JP2008153518A - 固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
画素を構成するフォトダイオードの前にカラーフィルタを装着する方法では、被写体からの入射光の利用効率が悪く、また、色分解プリズムを用いる方法では、撮像素子の位置合わせが難しい。
【解決手段】
複数の色分解光学系と、上記色分解光学系で分光された分光光を光電変換する複数の光電変換素子を平面状に配列した固体撮像素子を有し、上記複数の色分解光学系は、少なくとも入射光を集光する第1のマイクロレンズと、上記第1のマイクロレンズの集光光を平行光に変換する第2のマイクロレンズと、上記第2のマイクロレンズの平行光を分光するマイクロプリズムを有し、上記マイクロプリズムで分光された分光光のそれぞれの分光光をそれぞれ異なる上記複数の光電変換素子に入射するように上記複数の光電変換素子を配置する。
【選択図】図1
画素を構成するフォトダイオードの前にカラーフィルタを装着する方法では、被写体からの入射光の利用効率が悪く、また、色分解プリズムを用いる方法では、撮像素子の位置合わせが難しい。
【解決手段】
複数の色分解光学系と、上記色分解光学系で分光された分光光を光電変換する複数の光電変換素子を平面状に配列した固体撮像素子を有し、上記複数の色分解光学系は、少なくとも入射光を集光する第1のマイクロレンズと、上記第1のマイクロレンズの集光光を平行光に変換する第2のマイクロレンズと、上記第2のマイクロレンズの平行光を分光するマイクロプリズムを有し、上記マイクロプリズムで分光された分光光のそれぞれの分光光をそれぞれ異なる上記複数の光電変換素子に入射するように上記複数の光電変換素子を配置する。
【選択図】図1
Description
本発明は、固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置に関し、特に、画素内に色分光学系を有する固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置に関するものである。
従来のカラーカメラ装置の構成を図8を用いて説明する。図8は、従来のカラーカメラ装置の概略構成のブロック図である。図8において、801は、被写体(図示せず。)からの光が入射する光学レンズ系、802は、光学レンズ系801から入射する光を色分解する色分解フイルタ、803は、色分解フイルタ802で色分解された光を光電変換し、電荷として画素内に蓄積し、露光終了後映像信号として出力する固体撮像素子、例えば、CCD(Charge Coupled Device)型の固体撮像素子あるいはMOS(Metal Oxide Semiconductor )型の固体撮像素子である。なお、色分解フイルタ802および固体撮像素子803で構成されたものを固体撮像装置と呼ぶことにする。804は、固体撮像素子803から出力された映像信号を増幅する増幅部、805は、映像信号の雑音を除去する相関二重サンプリング回路、806は、映像信号をマイクロコンピュータ811で指定した所要レベルになるよう調整する自動利得制御(AGC)回路、807は、A/D(アナログ/ディジタル)変換回路、808は、ディジタル映像信号の各種処理を行うディジタル信号処理回路(Digital Signal Processor:DSP)、809は、D/A(ディジタル/アナログ)変換回路、810は、映像信号を所要レベルに増幅し出力する増幅回路、811は、自動利得制御回路806のゲインとディジタル信号処理回路808で処理される映像信号について各種検出と処理の制御とを行い、また固体撮像素子803の駆動回路812を制御するマイクロコンピュータである。駆動回路812は、マイクロコンピュータ811で制御され、固体撮像素子803から適宜電荷を読み出すパルスを出力する。813は、映像信号出力端子である。
図8に示されるカラーカメラ装置の動作を簡単に説明する。被写体からの光は、光学レンズ系801、色分解フイルタ802を介して固体撮像素子803に入射する。固体撮像素子803に入射した光は、フォトダイオードを二次元に配置した光電変換する感光部に照射される。これらフォトダイオードに入射した光は、光電変換され、電荷として画素内に蓄積され、マイクロコンピュータ811により制御される駆動回路812から出力される電荷読出しパルスにより所要の露光時間まで蓄積され、1画面分の映像信号が固体撮像素子803から増幅部804を介して相関二重サンプリング回路805へ出力される。
相関二重サンプリング回路805は、固体撮像素子803から出力された映像信号の雑音を除去し、サンプルホールドを行い、自動利得制御回路806へ出力する。自動利得制御回路806は、相関二重サンプリング回路805から入力される映像信号をマイクロコンピュータ811により指定されるレベルになるまで利得の制御を行い、所要の信号レベルの映像信号をA/D変換回路807へ出力する。A/D変換回路807は、自動利得制御回路806から入力される所要の信号レベルの映像信号をディジタル処理に適応させるためにディジタル信号に変換し、ディジタル信号処理回路808へ出力する。
ディジタル映像信号処理回路808は、マイクロコンピュータ811の制御により、A/D変換回路807から入力されるディジタル映像信号に輝度処理、色処理、ガンマ補正、輪郭補償等の画質制御やホワイトバランスの調整等の信号処理を行う。信号処理を行ったディジタル映像信号は、D/A変換回路809へ出力する。D/A変換回路809は、ディジタル映像信号処理回路808から入力される所要の信号処理されたディジタル映像信号をアナログ信号に変換し、アナログの映像信号を増幅回路810へ出力する。増幅回路810は、D/A変換回路809から入力されるアナログの映像信号を所要の信号レベルに増幅し、映像信号出力端子813から他の出力機器、ビデオモニタあるいはVTR等の装置に出力される。
而して、従来のこの種カラーカメラ装置では、色分解フイルタ802としては、特定の波長を透過するカラーフィルタを固体撮像素子803のフォトダイオードに取り付けその画素に特定色を分担させる方法が採用されている。例えば、3つの画素に各々、赤(R)、緑(G)、青(B)をそれぞれ透過する色フィルタを取り付け、固体撮像素子803から得られるそれぞれの画素の色信号の組み合わせにより所定の色を再現する方法、あるいは、多板式CCDカメラ、例えば、3板式CCDカメラでは、入射光を赤(R)、緑(G)、青(B)の各色分解プリズムにより分光し、各々の色に対応させた撮像素子を備え、それらの撮像素子から得られる色信号の組み合わせにより所定の色を再現する方法等が知られている。
しかしながら、画素を構成するフォトダイオードの前にカラーフィルタを装着する方法では、複数のフォトダイオードで色再現を行うため、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)の色フイルタを使用する場合は、撮像素子の総画素数の1/3の解像度しか得られない。また、被写体からの入射光のうちカラーフィルタを透過しない光の波長は、使用されず光電変換の効率が悪くなる。
また、色分解プリズムで分光して複数の撮像素子で色再現する方式では、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)それぞれの撮像素子の位置合わせのための相対位置精度が必要となり、撮像素子の小型化と高画素化の進展する中、精度維持が極めて難しくなりつつある。また、色分解プリズムや複数の撮像素子を必要とすることから高価となり、また、カメラ装置が大型化する要因でもある。従って、これらを改善する固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置の実現が望まれている。
画素を構成するフォトダイオードの前にカラーフィルタを装着する方法では、撮像素子の総画素数の1/3の解像度しか得られず、また、被写体からの入射光の利用効率が悪くなる。また、色分解プリズムを用いる方法では、撮像素子の位置合わせが難しい。
本発明の目的は、入射光の利用効率が高く、解像度の高い固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置を提供することである。
本発明の他の目的は、画素内に色分解光学系を有する固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、マイクロレンズとマイクロプリズムの組み合わせによる色分解光学系を有する固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置を提供することである。
本発明の固体撮像装置は、複数の色分解光学系と、上記色分解光学系で分光された分光光を光電変換する複数の光電変換素子を平面状に配列した固体撮像素子を有し、上記複数の色分解光学系は、少なくとも入射光を集光する第1のマイクロレンズと、上記第1のマイクロレンズの集光光を平行光に変換する第2のマイクロレンズと、上記第2のマイクロレンズの平行光を分光するマイクロプリズムを有し、上記マイクロプリズムで分光された分光光のそれぞれの分光光をそれぞれ異なる上記複数の光電変換素子に入射するように上記複数の光電変換素子を配置するように構成される。
また、本発明の固体撮像装置において、上記第1のマイクロレンズは、マイクロ凸レンズであり、上記第2のマイクロレンズは、マイクロ凹レンズである。
また、本発明の固体撮像装置において、上記第1のマイクロレンズは、凸形マイクロシリンドリカルレンズであり、上記第2のマイクロレンズは、凹形マイクロシリンドリカルレンズである。
また、本発明の固体撮像装置において、上記第1のマイクロレンズは、上記入射光を円形収束光束に変換する円形マイクロ凸レンズであり、上記第2のマイクロレンズは、上記円形マイクロ凸レンズの円形収束光束を平行円形収束光束に変換する円形マイクロ凹レンズであり、上記マイクロプリズムは、上記円形マイクロ凹レンズの平行円形収束光束を分光する円形マイクロプリズムであり、上記複数の光電変換素子のそれぞれは、上記固体撮像装置上で円形に形成され、上記円形マイクロプリズムで分光された円形収束光束のそれぞれの円形収束光束をそれぞれ異なる上記複数の円形に形成された光電変換素子に入射するように上記複数の円形に形成された光電変換素子が配置される。
また、本発明の固体撮像装置において、上記複数の色分解光学系は、それぞれ入射光を赤、緑、青の光に分光するように構成される。
また、本発明の固体撮像装置において、上記色分解光学系の前にテレセントリック光学系を配置するように構成される。
更に、本発明のカメラ装置は、光学系と、上記光学系からの光を分光する複数の色分解光学系と、上記色分解光学系で分光された分光光を光電変換する複数の光電変換素子を平面状に配列した固体撮像素子と、上記固体撮像素子から上記色分解光学系で分光された分光光に対応する映像信号を読出し、該読出された映像信号を適宜処理する映像信号処理回路と、上記映像信号処理回路の映像信号を出力する出力部を有し、上記複数の色分解光学系は、少なくとも入射光を集光する第1のマイクロレンズと、上記第1のマイクロレンズの集光光を平行光に変換する第2のマイクロレンズと、上記第2のマイクロレンズの平行光を分光するマイクロプリズムを有し、上記マイクロプリズムで分光された分光光のそれぞれの分光光をそれぞれ異なる上記複数の光電変換素子から出力するように構成される。
以上説明したように、本発明によれば画素内に色分解光学系を有する固体撮像装置を構成できるので、入射光の利用効率が高く、解像度の高い固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置を実現することができる。また、マイクロレンズとマイクロプリズムの組み合わせによる色分解光学系を実現できるので、撮像素子の単一画素で分光および各分光色の強度に対応した電気信号を発生させることができるので、忠実な色再生が可能となる等の特徴がある。
以下、本発明の一実施例について図面を用いて説明する。図1は、本発明の一実施例を説明するための一画素分の固体撮像装置の概略構成を示す図である。図1において、100は、固体撮像装置の1画素を示している。101は、被写体(図示せず。)からの光が光学系(例えば、図8に示される光学系801)を介して固体撮像装置100に結像される光束である。102は、マイクロ凸レンズである。マイクロ凸レンズ102は、本実施例では、口径φが約10μm、焦点距離F1は、約10μmで、材質は、珪素あるいは蛍石のような一般の光学レンズと同様な材質で構成されている。103は、マイクロ凹レンズであり、マイクロ凸レンズと同様に、本実施例では、口径φが約10μm、焦点距離F2は、約10μmで、材質は、珪素あるいは蛍石のような一般の光学レンズと同様な材質で構成されている。なお、マイクロ凹レンズ103の光軸は、マイクロ凸レンズ102の光軸に一致させている。また、105は、マイクロプリズムであり、材質は、珪素あるいは蛍石のような一般の光学レンズと同様な材質で構成されている。また、マイクロ凸レンズ102とマイクロ凹レンズ103との間、およびマイクロ凹レンズ103とマイクロプリズム105との間は、空気(光の屈折率1)、あるいは、光の屈折率1に近い充填部材で満たされている。また、マイクロ凸レンズ102、マイクロ凹レンズ103およびマイクロプリズム105は、固体撮像素子の前面に適宜支持部材(図示せず。)で支持されている(以下の各実施例についても同様である。)。ここで、マイクロ凸レンズ102、マイクロ凹レンズ103およびマイクロプリズム105で構成される光学系を色分解光学系と呼ぶことにする。106は、固体撮像素子であり、詳細については後述する。なお、入射光を収束するマイクロ凸レンズのようなマイクロレンズを第1のマイクロレンズともいう。また、第1のマイクロレンズの収束光を平行光に変換するマイクロ凹レンズのようなマイクロレンズを第2のマイクロレンズともいう。
上記固体撮像装置の動作を説明する。被写体からの入射光101がマイクロ凸レンズ102に入射する。この場合、光学系801として一般的な3CCD用テレビカメラレンズなどのように射出瞳位置が結像面、即ち、固体撮像面から遠くて、近似的に像側テレセントリックなレンズを使用すれば、入射光束101は、マイクロ凸レンズ102の光軸にほぼ平行に入射する。マイクロ凸レンズ102に入射した被写体光は、マイクロ凸レンズ102の焦点(焦点距離F1)に集光する。この集光光束は、マイクロ凸レンズ102の焦点付近に配置されたマイクロ凹レンズ103により平行光束104になり、マイクロプリズム105に入射される。
マイクロプリズム105は、傾斜した光学面107を有し、この光学面107に入射した平行光束104は、光の波長により屈折され、固体撮像素子106に入射される。マイクロプリズム105のマイクロ凹レンズ103の光軸上の距離L1は、本実施例では、例えば、約10μに設定されている。なお、マイクロプリズム105の傾斜面の角度をθとする。マイクロプリズム105の傾斜面に入射する平行光束104には、赤(波長:600〜700nm)、緑(波長:500〜600nm)、青(波長:400〜500nm)の光が含まれている。そして、この平行光束104が光軸に対し傾斜した光学面107に入射し、ここで屈折が起こるが、長波長の光は、屈折が小さく、短波長の光は、屈折が大きいため分光される。例えば、図1では、波長の短い青成分の光は、大きく屈折し、青成分光108−1となり、フォトダイオード(一般的には、光電変換素子である。以下においても同様である。)109−1に入射する。緑成分の光は、緑成分光108−2となり、フォトダイオード109−2に入射する。また、赤成分の光は、赤成分光108−3となり、フォトダイオード109−3に入射する。なお、マイクロプリズム105のアッペ数の小さい光学材料を使用すると波長ごとの分光が効率よく行える。
ここで、アッペ数とは、光の逆分散率を示し、色収差の少ない光学材料ほどアッペ数は大きい。本発明の場合、逆にアッペ数が小さく、色収差が大きい方が効率よく分散でき、良いマイクロプリズムとなる。また、傾斜した光学面107の傾斜面の角θを適宜調節することにより青成分光108−1、緑成分光108−2および赤成分光108−3をそれぞれフォトダイオード109−1、フォトダイオード109−2およびフォトダイオード109−3(フォトダイオードを代表する場合は、フォトダイオード109と称する。)にそれぞれ入射するように調節するか、あるいは、フォトダイオード109の形成位置を設計することで実現できる。
上記のように構成することによって1つの画素に入射する被写体からの光を、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色成分に分解し、フォトダイオード109で各色の映像信号に変換され、固体撮像素子106から取出される。
上記説明では、1つの画素、即ち、1つの固体撮像装置について説明したが、カメラ装置は、この1つの固体撮像装置が平面状に多数配列されて構成されている。これについて図2および図3を用いて説明する。図2は、固体撮像素子201の平面図を示している。この固体撮像素子201は、例えば、2/3型のシリコン基板に縦方向有効1080画素、横方向に有効1960画素が形成された、所謂、ハイビジョン対応の撮像素子である。図2において、P1、P2、・・・は、それぞれ1つの画素を表し、図2では、1080×1960個の画素が存在する。なお、画素を代表する場合は、画素Pと称する。そして、例えば、画素P1は、3個のフォトダイオード109−1、109−2および109−3が形成されている。即ち、図1に示されるフォトダイオード109−1、109−2および109−3が対応する。従って、図2で示される平面状の固体撮像素子201の前面には、各画素Pに対応して図1に示されるマイクロ凸レンズ102、マイクロ凹レンズ103およびマイクロプリズム105が形成され、カラーカメラ装置の固体撮像装置を構成する。
次に、図2で示される固体撮像装置から映像信号を読み出す回路について図3を用いて説明する。図3は、例えば、MOS型の固体撮像装置の読出し回路の概略構成を示す図である。図3において、301は、固体撮像素子201の1つのセルを構成する。このセル301は、光電変換を行うフォトダイオード(即ち、pn接合型のフォトセンサ)302と、フォトダイオード302を選択する、例えば、MOSトランジスタからなる垂直選択用スイッチ素子303およびフォトダイオード302で光電変換された映像信号を読み出す、例えば、MOSトランジスタからなる読み出し用スイッチ素子304とによって構成されている。なお、ここでいうフォトダイオード302は、図2に示すフォトダイオード109−1に対応する。即ち、フォトダイオード302は、図1に示す青成分光108−1を映像信号に変換するフォトダイオード109−1に対応する。そして上述のセル301がマトリックス状に複数配列されて固体撮像素子201を構成している。
そして、マトリックス状に複数配列されたセル301で構成される固体撮像素子201は、各行毎に垂直選択用スイッチ素子303の制御電極(ゲート電極)が共通に接続された垂直選択線VL1、VL2、・・・に垂直走査パルスを出力する垂直走査回路305と、各列毎に読み出し用スイッチ素子304の主電極が共通に接続された垂直信号線VS1、VS2、・・・(垂直信号線を代表する場合は、垂直信号線VSと称する。)と、各列毎に垂直選択用スイッチ素子303の主電極に接続された読み出しパルス線RL1、RL2、・・・(読み出しパルス線を代表する場合は、読み出しパルス線RLと称する。)と、垂直信号線VSと水平信号線HSに主電極が接続された、例えば、MOSトランジスタからなる水平スイッチ素子306と、水平スイッチ素子306の制御電極と読み出しパルス線RLに接続された水平走査回路307と、水平信号線HSに接続された増幅部308および映像信号出力端子309により構成されている。そして、水平走査回路307から各水平スイッチ素子306の制御電極に水平走査パルスが供給されるとともに、各読み出しパルス線RLに水平読み出しパルスが供給される。
この固体撮像素子の動作を簡単に説明する。垂直走査回路305からの垂直走査パルスと、水平走査回路307からの読み出しパルスを受けた垂直選択用スイッチ素子303は、印加されたパルスで読み出し用スイッチ素子304の制御電極を制御して、フォトダイオード302で光電変換された信号電荷を垂直信号線VS1に読み出す。この信号電荷は、水平映像期間中に、水平走査回路307からの水平走査パルスにより制御された水平スイッチ素子306を通して水平信号線HSに出力され、これに接続された増幅部308で増幅され、出力端子309から青(B)の映像信号が得られる。
而して、図3に示す固体撮像素子201は、図1に示す青成分光108−1を映像信号に変換するフォトダイオード109−1からの映像信号を読み出す回路について説明したが、図1に示す緑成分光108−2を映像信号に変換するフォトダイオード109−2からの映像信号および赤成分光108−3を映像信号に変換するフォトダイオード109−3からの映像信号を読み出す回路についても同様に構成されていることはいうまでもない。即ち、図2に示される1つの画素P1は、3個のフォトダイオード109−1、109−2および109−3で形成されているので、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色成分について、それぞれ図3で示される映像信号の読み出す回路が固体撮像素子201に形成される。なお、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色成分の増幅部308は、図8で示される増幅部804に対応し、その出力は、相関二重サンプリング回路805以降の各部署で適宜信号処理されることは、従来のカラーカメラ装置と同じである。
以上のように構成することによって従来のように色フイルタを使用したり、あるいは、色分解プリズムを使用する必要がないので、入射光の利用効率が高く、解像度の高い固体撮像装置を実現することができる。なお、上記本発明の実施例では、MOS型の読出し回路を用いて説明したが、CCD型の読出し回路を用いて実現することもできることはいうまでもない。
ここで、上述した色分解光学系で用いられるマイクロレンズの製法について簡単に説明する。なお、色分解光学系には、凸型マイクロレンズ、凹方マイクロレンズ、マイクロプリズム等種々のマイクロ光学系が使用されるが、これらの光学系の製法は良く知られているので詳細な説明は、省略し、代表としてマイクロ凸レンズの製法について図9を用いて説明する。図9は、マイクロ凸レンズの製法を示す図である。図9(A)において、901は、フオトマスク、902は、マイクロ凸レンズの口径φの穴部である。903は、フォトレジスト膜、904は、マイクロ凸レンズを構成するガラス基板を示す。図9(A)では、フォトレジスト膜903をフオトマスク901を用いてにフォトリソグラフィによりフォトレジスト膜903をマイクロ凸レンズの形状にエッチングする。この時、製作するマイクロ凸レンズの形状に対してエッチング時の形状変化を考慮して補正をしておく。
図9(B)は、フォトリソグラフィによりガラス基板904上にマイクロ凸レンズの形状に形成されたフォトレジスト膜905を示す。次に、この状態で、異方性ドライエッチング技術を用いてマイクロ凸レンズの形状に形成されたフォトレジスト膜905のマイクロ凸レンズをガラス基板904に転写する。この状態を図9(C)に示す。図9(C)において、906は、マイクロ凸レンズを示す。なお、上記実施例では、1個のマイクロ凸レンズを示しているが、本発明のように複数のマイクロ凸レンズを平面状に配列して形成することはいうまでもない。
次に、本発明の他の一実施例を図4を用いて説明する。図4は、図1に示す固体撮像装置100の光学系の形状を変えた他の一実施例である。図4において、固体撮像装置400の入射口のマイクロレンズは、凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401(第1のマイクロレンズともいう。)である。この凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401の焦点距離F3は、例えば、10μmである。402は、凹形のマイクロシリンドリカルレンズ(第2のマイクロレンズともいう。)であり、この凹形のマイクロシリンドリカルレンズ402は、凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401の焦点位置に設けられる。また、403は、マイクロプリズム、404は、固体撮像素子を示している。なお、凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401、凹形のマイクロシリンドリカルレンズ402、マイクロプリズム403および固体撮像素子404の位置関係は、図1に示される固体撮像装置100と同様である。なお、図4では、固体撮像素子404上に形成されるフォトダイオードは、線状(ストライプ状)に形成されている(図示せず。)。なお、図4に示す固体撮像装置400の色分解光学系は、凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401、凹形のマイクロシリンドリカルレンズ402およびマイクロプリズム403で構成されている。
この固体撮像装置の動作を説明する。被写体からの入射光が凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401に入射する。凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401に入射した被写体光は、凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401の焦点(焦点距離F3)に線状に集光する(線状光束405と称する。)。この線状光束405は、凸形のマイクロシリンドリカルレンズ401の焦点F3付近に配置された凹形のマイクロシリンドリカルレンズ402により線状平行光束406になり、マイクロプリズム403に入射される。
マイクロプリズム403では、図1に示されるマイクロプリズム105と同様に傾斜した光学面(傾斜角θ)を有し、この光学面に入射した平行光束406は、光の波長により屈折され、固体撮像素子404に入射される。この場合のマイクロプリズム403の光の波長により屈折は、図1に示されるマイクロプリズム105と同様である。ただし、線状平行光束406は、青(B)成分の線状平行光束407−1、緑(G)の線状平行光束407−2および赤(R)の線状平行光束407−3のような線状平行光束となりフォトダイオードに入射する。このように線状の色分解となるが、図1で示される固体撮像装置100と同様に実現することができ、固体撮像素子106に形成するフォトダイオード(光電変換素子)は、線状光束の幅に対応した大きさ、寸法に設定し、光の利用効率を上げることができる。
図5は、本発明の更に他の一実施例を示す図である。図5において、501は、片面が凸形のマイクロレンズであり、502は、片面が凹形のマイクロレンズである。503は、マイクロプリズム、504は、固体撮像素子を示している。図5に示される固体撮像装置500は、図1に示される固体撮像装置100の凸形のマイクロレンズ102を片面が凸形のマイクロレンズ501に、また、凹形のマイクロレンズ103を片面が凹形のマイクロレンズ502に変更したものである。図5に示される固体撮像装置500の色分解光学系は、片面凸形のマイクロレンズ501、片面凹形のマイクロレン502およびマイクロプリズム503で構成されている。
図5に示す固体撮像装置500の動作も図1に示される固体撮像装置100の動作とほぼ同様であるので、簡単に説明する。被写体からの入射光が片面凸形のマイクロレンズ501に入射する。片面凸形のマイクロレンズ501に入射した被写体光は、片面凸形のマイクロレンズ501の焦点(焦点距離F5)に集光する。そして、集光光束は、片面凸形のマイクロレンズ501の焦点付近に配置された片面凹形のマイクロルレンズ502により平行光束505になり、マイクロプリズム503に入射される。
マイクロプリズム503は、図1に示されるマイクロプリズム105と同様に傾斜した光学面(傾斜角θ)を有し、この光学面に入射した平行光束505は、光の波長により屈折され、固体撮像素子504に入射される。この場合のマイクロプリズム503の光の波長により屈折は、図1に示されるマイクロプリズム105と同様である。即ち、平行光束505は、青(B)成分の光束506−1、緑(G)の光束506−2および赤(R)の光束506−3のような光束となりフォトダイオード507−1、507−2、507−3に入射する。なお、このように片面凸形のマイクロレンズ501、片面凹形のマイクロルレンズ502は、図1に示される両面凸形のマイクロレンズ102あるいは両面凹形のマイクロルレンズ103に比べて製作が容易であり、コスト低減が図れる特徴がある。
図6は、本発明の更に他の一実施例の概略構成を示す図である。図6において、601は、円形に形成されたマイクロ凸レンズであり、B−Bから見た平面図を図6(B)に示す。610は、円形マイクロ凸レンズ601の光軸を示し、円形マイクロ凸レンズ601の焦点距離をF7で示している。611−1、611−2は、円形マイクロ凸レンズ601のb−b線上の断面部を示している。また、円形マイクロ凸レンズ601の口径をφとすると、光軸610を有する円形のマイクロ凸レンズ601を形成している。そして、本実施例でも円形マイクロ凸レンズ601の口径φは、約20μ、円形マイクロ凸レンズ601の焦点距離F7は、約10μmである。この円形マイクロ凸レンズ601の材質も図1で示される凸レンズ102の材質と同じである。
602は、円形に形成されたマイクロ凹レンズであり、C−Cから見た平面図を図6(C)に示す。615は、円形マイクロ凹レンズ602の光軸を示し、円形マイクロ凹レンズ602の焦点距離をF8で示している。616−1、616−2は、円形マイクロ凹レンズ602のc−c線上の断面部を示している。また、円形マイクロ凹レンズ602の口径をφとすると、光軸615を有する円形のマイクロ凹レンズ602を形成している。そして、本実施例でも円形マイクロ凹レンズ602の口径φは、約20μ、円形マイクロ凹レンズ621の焦点距離F8は、約10μmである。この円形マイクロ凸レンズ601の材質も図1で示されるマイクロ凹レンズ103の材質と同じである。そして円形マイクロ凹レンズ602は、円形マイクロ凸レンズ601の焦点位置に配置されている。
603は、円形に形成されたマイクロプリズムであり、D−Dから見た平面図を図6(D)に示す。620は、円形マイクロ凹レンズ602の焦点位置F8の位置を示している。従って、円形マイクロ凹レンズ602と円形マイクロプリズム603との位置関係は、図6(A)に示す通りである。621−1、621−2は、円形マイクロプリズム603のd−d線上の断面部を示している。即ち、この円形マイクロプリズム603は、円錐状の凹部を有する円形のマイクロプリズム603を形成している。そして、本実施例でも円形マイクロプリズム603の口径φは、約20μm、円形マイクロプリズム603の距離L4は、約10μmである。この円形マイクロプリズム603の材質も図1で示されるマイクロプリズム105の材質と同じである。図6に示される固体撮像装置600の色分解光学系は、円形のマイクロ凸レンズ601、円形のマイクロ凹レンズ602および円形のマイクロプリズム603で構成されている。
604は、固体撮像素子であり、この固体撮像素子604上に光電変換素子、例えば、フォトダイオード606−1、606−2、606−3が軸607を中心にリング状に形成されている。
図6に示す固体撮像装置600の動作も図1に示される固体撮像装置100の動作とほぼ同様であるので、簡単に説明する。被写体からの入射光が円形のマイクロ凸レンズ601に入射する。円形のマイクロ凸レンズ601に入射した被写体光は、円形のマイクロ凸レンズ601で円形の焦点位置610(焦点距離F7)に集光する。この円形に収束された光束は、円形のマイクロ凸レンズ601の焦点付近に配置された円形のマイクロ凹レンズ602により円形収束光束608になり、円形マイクロプリズム603に入射される。
円形マイクロプリズム603では、図1に示されるマイクロプリズム105と同様に傾斜した光学面(図6(A)のように円錐状に形成され、傾斜角θである。)を有し、この光学面に入射した円形収束光束608は、光の波長により同心円状に屈折される。即ち、円形収束光束608は、青(B)成分の円形収束光束605−1、緑(G)成分の円形収束光束605−2および赤(R)成分の円形収束光束605−3のような円形収束光束となり円形フォトダイオード606−1、606−2、606−3に入射する。このような円形の色分解光学系を用いることによって入射光を有効に色分解が可能となり、光の利用効率を上げることが可能である。
以上、本発明のいくつかの実施例について説明したが、本発明の各実施例において、マイクロ凸レンズやマイクロ凹レンズ、マイクロプリズム等の間に隙間を設けて説明したが、この間隙部分を空気の層としたり、あるいは、異なる屈折率の部材で形成することも可能である。また、各マイクロレンズやプリズムの表面に反射防止膜を施し、ゴーストの低減、入射光の効率良い利用をすることも出来る。
なお、上記各実施例では、マイクロ凹レンズの焦点位置にマイクロプリズムへの入射位置を設定しているが、マイクロ凹レンズからの光束は、平行光束であるので、この距離は、適宜設定することができる。
次に、本発明の更に他の一実施例を図7を用いて説明する。図7は、テレセントリック光学系の概略構成を示す図である。上述した各実施例では、近似的に像側テレセントリックな光学系を結像レンズとして使用することを前提としている。像側テレセントリック光学系を本発明の撮像素子の前に配置した実施例を以下に説明する。
図7において、701は、被写体、702は、例えば、ピンホールのような絞り、703は、テレセントリック光学系を形成するレンズ、704は、上記各実施例で説明した色分解光学系である。なお、705は、開口部を有するカメラの支持部材で、テレセントリック光学系をカメラ装置に取り付ける支持部材である。F9は、レンズ703の焦点距離を示し、絞り702は、ほぼレンズ703の焦点位置F9の位置に配置される。
このテレセントリック光学系を用いた場合、被写体701からの入射光の内、絞り702を通過した光(レンズ703の焦点付近を通過した光)がレンズ703で並行光束になり、色分解光学系704に平行に入射する。従って、被写体701からの光は、固体撮像素子上に結像するが、テレセントリック光学系で平行光束となるため、マイクロプリズムへの入射光が各画素の法線にほぼ一致する。結果として各分光光の角度がマイクロプリズムの傾斜角θで決められるので、各分光光の位置とフォトダイオードとの位置を容易に合わせることが可能となる。
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は、ここに記載された固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置の実施例に限定されるものではなく、上記以外の固体撮像装置及びそれを用いたカメラ装置に広く適応することが出来ることは、言うまでも無い。
100、400、500、600:固体撮像装置、101:入射光、102:マイクロ凸レンズ、103:マイクロ凹レンズ、104、505:平行光束、105:マイクロプリズム、106、201、404、504、604:固体撮像素子、107:マイクロプリズムの傾斜面、108、506:分光光、109、507:光電変換素子、301:固体撮像素子のセル、302:フォトダイオード、303:垂直選択用スイッチ素子、304:読み出し用スイッチ素子、305:垂直走査回路、306:水平スイッチ素子、307:水平走査回路、308:増幅部、309:映像信号出力端子、401:凸形マイクロシリンドリカルレンズ、402:凹形マイクロシリンドリカルレンズ、403:マイクロプリズム、405、407:線状光束、406:線状平行光束、501:片面凸形マイクロレンズ、502:片面凹形マイクロルレンズ、503:マイクロプリズム、601:円形マイクロ凸レンズ、602:円形マイクロ凹レンズ、603:円形マイクロプリズム、605、608:円形収束光束、606:リング状フォトダイオード、607:軸、701:被写体、702:絞り、703:レンズ、704:色分解光学系、705:カメラの支持部材、801:光学レンズ系、802:色分解フイルタ、803:固体撮像素子、804:増幅部、805:相関二重サンプリング回路、806:自動利得制御回路、807:A/D変換回路、808:ディジタル信号処理回路、809:D/A変換回路、810:増幅回路、811:マイクロコンピュータ、812:駆動回路、901:フォトマスク、902:穴部、903:フォトレジスト膜、904:ガラス基板、905:マイクロ凸レンズの形状に形成されたフォトレジスト膜、906:マイクロ凸レンズ。
Claims (3)
- 複数の色分解光学系と、上記色分解光学系で分光された分光光を光電変換する複数の光電変換素子を平面状に配列した固体撮像素子を有し、上記複数の色分解光学系は、少なくとも入射光を集光する第1のマイクロレンズと、上記第1のマイクロレンズの集光光を平行光に変換する第2のマイクロレンズと、上記第2のマイクロレンズの平行光を分光するマイクロプリズムを有し、上記マイクロプリズムで分光された分光光のそれぞれの分光光をそれぞれ異なる上記複数の光電変換素子に入射するように上記複数の光電変換素子を配置したことを特徴とする固体撮像装置。
- 請求項1記載の固体撮像装置において、上記第1のマイクロレンズは、上記入射光を円形収束光束に変換する円形マイクロ凸レンズであり、上記第2のマイクロレンズは、上記円形マイクロ凸レンズの円形収束光束を平行円形収束光束に変換する円形マイクロ凹レンズであり、上記マイクロプリズムは、上記円形マイクロ凹レンズの平行円形収束光束を分光する円形マイクロプリズムであり、上記複数の光電変換素子のそれぞれは、上記固体撮像装置上で円形に形成され、上記円形マイクロプリズムで分光された円形収束光束のそれぞれの円形収束光束をそれぞれ異なる上記複数の円形に形成された光電変換素子に入射するように上記複数の円形に形成された光電変換素子を配置したことを特徴とする固体撮像装置。
- 光学系と、上記光学系からの光を分光する複数の色分解光学系と、上記色分解光学系で分光された分光光を光電変換する複数の光電変換素子を平面状に配列した固体撮像素子と、上記固体撮像素子から上記色分解光学系で分光された分光光に対応する映像信号を読出し、該読出された映像信号を適宜処理する映像信号処理回路と、上記映像信号処理回路の映像信号を出力する出力部を有し、上記複数の色分解光学系は、少なくとも入射光を集光する第1のマイクロレンズと、上記第1のマイクロレンズの集光光を平行光に変換する第2のマイクロレンズと、上記第2のマイクロレンズの平行光を分光するマイクロプリズムを有し、上記マイクロプリズムで分光された分光光のそれぞれの分光光をそれぞれ異なる上記複数の光電変換素子から出力することを特徴とするカメラ装置。
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-
2006
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