JP2008170360A - 変位センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 変位センサのコイルの巻き数を減少させて、インピーダンスを低くしつつ、出力信号の直線性を維持する。
【解決手段】 変位センサは、一次コイル2と、二次コイル4a、4bと、測定対象物の変位に応じて移動する可動磁芯6とを、備え、可動磁芯6の移動に応じて変位センサの出力信号が変化する。一次コイル2、二次コイル4a、4bは、可動磁芯6の周囲に巻回され、二次コイル4a、4bの端部付近における巻線ピッチが、中途における巻線ピッチよりも狭く形成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 変位センサは、一次コイル2と、二次コイル4a、4bと、測定対象物の変位に応じて移動する可動磁芯6とを、備え、可動磁芯6の移動に応じて変位センサの出力信号が変化する。一次コイル2、二次コイル4a、4bは、可動磁芯6の周囲に巻回され、二次コイル4a、4bの端部付近における巻線ピッチが、中途における巻線ピッチよりも狭く形成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、測定対象物の変位に応じて移動する可動磁性体の移動に従って出力信号が変化する変位センサに関する。
上記のような変位センサには、例えば差動トランスがある。差動トランスは、移動可能な磁性体コアの周囲に一次コイルと二次コイルとを巻回し、一次コイルに励磁交流電流を流すことによって二次コイルに誘起起電力を発生させ、この誘起起電力を磁性体コアの移動によって変化させ、磁性体コアの移動量を検出するものである。この差動トランスでは、磁性体コアがコイルの両端付近に移動した際、磁束が減少しているので、感度が低下し、差動トランスの出力信号の直線性が得られない。この点を改善したものとして特許文献1に開示されたものがある。
特許文献1の技術では、二次コイルの両端付近に二次コイル上に補助コイルを積層し、これら補助コイルの出力と二次コイルの出力とを合成している。
しかし、特許文献1の技術では、補助コイルが無い場合より直線性は改善されるが、補助コイルの出力は、補助コイルに出力が発生する位置より端部側にコアが移動すると急に増大する為、直線性の改善度合いは低い、また、補助コイルを設けたことにより、二次コイルの巻き数が実質的に増加し、その結果、変位センサの出力インピーダンスが増加し、この変位センサの負荷回路の影響を受けて、直線性が崩れ易い。特に、励磁周波数を高くした際に、この現象が顕著になる。
本発明は、直線性を改善し、かつコイルの巻き数を減少させて、負荷インピーダンスを低くしても、出力信号の直線性を維持することができる変位センサを提供することを目的とする。
本発明の一態様の変位センサは、コイルと、測定対象物の変位に応じて移動する可動磁性体とを、備えている。コイルは、1つだけ設けることもできるし、複数設けることもできる。複数のコイルを設ける場合には、各コイルが電磁誘導結合されるように配置する。複数のコイルを設ける場合には、そのうちの出力コイルが、また1つのコイルだけ設ける場合にはそのコイルは、巻線が前記可動磁性体の周囲を包囲しながら前記移動体の移動方向に沿って巻回されている。いわゆるソレノイド状に巻回されている。このコイルの端部付近における巻線ピッチが、中途における巻線ピッチよりも狭く形成されている。
このように構成された変位センサでは、コイルの端部付近の巻線ピッチは、中途の巻線ピッチよりも狭いが、密着巻線を行った場合より広いので、コイルの巻き数は、密着巻きのコイルよりも少なくなり、インピーダンスを低下させることができる。しかも、コイルの端部付近の巻線ピッチが中途の巻線ピッチよりも狭いので、端部付近での巻線密度は中途より高く、出力信号の直線性を維持することができる。
コイルをその長さ方向に沿って複数のセクションに分割することができる。各セクションの境界には隔壁を設けることができる。これら各セクション内では前記コイルの巻線ピッチは同一で、前記コイルの端部付近のセクションの前記コイルの巻線ピッチは、前記コイルの中途のセクションの巻線ピッチよりも狭い。
このように構成すると、各セクションでの巻線ピッチが同一であるので、均等ピッチに巻線を巻くことができる自動巻線機によってコイルを巻くことができ、製造が容易になる。
さらに、端部付近のセクションの長さを中央付近より短くすることができる。このように構成すると、一次側が作る磁束が端部付近で減少し、出力が二次側の巻き線ピッチに見合った増加をしなくなる範囲で、巻き線ピッチ補正を細かに行うことができ、各巻線に誘起する信号が中央付近から端部付近まで均一に増加し、直線性が更に向上する。
前記コイルの巻線ピッチは、前記コイルの中央付近から前記コイルの端部に向かうに従って徐々に狭くすることができる。このように構成すると、各巻線に誘起する信号が中央付近から端部付近まで均一に増加し、直線性が更に向上する。
或いは、前記コイルの端部付近に密着巻線部を設け、この密着巻線部の周囲に第2巻線を配置し、第2巻線の巻線ピッチを第2巻線の線径よりも大きくすることができる。このように構成すると、全ての巻線を密着巻きした場合よりも巻き数を減少させることができ、出力インピーダンスを低下させることができる上に、感度を増加させることができる。
更に、第2巻線の端部付近の巻線ピッチを、前記第2巻線の中途における巻線ピッチよりも狭くすることができる。このように構成すると、直線性を改善することができる。
各セクションは、実際に設けずに仮想的に形成することもできる。このように構成すると、セクションを区画する隔壁を設ける必要が無く、変位センサの構成を簡略化することができる。
以上のように本発明によれば、変位センサに使用されているコイルの巻線の巻き数を減少させることができ、出力インピーダンスを低下させることができる上に、出力信号の直線性を維持することができる。
本発明の第1実施形態の変位センサは、図2に示すように、一次コイル2を有し、これと相互誘導するように複数、例えば2つの二次コイル4a、4bが設けられている。これら一次コイル2と二次コイル4a、4bとは、可動磁性体、例えば可動磁芯6の周囲に設けられている。この可動磁芯6は、測定対象物、例えば空圧または油圧バルブのような流体バルブの可動部分、例えばピストンの移動に連動してスライドするように構成されている。一次コイル2には、周期信号、例えば正弦波信号が、周期信号源、例えば発振器8によって励磁電圧として供給されている。2つの二次コイル4a、4bは、同じ巻き数であり、さらに差動接続されている。従って、2つの二次コイル4a、4bの出力信号、例えば出力電圧が、互いの極性が反対となって合成されるように接続されている。可動磁芯6が中立位置に或る場合には、2つの二次コイルの出力電圧は大きさが等しいので、二次コイル4a、4bの合成出力電圧は零である。可動磁芯が移動するとその移動方向に従って二次コイル4a、4bの一方の出力電圧が大きくなり、他方の出力電圧が小さくなり、合成出力電圧は、可動磁芯とコイルの相対位置に比例した、正相または逆相の出力電圧となる。
図1に示すように、可動磁芯6は、筒状体、例えば円筒部10内に、その軸線に沿って移動可能に配置されている。円筒状部10は、非磁性体金属または樹脂やセラミックである。可動磁芯6の一端は、ロッド12を介して流体バルブの可動部分に接続されている。
この円筒部10の外周面に一次コイル2が巻回されている。一次コイル2は、円筒状部10の外周面の一端から他端まで外周面を包囲するように、ソレノイド状に巻回されている。一次コイル2は、それの巻線の線径と巻線ピッチとが一致する密着巻きされ、この実施形態では二層に巻回されている。
一次コイル2の外周側に円筒状の区画壁14が形成され、区画壁14の外周面に二次コイル4a、4bが巻回されている。区画壁14も樹脂やセラミックである。二次コイル4aは、円筒部10の中央から円筒部10の一方の端部側まで巻回され、二次コイル4bは、円筒部10の中央から円筒部10の他方の端部側まで巻回されている。二次コイル4a、4bは、1つの導線を巻回することによって構成されているので、円筒状部10の中央部において二次コイル4a、4bは結合されている。また、二次コイル4a、4bの巻き方向は互いに反対にされている。これら二次コイル4a、4bは、これらの巻線である導線の線径よりも巻線のピッチの方が広くなるように、巻回されている。そのため、これら二次コイル4a、4bの合計の巻き数は、一次コイル2の一層の巻き数よりも少ない。
しかも、二次コイル4a、4bの巻線ピッチは、円筒状部10の両端部付近の方が、円筒状部10の中途、例えば中央部付近よりも狭い。即ち、円筒状部10をその長さ方向に沿って複数、例えば10個のセクション16a乃至16jに等間隔に区画してある。セクション16a乃至16jは、円筒状部10の一方の端部側から他方の端部側に順に並んでいる。二次コイル4aには、円筒状部10の一方の端部側から中央部までのセクション16a乃至16eが割り当てられている。二次コイル4bには、円筒状部10の中央部から他方の端部までのセクション16f乃至16jが割り当てられている。
二次コイル4aでは、セクション16eにおける巻き数は1である。セクション16dにおける巻き数は2で、セクション16dにおける巻線ピッチは互いに等しい。セクション16cにおける巻き数は3で、セクション16cにおける巻線ピッチは互いに等しい。セクション16bにおける巻き数は4で、セクション16bにおける巻線ピッチは等しい。セクション16aにおける巻き数は5で、セクション16aにおける巻線ピッチは等しい。各セクション16a乃至16eの長さは等しく、巻き数はセクション16eから16aに向かうに従って順に増加しているので、巻線ピッチもセクション16eから16aに向かうに従って順に狭くなり、円筒状部10の一端部側ほど中央部より巻線密度が大きくなっている。
二次コイル4bは二次コイル4aとセクション16eと16fとの境界を通って円筒状部10の軸線に垂直な線を対称軸として線対称に巻回されている。これは二次コイル4a、4bの巻線の巻き方向を逆にして、差動接続するためである。この場合でも、二次コイル4bの巻線ピッチは、セクション16fから16jに向かうに従って順に狭くなり、円筒状部10の他端部側ほど中央部より巻線密度が大きくなっている。
例えば円筒状部10のほぼ中央にあるセクション16eにおける磁束よりも円筒状部の一方の端部付近のセクション16aにおける磁束が小さくても、セクション16aにおける巻き数は、セクション16eにおける巻き数よりも多いので、巻き数を適切に選択すれば、磁束密度が減るのを補って、出力電圧の直線性を良好に維持することができる。
しかも、このように直線性を良好にすることを、一層の二次コイル4a、4bの巻線ピッチを端部側ほど狭くすることによって端部側ほど巻線数を増加させるという手法で行っているので、二次コイル4a、4bを多層化する必要が無い。従って、二次コイル4a、4bの直径を小さくすることができ、変位センサを細くすることができ、狭い場所で変位センサを使用可能となる。
更に、セクション16eからセクション16aまたはセクション16fからセクション16jに向かうに従って徐々にこれらセクションにおける巻き数が増加しているので、直線性をより良好にすることができる。例えば円筒状部10のセクション16e、16fからセクション16b、16iまで巻線ピッチを同一として、セクション16a、16jのみだけ巻線ピッチを他のセクションの巻線ピッチよりも狭くすることも考えられる。しかし、これでは、セクション16eからセクション16b、セクション16fからセクション16iに向かうに従って出力が飽和傾向になり、セクション16a、16iにおいて急激に出力が増加することになり、直線性が維持できなくなる可能性がある。そこで、この実施形態では、各セクションにおいて出力電圧の増分が等しくなるように、セクション16eからセクション16aまたはセクション16fからセクション16jに向かうに従って徐々にセクションにおける巻き数を増加させている。
また、二次コイル4a、4bの巻き数は、これらを密着巻きした場合よりも少なく、その結果、この変位センサの出力インピーダンスを低く維持できる。出力インピーダンスを低く維持できるので、発振器8から供給する励磁電圧の周波数を高くした場合でも、この変位センサがその負荷から受ける影響が少ない。負荷が低インピーダンスであっても、変位センサの出力側電圧は、殆ど負荷の影響を受けない。このように発振器8の周波数を高くすることができるので、一次コイル2の巻き数も少なくすることができ、一次コイル2の巻回も容易になるし、一次コイル2の直径も小さくでき、さらに変位センサを細くすることができる。
各セクション16a乃至16jのうち同じセクション内では巻線ピッチは同一であるので、自動巻線機によって自動的に巻線を巻回することができ、巻回が容易になり、製造コストも低下させられる。
なお、図1では、二次巻線4a、4bを差動接続するために、二次コイル4a、4bは線対称に巻回したが、差動接続せずに、二次コイル4a、4bを同じ巻線方向に巻回することもできる。この場合でも、端部側の巻線ピッチを中央部側よりも狭くして、端部側での巻線密度を大きくする。この場合には、図3に示すように、二次巻線4a、4bの出力電圧を図示していない差動増幅器に供給して、差動増幅する。
第2の実施形態の変位センサを図4に示す。この実施形態の変位センサでは、各セクション16a乃至16jの境界に隔壁18a乃至18iを設けた以外、第1の実施形態の変位センサと同様に構成されている。同一部分には同一符号を付して、その説明を省略する。
第3の実施形態の変位センサを図5に示す。この実施形態の変位センサでは、各セクション16a乃至16jの幅を不均一にしたものである。他の構成は、第1の実施形態と同様に構成されている。同一部分には同一符号を付して、その説明を省略する。各セクション16a乃至16jの幅の不均一は、具体的には、中央部にあるセクション16e、16fの幅が最も長く、これらから端部にあるセクション16a、16jに向かうに従って幅が短くされているものである。従って、巻線ピッチを狭くする巻線が位置するセクションほど幅が短く、端部で一次側が作る磁束が減少し巻き線ピッチに見合った出力の増加が期待できない位置で、巻き線ピッチを細かく制御できる様になり、直線性を良好にすることが容易になる。
第4の実施形態の変位センサを図6及び図7に示す。上記の各実施形態では、二次コイル4a、4bは、全体にわたって密着巻きされていないので、全体にわたって密着巻きした場合と比較して、巻き数が少なく、変位センサの感度が低くなる。そこで、この変位センサでは、感度を増加させるために、図6に示すように、端部付近から中央側に向かうセクション16a、16b、16c、16h、16i、16jにおける二次巻線4a、4bの巻線を、各巻線が密着している密着巻線部としてある。これら密着巻線部のうちセクション16a、16b、16i、16jにあるものの周囲に巻線ピッチが各巻線の直径よりも広い巻線ピッチの第2巻線、例えば付属コイル18a、18bを巻回してある。付属コイル18aでも、セクション16bの巻線ピッチが広く、セクション16aの巻線ピッチが狭く、その結果、巻き数が多い。付属コイル18bでも、セクション16iの巻線ピッチが広く、セクション16jの巻線ピッチが狭く、巻き数が多い。付属コイル18aの巻線方向は、二次コイル4aと同じであり、付属コイル18bの巻線方向は、二次コイル4bと同じである。従って、付属コイル18aと18bとでは、巻く方向が逆である。
図7に示すように、付属コイル18aは、二次コイル4aと直列に接続され、付属コイル18bは、二次コイル4bと直列に接続されている。このように構成することによって、巻線数が増加し、感度を高めることができる。他の構成は、第1の実施形態と同様であるので、同一部分には同一符号を付して、その説明を省略する。
上述の各実施形態によれば、巻き数を低減することができるので、加工工数および部品コストを低減できる。また、各セクション16a乃至16jは、実際に設けずに仮想的に形成することで、隔壁14を省くことができ、コストを低減できる。
上記の各実施形態の変位センサでは、セクションの数を10としたが、これに限ったものではなく、その数は任意に変更することができ、10よりも増加させることも減少させることもできる。また、上記の各実施形態における各セクションにおける巻き数は、単なる一例に過ぎず、種々の変更が可能である。
上記の各実施形態では、二次コイル4a、4bは同一セクション内では同一巻線ピッチとし、外側にあるセクションほど巻線ピッチを小さくしたが、同一セクション内においても巻線ピッチを異ならせることも可能である。また、上記の各実施形態では複数のセクションを設け、同一セクション内では巻線ピッチを同一としたが、セクションを設けずに、円筒状部10の中央から両端部に向かうに従って徐々に巻線ピッチを狭くすることも可能である。また、上記の各実施形態では、2つの二次コイル4a、4bを使用したが、最低限度1つの二次コイルだけを使用することもできる。この場合も、1つの二次コイルの両端部付近の巻線ピッチを中央付近よりも狭くする。また、一次コイル2と二次コイル4a、4bとを設けたが、例えば1つの筒状体に巻回され、直列接続された2つのコイルと筒状体内をその軸線方向に沿って移動する可動磁性体とを有する構造で、コイルと可動磁性体との相対位置が変化することによって、コイルのインピーダンスが変化し、コイルの直列接続した接続点から取り出す出力信号が変位に比例する変位センサを使用することもできる。この場合でも、2つのコイルの両端部の巻線の巻線ピッチが中央部の巻線ピッチよりも狭くなるように、2つのコイルが巻回される。
2 一次コイル
4a 4b 二次コイル(コイル)
6 可動磁芯(可動磁性体)
16a乃至16j セクション
18 隔壁
4a 4b 二次コイル(コイル)
6 可動磁芯(可動磁性体)
16a乃至16j セクション
18 隔壁
Claims (7)
- コイルと、測定対象物の変位に応じて移動する可動磁性体とを、備え、この可動磁性体の移動に応じて出力信号が変化する変位センサにおいて、
前記コイルは、その巻線が前記可動磁性体の周囲を包囲しながら前記移動体の移動方向に沿って巻回され、前記コイルの端部付近における巻線ピッチが、前記コイルの中途における巻線ピッチよりも狭く形成されている
変位センサ。 - 請求項1記載の変位センサにおいて、前記コイルをその長さ方向に沿って複数のセクションに分割し、これら各セクション内では前記コイルの巻線ピッチは同一で、前記コイルの端部付近のセクション内の前記コイルの巻線ピッチは、前記コイルの中途のセクション内の巻線ピッチよりも狭い変位センサ。
- 請求項2記載の変位センサにおいて、端部付近の前記セクションの長さが中央付近よりも短く形成される変位センサ。
- 請求項1乃至3いずれか記載の変位センサにおいて、前記コイルの巻線ピッチは、前記コイルの中央付近から前記コイルの端部に向かうに従って徐々に狭くなっている変位センサ。
- 請求項1乃至4いずれか記載の変位センサにおいて、前記コイルの端部付近に密着巻線部を設け、この密着巻線部の上に第2巻線を配置し、第2巻線の巻線ピッチを第2巻線の線径よりも大きくした変位センサ。
- 請求項5記載の変位センサにおいて、第2巻線の端部付近の巻線ピッチが、前記第2巻線の中途における巻線ピッチよりも狭くした変位センサ。
- 請求項2または3記載の変位センサにおいて、前記セクションを仮想的に形成した変位センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005545A JP2008170360A (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 変位センサ |
PCT/JP2008/050114 WO2008087880A1 (ja) | 2007-01-15 | 2008-01-09 | 変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005545A JP2008170360A (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 変位センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008170360A true JP2008170360A (ja) | 2008-07-24 |
Family
ID=39635884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007005545A Withdrawn JP2008170360A (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 変位センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008170360A (ja) |
WO (1) | WO2008087880A1 (ja) |
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WO2008087880A1 (ja) | 2008-07-24 |
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