JP2008170776A - Optical transmitter-receiver - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive and high-quality optical transmitter-receiver. <P>SOLUTION: The optical transmitter-receiver is constituted by optically coupling a light emitting element, a light receiving element and an optical waveguide having a core/clad structure. The optical transmitter-receiver is characterized in that: the light emitting element and the light receiving element have constitution where the elements are all coated with a coating part core composed of a core material for forming the optical waveguide and the outside of the coating part core is coated with a coating part clad composed of a clad material for forming the optical waveguide; and the coating part core with which each element is coated and the core of the optical waveguide are integrally formed while the coating part clad and the clad of the optical waveguide are integrally formed. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光素子、受光素子と光導波路をパッシブアライメントにより結合してなる光送受信装置に関する。本発明の光送受信装置は、例えば、サーバーなどの高速通信機器、自動車内光配線、携帯電話などの小型電子機器に用いられる。   The present invention relates to an optical transmission / reception device formed by coupling a light emitting element, a light receiving element, and an optical waveguide by passive alignment. The optical transmission / reception apparatus of the present invention is used in, for example, high-speed communication devices such as servers, optical wiring in automobiles, and small electronic devices such as mobile phones.

近年、サーバーなどの高速通信機器、自動車内配線、携帯電話などの小型電子機器に光配線が適応されつつある。これらの機器は小型化と低コスト化がすすみ、それに伴い、光通信モジュールや光送受信モジュールなどの光送受信装置にも小型化と低コスト化の要求が強い。光送受信装置に用いる発光素子としては、発光ダイオード(LED)や面発光レーザ(VCSEL)が用いられてる。また、受光素子としては、フォトダイオード(PD)が用いられている。光導波路には、ファイバ型やシート型の導波路が用いられ、材質は石英ガラス、ポリマーなどがある。   In recent years, optical wiring is being applied to high-speed communication devices such as servers, wiring in automobiles, and small electronic devices such as mobile phones. These devices are becoming smaller and lower in cost, and accordingly, optical transmission / reception devices such as optical communication modules and optical transmission / reception modules are strongly demanded for reduction in size and cost. A light emitting diode (LED) or a surface emitting laser (VCSEL) is used as a light emitting element used in the optical transceiver. A photodiode (PD) is used as the light receiving element. As the optical waveguide, a fiber type or a sheet type waveguide is used, and the material includes quartz glass, polymer, and the like.

光送受信装置において、発光素子と受光素子(以下、受発光素子と記す場合がある。)と光導波路とを結合するための構造と手法は、従来より様々な方式が検討されている(例えば、特許文献1〜6参照。)。
特許文献1には、図1に示すように、プリント基板5に対し垂直方向に出射する向きにVCSEL4を実装し、続いて、光路を直角に変換するミラー6を設けた光導波路1を準備し、これをプリント基板5に実装されたVCSEL4に対して光軸を合わせ固定する方式が開示されている。なお、図1中の符号2はIC、3は光出射部である。光路の直角変換は、光導波路に切削加工やレーザ加工により45°ミラーを形成するなどして達成している。
特許文献2には、発光デバイスから出射した光を導波路出射端で出力を受光デバイスでモニタし、その出力が最大になるように発光デバイス、受光デバイス、導波路を相対的に移動し、固定する手法が開示されている。
特許文献3には、発光素子と光導波路を、流動性の光導波路路材料で結合する構造が開示されている。流動性材料の塗布にはディスペンサを用いる。作製した光導波路はコア・クラッド構造を有する。光導波路のコア径は発光部径より大きい。
特許文献4には、ディスペンサにより粘性材料を塗布し、光導波路を形成することが開示されている。作製した光導波路は、コア・クラッド構造を有する。
特許文献5には、複数の受発光素子をディスペンサで塗布した光導波路で結合する構造が開示されている。作製した光導波路はコア・クラッド構造を有する。光導波路のコア・クラッド径は、発光部径より大きい。
特許文献6には、ディスペンサにより粘性材料を塗布し、光導波路を形成することが開示されている。作製した光導波路は、コア・クラッド構造を有する。
特開2006−11179号公報 特開2005−202025号公報 特開平9−243858号公報 特開平6−82643号公報 米国特許第6516121号明細書 米国特許第5534101号明細書
In an optical transmission / reception apparatus, various methods and structures have been conventionally studied for coupling a light emitting element, a light receiving element (hereinafter sometimes referred to as a light receiving / emitting element) and an optical waveguide (for example, (See Patent Documents 1 to 6.)
In Patent Document 1, as shown in FIG. 1, a VCSEL 4 is mounted in a direction perpendicular to a printed circuit board 5, and then an optical waveguide 1 provided with a mirror 6 for converting the optical path to a right angle is prepared. A method of aligning and fixing the optical axis to the VCSEL 4 mounted on the printed circuit board 5 is disclosed. In FIG. 1, reference numeral 2 denotes an IC, and 3 denotes a light emitting portion. Right-angle conversion of the optical path is achieved by forming a 45 ° mirror on the optical waveguide by cutting or laser processing.
In Patent Document 2, the output of light emitted from a light emitting device is monitored by a light receiving device at a light emitting end of the waveguide, and the light emitting device, the light receiving device, and the waveguide are relatively moved and fixed so that the output is maximized. A technique is disclosed.
Patent Document 3 discloses a structure in which a light emitting element and an optical waveguide are coupled with a fluid optical waveguide material. A dispenser is used to apply the flowable material. The produced optical waveguide has a core / cladding structure. The core diameter of the optical waveguide is larger than the light emitting part diameter.
Patent Document 4 discloses that a viscous material is applied by a dispenser to form an optical waveguide. The produced optical waveguide has a core / cladding structure.
Patent Document 5 discloses a structure in which a plurality of light emitting / receiving elements are coupled by an optical waveguide coated with a dispenser. The produced optical waveguide has a core / cladding structure. The core / cladding diameter of the optical waveguide is larger than the light emitting portion diameter.
Patent Document 6 discloses that an optical waveguide is formed by applying a viscous material with a dispenser. The produced optical waveguide has a core / cladding structure.
JP 2006-11179 A JP 2005-202025 A JP-A-9-243858 JP-A-6-82643 US Pat. No. 6,516,121 US Pat. No. 5,534,101

しかしながら、前述した従来技術には、以下のような問題がある。
特許文献1に開示された方法では、45°ミラーの形成に多くの時間とコストがかかり、問題となっている。また、45°ミラー面での拡散や、光路長の延長により、VCSELと光導波路の結合効率が劣化する問題がある。また、VCSELと光導波路の光軸合わせにも多くの時間とコストがかかるという問題もある。
特許文献2に開示された方法は、光路調整に大変時間がかり、特に複数の導波路を接続しようとすると効率が悪く、コスト増の原因となっている。
特許文献3には、光導波路材料で発光素子全体を覆うという記載はない。
特許文献4には、受発光素子との結合については記載がない。
特許文献5には、光導波路材料で発光素子全体を覆うという記載はない。
特許文献6には、受発光素子との結合については記載がない。
なお、VCSEL以外の発光素子や受光素子と光導波路の結合に関しても、同様の見解である。
However, the above-described prior art has the following problems.
In the method disclosed in Patent Document 1, it takes much time and cost to form a 45 ° mirror, which is a problem. Further, there is a problem that the coupling efficiency between the VCSEL and the optical waveguide deteriorates due to diffusion on the 45 ° mirror surface and extension of the optical path length. Another problem is that much time and cost are required for alignment of the optical axis between the VCSEL and the optical waveguide.
The method disclosed in Patent Document 2 takes a very long time to adjust the optical path. In particular, when trying to connect a plurality of waveguides, the efficiency is low, which causes an increase in cost.
In Patent Document 3, there is no description that the entire light emitting element is covered with an optical waveguide material.
Patent Document 4 does not describe the coupling with light receiving and emitting elements.
In Patent Document 5, there is no description that the entire light emitting element is covered with an optical waveguide material.
Patent Document 6 does not describe the coupling with light receiving and emitting elements.
Note that this is also the case with respect to light-emitting elements other than VCSELs and the coupling of light-receiving elements and optical waveguides.

前述した通り、従来技術では、低コストで高品質な光送受信装置を提供することはできなかった。
本発明は、前記事情に鑑みてなされ、低コストで高品質な光送受信装置の提供を目的とする。
As described above, the conventional technique cannot provide a low-cost and high-quality optical transceiver.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a low-cost and high-quality optical transceiver.

前記目的を達成するため、本発明は、発光素子と、受光素子と、コア・クラッド構造を有する光導波路とが光学的に結合されてなる光送受信装置において、
発光素子と受光素子とが、光導波路を形成するコア材料からなる被覆部コアで素子全体を被覆した構造を有し、各素子を被覆した被覆部コアと光導波路のコアとが一体的に形成されたことを特徴とする光送受信装置を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides an optical transceiver in which a light emitting element, a light receiving element, and an optical waveguide having a core / cladding structure are optically coupled.
The light emitting element and the light receiving element have a structure in which the entire element is covered with a covering core made of a core material that forms the optical waveguide, and the covering core that covers each element and the core of the optical waveguide are integrally formed. An optical transmission / reception device is provided.

また本発明は、発光素子と、受光素子と、コア・クラッド構造を有する光導波路とが光学的に結合されてなる光送受信装置において、
発光素子と受光素子とが、光導波路を形成するコア材料からなる被覆部コアで素子全体を被覆し、該被覆部コアの外面を光導波路を形成するクラッド材料からなる被覆部クラッドで被覆した構造を有し、各素子を被覆した被覆部コアと光導波路のコアとが一体的に形成され、且つ被覆部クラッドと光導波路のクラッドとが一体的に形成されたことを特徴とする光送受信装置を提供する。
Further, the present invention provides an optical transceiver in which a light emitting element, a light receiving element, and an optical waveguide having a core / cladding structure are optically coupled.
A structure in which a light emitting element and a light receiving element are covered with a covering core made of a core material forming an optical waveguide, and the outer surface of the covering core is covered with a covering cladding made of a cladding material forming an optical waveguide. An optical transmission / reception apparatus comprising: a covering core that covers each element; and a core of an optical waveguide formed integrally, and a covering cladding and an optical waveguide cladding formed integrally I will provide a.

本発明の光送受信装置において、発光素子と受光素子とに結合するボンディングワイヤが、被覆部コア及び被覆部クラッドで素子とともに被覆されたことが好ましい。   In the optical transmission / reception apparatus of the present invention, it is preferable that the bonding wire coupled to the light emitting element and the light receiving element is covered with the element by the covering core and the covering clad.

本発明の光送受信装置において、光導波路を形成するコア材料が、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂からなる群から選択される1種の樹脂であることが好ましい。   In the optical transceiver of the present invention, it is preferable that the core material forming the optical waveguide is one resin selected from the group consisting of epoxy resins, acrylic resins, and polyimide resins.

本発明の光送受信装置において、発光素子及び受光素子を搭載したサブマウントが基板に実装され、発光素子の光放射方向及び受光素子の光受光方向を基板面と平行な向きとしたことが好ましい。   In the optical transceiver of the present invention, it is preferable that the submount on which the light emitting element and the light receiving element are mounted is mounted on the substrate, and the light emitting direction of the light emitting element and the light receiving direction of the light receiving element are oriented parallel to the substrate surface.

本発明の光送受信装置において、発光素子が面発光レーザであることが好ましい。   In the optical transceiver of the present invention, the light emitting element is preferably a surface emitting laser.

本発明の光送受信装置は、光導波路を形成するコア材料からなる被覆部コアで発光素子及び受光素子の全体を被覆し、この被覆部コアと光導波路のコアとを一体的に形成したので、光軸合わせなどの光路調整作業を省くことができ、簡単に高品質の光送受信装置を製造することができる。従って、本発明によれば、低コストの光送受信装置を提供できる。
また、受発光素子に結合するボンディングワイヤも被覆することで、ボンディングワイヤの十分な保護が達成できる。
また、本発明の光送受信装置は、光導波路を形成するコア材料からなる被覆部コアで発光素子及び受光素子の全体を被覆し、この被覆部コアと光導波路のコアとを一体的に形成したので、これら受発光素子の基板への実装強度を高めることができる。
また、ミラーを用いずに受発光素子と光導波路とを結合させることができるので、より小型化、薄型化を図ることができる。
The optical transceiver of the present invention covers the entire light emitting element and the light receiving element with a covering core made of a core material that forms the optical waveguide, and the covering core and the core of the optical waveguide are integrally formed. Optical path adjustment work such as optical axis alignment can be omitted, and a high-quality optical transceiver can be easily manufactured. Therefore, according to the present invention, a low-cost optical transceiver can be provided.
Moreover, sufficient protection of the bonding wire can be achieved by covering the bonding wire bonded to the light emitting / receiving element.
In the optical transceiver of the present invention, the entire light emitting element and the light receiving element are covered with a covering core made of a core material forming the optical waveguide, and the covering core and the core of the optical waveguide are integrally formed. Therefore, the mounting strength of these light emitting / receiving elements on the substrate can be increased.
In addition, since the light emitting / receiving element and the optical waveguide can be coupled without using a mirror, the size and thickness can be further reduced.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図2は、本発明の光送受信装置の一実施形態を示す図であり、図2(a)は光送受信装置10の側面断面図、(b)は平面図である。図中、符号10は光送受信装置、11は発光素子であるVCSEL、12は受光素子であるPD、13は光導波路、14はプリント基板、15はサブマウント基板、16はコア、17は下部クラッド、18は上部クラッド、19は被覆部コア、20は被覆部クラッドである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
2A and 2B are diagrams showing an embodiment of the optical transceiver of the present invention. FIG. 2A is a side sectional view of the optical transceiver 10 and FIG. 2B is a plan view. In the figure, reference numeral 10 is an optical transceiver, 11 is a VCSEL that is a light emitting element, 12 is a PD that is a light receiving element, 13 is an optical waveguide, 14 is a printed circuit board, 15 is a submount substrate, 16 is a core, and 17 is a lower cladding. , 18 is an upper cladding, 19 is a coating core, and 20 is a coating cladding.

本実施形態の光送受信装置10は、受発光素子であるVCSEL11及びPD12と、コア・クラッド構造を有する光導波路13とが光学的に結合されてなる光送受信装置において、VCSEL11及びPD12が光導波路13を形成するコア材料及びクラッド材料で被覆され、それらの被覆部コア19及び被覆部クラッド20が光導波路のコア16及びクラッド17,18と一体的に形成された構成になっている。   The optical transmission / reception apparatus 10 of this embodiment is an optical transmission / reception apparatus in which the VCSELs 11 and PD12 that are light receiving and emitting elements and the optical waveguide 13 having a core / cladding structure are optically coupled. The covering core 19 and the covering cladding 20 are integrally formed with the core 16 and the claddings 17 and 18 of the optical waveguide.

本実施形態の光送受信装置10において、VCSEL11及びPD12は、四角柱状のサブマウント基板15の側面に実装され、これらのサブマウント基板15の底面をプリント基板14の表面に固定することで、VCSEL11の光放射方向及びPD12の光受光方向がプリント基板14表面と平行な向きとなっている。   In the optical transceiver 10 of the present embodiment, the VCSEL 11 and the PD 12 are mounted on the side surfaces of the quadrangular columnar submount substrate 15, and the bottom surface of the submount substrate 15 is fixed to the surface of the printed circuit board 14, thereby The light emitting direction and the light receiving direction of the PD 12 are parallel to the surface of the printed circuit board 14.

光導波路13のコア16と被覆部コア19の材料は、透明な合成樹脂からなり、また光導波路のクラッド17,18と被覆部クラッド20の材料は、前記コア材料よりも屈折率の低い透明な合成樹脂からなっている。   The material of the core 16 and the covering core 19 of the optical waveguide 13 is made of a transparent synthetic resin, and the materials of the claddings 17 and 18 and the covering cladding 20 of the optical waveguide are transparent with a refractive index lower than that of the core material. Made of synthetic resin.

本実施形態において、VCSEL11及びPD12は、図3に示すように、被覆部コア19によって素子全体が覆われ、さらに被覆部コア19の外側全体を被覆部クラッド20によって被覆している。また、VCSEL11及びPD12の配線用のボンディングワイヤ21も、被覆部コア19により覆われている。なお、図3はVCSEL11の被覆状態を示しているが、PD12の場合もこれと同様である。図3中、符号21はボンディングワイヤ、22はVCSEL11のカソード、23は発光部である。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the VCSEL 11 and the PD 12 are entirely covered with the covering core 19, and further, the entire outside of the covering core 19 is covered with the covering cladding 20. Further, the bonding wires 21 for wiring the VCSEL 11 and the PD 12 are also covered with the covering core 19. FIG. 3 shows the coated state of the VCSEL 11, but the same applies to the PD 12. In FIG. 3, reference numeral 21 denotes a bonding wire, 22 denotes a cathode of the VCSEL 11, and 23 denotes a light emitting part.

本実施形態において、被覆部コア19は、VCSEL11を全体的に被覆するとともに、その一部が延出して光導波路13のコア16と一体的に繋がっている。また、被覆部クラッド20も、被覆部コア19の外側を完全に被覆し、その一部が延出して光導波路13のクラッド17と一体的に繋がっている。   In the present embodiment, the covering core 19 entirely covers the VCSEL 11, and a part of the covering core 19 extends and is integrally connected to the core 16 of the optical waveguide 13. The covering clad 20 also completely covers the outside of the covering core 19, and a part of the covering clad 20 extends and is integrally connected to the clad 17 of the optical waveguide 13.

図3に示すように、受発光素子であるVCSEL11及びPD12の全体がコア材料およびクラッド材料ですっぽりと覆われていることが本実施形態の特徴である。このような構造とすることで、安価で、なおかつ、VCSEL11及びPD12と光導波路13との結合効率が高い光送受信装置10を実現できる。   As shown in FIG. 3, the feature of this embodiment is that the entire VCSEL 11 and PD 12 that are light emitting and receiving elements are covered with a core material and a clad material. By adopting such a structure, it is possible to realize the optical transceiver 10 which is inexpensive and has high coupling efficiency between the VCSEL 11 and the PD 12 and the optical waveguide 13.

また、受発光素子であるVCSEL11及びPD12のプリント基板14への実装強度が高くなるという効果もある。受発光部近傍だけをコア・クラッド材料で覆うだけでは、光の漏れが多く、高い光結合効率を実現するのが困難である。それに対し、本実施形態のように素子全体を覆う構造では、コア材料、クラッド材料と受発光部の細かな位置合わせを行うことなく、安価な製造コストで高い光結合効率を実現できる。特に、素子全体をコア材料で覆う構造とすることで、光軸アライメントのトレランスはさらに大きくなり、より安価な製造コストで光送受信装置を実現することができる。   In addition, there is an effect that the mounting strength of the VCSEL 11 and the PD 12 that are light emitting / receiving elements on the printed circuit board 14 is increased. If only the vicinity of the light receiving and emitting part is covered with the core / cladding material, light leakage is large and it is difficult to realize high optical coupling efficiency. On the other hand, in the structure that covers the entire element as in the present embodiment, high optical coupling efficiency can be realized at a low manufacturing cost without finely aligning the core material, the clad material, and the light receiving and emitting part. In particular, by adopting a structure in which the entire element is covered with a core material, the tolerance of optical axis alignment is further increased, and an optical transceiver can be realized at a lower manufacturing cost.

コア材料およびクラッド材料は、高分子材料で構成されており、用いる光源の波長帯で透過率の高い材料を用いることができる。たとえば、発光素子として発光波長850nmのVCSELを用いた場合、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂などの高分子材料を用いることができる。また、これらの材料は、熱硬化型、光硬化型(特に好ましくは紫外線硬化型)、二液反応硬化型などがあり、いずれを用いてもよい。   The core material and the clad material are made of a polymer material, and a material having a high transmittance in the wavelength band of the light source to be used can be used. For example, when a VCSEL having an emission wavelength of 850 nm is used as the light emitting element, a polymer material such as an acrylic resin, an epoxy resin, or a polyimide resin can be used. In addition, these materials include a thermosetting type, a photocurable type (particularly preferably an ultraviolet curable type), and a two-component reaction curable type, and any of these may be used.

前述した特許文献3〜6は、特許文献1〜2にある低コスト化という課題を解決するための発明であり、一見すると本発明の課題と同様であるが、しかし、特許文献3〜6に開示された技術と本発明の技術とは、全く異なるものであり、この点を以下に説明する。
まず、特許文献5については、FIG.5との比較が重要であろう。FIG.5において符号39は素子40の一部分であり、接続している光導波路のコア材料71は接続界面で多少広くなって図示されてはいるものの、符号39で示す部分よりもかなり狭い径であることは明らかである。よって、本実施形態の図3で示したように「素子全体をコア材料およびクラッド材料ですっぽり覆う」という構成は、特許文献5のFIG.5に図示された例示と明らかな差異がある。
特許文献3については、図19あるいは図21との比較が重要であろう。これらにおいては、前述した特許文献5と同様、光伝送路40あるいはそのコア部40aおよびクラッド部40bは光・電子集積回路2と比較して大変細く、また光伝送路21と比較しても接続界面付近で同程度にまで広がっているに過ぎず、基本的にはそれよりも細い。よって、本実施形態の図3で示したように素子全体をコア材料およびクラッド材料ですっぽり覆うという構成とは明らかな差異がある。
特許文献6及び特許文献4については、その製法においてきわめて類似しているだけであり、これらの従来技術には、発光素子・受光素子とディスペンサ描画高分子光導波路のコアとの接続構造について記載は無い。
Patent Documents 3 to 6 described above are inventions for solving the problem of cost reduction in Patent Documents 1 and 2, which are similar to the problems of the present invention at first glance. The disclosed technique and the technique of the present invention are completely different, and this point will be described below.
First, as for Patent Document 5, FIG. Comparison with 5 will be important. FIG. 5, reference numeral 39 denotes a part of the element 40, and the core material 71 of the connected optical waveguide is shown to be slightly wider at the connection interface, but has a considerably narrower diameter than the part indicated by reference numeral 39. Is clear. Therefore, as shown in FIG. 3 of this embodiment, the configuration of “covering the entire element with the core material and the clad material” is described in FIG. There is a clear difference from the example illustrated in FIG.
For Patent Document 3, a comparison with FIG. 19 or FIG. 21 will be important. In these, as in the above-mentioned Patent Document 5, the optical transmission line 40 or its core part 40a and the clad part 40b are much thinner than the optical / electronic integrated circuit 2 and are connected even if compared with the optical transmission line 21. It only spreads to the same extent near the interface and is basically thinner than that. Therefore, as shown in FIG. 3 of the present embodiment, there is a clear difference from the configuration in which the entire element is completely covered with the core material and the clad material.
Patent Document 6 and Patent Document 4 are only very similar in their manufacturing methods, and these prior arts describe the connection structure between the light emitting element / light receiving element and the core of the dispenser-drawn polymer optical waveguide. No.

VCSEL11、LEDといった発光素子や、PD12などの受光素子は、一般的に、図4に示すように、発光部23もしくは受光部と同じ面にカソード22もしくはアノードをもつ構造である。このアノードもしくはカソードはワイヤボンディングにより導電させる構造であり、ワイヤボンディング後は、ボンディングワイヤ21の保護が必要になる。本実施形態では、コア材料およびクラッド材料でボンディングワイヤ21をすっぽり覆うことで、十分なボンディングワイヤ21の保護を達成できる。   As shown in FIG. 4, a light emitting element such as a VCSEL 11 or an LED or a light receiving element such as a PD 12 generally has a structure having a cathode 22 or an anode on the same surface as the light emitting part 23 or the light receiving part. The anode or the cathode has a structure for conducting by wire bonding, and after the wire bonding, the bonding wire 21 needs to be protected. In this embodiment, sufficient protection of the bonding wire 21 can be achieved by completely covering the bonding wire 21 with the core material and the clad material.

次に、本実施形態の光送受信装置10の製造方法を、図5を参照して説明する。
本実施形態の光送受信装置10を製造する場合、まず、VCSEL11及びPD12をそれぞれサブマウント基板15の側面に実装し、次いでこれらのサブマウント基板15の底面をプリント基板14の所定位置に固定する。この固定の際、VCSEL11及びPD12とプリント基板14との電気的接続を行う。
Next, a method for manufacturing the optical transmission / reception apparatus 10 of this embodiment will be described with reference to FIG.
When manufacturing the optical transceiver 10 of this embodiment, first, the VCSEL 11 and the PD 12 are respectively mounted on the side surfaces of the submount substrate 15, and then the bottom surfaces of these submount substrates 15 are fixed at predetermined positions on the printed circuit board 14. At the time of fixing, the VCSEL 11 and the PD 12 and the printed board 14 are electrically connected.

次に、プリント基板14の表面のうち、光導波路13の形成位置及び受発光素子11,12の下部に、下部クラッド17を形成する。なお、この下部クラッド17は、プリント基板14の表面全域にわたって成膜してもよい。下部クラッド17の形成は、熱可塑性樹脂を加熱溶融した樹脂液をディスペンサ等によって塗布する方法、未硬化の紫外線硬化型樹脂をプリント基板14表面にディスペンサ等によって塗布し、その後紫外線を照射して硬化させる方法などを採用することができ、使用する樹脂材料に応じて適宜選択可能である。   Next, a lower clad 17 is formed on the surface of the printed circuit board 14 at the position where the optical waveguide 13 is formed and below the light emitting / receiving elements 11 and 12. The lower clad 17 may be formed over the entire surface of the printed board 14. The lower clad 17 is formed by a method in which a resin solution obtained by heating and melting a thermoplastic resin is applied by a dispenser or the like. An uncured ultraviolet curable resin is applied to the surface of the printed circuit board 14 by a dispenser or the like, and then cured by irradiation with ultraviolet rays. The method of making it can be employ | adopted and can be suitably selected according to the resin material to be used.

次に、VCSEL11及びPD12の全体を被覆するように、コア材料26を塗布し、硬化させ、被覆部コア19及び光導波路13のコア16を形成する。コア材料26の塗布は、インクジェット法、ディスペンサによる塗布などで行うことができる。例えば、ディスペンサによる塗布の場合、まず、発光素子の発光部を作製する。コア材料26の硬化方法は特に制限されないが、熱硬化性材料や光硬化性材料を用いることができる。コア材料26を塗布してから硬化させるまでの時間を調整することで、コア部断面の形状を調整することができる。また、ディスペンサの吐出圧と掃引速度を調整することで、コア部断面積を調整することができる。   Next, the core material 26 is applied and cured so as to cover the entire VCSEL 11 and the PD 12, thereby forming the covering core 19 and the core 16 of the optical waveguide 13. The core material 26 can be applied by an inkjet method, application by a dispenser, or the like. For example, in the case of application by a dispenser, first, a light emitting portion of a light emitting element is manufactured. The method for curing the core material 26 is not particularly limited, but a thermosetting material or a photocurable material can be used. The shape of the core section can be adjusted by adjusting the time from application of the core material 26 to curing. Further, the core cross-sectional area can be adjusted by adjusting the discharge pressure and the sweep speed of the dispenser.

紫外線硬化型樹脂を用いる場合、図5(a)に示すように、ディスペンサノズル25の掃引動作に合わせて、硬化用光源27を追走させることで、効率良く、光導波路13のコア16を作製することができる。掃引速度に応じて、ディスペンサノズル25と光源27の位置を調整することで、コア材料26の量を調整することができる。コア16をディスペンサやインクジェット法で描画する際、重ね描きをすることでコア16の高さを大きくすることができる。しかし、重ね描きをした場合、1層目と2層目の間には界面が出来てしまい、光伝送を行う際に光散乱の要因になり、伝送損失が大きくなる恐れもある。   When using an ultraviolet curable resin, as shown in FIG. 5A, the core 16 of the optical waveguide 13 is efficiently manufactured by following the curing light source 27 in accordance with the sweeping operation of the dispenser nozzle 25. can do. The amount of the core material 26 can be adjusted by adjusting the positions of the dispenser nozzle 25 and the light source 27 according to the sweep speed. When drawing the core 16 by a dispenser or an inkjet method, the height of the core 16 can be increased by overdrawing. However, when overlaid, an interface is formed between the first layer and the second layer, which may cause light scattering when performing optical transmission and may increase transmission loss.

前述したコア材料26の塗布及び硬化処理後、図5(b)に示すように、下部クラッド17上に、VCSEL11及びPD12の全体を被覆する被覆部コア19と、この被覆部コア19と一体的に繋がった光導波路13のコア16が形成される。   After the coating and curing process of the core material 26 described above, as shown in FIG. 5B, a covering core 19 that covers the entire VCSEL 11 and PD 12 is formed on the lower clad 17, and the covering core 19 is integrated with the covering core 19. The core 16 of the optical waveguide 13 connected to is formed.

次に、被覆部コア19と光導波路13のコア16との外側を囲むように、上部クラッド18を形成する。上部クラッド18は、被覆部コア19と光導波路13のコア16との外側のみを囲むように形成してもよいし、コア形成後の基板表面全体を被覆するように形成してもよい。いずれの場合も、前述したコア16,19の形成手法又は前述した下部クラッド17の形成手法と同様の手法を用いて形成可能である。
この上部クラッド18を形成することによって、図2に示す本実施形態の光送受信装置10が得られる。
Next, the upper cladding 18 is formed so as to surround the outer sides of the covering core 19 and the core 16 of the optical waveguide 13. The upper clad 18 may be formed so as to surround only the outer sides of the covering core 19 and the core 16 of the optical waveguide 13, or may be formed so as to cover the entire substrate surface after the core is formed. In either case, it can be formed using a technique similar to the technique for forming the cores 16 and 19 described above or the technique for forming the lower cladding 17 described above.
By forming the upper clad 18, the optical transceiver 10 of this embodiment shown in FIG. 2 is obtained.

図6に示すサブマウント基板15を作製した。サブマウント基板15の材質は、窒化アルミニウムとした。サブマウント基板15は、四角形柱状とし、側面電極29と底面電極28を形成した。これらの電極の材料は、受発光素子を実装する際の金ワイヤ(ボンディングワイヤ21)との接続強度を考慮して、金スズ合金とした。   A submount substrate 15 shown in FIG. 6 was produced. The material of the submount substrate 15 was aluminum nitride. The submount substrate 15 has a quadrangular column shape, and a side electrode 29 and a bottom electrode 28 are formed. The material of these electrodes was a gold-tin alloy in consideration of the connection strength with the gold wire (bonding wire 21) when mounting the light emitting / receiving element.

図6に示すように、受発光素子をサブマウント基板15の側面に実装した。この実装は、導電性銀ペーストと金ワイヤで行った。発光素子には発光中心波長850nmのVCSEL11を用い、受光素子にはPD12を用いた。VCSEL11は、直接基板に実装した場合、基板面と垂直に光が放射される。光導波路は基板に対して水平方向に伸ばしたほうが、装置内部のスペースを有効に利用でき、望ましい。その為には、放射された光は、45°ミラーで基板に平行な向きに変えるか、もしくは、垂直方向に光導波路を設置し、光結合させた後、光導波路を90°曲げて基板と水平な向きにする方法がある。どちらの方法も光結合部の体積が大きくなるため、望ましくない。サブマウント基板15を用いてVCSEL11の放射光を基板と水平に向け、さらに本発明の光導波路の構成を用いることで、より省スペースで結合ができ、小型の光送受信装置が実現できる。   As shown in FIG. 6, the light emitting / receiving element was mounted on the side surface of the submount substrate 15. This mounting was performed with conductive silver paste and gold wire. A VCSEL 11 having an emission center wavelength of 850 nm was used as the light emitting element, and a PD 12 was used as the light receiving element. When the VCSEL 11 is directly mounted on a substrate, light is emitted perpendicular to the substrate surface. It is desirable to extend the optical waveguide in the horizontal direction with respect to the substrate because the space inside the apparatus can be used effectively. For this purpose, the emitted light is changed to a direction parallel to the substrate by a 45 ° mirror, or an optical waveguide is installed in the vertical direction and optically coupled, and then the optical waveguide is bent by 90 ° to the substrate. There is a way to make it horizontal. Both methods are not desirable because the volume of the optical coupling part increases. By using the submount substrate 15 to direct the radiated light of the VCSEL 11 horizontally with the substrate and further using the configuration of the optical waveguide of the present invention, it is possible to perform coupling in a smaller space and realize a compact optical transceiver.

次に、側面にVCSEL11、PD12を実装したサブマウント基板15をプリント基板14に実装した。サブマウント基板15の搬送は、真空ピンセットで行い、導電性銀ペーストを用いて、プリント基板14の電極パットに接合した。   Next, the submount substrate 15 on which the VCSEL 11 and the PD 12 were mounted on the side surface was mounted on the printed circuit board 14. The submount substrate 15 was transported by vacuum tweezers and joined to the electrode pad of the printed circuit board 14 using a conductive silver paste.

次に、光導波路13を作製した。最初に、下部クラッド材料17を塗布した(図7参照)。塗布はディスペンサを用いて行った。下部クラッド17を形成する樹脂は、紫外線硬化型のエポキシ樹脂を用いた。このエポキシ樹脂の粘度は1000cpsであり、硬化後の屈折率は、1.52である。このとき用いたディスペンサノズルの口径は、5kgf/cmとした。掃引後、10分間放置し、波長365nmの紫外線を照射して硬化させた。照射した紫外線の照度は、100nW/cmとした。硬化後の下部クラッド17の幅は、約0.8mm、厚さは0.2mmであった。 Next, the optical waveguide 13 was produced. First, the lower clad material 17 was applied (see FIG. 7). Application was performed using a dispenser. As a resin for forming the lower clad 17, an ultraviolet curable epoxy resin was used. The viscosity of this epoxy resin is 1000 cps, and the refractive index after curing is 1.52. The diameter of the dispenser nozzle used at this time was 5 kgf / cm 2 . After sweeping, it was allowed to stand for 10 minutes and cured by irradiating with ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm. The illuminance of the irradiated ultraviolet light was 100 nW / cm 2 . The width of the lower clad 17 after curing was about 0.8 mm and the thickness was 0.2 mm.

次に、コア材料をディスペンサを用いて塗布した(図5(a)参照)。コアを形成する樹脂は、紫外線硬化型のエポキシ樹脂を用いた。このエポキシ樹脂の粘度は5000cpsであり、硬化後の屈折率は、1.57である。このとき用いたディスペンサのノズルの口径は、内径0.05mmのものを使った。ディスペンサの掃引速度は、5mm/sとした。ディスペンサの吐出圧は、5kgf/cmとした。また、ディスペンサの後方20mmの位置に波長365nmの紫外線ランプ(光源27)の出射口を置き、ディスペンサノズル25の掃引を同速度で追走する仕組みとし、コア材料26を塗布した後、すばやく硬化するようにした。紫外線の照射条件は、100mW/cmとした。 Next, the core material was applied using a dispenser (see FIG. 5A). As the resin for forming the core, an ultraviolet curable epoxy resin was used. The viscosity of this epoxy resin is 5000 cps, and the refractive index after curing is 1.57. The nozzle diameter of the dispenser used here was 0.05 mm in inner diameter. The sweep speed of the dispenser was 5 mm / s. The discharge pressure of the dispenser was 5 kgf / cm 2 . In addition, an emission port of an ultraviolet lamp (light source 27) having a wavelength of 365 nm is placed at a position 20 mm behind the dispenser, and the sweep of the dispenser nozzle 25 is followed at the same speed. I did it. The ultraviolet irradiation condition was 100 mW / cm 2 .

コア材料26を塗布する際、VCSEL11の発光部23からスタートし、途中、所定の光配線パターンを描画した後、PD受光部まで掃引した。まず、VCSEL発光部では、ディスペンサノズルの掃引を停止した状態で、十分な量のコア材料を塗布し、CSEL素子全体とカソードにつながるボンディングワイヤが、コア材料内部に完全に入るようにした。十分なコア材料の分量を塗布した後、ディスペンサノズルの掃引を開始し、所定の光配線パターンを描画し始めた。また、PD受光部に結合する際は、PD素子全体とボンディングワイヤ21がコア材料に入るように、ディスペンサノズルの掃引速度を調整して塗布を行った。VCSEL11とPD12の間の所定の光配線パターン部では、光導波路13のコア16の線幅は、0.05mm、厚さは、0.03mmであった。   When applying the core material 26, it started from the light emitting part 23 of the VCSEL 11, and after drawing a predetermined optical wiring pattern, it was swept to the PD light receiving part. First, in the VCSEL light emitting unit, a sufficient amount of core material was applied in a state where the sweeping of the dispenser nozzle was stopped so that the bonding wire connected to the entire CSEL element and the cathode completely entered the core material. After applying a sufficient amount of core material, sweeping of the dispenser nozzle was started and drawing of a predetermined optical wiring pattern was started. In addition, when coupled to the PD light receiving portion, application was performed by adjusting the sweep speed of the dispenser nozzle so that the entire PD element and the bonding wire 21 could be in the core material. In a predetermined optical wiring pattern portion between the VCSEL 11 and the PD 12, the core 16 of the optical waveguide 13 has a line width of 0.05 mm and a thickness of 0.03 mm.

次に、上部クラッド材料を塗布した。塗布は、ディスペンサを用いて行った。上部クラッド18を形成する樹脂は、下部クラッド17と同じ紫外線硬化型のエポキシ樹脂を用いた。その粘度は1000cpsであり、硬化後の屈折率は、1.52である。このとき用いたディスペンサのノズルの口径は、内径0.2mmのものを使った。ディスペンサの掃引速度は、5mm/sとした。ディスペンサの吐出圧は、5kgf/cmとした。掃引後、10分間放置し、波長365nmの紫外線を照射して硬化させた。照射した紫外線の照度は、100mW/cmとした。硬化後の上部クラッド18は、コア16を完全に覆っており、光導波路13として適する構造となっている。 Next, an upper cladding material was applied. Application was performed using a dispenser. As the resin for forming the upper clad 18, the same ultraviolet curable epoxy resin as that for the lower clad 17 was used. Its viscosity is 1000 cps and the refractive index after curing is 1.52. The diameter of the nozzle of the dispenser used at this time was 0.2 mm. The sweep speed of the dispenser was 5 mm / s. The discharge pressure of the dispenser was 5 kgf / cm 2 . After sweeping, it was allowed to stand for 10 minutes and cured by irradiating with ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm. The illuminance of the irradiated ultraviolet light was 100 mW / cm 2 . The cured upper clad 18 completely covers the core 16 and has a structure suitable as the optical waveguide 13.

このようにして作製した光送受信装置にVCSEL駆動回路、トランスインピーダンスアンプ、リミッティングアンプをつなぎ、光伝送実験を行った。市販のデジタルデータアナライザを用いてビッドエラーレートの測定を行ったところ、駆動速度1.0GHzにおいて、4時間駆動し、エラーフリーを達成できた。また、市販のサンプリングオシロスコープを用いて、画像信号の伝送実験を行った。CCDカメラから出力されるナログ信号をデジタル変換し、さらにシリアル化した後、LVDS方式で伝送を行った。アナログ変換、シリアル化、LVDS対応信号変換は、市販の通信用ボードを用いて行った。実験の結果、CCDカメラの映像をリアルタイムで伝送し、ディスプレイに表示することができた。   A VCSEL driving circuit, a transimpedance amplifier, and a limiting amplifier were connected to the optical transceiver thus fabricated, and an optical transmission experiment was performed. When the bid error rate was measured using a commercially available digital data analyzer, it was driven for 4 hours at a driving speed of 1.0 GHz, and error-free was achieved. In addition, an image signal transmission experiment was performed using a commercially available sampling oscilloscope. The analog signal output from the CCD camera was digitally converted and serialized, and then transmitted by the LVDS method. Analog conversion, serialization, and LVDS compatible signal conversion were performed using a commercially available communication board. As a result of the experiment, it was possible to transmit the image of the CCD camera in real time and display it on the display.

光送受信装置の従来例を示す側面図である。It is a side view which shows the prior art example of an optical transmitter / receiver. 本発明の光送受信装置の一実施形態を示す図であり、(a)は光送受信装置の側面断面図、(b)は平面図である。It is a figure which shows one Embodiment of the optical transmitter / receiver of this invention, (a) is side sectional drawing of an optical transmitter / receiver, (b) is a top view. 図2の光送受信装置の要部の側面断面図である。FIG. 3 is a side cross-sectional view of a main part of the optical transmission / reception device of FIG. 2. 図2の光送受信装置に用いられる発光素子を例示する斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a light emitting element used in the optical transmission / reception apparatus of FIG. 2. 図2の光送受信装置の製造方法を例示する図であり、(a)はコア形成時の状態を示す側面断面図、(b)はコア形成後の状態を示す側面断面図である。FIGS. 3A and 3B are diagrams illustrating a method for manufacturing the optical transceiver of FIG. 2, in which FIG. 3A is a side cross-sectional view showing a state when a core is formed, and FIG. 本発明に係る実施例で作製した光送受信装置に用いた受発光素子を実装したサブマウント基板を示す図であり、(a)は正面図、(b)は底面図、(c)は側面図、(d)は斜視図である。It is a figure which shows the submount board | substrate which mounted the light emitting / receiving element used for the optical transmission / reception apparatus produced in the Example which concerns on this invention, (a) is a front view, (b) is a bottom view, (c) is a side view. (D) is a perspective view. 本発明に係る実施例で作製した光送受信装置の下部クラッド形成後の状態を示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the state after lower clad formation of the optical transmitter / receiver produced in the Example which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10…光送受信装置、11…VCSEL(発光素子)、12…PD(受光素子)、13…光導波路、14…プリント基板、15…サブマウント基板、16…コア、17…下部クラッド、18…上部クラッド、19…被覆部コア、20…被覆部クラッド、21…ボンディングワイヤ、22…カソード、23…発光部、24…アノード、25…ディスペンサノズル、26…コア材料、27…光源、28…底面電極、29…側面電極。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Optical transmitter / receiver, 11 ... VCSEL (light emitting element), 12 ... PD (light receiving element), 13 ... Optical waveguide, 14 ... Printed circuit board, 15 ... Submount substrate, 16 ... Core, 17 ... Lower clad, 18 ... Upper part Cladding, 19 ... covering core, 20 ... covering cladding, 21 ... bonding wire, 22 ... cathode, 23 ... light emitting part, 24 ... anode, 25 ... dispenser nozzle, 26 ... core material, 27 ... light source, 28 ... bottom electrode , 29 ... side electrodes.

Claims (6)

発光素子と、受光素子と、コア・クラッド構造を有する光導波路とが光学的に結合されてなる光送受信装置において、
発光素子と受光素子とが、光導波路を形成するコア材料からなる被覆部コアで素子全体を被覆した構造を有し、各素子を被覆した被覆部コアと光導波路のコアとが一体的に形成されたことを特徴とする光送受信装置。
In an optical transceiver in which a light emitting element, a light receiving element, and an optical waveguide having a core / cladding structure are optically coupled,
The light emitting element and the light receiving element have a structure in which the entire element is covered with a covering core made of a core material that forms the optical waveguide, and the covering core that covers each element and the core of the optical waveguide are integrally formed. An optical transmitter / receiver characterized by the above.
発光素子と、受光素子と、コア・クラッド構造を有する光導波路とが光学的に結合されてなる光送受信装置において、
発光素子と受光素子とが、光導波路を形成するコア材料からなる被覆部コアで素子全体を被覆し、該被覆部コアの外面を光導波路を形成するクラッド材料からなる被覆部クラッドで被覆した構造を有し、各素子を被覆した被覆部コアと光導波路のコアとが一体的に形成され、且つ被覆部クラッドと光導波路のクラッドとが一体的に形成されたことを特徴とする光送受信装置。
In an optical transceiver in which a light emitting element, a light receiving element, and an optical waveguide having a core / cladding structure are optically coupled,
A structure in which a light emitting element and a light receiving element are covered with a covering core made of a core material forming an optical waveguide, and the outer surface of the covering core is covered with a covering cladding made of a cladding material forming an optical waveguide. An optical transmission / reception apparatus comprising: a covering core that covers each element; and a core of an optical waveguide formed integrally, and a covering cladding and an optical waveguide cladding formed integrally .
発光素子と受光素子とに結合するボンディングワイヤが、被覆部コア及び被覆部クラッドで素子とともに被覆されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の光送受信装置。   The optical transmission / reception apparatus according to claim 1 or 2, wherein a bonding wire coupled to the light emitting element and the light receiving element is covered with the element by a covering core and a covering clad. 光導波路を形成するコア材料が、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂からなる群から選択される1種の樹脂であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光送受信装置。   4. The light according to claim 1, wherein the core material forming the optical waveguide is one resin selected from the group consisting of an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin. Transmitter / receiver. 発光素子及び受光素子を搭載したサブマウントが基板に実装され、発光素子の光放射方向及び受光素子の光受光方向を基板面と平行な向きとしたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光送受信装置。   5. The submount on which the light emitting element and the light receiving element are mounted is mounted on a substrate, and the light emission direction of the light emitting element and the light receiving direction of the light receiving element are oriented parallel to the substrate surface. An optical transceiver according to claim 1. 発光素子が面発光レーザであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光送受信装置。   6. The optical transmitting / receiving apparatus according to claim 1, wherein the light emitting element is a surface emitting laser.
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