JP2008157749A - Inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、エレクトロニクス工場等において、1次元イメージセンサカメラによりクリームはんだ印刷基板を3次元撮像して外観検査を行う検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus that performs appearance inspection by three-dimensionally imaging a cream solder printed board with a one-dimensional image sensor camera in an electronics factory or the like.
最近のプリント基板への部品組みつけ工法はほぼ表面実装方式になり、素基板にクリームはんだを謄写版式に印刷塗布し、その上に部品を自動マウントし、クリームはんだをリフロー炉で加熱溶融して、部品のはんだ付を完了する。この方式における部品実装の不良は、クリームはんだ印刷工程、部品マウント工程、はんだ溶融工程で発生し得るので、それぞれの工程において品質を検査・確認する必要性が一般的に認識されるようになった。
中でもクリームはんだ印刷工程における印刷不良は、はんだ付不良の最大の原因であるため、はんだ印刷品質を自動検査する検査装置が使用されるようになっている。従来のこれら検査装置は、大別、2次元検出方式と3次元計測方式とがあり、前者は基板に対して垂直方向から撮った平面画像で印刷の平面方向の不良を検出する。また後者は三次元計測により、印刷はんだの高さ計測を行う。
3次元計測法は、はんだに斜め方向からレーザ光を投射して高さによる反射スポットの位置変化量から算出する方法や、既知のパタンを持つ構造光を投光して、その変形量から算出する方法などが開示されている(特許文献1〜2参照)。
In particular, printing defects in the cream solder printing process are the largest cause of soldering defects, and therefore, inspection apparatuses that automatically inspect the solder printing quality are used. These conventional inspection apparatuses are roughly classified into a two-dimensional detection method and a three-dimensional measurement method. The former detects a defect in the plane direction of printing from a plane image taken from a direction perpendicular to the substrate. The latter measures the height of printed solder by three-dimensional measurement.
The three-dimensional measurement method can be calculated from the amount of deformation by projecting laser light from an oblique direction onto the solder and calculating the position change amount of the reflected spot depending on the height, or projecting structured light with a known pattern. And the like are disclosed (see
これらの原理による3次元計測方式の検査装置は、3次元計測を行う仕組みのコストが高く、検査自動化普及の障害になっていた。 The inspection apparatus of the three-dimensional measurement method based on these principles has a high cost for a mechanism for performing three-dimensional measurement, and has been an obstacle to the spread of inspection automation.
一方、本出願人は、プリント基板の全面を撮像し、その画像をもとにして外観検査を行うことにより、従来の教示作業を必要としない実装検査技術を考案し、開示をしている(特許文献3、4参照、以下省略)。
これらの開示技術は、基板に対して真上方向に設置した1次元イメージセンサカメラによりはんだ付後基板の検査を行うものであって、総じて2次元画像の差画像処理を行う技術であるため、クリームはんだの3次元計測はできなかった。 These disclosed technologies are for inspecting a substrate after soldering by a one-dimensional image sensor camera installed in a direction directly above the substrate, and are generally technologies for performing difference image processing of a two-dimensional image. Three-dimensional measurement of cream solder was not possible.
解決しようとする問題点は、2次元画像方式ではクリームはんだの高さ異常の検出ができず、一方、3次元計測方式では高コスト構造が避けられなかった点である。 The problem to be solved is that the two-dimensional image method cannot detect an abnormal cream solder height, while the three-dimensional measurement method cannot avoid a high-cost structure.
本発明は、基板に対して斜め撮像角度の1次元カラーイメージセンサカメラが、第1色相光光源がほぼ真上から照明し、かつ第2色相光光源が撮像角度よりも浅い斜め角度で照明する基板を撮像して、第1色相光と第2色相光で同時二重照明されたクリームはんだ印刷基板の全面3次元画像を獲得し、基準基板画像と検体基板画像の差画像処理によって異常箇所を検出し、異常箇所についてクリームはんだの3次元画像計測を行うことを主要な特徴とする。
また本発明は、基板に対して斜め撮像角度の1次元イメージセンサカメラが、第1光源がほぼ真上から点滅照明し、かつ第2光源が撮像角度よりも浅い斜め角度で点滅照明する基板を電子走査に合せて交互に撮像して、第1光源反射画像と第2光源反射画像とを獲得し、クリームはんだの3次元計測値を算出して良否判定することを主要な特徴とする。
According to the present invention, a one-dimensional color image sensor camera having an oblique imaging angle with respect to a substrate illuminates the first hue light source from almost directly above and the second hue light source illuminates at an oblique angle shallower than the imaging angle. The substrate is imaged, and a three-dimensional image of the entire surface of the solder paste printed board that is simultaneously double-illuminated with the first hue light and the second hue light is obtained. The main feature is to detect and perform three-dimensional image measurement of the cream solder on the abnormal part.
The present invention also provides a substrate in which a one-dimensional image sensor camera having an oblique imaging angle with respect to a substrate flashes and illuminates the first light source from substantially above and the second light source blinks at an oblique angle shallower than the imaging angle. The main feature is that images are alternately captured in accordance with electronic scanning, a first light source reflection image and a second light source reflection image are acquired, and a three-dimensional measurement value of cream solder is calculated to determine whether it is good or bad.
本発明の検査装置は、斜め撮像角度の1次元イメージセンサカメラとほぼ真上からの照明と撮像角度よりも浅い角度の照明より成る3次元撮像幾何光学配置によりクリームはんだ印刷基板の3次元画像を獲得し、クリームはんだの3次元画像計測と不良検出をするので、高価な3次元計測構造が不要な、安価な3次元クリームはんだ印刷検査装置が実現するという利点がある。 The inspection apparatus according to the present invention generates a three-dimensional image of a cream solder printed circuit board by a one-dimensional image sensor camera having an oblique imaging angle, a three-dimensional imaging geometric optical arrangement including illumination from directly above and illumination at an angle shallower than the imaging angle. Since the acquisition and the defect detection of the three-dimensional image of the cream solder are performed, there is an advantage that an inexpensive three-dimensional cream solder printing inspection apparatus that does not require an expensive three-dimensional measurement structure is realized.
安価で普及性の高いクリームはんだ印刷の自動検査装置を実現するという目的を、斜め撮像角度の1次元イメージセンサカメラとほぼ真上からの照明光源と撮像角度よりも浅い角度の照明光源より成る3次元撮像幾何光学配置によりクリームはんだ印刷基板の3次元画像を獲得し、3次元画像計測と不良検出をすることによって実現した。 For the purpose of realizing an inexpensive and popular automatic inspection apparatus for cream solder printing, it is composed of a one-dimensional image sensor camera with an oblique imaging angle, an illumination light source from almost above, and an illumination light source with a shallower angle than the imaging angle. This was realized by acquiring a three-dimensional image of the cream solder printed board by three-dimensional imaging geometric optical arrangement, measuring the three-dimensional image, and detecting defects.
図1は、本発明検査装置の第1実施例の全体構成図であって、基板1上にはクリームはんだ2が印刷され、基板1は1次元テーブル3に水平姿勢で保持されている。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a first embodiment of an inspection apparatus according to the present invention, in which
基板1の上方には、1次元カラーイメージセンサカメラ4と照明装置の第1色相光源5−1と第2色相光源5−2が配置されている。1次元カラーイメージセンサカメラ4はカラーラインCCDカメラであって、その視軸が基板1に対して斜めになるように傾斜姿勢で設置されている。図示していないが、1次元カラーイメージセンサカメラ4の前方にテレセントリックレンズを装備し、基板からの入射光を平行光としている。
Above the
図2(A)の光学配置模式図に示すように、照明・撮像系の構成は、下記のようになっている:
第1色相光源5−1は、基板のほぼ真上に設置され、第1色相光例えば緑色の光束を基板に投射することによって、クリームはんだの上面を緑色に着色する。一方第2色相光源5−2は、1次元カラーイメージセンサカメラ4よりも下方に設置され、第2色相光例えば赤色の光束を基板に投射することによって、クリームはんだの側面を赤色に着色する。
この幾何光学配置で、第1色相光源5−1と第2色相光源5−2の間に設置された斜め姿勢の1次元カラーイメージセンサカメラ4が基板を撮像すると、図2(B)の画像模式図に示すように、クリームはんだの3次元画像が得られ、しかもはんだの上面は緑色画像領域となり、また側面は赤色画像領域となる。
赤色領域の奥行き(図2の横幅に相当)はクリームはんだの側面画像の奥行きであるので、クリームはんだの高さに比例し、緑色領域はクリームはんだの上面画像であるので、クリームはんだの面積に比例する。実際の高さおよび面積は、カメラ視軸の傾斜角と画素数から概算でき、高さと面積からクリームはんだの体積を算出する。
良否判定は、基準基板と検体基板の画像同士の差画像処理を行い、閾値以上の差分を検出した場合に、不良と判定する(図2(C)参照)。
As shown in the schematic diagram of the optical arrangement in FIG. 2A, the configuration of the illumination / imaging system is as follows:
The first hue light source 5-1 is installed almost directly above the substrate, and projects the first hue light, for example, a green light beam, onto the substrate, thereby coloring the upper surface of the cream solder in green. On the other hand, the second hue light source 5-2 is installed below the one-dimensional color
When the one-dimensional color
The depth of the red area (corresponding to the width in FIG. 2) is the depth of the side image of the cream solder, and is proportional to the height of the cream solder. Proportional. The actual height and area can be estimated from the tilt angle of the camera visual axis and the number of pixels, and the volume of the cream solder is calculated from the height and area.
In the pass / fail judgment, a difference image process between the images of the reference substrate and the sample substrate is performed, and when a difference equal to or greater than a threshold value is detected, it is determined as defective (see FIG. 2C).
上記の計算は、(1)1次元イメージセンサカメラの電子走査軸と基板の相対的移動軸を直角としたこと及び、(2)テレセントリックレンズによってカメラへの入射光を平行光としたことによって、非常に簡単なものになっている。クリームはんだ側面が傾斜面である場合が多いため、第2色相光源光束の入射角に対する角度の大小に応じて変化する側面領域画素の赤色輝度値を用いて補正演算を行っている。 The above calculation is performed by (1) making the electronic scanning axis of the one-dimensional image sensor camera and the relative movement axis of the substrate perpendicular, and (2) making the incident light to the camera parallel light by the telecentric lens. It is very easy. Since the cream solder side surface is often an inclined surface, the correction calculation is performed using the red luminance value of the side surface region pixel that changes according to the angle of the incident angle of the second hue light source beam.
クリームはんだのはみ出しやブリッジは、緑色領域の広がり異常として検出される。 The protrusion or bridge of cream solder is detected as an abnormal spread of the green region.
図1において、1次元カラーイメージセンサカメラ4は、制御装置6に接続され、制御装置6は、1次元センサ撮像ユニット7、画像データ保存ユニット8、画像処理演算ユニット9、及びシステム全体を制御する統合システム制御ユニット10を有し、各ユニット7,8,9、及び10は、バス15を通じてデータの交換を行う。
In FIG. 1, a one-dimensional color
また、制御装置6には、教示データ等の入力を行う入力ユニット11と、検査結果等を印字する出力ユニット12と、外部装置との間でデータ送受を行う通信ユニット13と、画像や検査結果等を表示する表示ユニット14が接続されている。
The
次に、図3(A)のフロー図に従って、この実施例検査装置の教示ステップを説明する。まず基準とする基板1(図1)をテーブルに装填し(ST1)、基板のIDデータを教示し(ST2)、その後基準基板を1次元テーブル3で移動して1次元カラーイメージセンサカメラ4でスキャン撮像する(ST3)。獲得した基準基板の3次元全面画像を表示ユニット14に表示し、検査領域を設定する(ST4)。
Next, the teaching steps of this embodiment inspection apparatus will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the reference substrate 1 (FIG. 1) is loaded on the table (ST1), the ID data of the substrate is taught (ST2), and then the reference substrate is moved by the one-dimensional table 3 and the one-dimensional color
検査領域設定は、部品実装箇所あるいははんだ付箇所のそれぞれを囲むように設定する。領域教示が完了したら、基準基板を除去する(ST5)。
The inspection area setting is set so as to surround each of the component mounting location or the soldering location. When the area teaching is completed, the reference substrate is removed (ST5).
次に、テスト基板を装填し(ST6)、1次元テーブル3で移動して1次元カラーイメージセンサカメラ4でスキャン撮像する(ST7)。基準基板の3次元全面画像とテスト基板の3次元全面画像を表示ユニット14に表示して、デフォルト画像精度とデフォルト検出感度の条件で両者の差画像処理を試行する(ST8)。
このとき、テスト基板上の不良の見逃しがあれば、その検査領域のデフォルト画像精度あるいは検出感度を上げ、また、過検出が多ければ、その検査領域のそれらを下げることにより、この基板に最適な画像精度と検出感度に調節する。
本実施例は、検査領域の画像精度と検出感度を個別に調整できるようにしているので、検査領域ごとの画像状況に応じた調節によって、全体均一レベル方式では困難であった過検出や不検出の発生可能性が大きく低減している。
全検査領域の画像精度と検出感度の調節が完了したら、テスト基板を除去する(ST9)。
Next, a test substrate is loaded (ST6), moved by the one-dimensional table 3, and scanned by the one-dimensional color image sensor camera 4 (ST7). The three-dimensional whole image of the reference substrate and the three-dimensional whole image of the test substrate are displayed on the
At this time, if there is an oversight of a defect on the test board, the default image accuracy or detection sensitivity of the inspection area is increased. Adjust to image accuracy and detection sensitivity.
In this embodiment, the image accuracy and detection sensitivity of the inspection area can be individually adjusted. Therefore, over-detection and non-detection, which were difficult with the entire uniform level method, can be achieved by adjusting according to the image condition of each inspection area. The possibility of occurrence is greatly reduced.
When the adjustment of the image accuracy and detection sensitivity of all inspection areas is completed, the test substrate is removed (ST9).
画像精度は、検査領域内の全画素を比較するか、間引いて行うか、選択できるようにしている。全画素を対象とすると、検査精度は当然アップするが、画像処理時間が長くなるので、基板の種類や不良の種類によって必要な画素密度を適用し、検査時間の短縮ができるようにしている。
また検査領域の検出感度は、差画像処理の閾値を上下させる差分感度と、閾値を超えた画素の広がりや移動の範囲を限定する感度とに大別される。異同画素の範囲を検出することによって、基板上に印刷されたクリームはんだの平面方向へのはみ出しや不足のみならず、高さの大小不良も検出できる。
As for the image accuracy, it is possible to select whether all pixels in the inspection area are compared or thinned out. When all the pixels are targeted, the inspection accuracy is naturally improved, but the image processing time becomes long. Therefore, a necessary pixel density is applied depending on the type of substrate and the type of defect so that the inspection time can be shortened.
The detection sensitivity of the inspection region is roughly classified into difference sensitivity that raises and lowers the threshold value of the difference image processing, and sensitivity that limits the range of pixel expansion and movement exceeding the threshold value. By detecting the range of different pixels, it is possible to detect not only the protrusion or deficiency of the cream solder printed on the substrate in the planar direction, but also the height defect.
次に、この実施例における自動検査の動作を、図3(B)のフロー図に沿って説明する。
まず、図1において検体基板1を1次元テーブル3に装填し(ST11)、検体基板のIDデータを入力するか又は読取ると(ST12)、制御装置6の指令で検体基板1を1次元移動し、1次元センサ撮像ユニット7の制御によって1次元カラーイメージセンサカメラ4が検体基板1の全面をスキャン撮像する(ST13)。
Next, the automatic inspection operation in this embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, in FIG. 1, the
そこで画像処理演算ユニット9が、基準基板3次元画像と検体基板3次元画像の各検査領域について、差分画像処理を行い(ST14)、差分画像データから教示した画像精度と検出感度に基づいて不良領域を検出する。
Therefore, the image processing
次に、不良領域のクリームはんだについて、第1色相光領域から面積を算出し、また第2色相光領域から高さを算出して、体積を計算し(ST15)、検査結果を報告したら(ST16)、検体基板を除去する(ST17)。 Next, regarding the cream solder in the defective area, the area is calculated from the first hue light area, the height is calculated from the second hue light area, the volume is calculated (ST15), and the inspection result is reported (ST16). ), The specimen substrate is removed (ST17).
本発明検査装置の第2実施例の全体構成を、図4に示す。基板1上にはクリームはんだ2が印刷され、基板1は1次元テーブル3に水平姿勢で保持されている。
The overall configuration of the second embodiment of the inspection apparatus of the present invention is shown in FIG.
基板1の上方には、1次元イメージセンサカメラ4と照明装置の第1光源5−1と第2光源5−2が配置されている。1次元イメージセンサカメラ4はラインCCDカメラであって、その視軸が基板1に対して斜めになるように傾斜姿勢で設置されている。図示していないが、1次元イメージセンサカメラ4の前方にテレセントリックレンズを装備し、基板からの入射光を平行光としている。
Above the
図5(A)の光学配置模式図に示すように、照明・撮像系の構成は、下記のようになっている:
第1光源5−1は、基板のほぼ真上に設置され、光束を基板に投射することによって、クリームはんだの上面を照明する。一方第2光源5−2は、1次元イメージセンサカメラ4よりも下方に設置され、光束を基板に投射することによって、クリームはんだの側面を照明する。
この幾何光学配置で、第1光源5−1は1次元イメージセンサカメラ4の奇数番目の電子走査と同期して点灯し、1次元イメージセンサカメラ4が基板の第1光源反射画像を獲得する。また、第2光源5−2は1次元イメージセンサカメラ4の偶数番目の電子走査と同期して点灯し、基板の第2光源反射画像を獲得する。その結果、図5(B)の画像模式図に示すように、2面のクリームはんだの3次元画像が得られ、はんだの上面は第1光源反射領域となり、また側面は第2光源反射領域となる。
第2光源反射領域の奥行き(図5の横幅に相当)はクリームはんだの側面画像の奥行きであるので、クリームはんだの高さに比例し、第1光源反射領域はクリームはんだの上面画像であるので、クリームはんだの面積に比例する。実際の高さおよび面積は、カメラ視軸の傾斜角と画素サイズから概算でき、高さと面積からクリームはんだの体積を算出する。
良否判定は、基準基板と検体基板のクリームはんだ同士の計測値を比較し、閾値以上の差分を検出した場合に、不良と判定する。
As shown in the schematic diagram of the optical arrangement in FIG. 5A, the configuration of the illumination / imaging system is as follows:
The first light source 5-1 is installed almost directly above the substrate, and illuminates the upper surface of the cream solder by projecting a light beam onto the substrate. On the other hand, the second light source 5-2 is installed below the one-dimensional
With this geometric optical arrangement, the first light source 5-1 is turned on in synchronization with the odd-numbered electronic scanning of the one-dimensional
Since the depth of the second light source reflection area (corresponding to the horizontal width in FIG. 5) is the depth of the side image of the cream solder, it is proportional to the height of the cream solder, and the first light source reflection area is the top image of the cream solder. , Proportional to the area of cream solder. The actual height and area can be estimated from the tilt angle of the camera visual axis and the pixel size, and the volume of the cream solder is calculated from the height and area.
In the pass / fail judgment, the measured values of the cream solders of the reference board and the specimen board are compared, and when a difference equal to or greater than the threshold value is detected, it is judged as defective.
上記の計算は、(1)1次元イメージセンサカメラの電子走査軸と基板の相対的移動軸を直角としたこと及び、(2)テレセントリックレンズによってカメラへの入射光を平行光としたことによって、非常に簡単なものになっている。クリームはんだ側面が傾斜面である場合が多いため、第2光源光束の入射角に対する角度の大小に応じて変化する側面領域画素の輝度値を用いて補正演算を行っている。 The above calculation is performed by (1) making the electronic scanning axis of the one-dimensional image sensor camera and the relative movement axis of the substrate perpendicular, and (2) making the incident light to the camera parallel light by the telecentric lens. It is very easy. Since the cream solder side surface is often an inclined surface, the correction calculation is performed using the luminance value of the side surface region pixel that changes according to the angle of the second light source beam with respect to the incident angle.
クリームはんだのはみ出しやブリッジは、第1光源反射領域の広がり異常として検出される。 The protrusion or bridge of the cream solder is detected as an abnormal spread of the first light source reflection region.
図4において、1次元イメージセンサカメラ4は、制御装置6に接続され、制御装置6は、1次元センサ撮像ユニット7、画像データ保存ユニット8、画像処理演算ユニット9、及びシステム全体を制御する統合システム制御ユニット10を有し、各ユニット7,8,9、及び10は、バス15を通じてデータの交換を行う。
In FIG. 4, the one-dimensional
また、制御装置6には、教示データ等の入力を行う入力ユニット11と、検査結果等を印字する出力ユニット12と、外部装置との間でデータ送受を行う通信ユニット13と、画像や検査結果等を表示する表示ユニット14が接続されている。
The
次に、図6(A)のフロー図に従って、この実施例検査装置の教示ステップを説明する。まず基準とする基板1(図4)をテーブルに装填し(ST21)、基板のIDデータを教示し(ST22)、その後基準基板を1次元テーブル3で移動して1次元イメージセンサカメラ4でスキャン撮像する(ST23)。獲得した基準基板の第1光源画像を表示ユニット14に表示し、検査領域を設定する(ST24)。
Next, the teaching steps of this embodiment inspection apparatus will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the reference substrate 1 (FIG. 4) is loaded on the table (ST21), the ID data of the substrate is taught (ST22), and then the reference substrate is moved by the one-dimensional table 3 and scanned by the one-dimensional
検査領域設定は、はんだ付箇所のそれぞれを囲むように設定する。この場合、コンピュータ設計データを利用することが可能である。領域教示が完了したら、画像処理演算ユニット9が、第1光源画像からはんだの面積を算出し(ST25)、また第2光源画像からはんだの高さを算出し、面積と高さから体積を算出し、データを保存する(ST26)。
The inspection area setting is set so as to surround each soldered portion. In this case, it is possible to use computer design data. When the area teaching is completed, the image processing
次に、基準基板の第1光源画像と第2光源画像を保存し(ST27)、基準基板を除去する(ST28)。 Next, the first light source image and the second light source image of the reference substrate are stored (ST27), and the reference substrate is removed (ST28).
次に、この実施例における自動検査の動作を、図6(B)のフロー図に沿って説明する。
まず、図4において検体基板1を1次元テーブル3に装填し(ST31)、検体基板のIDデータを入力するか又は読取ると(ST32)、制御装置6の指令で検体基板1を1次元移動し、1次元センサ撮像ユニット7の制御によって1次元イメージセンサカメラ4が検体基板1の全面をスキャン撮像する(ST33)。
Next, the automatic inspection operation in this embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, in FIG. 4, the
そこで画像処理演算ユニット9が、第1光源画像からはんだの面積を算出し(ST34)、また第2光源画像からはんだの高さを算出し、面積と高さから体積を算出する(ST35)。
Therefore, the image processing
次に、教示ステップST26で保存した基準基板のデータと検体基板のデータとを比較し(ST36)、比較値から印刷はんだの良否判定を行い(ST37)、検査結果を報告したら(ST38)、検体基板を1次元テーブル3から除去する(ST39)。 Next, the reference board data stored in the teaching step ST26 and the specimen board data are compared (ST36), the quality of the printed solder is judged from the comparison value (ST37), and the test result is reported (ST38). The substrate is removed from the one-dimensional table 3 (ST39).
斜め撮像角度の1次元イメージセンサカメラと、ほぼ真上からの照明する光源と撮像角度よりも浅い角度で照明する光源によって3次元撮像幾何光学配置を構成し、クリームはんだ印刷基板のはんだ印刷品質の自動的な3次元画像計測及び検査を行う検査装置に適用できる。 A three-dimensional imaging geometric optical arrangement is configured by a one-dimensional image sensor camera with an oblique imaging angle, a light source that illuminates from almost right above, and a light source that illuminates at an angle shallower than the imaging angle. The present invention can be applied to an inspection apparatus that performs automatic three-dimensional image measurement and inspection.
1 基板
2 クリームはんだ
4 1次元カラーイメージセンサカメラ
5 照明装置
6 制御装置
DESCRIPTION OF
Claims (3)
斜めの撮像角度で基板を撮像する1次元カラーイメージセンサカメラと、ほぼ真上からクリームはんだ上面を照明する第1色相光光源と、撮像角度よりも浅い斜め角度でクリームはんだ側面を照明する第2色相光光源とを備え、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を相対移動することによって、第1色相光と第2色相光で同時二重照明した基板全面の3次元画像を獲得する撮像手段と、
撮像手段が獲得した検体基板の3次元画像と基準基板の3次元画像との差分画像処理を行い、設定閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出する画像処理手段と、
差分画像処理で異同画素が検出された領域の基準基板画像と検体基板画像に関して、第1色相光反射領域と第2色相光反射領域から、クリームはんだの3次元計測値を算出する画像計測手段と、
異同画素及び3次元計測値を報告する報告手段と
より成る検査装置。 An inspection apparatus for inspecting and measuring the print quality of a cream solder printed circuit board using a three-dimensional image,
A one-dimensional color image sensor camera that images the substrate at an oblique imaging angle, a first hue light source that illuminates the cream solder top surface from almost right above, and a second that illuminates the cream solder side surface at an oblique angle shallower than the imaging angle. An image pickup means that includes a hue light source and acquires a three-dimensional image of the entire surface of the substrate that is simultaneously double-illuminated with the first hue light and the second hue light by relatively moving the substrate in a direction orthogonal to the pixel arrangement of the camera. When,
Image processing means for performing difference image processing between the three-dimensional image of the specimen substrate acquired by the imaging means and the three-dimensional image of the reference board, and detecting pixels having a difference exceeding a set threshold as different pixels;
Image measurement means for calculating a three-dimensional measurement value of cream solder from the first hue light reflection region and the second hue light reflection region with respect to the reference substrate image and the specimen substrate image in the region where the different pixels are detected by the difference image processing; ,
An inspection apparatus comprising reporting means for reporting different pixels and three-dimensional measurement values.
斜めの撮像角度で基板を撮像する1次元イメージセンサカメラと、ほぼ真上からクリームはんだ上面を照明する第1光源と、撮像角度よりも浅い斜め角度でクリームはんだ側面を照明する第2光源とを備え、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を相対移動し、1次元イメージセンサカメラの奇数番目の電子走査時に第1光源を点灯し、偶数番目の電子走査時に第2光源を点灯することによって、基板の第1光源反射画像と基板の第2光源反射画像とを獲得する撮像手段と、
第1光源反射画像と第2光源反射画像から、クリームはんだの3次元計測値を算出する画像計測手段と、
基準基板と検体基板のクリームはんだの3次元計測値を比較して良否判定する判定手段と
より成る検査装置。 An inspection device that measures and inspects the print quality of a cream solder printed circuit board using a three-dimensional image,
A one-dimensional image sensor camera that images the substrate at an oblique imaging angle, a first light source that illuminates the top surface of the cream solder from almost right above, and a second light source that illuminates the cream solder side surface at an oblique angle shallower than the imaging angle. And by relatively moving the substrate in a direction orthogonal to the pixel arrangement of the camera, turning on the first light source during odd-numbered electronic scanning of the one-dimensional image sensor camera, and turning on the second light source during even-numbered electronic scanning Imaging means for acquiring a first light source reflected image of the substrate and a second light source reflected image of the substrate;
Image measuring means for calculating a three-dimensional measurement value of the cream solder from the first light source reflected image and the second light source reflected image;
An inspection apparatus comprising determination means for comparing the three-dimensional measurement values of the cream solder on the reference substrate and the sample substrate to determine whether or not the solder paste is good.
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