JP2008155254A - レーザ加工ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】汎用性が高くて使い勝手の良いレーザ加工ヘッドを提供する。
【手段】レーザ加工ヘッドは、底部１ａを有する筒状のボデー４を備えており、ボデー４には反射鏡１２と第１集光レンズ２０及び第２集光レンズ２４が内蔵されている。レーザ光は、ボデー４の外周部に設けたレーザ光導入部５から光ファイバー８を介して反射鏡１２に入射される。ボデー４の先端部にはインナーカバー３５とフロントカバー３４とが取付けられており、フロントカバー３４に、フィラーワイヤー４１を繰り出すチューブ取付け部３７が設けられている。チャックを介して工作機械に取付けた使用と手持ち作業のいずれも選択できる。また、フィラーワイヤー４１を使用した溶接とレーザ光のみの加工とも選択できる。
【選択図】図１

Description

本願発明は、ＹＡＧレーザ等のレーザ光を使用して溶接や穴空けやエッチング等の加工を行うレーザ加工ヘッドに関するものである。

レーザ加工ヘッドには様々の構造のものが提案されており、かつ、実際に使用されている。レーザ加工ヘッド（或いはレーザ加工装置）を用途から見ると、おおむね溶接、穴空け、切断、エッチングに分類されるが、このうちで産業的には溶接の用途が多いと言える。溶接方法には、レーザ光の光でワークを溶かして溶接する方法と、繰り出されるフィラーワイヤーをレーザ光で溶融して溶接する方法、或いは、アーク溶接と併用する方法などがある。フィラーワイヤーを併用する方法は肉盛りできるため高強度溶接に適しており、その例が例えば特許文献１や特許文献２に開示されている。

また、自動操作と手動操作とによって分類することも可能であり、自動機に組み込む例としては、例えば特許文献３に記載されているようにロボットに取り付けたもの、例えば特許文献４，５に開示されているようにマシニングセンタ等の汎用工作機械に組み込んだもの、例えば特許文献６に開示されているように専用の加工機に組み込んだものがあり、他方、手動式（手持ち式）のものとしては、例えば特許文献７が挙げられる。

構造の違いは多岐にわたっており、例えば、レーザ光の導入方向と集光レンズの光軸との関係で見ると、レーザ光の導入方向と集光レンズの光軸とが同軸になっているものが大半であるが、例えば特許文献８に開示されているように、集光レンズの光軸とレーザ光導入方向とが直交していて反射鏡でレーザ光の方向を変換させているものもある。他方、他の視点からの改良手段として、ホコリや溶接滓等の異物が集光レンズに付着することを防止する保護レンズやエアー噴出手段を設けているもの（例えば特許文献９）、集光レンズを冷却するための水冷等の冷却装置を備えているもの、などがある。
特許第２５８８１１５号公報 特許第２８１１６６４号公報 特開平９−２４８６９７号公報 特開平９−２４８６９７号公報 特公平５−２９５００号公報 特許第３１２６１７５号公報 特表２００５−５１６７７５号公報 特開２００２−５９２８５号公報 特開平１１−２２６７７０号公報

従来のレーザ加工ヘッドは自動機用にしても手動式にしても専用品として製造されており、自動機取付け用のものと手動用のものとの互換性はなくて不便であった。また、フィラーワイヤーを使用して溶接用に使用する場合、溶接滓が飛散することが多く、このため前記したようにホコリや滓類や除去するためにエアーの噴出装置を設けているが、フィラーワイヤーの繰り出し部とは別にエアーの噴出装置を設けると構造が複雑化したり、加工箇所を移動させるにおいて邪魔になったりするという問題があった。

更に、レーザ光を反射鏡で反射させる場合、連続使用していると反射鏡もレーザ光によって高温になることがあるが、特許文献８では反射鏡には冷却の措置は講じられていないため、熱による問題が懸念される。特に、高い出力のレーザ光を使用するレーザ加工ヘッドではこの問題が顕著に現われる。

本願発明は、このような現状を改善すべく成されたものである。

本願発明に係るレーザ加工ヘッドは、基本構成として、先端は開口して基端は閉塞した筒状のボデー、前記ボデーの内部に光軸がボデーの軸心と同じ方向に延びる姿勢で配置された集光レンズ、前記ボデーの内部のうち前記集光レンズよりも後ろ側の部分にボデーの外周部から光ファイバーにてレーザ光を照射するレーザ光導入部、前記レーザ光導入部から照射されたレーザ光を前記集光レンズに入射させるためにボデーの内部に配置した反射鏡、を備えている。

そして、請求項１の発明では、上記の基本構成に加えて、前記集光レンズの焦点はボデーの前方に位置しており、前記ボデーの先端部には、前記ボデーの前方のうち集光レンズの焦点までの間の部分の全部又は大部分若しくは一部を覆うフロントカバーが着脱自在に取付けられている。

請求項２の発明は、請求項１において、前記ボデーの底部には工作機械のチャックの取付け部が設けられている一方、前記フロントカバーには、前記集光レンズの焦点に向けて溶接用フィラーワイヤーを繰り出すチューブ装置の取付け部が設けられており、前記チューブ装置には、不活性ガスをフロントカバーの内部に噴出させるガス通路を設けている。

請求項３の発明は、請求項１又は２において、前記反射鏡は、ボデーの内部に固着したリアブロック体に固定されており、前記リアブロック体に、反射鏡を冷却するための第１冷媒通路が形成されている一方、前記ボデーの内部には、凸面を相対向させた状態で第１集光レンズと第２集光レンズとの２つの集光レンズが配置されており、ボデーのうち前記両集光レンズの外側の部分にリング状部材を取付け、このリング状部材に環状（螺旋状を含む概念である）の第２冷却媒体通路が形成されている。

更に、請求項３の発明では、前記ボデーの内部のうち集光レンズよりも先端寄りに位置した部位には保護ガラスが配置されており、かつ、ボデーの先端部には、前記フロントカバーの内部に配置されると共にボデーの前方に突出したインナーカバーを着脱可能に取付けており、このインナーカバーには、前記不活性ガスを内部に導入するための穴が空けられている。

本願発明に係るレーザ加工ヘッドは、レーザ光はボデーの外周部から内部に導入された反射鏡で方向を変えて集光レンズに入るものであり、ボデーの基端部からレーザ光を導入するものではないため、請求項２のようにボデーの基端にチャックを取り付けることで工作機械（例えばマシニングセンタ、ＮＣ旋盤その他のＮＣ工作機械、専用加工機）に簡単にセットしたり、或いは、手持ち式として使用したりすることが可能であり、このため自動用や手動用に使い分けることが簡単にできる。

また、フロントカバーはボデーに着脱できるため、例えば手持ち式として使用する場合はフロントカバーを取り外すことで作業者の視認性を高める、といったことも可能であり、このため使い勝手を向上させることができる。

また、請求項２のように、フロントカバーに溶接用フィラーワイヤーと活性ガスとを供給するチューブ装置を着脱可能に取り付けると、チューブ装置をフロントカバーに取付けたり取り外したりすることにより、レーザ加工ヘッドはフィラーワイヤーを使用した溶接と、レーザ光のみを使用した加工（溶接、穴空け、エッチングなど）とに簡単に使い分けることができ、このため用途のバリエーションをより一層広げることができる。

また、請求項２のように構成すると、フロントカバーの内部にホコリが溜まったり溶接滓が混入したりすることを溶接用の不活性ガスによって防止できるため、換言すると、溶接用の不活性ガスを利用して異物を排除できるため、異物排除用のエアー噴出部を設ける必要が無く、このため構造を簡単化できる。

請求項３の構成にすると、1)反射鏡と集光レンズとは共に冷却されため長時間の連続稼働を可能ならしめることができる、2)保護ガラスの存在によって集光レンズの汚れを防止できる、3)インナーカバーがあるためフロントカバーを取り外してもレーザ光が過度に露出することはなく安全性が高い、4)不活性ガスはインナーカバーに入り込むものと入り込まないものとに分けられて噴出の方向性が付与されるため、乱流を防止して溶接箇所を不活性雰囲気下に確実に保持できる、5)集光レンズはボデーはリング状部材とボデーとを介して冷却されるが、第２冷媒通路はリング状部材に形成されているため、例えばリング状部材とボデーとの間のシール装置は必要はなく、このため構造を簡単化することが可能になる、といった利点がある。

次に、本願発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１はレーザ加工ヘッドの縦断側面図、図２のうち（Ａ）は図１の IIA-IIA視断面図、（Ｂ）は図１の IIB-IIB視断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＣ−Ｃ視断面図、（Ｄ）は図１の IID-IID視断面図、図３のうち（Ａ）は前部の部分的な断面図、（Ｂ）は前部の分離断面図、図４は工作機械類に取付けた状態での縦断側面図、図５のうち（Ａ）は手持ち使用の一例を示す側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ視断面図である。

(1).概略及び後部の構造
レーザ加工ヘッドは、底部１ａを有する円筒状の第１筒体１と、第１筒体１の先端部ににねじ込みによって取付けた両端開口式の第２筒体２と、第２筒体２にねじ込みによって取付けた両端開口式の第３筒体３とを備えており、これら第１〜第３の筒体１，２，３の三者によって請求項に記載したボデー４が構成されている。各筒体１，２，３の外径は同径になっているが、外径を異ならせてもよい。また、円筒状にでなく例えば多角形の角筒状に形成することも可能である。

第１筒体１の周壁には、当該第１筒体１の内部にレーザ光を導入するためのレーザ光導入部５が設けられている。レーザ光導入部５は、第１筒体１にボルト６で固定された受け部材７を備えており、受け部材７に形成した穴に光ファイバー８が嵌め込まれている。受け部材７は第１筒体１に形成した穴に嵌まる突起部７ａを有しており、このため光ファイバー８は、照射するレーザ光の光軸が第１筒体１の軸心と一致するように正確に位置されている。敢えて述べるまでもないが、光ファイバー８は可撓性のあるチューブ８ａで被覆されている。

受け部材７には光ファイバー８を固定する止め具９がねじ込み等の適宜手段で固定されている。止め具９は、光ファイバー８を挟持できるように非環状に分断された部分９ａを有しており、この分断された部分９ａをボルト１０で締め付けることで光ファイバー８を抜け不能に保持している。なお、受け部材７に止め部を一体形成するなどしてもよい。また、レーザ光導入部の構造は図示のものに限定されるものではなく、例えば光ファイバー８が固定されたねじ込み式の継手で構成し、この継手を第１筒体１の周壁にねじ込むといったことも可能である。

第１筒体１の底部１ａの内面には側断面視直角三角形状のリアブロック１１がボルト１１ａで固定されており、このリアブロック１１の傾斜面に円板状の反射鏡１２が固定されている。ボルト１１ａは軸心を挟んだ左右両側に配置されている。リアブロック１１の傾斜面（前面）はボデー４の軸心に対して側面視で４５度の角度で傾斜しており、このため、光ファイバー８から照射されたレーザ光は反射鏡１２によって各ボデー４（筒体１，２，３）の軸心と同じ方向に向きが変えられる。

反射鏡１２は、リング状の第１押さえ部材１３を介してリアブロック１１に固定されており、押さえ部材１３はビス１４でリアブロック１１に固定されている。リアブロック１１は、ピン１１ｂで第１筒体１の底部１ａに位置決めされている。なお、図２では反射鏡１２は省略している。

リアブロック１１例えばアルミやアルミ合金のように熱伝導率が高い金属を素材として製造されており、その内部には、請求項に記載した第１冷媒水通路の一例としての第１冷却水通路１５が空いている。また、リアブロック１１のうちレーザ光導入部５と反対側の部分には、第１冷却水通路１５と連通した第１給水継手１６と第１排水継手１７とが接続されている。両継手１６，１７には、簡略表示したホース１８が接続されている。ホース１８は給排水装置に接続されている。両継手１６，１７は第１筒体１に貫通している。

なお、両継手１６，１７はボデー４の軸方向に離れて配置しているが、円周方向に離して配置することも可能である。また、第１冷却水通路１５は、反射鏡１２を万遍なく冷却するように略円形に形成することも可能である（この場合は、リアブロック１１を２つの部材で構成すると加工が容易である。）。

(2).中間部の構造
第２筒体２は、第１筒体１の内面に入り込むねじ筒部２ａを備えており、ねじ筒部２ａよりもやや先端側に位置した部位に第１段部１９を形成してこれに第１集光レンズ２０を嵌め込んでいる。第１段部１９にはこれよりも大径の第２段部２１が連続しており、第２段部２１に断面Ｌ形でリング状の第２押さえ部材２２をビス２３で締結しており、第２押さえ部材２２で第１集光レンズ２０を押さえ固定している。

第２筒体２のうち先端側の部分の内周は第２段部２１の箇所よりも大径の雌ねじ部２ｂになっており、この雌ねじ部３ｄに第３筒体３のねじ筒部３ａがねじ込まれている。第３筒体３のうちねじ筒部３ａの付け根近くには、第２筒体２と同様の第１段部１９と第２段部２１とが第２筒体２のそれと相対向するように形成されており、第３筒体３の第１段部１９に第２集光レンズ２４が押さえ部材２２で固定されている。

両集光レンズ２０，２４は一面が平坦で他面が凸の形態であり、第１集光レンズ２０の曲面の曲率半径よりも第２集光レンズ２４の曲率半径が大きくなっている。これは、両集光レンズ１９，２４の配置位置に基因したものであり、第２集光レンズ２４の前方に軸方向に広がったある程度のスペースが必要であるため、第１集光レンズ１９の焦点距離Ｆよりも第２集光レンズ２４の焦点距離Ｆを大きくしているのである。

第３筒体３には前向きに開口した第１段部１９と第２段部２０とが形成されており、この前向きの第１段部１９に保護ガラス２５が押さえ部材２２で固定されている。保護ガラス（或いは保護レンズ）２５は両面ともフラットな円板状であり、レーザ光は屈折せずに透過するだけである。

既述のように第２筒体２と第３筒体３との外径は同径に設定されており、そして、両筒体２，３には、両者に跨がった状態のリング状部材２７が外側から嵌め込まれており、ボルト２８で押さえ固定されている。リング状部材２７は両集光レンズ２０，２４の冷却手段の一例であり、第２冷媒通路の一例として、ほぼ３６０°の範囲で螺旋状に延びる第２冷却水通路２９が形成されており、第２冷却水通路２９の一端２９ａには第１給水継手３０が接続されて、第２冷却水通路２９の他端２９ｂには第１給水継手３１が接続されている。図では簡略表示しているが、両継手３０，３１にはホース３２で接続されている。

本実施形態のリング状部材２７は単一物であり、第２冷却水通路２９は放電加工によって螺旋状に形成されている。従って、リング状部材２７は放電加工が可能な金属素材（例えば亜鉛、亜鉛合金、アルミ、鉄など）からなっている。リング状部材２７はボルト２８で押さえ固定しているので、ボデー４の軸心回りに回転させた任意の姿勢に保持することができ、従って、継手３０，３１の位置を外周回りに自在に変更できる。また、軸方向の位置も調整することができる。

集光レンズ２０，２４の冷却には他の手段も採用できる。例えば、リング状部材２７の内周面に環状又は螺旋状の溝を形成して、リング状部材を筒体２，３に嵌め込むことにより、リング状部材２７と筒体２，３との間に第２冷却水通路を形成することができる。或いは、リング状部材２７を内外二つの円筒体で構成して、両者の合わせ面に第２冷却水通路を形成することも可能である（この場合は、第２冷却水通路はグルグルと多条に巻いた状態に形成できる。また、内外の円筒体の合わせ面にはシール手段を設ける必要がある。）。

(3).前部の構造
第３筒体３の先端部には、金属製（樹脂製でも良い）のフロントカバー３４とインナーカバー３５とが取付けられている。フロントカバー３４は第３筒体３の先端部の外周にねじ込みによって取付けられており（従って着脱自在である）、全体としては先窄まりのテーパ状に形成されている。また、フロントカバー３４には、軸線に対して傾斜した背面を有する大径の肩部３４ａが形成されており、肩部３４ａに溶接用のチューブ３６を固定する取付け部３７が設けられている。

取付け部３７は、肩部３４ａを貫通してフロントカバー３４の内部に入り込む筒状の第１ガイド体３８と、ガイド体３８と同心でかつフロントカバー３４の肩部３４ａにねじ込みによって固着される筒状の第２ガイド体３９とから成っており、図３に明瞭に示すように、第１ガイド体３８の後端部にフランジ３８ａを形成してこのフランジ３８ａをフロントカバー３４の段違い穴に嵌め込んでおり、このため第１ガイド体３８は第２ガイド体３９で押さえ固定されている。第２ガイド体３９にはチューブ３６が継手４０によって接続されるようになっている。

チューブ３６の内部にはフィラーワイヤー４１が通っており、フィラーワイヤー４１は図示しない繰り出し機によって所定速度で繰り出される。また、チューブ３６の内部にはアルゴン等の不活性ガスが通るようになっており、フィラーワイヤー４１及び不活性ガスはチユーブ３６からガイド体３８，３９に送り出される。そして、第１ガイド体３８の付け根寄り部位には，不活性ガスをフロントカバー３４の内部に噴出させるためのバイパス穴４２が空いている。

第１ガイド体３８と第２ガイド体３９を一体の構造としたり、或いは、第２ガイド体３８と第２ガイド体３９とをチューブ３６に一体に接続するといったこと、或いは、フィラーワイヤー４１と不活性ガスの通路とをフロントカバー３４に形成する、といったことも可能である。

フロントカバー３４は、その大部分を構成する本体部と本体部に嵌め込み装着した先端部材３４ｂとが構成されている。勿論、全体を一体物で製造することも可能であるが、本実施形態のように先端部材３４ｂを別部材にすると、先端部が破損したら部分的に交換できる利点や、加工が容易である利点、或いは、先端部材３４ｂを透明な樹脂製として視認性を高め得る利点などがある。先端部材３４ｂを先窄まり形状になっている。

インナーカバー３５は、第３筒体３の内周部にねじ込みによって取り付けられたストレート状の基部と、これに一体に連続した先窄まりテーパ状部とからなっており、テーパ角度はフロントカバー３４の内周の角度と略同じになっている。そして、インナーカバー３５の基端寄り部位には、第１ガイド体３８のバイパス穴４２から噴出した不活性ガスをインナーカバー３５の内部に導くための通気穴４３が空いている。図面では通気穴４３は一つしか表示してないが、複数個設けることも可能である。

フロントカバー３４の先端面は第２集光レンズ２４の焦点Ｆとほぼ一致しているが（一般には、第２集光レンズ２４の焦点Ｆはフロントカバー３４の先端面よりも若干の寸法だけ突出させるのが良いと言える）、インナーカバー３５の先端は第２集光レンズ２４の焦点Ｆよりもある程度の寸法だけ後ろ側に位置している。

不活性ガスがインナーカバー３５の内部に導入されるため、インナーカバー３５の内部は加工時には常に正圧状態に保持されており、このためホコリ類や溶接滓のような異物が保護ガラス２５に付着することを抑制できる。また、保護ガラス２５が汚れても、フロントカバー３４とインナーカバー３５とは簡単に取り外せるため保護ガラス２５の清掃も容易に行える。また、フロントカバー３４は先窄まりになっているため、不活性ガスは拡散することなくレーザ光の焦点Ｆの箇所に充満しており、このため溶接箇所を確実な不活性環境下に保持できる。

(4).使用態様
図４に示すように、第１筒体１の後端面には、チャック取付け部の一例としてのセンターピン４４を介して工作機械用チャック４５を固定することができる。センターピン４４は第１筒体１の底部１ａにねじ込みや強制嵌合によって取付けている。チャック４５は従来のものと同様であり、センターピン４５に嵌まる穴とテーパ状部４５ａと抜け止め頭部４５ｂとを有している。センターピン４４をチャック４５に嵌め入れてから回転させると、ヘッドがチャック４５に固定される。チャック４５は、ＮＣ旋盤のヘッドやマシニングセンタのヘッドなど、各種工作機械のヘッド部４６に嵌着させることができる。

レーザ加工ヘッドは人が手で持って操作することも可能である。この場合、フィラーワイヤー４１を使用した溶接作業の場合は、図１の状態のままで使用される。フィラーワイヤー４１を使用しないレーザ光のみによる加工の場合は、チューブ３６を取り外してフロントカバー３４は取付けた状態で作業する場合と、図５に示すようにフロントカバー３４は取り外して使用する場合とが可能である。第２集光レンズ２４の焦点Ｆをフロントカバー３４の先端に一致させているので、第２集光レンズ２４をワークＷの表面に当たることにより、レーザ光の焦点Ｆが自動式に設定される（つまり、フロントカバー３４が位置決め部材を兼用している。）。

他方、ワークＷの表面に凹凸がある場合や加工面を見ながら作業したい場合は、視認性を良くするため、図５に示すようにフロントカバー３４を取り外して使用すればよい。第３筒体３（又はインナーカバー３５）にブラケット４８を取付けて、このブラケット４８に、細いパイロットレーザ光（緑、赤、青など）を照射する複数個の発光ダイオードランプ４９を取付けて、複数の発光ダイオードランプ４９から照射されたパイロットレーザ光が第２集光レンズ２４の焦点Ｆと交叉するように設定しておくと、加工用レーザ光の焦点Ｆを視認しやすくなる。

手持ちして使用する場合は、作業の容易性の点から、図５（Ｂ）に示すようにハンドル５０を設けるのが好ましい。ハンドル５０は、例えばリング状体２７又はボデー４にねじによって取付けることが可能である。勿論、使用しないときは取り外せばよい。

(5).その他
本願発明は、上記の実施形態の他にも様々に具体化できる。例えばボデーは３つの筒体で構成する必然性はなく、単一の部材で構成したり、２つの部材で構成したりすることも可能である。ボデーの底部を周壁部とは別部材で構成することも可能である。

集光レンズは１枚でも良い。加工の種類によっては集光レンズの冷却が必要ない場合も有り得るが、この場合はリング状部材２７を取り外すか、ホース３２を外すか、或いは、ホース３２に冷却水を通さずにおいたら良い。フィラーワイヤーは繰り出さずにチューブ３６に不活性ガスだけを通して、レーザ光のみによる加工を不活性環境下で行うことも可能である。

レーザ加工ヘッドの縦断側面図である。 （Ａ）は図１の IIA-IIA視断面図、（Ｂ）は図１の IIB-IIB視断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＣ−Ｃ視断面図、（Ｄ）は図１の IID-IID視断面図である。 （Ａ）はレーザ加工ヘッドの前部の部分的な断面図、（Ｂ）は前部の分離断面図である。 工作機械類に取付けた状態での縦断側面図である。 （Ａ）は手持ち使用の一例を示す側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ視断面図である。

符号の説明

１ ボデーを構成する第１筒体
２ ボデーを構成する第２筒体
３ ボデーを構成する第３筒体
４ ボデー
５ レーザ光導入部
８ 光ファイバー
１１ リアブロック
１２ 反射鏡
１５ 第１冷却水通路
２０ 第１集光レンズ
２４ 第２集光レンズ
２７ リング状部材
３０ 第２冷却水通路
３４ フロントカバー
３５ インナーカバー
３６ 溶接用チューブ
３７ チューブ取付け部

Claims (3)

1. 先端は開口して基端は閉塞した筒状のボデー、前記ボデーの内部に光軸がボデーの軸心と同じ方向に延びる姿勢で配置された集光レンズ、前記ボデーの内部のうち前記集光レンズよりも後ろ側の部分にボデーの外周部から光ファイバーにてレーザ光を照射するレーザ光導入部、前記レーザ光導入部から照射されたレーザ光を前記集光レンズに入射させるためにボデーの内部に配置した反射鏡、を備えており、
   前記集光レンズの焦点はボデーの前方に位置しており、前記ボデーの先端部には、前記ボデーの前方のうち集光レンズの焦点までの間の部分の全部又は大部分若しくは一部を覆うフロントカバーが着脱自在に取付けられている、
   レーザ加工ヘッド。
2. 前記ボデーの底部には工作機械のチャックの取付け部が設けられている一方、前記フロントカバーには、前記集光レンズの焦点に向けて溶接用フィラーワイヤーを繰り出すチューブ装置の取付け部が設けられており、前記チューブ装置には、不活性ガスをフロントカバーの内部に噴出させるガス通路を設けている、
   請求項１に記載したレーザ加工ヘッド。
3. 前記反射鏡は、ボデーの内部に固着したリアブロック体に固定されており、前記リアブロック体に、反射鏡を冷却するための第１冷媒通路が形成されている一方、
   前記ボデーの内部には、凸面を相対向させた状態で第１集光レンズと第２集光レンズとの２つの集光レンズが配置されており、ボデーのうち前記両集光レンズの外側の部分にリング状部材を取付け、このリング状部材に環状の第２冷却媒体通路が形成されており、
   更に、前記ボデーの内部のうち集光レンズよりも先端寄りに位置した部位には保護ガラスが配置されており、かつ、ボデーの先端部には、前記フロントカバーの内部に配置されると共にボデーの前方に突出したインナーカバーを着脱可能に取付けており、このインナーカバーには、前記不活性ガスを内部に導入するための穴が空けられている、
   請求項１又は２に記載したレーザ加工ヘッド。

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