JP5458474B2 - Discharge pattern generator - Google Patents

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Description

本発明は、高精細なパターンを吐出するための吐出パターン生成方法及び吐出パターン生成装置に関するものであり、カラーフィルタの製造方法および有機機能性素子の製造方法に関する、特に隔壁パターンに対し一定量の液滴を吐出させるために適したインクジェット吐出装置に関する。   The present invention relates to a discharge pattern generation method and a discharge pattern generation apparatus for discharging a high-definition pattern, and relates to a method for manufacturing a color filter and a method for manufacturing an organic functional element. The present invention relates to an inkjet discharge apparatus suitable for discharging droplets.

カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでいる。従来では、フォトリソグラフィー工程を繰り返す顔料分散法等が用いられてきたが、カラーフィルタのコストダウン化を図るために、近年は工程数が少なく、カラーフィルタの各着色層を同時に形成することが可能なインクジェット装置を用いた方法が検討されている。   The substrate size of color filters is increasing year by year. Conventionally, a pigment dispersion method that repeats the photolithography process has been used, but in order to reduce the cost of the color filter, the number of processes has been reduced in recent years, and each colored layer of the color filter can be formed simultaneously. A method using an ink jet apparatus has been studied.

インクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法としては、隔壁で区切られた開口部に、インクジェットノズルヘッドのノズルからカラーフィルタの各色に対応する着色インクを吐出し、各着色層を形成する方法が一般的である。このとき、各開口部に吐出、充填されるインクの充填量のバラツキが小さいほどカラーフィルタの色ムラが低減され、高品質なカラーフィルタを製造することができる。   As a method for producing a color filter using an ink jet apparatus, a method of forming each colored layer by discharging colored ink corresponding to each color of the color filter from the nozzles of the ink jet nozzle head to the openings partitioned by the partition walls is generally used. Is. At this time, the color unevenness of the color filter is reduced as the variation in the amount of ink discharged and filled into each opening is smaller, and a high-quality color filter can be manufactured.

一方、カラーフィルタとしては、画像表示装置等の高解像度化、それに伴う高精細化によって、年々微細化する傾向にある。カラーフィルタの画素の微細化に従って、インクジェットで塗工するパターンピッチは狭くなっていくため、インクジェットノズルヘッドからのインクの吐出量を少量でかつ均一となるように高い精度で制御する必要がある。このため、インクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法においては、複数のインクジェットノズルヘッドを積み重ねて解像度を向上させる方法が検討されている。   On the other hand, color filters tend to be miniaturized year by year due to higher resolution of image display devices and the like, and higher definition. As the pixels of the color filter become finer, the pattern pitch to be applied by the ink jet becomes narrower. Therefore, it is necessary to control the amount of ink discharged from the ink jet nozzle head with high accuracy so as to be small and uniform. For this reason, in the manufacturing method of the color filter using an inkjet apparatus, the method of accumulating a some inkjet nozzle head and improving the resolution is examined.

しかしながら、インクジェットノズルヘッドから吐出されるインク量は、ノズルごとにバラツキを持っているために、吐出量が異なる場合がある。特に、複数のインクジェットノズルヘッドを積み重ねた、高解像度を目的とする吐出装置の場合には、一つのノズルから吐出されるインク量がごく微小量のために、バラツキは相対的に大きいものとなってしまう。   However, since the amount of ink ejected from the inkjet nozzle head varies from nozzle to nozzle, the ejection amount may vary. In particular, in the case of an ejection device aiming at high resolution in which a plurality of inkjet nozzle heads are stacked, the amount of ink ejected from one nozzle is extremely small, so the variation is relatively large. End up.

この場合、各開口部に対し、同量のインクを充填するために、各ノズルから同じ回数のインクを吐出したとしても、ノズルごとのバラツキにより最終的なインクの充填量に差が生じてしまい、各画素間の色ムラとなってカラーフィルタの品質および歩留まりを低下させる原因となっていた。   In this case, even if the same number of inks are ejected from each nozzle in order to fill each opening with the same amount of ink, there is a difference in the final ink filling amount due to variations in each nozzle. As a result, the color unevenness between the pixels is a cause of lowering the quality and yield of the color filter.

結果として、同一ノズルヘッドセットの組み合わせによって吐出した各々の隔壁開口部(以下、セル)への吐出量はほぼ等しくなるために、同一ノズルヘッドセットで形成した吐出パターンのライン(以下、セルライン)と、異なるノズルヘッドセットにより形成したセルラインでの吐出量の差がインクの平均総液量となり、そのバラツキのために視覚的に色ムラとして現われてしまうことになる。   As a result, since the discharge amount to each partition opening (hereinafter referred to as cell) discharged by the combination of the same nozzle headset is substantially equal, the discharge pattern line (hereinafter referred to as cell line) formed by the same nozzle headset. Then, the difference in the discharge amount between the cell lines formed by the different nozzle headsets becomes the average total liquid amount of the ink, and due to the variation, the color unevenness appears visually.

このような問題の解決のため、ノズルごとの吐出バラツキを抑える手段として、例えばノズルごとに駆動電圧値を変更できる回路装置を組み込み、理想吐出量と実際の吐出量を比較し、吐出量を調整することでムラを低減する方法が、特許文献1に掲載されている。   To solve such problems, for example, a circuit device that can change the drive voltage value for each nozzle is incorporated as a means to suppress discharge variation for each nozzle, and the ideal discharge amount is compared with the actual discharge amount to adjust the discharge amount. A method of reducing the unevenness by doing so is disclosed in Patent Document 1.

しかしながら上記特許文献1に示すように、ノズル毎に駆動電圧値を変更し、補正するには、各ノズルのバラツキや、隣接ノズルが同時タイミングで吐出している場合、または吐出していない場合では吐出量が異なる隣接のクロストークによる影響等を、全て把握する必要がある。このため、何回も吐出し、その測定を繰り返し行い、各ノズルの吐出バラツキが無くなるまで作業をするため、膨大な時間や材料を使用する問題があった。   However, as shown in the above-mentioned Patent Document 1, in order to change and correct the drive voltage value for each nozzle, in the case of variation of each nozzle, when adjacent nozzles are discharging at the same timing, or when not discharging It is necessary to grasp all the effects of adjacent crosstalk with different discharge amounts. For this reason, there is a problem of using enormous amounts of time and materials because the discharge is performed many times, the measurement is repeated, and the operation is performed until there is no discharge variation of each nozzle.

同様の問題は、予め基板上に隔壁を形成した、その開口部に1層あるいは複数の有機機能層を積層した有機EL素子、または有機太陽電池等の有機機能性素子を、インクジェット法を用いて製造した際にも生じる。例えば、有機EL素子においては、吐出装置からの有機機能性インクを吐出し、形成した発光層にムラやバラツキが生じていると、全体として発光ムラやバラツキの目立った有機EL素子のとなってしまう。   A similar problem is that an organic EL element in which a partition wall is previously formed on a substrate and one or more organic functional layers are stacked in an opening thereof, or an organic functional element such as an organic solar cell is formed using an inkjet method. It also occurs when manufactured. For example, in an organic EL element, when organic functional ink is discharged from a discharge device and unevenness or variation occurs in the formed light-emitting layer, the organic EL element becomes conspicuous in uneven emission or variation as a whole. End up.

以下に公知文献を記す。
特開2004−90621号公報
The known literature is described below.
JP 2004-90621 A

本発明は、これら上記の問題を鑑みてなされたもので、ノズル毎に吐出量を測定した後、そのバラツキを補正することにより、駆動電圧を変更することなく、ノズル毎の吐出バラツキによる濃度むらが発生し品質低下しない、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができる吐出パターン生成装置を提供することを課題としている。   The present invention has been made in view of the above-described problems. After measuring the discharge amount for each nozzle, the unevenness due to the discharge variation for each nozzle is corrected without changing the drive voltage by correcting the variation. It is an object of the present invention to provide a discharge pattern generation device capable of producing a high-quality color filter and organic functional element that does not cause quality degradation.

本発明の一実施形態に係る発明は、予め形成した基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインクを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成装置であって、前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から有効なノズルを選択する手段と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減数を関数を用いて決定する手段を具備することを特徴とする吐出パターン生成装置であり、前記関数は、ざらつき感を軽減した乱数であることを特徴とする。
The invention according to an embodiment of the present invention is an ejection pattern generation device that ejects ink from a plurality of nozzles into an opening of a pattern on a substrate formed in advance, and forms a pixel portion on the substrate. An ejection pattern generation apparatus comprising: means for selecting effective nozzles from parameter information of the substrate; and means for determining an increase / decrease number of ink drops ejected from the effective nozzles using a function. Ah is, the function is characterized by a random number to reduce graininess.

本発明の一実施形態に係る発明は、前記有効なノズルから、前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する手段を具備することを特徴とする吐出パターン生成装置である。
The invention according to an embodiment of the present invention is an ejection pattern generation device comprising means for randomly selecting a nozzle that increases or decreases the number of drops from the effective nozzles.

本発明の一実施形態に係る発明は、複数のノズルを有する複数のノズルヘッドからなる吐出パターン生成装置であって、ノズルヘッドごとに、ノズルから一回に吐出するインクの吐出量を設定する手段を具備することを特徴とする吐出パターン生成装置である。
The invention according to an embodiment of the present invention is an ejection pattern generation device including a plurality of nozzle heads having a plurality of nozzles, and means for setting the ejection amount of ink ejected from the nozzles at a time for each nozzle head An ejection pattern generation apparatus comprising:

本発明の一実施形態に係る発明は、予め形成した基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインクを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成方法であって、前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から有効なノズルを選択する工程と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減数を関数を用いて決定する工程とを備えたことを特徴とする吐出パターン生成方法であって、前記関数は、ざらつき感を軽減した乱数であることを特徴とする。
The invention according to an embodiment of the present invention is a discharge pattern generation method for forming a pixel portion on a substrate by discharging ink from a plurality of nozzles into an opening of a pattern on the substrate formed in advance. An ejection pattern generation method comprising: selecting an effective nozzle from the parameter information of the substrate; and determining an increase / decrease number of ink drops ejected from the effective nozzle using a function der, wherein the function is characterized by a random number to reduce graininess.

本発明の一実施形態に係る発明は、前記有効なノズルから、前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する工程を備えたことを特徴とする吐出パターン生成方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention is a discharge pattern generation method including a step of randomly selecting a nozzle that increases or decreases the number of drops from the effective nozzles.

本発明の一実施形態に係る発明は、複数のノズルを有する複数のノズルヘッドからなる吐出パターン生成方法であって、ノズルヘッドごとに、ノズルから一回に吐出するインクの吐出量を設定する工程を備えたことを特徴とする吐出パターン生成方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention is a discharge pattern generation method including a plurality of nozzle heads having a plurality of nozzles, and the step of setting a discharge amount of ink discharged from the nozzles at a time for each nozzle head A discharge pattern generation method characterized by comprising:

本発明の一実施形態に係る発明は、前記ドロップ数の増減数が、同一ノズルヘッドによって開口部に吐出したインクの平均総液量の理想値からのズレの大きさにより重み付けされることを特徴とする吐出パターン生成方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention is characterized in that the increase / decrease number of the number of drops is weighted by the amount of deviation from an ideal value of the average total liquid amount of ink ejected to the opening by the same nozzle head. This is a discharge pattern generation method.

本発明の一実施形態に係る発明は、乱数によって増減させる前の前記ドロップ数を、前記平均総液量の理想値に最も近くなるように設定されることを特徴とする吐出パターン生成方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention is a discharge pattern generation method characterized in that the number of drops before being increased or decreased by a random number is set to be closest to an ideal value of the average total liquid amount. .

本発明の一実施形態に係る発明は、前記ドロップ数の増減数の最大値が、同一ノズルヘッドによる各開口部の平均総液量のバラツキの程度によって決定されることを特徴とする吐出パターン生成方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention, the maximum number of increase or decrease the number of drop ejection pattern generation which being determined by the same nozzle head by the degree of variation in the average total volume of each opening Is the method.

本発明の一実施形態に係る発明は、基板上に隔壁パターンと、該隔壁パターンの開口部に着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記吐出パターン生成方法により、着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention, a barrier rib pattern on the substrate, a manufacturing method of a color filter for forming a colored layer in the opening of the partition wall pattern, by the discharge pattern generation method, forming a colored layer And a color filter manufacturing method.

本発明の一実施形態に係る発明は、基板上に隔壁パターンと、該隔壁パターンの開口部に一層あるいは複数の有機機能層を形成する有機機能性素子の製造方法であって、前記吐出パターン生成方法により、有機機能層を形成することを特徴とする有機機能性素子の製造方法である。
The invention according to an embodiment of the present invention is a method of manufacturing an organic functional element in which a partition pattern is formed on a substrate and one or more organic functional layers are formed in an opening of the partition pattern, wherein the ejection pattern generation An organic functional layer is formed by the method, and is a method for producing an organic functional element.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成装置によって、各セルに吐出するインクの吐出量にランダムなバラツキを与える等の関数手段を有することにより、セルごとに実際に吐出するドロップ数に幅を持たせることで、セルライン内に一定幅のバラツキを持たせ、セルラインごとの平均吐出量のバラツキを目立たなくすることができ、これにより全体的な色ムラを低減することができる。
With the ejection pattern generation device according to an embodiment of the present invention, by having functional means such as giving random variations in the ejection amount of ink ejected to each cell, the width of the number of drops actually ejected for each cell is increased. By providing it, it is possible to give a variation of a certain width within the cell line and make the variation of the average discharge amount for each cell line inconspicuous, thereby reducing the overall color unevenness.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成装置によって、ランダムなバラツキであっても、目視観察等を実施した際、ざらつき感を低減することができた。

With the ejection pattern generation device according to an embodiment of the present invention, even when there is random variation, a rough feeling can be reduced when visual observation or the like is performed.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成装置によって、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキから生じる色ムラを低減することができ、全体として各セル間の吐出量のバラツキを低減することができた。
By randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops by the ejection pattern generation device according to an embodiment of the present invention, it is possible to reduce color unevenness caused by variation in the ejection amount of each nozzle, and each cell as a whole It was possible to reduce the variation in the discharge amount.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成装置によって、ノズルヘッドごとに吐出量を調整することが可能となり、各セルラインの平均総液量を理想総液量に近づけることができ、セルラインごとの膜厚のバラツキを低減し、膜厚の少ない吐出パターンを形成することが可能となった。

The discharge pattern generation device according to an embodiment of the present invention makes it possible to adjust the discharge amount for each nozzle head, the average total liquid amount of each cell line can be brought close to the ideal total liquid amount, and for each cell line Thus, it is possible to form a discharge pattern with a small film thickness.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成方法によって、各ノズルから吐出するインクの吐出量にバラツキを与えることにより、あらかじめ各ノズル間で生じていた吐出量のバラツキによる各セル間の吐出量のバラツキを軽減することができた。
By providing a variation in the ejection amount of ink ejected from each nozzle by the ejection pattern generation method according to an embodiment of the present invention, the ejection amount between cells due to the variation in ejection amount that has occurred between the nozzles in advance. Variations could be reduced.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成方法によって、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択することにより、各ノズルラインの吐出量のバラツキから生じる色ムラを低減することができ、全体としてのセルラインの総液量のバラツキを低減することができた。
By randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops by the ejection pattern generation method according to an embodiment of the present invention, it is possible to reduce color unevenness caused by variations in the ejection amount of each nozzle line. The variation in the total liquid volume of the cell line could be reduced.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成方法によって、ノズルの吐出量のバラツキの程度に合わせたインクの吐出の制御が容易にでき、さらに吐出量の理想値からのずれを補正できることにより、より理想総液量に平均総液量を近づけることが可能となり、吐出パターンの生成ができた。
By the ejection pattern generation method according to an embodiment of the present invention, it is possible to easily control the ejection of ink in accordance with the degree of variation in the ejection amount of the nozzles, and further, it is possible to correct a deviation from the ideal value of the ejection amount. The average total liquid volume can be brought close to the ideal total liquid volume, and a discharge pattern can be generated.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成方法によって、平均量を理想値に近づけることができたことにより、より少ない増減させるドロップ数の最大値によって、理想総液量に近づけることが可能となった。
By the discharge pattern generation method according to one embodiment of the present invention, the average amount can be brought close to the ideal value, and therefore it becomes possible to approach the ideal total liquid amount by the maximum value of the number of drops to be increased or decreased. It was.

本発明の一実施形態に係る吐出パターン生成方法によって、不同一ノズルヘッドによる各セルラインの平均総液量のバラツキとノズルごとの吐出量バラツキから生じる各セルの総液量のバラツキを近づけることでより均質で色ムラの少ない吐出パターンの生成が可能となり、請求項に係る発明を含む場合、同一ノズルヘッドで増減させるドロップ数の最大値の幅が広がるために、各セルの平均総液量のバラツキと同一ノズルヘッドによるセルライン内の総液量のバラツキを合わせることが容易になった。
By the discharge pattern generation method according to an embodiment of the present invention, the variation of the total liquid amount of each cell caused by the variation of the average total liquid amount of each cell line by the non-identical nozzle head and the discharge amount variation of each nozzle is made closer. It is possible to generate a more uniform discharge pattern with less color unevenness, and when the invention according to claim 7 is included, the range of the maximum number of drops to be increased or decreased by the same nozzle head is widened. It becomes easy to match the variation of the total liquid amount in the cell line by the same nozzle head.

本発明の一実施形態に係る発明によって、より均質な着色層が形成できた。このことにより高精細で色むら、バラツキの少ない高品質なカラーフィルタがより短時間で製造可能となった。
By the invention according to one embodiment of the present invention, a more uniform colored layer can be formed. As a result, a high-quality color filter with high definition, uneven color, and less variation can be produced in a shorter time.

本発明の一実施形態に係る発明によって、より均質な膜厚の有機機能層が形成することができ、発光ムラの少ない有機EL素子等、高品質な有機機能性素子を製造することが可能となった。
By the invention according to an embodiment of the present invention, an organic functional layer having a more uniform film thickness can be formed, and it is possible to manufacture a high-quality organic functional element such as an organic EL element with less light emission unevenness. became.

図1は、本発明の吐出パターン生成装置の全体構成の一例である。本発明吐出パターン生成装置には、複数のインクジェットノズルを複数列組み合わせて配置したインクジェットノズルヘッド1を複数個配列したインクジェットノズルヘッドユニット2を持つ構成である。カラーフィルタを生成するためには、着色層を形成する各色(例えばR、G、B)のインクの吐出を行う必要があるため、前述した複数個並んでいるインクジェットノズルヘッドの組み合わせが各色配置されている。また、インクジェットノズルヘッドユニットは主走査方向に移動し、画像描画を行う。   FIG. 1 shows an example of the overall configuration of the ejection pattern generation apparatus of the present invention. The discharge pattern generation apparatus of the present invention has a configuration having an inkjet nozzle head unit 2 in which a plurality of inkjet nozzle heads 1 in which a plurality of inkjet nozzles are arranged in combination are arranged. In order to generate a color filter, it is necessary to discharge ink of each color (for example, R, G, B) forming a colored layer, and therefore, a combination of a plurality of the above-described inkjet nozzle heads is arranged in each color. ing. The ink jet nozzle head unit moves in the main scanning direction and performs image drawing.

基板置き台3は、主走査方向と直行する副走査方向に移動可能であり、さらにθ方向に回転可能である。θ方向に回転可能なため、基板置き台の上に置かれた基板の隔壁とインクジェットノズルヘッドユニットを平行に合わせることができ、副走査方向に動作させることで画像描画を行うことができる。また、基板置き台には図示されていないが吸着機構
を備えており、基板置き台におかれた基板を固定することが可能である。
The substrate table 3 is movable in the sub-scanning direction perpendicular to the main scanning direction, and is further rotatable in the θ direction. Since it can rotate in the θ direction, the partition wall of the substrate placed on the substrate mounting table and the ink jet nozzle head unit can be aligned in parallel, and image drawing can be performed by operating in the sub-scanning direction. Further, although not shown in the figure, the substrate table is provided with a suction mechanism, and the substrate placed on the substrate table can be fixed.

本発明の吐出パターン生成装置は、少なくともインクを隔壁の開口部に吐出するためのインクジェットノズルヘッドに存するノズルと、あらかじめ入力されたパラメータ情報に基づいて位置情報を認識あるいは計測し、これを出力する手段と、ノズルから吐出するインクのドロップ数の増減を関数を用いて決定する手段とを有する。さらには、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択する手段を有する吐出パターン生成装置である。なお、パラメータ情報とは、例えば基板のサイズ、形成パターン等の事前に入力される情報と、ノズル及び基板の位置等の逐次入力されるノズル及び基板に係る情報を合わせた、吐出パターンに係る情報である。   The ejection pattern generation apparatus of the present invention recognizes or measures position information based on at least nozzles existing in an inkjet nozzle head for ejecting ink to an opening of a partition wall and parameter information input in advance, and outputs the position information. And means for determining an increase / decrease in the number of drops of ink ejected from the nozzles using a function. Furthermore, it is a discharge pattern generation device having means for randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops. The parameter information is information related to the discharge pattern, for example, information that is input in advance such as the size of the substrate and the formation pattern, and information that is sequentially input such as the position of the nozzle and the substrate, and the information related to the substrate. It is.

本発明に用いる関数は、ざらつき感を低減するための乱数である。通常乱数は、図8に示すような形態である。このパワースペクトルは、図9に示すような形態である。   The function used in the present invention is a random number for reducing the feeling of roughness. The normal random number is in a form as shown in FIG. This power spectrum has a form as shown in FIG.

一方、画像評価手法に関する公知文献では、人間の目で対象物を観察する際、敏感に知覚するかどうかの一つの尺度として、MTFあるいはVTFを用いることが一般的である。   On the other hand, in known literature concerning image evaluation techniques, it is common to use MTF or VTF as one measure of whether or not to perceive sensitively when observing an object with human eyes.

この関数で、知覚に敏感なのは、空間周波数における低周波数部分である。そこで、乱数の中で、該当する周波数成分を除去した乱数を画像に展開すると、ざらつき感が低減されることが、実験等で確認されている。   In this function, it is the low frequency part of the spatial frequency that is sensitive to perception. Thus, it has been confirmed through experiments and the like that when a random number from which a corresponding frequency component is removed is expanded in an image, the feeling of roughness is reduced.

その乱数の一例を図10に示す。またそのパワースペクトルを図11に示す。   An example of the random number is shown in FIG. The power spectrum is shown in FIG.

本発明に用いるインクジェットノズルヘッド及びインクを吐出するためのノズルは、複数のノズルが配置された構成のものであれば適用可能であるが、図2のように、一列に配置されたノズルが、複数の組み合わされているものを用いる。この場合、各相のノズルは各々異なったタイミングでインクを吐出される。例えば図2はインクジェットノズルヘッド1の断面図の模式図であるが、ノズルA相、ノズルB相、ノズルC相(以下A相、B相、C相と記す)の同じ行からインクが吐出されるタイミングはA、B、Cの順でずれる。この方式(以下、シェアウェーブモードと記載)では各ノズルの間隔、例えばA層〜B層、B層〜C層を狭め、高密度なインクジェットノズルヘッドとすることができるために、高精細な吐出パターン形成が必要なカラーフィルタの製造に適している。   The inkjet nozzle head and the nozzle for ejecting ink used in the present invention can be applied as long as they have a configuration in which a plurality of nozzles are arranged, but as shown in FIG. Use a combination of several. In this case, the ink of each phase is ejected at different timing. For example, FIG. 2 is a schematic diagram of a cross-sectional view of the inkjet nozzle head 1, but ink is ejected from the same row of the nozzle A phase, the nozzle B phase, and the nozzle C phase (hereinafter referred to as A phase, B phase, and C phase). Timing is shifted in the order of A, B, C. In this method (hereinafter referred to as “shear wave mode”), the intervals between the nozzles, for example, the A layer to B layer and the B layer to C layer can be narrowed to obtain a high-density inkjet nozzle head. Suitable for manufacturing color filters that require pattern formation.

このインクジェットノズルヘッド1は、A相、B相、C相に対応するバッファ(以下、ラインバッファと記載)を備えていて、各相のラインバッファは相互に情報を転送することができる。このインクジェットノズルヘッドから吐出されるまでの簡単な動作フローを図3に示す。   The inkjet nozzle head 1 includes buffers (hereinafter referred to as line buffers) corresponding to A phase, B phase, and C phase, and the line buffers of each phase can transfer information to each other. A simple operation flow until the ink jet nozzle head discharges is shown in FIG.

まず、A相ラインバッファが、吐出パターン情報を受けとり、その転送された情報のうちA相に関する情報に基づいてA相インク吐出口から吐出を開始する。また、A相インク吐出口から吐出開始と同時に、吐出パターン情報をA相ラインバッファからB相ラインバッファに転送する。A相インク吐出口から吐出終了後、B相インク吐出口は、転送された吐出パターン情報のうちB相に関する情報に基づいて吐出を開始する。また、B相インク吐出口から吐出開始と同時に、吐出パターン情報をB相ラインバッファからC相ラインバッファに転送する。B相インク吐出口から吐出終了後、C相インク吐出口は、転送された吐出パターン情報のうちC相に関する情報に基づいて吐出を開始する。C相インク吐出口から吐出終了後、ラインカウンターにて設定回数ライン吐出を行ったかどうかの判定を行い、設定回数の吐出が行なわれていなければ、吐出パターン情報をA相ラインバッファに転送する。再び、A相インク吐出口は吐出パターン情報に基づいて吐出開始する。以下、前述した動作をライン数分繰り返し行い、所望の吐出パターンを作成する。   First, the A-phase line buffer receives the ejection pattern information, and starts ejection from the A-phase ink ejection port based on the information related to the A phase in the transferred information. Simultaneously with the start of ejection from the A-phase ink ejection port, ejection pattern information is transferred from the A-phase line buffer to the B-phase line buffer. After the end of ejection from the A-phase ink ejection port, the B-phase ink ejection port starts ejection based on information regarding the B phase in the transferred ejection pattern information. Simultaneously with the start of ejection from the B-phase ink ejection port, ejection pattern information is transferred from the B-phase line buffer to the C-phase line buffer. After the end of ejection from the B-phase ink ejection port, the C-phase ink ejection port starts ejection based on information related to the C phase in the transferred ejection pattern information. After completion of ejection from the C-phase ink ejection port, it is determined whether or not the line counter has been ejected a set number of times, and if the set number of ejections has not been performed, the ejection pattern information is transferred to the A-phase line buffer. Again, the A-phase ink discharge port starts to discharge based on the discharge pattern information. Thereafter, the above-described operation is repeated for the number of lines to create a desired ejection pattern.

以上がシェアウェーブモードでの吐出制御方法であるが、本発明の吐出装置はその他の方式でも問題ない。以下、本発明の吐出パターン形成方法によってカラーフィルタを形成する場合を例に説明するが、その他の光学素子、例えば有機EL素子の場合であれば発光層の各色画素を形成する場合にも同様に本発明を用いることができる。   The above is the discharge control method in the share wave mode, but the discharge apparatus of the present invention has no problem even in other methods. Hereinafter, a case where a color filter is formed by the discharge pattern forming method of the present invention will be described as an example. However, in the case of other optical elements, for example, organic EL elements, similarly, when forming each color pixel of the light emitting layer. The present invention can be used.

吐出パターン情報に基づいてインクジェットノズルヘッドのノズルからインクを吐出する制御手段として、例えばインクジェットノズルヘッドコントローラー4を吐出装置に接続する。インクジェットノズルヘッドコントローラー4は、インクジェットノズルヘッドを駆動し、インクジェットノズルヘッドパラメータ情報と吐出パターンが格納されている。インクジェットノズルヘッドパラメータ情報は、インクジェットノズルヘッドを駆動させるための情報である。吐出パターン情報は、インクジェットノズルヘッドの位置情報を引数として、特定のノズルの吐出についての情報が格納されている。吐出を行う際にインクジェットノズルヘッドコントローラーから各ノズルに吐出パターン情報が転送され、描画を行うことが可能である。   For example, an inkjet nozzle head controller 4 is connected to the ejection device as control means for ejecting ink from the nozzles of the inkjet nozzle head based on the ejection pattern information. The inkjet nozzle head controller 4 drives the inkjet nozzle head and stores inkjet nozzle head parameter information and ejection patterns. The inkjet nozzle head parameter information is information for driving the inkjet nozzle head. In the ejection pattern information, information about ejection of a specific nozzle is stored with the position information of the inkjet nozzle head as an argument. When performing ejection, ejection pattern information is transferred from the inkjet nozzle head controller to each nozzle, and drawing can be performed.

また、上記インクジェットノズルヘッドコントローラー4のインクジェットノズルヘッドを駆動させるためのインクジェットノズルヘッドパラメータ情報には、インクジェットノズルヘッドごとに最適の電圧値のパラメータを設定できることが好ましい。全てのインクジェットノズルヘッドの駆動電圧を同じ値に設定すると、インクジェットノズルヘッドから吐出される液滴の量が個体差により変わるため、基板内にインクを均一に吐出することができなくなるおそれがある。インクジェットノズルヘッドごとに最適の電圧値のパラメータを設定できるようにすることによって、インクジェットノズルヘッドごとの吐出量を制御することが可能となり、各セルの吐出量を調整することができる。   In addition, in the inkjet nozzle head parameter information for driving the inkjet nozzle head of the inkjet nozzle head controller 4, it is preferable that an optimum voltage value parameter can be set for each inkjet nozzle head. If the drive voltages of all the ink jet nozzle heads are set to the same value, the amount of liquid droplets ejected from the ink jet nozzle heads varies depending on individual differences, and there is a possibility that ink cannot be uniformly ejected into the substrate. By making it possible to set an optimal voltage value parameter for each ink jet nozzle head, it becomes possible to control the discharge amount for each ink jet nozzle head and to adjust the discharge amount of each cell.

本発明の有する、位置情報を認識、または計測し、これを出力する手段は、予め入力されたカラーフィルタのサイズ、隔壁パターンのピッチ、画素部のパターン(ストライプ配列、セル配列、モザイク配列等の情報配列パターンを含む)等のカラーフィルタ基板のパラメータと、インクジェットノズルヘッド及びノズルの位置情報(ヘッドの位置ずれ情報を含む)と、吐出装置の基板の置き台の移動量等のパラメータ(以下、合わせて吐出パターン情報と記載)から、ノズルから基板上に吐出されるインクの着弾位置を算出する。あるいは、吐出装置に設置されたカメラによって、基板表面の画像を取得し、処理し、インクの着弾位置を算出することもできる。   The means for recognizing or measuring positional information and outputting the positional information possessed by the present invention includes a color filter size, a partition pattern pitch, a pixel pattern (such as a stripe arrangement, a cell arrangement, and a mosaic arrangement) inputted in advance. Parameters of the color filter substrate such as the information array pattern), positional information of the inkjet nozzle head and nozzles (including the positional deviation information of the head), and parameters such as the amount of movement of the substrate table of the ejection device (hereinafter, In addition, the landing position of the ink discharged from the nozzle onto the substrate is calculated from the discharge pattern information). Alternatively, an image of the substrate surface can be acquired and processed by a camera installed in the ejection device, and the ink landing position can be calculated.

基板上の隔壁パターンに対してインクジェットノズルヘッド及びノズルの位置が算出した後、この情報を基に、インクの着弾位置が、画素部の形成位置(目的とする隔壁開口部:セル)であるか否かをプログラムにより処理判断する。着弾位置が目的とする隔壁開口部に該当する場合のみ有効なノズルとして認識され、そうではないノズルからは吐出されない。   After the position of the inkjet nozzle head and the nozzle is calculated with respect to the partition pattern on the substrate, based on this information, is the ink landing position the pixel portion formation position (target partition opening: cell)? Whether or not processing is determined by a program. Only when the landing position corresponds to the target partition opening, the nozzle is recognized as an effective nozzle, and is not ejected from a nozzle that is not.

図4は、ノズルが有効か否かの判断の具体例である。インクジェットノズルヘッドのノズル5のうち、カラーフィルタ基板の開口部の直上部にあたるノズルについては有効と判断され、それ以外のノズルは無効と判断し、吐出パターン情報を生成する。そして、この吐出パターン情報に従って、各インクジェットノズルヘッドのノズルは目的とするセル内にインクを吐出する。   FIG. 4 is a specific example of determining whether a nozzle is valid. Of the nozzles 5 of the inkjet nozzle head, the nozzles directly above the openings of the color filter substrate are determined to be valid, and the other nozzles are determined to be invalid, and discharge pattern information is generated. Then, according to this ejection pattern information, the nozzles of each inkjet nozzle head eject ink into the target cell.

ここで本発明の吐出装置及び吐出方法を用いない場合には、セルライン内においては、セルごとの吐出量のバラツキが小さい場合、つまり各セルの吐出量の標準偏差が小さい場合(セルライン内の吐出量の標準偏差)でも、各セルライン間の吐出量の標準偏差(セル
ライン間の吐出量の標準偏差)が、セルライン内の吐出量の標準偏差に比べて大きいために、全体として視覚的に色ムラの大きいカラーフィルタとなってしまう。
Here, when the discharge apparatus and the discharge method of the present invention are not used, in the cell line, when the variation in the discharge amount for each cell is small, that is, when the standard deviation of the discharge amount of each cell is small (within the cell line) The standard deviation of the discharge amount between each cell line (standard deviation of the discharge amount between cell lines) is larger than the standard deviation of the discharge amount within the cell line. This results in a color filter with large color unevenness visually.

そこで本発明の吐出パターン形成装置は、有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減数が乱数を用いて決定する手段を有することによって、この問題を解決する。つまり、ある一定規定量のドロップ数(以下、基本ドロップ数)から、各セルごとに実際に吐出するドロップ数に幅を持たせることで、セルライン内に任意のバラツキを持たせ、各セルラインごとの平均吐出量のバラツキを目立たなくすることができ、これにより全体的な色ムラを低減することができる。   Therefore, the ejection pattern forming apparatus of the present invention solves this problem by having means for determining the increase / decrease number of ink drops ejected from effective nozzles using random numbers. In other words, by giving a certain range of drops to each cell from a certain specified amount of drops (hereinafter referred to as the basic number of drops), each cell line can have any variation. The variation in the average discharge amount for each can be made inconspicuous, thereby reducing the overall color unevenness.

ここで、ノズルから吐出するインキのドロップ数の増減数を乱数を用いて決定する手段は、上述の有効なノズルから吐出するノズルを選択し、さらに、演算用計算機により、乱数を用いて、吐出するインキのドロップ数を規定の値から任意の増減を与える。あらかじめ設定した増減数の範囲内で、ランダムに増減数を振り分けることで、画素部の各セルに吐出するインキのドロップ数に幅を持たせ、ノズルごとの吐出量バラツキによる各画素間の色ムラを低減することが可能となる。各セルラインにおいて、ランダムにドロップ数の増減を与えることによって、意図的にセルライン間の吐出量の標準偏差と、セルライン内の吐出量の標準偏差を近づけることができるからである。   Here, the means for determining the increase / decrease number of the number of ink drops ejected from the nozzles is to select the nozzles to be ejected from the above-mentioned effective nozzles, and further, the computation computer uses the random numbers to eject Give the ink drop number to be increased or decreased from the specified value. By distributing the increase / decrease numbers randomly within the preset increase / decrease range, the number of drops of ink discharged to each cell of the pixel section is widened, and color unevenness between pixels due to discharge amount variation for each nozzle Can be reduced. This is because, by randomly increasing or decreasing the number of drops in each cell line, the standard deviation of the discharge amount between the cell lines can be intentionally made closer to the standard deviation of the discharge amount in the cell line.

また、理想的な着色層の膜厚を形成するためのインキの理論総液量を吐出することが理想であるが、課題でも述べたように、ノズルごとの吐出量のバラツキ、クロストークの影響などによって、実際の平均インキ総液量は、理論インキ総液量からずれている場合がある。そこで、実際に吐出された(各セルラインにおける)平均インキ総液量が多い場合には、増減するドロップ数が減少する方向に乱数の割り振りに加重を掛ける事により、平均インキ総液量を理論値により近い値にすることが可能であり、より高品質なカラーフィルタが製造できる。例えば、平均総液量が理論層液量よりも多い場合には、ドロップ数が減少する割合よりも増加する割合が増えるように、ランダム関数を増減するドロップ数に割り振る。   In addition, it is ideal to discharge the theoretical total liquid amount of ink to form the ideal colored layer thickness, but as mentioned in the problem, the effect of the discharge amount variation and crosstalk of each nozzle For example, the actual average ink total liquid amount may deviate from the theoretical ink total liquid amount. Therefore, when the average total ink volume discharged (in each cell line) is large, the average total ink volume can be calculated by applying a weight to the random number allocation in the direction that the number of drops that increase or decrease decreases. The value can be made closer to the value, and a higher quality color filter can be manufactured. For example, when the average total liquid amount is larger than the theoretical layer liquid amount, the random function is allocated to the number of drops to be increased or decreased so that the rate of increase is higher than the rate of decrease of the number of drops.

なお、インキの平均総液量が理論総液量に比べて大きな液量差がある場合には、ノズルから吐出する基本ドロップ数を増減すればよい。これにより平均総液量と理論総液量の差を1ドロップ以下にすることができる。従来の方法、例えばノズルからの1ドロップの吐出量を増減する方法も考えられるが、ノズルヘッドごとにノズルからの吐出量を設定する場合には、ノズルヘッド全体でノズルからの吐出量が変わってしまうために、液量の調整は困難である。   Note that if the average total liquid volume of ink is larger than the theoretical total liquid volume, the number of basic drops discharged from the nozzles may be increased or decreased. Thereby, the difference between the average total liquid volume and the theoretical total liquid volume can be reduced to 1 drop or less. A conventional method, for example, a method of increasing or decreasing the discharge amount of one drop from the nozzle is also conceivable. However, when the discharge amount from the nozzle is set for each nozzle head, the discharge amount from the nozzle changes in the entire nozzle head. Therefore, it is difficult to adjust the liquid amount.

そこで、本発明のように、ドロップ数の増減を決定する乱数の割り振りに加重を掛ける事により、さらに理論インキ総液量に近い値まで平均インキ総液量を近づけることが可能となる。   Therefore, as in the present invention, by applying a weight to the allocation of random numbers that determine the increase or decrease of the number of drops, it becomes possible to bring the average total ink amount closer to a value closer to the theoretical total ink amount.

また、本発明の吐出パターン生成装置においては、ドロップ数を増減させるノズルをランダムに選択する手段を有することが好ましい。吐出するノズルの選択に乱数を用いてランダムに指定することによって、各ノズルの吐出量のバラツキから生じるムラを軽減することができ、全体として各セル間の吐出量のバラツキをより低減することが可能となる。   In the ejection pattern generation device of the present invention, it is preferable to have means for randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops. By randomly specifying the nozzles to be ejected using random numbers, unevenness caused by variations in the ejection amount of each nozzle can be reduced, and the variation in ejection amount between cells as a whole can be further reduced. It becomes possible.

本発明は、インクジェット法を用いたパターンの形成において、画素部の膜厚のバラツキを軽減し、ムラをなくすものであるから、インクジェット法を用いた素子の作製に適用可能である。以下に本発明を用いた素子の製造方法の例として、カラーフィルタ及び有機機能性素子の製造方法を説明する。   Since the present invention reduces variations in the film thickness of the pixel portion and eliminates unevenness in forming a pattern using the ink jet method, the present invention can be applied to manufacturing an element using the ink jet method. Hereinafter, as an example of a method for producing an element using the present invention, a method for producing a color filter and an organic functional element will be described.

カラーフィルタあるいは有機機能性素子のいずれの素子の製造についても、基板上に隔壁が形成し、そこに画素部を形成することにより作成できる。   The manufacture of either the color filter or the organic functional element can be made by forming a partition on a substrate and forming a pixel portion there.

基板について以下に説明する。基板は、印刷物の支持基板として用いるものである。目的とする光学素子により、基板の種類は異なるが、例えば、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板等、ドライフィルム等、公知の透明基板材料を使用することができる。中でもガラス基板は、カラーフィルタ、有機EL素子用途において、透明性、強度、耐熱性、耐候性において優れている。   The substrate will be described below. The substrate is used as a support substrate for printed matter. For example, a glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, and a known transparent substrate material such as a dry film can be used, although the type of substrate varies depending on the target optical element. Among them, the glass substrate is excellent in transparency, strength, heat resistance, and weather resistance in color filter and organic EL device applications.

隔壁について以下に説明する。本発明ではインキジェット印刷装置により基板にインキを付与し、カラーフィルタあるいは有機機能性素子を形成する。異なる種類のインキ同士の混色(又は混合)を防止するため、基板上に予め隔壁を形成することが好ましい。   The partition will be described below. In the present invention, ink is applied to the substrate by an ink jet printing apparatus to form a color filter or an organic functional element. In order to prevent color mixing (or mixing) between different types of inks, it is preferable to form partition walls on the substrate in advance.

隔壁は、基板の表面を多数の領域に区分けすると共に、この多数の領域のそれぞれに吐出されたインクの混色を防止する機能を有するものである。混色を防止するため、隔壁には一定の撥インク作用を示すものを用いることが望ましい。例えば、撥インク剤を含む樹脂組成部により隔壁を形成する方法、樹脂組成物により形成した隔壁にプラズマ処理を行い撥インク性を付与する方法、隔壁を光触媒層とともに形成し光触媒作用により隔壁に撥インク性を付与する方法などを例示することができる。また、ディスプレイの表示画面を構成するカラーフィルタ、有機EL素子においては、この隔壁に遮光性を付与することで、表示画面のコントラストを向上させることができる。いずれの場合であっても、隔壁を樹脂組成物より形成する場合には、樹脂バインダーと撥インク剤とを必須成分として含有する必要がある。   The partition wall has a function of dividing the surface of the substrate into a plurality of regions and preventing color mixture of ink ejected in each of the many regions. In order to prevent color mixing, it is desirable to use a partition that exhibits a certain ink repellency. For example, a method of forming partition walls by a resin composition part containing an ink repellent agent, a method of imparting ink repellency by performing plasma treatment on the partition walls formed of a resin composition, and forming a partition wall together with a photocatalyst layer to repel the partition walls by photocatalysis. Examples thereof include a method for imparting ink properties. Moreover, in the color filter and organic EL element which comprise the display screen of a display, the contrast of a display screen can be improved by providing light-shielding property to this partition. In any case, when the partition walls are formed from the resin composition, it is necessary to contain a resin binder and an ink repellent as essential components.

隔壁は印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知の隔壁形成方法により形成することができる。   The partition can be formed by a known partition forming method such as a printing method or a photolithography method.

カラーフィルタの製造方法について以下に説明する。カラーフィルタを形成する場合、まず前記の基板上に、上記の方法で隔壁を形成する。着色インクを使用して、本発明の吐出パターン形成装置により着色層を形成する。着色インクは、着色顔料、溶媒、樹脂バインダーを必要に応じて含むことができる。   A method for manufacturing the color filter will be described below. When forming a color filter, first, a partition wall is formed on the substrate by the method described above. A colored layer is formed by the discharge pattern forming apparatus of the present invention using colored ink. The colored ink can contain a color pigment, a solvent, and a resin binder as necessary.

有機機能性素子の製造方法について以下に説明する。有機EL素子または有機太陽電池、あるいは有機半導体を形成する場合にもまず前記の基板上に、隔壁を形成する。インクに有機発光材料を含むものとし、本発明の吐出パターン生成装置及び吐出方法を用いて基板上に吐出、有機機能層を形成し製造することができる。このインクは、有機発光材料、溶媒、樹脂バインダーを、必要に応じて含むことができる。溶媒、樹脂バインダーは、前記隔壁の形成で掲げたものと同様の材料を使用することができる。   The manufacturing method of an organic functional element is demonstrated below. In the case of forming an organic EL element, an organic solar cell, or an organic semiconductor, first, a partition is formed on the substrate. The ink includes an organic light emitting material, and can be manufactured by forming an organic functional layer on a substrate by using the discharge pattern generation apparatus and the discharge method of the present invention. The ink can contain an organic light emitting material, a solvent, and a resin binder as necessary. As the solvent and the resin binder, the same materials as listed in the formation of the partition walls can be used.

有機発光材料について以下に説明する。有機発光材料としてクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系等の有機溶剤に可溶な有機発光材料や該有機発光材料をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系などの高分子有機発光材料が挙げられる。   The organic light emitting material will be described below. Organic light-emitting materials such as coumarin, perylene, pyran, anthrone, porphyrene, quinacridone, N, N'-dialkyl substituted quinacridone, naphthalimide, N, N'-diaryl substituted pyrrolopyrrole, iridium complex Organic light-emitting materials that are soluble in organic solvents such as those dispersed in polymers such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole, polyarylene-based, polyarylene vinylene-based, polyfluorene-based, etc. And a high molecular organic light emitting material.

本発明の吐出装置による吐出パターン生成方法を具体例により説明する。   The discharge pattern generation method by the discharge apparatus of the present invention will be described with a specific example.

まず、前述したように吐出パターンに従って、ノズルの有効・無効が判断される。基板
上の隔壁開口部に存在し、かつ画素部に形成する画素に対応するインクを吐出するノズルを有効とする(図4参照)。
First, the validity / invalidity of the nozzle is determined according to the ejection pattern as described above. A nozzle that ejects ink corresponding to the pixel formed in the pixel portion and present in the partition opening on the substrate is made effective (see FIG. 4).

次に、一つのセル内にある有効なノズルの数(以下、吐出ノズル数)Nは、各セルに充填するインクの総液量や、セルのサイズ等によって任意に決定することが出来る。   Next, the number of effective nozzles (hereinafter referred to as the number of ejection nozzles) N in one cell can be arbitrarily determined according to the total amount of ink filled in each cell, the size of the cell, and the like.

一つのノズルから一回に吐出されるインクの量(1ドロップの吐出量)がaとし、全ての吐出ノズルからのインクのドロップ数(基準ドロップ数)をDとすると、インクの理想総液量MはD×aで表され、各ノズルに割り当てられるドロップ数dはD/Nとその余りとなる。   Assuming that the amount of ink discharged from one nozzle at a time (1 drop discharge amount) is a and the number of ink drops from all discharge nozzles (reference drop number) is D, the ideal total liquid amount of ink M is represented by D × a, and the number of drops d assigned to each nozzle is D / N and the remainder.

図5は、有効なノズルから、矢印で示されている吐出するノズルを、各セルの中で選択する説明図である。選択する方法は任意であるが、一定の組み合わせでノズルを選択した場合、ノズルの吐出量のバラツキによって、各セルの総液量に偏りが生じる恐れがあるので、ランダムに吐出するノズルを選択することが好ましい。ランダムに吐出ノズルを選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキによる各セル間の総液量の差を緩和することができるからである。図5は選択されたノズルが一つのセル中に一つの場合、図6は複数ある場合の模式図である。   FIG. 5 is an explanatory diagram for selecting, from each cell, a nozzle to be ejected indicated by an arrow from effective nozzles. The method of selection is arbitrary, but when nozzles are selected in a certain combination, the total liquid volume in each cell may be biased due to variations in the discharge volume of the nozzles. It is preferable. This is because by selecting the discharge nozzles at random, the difference in the total liquid amount between the cells due to the variation in the discharge amount of each nozzle can be reduced. FIG. 5 is a schematic diagram when the selected nozzle is one in one cell, and FIG. 6 is a schematic diagram when there are a plurality of nozzles.

次に、本発明においては、インクの理想総液量Mに対して、Mよりも小さいある設定量mを理想総液量Mからの増減量として想定する。この設定量mは、例えば、実際の各セルライン内のセルの総液量のバラツキ(標準偏差)から算出される。前述のように、このセルライン内の吐出量の標準偏差と、セルライン間の平均吐出量の標準偏差が近く、さらに平均吐出量が各セルライン間で一致するように調整することが好ましい。   Next, in the present invention, with respect to the ideal total liquid amount M of ink, a certain set amount m smaller than M is assumed as an increase / decrease amount from the ideal total liquid amount M. This set amount m is calculated from, for example, the variation (standard deviation) of the total liquid amount of cells in each actual cell line. As described above, it is preferable to adjust so that the standard deviation of the discharge amount in the cell line is close to the standard deviation of the average discharge amount between the cell lines, and the average discharge amount is matched between the cell lines.

さらに、ここで実際の平均総液量M´と理想総液量Mとの差を考慮し、各セルラインのドロップ数を調整する。ここで調整により、理想総液量からできるだけ近しくなることが望ましい。例えば、増減するドロップ数は、平均総液量M´と理想総液量Mとの差と、1ドロップのインク吐出量によって決定することができ、調整後のドロップ数D’は以下のように書くことができる。   Further, the number of drops in each cell line is adjusted in consideration of the difference between the actual average total liquid amount M ′ and the ideal total liquid amount M. Here, it is desirable to make it as close as possible from the ideal total liquid volume by adjustment. For example, the number of drops to be increased / decreased can be determined by the difference between the average total liquid amount M ′ and the ideal total liquid amount M and the ink discharge amount of one drop, and the adjusted drop number D ′ is as follows: I can write.

なお、 Mは、理想総液量
M´は、平均総液量
Dは、基準ドロップ数(理想ドロップ数)
D’は、調整後のドロップ数
aは、1ドロップの吐出量である。
M is the ideal total liquid volume M 'is the average total liquid volume D is the reference drop number (ideal drop number)
D ′ is the number of drops after adjustment a is the discharge amount of one drop.

上記のようなドロップ数の調整によって、平均総液量は理想総液量に近づけることができ、調整後の平均総液量M´´となる。理想総液量M、平均総液量M´、調整後の平均総液量M´´、設定量m、吐出ノズル数N、1ドロップの吐出量a、基準ドロップ数D、ドロップ数の増減数基準値b等の各設定パラメータは、吐出パターン情報としてあらかじめ設定、格納される。   By adjusting the number of drops as described above, the average total liquid volume can be brought close to the ideal total liquid volume, and becomes the adjusted average total liquid volume M ″. Ideal total liquid amount M, average total liquid amount M ′, adjusted average total liquid amount M ″, set amount m, number of discharge nozzles N, one-drop discharge amount a, reference drop number D, number of drops Each setting parameter such as the reference value b is set and stored in advance as ejection pattern information.

次に、設定パラメータと乱数を用いて、各セルにおけるドロップ数D(x)を決定する。ここでxは各セルを表すシンボルとする。調整後の平均総液量M´´が理論総液量Mと等しい場合、ドロップ数D(x)を決定する式は、ドロップ数の増減数をb−iとして、例えば以下のように書くことができる。   Next, the drop number D (x) in each cell is determined using the setting parameter and a random number. Here, x is a symbol representing each cell. When the average total liquid volume M ″ after adjustment is equal to the theoretical total liquid volume M, the formula for determining the drop number D (x) should be written as follows, with the increase / decrease number of the drop number being bi: Can do.

なお、 D(x)は、ドロップ数数式
bは、ドロップ数の増減数基準値
RAND(x)は、乱数を生成する関数である。
D (x) is the drop number formula
b is an increase / decrease reference value RAND (x) of the number of drops, and is a function that generates a random number.

ここでRAND(x)は0以上1以下の実数の乱数を生成する関数を表す。調整後の平均総液量M´´が理論総液量Mと異なる場合、ドロップ数D(x)を決定する式は、ドロップ数の増減数をb−jとして、例えば以下のように書くことができる。   Here, RAND (x) represents a function for generating a real random number between 0 and 1. When the average total liquid volume M ″ after adjustment is different from the theoretical total liquid volume M, the formula for determining the drop number D (x) should be written as follows, with the increase / decrease number of the drop number being bj: Can do.

なお、 jは、整数である。 J is an integer.

上記の式によって、例えば実際の平均総液量M´´が理想総液量よりも多い場合には、各セルのドロップ数は、確率的に基準ドロップ数よりも少ないドロップ数に傾き、結果として、補正された平均総液量は理想総液量に近い値となる。   According to the above formula, for example, when the actual average total liquid amount M ″ is larger than the ideal total liquid amount, the number of drops in each cell is probabilistically inclined to a number of drops that is smaller than the reference number of drops. The corrected average total liquid amount is close to the ideal total liquid amount.

また、上記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択することにより、各ノズルの吐出量のバラツキによる、総液量の偏りを軽減することができる。   Further, by randomly selecting the nozzles that increase or decrease the number of drops, it is possible to reduce the deviation in the total liquid amount due to the variation in the discharge amount of each nozzle.

また、決定されたドロップ数の増減値が、連続するセル間で一定以上偏った場合には、再度乱数によって計算しなおし、一定以上の偏りをなくすことも可能である。   In addition, when the determined increase / decrease value of the number of drops is more than a certain deviation between consecutive cells, it is possible to recalculate again with random numbers and eliminate the deviation more than a certain value.

以上のように、本発明の方法によれば、ノズルごとの吐出量のバラツキを測定し、ノズルごとに吐出量を補正するといった煩雑な作業を伴わず、各画素間の色ムラを低減することが可能となる。さらに、同一ノズルにおける吐出回ごとの吐出量のバラツキに対しても、影響を低減することができる。   As described above, according to the method of the present invention, it is possible to reduce color unevenness between pixels without a complicated operation of measuring variation in discharge amount for each nozzle and correcting the discharge amount for each nozzle. Is possible. Furthermore, it is possible to reduce the influence on the variation in the discharge amount for each discharge in the same nozzle.

次に、実施例1として、本発明のカラーフィルタの製造方法を説明する。   Next, as Example 1, a method for producing a color filter of the present invention will be described.

隔壁の形成した。以下に説明する。撥インク性を付与する材料を含有した感光性樹脂組成物として、下記組成比で配合した黒色感光性樹脂組成物を用いた。基板としては無アルカリガラス(1737:コーニング(株)製)を用い、その上にこの黒色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、温度90℃のホットプレートにて1分間プリベーク処理をして基板上に膜厚2.0μmの被膜を形成した。   A partition wall was formed. This will be described below. As a photosensitive resin composition containing a material imparting ink repellency, a black photosensitive resin composition blended at the following composition ratio was used. As the substrate, non-alkali glass (1737: manufactured by Corning Co., Ltd.) was used, and this black photosensitive resin composition was applied thereon by spin coating, and prebaked on a hot plate at a temperature of 90 ° C. for 1 minute. A film having a thickness of 2.0 μm was formed on the substrate.

感光性樹脂組成物の組成は、
シクロヘキサノン(沸点155.7℃) 80重量部クレゾール−ノボラック樹脂:EP4050G(旭有機材工業(株)製) 15重量部メラミン樹脂:MW30(三和ケミカル(株)製) 5重量部カーボン顔料:MA−8(三菱マテリアル(株)製) 23重量部分散剤:ソルスパース5000(ゼネカ(株)製) 1.4重量部ラジカル重合性を有する化合物:トリメチロールプロパントリアクリレート(大阪有機化学工業社製)
5重量部光重合開始剤:イルガキュア369(チバスペシャリティケミカルズ(株)製)2重量部含フッ素化合物:モディパーF−600(日本油脂(株)製、質量平均分子量35000)
5重量部である。
The composition of the photosensitive resin composition is
Cyclohexanone (boiling point 155.7 ° C.) 80 parts by weight Cresol-novolak resin: EP4050G (Asahi Organic Materials Co., Ltd.) 15 parts by weight melamine resin: MW30 (Sanwa Chemical Co., Ltd.) 5 parts by weight Carbon pigment: MA -8 (Mitsubishi Materials Co., Ltd.) 23 parts by weight Dispersant: Solsperse 5000 (Zeneca Co., Ltd.) 1.4 parts by weight Compound having radical polymerizability: Trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Osaka Organic Chemical Industries)
5 parts by weight photopolymerization initiator: Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 2 parts by weight fluorine-containing compound: Modiper F-600 (manufactured by NOF Corporation, mass average molecular weight 35000)
5 parts by weight.

続いてストライプ状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2の露光処理を施し、さらに現像処理を行うことで所望される隔壁パターンを得た。その後、熱風式焼成炉内にて表1から表3に示す焼成条件で加熱処理を施した。 Subsequently, using a photomask which is a stripe pattern, an exposure process of 100 mJ / cm 2 was performed with an ultrahigh pressure mercury lamp, and further a development process was performed to obtain a desired partition wall pattern. Thereafter, heat treatment was performed in the hot air firing furnace under the firing conditions shown in Tables 1 to 3.

着色インクの調整について以下に説明する。下記組成物を、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル0.75重量部を加え、70℃5時間の条件で反応させ、アクリル共重合体樹脂を得た。   The adjustment of the colored ink will be described below. 0.75 parts by weight of azobisisobutylnitrile was added to the following composition under a nitrogen atmosphere and reacted at 70 ° C. for 5 hours to obtain an acrylic copolymer resin.

着色インク組成物の組成は、
メタクリル酸 20重量部メチルメタクリレート 10重量部ブチルメタクリレート 55重量部ヒドロキシエチルメタクリレート 15重量部乳酸ブチル 300重量部であり、得られたアクリル共重合体樹脂が、全体に対して10重量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて希釈し、アクリル共重合体樹脂の希釈液を得た。
The composition of the colored ink composition is
Methacrylic acid 20 parts by weight Methyl methacrylate 10 parts by weight Butyl methacrylate 55 parts by weight Hydroxyethyl methacrylate 15 parts by weight Butyl lactate 300 parts by weight, so that the acrylic copolymer resin obtained is 10% by weight Dilution was performed using propylene glycol monomethyl ether acetate to obtain a diluted solution of an acrylic copolymer resin.

この希釈液80.1gに対し、着色顔料19.0g、分散剤としてポリオキシエチレンアルキルエーテル0.9gを添加して、3本ロールにて混練し、赤色、緑色、青色の各着色ワニスを得た。なお、赤色顔料として、ピグメントレッド177を、緑色顔料としてピグメントグリーン36を、青色顔料としてピグメントブルー15を、各々使用した。   Add 19.0 g of color pigment and 0.9 g of polyoxyethylene alkyl ether as a dispersant to 80.1 g of this diluted solution, and knead with three rolls to obtain red, green and blue colored varnishes. It was. As a red pigment, Pigment Red 177, Pigment Green 36 as a green pigment, and Pigment Blue 15 as a blue pigment were used.

得られた各着色ワニスに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、その顔料濃度が12〜15重量%、粘度が15cpsになるように、各々調整して添加し、赤色、緑色、及び青色着色インクを得た。   Propylene glycol monomethyl ether acetate is added to each colored varnish so that the pigment concentration is 12 to 15% by weight and the viscosity is 15 cps, and red, green, and blue colored inks are obtained. It was.

カラーフィルタの作製した。以下に説明する。図1に示される本発明の吐出装置を用いて、着色層を形成した。ここで、各セルの理想総液量Mは660pl、設定量mは24pl、ドロップ数の増減数bは2、1ドロップの吐出量aは6plである。   A color filter was prepared. This will be described below. A colored layer was formed using the discharge device of the present invention shown in FIG. Here, the ideal total liquid amount M of each cell is 660 pl, the set amount m is 24 pl, the drop number increase / decrease number b is 2, and the 1-drop discharge amount a is 6 pl.

次に、吐出装置のインクジェットノズルヘッドコントローラー4(図1参照)に数2に示された数式で各セルのドロップ数を決定するプログラムを組み込み、画素部の形成を行った。   Next, the ink jet nozzle head controller 4 (see FIG. 1) of the ejection device was incorporated with a program for determining the number of drops in each cell using the mathematical formula shown in Equation 2, and the pixel portion was formed.

実施例1の結果は、図12、図13の各表は基板上着色層の各セルを示し、図12は、ドロップ数は補正前の各セルのドロップ数であり、図13は、実施例1での補正後のドロップ数である。   The results of Example 1 show that each table in FIGS. 12 and 13 shows each cell of the colored layer on the substrate, FIG. 12 shows the number of drops in each cell before correction, and FIG. 13 shows the example. The number of drops after correction at 1.

実施例1の各セルの総液量を実測した結果、補正後の平均総液量M´´は660.077plと理想総液量Mの660plに近い値となり、全体として色ムラの低減されたカラーフィルタとなった。   As a result of actually measuring the total liquid volume of each cell of Example 1, the corrected average total liquid volume M ″ was 660.077 pl, which is a value close to 660 pl of the ideal total liquid volume M, and color unevenness was reduced as a whole. It became a color filter.

以上のように、ノズルごとの吐出量のバラツキを測定して、ノズルごとに吐出量を制御することなく、短時間で各着色層のセルごとの吐出量のバラツキを低減し、高精度なカラーフィルタを製造することができた。   As described above, the variation in discharge amount for each nozzle is measured, and the variation in discharge amount for each cell of each colored layer is reduced in a short time without controlling the discharge amount for each nozzle. The filter could be manufactured.

本発明の吐出装置による吐出パターン生成方法の比較例として、従来の吐出パターン生成方法を用いた実施例2を実施した。以下に、詳細に説明する。   As a comparative example of the discharge pattern generation method by the discharge device of the present invention, Example 2 using the conventional discharge pattern generation method was performed. This will be described in detail below.

実施例2は、総ドロップ数は、実施例1の補正前の基準ドロップ数を各セルへの吐出し、理想総液量Mは660plの塗布条件で着色層を形成し、それ以外は実施例1の方法と同様の方法である。実施例2の結果は、平均総液量M´´は図7のようになる。このように、セルライン上では同一のノズルヘッドを用いている、セルライン内の吐出量はほぼ等しくなってしまい、異なるノズルヘッドを用いたセルライン間の吐出量がバラツキ、セルライン内の標準偏差とセルライン間の標準偏差とが離散した、その色ムラが視覚的に目立ってしまった。   In Example 2, the total number of drops is the same as that in Example 1 except that the reference number of drops is discharged to each cell, and the ideal total liquid amount M is a coating layer of 660 pl. Otherwise, the color layer is formed. This is the same method as method 1. As a result of Example 2, the average total liquid amount M ″ is as shown in FIG. In this way, the same nozzle head is used on the cell line, the discharge amount in the cell line becomes almost equal, the discharge amount between cell lines using different nozzle heads varies, and the standard in the cell line The color unevenness in which the deviation and the standard deviation between the cell lines were dispersed became visually noticeable.

本発明の吐出パターン生成装置の全体構成図例を示す概略図。Schematic which shows the example of a whole block diagram of the discharge pattern production | generation apparatus of this invention. シェアウェーブモードのインクジェットノズルヘッドのノズル概略図。Schematic of nozzle of inkjet nozzle head in share wave mode. シェアウェーブモードのインク吐出動作フローチャート。6 is an ink discharge operation flowchart in a share wave mode. インクジェットノズルヘッドのノズルから有効なノズルを選択する概略図。Schematic which selects an effective nozzle from the nozzle of an inkjet nozzle head. セル内の乱数により1つ選択されたノズルを示す概略図。Schematic which shows the nozzle selected one by the random number in a cell. セル内の乱数により2つ選択されたノズルを示す概略図。Schematic which shows the nozzle selected two by the random number in a cell. 調整前のセル内総液量の図表。Chart of total liquid volume in cell before adjustment. 乱数の一例を示す図。The figure which shows an example of a random number. 乱数のパワースペクトルを示す図。The figure which shows the power spectrum of a random number. 低周波数の乱数を除去した乱数を示す図。The figure which shows the random number which removed the random number of the low frequency. 低周波数の乱数を除去した乱数のパワースペクトルを示す図。The figure which shows the power spectrum of the random number which removed the low frequency random number. 調整前のドロップ数の図表。Chart of the number of drops before adjustment. 実施例1の結果のドロップ数の図表The chart of the number of drops of the result of Example 1.

符号の説明Explanation of symbols

1…インクジェットノズルヘッド
2…インクジェットノズルヘッドユニット
3…基板置き台
4…インクジェットノズルヘッドコントローラー
5…ノズル
6…有効なノズル
7…隔壁開口部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet nozzle head 2 ... Inkjet nozzle head unit 3 ... Substrate stand 4 ... Inkjet nozzle head controller 5 ... Nozzle 6 ... Effective nozzle 7 ... Partition wall opening

Claims (1)

予め形成した基板上パターンの開口部に、複数のノズルからインクを吐出し、基板上に画素部を形成する吐出パターン生成装置であって、
前記ノズル及び前記基板のパラメータ情報から有効なノズルを選択する手段と、
前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減数を関数を用いて決定する手段を具備し、
前記関数は、ざらつき感を軽減した乱数であり、
前記ざらつき感を軽減した乱数とは、乱数から空間周波数の低周波数部分を除去した乱数であり、
前記有効なノズルから、前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する手段を具備する
ことを特徴とする吐出パターン生成装置。
An ejection pattern generation device that ejects ink from a plurality of nozzles into an opening of a pattern on a substrate formed in advance and forms a pixel portion on the substrate,
Means for selecting an effective nozzle from parameter information of the nozzle and the substrate;
A means for determining, using a function, an increase / decrease number of ink drops ejected from the effective nozzles;
The function is a random number with reduced roughness,
A random number with reduced graininess above, Ri random der removing the low frequency portion of the spatial frequency from the random number,
A discharge pattern generation apparatus comprising: means for randomly selecting nozzles that increase or decrease the number of drops from the effective nozzles .
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