JP2008170253A - 表面傷検査装置 - Google Patents
表面傷検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008170253A JP2008170253A JP2007003193A JP2007003193A JP2008170253A JP 2008170253 A JP2008170253 A JP 2008170253A JP 2007003193 A JP2007003193 A JP 2007003193A JP 2007003193 A JP2007003193 A JP 2007003193A JP 2008170253 A JP2008170253 A JP 2008170253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected light
- light
- flaw inspection
- half mirror
- inspection apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】微細な傷の検査が可能となる表面傷検査装置を提供する。
【解決手段】表面が移動する物体Wからの反射光の画像により、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置10であって、光源1からの光を反射し、この一次反射光L1と一次反射光L1が物体Wに反射して戻ってくる二次反射光L2とが同じ光路をたどるようにし、二次反射光L2を透過させるハーフミラー2と、一次反射光L1と透過前の二次反射光L2との前記表面の移動方向Fの光幅Bを制限するスリット3とを備え、ハーフミラー2を透過した二次反射光L2を画像として用いる。
【選択図】図1
【解決手段】表面が移動する物体Wからの反射光の画像により、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置10であって、光源1からの光を反射し、この一次反射光L1と一次反射光L1が物体Wに反射して戻ってくる二次反射光L2とが同じ光路をたどるようにし、二次反射光L2を透過させるハーフミラー2と、一次反射光L1と透過前の二次反射光L2との前記表面の移動方向Fの光幅Bを制限するスリット3とを備え、ハーフミラー2を透過した二次反射光L2を画像として用いる。
【選択図】図1
Description
本発明は、表面が移動する物体からの反射光の画像により、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置に関する。
物体の表面の微細な傷の有無を検査するのに、この表面を移動させながら光源からの光を当てて、その反射光が傷の部分では異なる方向に反射されるのを利用し、この反射光の画像を用いて、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置がある。
この場合、光源から発射される光の幅が大きく、平行光線でない場合、中心光から外れた光による反射光が、本来検査対象とすべき中心光による反射光に重畳して、傷の発見を邪魔することがあり、これにより微細な(幅と深さに関して)傷の検査が困難になることがある。
この問題を生じ得るような表面傷検査装置としては、特許文献1から4に記載されたものがあるが、いずれも、上記のような光源の幅と非平行性に起因する問題を認識し、解決しようとするものではなかった。
特開2000−121569号公報
特開平11−166898号公報
特開2001−330566号公報
特開平10−23470号公報
本発明は、上記問題を改善しようとするもので、微細な傷の検査が可能となる表面傷検査装置を提供することを目的としている。
本発明の表面傷検査装置は、表面が移動する物体からの反射光の画像により、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置であって、
光源からの光を反射し、この一次反射光と前記一次反射光が前記物体に反射して戻ってくる二次反射光とが同じ光路をたどるようにし、前記二次反射光を透過させるハーフミラーと、前記一次反射光と透過前の前記二次反射光との前記表面の移動方向の光幅を制限するスリットとを備え、前記ハーフミラーを透過した二次反射光を画像として用いることを特徴とする。
光源からの光を反射し、この一次反射光と前記一次反射光が前記物体に反射して戻ってくる二次反射光とが同じ光路をたどるようにし、前記二次反射光を透過させるハーフミラーと、前記一次反射光と透過前の前記二次反射光との前記表面の移動方向の光幅を制限するスリットとを備え、前記ハーフミラーを透過した二次反射光を画像として用いることを特徴とする。
本発明の表面傷検査装置は、光源からの光を反射し、この一次反射光と前記一次反射光が前記物体に反射して戻ってくる二次反射光とが同じ光路をたどるようにし、前記二次反射光を透過させるハーフミラーと、前記一次反射光と透過前の前記二次反射光との前記表面の移動方向の光幅を制限するスリットとを備え、前記ハーフミラーを透過した二次反射光を画像として用いることとしたので、前記スリットにより、検査対象とする画像に悪影響を与える不要な光を除去することで、コントラストの良い、S/N比の高い画像を得ることができ、微細な傷の検査が可能となる。
以下に、本発明の実施の形態(実施例)について、図面を用いて説明する。
図1は、本発明の表面傷検査装置の一例を概念的に示すもので、(a)はその正面図、(b)はその側面図、(c)は(b)のスリット部分の拡大図である。
この表面傷検査装置10は、表面が移動する物体Wからの反射光の画像により、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置10であって、光源1からの光を反射し、この一次反射光L1と一次反射光L1が、両端をセンターCで回転可能に支持され、移動方向Fに回転する軸状の物体Wの表面に反射して戻ってくる二次反射光L2とが同じ光路をたどるようにし、二次反射光L2を透過させるハーフミラー2を備えていることを特徴とする。
この表面傷検査装置10は、また、一次反射光L1と透過前の二次反射光L2との前記表面の移動方向Fの光幅Bを制限するスリット3を備え、ハーフミラー2を透過した二次反射光L2を画像として用いることを特徴とする。加えて、表面傷検査装置10は、前記ハーフミラー2を透過した二次反射光L2を撮像するカメラ4を備えている。以下、より詳しく説明する。
光源1は、光源の長さ(図1(a)の左右方向の長さ)が長く、一様な光を発射する線状光源であれば限定されるものではなく、具体的には、蛍光管や、発光ダイオード(LED)を線状に並べたものや、線状のレーザー光などが好適である。
ハーフミラー2は、一般に用いられているものを、図1(b)に示すように、検査すべき物体Wの表面が形成する平面に対して、45度傾けて設置したものである。
ここで、光源1をハーフミラー2に向けて、前記平面に平行な光を照射するように設置すれば、この光源1から発射された光がハーフミラー2で90度方向転換して反射されて、物体Wに向かう一次反射光L1となる。
この一次反射光L1は、物体Wの表面に垂直方向から当たって、同じ垂直方向に反射されて戻ってくる二次反射光L2となり、ハーフミラー2を透過し、表面傷検査用の画像を形成する。なお、このように、光源1とハーフミラー2とを組み合わせて、入射光と反射光とが同じ光路をたどるように構成した照明は、同軸落射照明と呼ばれている。
スリット3は、この一次反射光L1の光幅Bを制限するが、二次反射光L2は、一次反射光L1と同じ光路をたどるので、同時に、この二次反射光L2の光幅Bを制限するものとなる。
カメラ4は、スリット3で光幅Bの制限された線状の画像を好適に撮像するものであれば限定されないが、撮像された画像の処理等のためには、画像のデジタルデータが取得しやすいCCDラインカメラが好適である。
これらの光源1と、ハーフミラー2と、スリット3と、カメラ4とは、それぞれの光軸が相互に移動しないように一体化されている。
このような構成の表面傷検査装置10においては、上記構成から明らかなように、光源1から発射された光は、ハーフミラー2で反射されて一次反射光L1となり、この一次反射光L1はスリット3で光幅Bに制限された状態で物体Wの表面に反射され、二次反射光L2として一次反射光L1と同じ光路を戻る。
この二次反射光L2は、スリット3で光幅Bに再び制限され、その後、ハーフミラー2を透過して、カメラ4によって撮像される。
この際、この適度に光幅Bが制限された状態では、図1(b)で示したように、微小な傷で異なる方向に反射された傷反射光L′はスリット3を通過せず、二次反射光L2の光量は傷に対して的確に変動する。
また、物体Wへの入射光となる一次反射光L1も制限されているので、微小な傷で反射されて、スリット3を通過する方向となるような光の影響も避けることができる。
つまり、本発明では、物体の表面に入射する一次反射光L1と、その表面で反射される二次反射光L2との双方の光幅を制限しているので、撮像されるべき画像に含まれる不要な光を制限して、コントラストの良い、S/N比の高い画像を得ることができ、微細な傷の検査が可能となる。
例えば、この表面傷検査装置10によれば、このような装置を用いない従来の方法では困難であった、上記移動方向Fの幅が0.1ミリ(mm)以下程度で、深さが数ミクロン(μ)程度の微小な傷の検出を確実に行うことができるようになった。
また、本発明のこの表面傷検査装置10では、スリット3を設置する位置が、一次反射光L1と二次反射光L2との双方が通過する光路とされており、これにより、一つのスリットにより、撮像すべき画像に関与する一次反射光L1と二次反射光L2の双方の光幅Bを制限することができ、個々にスリットを設ける場合に比べて、スリットの個数が減ることに加え、光路に対するスリットの上記光幅B方向の位置調整が一つ分で済み、装置の構成、組立が簡単になる。
また、本発明のこの表面傷検査装置10では、一次反射光L1と二次反射光L2との双方が、物体Wの表面に垂直に照射され反射されるように(同じ光路をたどるように)成っているので、この照射方向に、図1(b)で2点鎖線の想像線で示すように、物体Wが芯ぶれしてW(1)のように動く場合でも、一次反射光L1と二次反射光L2とは同じ光路をたどるので、撮像画像に影響を与えず、検査結果にも影響を与えない。
また、この表面傷検査装置10では、一次反射光L1と二次反射光L2との双方の物体Wの表面の移動方向Fの光幅Bを制限している。
また、この表面傷検査装置10では、装置の中に、光源1と、ハーフミラー2と、スリット3と、カメラ4とが、それぞれの光軸が相互に移動しないように一体化されているので、一次反射光L1の光軸が物体Wの表面に垂直となるように、装置を調整するだけで、全体のセットが完了し、従来例のように、入射光の光軸の調整と、これと異なる角度に設けることとなるカメラの光軸の調整とを独立して個々に行わなければならない場合に比べて、調整が容易である。
図2は、本発明の表面傷検査装置の他例を概念的に示すもので、(a)はその正面図、(b)はその側面図である。これより、既に説明した部分と同じ部分については、同じ符号を付して、重複説明を省略する。
この場合、表面傷検査装置10自体の構成は変わらず、検査対象が、図1の場合に比べ、軸状のものではなく、平板状の物体WPとなっている点が異なっているだけである。
図1の場合では、検査対象の物体Wが軸状のもので、その物体Wを軸心を中心として回転させ、その際の軸円周の表面が回転により移動するので、この移動する表面上の傷を検査するのに、表面傷検査装置10を用いた例を説明した。
しかし、本発明の表面傷検査装置10は、平板状の物体WPを移動方向Fに直線移動させて、この物体WPの表面の傷を検査するのにも用いることができ、その場合にも、図2から解るように、同様の効果を発揮することができる。
図3は、本発明の表面傷検査装置の他例を概念的に示すもので、(a)はその正面図、(b)はその側面図である。
この表面傷検査装置10Aは、図1の表面傷検査装置10に比べ、物体Wへの入射光L3に対して、物体Wに反射された反射光L4が、同じ光路を取らず、入射光L3に対して一定の角度を成して反射されるようにし、入射光L3の物体Wの表面の移動方向Fの光幅を制限するスリット3A、反射光3の物体Wの表面の移動方向Fの光幅を制限するスリット3Bをそれぞれ設けた点が異なっている。
このような、入射光L3に対して反射光L4が一定の角度を成して反射されるようにして表面傷を検査する方法は、特許文献1〜4にも示したように従来用いられていた方法であるが、その場合にも、本発明で提案している入射光L3の光幅を制限するスリット3A、反射光3の光幅を制限するスリット3Bは、カメラ4でされるべき画像に影響を与える不要な光の影響を極力さけることができ、画像のS/N比を向上させて、微細な傷をも検査することを可能にする。
ただし、物体Wに芯ぶれが生じてW(1)となった場合、表面に傷がなくとも、その場合の反射光L4′は、スリット3Bを通過せず、傷として画像に把握されることとなってしまい、検査精度に影響を与えることとなる。
しかしながら、実用的には、芯ぶれを極力少なくすることで、スリットを設けるだけでも、十分に、微細な傷の検査も可能とすることができる。
なお、本発明の表面傷検査装置は、上記の実施例に限定されない。また、特許請求の範囲に記載された範囲、実施例の範囲で、種々の変形例、組み合わせが可能である。
本発明の表面傷検査装置は、微細な傷の検査が可能とすることが要請される産業分野に用いることができる。
1 光源
2 ハーフミラー
3〜3B スリット
4 カメラ
10、10A 表面傷検査装置
L1、L3 一次反射光
L2、L4 二次反射光
W 物体
2 ハーフミラー
3〜3B スリット
4 カメラ
10、10A 表面傷検査装置
L1、L3 一次反射光
L2、L4 二次反射光
W 物体
Claims (2)
- 表面が移動する物体からの反射光の画像により、前記表面の傷を検査する表面傷検査装置であって、
光源からの光を反射し、この一次反射光と前記一次反射光が前記物体に反射して戻ってくる二次反射光とが同じ光路をたどるようにし、前記二次反射光を透過させるハーフミラーと、前記一次反射光と透過前の前記二次反射光との前記表面の移動方向の光幅を制限するスリットとを備え、
前記ハーフミラーを透過した二次反射光を画像として用いることを特徴とする表面傷検査装置。 - 光源と、ハーフミラーと、スリットと、前記ハーフミラーを透過した二次反射光を撮像するカメラとが、それぞれの光軸が相互に移動しないように一体化されたことを特徴とする請求項1記載の表面傷検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003193A JP2008170253A (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 表面傷検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003193A JP2008170253A (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 表面傷検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008170253A true JP2008170253A (ja) | 2008-07-24 |
Family
ID=39698491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007003193A Withdrawn JP2008170253A (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 表面傷検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008170253A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116021654A (zh) * | 2023-04-02 | 2023-04-28 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种晶片切割自动换刀装置及其换刀方法 |
-
2007
- 2007-01-11 JP JP2007003193A patent/JP2008170253A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116021654A (zh) * | 2023-04-02 | 2023-04-28 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种晶片切割自动换刀装置及其换刀方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6561327B2 (ja) | 光学検査装置、鏡筒の製造方法、および光学検査方法 | |
KR102241978B1 (ko) | 피검체의 표면 검사 방법 및 이를 수행하기 위한 광학 시스템 | |
JP5728395B2 (ja) | 円筒内周面検査用光学系及び円筒内周面検査装置 | |
WO2015174114A1 (ja) | 基板検査装置 | |
WO2012033022A1 (ja) | 表面検査装置 | |
US8547547B2 (en) | Optical surface defect inspection apparatus and optical surface defect inspection method | |
JP5294081B2 (ja) | 光沢円筒面形状検査装置 | |
JP2008170253A (ja) | 表面傷検査装置 | |
JP2006242828A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
JP2007178242A (ja) | 壜胴部の欠陥検査装置 | |
JP4974267B2 (ja) | ウェーハ外周検査方法 | |
JP6769766B2 (ja) | パターン検査装置 | |
JP6839916B2 (ja) | 内面検査システムおよびその光学系 | |
JP5046054B2 (ja) | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、光学式走査装置、半導体デバイス製造方法 | |
JP5255763B2 (ja) | 光学検査方法および装置 | |
US20160274033A1 (en) | Imaging apparatus and imaging method | |
WO2019230215A1 (ja) | 撮像装置 | |
JP2009229221A (ja) | 光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置 | |
JP5367292B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2009168793A (ja) | 面精度測定及び表面欠陥観察装置、面精度測定及び表面欠陥観察方法、並びに面精度及び表面欠陥の検査方法 | |
KR101785069B1 (ko) | 다크 필드 조명 장치 | |
JP5090662B2 (ja) | 球面検査方法及び球面検査装置 | |
JP2009222629A (ja) | 被検物端面検査装置 | |
JP2006313107A (ja) | 検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法 | |
JP2009063419A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100406 |