JP2008191373A - Discharge pattern generating apparatus and method, color filter, and method of manufacturing organic functional element - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a discharge pattern generating apparatus capable of manufacturing a high grade color filter or an organic functional element without causing density unevenness to degrade the quality due to the variation of the discharge in each nozzle. <P>SOLUTION: The discharge pattern generating apparatus for forming a pixel on a substrate by discharging ink on an opening of a pattern on the substrate from a plurality of nozzles has the nozzle, a means for selecting the effective nozzle from parameter information of the substrate and a means for fixing the increase or decrease number of drops of the ink discharged from the effective nozzle using random numbers. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、高精細なパターンを吐出するための吐出パターンの生成方法及び吐出装置に関するものであり、特に隔壁パターンに対し一定量の液滴を吐出させるために適したインクジェット吐出装置に関する。 The present invention relates to an ejection pattern generation method and ejection apparatus for ejecting a high-definition pattern, and more particularly to an inkjet ejection apparatus suitable for ejecting a predetermined amount of droplets onto a partition pattern.

カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでいる。従来は、フォトリソグラフィー工程を繰り返す顔料分散法等用いられてきたが、カラーフィルタのコストダウン化を図るために、近年は工程数が少なく、カラーフィルタの各着色層を同時に形成することが可能なインクジェット装置を用いた方法が検討されている。 The substrate size of color filters is increasing year by year. Conventionally, a pigment dispersion method or the like that repeats the photolithography process has been used. However, in order to reduce the cost of the color filter, the number of processes is small in recent years, and each colored layer of the color filter can be formed simultaneously. A method using an ink jet apparatus has been studied.

インクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法としては、隔壁で区切られた開口部に、インクジェットヘッドのノズルからカラーフィルタの各色に対応するインキを吐出し、各着色層を形成する方法が一般的である。このとき各開口部に吐出、充填される各インキの充填量のバラツキが小さいほどカラーフィルタの色ムラが低減され、高品質なカラーフィルタを製造することができる。 As a method for producing a color filter using an ink jet apparatus, a method of forming each colored layer by discharging ink corresponding to each color of the color filter from the nozzle of the ink jet head to the openings partitioned by the partition walls is generally used. is there. At this time, the color variation of the color filter is reduced as the variation in the filling amount of each ink discharged and filled into each opening is reduced, and a high-quality color filter can be manufactured.

一方、カラーフィルタとしては、表示装置の高解像度化、それに伴う高精細化によって、年々微細化する傾向にある。カラーフィルタの微細化に従って、インクジェットで塗工するパターンピッチは狭くなっていくため、インクジェットヘッドからのインクの吐出量を少量でかつ均一となるように高い精度で制御する必要がある。このため、インクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法においては、複数のインクジェットヘッドを積み重ねて解像度を向上させる方法が検討されている。 On the other hand, color filters tend to be miniaturized year by year due to higher resolution of display devices and higher definition. As the color filter becomes finer, the pattern pitch to be applied by the ink jet becomes narrower. Therefore, it is necessary to control the amount of ink discharged from the ink jet head with a small amount and with high accuracy so as to be uniform. For this reason, in the manufacturing method of the color filter using an inkjet apparatus, the method of accumulating a some inkjet head and improving the resolution is examined.

しかしながら、インクジェットヘッドから吐出されるインキ量は、ノズルごとにバラツキを持っているために、吐出量が異なる場合がある。特に、複数のインクジェットヘッドを積み重ねた、高解像度を目的とする吐出装置の場合には、一つのノズルから吐出されるインキ量がごく微小量のために、バラツキは相対的に大きいものとなってしまう。 However, since the amount of ink ejected from the inkjet head varies from nozzle to nozzle, the ejection amount may differ. In particular, in the case of an ejection device aiming at high resolution in which a plurality of inkjet heads are stacked, the amount of ink ejected from one nozzle is extremely small, so the variation is relatively large. End up.

この場合、各開口部に対し、同量のインキを充填するために、各ノズルから同数回インキを吐出したとしても、ノズルごとのバラツキにより最終的なインキの充填量に差が生じてしまい、各画素間の色ムラとなってカラーフィルタの品質および歩留まりを低下させる原因となっていた。 In this case, in order to fill each opening with the same amount of ink, even if the ink is ejected the same number of times from each nozzle, there will be a difference in the final ink filling amount due to the variation of each nozzle, Color unevenness between pixels is a cause of reducing the quality and yield of the color filter.

結果として、同一ヘッドセットの組み合わせによって吐出した各隔壁開口部(以下、セル)への吐出量はほぼ等しくなるために、同一ヘッドセットで形成した吐出パターンのライン(以下、セルライン)と、異なるヘッドセットにより形成したセルラインでの吐出量の差がインキの平均総液量のバラツキのために視覚的に色ムラとして現われてしまうことになる。 As a result, the discharge amount to each partition wall opening (hereinafter referred to as cell) discharged by the combination of the same headset is substantially equal, so that it is different from the discharge pattern line (hereinafter referred to as cell line) formed by the same headset. The difference in the discharge amount in the cell line formed by the headset appears visually as color unevenness due to the variation in the average total liquid amount of the ink.

このような問題の解決のため、ノズルごとの吐出バラツキを抑える手段として、例えばノズルごとに駆動電圧値を変更できる回路装置を組み込み、理想吐出量と実際の吐出量を比較し、吐出量を調整することでムラを低減する方法が、特許文献1に掲載されている。 To solve such problems, for example, a circuit device that can change the drive voltage value for each nozzle is incorporated as a means to suppress discharge variation for each nozzle, and the ideal discharge amount is compared with the actual discharge amount to adjust the discharge amount. A method of reducing the unevenness by doing so is disclosed in Patent Document 1.

特開2004−90621号公報JP 2004-90621 A

しかしながら上記特許文献1に示すように、ノズル毎に駆動電圧値を変更し補正するには、各ノズルのバラツキや、隣接ノズルが同時タイミングで吐出している場合と吐出していない場合とで吐出量が異なる隣接のクロストークによる影響を、全て把握する必要がある。このため、何回も吐出・測定を繰り返し行い、各ノズルの吐出バラツキが無くなるまで作業をするため、膨大な時間や材料を使用する問題があった。 However, as shown in Patent Document 1, in order to change and correct the drive voltage value for each nozzle, discharge is performed depending on the variation of each nozzle, whether adjacent nozzles are discharging at the same time, or not discharging. It is necessary to grasp all the effects of adjacent crosstalk of different amounts. For this reason, since discharge and measurement are repeated many times and work is performed until there is no discharge variation among the nozzles, there is a problem of using enormous time and materials.

同様の問題は、基板上に隔壁を形成し、その開口部に1層あるいは複数の有機機能層を積層した有機EL素子、有機太陽電池等の有機機能性素子を、インクジェット法を用いて製造した際にも生じる。例えば、有機EL素子においては、吐出装置からの有機機能性インキを吐出し、形成した発光層にムラ・バラツキが生じていると、全体として発光ムラ・バラツキの目立った有機EL素子のとなってしまう。 A similar problem is that an organic functional element such as an organic EL element or an organic solar cell in which a partition wall is formed on a substrate and one or more organic functional layers are stacked in the opening is manufactured using an inkjet method. Sometimes it happens. For example, in an organic EL element, when organic functional ink is ejected from an ejection device and unevenness or variation occurs in the formed light emitting layer, the organic EL element becomes conspicuous in unevenness or variation in light emission as a whole. End up.

本発明は、これら上記の問題を鑑みてなされたもので、ノズル毎に吐出量を測定・補正し、駆動電圧を変更することなく、一方、ノズル毎の吐出バラツキによる濃度むらが発生し品質低下をすることもなく、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができる吐出パターン生成装置を提供することを課題としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and measures and corrects the discharge amount for each nozzle and does not change the drive voltage. On the other hand, density unevenness due to discharge variation for each nozzle occurs and the quality deteriorates. It is an object of the present invention to provide a discharge pattern generation apparatus capable of manufacturing a high-quality color filter and organic functional element without performing the above.

上記課題を解決するために為された請求項1に係る発明は、基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインキを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成装置であって、前記ノズルを備えた複数のインクジェットヘッドと、前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から前記開口部に位置する有効なノズルを選択する手段と、前記ノズルから吐出するインキのドロップ数の増減を乱数を用いて決定する手段と、を具備することを特徴とする吐出パターン生成装置である。パラメータ情報とは、例えば基板のサイズ、形成パターン等の事前に入力される情報と、ノズル及び基板の位置等の逐次入力されるノズル及び基板に係る情報を合わせた、吐出パターンに係る情報である。 The invention according to claim 1, which has been made to solve the above problems, is an ejection pattern generation device that ejects ink from a plurality of nozzles to openings of a pattern on a substrate to form pixel portions on the substrate. A plurality of inkjet heads having the nozzles, means for selecting an effective nozzle located in the opening from the parameter information of the nozzle and the substrate, and a random number for increasing or decreasing the number of ink drops ejected from the nozzle. And a means for determining the discharge pattern. The parameter information is information related to the discharge pattern, for example, information that is input in advance such as the size of the substrate and the formation pattern, and information that is sequentially input such as the position of the nozzle and the substrate, and the information related to the substrate. .

請求項2に係る発明は、前記有効なノズルから、前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する手段を具備することを特徴とする請求項1に記載の吐出パターン生成装置である。 The invention according to claim 2 is the ejection pattern generation device according to claim 1, further comprising means for randomly selecting a nozzle for increasing or decreasing the number of drops from the effective nozzles.

請求項3に係る発明は、複数のノズルを有する複数のノズルヘッドからなる吐出パターン生成装置であって、ノズルヘッドごとに、ノズルから一回に吐出するインキの吐出量を設定する手段を具備することを特徴とする、請求項1または2に記載の吐出パターン生成装置である。 The invention according to claim 3 is an ejection pattern generation device comprising a plurality of nozzle heads having a plurality of nozzles, and comprises means for setting the ejection amount of ink ejected from the nozzles at a time for each nozzle head. The discharge pattern generation device according to claim 1, wherein the discharge pattern generation device is a discharge pattern generation device.

請求項4に係る発明は、基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインキを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成方法であって、前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から前記開口部に位置する有効なノズルを選択する工程と、前記有効なノズルから吐出するインキのドロップ数の増減を乱数を用いて決定する工程と、を有することを特徴とする吐出パターン生成方法である。 The invention according to claim 4 is an ejection pattern generation method for ejecting ink from a plurality of nozzles to an opening of a pattern on a substrate to form a pixel portion on the substrate, from the parameter information of the nozzle and the substrate A method for generating an ejection pattern, comprising: selecting an effective nozzle located in the opening; and determining an increase / decrease in the number of ink drops ejected from the effective nozzle using a random number. is there.

請求項5に係る発明は、基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインキを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成方法であって、前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から前記開口部に位置する有効なノズルを選択する工程と、前記有効なノズルから吐出するインキのドロップ数の増減を乱数を用いて決定する工程と、前記有効なノズルから、インキを吐出するノズルをランダムに選択する工程と、を有することを特徴とする吐出パターン生成方法である。 The invention according to claim 5 is a discharge pattern generation method for forming a pixel portion on a substrate by discharging ink from a plurality of nozzles to an opening portion of the pattern on the substrate, from the parameter information of the nozzle and the substrate. A step of selecting an effective nozzle located in the opening, a step of determining an increase / decrease in the number of ink drops discharged from the effective nozzle using a random number, and a nozzle for discharging ink from the effective nozzle. And a step of randomly selecting the discharge pattern generating method.

請求項6に係る発明は、前記ドロップ数の増減数が、同一ノズルヘッドによって開口部に吐出したインキの平均総液量(一つのセル内に吐出される総液量の平均)の理想値からのズレの大きさにより重み付けされることを特徴とする請求項4または5に記載の吐出パターン生成方法である。 In the invention according to claim 6, the increase / decrease number of the number of drops is from an ideal value of the average total liquid amount (average of the total liquid amount discharged in one cell) of the ink discharged to the opening by the same nozzle head. The discharge pattern generation method according to claim 4, wherein the discharge pattern generation method is weighted according to the amount of deviation.

請求項7に係る発明は、乱数によって増減させる前の前記ドロップ数が、前記平均液量の理想値に最も近くなるように設定されることを特徴とする請求項4ないし6に記載の吐出パターン生成方法である。 The invention according to claim 7 is characterized in that the number of drops before being increased or decreased by a random number is set so as to be closest to the ideal value of the average liquid amount. It is a generation method.

請求項8に係る発明は、前記増減させるドロップ数の最大値が、各開口部の平均総液量のバラツキの程度によって決定されることを特徴とする請求項4ないし7に記載の吐出パターン生成方法である。ここでセルラインとは、同一のノズルヘッドによって生成される吐出パターンの集合を意味する。 The invention according to claim 8 is characterized in that the maximum value of the number of drops to be increased or decreased is determined by the degree of variation in the average total liquid amount of each opening. Is the method. Here, the cell line means a set of ejection patterns generated by the same nozzle head.

請求項9に係る発明は、基板上に隔壁パターンと、該隔壁パターンの開口部の画素部からなるカラーフィルタの製造方法であって、請求項4ないし7に記載の吐出パターン生成方法により、画素部を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 The invention according to claim 9 is a method of manufacturing a color filter comprising a partition pattern on a substrate and a pixel portion of an opening of the partition pattern, and the discharge pattern generation method according to any one of claims 4 to 7 provides a pixel. A color filter manufacturing method is characterized by forming a portion.

請求項10に係る発明は、基板上に隔壁パターンと、該隔壁パターンの開口部に一層あるいは複数の有機機能層からなる有機機能性素子の製造方法であって、請求項4ないし7に記載の吐出パターン生成方法により、有機機能層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 The invention according to claim 10 is a method of manufacturing an organic functional element comprising a partition pattern on a substrate and one or more organic functional layers in an opening of the partition pattern, wherein An organic functional layer is formed by a discharge pattern generation method.

請求項1に係る発明によって、各セルに吐出するインキの吐出量にランダムなバラツキを与える手段を有することにより、セルごとに実際に吐出するドロップ数に幅を持たせることで、セルライン内に一定のバラツキを持たせ、セルラインごとの平均吐出量のバラツキを目立たなくすることができ、これにより全体的な色ムラを低減することができた。 According to the first aspect of the present invention, by providing means for randomly varying the amount of ink ejected to each cell, the number of drops actually ejected for each cell can be widened so that the cell line has By giving a certain variation, it was possible to make the variation in the average discharge amount for each cell line inconspicuous, thereby reducing the overall color unevenness.

請求項2に係る発明によって、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキから生じる色ムラを低減することができ、全体として各セル間の吐出量のバラツキを低減することができた。 According to the second aspect of the present invention, by randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops, it is possible to reduce color unevenness caused by variations in the discharge amount of each nozzle, and as a whole, variations in the discharge amount between cells. Was able to be reduced.

請求項3に係る発明によって、ノズルヘッドごとに吐出量を調整することが可能となり、各セルラインの平均総液量を理想総液量に近づけることができた。これにより、セルラインごとの膜厚のバラツキの少ない吐出パターンを形成することが可能となった。 According to the invention of claim 3, the discharge amount can be adjusted for each nozzle head, and the average total liquid amount of each cell line can be brought close to the ideal total liquid amount. This makes it possible to form a discharge pattern with little variation in film thickness for each cell line.

請求項4に係る発明によって、各ノズルから吐出するインキの吐出量にバラツキを与えることにより、あらかじめ各ノズル間で生じていた吐出量のバラツキによる各セル間の吐出量のバラツキを軽減することができた。 According to the invention of claim 4, by providing variation in the ejection amount of ink ejected from each nozzle, it is possible to reduce variation in ejection amount between cells due to variation in ejection amount that has occurred between the nozzles in advance. did it.

請求項5に係る発明によって、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキから生じる低減することができ、全体としてのセルの総液量のバラツキを低減することができた。 According to the fifth aspect of the present invention, by randomly selecting the nozzles that increase or decrease the number of drops, it is possible to reduce the variation caused by the discharge amount of each nozzle, thereby reducing the variation of the total liquid amount of the cells as a whole. I was able to.

請求項6に係る発明によって、ノズルの吐出量のバラツキの程度に合わせたインキの吐出の制御が容易にでき、さらに吐出量の理想値からのずれを補正できた。このことにより、より理想総液量に平均総液量を近づけることが可能となり、吐出パターンの生成ができた。 According to the sixth aspect of the present invention, it is possible to easily control the ejection of ink in accordance with the degree of variation in the ejection amount of the nozzles, and to correct the deviation of the ejection amount from the ideal value. As a result, the average total liquid volume can be made closer to the ideal total liquid volume, and a discharge pattern can be generated.

請求項7に係る発明によって、平均量を理想値に近づけることができた。さらにこのことにより、より少ない増減させるドロップ数の最大値によって、理想総液量に近づけることが可能となった。 According to the invention of claim 7, the average amount can be brought close to the ideal value. In addition, this makes it possible to approach the ideal total liquid amount with a smaller maximum number of drops to be increased or decreased.

請求項8に係る発明によって、各セルラインの平均総液量のバラツキとノズルごとの吐出量バラツキから生じる各セルの総液量のバラツキを近づけることでより均質で色ムラの少ない吐出パターンの生成が可能となった。請求項7に係る発明を含む場合、増減させるドロップ数の最大値の幅が広がるために、各セルの平均総液量のバラツキとセルライン内の総液量のバラツキを合わせることが容易になった。 According to the eighth aspect of the invention, a discharge pattern that is more uniform and has less color unevenness can be obtained by bringing the dispersion of the total liquid amount of each cell generated from the variation of the average total liquid amount of each cell line and the discharge amount variation of each nozzle closer. Became possible. When the invention according to claim 7 is included, since the range of the maximum value of the number of drops to be increased or decreased is widened, it becomes easy to match the variation in the average total liquid amount in each cell with the variation in the total liquid amount in the cell line. It was.

請求項9に係る発明によって、より均質な着色層が形成できた。このことにより高精細で色むら、バラツキの少ない高品質なカラーフィルタがより短時間で製造可能となった。 According to the invention of claim 9, a more uniform colored layer can be formed. As a result, a high-quality color filter with high definition, uneven color, and less variation can be produced in a shorter time.

請求項10に係る発明によって、より均質な膜厚の有機機能層が形成することができ、発光ムラの少ない有機EL素子等、高品質な有機機能性素子を製造することが可能となった。 According to the invention of claim 10, an organic functional layer having a more uniform film thickness can be formed, and a high-quality organic functional element such as an organic EL element with little emission unevenness can be produced.

図1は、本発明の吐出パターン生成装置の全体構成の一例である。本発明吐出パターン生成装置にはインクジェットヘッド1が複数個配列したインクジェットヘッドユニット2を持つ。カラーフィルタを生成するためには、着色層を形成する各色(例えばR、G、B)のインキの吐出を行う必要があるため、前述した複数個並んでいるインクジェットヘッドの組み合わせが各色配置されている。また、インクジェットヘッドは主走査方向に移動し、画像描画を行う。 FIG. 1 shows an example of the overall configuration of the ejection pattern generation apparatus of the present invention. The ejection pattern generation apparatus of the present invention has an inkjet head unit 2 in which a plurality of inkjet heads 1 are arranged. In order to generate a color filter, it is necessary to eject ink of each color (for example, R, G, B) forming a colored layer, and therefore, a combination of a plurality of the above-described inkjet heads arranged in each color is arranged. Yes. The ink jet head moves in the main scanning direction and performs image drawing.

基板置き台3は、副走査方向に移動可能であり、さらにθ方向に回転可能である。θ方向に回転可能なため、基板置き台の上に置かれた基板の隔壁とインクジェットヘッドユニットを平行に合わせることができ、副走査方向に動作させることで画像描画を行うことができる。また、基板置き台には図示されていないが吸着機構を備えており、基板置き台におかれた基板を固定することが可能である。 The substrate table 3 can move in the sub-scanning direction and can further rotate in the θ direction. Since it can rotate in the θ direction, the partition wall of the substrate placed on the substrate mounting table and the inkjet head unit can be aligned in parallel, and image drawing can be performed by operating in the sub-scanning direction. Further, although not shown in the figure, the substrate table is provided with a suction mechanism, and the substrate placed on the substrate table can be fixed.

本発明の吐出パターン生成装置は、少なくともインキを隔壁の開口部に吐出するためのインクジェットヘッドに存するノズルと、あらかじめ入力されたパラメータ情報に基づいて位置情報を認識あるいは計測し、これを出力する手段と、ノズルから吐出するインキのドロップ数の増減を乱数を用いて決定する手段とを有する。さらには、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択する手段を有する吐出パターン生成装置である。 The discharge pattern generation apparatus of the present invention recognizes or measures position information based on at least nozzles existing in an inkjet head for discharging ink to the opening of the partition wall and parameter information input in advance, and outputs the position information And means for determining an increase / decrease in the number of ink drops ejected from the nozzles using random numbers. Furthermore, it is a discharge pattern generation device having means for randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops.

本発明に用いるインクジェットヘッド及びインキを吐出するためのノズルは、複数のノズルが配置された構成のものであれば適用可能であるが、説明においては図2のように、一列に配置されたノズルが、複数の組み合わされているものを用いる。この場合、各相のノズルは各々異なったタイミングでインキを吐出される。例えば図2はインクジェットヘッドの断面図の模式図であるが、A相、B相、C相の同じ行からインキが吐出されるタイミングはA、B、Cの順でずれる。この方式(以下、シェアウェーブモードと記載)では各ノズルの間隔を狭め、高密度なインクジェットヘッドとすることができるために、高精細な吐出パターン形成が必要なカラーフィルタの製造に適している。 The inkjet head and the nozzle for ejecting ink used in the present invention can be applied as long as they have a configuration in which a plurality of nozzles are arranged, but in the description, nozzles arranged in a row as shown in FIG. However, a plurality of combinations are used. In this case, the ink of each phase is ejected at different timings. For example, FIG. 2 is a schematic diagram of a cross-sectional view of an inkjet head, but the timing at which ink is ejected from the same row of the A phase, the B phase, and the C phase is shifted in the order of A, B, and C. This method (hereinafter referred to as “shear wave mode”) is suitable for the manufacture of a color filter that requires high-definition ejection pattern formation because the intervals between the nozzles can be reduced to provide a high-density inkjet head.

このインクジェットヘッドは、A相、B相、C相に対応するバッファ(以下、ラインバッファと記載)を備えていて、各相のラインバッファは相互に情報を転送することができる。このインクジェットヘッドから吐出されるまでの簡単な動作フローを図3に示す。 This ink jet head includes buffers (hereinafter referred to as line buffers) corresponding to A phase, B phase, and C phase, and the line buffers of each phase can transfer information to each other. A simple operation flow until the ink jet head discharges is shown in FIG.

まず、A相ラインバッファが、吐出パターン情報を受けとり、その転送された情報のうちA相に関する情報に基づいてA相インキ吐出口から吐出を開始する。また、A相インキ吐出口から吐出開始と同時に、吐出パターン情報をA相ラインバッファからB相ラインバッファに転送する。A相インキ吐出口から吐出終了後、B相インキ吐出口は、転送された吐出パターン情報のうちB相に関する情報に基づいて吐出を開始する。また、B相インキ吐出口から吐出開始と同時に、吐出パターン情報をB相ラインバッファからC相ラインバッファに転送する。B相インキ吐出口から吐出終了後、C相インキ吐出口は、転送された吐出パターン情報のうちC相に関する情報に基づいて吐出を開始する。C相インキ吐出口から吐出終了後、ラインカウンターにて設定回数ライン吐出を行ったかどうかの判定を行い、設定回数の吐出が行なわれていなければ、吐出パターン情報をA相ラインバッファに転送する。再び、A相インキ吐出口は吐出パターン情報に基づいて吐出開始する。以下、前述した動作をライン数分繰り返し行い、所望の吐出パターンを作成する。 First, the A-phase line buffer receives the ejection pattern information, and starts ejection from the A-phase ink ejection port based on the information related to the A phase in the transferred information. Simultaneously with the start of ejection from the A-phase ink ejection port, ejection pattern information is transferred from the A-phase line buffer to the B-phase line buffer. After completion of ejection from the A-phase ink ejection port, the B-phase ink ejection port starts ejection based on the information regarding the B phase in the transferred ejection pattern information. Simultaneously with the start of ejection from the B-phase ink ejection port, ejection pattern information is transferred from the B-phase line buffer to the C-phase line buffer. After completion of ejection from the B-phase ink ejection port, the C-phase ink ejection port starts ejection based on the information regarding the C phase in the transferred ejection pattern information. After completion of ejection from the C-phase ink ejection port, it is determined whether or not the line counter has been ejected for a set number of times, and if the set number of ejections has not been performed, the ejection pattern information is transferred to the A-phase line buffer. Again, the A-phase ink discharge port starts to discharge based on the discharge pattern information. Thereafter, the above-described operation is repeated for the number of lines to create a desired ejection pattern.

以上がシェアウェーブモードでの吐出制御方法であるが、本発明の吐出装置はその他の方式でも問題ない。以下、本発明の吐出パターン形成方法によってカラーフィルタを形成する場合を例に説明するが、その他の光学素子、例えば有機EL素子の場合であれば発光層の各色画素を形成する場合にも同様に本発明を用いることができる。 The above is the discharge control method in the share wave mode, but the discharge apparatus of the present invention has no problem even in other methods. Hereinafter, a case where a color filter is formed by the discharge pattern forming method of the present invention will be described as an example. However, in the case of other optical elements, for example, organic EL elements, similarly, when forming each color pixel of the light emitting layer. The present invention can be used.

吐出パターン情報に基づいてインクジェットヘッドのノズルからインクを吐出する制御手段として、例えばインクジェットヘッドコントローラー4を吐出装置に接続する。インクジェットヘッドコントローラー4は、インクジェットヘッドを駆動し、インクジェットヘッドパラメータ情報と吐出パターンが格納されている。インクジェットヘッドパラメータ情報は、インクジェットヘッドを駆動させるための情報である。吐出パターン情報は、インクジェットヘッドの位置情報を引数として、特定のノズルの吐出についての情報が格納されている。吐出を行う際にインクジェットヘッドコントローラーから各ノズルに吐出パターン情報が転送され、描画を行うことが可能である。 For example, an inkjet head controller 4 is connected to the ejection device as control means for ejecting ink from the nozzles of the inkjet head based on the ejection pattern information. The inkjet head controller 4 drives the inkjet head and stores inkjet head parameter information and ejection patterns. The inkjet head parameter information is information for driving the inkjet head. In the ejection pattern information, information on ejection of a specific nozzle is stored with the positional information of the inkjet head as an argument. When performing ejection, ejection pattern information is transferred from the inkjet head controller to each nozzle, and drawing can be performed.

また、上記インクジェットヘッドコントローラー4のインクジェットヘッドを駆動させるためのインクジェットヘッドパラメータ情報には、インクジェットヘッドごとに最適の電圧値のパラメータを設定できることが好ましい。全てのインクジェットヘッドの駆動電圧を同じ値を設定すると、インクジェットヘッドから吐出される液滴の量が個体差により変わるため、基板内にインキを均一に吐出することができなくなるおそれがある。インクジェットヘッドごとに最適の電圧値のパラメータを設定できるようにすることによって、インクジェットヘッドごとの吐出量を制御することが可能となり、各セルの吐出量を調整することができる。 In addition, in the inkjet head parameter information for driving the inkjet head of the inkjet head controller 4, it is preferable that an optimum voltage value parameter can be set for each inkjet head. If the drive voltage of all the ink jet heads is set to the same value, the amount of liquid droplets ejected from the ink jet heads varies depending on individual differences, so that it may not be possible to uniformly eject ink into the substrate. By making it possible to set an optimum voltage value parameter for each ink jet head, it becomes possible to control the discharge amount for each ink jet head and to adjust the discharge amount of each cell.

本発明の有する、位置情報を認識あるいは計測し、これを出力する手段は、あらかじめ入力されたカラーフィルタのサイズ、隔壁パターンのピッチ、画素部のパターン(ストライプ配列、セル配列、モザイク配列等の情報配列パターンを含む)等のカラーフィルタ基板のパラメータと、インクジェットヘッド及びノズルの位置情報(ヘッドの位置ずれ情報を含む)、吐出装置の基板の置き台の移動量等のパラメータ(以下、合わせて吐出パターン情報と記載)から、ノズルから基板上に吐出されるインキの着弾位置を算出する。あるいは、吐出装置に設置されたカメラによって、基板表面の画像を取得・処理し、インキの着弾位置を算出することもできる。 The means for recognizing or measuring the positional information and outputting the positional information possessed by the present invention is a pre-input color filter size, partition pattern pitch, pixel pattern (striped array, cell array, mosaic array, etc.) Parameters of color filter substrate such as array pattern), parameters such as ink jet head and nozzle position information (including head misalignment information), movement amount of substrate table of ejection device (hereinafter referred to as ejection together) The landing position of ink ejected from the nozzle onto the substrate is calculated from the pattern information). Alternatively, an ink landing position can be calculated by acquiring and processing an image of the substrate surface with a camera installed in the discharge device.

基板上の隔壁パターンにたいしてインクジェットヘッド及びノズルの位置が算出した後、この情報を基に、インキの着弾位置が、画素部の形成位置(目的とする隔壁開口部:セル)であるか否かをプログラムにより処理判断する。着弾位置が目的とする隔壁開口部に該当する場合のみ有効なノズルとして認識され、そうではないノズルからは吐出されない。 After calculating the position of the inkjet head and the nozzle with respect to the partition pattern on the substrate, based on this information, it is determined whether or not the ink landing position is the pixel portion formation position (target partition opening: cell). The process is determined by the program. Only when the landing position corresponds to the target partition opening, the nozzle is recognized as an effective nozzle, and is not ejected from a nozzle that is not.

図4はノズルが有効か否かの判断の具体例である。インクジェットヘッドのノズル5のうち、カラーフィルタ基板の開口部の直上部にあたるノズルについては有効と判断され、それ以外のノズルは無効と判断し、吐出パターン情報を生成する。そして、この吐出パターン情報に従って、各インクジェットヘッドのノズルは目的とするセル内にインキを吐出する。 FIG. 4 is a specific example of determining whether a nozzle is valid. Of the nozzles 5 of the inkjet head, the nozzles that are directly above the openings of the color filter substrate are determined to be valid, and the other nozzles are determined to be invalid, and discharge pattern information is generated. Then, according to this ejection pattern information, the nozzles of each inkjet head eject ink into the target cell.

ここで本発明の吐出装置及び吐出方法を用いない場合には、セルライン内においては、セルごとの吐出量のバラツキが小さい場合、つまり各セルの吐出量の標準偏差が小さい場合(セルライン内の吐出量の標準偏差)でも、各セルライン間の吐出量の標準偏差(セルライン間の吐出量の標準偏差)が、セルライン内の吐出量の標準偏差に比べて大きいために、全体として視覚的に色ムラの大きいカラーフィルタとなってしまう。もちろん、カラーフィルタの各着色層を構成するインキによって、理想的な着色層の膜厚は異なるので、上記の吐出量は同色のインキを吐出するノズルごとの吐出量平均値及び標準偏差を意味する。 Here, when the discharge apparatus and the discharge method of the present invention are not used, in the cell line, when the variation in the discharge amount for each cell is small, that is, when the standard deviation of the discharge amount of each cell is small (within the cell line) The standard deviation of the discharge amount between each cell line (standard deviation of the discharge amount between cell lines) is larger than the standard deviation of the discharge amount within the cell line. This results in a color filter with large color unevenness visually. Of course, since the ideal color layer thickness varies depending on the ink constituting each color layer of the color filter, the above discharge amount means the average value and standard deviation of the discharge amount for each nozzle that discharges the same color ink. .

そこで本発明の吐出パターン形成装置は、有効なノズルから吐出するインキのドロップ数の増減数を乱数を用いて決定する手段を有することによって、この問題を解決する。つまり、ある一定規定量のドロップ数(以下、基本ドロップ数)から、各セルごとに実際に吐出するドロップ数に幅を持たせることで、セルライン内に一定のバラツキを持たせ、各セルラインごとの平均吐出量のバラツキを目立たなくすることができ、これにより全体的な色ムラを低減することができる。 Therefore, the ejection pattern forming apparatus of the present invention solves this problem by having means for determining the number of ink drops ejected from an effective nozzle by using a random number. In other words, a certain number of drops (hereinafter referred to as the basic number of drops) gives a certain variation within the cell line by giving a range to the number of drops actually ejected for each cell. The variation in the average discharge amount for each can be made inconspicuous, thereby reducing the overall color unevenness.

ここで、ノズルから吐出するインキのドロップ数の増減数を乱数を用いて決定する手段は、上述の有効なノズルから吐出するノズルを選択し、さらに、乱数を用いて、吐出するインキのドロップ数を規定の値から任意の増減を与えるような計算機である。あらかじめ設定した増減数の範囲内で、ランダムに増減数を振り分けることで、画素部の各セルに吐出するインキのドロップ数に幅を持たせ、ノズルごとの吐出量バラツキによる各画素間の色ムラを低減することが可能となる。各セルラインにおいて、ランダムにドロップ数の増減を与えることによって、意図的にセルライン間の吐出量の標準偏差と、セルライン内の吐出量の標準偏差を近づけることができるからである。 Here, the means for determining the increase / decrease number of the ink drop ejected from the nozzle using a random number selects the nozzle ejected from the above-mentioned effective nozzle, and further uses the random number to drop the ink drop ejected. Is a calculator that gives an arbitrary increase or decrease from a specified value. By distributing the increase / decrease numbers randomly within a preset increase / decrease range, the number of ink drops to be discharged to each cell in the pixel section is widened, and color unevenness between pixels due to discharge amount variation for each nozzle. Can be reduced. This is because, by randomly increasing or decreasing the number of drops in each cell line, the standard deviation of the discharge amount between the cell lines can be intentionally made closer to the standard deviation of the discharge amount in the cell line.

また、理想的な着色層の膜厚を形成するためのインキの理論総液量を吐出することが理想であるが、課題でも述べたように、ノズルごとの吐出量のバラツキ、クロストークの影響などによって、実際の平均インキ総液量は、理論インキ総液量からずれている場合がある。
そこで、実際に吐出された(各セルラインにおける)平均インキ総液量が多い場合には、増減するドロップ数が増加する方向に乱数の割り振りに加重を掛ける事により、平均インキ総液量を理論値により近い値にすることが可能であり、より高品質なカラーフィルタが製造できる。例えば、平均総液量が理論層液量よりも多い場合には、ドロップ数が減少する割合よりも増加する割合が増えるように、ランダム関数を増減するドロップ数に割り振る。
In addition, it is ideal to discharge the theoretical total liquid volume of ink to form the ideal colored layer thickness. However, as described in the problem, the discharge volume variation of each nozzle and the influence of crosstalk For example, the actual average ink total liquid amount may deviate from the theoretical ink total liquid amount.
Therefore, if the average total ink volume discharged (in each cell line) is large, the average total ink volume can be calculated by applying a weight to the random number allocation in the direction that the number of drops that increase or decrease increases. The value can be made closer to the value, and a higher quality color filter can be manufactured. For example, when the average total liquid amount is larger than the theoretical layer liquid amount, the random function is allocated to the number of drops to be increased or decreased so that the rate of increase is higher than the rate of decrease of the number of drops.

なお、インキの平均総液量が理論総液量に比べて大きな液量差がある場合には、ノズルから吐出する基本ドロップ数を増減すればよい。これにより平均総液量と理論総液量の差を1ドロップ以下にすることができる。ノズルからの1ドロップの吐出量を増減する方法も考えられるが、ノズルヘッドごとにノズルからの吐出量を設定する場合には、ノズルヘッド全体でノズルからの吐出量が変わってしまうために、液量の調整は困難である。 Note that if the average total liquid volume of ink is larger than the theoretical total liquid volume, the number of basic drops discharged from the nozzles may be increased or decreased. Thereby, the difference between the average total liquid volume and the theoretical total liquid volume can be reduced to 1 drop or less. Although a method of increasing / decreasing the discharge amount of one drop from the nozzle is also conceivable, when the discharge amount from the nozzle is set for each nozzle head, the discharge amount from the nozzle changes in the entire nozzle head. Adjustment of the amount is difficult.

上記のドロップ数を増減する方法では、インキの平均総液量と理論総液量の差が1ドロップ以下のときにはそれ以上理論値に近づけることはできない。そこで、本発明のように、ドロップ数の増減を決定する乱数の割り振りに加重を掛ける事により、さらに理論インキ総液量に近い値まで平均インキ総液量を近づけることが可能となる。 In the method of increasing / decreasing the number of drops described above, when the difference between the average total liquid amount of ink and the theoretical total liquid amount is 1 drop or less, it cannot be brought closer to the theoretical value. Therefore, as in the present invention, by applying a weight to the allocation of random numbers that determine the increase / decrease in the number of drops, the average total ink volume can be made closer to a value close to the theoretical total ink volume.

また、本発明の吐出パターン生成装置においては、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択する手段を有することが好ましい。吐出するノズルの選択に乱数を用いてランダムに指定することによって、各ノズルの吐出量のバラツキから生じるムラを軽減することができ、全体として各セル間の吐出量のバラツキをより低減することが可能となる。 In the ejection pattern generation device of the present invention, it is preferable to have means for randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops. By randomly specifying the nozzles to be ejected using random numbers, unevenness caused by variations in the ejection amount of each nozzle can be reduced, and the variation in ejection amount between cells as a whole can be further reduced. It becomes possible.

本発明は、インクジェット法を用いたパターンの形成において、画素部の膜厚のバラツキを軽減し、ムラをなくすものであるから、インクジェット法を用いた素子の作製に適用可能である。以下に本発明を用いた素子の製造方法の例として、カラーフィルタ及び有機機能性素子の製造方法を説明する。 Since the present invention reduces variations in the film thickness of the pixel portion and eliminates unevenness in forming a pattern using the ink jet method, the present invention can be applied to manufacturing an element using the ink jet method. Hereinafter, as an example of a method for producing an element using the present invention, a method for producing a color filter and an organic functional element will be described.

カラーフィルタあるいは有機機能性素子のいずれの素子の製造についても、基板上に隔壁が形成し、そこに画素部を形成することにより作成できる。 The manufacture of either the color filter or the organic functional element can be made by forming a partition on a substrate and forming a pixel portion there.

[基板]
基板は、印刷物の支持基板として用いるものである。目的とする光学素子により、基板の種類は異なるが、例えば、硝子基板、石英基板、プラスチック基板等、ドライフィルム等、公知の透明基板材料を使用することができる。中でも硝子基板は、カラーフィルタ、有機EL素子用途において、透明性、強度、耐熱性、耐候性において優れている。
[substrate]
The substrate is used as a support substrate for printed matter. For example, a glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, a dry film, or the like can be used for a known transparent substrate material, although the type of substrate varies depending on the target optical element. Among them, the glass substrate is excellent in transparency, strength, heat resistance, and weather resistance in color filter and organic EL device applications.

[隔壁]
本発明ではインキジェット印刷装置により基板にインキを付与し、カラーフィルタあるいは有機機能性素子を形成する。異なる種類のインキ同士の混色(又は混合)を防止するため、基板上に予め隔壁を形成することが好ましい。
[Partition wall]
In the present invention, ink is applied to the substrate by an ink jet printing apparatus to form a color filter or an organic functional element. In order to prevent color mixing (or mixing) between different types of inks, it is preferable to form partition walls on the substrate in advance.

隔壁は、基板の表面を多数の領域に区分けすると共に、この多数の領域のそれぞれに吐出されたインキの混色を防止する機能を有するものである。混色を防止するため、隔壁には一定の撥インキ作用を示すものを用いることが望ましい。例えば、隔壁を撥インキ剤を含む樹脂組成部により形成する方法、樹脂組成物により形成した隔壁にプラズマ処理を行い撥インキ性を付与する方法、隔壁を光触媒層とともに形成し光触媒作用により隔壁に撥インキ性を付与する方法などを例示することができる。また、ディスプレイの表示画面を構成するカラーフィルタ、有機EL素子においては、この隔壁に遮光性を付与することで、表示画面のコントラストを向上させることができる。いずれの場合であっても、隔壁を樹脂組成物より形成する場合には、樹脂バインダーと撥インキ剤とを必須成分として含有する必要がある。 The partition wall has a function of dividing the surface of the substrate into a plurality of regions and preventing color mixture of ink ejected in each of the many regions. In order to prevent color mixing, it is desirable to use a partition that exhibits a certain ink repellency. For example, a method of forming partition walls with a resin composition part containing an ink repellent, a method of imparting ink repellency by performing plasma treatment on the partition walls formed of a resin composition, and forming a partition wall together with a photocatalyst layer to repel the partition walls by photocatalysis. Examples thereof include a method for imparting ink properties. Moreover, in the color filter and organic EL element which comprise the display screen of a display, the contrast of a display screen can be improved by providing light-shielding property to this partition. In any case, when the partition is formed from a resin composition, it is necessary to contain a resin binder and an ink repellent as essential components.

隔壁は印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知の隔壁形成方法により形成することができる。 The partition can be formed by a known partition forming method such as a printing method or a photolithography method.

<カラーフィルタの製造方法>
カラーフィルタを形成する場合、まず前記の基板上に、上記の方法で隔壁を形成する。着色インキを使用して、本発明の吐出パターン形成装置により着色層を形成する。着色インキは、着色顔料、溶媒、樹脂バインダーを、必要に応じて含むことができる。
<Color filter manufacturing method>
When forming a color filter, first, a partition wall is formed on the substrate by the method described above. A colored layer is formed by the discharge pattern forming apparatus of the present invention using colored ink. The colored ink can contain a color pigment, a solvent, and a resin binder as necessary.

<有機機能性素子の製造方法>
有機EL素子または有機太陽電池、あるいは有機半導体を形成する場合にもまず前記の基板上に、隔壁を形成する。インキに有機発光材料を含むものとし、本発明の吐出パターン生成装置及び吐出方法を用いて基板上に吐出、有機機能層を形成し製造することができる。このインキは、有機発光材料、溶媒、樹脂バインダーを、必要に応じて含むことができる。溶媒、樹脂バインダーは、前記<隔壁の形成>で掲げたものと同様の材料を使用することができる。
[有機発光材料]
有機発光材料としてクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系等の有機溶剤に可溶な有機発光材料や該有機発光材料をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系などの高分子有機発光材料が挙げられる。
<Method for producing organic functional element>
In the case of forming an organic EL element, an organic solar cell, or an organic semiconductor, first, a partition is formed on the substrate. The ink contains an organic light emitting material, and can be manufactured by forming an organic functional layer on a substrate by using the discharge pattern generating apparatus and the discharge method of the present invention. This ink can contain an organic light emitting material, a solvent, and a resin binder as needed. As the solvent and the resin binder, the same materials as those described in the above <Partition formation> can be used.
[Organic luminescent materials]
Organic light-emitting materials such as coumarin, perylene, pyran, anthrone, porphyrene, quinacridone, N, N'-dialkyl substituted quinacridone, naphthalimide, N, N'-diaryl substituted pyrrolopyrrole, iridium complex Organic light-emitting materials that are soluble in organic solvents such as those dispersed in polymers such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole, polyarylene-based, polyarylene vinylene-based, polyfluorene-based, etc. And a high molecular organic light emitting material.

本発明の吐出装置による吐出パターン生成方法の具体例及び本発明による光学素子製造の例としてカラーフィルタを具体例とし、以下に詳細に説明する。 A specific example of the discharge pattern generation method by the discharge device of the present invention and a color filter as a specific example of the optical element manufacturing according to the present invention will be described in detail below.

まず、前述したように吐出パターンに従って、ノズルの有効・無効が判断される。基板上の隔壁開口部に存在し、かつ画素部に形成する画素に対応するインキを吐出するノズルを有効とする(図4)。 First, the validity / invalidity of the nozzle is determined according to the ejection pattern as described above. A nozzle that ejects ink corresponding to pixels formed in the partition opening on the substrate and formed in the pixel portion is made effective (FIG. 4).

次に、一つのセル内にある有効なノズルの数(以下、吐出ノズル数)Nは、各セルに充填するインキの総液量や、セルのサイズ等によって任意に決定することが出来る。 Next, the number of effective nozzles (hereinafter referred to as the number of ejection nozzles) N in one cell can be arbitrarily determined according to the total amount of ink filled in each cell, the size of the cell, and the like.

一つのノズルから一回に吐出されるインキの量(1ドロップの吐出量)がaとし、全ての吐出ノズルからのインキのドロップ数(基準ドロップ数)をDとすると、インキの理想総液量MはD×aで表され、各ノズルに割り当てられるドロップ数dは[D×a/N]とその余りとなる。 If the amount of ink ejected from one nozzle at a time (1 drop ejection amount) is a and the number of ink drops from all ejection nozzles (reference drop number) is D, the ideal total liquid amount of ink M is represented by D × a, and the number of drops d allocated to each nozzle is [D × a / N] and the remainder.

図5は、有効なノズルから、矢印で示されている吐出するノズルを、各セルの中で選択する説明図である。選択する方法は任意であるが、一定の組み合わせでノズルを選択した場合、ノズルの吐出量のバラツキによって、各セルの総液量に偏りが生じる恐れがあるので、ランダムに吐出するノズルを選択することが好ましい。ランダムに吐出ノズルを選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキによる各セル間の総液量の差を緩和することができるからである。図5の(a)は選択されたノズルが一つのセル中に一つの場合、(b)は複数ある場合の模式図である。 FIG. 5 is an explanatory diagram for selecting, from each cell, a nozzle to be ejected indicated by an arrow from effective nozzles. The method of selection is arbitrary, but when nozzles are selected in a certain combination, the total liquid volume in each cell may be biased due to variations in the discharge volume of the nozzles. It is preferable. This is because by selecting the discharge nozzles at random, the difference in the total liquid amount between the cells due to the variation in the discharge amount of each nozzle can be reduced. FIG. 5A is a schematic diagram when the number of selected nozzles is one in one cell, and FIG. 5B is a schematic diagram when there are a plurality of nozzles.

次に、本発明においては、インキの理想総液量Mにたいして、Mよりも小さいある設定量mを理想総液量Mからの増減量として想定する。この設定量mは、例えば、実際の各セルライン内のセルの総液量のバラツキ(標準偏差)から算出される。前述のように、このセルライン内の吐出量の標準偏差と、セルライン間の平均吐出量の標準偏差が近く、さらに平均吐出量が各セルライン間で一致するように調整することが好ましい。 Next, in the present invention, with respect to the ideal total liquid amount M of ink, a certain set amount m smaller than M is assumed as an increase / decrease amount from the ideal total liquid amount M. This set amount m is calculated from, for example, the variation (standard deviation) of the total liquid amount of cells in each actual cell line. As described above, it is preferable to adjust so that the standard deviation of the discharge amount in the cell line is close to the standard deviation of the average discharge amount between the cell lines, and the average discharge amount is matched between the cell lines.

さらに、ここで実際の平均総液量M´と理想総液量Mとの差を考慮し、各セルラインのドロップ数を調整する。ここで調整により、理想総液量からできるだけ近しくなることが望ましい。例えば、増減するドロップ数は、平均総液量M´と理想総液量Mとの差と、1ドロップのインキ吐出量によって決定することができ、調整後のドロップ数は以下のように書くことができる。 Further, the number of drops in each cell line is adjusted in consideration of the difference between the actual average total liquid amount M ′ and the ideal total liquid amount M. Here, it is desirable to make it as close as possible from the ideal total liquid volume by adjustment. For example, the number of drops to be increased / decreased can be determined by the difference between the average total liquid amount M ′ and the ideal total liquid amount M and the ink discharge amount of one drop, and the adjusted number of drops should be written as follows: Can do.

Figure 2008191373
Figure 2008191373

上記のようなドロップ数の調整によって、平均総液量は理想総液量に近づけることができ、調整後の平均総液量M´´となる。理想総液量M、平均総液量M´、調整後の平均総液量M´´、設定量m、吐出ノズル数N、1ドロップの吐出量a、基準ドロップ数D、ドロップ数の増減数基準値b等の各設定パラメータは、吐出パターン情報としてあらかじめ設定、格納される。 By adjusting the number of drops as described above, the average total liquid volume can be brought close to the ideal total liquid volume, and becomes the adjusted average total liquid volume M ″. Ideal total liquid amount M, average total liquid amount M ′, adjusted average total liquid amount M ″, set amount m, number of discharge nozzles N, one-drop discharge amount a, reference drop number D, number of drops Each setting parameter such as the reference value b is set and stored in advance as ejection pattern information.

次に、設定パラメータと乱数を用いて、各セルにおけるドロップ数D(x)を決定する。ここでxは各セルを表すシンボルとする。調整後の平均総液量M´´が理論総液量Mと等しい場合、ドロップ数D(x)を決定する式は、ドロップ数の増減数をb−iとして、例えば以下のように書くことができる。 Next, the drop number D (x) in each cell is determined using the setting parameter and a random number. Here, x is a symbol representing each cell. When the average total liquid volume M ″ after adjustment is equal to the theoretical total liquid volume M, the formula for determining the drop number D (x) should be written as follows, with the increase / decrease number of the drop number being bi: Can do.

Figure 2008191373
Figure 2008191373

ここでRAND()は0以上1以下の実数の乱数を生成する関数を表す。調整後の平均総液量M´´が理論総液量Mと異なる場合、ドロップ数D(x)を決定する式は、ドロップ数の増減数をb−jとして、例えば以下のように書くことができる。 Here, RAND () represents a function that generates a real random number between 0 and 1. When the average total liquid volume M ″ after adjustment is different from the theoretical total liquid volume M, the formula for determining the drop number D (x) should be written as follows, with the increase / decrease number of the drop number being bj: Can do.

Figure 2008191373
Figure 2008191373

上記の式によって、例えば実際の平均総液量M´´が理想総液量よりも多い場合には、各セルのドロップ数は、確率的に基準ドロップ数よりも多いドロップ数に傾き、結果として、補正された平均総液量は理想総液量に近い値となる。 According to the above formula, for example, when the actual average total liquid amount M ″ is larger than the ideal total liquid amount, the number of drops in each cell is probabilistically inclined to the number of drops larger than the reference number of drops, and as a result The corrected average total liquid amount is close to the ideal total liquid amount.

また、上記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキによる、総液量の偏りを軽減することができる。 Further, by randomly selecting the nozzles that increase or decrease the number of drops, it is possible to reduce the deviation in the total liquid amount due to the variation in the discharge amount of each nozzle.

また、決定されたドロップ数の増減値が、連続するセル間で一定以上偏った場合には、再度乱数によって計算しなおし、一定以上の偏りをなくすことも可能である。 In addition, when the determined increase / decrease value of the number of drops is more than a certain deviation between consecutive cells, it is possible to recalculate again with random numbers and eliminate the deviation more than a certain value.

以上のように、本発明の方法によれば、ノズルごとの吐出量のバラツキを測定し、吐出量を補正するといった煩雑な作業を伴わず、各画素間の色ムラを低減することが可能となる。さらに、同一ノズルにおける吐出回ごとの吐出量のバラツキに対しても、影響を低減することができる。 As described above, according to the method of the present invention, it is possible to reduce color unevenness between pixels without a complicated operation of measuring variation in ejection amount for each nozzle and correcting the ejection amount. Become. Furthermore, it is possible to reduce the influence on the variation in the discharge amount for each discharge in the same nozzle.

次に、カラーフィルタの製造方法を説明する。 Next, a method for manufacturing a color filter will be described.

(隔壁の形成)
撥インキ性を付与する材料を含有した感光性樹脂組成物として、下記組成比で配合した黒色感光性樹脂組成物を用いた。基板としては無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用い、その上にこの黒色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、温度90℃のホットプレートにて1分間プリベーク処理をして基板上に膜厚2.0μmの被膜を形成した。
[感光性樹脂組成物]
シクロヘキサノン(沸点155.7℃) 80重量部
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材工業社製) 15重量部
メラミン樹脂“MW30”(三和ケミカル社製) 5重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
ラジカル重合性を有する化合物“トリメチロールプロパントリアクリレート”(大阪有機化学工業社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカルズ社製) 2重量部
含フッ素化合物“モディパーF−600”(日本油脂社製、質量平均分子量35000)
0.5重量部
(Formation of partition walls)
As a photosensitive resin composition containing a material imparting ink repellency, a black photosensitive resin composition blended at the following composition ratio was used. As the substrate, alkali-free glass (“# 1737” manufactured by Corning) was used, and this black photosensitive resin composition was applied thereon by spin coating, and prebaked on a hot plate at a temperature of 90 ° C. for 1 minute. A film having a thickness of 2.0 μm was formed on the substrate.
[Photosensitive resin composition]
Cyclohexanone (boiling point 155.7 ° C.) 80 parts by weight cresol-novolak resin “EP4050G” (manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd.) 15 parts by weight melamine resin “MW30” (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) 5 parts by weight carbon pigment “MA-8” “(Mitsubishi Materials Co., Ltd.) 23 parts by weight Dispersant“ Solsperse # 5000 ”(Zeneca Co., Ltd.) 1.4 parts by weight Compound“ trimethylolpropane triacrylate ”(produced by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) 5 parts by weight Photopolymerization initiator “Irgacure 369” (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 2 parts by weight of fluorine-containing compound “Modiper F-600” (manufactured by NOF Corporation, mass average molecular weight 35000)
0.5 parts by weight

続いてストライプ状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cmの露光処理を施し、さらに現像処理を行うことで所望される隔壁パターンを得た。その後、熱風式焼成炉内にて表1から表3に示す焼成条件で加熱処理を施した。 Subsequently, by using a photomask which is a stripe pattern, an exposure process of 100 mJ / cm 2 was performed with an ultrahigh pressure mercury lamp, and further a development process was performed to obtain a desired partition wall pattern. Thereafter, heat treatment was performed in the hot air firing furnace under the firing conditions shown in Tables 1 to 3.

(着色インキの調整)
下記組成物を、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル0.75重量部を加え、70℃5時間の条件で反応させ、アクリル共重合体樹脂を得た。
[着色インキ組成物]
メタクリル酸 20重量部
メチルメタクリレート 10重量部
ブチルメタクリレート 55重量部
ヒドロキシエチルメタクリレート 15重量部
乳酸ブチル 300重量部
得られたアクリル共重合体樹脂が、全体に対して10重量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて希釈し、アクリル共重合体樹脂の希釈液を得た。
(Colored ink adjustment)
0.75 parts by weight of azobisisobutylnitrile was added to the following composition under a nitrogen atmosphere and reacted at 70 ° C. for 5 hours to obtain an acrylic copolymer resin.
[Colored ink composition]
Methacrylic acid 20 parts by weight Methyl methacrylate 10 parts by weight Butyl methacrylate 55 parts by weight Hydroxyethyl methacrylate 15 parts by weight Butyl lactate 300 parts by weight Propylene glycol monomethyl so that the resulting acrylic copolymer resin is 10% by weight Dilution with ether acetate gave a diluted solution of acrylic copolymer resin.

この希釈液80.1gに対し、着色顔料19.0g、分散剤としてポリオキシエチレンアルキルエーテル0.9gを添加して、3本ロールにて混練し、赤色、緑色、青色の各着色ワニスを得た。なお、赤色顔料として、ピグメントレッド177を、緑色顔料としてピグメントグリーン36を、青色顔料としてピグメントブルー15を、各々使用した。 Add 19.0 g of color pigment and 0.9 g of polyoxyethylene alkyl ether as a dispersant to 80.1 g of this diluted solution, and knead with three rolls to obtain red, green and blue colored varnishes. It was. As a red pigment, Pigment Red 177, Pigment Green 36 as a green pigment, and Pigment Blue 15 as a blue pigment were used.

得られた各着色ワニスに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、その顔料濃度が12〜15重量%、粘度が15cpsになるように、各々調整して添加し、赤色、緑色、及び青色着色インキを得た。 Propylene glycol monomethyl ether acetate is added to each colored varnish so that the pigment concentration is 12 to 15% by weight and the viscosity is 15 cps, and red, green, and blue colored inks are obtained. It was.

(カラーフィルタの作製)
図1に示される本発明の吐出装置を用いて、着色層を形成した。ここで、各セルの理想総液量Mは660pl、設定量mは24pl、ドロップ数の増減数bは2、1ドロップの吐出量aは6plである。また、本発明の吐出パターン生成方法を用いない場合の基準ドロップ数の調整後、補正前の平均総液量M´´は図6(a)のようになる。このように、セルライン上では同一のノズルを用いているために、吐出量はほぼ等しくなってしまい、セルライン間の色ムラが視覚的に目立ってしまうことになる。
(Production of color filter)
A colored layer was formed using the discharge device of the present invention shown in FIG. Here, the ideal total liquid amount M of each cell is 660 pl, the set amount m is 24 pl, the drop number increase / decrease number b is 2, and the 1-drop discharge amount a is 6 pl. Further, after the adjustment of the reference drop number when the ejection pattern generation method of the present invention is not used, the average total liquid amount M ″ before correction is as shown in FIG. As described above, since the same nozzle is used on the cell line, the discharge amount becomes almost equal, and the color unevenness between the cell lines becomes visually noticeable.

次に、吐出装置のインクジェットヘッドコントローラー(図1の4)に数2に示された数式で各セルのドロップ数を決定するプログラムを組み込み、画素部の形成を行った。 Next, a program for determining the number of drops in each cell using the mathematical formula shown in Equation 2 was incorporated into the inkjet head controller (4 in FIG. 1) to form the pixel portion.

その結果を図6に示す。各マトリックスは基板上着色層の各セルを表し、(a)はドロップ数の調整をした後、補正前の各セルのドロップ数、(b)は補正後のドロップ数である。 The result is shown in FIG. Each matrix represents each cell of the colored layer on the substrate, (a) is the number of drops of each cell before correction after adjusting the number of drops, and (b) is the number of drops after correction.

補正前の平均総液量M´´と比較して、補正後の平均総液量は660.077plと理想総液量に近い値となり、全体として色ムラの低減されたカラーフィルタとなった。 Compared with the average total liquid volume M ″ before correction, the average total liquid volume after correction was 660.077 pl, which is a value close to the ideal total liquid volume, and the color filter as a whole has reduced color unevenness.

以上のように、ノズルごとの吐出量のバラツキを測定して、ノズルごとに吐出量を制御することなく、短時間で各着色層のセルごとの吐出量のバラツキを低減し、高精度なカラーフィルタを製造することができた。 As described above, the variation in discharge amount for each nozzle is measured, and the variation in discharge amount for each cell of each colored layer is reduced in a short time without controlling the discharge amount for each nozzle. The filter could be manufactured.

本発明の吐出パターン生成装置の全体構成図例を示す概略図Schematic showing an example of the overall configuration of the ejection pattern generation apparatus of the present invention シェアウェーブモードのインクジェットヘッドのノズル概略図Schematic diagram of nozzle of share wave mode inkjet head シェアウェーブモードのインキ吐出動作フローチャートInk discharge operation flowchart in share wave mode インクジェットヘッドのノズルから有効なノズルを選択する概略図Schematic of selecting an effective nozzle from the nozzles of an inkjet head セル内の乱数により選択されたノズルを示す概略図Schematic showing nozzles selected by random number in cell 実施例の結果の概略図Schematic of the results of the examples 実施例の結果の概略図Schematic of the results of the examples

符号の説明Explanation of symbols

1・・・インクジェットヘッド
2・・・インクジェットヘッドユニット
3・・・基板置き台
4・・・インクジェットヘッドコントローラー
5・・・ノズル
6・・・有効なノズル
7・・・隔壁開口部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet head 2 ... Inkjet head unit 3 ... Substrate stand 4 ... Inkjet head controller 5 ... Nozzle 6 ... Effective nozzle 7 ... Partition wall opening

Claims (10)

基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインキを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成装置であって、
前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から有効なノズルを選択する手段と、
前記有効なノズルから吐出するインキのドロップ数の増減数を乱数を用いて決定する手段と、
を具備することを特徴とする吐出パターン生成装置。
A discharge pattern generation device that discharges ink from a plurality of nozzles to an opening of a pattern on a substrate and forms a pixel portion on the substrate,
Means for selecting an effective nozzle from parameter information of the nozzle and the substrate;
Means for determining an increase / decrease number of ink drops ejected from the effective nozzle using a random number;
An ejection pattern generation apparatus comprising:
前記有効なノズルから、前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する手段を具備することを特徴とする請求項1に記載の吐出パターン生成装置。 The ejection pattern generation apparatus according to claim 1, further comprising means for randomly selecting a nozzle that increases or decreases the number of drops from the effective nozzles. 複数のノズルを有する複数のノズルヘッドからなる吐出パターン生成装置であって、
ノズルヘッドごとに、ノズルから一回に吐出するインキの吐出量を設定する手段を具備することを特徴とする、請求項1または2に記載の吐出パターン生成装置。
An ejection pattern generation device comprising a plurality of nozzle heads having a plurality of nozzles,
The ejection pattern generation apparatus according to claim 1, further comprising means for setting an ejection amount of ink ejected from the nozzle at a time for each nozzle head.
基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインキを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成方法であって、
前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から前記開口部に位置する有効なノズルを選択する工程と、
前記有効なノズルから吐出するインキのドロップ数の増減数を乱数を用いて決定する工程と、
を有することを特徴とする吐出パターン生成方法。
An ejection pattern generation method for ejecting ink from a plurality of nozzles to an opening of a pattern on a substrate and forming a pixel portion on the substrate,
Selecting an effective nozzle located in the opening from the nozzle and substrate parameter information;
Determining an increase / decrease number of ink drops discharged from the effective nozzle using a random number;
A discharge pattern generation method characterized by comprising:
基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインキを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成方法であって、
前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から前記開口部に位置する有効なノズルを選択する工程と、
前記ノズルから吐出するインキのドロップ数の増減数を乱数を用いて決定する工程と、
有効なノズルから、前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する工程と、
を有することを特徴とする吐出パターン生成方法。
An ejection pattern generation method for ejecting ink from a plurality of nozzles to an opening of a pattern on a substrate and forming a pixel portion on the substrate,
Selecting an effective nozzle located in the opening from the nozzle and substrate parameter information;
Determining the number of ink drops discharged from the nozzles using a random number;
Randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops from effective nozzles;
A discharge pattern generation method characterized by comprising:
前記ドロップ数の増減数が、同一ノズルヘッドによって開口部に吐出したインキの平均総液量の理想値からのズレの大きさにより重み付けされることを特徴とする請求項4または5に記載の吐出パターン生成方法。 6. The ejection according to claim 4, wherein the increase / decrease number of the number of drops is weighted by a deviation from an ideal value of an average total liquid amount of ink ejected to the opening by the same nozzle head. Pattern generation method. 乱数によって増減させる前の前記ドロップ数を、前記平均総液量の理想値に最も近くなるように設定されることを特徴とする請求項4ないし6に記載の吐出パターン生成方法。 The ejection pattern generation method according to claim 4, wherein the number of drops before increasing or decreasing by a random number is set to be closest to an ideal value of the average total liquid amount. 前記ドロップ数の増減数の最大値が、各開口部の平均総液量のバラツキの程度によって決定されることを特徴とする請求項4ないし7に記載の吐出パターン生成方法。 The discharge pattern generation method according to claim 4, wherein the maximum value of the increase / decrease number of the drop number is determined by the degree of variation in the average total liquid amount of each opening. 基板上に隔壁パターンと、該隔壁パターンの開口部の着色層からなるカラーフィルタの製造方法であって、
請求項4ないし8に記載の吐出パターン生成方法により、着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
A method for producing a color filter comprising a partition wall pattern on a substrate and a colored layer at an opening of the partition wall pattern,
A method for producing a color filter, wherein a colored layer is formed by the ejection pattern generation method according to claim 4.
基板上に隔壁パターンと、該隔壁パターンの開口部に一層あるいは複数の有機機能層からなる有機機能性素子の製造方法であって、
請求項4ないし8に記載の吐出パターン生成方法により、有機機能層を形成することを特徴とする有機機能性素子の製造方法。

A method for producing an organic functional element comprising a partition pattern on a substrate, and one or more organic functional layers in an opening of the partition pattern,
9. A method for producing an organic functional element, wherein an organic functional layer is formed by the ejection pattern generation method according to claim 4.

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