JP2008190898A - Quadruple mass spectrometer and mass calibration method therefor - Google Patents

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Akira Owada
章 大和田
Tsukasa Shishika
司 師子鹿
Yasushi Terui
康 照井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a quadruple mass spectrometer capable of performing high-precision mass spectrometry, even with respect to a high-frequency power supply that is not equipped with high linearity of precision. <P>SOLUTION: In a mass calibration method for the quadruple electrode type mass analyzer that has a mass separation part equipped with a DC bias and quadruple electrodes to which a high frequency is applied, processes are carried out that includes an ion source for ionizing a measuring sample to generate ions and a detection part for detecting the ions separated in the mass separation part, the measured mass range of ions to be detected is divided into a plurality of sections and the errors between the mass index value of a mass number to be detected, with respect to the respective sections and the actually detected mass number is calculated; and the mass index value of the mass number is calibrated on the basis of the error calculated at each section. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法に関し、質量分離部に印加する高周波電位を変化させ質量走査可能な質量分析装置の質量校正方法に係わるものである。   The present invention relates to a quadrupole mass spectrometer and a mass calibration method for a quadrupole mass spectrometer, and relates to a mass calibration method for a mass spectrometer capable of performing mass scanning by changing a high-frequency potential applied to a mass separation unit. It is.

印加する高周波電圧を変化させることにより、質量走査可能な質量分析装置としては、質量分離部に四重極電場を生成し、この電場内でイオンを振動運動させることによりイオンを検出する四重極型と呼ばれるものが一般的である。   A mass spectrometer capable of mass scanning by changing the applied high-frequency voltage generates a quadrupole electric field in the mass separator and detects ions by vibrating the ions in the electric field. What is called a type is common.

この四重極型質量分析装置は、例えば、(特許文献1)特開平7−296766号公報に記載されている。   This quadrupole mass spectrometer is described, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 7-296766 (Patent Document 1).

質量分析装置で測定されるイオンは以下の関係式(1)で与えることができる。   The ions measured by the mass spectrometer can be given by the following relational expression (1).

M=0.14×V/fr0・・・・・・・・・・・・・・・・(1)
M:観測されるイオンの質量数
V:電極に与える高周波電圧(V)
f:電極に与える高周波周波数(MHz)
r0:電場半径(cm)
通常の装置では上記式(1)におけるfおよびr0は固定値とし、Vを変化させ目的とする質量を測定する。つまり観測されるイオンの質量数Mと電極に与える高周波電圧(V)は比例の関係があり、より四重極電場に印加する電圧を直線的に変化させることにより観測する質量数の大きさを帰ることができる。
M = 0.14 × V / f 2 r0 2 (1)
M: Mass number of ions to be observed V: High frequency voltage (V) applied to the electrode
f: High frequency applied to the electrode (MHz)
r0: Electric field radius (cm)
In a normal apparatus, f and r0 in the above formula (1) are fixed values, and V is varied to measure the target mass. That is, the observed mass number M of ions and the high-frequency voltage (V) applied to the electrode are proportional to each other, and the magnitude of the observed mass number can be determined by linearly changing the voltage applied to the quadrupole electric field. I can go home.

しかし、出力電圧の誤差、四重極電場を構成する電極の工作誤差などにより誤差が発生する。故に実際の測定時には、測定目的の質量数近くに観測することがわかっている標準試料を事前に測定し、電圧Vと観測される質量Mの関係を直線で補正し測定を行っている。   However, an error occurs due to an error in the output voltage, a working error in the electrodes constituting the quadrupole electric field, and the like. Therefore, at the time of actual measurement, a standard sample that is known to be observed near the target mass number is measured in advance, and the relationship between the voltage V and the observed mass M is corrected with a straight line.

特開平7−296766号公報JP-A-7-296766

上述したように高精度の質量分析を行なうのには、質量分離部に印加する高周波電源に精度の高い直線性が要求される。   As described above, high-accuracy mass analysis requires high-precision linearity in the high-frequency power source applied to the mass separation unit.

本発明は、上記の課題に対処し、精度の高い直線性を備えない高周波電源でも高精度の質量分析ができる四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法を提供することを目的とする。   The present invention addresses the above problems and provides a quadrupole mass spectrometer capable of performing high-accuracy mass analysis even with a high-frequency power supply that does not have high-accuracy linearity, and a mass calibration method for the quadrupole mass spectrometer The purpose is to do.

本発明は、直流バイアスと高周波が印加される四重極電極を備える質量分離部と、測定試料をイオン化してイオンを作るイオン源と、前記質量分離部で分離されたイオンを検出する検出部とを有する四重極型質量分析装置の質量校正方法において、検出するイオンの測定質量範囲を複数の区間に分割し、前記区間のそれぞれについて検出すべき質量数の指示質量値と実際に検出された質量数との誤差を算出し、前記区間毎に算出した前記誤差に基づき前記質量数の指示質量値を校正することを特徴とする。   The present invention includes a mass separation unit including a quadrupole electrode to which a DC bias and a high frequency are applied, an ion source that ionizes a measurement sample to generate ions, and a detection unit that detects ions separated by the mass separation unit In the mass calibration method of the quadrupole mass spectrometer having the above, the measurement mass range of ions to be detected is divided into a plurality of sections, and the indicated mass value of the mass number to be detected for each of the sections is actually detected. An error with respect to the mass number calculated is calculated, and the indicated mass value of the mass number is calibrated based on the error calculated for each section.

また、本発明は、直流バイアスと高周波が印加される四重極電極を備える質量分離部と、測定試料をイオン化してイオンを作るイオン源と、前記質量分離部で分離されたイオンを検出する検出部とを有する四重極型質量分析装置において、検出するイオンの測定質量範囲を複数の区間に分割する機能と、前記区間のそれぞれについて検出すべき質量数の指示質量値と実際に検出された質量数との誤差を示す誤差関数を算出する機能と、前記区間毎に算出した前記誤差関数に基づき前記質量数の指示質量値を前記複数の区間に亘り校正する機能とを有することを特徴とする。   The present invention also provides a mass separator having a quadrupole electrode to which a DC bias and a high frequency are applied, an ion source that ionizes a measurement sample to generate ions, and detects ions separated by the mass separator. In a quadrupole mass spectrometer having a detection unit, a function of dividing a measurement mass range of ions to be detected into a plurality of sections, and an indicated mass value of a mass number to be detected for each of the sections are actually detected. A function of calculating an error function indicating an error from the mass number, and a function of calibrating the indicated mass value of the mass number over the plurality of sections based on the error function calculated for each section. And

本発明によれば、高周波電源が精度の高い直線性を備えなくても高精度の質量分析ができる四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法を提供できる。   According to the present invention, it is possible to provide a quadrupole mass spectrometer and a mass calibration method for the quadrupole mass spectrometer that can perform high-accuracy mass analysis even if the high-frequency power source does not have highly accurate linearity.

以下に本発明の実施例を説明する。   Examples of the present invention will be described below.

本発明は、四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法に関するものである。   The present invention relates to a quadrupole mass spectrometer and a mass calibration method for the quadrupole mass spectrometer.

四重極型質量分析装置は、Qフィルタ型、イオントラップ型等を含む。ここでは、主にQフィルタ型をついて述べる。   The quadrupole mass spectrometer includes a Q filter type, an ion trap type, and the like. Here, the Q filter type will be mainly described.

まず、図1に沿い、質量分離部について述べる。   First, the mass separation unit will be described with reference to FIG.

質量分離部12は、4つの電極1により構成される。   The mass separation unit 12 is composed of four electrodes 1.

電極1は、対向面が双曲面を有する。4つの電極1は双曲面が向き合うように置かれ、直流バイアスと高周波が印加される。対向する電極1には、同極の直流バイアスが印加される。   The opposing surface of the electrode 1 has a hyperboloid. The four electrodes 1 are placed so that the hyperboloid faces each other, and a DC bias and a high frequency are applied. A DC bias having the same polarity is applied to the opposing electrode 1.

4つの電極1には、極めて高い精度の双曲面が要求され、かつ対向間のギャップも高い均一精度が要求される。双曲面の精度や対向間のギャップ精度が良くないと、測定誤差が生じる。   The four electrodes 1 are required to have a hyperboloid with extremely high accuracy, and the gap between the opposing surfaces is also required to have high uniformity accuracy. If the accuracy of the hyperboloid and the gap between the opposing surfaces are not good, a measurement error occurs.

測定試料のイオンのガスは、質量分離部12の対向空間の一方より流入し、質量分離部1を長手方向に沿って流れ、他方から特定の質量のイオンが流れ出る。流れ出たイオンは検出部に検出される。   The ion gas of the measurement sample flows in from one of the opposing spaces of the mass separator 12, flows in the mass separator 1 along the longitudinal direction, and ions of a specific mass flow out from the other. The ions that flow out are detected by the detection unit.

四重極型質量分析装置の概要について、図2に沿って説明する。   An outline of the quadrupole mass spectrometer will be described with reference to FIG.

イオン源11は測定試料をイオン化してイオンを作る。作られたイオンは真空排気部15により真空排気された質量分離部12に導入される。   The ion source 11 ionizes the measurement sample to produce ions. The produced ions are introduced into the mass separation unit 12 evacuated by the evacuation unit 15.

質量分離部12の電極1には、制御部14より設定された電圧(直流バイアスと高周波)が高周波電源部16から印加され、供給されたイオンのガスより質量分離が行なわれる。   A voltage (DC bias and high frequency) set by the control unit 14 is applied to the electrode 1 of the mass separation unit 12 from the high frequency power supply unit 16, and mass separation is performed from the supplied ion gas.

さらに、質量分離されたイオンは、検出部13でイオン量として検出されマススペクトルを得る。検出されたマススペクトルはデータ処理部17において記憶される。   Further, the mass-separated ions are detected as an ion amount by the detection unit 13 to obtain a mass spectrum. The detected mass spectrum is stored in the data processing unit 17.

本構成の質量分析計を実際に使用開始するためには、前記従来の技術で述べた通り測定目的の質量数近くに観測することがわかっている標準試料を事前に測定し、電圧Vと観測される質量Mの関係補正する質量数校正が必要となる。   In order to actually start using the mass spectrometer of this configuration, a standard sample known to be observed near the target mass number is measured in advance as described in the prior art, and the voltage V is observed. The mass number calibration for correcting the relationship of the mass M to be performed is required.

以下図3を参照して本実施例における質量数校正の手順を説明する。   Hereinafter, the procedure of mass number calibration in the present embodiment will be described with reference to FIG.

図3のステップ21において、まず測定する標準試料を決定し、混合試料を準備する(例)成分A:M/Z200(M1),成分B:M/Z500(M2),成分C:M/Z1000(M3),成分D:M/Z1500(M4))。   In step 21 of FIG. 3, first, a standard sample to be measured is determined, and a mixed sample is prepared. (Example) Component A: M / Z200 (M1), Component B: M / Z500 (M2), Component C: M / Z1000 (M3), component D: M / Z1500 (M4)).

続いてステップ22において、前記M/z(補正用質量数)をデータ処理部17に登録する。この処理については以下に示すステップ24の質量分析計の走査後に実施する機能を有してもよい。   Subsequently, in step 22, the M / z (correction mass number) is registered in the data processing unit 17. About this process, you may have the function implemented after the scanning of the mass spectrometer of step 24 shown below.

ステップ23でステップ21で準備した試料をイオン源11に導入し試料をイオン化し、質量分離部12に導入します。   In step 23, the sample prepared in step 21 is introduced into the ion source 11, ionized, and introduced into the mass separation unit 12.

ステップ24で質量分離部12に所定の高周波電圧を走査し、イオンを質量分離します。   In step 24, the mass separator 12 is scanned with a predetermined high-frequency voltage, and ions are mass-separated.

ステップ25において、測定されたイオンの質量数(Mc)(マススペクトルの最大値)とステップ22において登録された質量数(Mi)との誤差(Merr)を算出します。   In step 25, the error (Merr) between the measured mass number (Mc) (maximum value of the mass spectrum) and the registered mass number (Mi) in step 22 is calculated.

質量誤差(Merr)=(Mi)−(Mc)・・・・・・(2)
ステップ22において登録された成分すべてについて上記質量誤差を求めます。
Mass error (Merr) = (Mi) − (Mc) (2)
Calculate the above mass error for all the components registered in step 22.

このとき求めた誤差を質量数の小さいものからそれぞれMerr(1),Merr(2),Merr(3),Merr(4),・・・・・・・・・Merr(n)としてデータ処理部に登録します。   The data processing unit calculates the error obtained at this time as Merr (1), Merr (2), Merr (3), Merr (4),... Register with.

ただし、質量数0(もしくは質量分析計の走査範囲の最小質量数)からMerr(1)に相当する範囲;Merr(0)およびMerr(n)を越える範囲;Merr(n+1)では質量誤差を計測できないため、便宜的にMerr(0)=Merr(1)、Merr(n+1)=Merr(n)として登録する。   However, the mass error is measured in the range corresponding to Merr (1) from the mass number 0 (or the minimum mass number in the scanning range of the mass spectrometer); the range exceeding Merr (0) and Merr (n); Since it is not possible, it is registered as Merr (0) = Merr (1) and Merr (n + 1) = Merr (n) for convenience.

次に得られた配列Merr(i)(I=1,2・・・・・・・n)から任意の質量範囲における質量誤差関数を求める。この際、誤差関数には領域間での前後の関係を加味して誤差を推定可能な3次のスプライン関数を用いて行う。   Next, a mass error function in an arbitrary mass range is obtained from the obtained array Merr (i) (I = 1, 2,..., N). At this time, the error function is performed using a cubic spline function capable of estimating the error in consideration of the relationship between the areas before and after.

ステップ26において、データ処理部17は、ステップ25で求められた誤差配列に基づき、質量範囲を(M0−M1),(M1−M2),・・・・・(Mn−Mn+1)の区間に分割する。   In step 26, the data processing unit 17 divides the mass range into (M0−M1), (M1−M2),... (Mn−Mn + 1) based on the error array obtained in step 25. To do.

上記において、M0,Mn+1は下記の通りとする。   In the above, M0 and Mn + 1 are as follows.

M0:質量数0(もしくは質量分析計の走査範囲の最小質量数)
Mn+1:質量分析計の走査範囲の最大質量数
次にステップ28において、区間(M0−M1),(M1−M2),・・・・・(Mn−Mn+1)の各区間毎に以下の3次多項式(3)が次式(4−1)〜(4−6)を満足するよう各係数Ai,Bi,Ci,Diを算出する。
M0: Mass number 0 (or the minimum mass number in the scanning range of the mass spectrometer)
Mn + 1: Maximum mass number in the scanning range of the mass spectrometer Next, in step 28, the following tertiary is provided for each section (M0-M1), (M1-M2),... (Mn-Mn + 1). The coefficients Ai, Bi, Ci, Di are calculated so that the polynomial (3) satisfies the following equations (4-1) to (4-6).

なお、Sdi(M)、Sddi(M)は、それぞれSi(M)の1次及び2次の導関数である。   Sdi (M) and Sddi (M) are the first and second derivatives of Si (M), respectively.

Si(M)=Ai+BiM+CiM2+DiM3 ・・・・・・・・(3)
Si(Mi)=Merr(i)・・・・・・・・・・・・・・・・・(4−1)
Si(Mi+1)=Merr (i+1)・・・・・・・・・・・・(4−2)
Sdi(Mi)=Sd(i−1)(Mi)・・・・・・・・・・・・(4−3)
Sdi(Mi+1)=Sd(i+1)(Mi+1)・・・・・・・・(4−4)
Sddi(Mi)=Sdd(i−1)(Mi)・・・・・・・・・・(4−5)
Sddi(Mi+1)=Sdd(i+1)(Mi+1)・・・・・・(4−6)
ただし、i=0及びi=Nのとき(片側しかデータがない場合)、区間[Mi、Mi+1]においては、Si(M)を次の1次多項式(5)とし、次式(6−1)及び(6−2)を満足するように、係数Ai及びBiを算出する。
Si (M) = Ai + BiM + CiM2 + DiM3 (3)
Si (Mi) = Merr (i) ... (4-1)
Si (Mi + 1) = Merr (i + 1) ... (4-2)
Sdi (Mi) = Sd (i-1) (Mi) (4-3)
Sdi (Mi + 1) = Sd (i + 1) (Mi + 1) (4-4)
Sddi (Mi) = Sdd (i-1) (Mi) (4-5)
Sddi (Mi + 1) = Sdd (i + 1) (Mi + 1) (4-6)
However, when i = 0 and i = N (when there is data on only one side), in the section [Mi, Mi + 1], Si (M) is set to the following first order polynomial (5), and the following equation (6-1) ) And (6-2), the coefficients Ai and Bi are calculated.

Si(M)=Ai+BiM・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(5)
Si(Mi)=Merr(i)・・・・・・・・・・・・・・・・・(6−1)
Si(Mi+1)=Merr(i+1)・・・・・・・・・・・・・(6−2)
以上の算式を用いると区間[Mi、Mi+1](i=0、1、・・・N)ごとに別々の誤差関数Si(M)が算出される。
Si (M) = Ai + BiM (5)
Si (Mi) = Merr (i) (6-1)
Si (Mi + 1) = Merr (i + 1) (6-2)
Using the above formula, separate error functions Si (M) are calculated for each section [Mi, Mi + 1] (i = 0, 1,... N).

次にステップ28でデータ処理部17にてステップ27で求めた誤差関数を記憶します。   Next, in step 28, the error function obtained in step 27 is stored in the data processing unit 17.

これで質量校正のフローは終了となり、次回以降の測定では、このようにして得られた誤差関数Si(M)(i=0,・・・N)を用いることにより、使用質量範囲の任意の質量における誤差を推定することができる。   This completes the flow of mass calibration. In the subsequent measurement, the error function Si (M) (i = 0,... An error in mass can be estimated.

図4は、前述の質量校正法を用いて測定する際のフローである。   FIG. 4 is a flow for measurement using the above-described mass calibration method.

まず、ステップ31で走査する質量範囲の下限値(Mmin)上限値(Mmax)を設定します。   First, in step 31, set the lower limit (Mmin) and upper limit (Mmax) of the mass range scanned.

続いてステップ32でこのMmin,Mmaxの該当区間(Mn−Mn+1)が特定され、それぞれ該当する誤差関数よりMmin,Mmaxに対応する質量軸Mmin(C)およびMmax(C)が算出され、式(1)により走査する電圧範囲最小値(Vmin)最大値(Vmax)が決定されます。   Subsequently, in step 32, the corresponding section (Mn−Mn + 1) of Mmin and Mmax is specified, and mass axes Mmin (C) and Mmax (C) corresponding to Mmin and Mmax are calculated from the corresponding error functions, respectively. The voltage range minimum value (Vmin) and maximum value (Vmax) to be scanned are determined by 1).

ステップ33でステップ32で決定された質量範囲を走査し、測定を行います。   In step 33, the mass range determined in step 32 is scanned and measured.

ステップ34では、得られたマススペクトルを前述の誤差関数を用いて補正した上でデータ処理部で記憶します。以上が測定時のフローである。   In step 34, the obtained mass spectrum is corrected using the error function described above and stored in the data processing unit. The above is the flow during measurement.

以上の実施例による質量分析装置および質量分析装置の質量校正方法によれば、使用する測定質量範囲を複数の区間に分割し、各区間毎に、最適な誤差関数が算出され、記憶される。そして、検出すべき質量Mに対して、記憶された誤差関数のうち最適な誤差関数に基づいて、指示質量値Mdが算出され測定される。   According to the mass spectrometer and the mass calibration method of the mass spectrometer according to the above embodiments, the measurement mass range to be used is divided into a plurality of sections, and an optimal error function is calculated and stored for each section. Then, for the mass M to be detected, the indicated mass value Md is calculated and measured based on the optimum error function among the stored error functions.

上記の校正方法や校正に関する機能を用いることにより、質量分離部12の走査用に用いる高周波電源部16は出力電圧の直線性が必ずしも高くなくても高精度の質量分析ができる。   By using the calibration method and the functions related to calibration, the high-frequency power supply unit 16 used for scanning the mass separation unit 12 can perform mass analysis with high accuracy even if the output voltage linearity is not necessarily high.

また、質量分離部12を構成する4つの電極1では、双曲面の精度および対向間のギャップの精度には極めて高い精度が要求される。上記の校正方法や校正に関する機能を用いることにより、双曲面の精度や対向間のギャップの精度が必ずしも高くなくても高精度の質量分析ができる。このため、高い加工精度や高い組立精度が要求されないので、製作が容易である。   Further, in the four electrodes 1 constituting the mass separation unit 12, extremely high accuracy is required for the accuracy of the hyperboloid and the accuracy of the gap between the opposing surfaces. By using the calibration method and the functions related to calibration, high-accuracy mass spectrometry can be performed even if the accuracy of the hyperboloid and the accuracy of the gap between the opposing surfaces are not necessarily high. For this reason, since high processing accuracy and high assembly accuracy are not required, manufacture is easy.

また、質量校正時の作業性の向上のため校正本校正を再実施する際、データ処理部17に今までの質量誤差を基点として質量校正をするか、質量軸を初期化して実施するなどの選択機能を有してもよい。   In addition, when recalibrating the main calibration to improve the workability at the time of mass calibration, the data processing unit 17 performs mass calibration based on the previous mass error or initializes the mass axis, etc. It may have a selection function.

本実施例では質量分離部がQフィルタ型のもので説明したが、本発明はイオントラップ型等にも適用可能である。   In the present embodiment, the mass separation unit is described as a Q filter type, but the present invention can also be applied to an ion trap type or the like.

また、前述のイオントラップ型の場合、測定対象試料と標準物質のイオンを共に前記イオントラップ内に導きトラップするステップと、前記測定対象試料のイオンの中から前駆イオンを選択し、前記イオントラップ内に前記前駆イオンと標準物質のイオンを残し、他のイオンを排除するステップと、前記前駆イオンを励起、開裂させて生成物イオンを生成するステップと、前記イオントラップ内にトラップされた前記前駆イオン及びその生成物イオンと標準物質のイオンとをイオントラップから排出し、検出部に導くステップそれぞれについて独立に質量校正関数を設定することが可能であるが、そのそれぞれの校正においても本発明は適用可能である。   In the case of the ion trap type described above, the step of guiding and trapping both the sample to be measured and the ions of the standard substance into the ion trap, and selecting precursor ions from the ions of the sample to be measured, Leaving the precursor ions and standard ions in the substrate, excluding other ions, exciting and cleaving the precursor ions to generate product ions, and the precursor ions trapped in the ion trap In addition, it is possible to set a mass calibration function independently for each step of ejecting the product ions and standard ions from the ion trap and guiding them to the detection unit, but the present invention is also applicable to each calibration. Is possible.

本発明の実施例に係わるもので、四重極型質量分析装置の質量分離部を示す図である。It is a figure which concerns on the Example of this invention and shows the mass separation part of a quadrupole-type mass spectrometer. 本発明の実施例に係わるもので、四重極型質量分析装置の概略を示す図である。It is a figure concerning the Example of this invention, and is a figure which shows the outline of a quadrupole-type mass spectrometer. 本発明の実施例に係わるもので、質量数校正方法の動作フローチャート図である。FIG. 5 is an operation flowchart of the mass number calibration method according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施例に係わるもので、測定方法を示す動作フローチャート図である。It is an operation | movement flowchart regarding the Example of this invention, and shows a measuring method.

符号の説明Explanation of symbols

1…電極、11…イオン源部、12…質量分離部、13…検出部、14…制御部、15…真空排気装置、16…高周波電源部、17…データ処理部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electrode, 11 ... Ion source part, 12 ... Mass separation part, 13 ... Detection part, 14 ... Control part, 15 ... Vacuum exhaust apparatus, 16 ... High frequency power supply part, 17 ... Data processing part

Claims (9)

直流バイアスと高周波が印加される四重極電極を備える質量分離部と、
測定試料をイオン化してイオンを作るイオン源と、
前記質量分離部で分離されたイオンを検出する検出部とを有する四重極型質量分析装置の質量校正方法において、
検出するイオンの測定質量範囲を複数の区間に分割し、前記区間のそれぞれについて検出すべき質量数の指示質量値と実際に検出された質量数との誤差を算出し、前記区間毎に算出した前記誤差に基づき前記質量数の指示質量値を校正することを特徴とする四重極型質量分析装置の質量校正方法。
A mass separation unit comprising a quadrupole electrode to which a DC bias and a high frequency are applied;
An ion source that ionizes the measurement sample to produce ions,
In a mass calibration method of a quadrupole mass spectrometer having a detection unit that detects ions separated by the mass separation unit,
The measured mass range of ions to be detected is divided into a plurality of sections, and an error between the indicated mass value of the mass number to be detected and the actually detected mass number is calculated for each section, and calculated for each section. A mass calibration method for a quadrupole mass spectrometer, wherein the indicated mass value of the mass number is calibrated based on the error.
直流バイアスと高周波が印加される四重極電極を備える質量分離部と、
測定試料をイオン化してイオンを作るイオン源と、
前記質量分離部で分離されたイオンを検出する検出部とを有する四重極型質量分析装置の質量校正方法において、
検出するイオンの測定質量範囲を複数の区間に分割し、前記区間のそれぞれについて検出すべき質量数の指示質量値と実際に検出された質量数との誤差を示す誤差関数を算出し、前記区間毎に算出した前記誤差関数に基づき前記質量数の指示質量値を校正することを特徴とする四重極型質量分析装置の質量校正方法。
A mass separation unit comprising a quadrupole electrode to which a DC bias and a high frequency are applied;
An ion source that ionizes the measurement sample to produce ions,
In a mass calibration method of a quadrupole mass spectrometer having a detection unit that detects ions separated by the mass separation unit,
The measurement mass range of ions to be detected is divided into a plurality of sections, and an error function indicating an error between the indicated mass value of the mass number to be detected and the actually detected mass number is calculated for each of the sections. A mass calibration method for a quadrupole mass spectrometer, wherein the indicated mass value of the mass number is calibrated based on the error function calculated every time.
請求項2記載の四重極型質量分析装置の質量校正方法において、
前記測定質量範囲は、3以上の複数の基準質量分割域数によって分割され、互いに隣接する基準質量分割域数に対応する誤差に基づいて、スプライン関数を算出し、算出したスプライン関数を前記誤差関数とすることを特徴とする四重極型質量分析装置の質量校正方法。
In the mass calibration method of the quadrupole mass spectrometer according to claim 2,
The measurement mass range is divided by a plurality of reference mass divisional areas of 3 or more, and a spline function is calculated based on an error corresponding to the reference mass divisional areas adjacent to each other, and the calculated spline function is used as the error function. A mass calibration method for a quadrupole mass spectrometer characterized by
直流バイアスと高周波が印加される四重極電極を備える質量分離部と、
測定試料をイオン化してイオンを作るイオン源と、
前記質量分離部で分離されたイオンを検出する検出部とを有する四重極型質量分析装置において、
検出するイオンの測定質量範囲を複数の区間に分割する機能と、前記区間のそれぞれについて検出すべき質量数の指示質量値と実際に検出された質量数との誤差を示す誤差関数を算出する機能と、前記区間毎に算出した前記誤差関数に基づき前記質量数の指示質量値を前記複数の区間に亘り校正する機能とを有することを特徴とする四重極型質量分析装置。
A mass separation unit comprising a quadrupole electrode to which a DC bias and a high frequency are applied;
An ion source that ionizes the measurement sample to produce ions,
In a quadrupole mass spectrometer having a detection unit that detects ions separated by the mass separation unit,
A function for dividing the measured mass range of ions to be detected into a plurality of sections, and a function for calculating an error function indicating an error between the indicated mass value of the mass number to be detected and the actually detected mass number for each of the sections. And a function of calibrating the indicated mass value of the mass number over the plurality of sections based on the error function calculated for each section.
請求項4記載の四重極型質量分析装置において、
前記誤差関数を記憶する機能を有することを特徴とする四重極型質量分析装置。
The quadrupole mass spectrometer according to claim 4,
A quadrupole mass spectrometer having a function of storing the error function.
請求項5記載の四重極型質量分析装置において、
質量の再校正を行う際、校正された値もしくは校正される前の値どちらを基準値にするか選択可能な機能を有することを特徴とする四重極型質量分析装置。
In the quadrupole mass spectrometer according to claim 5,
A quadrupole mass spectrometer having a function of selecting whether a calibrated value or a value before calibration is used as a reference value when mass recalibration is performed.
前請求項4記載の四重極型質量分析装置において、
前記質量分離部にイオントラップ型の質量分離部を有することを特徴とする四重極型質量分析装置。
In the quadrupole mass spectrometer according to claim 4,
A quadrupole mass spectrometer having an ion trap type mass separation unit in the mass separation unit.
前請求項4〜7のいずれか一つに記載された四重極型質量分析装置において、
複数の区間に分割して複数の区間に亘り校正する分割設定入力部を設けたことを特徴とする四重極型質量分析装置。
In the quadrupole mass spectrometer according to any one of claims 4 to 7,
A quadrupole mass spectrometer comprising a division setting input unit that divides into a plurality of sections and calibrates over a plurality of sections.
請求項1記載の四重極型質量分析装置の質量校正方法において、
前記質量分離部はイオントラップ型の質量分離部を有し、
測定試料と標準物質のイオンを共に前記イオントラップ内に導きトラップするステップと、
前記測定試料のイオンの中から前駆イオンを選択し、前記イオントラップ内に前記前駆イオンと標準物質のイオンを残し、他のイオンを排除するステップと、
前記前駆イオンを励起、開裂させて生成物イオンを生成するステップと、
前記イオントラップ内にトラップされた前記前駆イオン及びその生成物イオンと標準物質のイオンとを前記イオントラップから排出し、前記検出部に導くステップそれぞれについて独立に質量校正が可能な四重極型質量分析装置の質量校正方法。
In the mass calibration method of the quadrupole mass spectrometer according to claim 1,
The mass separator has an ion trap type mass separator,
Guiding and trapping both the measurement sample and the standard substance ions in the ion trap;
Selecting precursor ions from the ions of the measurement sample, leaving the precursor ions and standard ions in the ion trap, and excluding other ions;
Exciting and cleaving the precursor ions to generate product ions;
A quadrupole mass capable of performing mass calibration independently for each step of ejecting the precursor ions and their product ions trapped in the ion trap and ions of a standard substance from the ion trap and guiding them to the detection unit. Mass calibration method for analyzers.
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