの寸法差を求めるステップと、上記各ステップを定期的に行い、前記寸法差を所定の管理値と比較し、前記寸法差が前記管理値を上回った場合は、前記露光装置の投影レンズのメンテナンスを行うステップと、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、フレア測定のための残しパターンの消失ではなく、フレア測定のための第1及び第2のパターンの寸法差からフレアを測定しているため、露光装置のフレアを正確に測定することができ、メンテナンス効率の向上をはかることができる。
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
(実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる露光装置のフレア測定方法を説明するためのフローチャートである。
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる露光装置のフレア測定方法を説明するためのフローチャートである。
フレア測定の前に、図2及び図3に示すようなフレア測定のためにフォトマスクを用意する。図2は、本発明の第1の実施形態に使用したフレア測定用マスクを示す平面図であり、図3(a)は図2の矢視A−A’断面図、図3(b)は図2の矢視B−B’断面図である。
露光光に対して透明な石英基板1上にクロム等の遮光膜2が設けられ、この遮光膜2を選択的に除去することにより、上半分にモニタパターン11が形成され、下半分に遮光パターン12が形成されている。モニタパターン11は、所定のピッチ及びデューティ比を持つ、例えばハーフピッチ65nmのラインアンドスペースパターン(以下L/Sと表記)である。L/Sの存在領域は、例えば10μm四方の正方形領域とする。遮光パターン12は、例えば500μm四方の正方形領域である。
上記のマスクを用い、まず、ウェーハ上のレジストにモニタパターン11を複数の領域にそれぞれ露光した(ステップS1)。フォーカス設定はベストフォーカス条件で、レジスト上でライン:スペースが1:1となるような露光量で露光する。同一ウェーハ上の異なる2箇所、又は異なるウェーハ上に、同じ条件でそれぞれ露光する。同一ウェーハ上の場合、露光領域は互いに重ならないようにする。
図4は同一ウェーハ上に露光する場合の例であり、例えばウェーハの上半分に位置する第1の領域21と下半分に位置する第2の領域22にそれぞれ1つずつモニタパターン11を露光する。より精度を高めるために、上半分の領域と下半分の領域のそれぞれに複数個ずつモニタパターン11を露光するようにしても良い。なお、上記のマスクとしては、フレア測定用に用意された専用のマスクを用いるのが最も簡単であるが、デバイスパターン形成用のマスクの一部を利用することも可能である。
次いで、先にモニタパターン11を露光した領域の一方(第2の領域)22を覆うように、遮光パターン12を重ねて二重露光する(ステップS2)。露光量は予め定められた露光量とする。
次いで、ウェーハを現像し、レジストパターンを形成する(ステップS3)。レジストパターンには、図5(a)に示すように、遮光パターン12の露光が行われていない第1のパターン31と、図5(b)に示すように、遮光パターン12の露光が行われた第2のパターン32の二種類が存在する。即ち、第1の領域21には、モニタパターン11のみの露光により第1のパターン31が形成され、第2の領域22には、モニタパターン11及び遮光パターン12の二重露光による第2のパターン32が形成される。このとき、第2のパターン32のライン幅は第1のパターン31のそれよりも細くなっている。
次いで、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、第1のパターン31と第2のパターン32のそれぞれのライン寸法を計測する(ステップS4)。
次いで、計測された第1のパターン31の寸法と第2のパターン32の寸法との差を計算する(ステップS5)。この寸法差がフレアの量に相当するものである。
露光装置に対し、上記のステップS1〜S5を定期的、例えば1日に1回実施し、第1のパターン31と第2のパターン32との寸法差の経時変化を管理する。寸法差が所定値を超えたら、露光装置のフレアが許容範囲を超えたと判断し、例えば露光装置レンズの表面を洗浄するなどの作業を行う。
ここで、ステップS2では、第2の領域22のL/Sの形成領域は、マスク上の遮光パターン12により露光光が遮られるはずであるが、フレア光は到達する。従って、フレアの大きさとステップS4で計測される寸法差には相関がある。シミュレーションなどを利用して寸法差とフレアとの関係を調べ、フレアの上限から寸法差の限界を求めておけば、実際の測定値からフレアの低減対策が必要か否かを判断することができる。
このように本実施形態によれば、モニタパターン11のみの露光により得られる第1のパターン31と、モニタパターン11及び遮光パターン12の二重露光により得られる第2のパターン32との寸法差を計算することによって、露光装置のフレアを測定することができる。そしてこの場合、作業者の目視に頼らず、検査装置(SEM)を使用することによって、精度の高いフレアモニタが可能である。このため、露光装置メンテナンス効率の向上をはかることができる。
(変形例)
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態では、レジストを現像して得られるレジストパターンから寸法差の測定を行ったが、現像前の潜像パターンから寸法差の測定を行うことも可能である。即ち、SEMの代わりに、例えば文献2(特開2004−158478号公報)に記載されているような光学的スキャトロメトリ装置を使用することもできる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態では、レジストを現像して得られるレジストパターンから寸法差の測定を行ったが、現像前の潜像パターンから寸法差の測定を行うことも可能である。即ち、SEMの代わりに、例えば文献2(特開2004−158478号公報)に記載されているような光学的スキャトロメトリ装置を使用することもできる。
また、モニタパターンは必ずしもL/Sに限るものではなく、別のパターンを使用することもできる。例えば、文献3(特許2530080号公報)に記載されているような、電気抵抗計測用パターンを使用する。この場合に寸法計測されるパターンは孤立ラインであり、フレアによって孤立ライン寸法の変化量を計測する。但し、この方法では酸化膜、導電膜の形成が必要である。
また、モニタパターンとして露光量によって寸法が変化する露光量モニタパターンを用いることも可能である。例えば、文献4(特開2000−310850号公報)に記載されているような、実効露光量計測マーク(ドーズメータ)パターンを配置する。ドーズメータパターンは露光量に依存して長さが変化するマークであり、光学式の計測装置(例えば、ニコン社製重ね合わせ測定機:NRM−1000A)を用いて計測できる。この方法では、ドーズメータパターンの寸法はフォーカス誤差の影響を受けないので、条件出しを省略できるという利点がある。
また、実施形態では、第1のパターンと第2のパターンを同一ウェーハの異なる領域に形成したが、異なるウェーハ上にそれぞれ形成するようにしても良い。さらに、モニタパターンと遮光パターンは必ずしも同じフォトマスクに形成されたものである必要はなく、別のフォトマスクに形成されたものであっても良い。また、露光装置はArFエキシマレーザ光を用いたものに限るものではなく、i線(波長365nm)、KrFエキシマレーザ光(波長248nm)、EUV光(波長13〜14nm)、X線を用いた露光装置にも適用することができる。EUV光を用いる露光装置では一般には反射型フォトマスクが使用されるが、透過型フォトマスクを使用する場合と同様の方法で計測を行うことができる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
1…石英基板
2…遮光膜
11…モニタパターン
12…遮光パターン
21…第1の領域
22…第2の領域
31…第1のパターン
32…第2のパターン
2…遮光膜
11…モニタパターン
12…遮光パターン
21…第1の領域
22…第2の領域
31…第1のパターン
32…第2のパターン
Claims (5)
- フォトマスクの像を試料基板上に投影する露光装置のフレアを測定する方法であって、
フレア測定用基板上にフォトマスク上のモニタパターンを露光することにより、第1のパターンを形成するステップと、
前記フレア測定用基板上の前記第1のパターンを形成する領域とは異なる領域又は別の基板上に、前記フォトマスク上のモニタパターン及び遮光パターンを同一位置に露光することにより、第2のパターンを形成するステップと、
前記第1のパターンの寸法と前記第2のパターンの寸法をそれぞれ計測し、これらの寸法差を求めるステップと、
を含むことを特徴とする露光装置のフレア測定方法。 - 前記モニタパターンは、ラインアンドスペースパターンであることを特徴とする請求項1記載の露光装置のフレア測定方法。
- 前記モニタパターンは、露光量によって寸法が変化する露光量モニタパターンであることを特徴とする請求項1記載の露光装置のフレア測定方法。
- 前記モニタパターン及び遮光パターンは前記フレア測定用基板上のレジストに露光されるものであり、前記レジストの現像前の潜像パターン、又は前記レジストを現像した後のレジストパターンから前記第1のパターンの寸法と前記第2のパターンの寸法をそれぞれ計測することを特徴とする請求項1記載の露光装置のフレア測定方法。
- フォトマスクの像を投影レンズを介して試料基板上に投影する露光装置に対し、フレアの量に基づくメンテナンスを行う露光装置の管理方法であって、
フレア測定用基板上にフォトマスク上のモニタパターンを露光することにより、第1のパターンを形成するステップと、
前記フレア測定用基板上の前記第1のパターンを形成する領域とは異なる領域又は別の基板上に、前記フォトマスク上のモニタパターン及び遮光パターンを同一位置に露光することにより、第2のパターンを形成するステップと、
前記第1のパターンの寸法と前記第2のパターンの寸法をそれぞれ計測し、これらの寸法差を求めるステップと、
上記各ステップを定期的に行い、前記寸法差を所定の管理値と比較し、前記寸法差が前記管理値を上回った場合に前記露光装置の投影レンズのメンテナンスを行うステップと、
を含むことを特徴とする露光装置の管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007025865A JP2008192834A (ja) | 2007-02-05 | 2007-02-05 | 露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007025865A JP2008192834A (ja) | 2007-02-05 | 2007-02-05 | 露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008192834A true JP2008192834A (ja) | 2008-08-21 |
Family
ID=39752653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007025865A Pending JP2008192834A (ja) | 2007-02-05 | 2007-02-05 | 露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008192834A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010205895A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Nikon Corp | フレア計測方法及び露光方法 |
-
2007
- 2007-02-05 JP JP2007025865A patent/JP2008192834A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010205895A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Nikon Corp | フレア計測方法及び露光方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100714480B1 (ko) | 포토마스크의 테스트 패턴 이미지로부터 인쇄된 테스트피쳐들을 이용하는 포토리소그래피 공정에 있어서 초점변화를 측정하는 시스템 및 방법 | |
KR100763222B1 (ko) | 향상된 포토리소그래피 공정 윈도우를 제공하는 포토마스크구조 및 그 제조 방법 | |
US7327436B2 (en) | Method for evaluating a local flare, correction method for a mask pattern, manufacturing method for a semiconductor device and a computer program product | |
US7655369B2 (en) | Reticle set, method for designing a reticle set, exposure monitoring method, inspection method for reticle set and manufacturing method for a semiconductor device | |
US7368208B1 (en) | Measuring phase errors on phase shift masks | |
US20070259280A1 (en) | Photomask, exposure control method and method of manufacturing a semiconductor device | |
US6562639B1 (en) | Utilizing electrical performance data to predict CD variations across stepper field | |
JP2008096973A (ja) | リソグラフィプロセスのための計測システムおよび計測方法 | |
TW464946B (en) | Method and apparatus for measuring positional shift/distortion by aberration | |
KR100551149B1 (ko) | 레지스트 감도의 평가 방법 및 레지스트의 제조 방법 | |
US7279258B2 (en) | Method and arrangement for controlling focus parameters of an exposure tool | |
US6556286B1 (en) | Inspection system for the pupil of a lithographic tool | |
EP1256846A2 (en) | Optical proximity correction | |
TWI752647B (zh) | 用於推斷例如聚焦之處理參數之方法與相關聯之設備及製造方法 | |
JP2008192834A (ja) | 露光装置のフレア測定方法と露光装置の管理方法 | |
JP2009094265A (ja) | マーク位置検出方法および装置 | |
JP5025236B2 (ja) | 露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 | |
JP7299406B2 (ja) | メトロロジにおける補正不能誤差 | |
Webb et al. | Comparison of measured and modeled lithographic process capabilities for 2.5 D and 3D applications using a step and repeat camera | |
US20130309869A1 (en) | Lithography mask and method of manufacturing semiconductor device | |
KR20220132634A (ko) | 국부 균일성 메트릭을 추론하는 방법 | |
JP2006120661A (ja) | 投影露光装置及び投影露光装置の検査方法 | |
JP2010062479A (ja) | 露光装置およびデバイス製造方法 |