JP2008151540A - Testing apparatus and detecting method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the noise of the device generated externally and internally with a simple constitution. <P>SOLUTION: A testing device for testing an objective device to be tested is provided which is composed of: a plurality of signal outputting parts for outputting the test signals to each terminal of the objective device; a plurality of signal inputting parts for respectively inputting the output signal outputted from the terminal of the objective device corresponding to the testing signal; a noise transmission path for propagating the noise for at least one signal inputting part for detecting the noise of the testing apparatus; a detection control part making at least one signal input part detect with the window detection mode for testing whether the voltage of the input signal is exceeding the previously set reference range during the test period or not for every test interval; and a determination part for determining the detection of noise within the test interval corresponding to the detection of voltage exceeding the reference range from at least one signal input part. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、試験装置および検出方法に関する。特に本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置および検出方法に関する。   The present invention relates to a test apparatus and a detection method. In particular, the present invention relates to a test apparatus and a detection method for testing a device under test.

半導体装置等の被試験デバイスを試験する試験装置が知られている。試験装置は、装置外部または内部からのノイズが原因となり、測定動作が正常に行えない場合がある。ノイズが原因で測定動作が正常に行えないと推測される場合、試験装置の使用者は、例えば、オシロスコープおよびスペクトラムアナライザ等を用いて、ノイズの発生原因を特定し、又は、ノイズの振幅および周波数特性等を測定する（例えば、特許文献１参照。）。   A test apparatus for testing a device under test such as a semiconductor device is known. The test apparatus may not be able to perform normal measurement operations due to noise from outside or inside the apparatus. When it is estimated that the measurement operation cannot be normally performed due to noise, the user of the test apparatus specifies the cause of the noise using, for example, an oscilloscope and a spectrum analyzer, or the amplitude and frequency of the noise. Characteristics and the like are measured (for example, see Patent Document 1).

特開平８−１２２４１７号公報JP-A-8-122417

ところで、オシロスコープを用いて試験装置のノイズを測定する場合、微小な電圧のノイズ（例えば１０ミリＶ以下のノイズ）を検出することが困難であった。また、試験装置にプローブを接触させるので、被測定回路にインピーダンスを与えてしまい、精度良くノイズを測定できない場合があった。   By the way, when measuring the noise of the test apparatus using an oscilloscope, it is difficult to detect a minute voltage noise (for example, noise of 10 milliV or less). Further, since the probe is brought into contact with the test apparatus, impedance is given to the circuit to be measured, and noise may not be measured accurately.

また、スペクトラムアナライザを用いて試験装置のノイズを測定した場合、繰返し周期を有するノイズでなければ測定することが困難であった。従って、ＥＳＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）等の単発で発生するノイズを検出することが困難であった。   In addition, when measuring the noise of a test apparatus using a spectrum analyzer, it is difficult to measure unless the noise has a repetition period. Therefore, it has been difficult to detect noise generated by a single shot such as ESD (Electrostatic Discharge).

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置および検出方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a test apparatus and a detection method that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、それぞれが被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、試験信号に応じて被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部と、当該試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路と、少なくとも１つの信号入力部を、ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードで動作させる検出制御部と、少なくとも１つの信号入力部により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する判定部とを備える試験装置を提供する。   In order to solve the above-described problems, in the first embodiment of the present invention, a test apparatus for testing a device under test, each of which outputs a test signal to a terminal of the device under test, Noise is propagated to a plurality of signal input units that respectively input signals output from the terminals of the device under test according to the test signal and at least one signal input unit used to detect noise of the test apparatus. A window for detecting, for each test period, whether or not the voltage of the input signal input from the noise transmission path is out of a preset reference range during the test period. Noise is detected during the test cycle in response to detection of a voltage outside the reference range by the detection control unit operated in the detection mode and at least one signal input unit. Providing a test device comprising a determination unit and.

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を制御して、試験装置のノイズを検出する検出方法であって、試験装置は、それぞれが被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、試験信号に応じて被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部とを備え、試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路を接続することと、少なくとも１つの信号入力部を、ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードで動作させることと、少なくとも１つの信号入力部により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定することとを備える検出方法を提供する。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a detection method for detecting a noise of a test apparatus by controlling a test apparatus that tests the device under test, wherein each test apparatus sends a test signal to a terminal of the device under test. And a plurality of signal input units for inputting signals output from the terminals of the device under test according to the test signal, respectively, and at least one used for detecting noise of the test apparatus Connecting a noise transmission path that propagates noise to one signal input section, and at least one signal input section, a reference in which the voltage of the input signal input from the noise transmission path is set in advance during the test cycle Operating in the window detection mode that detects whether or not it is out of range for each test cycle, and detecting a voltage outside the reference range by at least one signal input unit Flip and provides a detection method and a determining a noise during the test period has been detected.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the scope of claims, and all combinations of features described in the embodiments are included. It is not necessarily essential for the solution of the invention.

図１は、本実施形態に係る試験装置１０、被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００を示す。試験装置１０は、被試験デバイス１００を試験する。より詳しくは、試験装置１０は、試験信号を生成して被試験デバイス１００に供給し、被試験デバイス１００が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号が期待値と一致するか否かに基づいて被試験デバイス１００の良否を判断する。さらに、試験装置１０は、当該装置の外部または内部で発生したノイズ（例えばＥＳＤ）を検出する。   FIG. 1 shows a test apparatus 10, a device under test 100, and a handler apparatus 200 according to the present embodiment. The test apparatus 10 tests the device under test 100. More specifically, the test apparatus 10 generates a test signal, supplies the test signal to the device under test 100, and determines whether an output signal output as a result of the operation of the device under test 100 based on the test signal matches an expected value. Based on this, the quality of the device under test 100 is judged. Furthermore, the test apparatus 10 detects noise (for example, ESD) generated outside or inside the apparatus.

試験装置１０は、デバイス搭載部１２と、テストヘッド１４と、制御装置１６とを備える。デバイス搭載部１２は、被試験デバイス１００が搭載され、被試験デバイス１００とテストヘッド１４内の回路とを電気的に接続する。デバイス搭載部１２は、一例として、パフォーマンスボード１８と、このパフォーマンスボード１８の上部に設けられて被試験デバイス１００を保持するソケット２０とを有する。   The test apparatus 10 includes a device mounting unit 12, a test head 14, and a control device 16. The device mounting unit 12 is mounted with the device under test 100 and electrically connects the device under test 100 and a circuit in the test head 14. For example, the device mounting unit 12 includes a performance board 18 and a socket 20 that is provided on the performance board 18 and holds the device under test 100.

テストヘッド１４は、筐体内に複数の試験モジュールを搭載する。各試験モジュールは、試験信号を生成し、対応する被試験デバイス１００の端子に試験信号を供給する。また、各試験モジュールは、試験信号に応じて出力される出力信号を被試験デバイス１００の端子から取得し、期待値と比較する。   The test head 14 mounts a plurality of test modules in a housing. Each test module generates a test signal and supplies the test signal to the terminal of the corresponding device under test 100. Each test module obtains an output signal output in accordance with the test signal from the terminal of the device under test 100 and compares it with an expected value.

制御装置１６は、テストヘッド１４内の複数の試験モジュールに接続され、これら複数の試験モジュールを制御する。制御装置１６は、一例として、テストヘッド１４と別体とされたコンピュータにより実現される。   The control device 16 is connected to a plurality of test modules in the test head 14 and controls the plurality of test modules. As an example, the control device 16 is realized by a computer that is separate from the test head 14.

ハンドラ装置２００は、被試験デバイス１００を収納トレイから取り出してテストヘッド１４上のデバイス搭載部１２に搭載し、被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２から取り外して例えば収納トレイに戻す。ハンドラ装置２００は、一例として、制御装置１６により動作が制御される。   The handler apparatus 200 takes out the device under test 100 from the storage tray and mounts it on the device mounting portion 12 on the test head 14, removes the device under test 100 from the device mounting portion 12 and returns it to the storage tray, for example. The operation of the handler device 200 is controlled by the control device 16 as an example.

図２は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００とともに示す。図３は、ウィンドウストローブ信号の一例を示す。   FIG. 2 shows the configuration of the test apparatus 10 according to the present embodiment, together with the device under test 100 and the handler apparatus 200. FIG. 3 shows an example of the window strobe signal.

試験装置１０は、複数の信号出力部２２と、複数の信号入力部２４と、ノイズ伝送路２６と、検出制御部２８と、基準電位発生部３２と、抵抗３４と、スイッチ３６と、判定部３８と、ハンドラ制御部４０とを備える。なお、本実施形態において、複数の信号出力部２２、複数の信号入力部２４、基準電位発生部３２、抵抗３４およびスイッチ３６は、テストヘッド１４内に設けられる。また、本実施形態において、検出制御部２８、判定部３８およびハンドラ制御部４０は、制御装置１６が所定のプログラムを実行することにより、当該制御装置１６により実現される。   The test apparatus 10 includes a plurality of signal output units 22, a plurality of signal input units 24, a noise transmission path 26, a detection control unit 28, a reference potential generation unit 32, a resistor 34, a switch 36, and a determination unit. 38 and a handler control unit 40. In the present embodiment, the plurality of signal output units 22, the plurality of signal input units 24, the reference potential generation unit 32, the resistor 34, and the switch 36 are provided in the test head 14. In the present embodiment, the detection control unit 28, the determination unit 38, and the handler control unit 40 are realized by the control device 16 when the control device 16 executes a predetermined program.

複数の信号出力部２２のそれぞれは、被試験デバイス１００の端子へ試験信号を出力する。各信号出力部２２は、一例として、ドライバ５２を有する。ドライバ５２は、与えられた試験信号を増幅して被試験デバイス１００の対応する端子に供給する。   Each of the plurality of signal output units 22 outputs a test signal to a terminal of the device under test 100. Each signal output unit 22 includes a driver 52 as an example. The driver 52 amplifies the supplied test signal and supplies it to the corresponding terminal of the device under test 100.

複数の信号入力部２４のそれぞれは、試験信号に応じて被試験デバイス１００の端子から出力される信号を入力する。各信号入力部２４は、一例として、閾値電位発生部５４と、Ｈ論理側コンパレータ５６と、Ｌ論理側コンパレータ５８と、論理比較部６０とを有する。   Each of the plurality of signal input units 24 inputs a signal output from a terminal of the device under test 100 according to the test signal. As an example, each signal input unit 24 includes a threshold potential generation unit 54, an H logic side comparator 56, an L logic side comparator 58, and a logic comparison unit 60.

閾値電位発生部５４は、入力された信号の論理を判定するための閾値電圧（Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨ、Ｌ論理閾値電圧ＶＯＬ）を発生する。なお、Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨは、Ｌ論理閾値電圧ＶＯＬよりも高い。Ｈ論理側コンパレータ５６は、入力された信号の電圧と、Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨとを比較する。Ｌ論理側コンパレータ５８は、入力された信号の電圧と、Ｌ論理閾値電圧ＶＯＬとを比較する。 The threshold potential generator 54 generates threshold voltages (H logic threshold voltage V OH , L logic threshold voltage V OL ) for determining the logic of the input signal. Note that the H logic threshold voltage V OH is higher than the L logic threshold voltage V OL . The H logic side comparator 56 compares the voltage of the input signal with the H logic threshold voltage VOH . The L logic side comparator 58 compares the voltage of the input signal with the L logic threshold voltage VOL .

論理比較部６０は、Ｈ論理側コンパレータ５６およびＬ論理側コンパレータ５８による比較結果に基づき、入力された信号の論理を検出する。すなわち、論理比較部６０は、入力された信号の電圧がＨ論理閾値電圧ＶＯＨより大きいか（すなわち、入力された電圧がＨ論理であるか）、入力された信号の電圧がＬ論理閾値電圧ＶＯＬより小さいか（すなわち、入力された電圧がＬ論理であるか）を検出する。さらに、論理比較部６０は、Ｈ論理側コンパレータ５６およびＬ論理側コンパレータ５８による比較結果に基づき、入力された信号の電圧が、Ｌ論理閾値電圧ＶＯＬ以上且つＨ論理閾値電圧ＶＯＨ以下であるか（すなわち、中間値であるか）を検出する。 The logic comparison unit 60 detects the logic of the input signal based on the comparison results by the H logic side comparator 56 and the L logic side comparator 58. That is, the logic comparison unit 60 determines whether the voltage of the input signal is higher than the H logic threshold voltage V OH (that is, whether the input voltage is H logic) or the voltage of the input signal is the L logic threshold voltage. V OL is smaller than (i.e., voltage input is logic L is either) detects a. Further, the logic comparison unit 60 has the input signal voltage not less than the L logic threshold voltage VOL and not more than the H logic threshold voltage V OH based on the comparison results by the H logic side comparator 56 and the L logic side comparator 58. (That is, an intermediate value).

また、論理比較部６０は、ストローブ信号により指定されたタイミングで、入力された信号の論理を検出する。論理比較部６０は、一例として、ウィンドウ検出モードにより動作する。すなわち、論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定されたタイミングで、入力された信号の論理を検出する。ウィンドウストローブ信号は、図３に示すように、試験周期中における任意の連続期間を指定する信号である。   Further, the logic comparison unit 60 detects the logic of the input signal at the timing specified by the strobe signal. As an example, the logic comparison unit 60 operates in the window detection mode. That is, the logic comparison unit 60 detects the logic of the input signal at the timing specified by the window strobe signal. As shown in FIG. 3, the window strobe signal is a signal that designates an arbitrary continuous period in the test cycle.

論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間中において、Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨより大きくなった場合には、入力信号がＨ論理であると検出する。この場合において、論理比較部６０は、入力信号の電圧が、瞬間的にＨ論理閾値電圧ＶＯＨより大きくなり、その後、中間値またはＬ論理閾値電圧ＶＯＬより小さくなったとしても、入力信号がＨ論理であると検出する。 The logic comparison unit 60 detects that the input signal is H logic when it becomes greater than the H logic threshold voltage V OH during the period specified by the window strobe signal. In this case, even when the voltage of the input signal instantaneously becomes higher than the H logic threshold voltage V OH and then becomes lower than the intermediate value or the L logic threshold voltage V OL , the logic comparison unit 60 Detect that it is H logic.

また、論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間中において、Ｌ論理閾値電圧ＶＯＬより小さくなった場合には、入力信号がＬ論理であると検出する。この場合において、論理比較部６０は、入力信号の電圧が、瞬間的にＬ論理閾値電圧ＶＯＬより小さくなり、その後、中間値またはＨ論理閾値電圧ＶＯＨより大きくなったとしても、入力信号がＬ論理であると検出するまた、論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間中、入力信号の電圧が、Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨより大きくならず且つＬ論理閾値電圧ＶＯＬより小さくならなかった場合、入力信号が中間値であると検出する。 In addition, the logic comparison unit 60 detects that the input signal is L logic when it becomes lower than the L logic threshold voltage VOL during the period specified by the window strobe signal. In this case, even if the voltage of the input signal instantaneously becomes smaller than the L logic threshold voltage V OL and then becomes larger than the intermediate value or the H logic threshold voltage V OH , the logic comparison unit 60 Further, the logic comparison unit 60 detects that it is L logic, and the voltage of the input signal does not become larger than the H logic threshold voltage V OH and smaller than the L logic threshold voltage V OL during the period specified by the window strobe signal. If not, it is detected that the input signal is an intermediate value.

ここで、複数の信号入力部２４のうちの少なくとも一つの信号入力部２４は、当該試験装置１０がノイズ検出動作を行っている場合において、ノイズを入力する信号入力部として用いられる。当該試験装置１０のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの信号入力部２４のことを、以下、ノイズ入力部５０と称する。   Here, at least one signal input unit 24 among the plurality of signal input units 24 is used as a signal input unit for inputting noise when the test apparatus 10 performs a noise detection operation. The at least one signal input unit 24 used to detect noise of the test apparatus 10 is hereinafter referred to as a noise input unit 50.

ノイズ伝送路２６は、それぞれのノイズ入力部５０毎に設けられる。ノイズ伝送路２６は、対応するノイズ入力部５０に対してノイズを伝播する。ノイズ伝送路２６は、一例として、一端がノイズ入力部５０の入力端に接続された、デバイス搭載部１２内の信号線路であってよい。また、ノイズ伝送路２６は、ノイズ入力部５０が接続されていない側の端（他端）が、被試験デバイス１００の端子に接続されてよい。これにより、ノイズ入力部５０は、被試験デバイス１００に帯電したＥＳＤ等を入力することができる。   The noise transmission path 26 is provided for each noise input unit 50. The noise transmission path 26 propagates noise to the corresponding noise input unit 50. As an example, the noise transmission path 26 may be a signal line in the device mounting unit 12, one end of which is connected to the input end of the noise input unit 50. Further, the noise transmission path 26 may be connected to the terminal of the device under test 100 at the end (the other end) on the side where the noise input unit 50 is not connected. Thereby, the noise input unit 50 can input ESD or the like charged in the device under test 100.

また、ノイズ伝送路２６は、一例として、他端が開放されてもよい。これにより、ノイズ伝送路２６がアンテナとして機能するので、ノイズ入力部５０は、例えば外部装置から与えられる電磁波に応じたノイズを入力することができる。また、ノイズ伝送路２６は、一例として、他端が十分に大きな抵抗値（例えば、１０キロΩまたは１００キロΩ等）の抵抗を介してグランドに接続されてもよい。これにより、ノイズ入力部５０は、当該試験装置１０の装置内で発生するシステムノイズを入力することができる。   Moreover, the noise transmission path 26 may open the other end as an example. Thereby, since the noise transmission path 26 functions as an antenna, the noise input unit 50 can input noise according to electromagnetic waves given from an external device, for example. Further, as an example, the noise transmission path 26 may be connected to the ground at the other end via a resistor having a sufficiently large resistance value (for example, 10 kiloΩ or 100 kiloΩ). Thereby, the noise input unit 50 can input system noise generated in the apparatus of the test apparatus 10.

検出制御部２８は、ノイズ入力部５０を、ノイズ伝送路２６から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードで動作させる。検出制御部２８は、一例として、ノイズ入力部５０内の閾値電位発生部５４に対して、基準範囲の上限値として所定の値のＨ論理閾値電圧ＶＯＨを出力させ、基準範囲の下限値として所定の値のＬ論理閾値電圧ＶＯＬを出力させる。これにより、検出制御部２８は、ノイズ伝送路２６から入力される信号の電圧が基準範囲外となったか否かをノイズ入力部５０に検出させることができる。すなわち、検出制御部２８は、入力される信号の電圧が基準範囲外の場合にはノイズ入力部５０にＬ論理またはＨ論理を出力させ、入力される信号の電圧が基準範囲内の場合にはノイズ入力部５０に中間値を出力させることができる。 The detection control unit 28 detects the noise input unit 50 for each test cycle to determine whether or not the voltage of the input signal input from the noise transmission path 26 is out of a preset reference range during the test cycle. Operate in detection mode. As an example, the detection control unit 28 causes the threshold potential generation unit 54 in the noise input unit 50 to output an H logic threshold voltage VOH having a predetermined value as the upper limit value of the reference range, and as the lower limit value of the reference range. The L logic threshold voltage VOL having a predetermined value is output. Thereby, the detection control part 28 can make the noise input part 50 detect whether the voltage of the signal input from the noise transmission path 26 became out of the reference range. That is, the detection control unit 28 causes the noise input unit 50 to output L logic or H logic when the input signal voltage is outside the reference range, and when the input signal voltage is within the reference range. An intermediate value can be output to the noise input unit 50.

さらに、検出制御部２８は、一例として、図３に示すような、ノイズ入力部５０内の論理比較部６０に対して、ウィンドウストローブ信号を供給する。これにより、検出制御部２８は、試験周期毎のウィンドウストローブ信号により指定された期間（ノイズ検出期間）において、入力される信号の電圧が基準範囲外となったか否かをノイズ入力部５０に出力させることができる。   Further, as an example, the detection control unit 28 supplies a window strobe signal to the logic comparison unit 60 in the noise input unit 50 as shown in FIG. Accordingly, the detection control unit 28 outputs to the noise input unit 50 whether or not the voltage of the input signal is out of the reference range during the period (noise detection period) specified by the window strobe signal for each test cycle. Can be made.

基準電位発生部３２は、基準範囲内の電圧である基準電位ＶＴ（例えば０Ｖ）を発生する。基準電位発生部３２は、一例として、Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨより小さく、且つ、Ｌ論理閾値電圧ＶＯＬより大きい電位（例えば、Ｈ論理閾値電圧ＶＯＨとＬ論理閾値電圧ＶＯＬとの間の略中間電圧）を発生する。 The reference potential generator 32 generates a reference potential V T (eg, 0 V) that is a voltage within the reference range. Reference potential generating portion 32, as an example, smaller than H logic threshold voltage V OH, and, L logic threshold voltage V OL is greater than the potential (for example, between the H logic threshold voltage V OH and L logic threshold voltage V OL A substantially intermediate voltage).

抵抗３４およびスイッチ３６は、それぞれのノイズ入力部５０毎に設けられる。抵抗３４は、一端がスイッチ３６を介して対応するノイズ入力部５０の入力端に接続され、他端が基準電位発生部３２の電圧出力端に接続される。スイッチ３６は、当該試験装置１０がノイズ検出動作を行っている場合において抵抗３４の一端とノイズ入力部５０の入力端を接続する。このような抵抗３４およびスイッチ３６は、ノイズが入力されていない場合におけるノイズ入力部５０の入力端の電位を、基準電位ＶＴとすることができる。 The resistor 34 and the switch 36 are provided for each noise input unit 50. One end of the resistor 34 is connected to the input end of the corresponding noise input unit 50 via the switch 36, and the other end is connected to the voltage output end of the reference potential generating unit 32. The switch 36 connects one end of the resistor 34 and the input end of the noise input unit 50 when the test apparatus 10 is performing a noise detection operation. Such resistance 34 and the switch 36, the potential of the input end of the noise input unit 50 when the noise is not input, it can be the reference potential V T.

判定部３８は、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する。判定部３８は、一例として、ノイズ入力部５０がＬ論理またはＨ論理を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する。さらに、判定部３８は、一例として、ノイズが検出されたと判定した場合、ノイズを発生した旨を使用者に通知してよい。また、判定部３８は、一例として、ノイズが検出されたノイズ入力部５０に接続された端子の番号を通知したり、ノイズレベルをグラフで表示したりしてよい。   The determination unit 38 determines that noise has been detected during the test cycle in response to detection of a voltage outside the reference range by the noise input unit 50. For example, the determination unit 38 determines that noise has been detected during the test cycle in response to the noise input unit 50 detecting L logic or H logic. Furthermore, as an example, if the determination unit 38 determines that noise has been detected, the determination unit 38 may notify the user that noise has been generated. For example, the determination unit 38 may notify the number of a terminal connected to the noise input unit 50 in which noise is detected, or may display the noise level in a graph.

ハンドラ制御部４０は、ハンドラ装置２００における動作を制御する。すなわち、ハンドラ制御部４０は、ハンドラ装置２００が被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載し、またはハンドラ装置２００がデバイス搭載部１２から取り外す動作を制御する。   The handler control unit 40 controls the operation in the handler device 200. That is, the handler control unit 40 controls an operation in which the handler device 200 mounts the device under test 100 on the device mounting unit 12 or removes the handler device 200 from the device mounting unit 12.

図４は、入力信号およびノイズの有無の判定結果の一例を示す。ノイズ入力部５０は、スイッチ３６がオンとされ且つノイズ伝送路２６を介してなんら信号が入力されない場合、入力端子の電圧が、例えば基準範囲の略中心電位である基準電位ＶＴとなる。従って、ノイズ入力部５０は、ノイズ伝送路２６を介して伝播されたノイズの電圧と、基準電位ＶＴとを加算した電圧を入力する。 FIG. 4 shows an example of the determination result of the presence of the input signal and noise. Noise input unit 50, when the switch 36 is no signal through the noise transmission path 26 and is turned on is not input, the voltage input terminal, a reference potential V T is approximately central potential of example reference range. Therefore, the noise input unit 50 inputs the voltage of the noise that is propagated through the noise transmission path 26, a voltage obtained by adding the reference potential V T.

ノイズ入力部５０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間内において、入力電圧が一瞬でもＨ論理閾値電圧ＶＯＨより大きくなった場合、または、入力電圧が一瞬でもＬ論理閾値電圧ＶＯＬより小さくなった場合、入力信号の電圧が基準範囲外となったと検出する。従って、ノイズ入力部５０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間内において、基準範囲外の電圧（例えば（ＶＯＨ−ＶＴ）より大きい電圧および（ＶＯＬ−ＶＴ）より小さい電圧）のノイズが、一瞬でもノイズ伝送路２６から入力されたか否かを検出することができる。 The noise input unit 50 is less than the L logic threshold voltage V OL when the input voltage is even higher than the H logic threshold voltage V OH for a moment or within the period specified by the window strobe signal. If it is detected that the voltage of the input signal is out of the reference range. Therefore, the noise input unit 50 is a noise having a voltage outside the reference range (for example, a voltage larger than (V OH −V T ) and a voltage smaller than (V OL −V T )) within the period specified by the window strobe signal. However, it is possible to detect whether or not the signal is input from the noise transmission path 26 even for a moment.

以上のように、試験装置１０によれば、例えばオシロスコープおよびスペクトラムアナライザのような測定装置を用いずに、当該試験装置１０内の信号入力部２４を流用した簡易な構成で、装置外部および内部において発生したノイズを測定することができる。また、試験装置１０によれば、ウィンドウストローブ信号によりノイズを検出するので、瞬時的に発生されるノイズも検出することができる。   As described above, according to the test apparatus 10, the signal input unit 24 in the test apparatus 10 is used without using a measurement apparatus such as an oscilloscope or a spectrum analyzer. The generated noise can be measured. Further, according to the test apparatus 10, since noise is detected by the window strobe signal, it is also possible to detect instantaneously generated noise.

また、試験装置１０は、一例として、Ｈ論理側コンパレータ５６およびＬ論理側コンパレータ５８の閾値電圧を制御することにより、検出制御部２８によりノイズとして検出する電圧の基準範囲を制御することができる。従って、試験装置１０は、例えば、ＥＳＤのような数１０ボルト程度の大きなレベルのノイズを検出する場合には基準範囲を大きくし、基準電圧に含まれるノイズのような小さいレベルのノイズを検出する場合には基準範囲を小さくすることができる。これにより、試験装置１０によれば、ノイズとして検出する電圧範囲を、状況に応じた最適な値に設定することができる。   For example, the test apparatus 10 can control the reference range of the voltage detected as noise by the detection control unit 28 by controlling the threshold voltages of the H logic side comparator 56 and the L logic side comparator 58. Accordingly, the test apparatus 10 increases the reference range when detecting a large level of noise such as ESD of about several tens of volts, and detects a small level of noise such as noise included in the reference voltage. In some cases, the reference range can be reduced. Thereby, according to the test apparatus 10, the voltage range detected as noise can be set to an optimum value according to the situation.

図５は、本実施形態に係る試験装置１０のノイズ検出フローの一例を示す。まず、検出制御部２８は、基準範囲を適切な値に設定する（ステップＳ１００１）。すなわち、検出制御部２８は、閾値電位発生部５４が発生するＨ論理閾値電圧ＶＯＨおよびＬ論理閾値電圧ＶＯＬ、並びに、基準電位発生部３２が発生する基準電位ＶＴを適切な値に設定する。 FIG. 5 shows an example of a noise detection flow of the test apparatus 10 according to the present embodiment. First, the detection control unit 28 sets the reference range to an appropriate value (step S1001). In other words, the detection control unit 28 sets the H logic threshold voltage V OH and L logic threshold voltage V OL generated by the threshold potential generation unit 54 and the reference potential V T generated by the reference potential generation unit 32 to appropriate values. To do.

次に、ハンドラ制御部４０は、ハンドラ装置２００を制御して、被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載して被試験デバイス１００の電気的な試験を行うことなくデバイス搭載部１２から被試験デバイス１００を取り外すダミー動作を繰り返させる（Ｓ１００２）。さらに、ステップＳ１００２において、検出制御部２８は、ハンドラ装置２００が被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載し、デバイス搭載部１２から被試験デバイス１００を取り外すハンドラ装置２００の動作中に、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させる（Ｓ１００２）。検出制御部２８は、一例として、ハンドラ装置２００が被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載する動作および被試験デバイス１００を取り外す動作の少なくとも一方を行う度に、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させてよい。   Next, the handler control unit 40 controls the handler device 200 to mount the device under test 100 on the device mounting unit 12 and perform an electrical test on the device under test 100 from the device mounting unit 12. The dummy operation for removing the device 100 is repeated (S1002). Further, in step S1002, the detection control unit 28 inputs noise during operation of the handler apparatus 200 in which the handler apparatus 200 mounts the device under test 100 on the device mounting section 12 and removes the device under test 100 from the device mounting section 12. The voltage outside the reference range is detected by the unit 50 (S1002). For example, the detection control unit 28 causes the noise input unit 50 to be out of the reference range every time the handler apparatus 200 performs at least one of the operation of mounting the device under test 100 on the device mounting unit 12 and the operation of removing the device under test 100. May be detected.

次に、判定部３８は、ハンドラ装置２００の動作中にノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する（Ｓ１００３）。そして、判定部３８は、ハンドラ装置２００の動作中にノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、ハンドラ装置２００の動作によりノイズが発生したことを特定する（Ｓ１００４）。   Next, the determination unit 38 determines whether or not the noise input unit 50 has detected a voltage outside the reference range during the operation of the handler device 200 (S1003). Then, the determination unit 38 specifies that noise has been generated by the operation of the handler device 200 in response to the noise input unit 50 detecting a voltage outside the reference range during the operation of the handler device 200 (S1004).

以上の処理により、試験装置１０によれば、ハンドラ装置２００の動作中に発生するノイズを検出することができる。さらに、ノイズ伝送路２６は、ノイズ入力部５０と接続されていない側の他端が、被試験デバイス１００の搭載時において当該被試験デバイス１００のいずれかの端子と接続していてよい。これにより、このノイズ伝送路２６が接続されたノイズ入力部５０は、ハンドラ装置２００による繰り返し動作によって被試験デバイス１００に帯電した電荷が、例えばソケット２０に接触した瞬間にハンドラ装置２００から試験装置１０へ放電するＥＳＤを、検出することができる。   Through the above processing, the test apparatus 10 can detect noise generated during the operation of the handler apparatus 200. Further, the other end of the noise transmission path 26 that is not connected to the noise input unit 50 may be connected to any terminal of the device under test 100 when the device under test 100 is mounted. As a result, the noise input unit 50 to which the noise transmission path 26 is connected is configured so that the charge charged to the device under test 100 due to the repetitive operation by the handler device 200 comes into contact with the socket 20 from the handler device 200 to the test device 10. ESD discharged to the

また、試験装置１０は、ステップＳ１００２において、被試験デバイス１００がデバイス搭載部１２に搭載されている期間に、被試験デバイス１００の電気的な試験を行ってもよい。また、この場合、デバイス搭載部１２は、複数の信号出力部２２と被試験デバイス１００、およびノイズ入力部５０以外の信号入力部２４と被試験デバイス１００の間を電気的に接続する。これによりデバイス搭載部１２は、信号出力部２２から出力される試験信号を被試験デバイス１００に供給し、被試験デバイス１００から出力された出力信号をノイズ入力部５０以外の信号入力部２４に供給することができる。また、この場合、デバイス搭載部１２は、一例として、試験対象外の被試験デバイス１００の端子とノイズ入力部５０とをノイズ伝送路２６を介して接続してもよい。以上によりノイズ入力部５０は、実際の試験中において発生するノイズを検出することができる。   Further, the test apparatus 10 may perform an electrical test of the device under test 100 during the period when the device under test 100 is mounted on the device mounting unit 12 in step S1002. Further, in this case, the device mounting unit 12 electrically connects the signal input unit 24 other than the plurality of signal output units 22 and the device under test 100 and the noise input unit 50 and the device under test 100. Thus, the device mounting unit 12 supplies the test signal output from the signal output unit 22 to the device under test 100 and supplies the output signal output from the device under test 100 to the signal input unit 24 other than the noise input unit 50. can do. In this case, as an example, the device mounting unit 12 may connect the terminal of the device under test 100 that is not a test target and the noise input unit 50 via the noise transmission path 26. As described above, the noise input unit 50 can detect noise generated during an actual test.

図６は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。   FIG. 6 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a first modification of the present embodiment. Since the test apparatus 10 according to this modification employs substantially the same configuration and function as the members having the same reference numerals shown in FIG. 2, the description thereof will be omitted except for the following differences.

本変形例に係る試験装置１０は、基準電圧源６２を更に備える。基準電圧源６２は、予め設定された基準電圧を出力する。また、本変形例に係る試験装置１０は、少なくとも１つの信号出力部２２がアナログ信号を出力する。アナログ信号を出力する少なくとも１つの信号出力部２２は、ＤＡ変換器６４を有する。ＤＡ変換器６４は、基準電圧源６２に接続され、被試験デバイス１００へと出力すべき出力電圧のデジタル値を入力して基準電圧に基づきアナログの出力電圧に変換する。   The test apparatus 10 according to this modification further includes a reference voltage source 62. The reference voltage source 62 outputs a preset reference voltage. In the test apparatus 10 according to this modification, at least one signal output unit 22 outputs an analog signal. At least one signal output unit 22 that outputs an analog signal includes a DA converter 64. The DA converter 64 is connected to the reference voltage source 62, inputs a digital value of the output voltage to be output to the device under test 100, and converts it into an analog output voltage based on the reference voltage.

ノイズ入力部５０は、ノイズ伝送路２６を介して、基準電圧源６２の電圧出力端に接続される。ノイズ入力部５０は、一例として、デバイス搭載部１２内に形成されたノイズ伝送路２６を介して基準電圧源６２に接続されてよい。これにより、ノイズ入力部５０は、基準電圧源６２から出力された基準電圧を入力することができる。また、ノイズ入力部５０は、更にコンデンサ６６を介して、基準電圧源６２から出力された基準電圧を入力してよい。これにより、ノイズ入力部５０は、基準電圧源６２から出力された基準電圧に含まれる交流成分を入力することができる。   The noise input unit 50 is connected to the voltage output terminal of the reference voltage source 62 via the noise transmission path 26. For example, the noise input unit 50 may be connected to the reference voltage source 62 via the noise transmission path 26 formed in the device mounting unit 12. Thereby, the noise input unit 50 can input the reference voltage output from the reference voltage source 62. Further, the noise input unit 50 may further input the reference voltage output from the reference voltage source 62 via the capacitor 66. Thereby, the noise input unit 50 can input an AC component included in the reference voltage output from the reference voltage source 62.

このようなノイズ入力部５０は、基準電圧源６２から出力された基準電圧に含まれる交流成分が、基準範囲外となったか否かを検出することができる。そして、判定部３８は、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、基準電圧にノイズが検出されたか否かを判定する。このような本変形例に係る試験装置１０によれば、基準電圧源６２から発生された基準電圧に含まれるノイズを検出することができる。   Such a noise input unit 50 can detect whether or not the AC component included in the reference voltage output from the reference voltage source 62 is out of the reference range. Then, the determination unit 38 determines whether or not noise is detected in the reference voltage in response to detection of a voltage outside the reference range by the noise input unit 50. According to such a test apparatus 10 according to this modification, noise included in the reference voltage generated from the reference voltage source 62 can be detected.

図７は、第１変形例に係る試験装置１０のノイズ検出処理フローの一例を示す。まず、検出制御部２８は、基準範囲を適切な値に初期設定する（ステップＳ１１０１）。次に、検出制御部２８は、例えば、アナログ信号を出力する信号出力部２２、ハンドラ装置２００またはその他の外部装置等を動作させる。これとともに、検出制御部２８は、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させる（Ｓ１１０２）。次に、判定部３８は、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する（Ｓ１１０３）。   FIG. 7 shows an example of a noise detection process flow of the test apparatus 10 according to the first modification. First, the detection control unit 28 initializes the reference range to an appropriate value (step S1101). Next, the detection control unit 28 operates, for example, the signal output unit 22 that outputs an analog signal, the handler device 200, or another external device. At the same time, the detection control unit 28 causes the noise input unit 50 to detect a voltage outside the reference range (S1102). Next, the determination unit 38 determines whether or not the noise input unit 50 has detected a voltage outside the reference range (S1103).

次に、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、検出制御部２８は、基準範囲を所定量分拡大する（Ｓ１１０４）。次に、検出制御部２８は、例えば外部装置等に対して、ノイズが検出された時と同一の動作をさせるとともに、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させる（Ｓ１１０５）。   Next, in response to the noise input unit 50 detecting a voltage outside the reference range, the detection control unit 28 expands the reference range by a predetermined amount (S1104). Next, the detection control unit 28 causes the external device or the like to perform the same operation as when noise is detected, and causes the noise input unit 50 to detect a voltage outside the reference range (S1105).

次に、判定部３８は、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する（Ｓ１１０６）。ここで、検出制御部２８は、ステップＳ１１０６において、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したことを条件として（Ｓ１１０６のＹｅｓ）、処理をステップＳ１１０４に戻す。また、検出制御部２８は、例えば一定期間以上、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出しなかったことを条件として（Ｓ１１０６のＮｏ）、処理をステップＳ１１０７に進める。すなわち、検出制御部２８は、ノイズ発生源の機器にノイズ発生時における動作を繰り返させるとともに、ノイズが検出されたことに応じて基準範囲をより広げていく。   Next, the determination unit 38 determines whether or not the noise input unit 50 has detected a voltage outside the reference range (S1106). Here, the detection control unit 28 returns the process to step S1104 on condition that the noise input unit 50 detects a voltage outside the reference range in step S1106 (Yes in S1106). For example, the detection control unit 28 advances the process to step S1107 on condition that the noise input unit 50 has not detected a voltage outside the reference range for a certain period or longer (No in S1106). That is, the detection control unit 28 causes the noise source device to repeat the operation at the time of noise generation, and further expands the reference range according to the detection of noise.

ステップＳ１１０６においてＮｏの場合、次に、検出制御部２８は、直前に設定されていた基準範囲に基づき、ノイズの大きさを判定する（Ｓ１１０７）。すなわち、検出制御部２８は、ノイズが検出された基準範囲の最大範囲に応じてノイズの大きさを判定する。   In the case of No in step S1106, the detection control unit 28 next determines the magnitude of noise based on the reference range set immediately before (S1107). That is, the detection control unit 28 determines the magnitude of noise according to the maximum range of the reference range in which noise is detected.

以上のように、試験装置１０は、例えば外部機器等の動作に起因してノイズが繰り返し発生する場合、ノイズを繰り返し発生させるとともに基準範囲を徐々に大きくする。そして、試験装置１０は、ノイズが検出できる最大の基準範囲を検出する。これにより、試験装置１０によれば、ノイズの大きさを測定することができる。   As described above, when noise repeatedly occurs due to, for example, the operation of an external device or the like, the test apparatus 10 repeatedly generates noise and gradually increases the reference range. Then, the test apparatus 10 detects the maximum reference range in which noise can be detected. Thereby, according to the test apparatus 10, the magnitude | size of noise can be measured.

また、試験装置１０は、例えば外部機器等の動作に起因してノイズが繰り返し発生する場合、試験周期と同期させてノイズを繰り返し発生させるとともに、ウィンドウストローブ信号を制御してノイズ検出範囲を徐々に狭めてもよい。そして、試験装置１０は、所定の時間範囲までノイズ検出範囲を狭めて、ノイズが発生したタイミングを検出してもよい。これにより、試験装置１０によれば、ノイズ発生源となる機器におけるノイズ発生動作を特定することができる。   In addition, when noise repeatedly occurs due to, for example, the operation of an external device or the like, the test apparatus 10 repeatedly generates noise in synchronization with the test cycle, and gradually controls the noise detection range by controlling the window strobe signal. It may be narrowed. Then, the test apparatus 10 may detect the timing at which noise occurs by narrowing the noise detection range to a predetermined time range. Thereby, according to the test apparatus 10, it is possible to specify a noise generation operation in a device that is a noise generation source.

図８は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。   FIG. 8 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a second modification of the present embodiment. Since the test apparatus 10 according to this modification employs substantially the same configuration and function as the members having the same reference numerals shown in FIG. 2, the description thereof will be omitted except for the following differences.

本変形例に係る試験装置１０は、周期設定部７０を更に備える。周期設定部７０は、被試験デバイス１００の動作試験を行わない期間中において、動作試験を行う期間と比較して試験周期を大きく設定する。本変形例において、検出制御部２８は、被試験デバイス１００の動作試験を行わない期間中において、入力信号の電圧が基準範囲外となったか否かを検出する。   The test apparatus 10 according to this modification further includes a cycle setting unit 70. The period setting unit 70 sets the test period to be larger than the period during which the operation test is performed during the period during which the operation test of the device under test 100 is not performed. In this modification, the detection control unit 28 detects whether or not the voltage of the input signal is out of the reference range during a period when the operation test of the device under test 100 is not performed.

さらに、検出制御部２８は、試験周期中における入力信号の電圧が基準範囲外となったか否かを検出する期間の割合を最大に設定してもよい。すなわち、検出制御部２８は、それぞれの試験周期中におけるノイズ検出期間を指定するウィンドウストローブ信号の時間幅を、設定可能な最大期間に設定する。   Furthermore, the detection control unit 28 may set the ratio of the period for detecting whether or not the voltage of the input signal during the test cycle is out of the reference range to the maximum. In other words, the detection control unit 28 sets the time width of the window strobe signal that specifies the noise detection period in each test cycle to the maximum settable period.

このような試験装置１０によれば、試験周期を長くするので、ウィンドウストローブ信号により特定されるノイズ検出期間を、より長くすることができる。これにより、試験装置１０によれば、発生頻度が少ない単発のノイズであっても、より確実に検出することができる。   According to such a test apparatus 10, since the test cycle is lengthened, the noise detection period specified by the window strobe signal can be further lengthened. Thereby, according to the test apparatus 10, even single noise with low occurrence frequency can be detected more reliably.

図９は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１０の構成を示す。図１０は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１０におけるウィンドウストローブ信号の一例を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。   FIG. 9 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a third modification of the present embodiment. FIG. 10 shows an example of a window strobe signal in the test apparatus 10 according to the third modification of the present embodiment. Since the test apparatus 10 according to this modification employs substantially the same configuration and function as the members having the same reference numerals shown in FIG. 2, the description thereof will be omitted except for the following differences.

本変形例において、一つのノイズ伝送路２６は、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２に接続される。また、本変形例において、検出制御部２８は、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２を、ノイズ伝送路２６から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードとする。そして、検出制御部２８は、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２を、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２における、入力信号の電圧が基準範囲外となったか否かを検出できない非検出期間が重ならないように試験周期中における検出期間を設定する。   In this modification, one noise transmission path 26 is connected to the noise input unit 50-1 and the noise input unit 50-2. Further, in this modification, the detection control unit 28 sets the noise input unit 50-1 and the noise input unit 50-2 so that the voltage of the input signal input from the noise transmission path 26 is set in advance during the test cycle. The window detection mode is used to detect whether or not the reference range is exceeded in each test cycle. Then, the detection control unit 28 determines whether the noise input unit 50-1 and the noise input unit 50-2 are out of the reference range in the noise input unit 50-1 and the noise input unit 50-2. The detection period in the test cycle is set so that the non-detection periods during which no detection is possible overlap.

検出制御部２８は、一例として、図１０に表されるような、第１のウィンドウストローブ信号を第１のノイズ入力部５０−１に供給し、第２のウィンドウストローブ信号を第２のノイズ入力部５０−２に供給する。すなわち、検出制御部２８は、互いの非検出期間（例えば、図１０におけるＬ論理の期間）が重ならない第１のウィンドウストローブ信号および第２のウィンドウストローブ信号を、第１のノイズ入力部５０−１および第２のノイズ入力部５０−２に供給する。   As an example, the detection control unit 28 supplies a first window strobe signal as shown in FIG. 10 to the first noise input unit 50-1, and the second window strobe signal as a second noise input. To the unit 50-2. That is, the detection control unit 28 outputs the first window strobe signal and the second window strobe signal that do not overlap each other's non-detection period (for example, the period of L logic in FIG. 10) to the first noise input unit 50-. The first and second noise input units 50-2 are supplied.

そして、判定部３８は、第１のノイズ入力部５０−１および第２のノイズ入力部５０−２のそれぞれが、基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する。これにより、例えば、ウィンドウストローブ信号により指定できる検出期間を、装置の制約上の理由から試験周期よりも短くしなければならない場合であっても、試験装置１０によれば、各試験周期の１周期にわたって（すなわち、非検出期間なしに）、ノイズを検出することができる。   Then, the determination unit 38 determines whether each of the first noise input unit 50-1 and the second noise input unit 50-2 has detected a voltage outside the reference range. Thereby, for example, even if the detection period that can be specified by the window strobe signal has to be shorter than the test period for the reason of the apparatus limitation, according to the test apparatus 10, one period of each test period Over time (ie, without a non-detection period), noise can be detected.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０、被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００を示す。FIG. 1 shows a test apparatus 10, a device under test 100, and a handler apparatus 200 according to an embodiment of the present invention. 図２は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を、被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００とともに示す。FIG. 2 shows the configuration of the test apparatus 10 according to the embodiment of the present invention, together with the device under test 100 and the handler apparatus 200. 図３は、ウィンドウストローブ信号の一例を示す。FIG. 3 shows an example of the window strobe signal. 図４は、入力信号およびノイズの有無の判定結果の一例を示す。FIG. 4 shows an example of the determination result of the presence of the input signal and noise. 図５は、本発明の実施形態に係る試験装置１０のノイズ検出フローの一例を示す。FIG. 5 shows an example of a noise detection flow of the test apparatus 10 according to the embodiment of the present invention. 図６は、本発明の実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。FIG. 6 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a first modification of the embodiment of the present invention. 図７は、第１変形例に係る試験装置１０のノイズ検出処理フローの一例を示す。FIG. 7 shows an example of a noise detection process flow of the test apparatus 10 according to the first modification. 図８は、本発明の実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。FIG. 8 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a second modification of the embodiment of the present invention. 図９は、本発明の実施形態の第３変形例に係る試験装置１０の構成を示す。FIG. 9 shows a configuration of a test apparatus 10 according to a third modification of the embodiment of the present invention. 図１０は、本発明の実施形態の第３変形例に係る試験装置１０におけるウィンドウストローブ信号の一例を示す。FIG. 10 shows an example of the window strobe signal in the test apparatus 10 according to the third modification of the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 試験装置
１２ デバイス搭載部
１４ テストヘッド
１６ 制御装置
１８ パフォーマンスボード
２０ ソケット
２２ 信号出力部
２４ 信号入力部
２６ ノイズ伝送路
２８ 検出制御部
３２ 基準電位発生部
３４ 抵抗
３６ スイッチ
３８ 判定部
４０ ハンドラ制御部
５０ ノイズ入力部
５２ ドライバ
５４ 閾値電位発生部
５６ Ｈ論理側コンパレータ
５８ Ｌ論理側コンパレータ
６０ 論理比較部
６２ 基準電圧源
６４ ＤＡ変換器
６６ コンデンサ
７０ 周期設定部
１００ 被試験デバイス
２００ ハンドラ装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Test apparatus 12 Device mounting part 14 Test head 16 Control apparatus 18 Performance board 20 Socket 22 Signal output part 24 Signal input part 26 Noise transmission path 28 Detection control part 32 Reference potential generation part 34 Resistance 36 Switch 38 Judgment part 40 Handler control part DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Noise input part 52 Driver 54 Threshold potential generation part 56 H logic side comparator 58 L logic side comparator 60 Logic comparison part 62 Reference voltage source 64 DA converter 66 Capacitor 70 Period setting part 100 Device under test 200 Handler device

Claims (10)

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれが前記被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部と、
当該試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの前記信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路と、
前記少なくとも１つの信号入力部を、前記ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードで動作させる検出制御部と、
前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する判定部と
を備える試験装置。 A test apparatus for testing a device under test,
A plurality of signal output units each outputting a test signal to a terminal of the device under test;
A plurality of signal input units that respectively input signals output from the terminals of the device under test according to the test signal;
A noise transmission path for propagating noise to at least one of the signal input units used to detect noise of the test apparatus;
In the window detection mode, the at least one signal input unit detects, for each test cycle, whether or not the voltage of the input signal input from the noise transmission path is outside a preset reference range during the test cycle. A detection control unit to be operated;
A test apparatus comprising: a determination unit that determines that noise has been detected during the test cycle in response to detection of a voltage outside the reference range by the at least one signal input unit. 少なくとも１つの前記信号出力部は、予め設定された基準電圧を出力する基準電圧源に接続され、前記被試験デバイスへと出力すべき出力電圧のデジタル値を入力して前記基準電圧に基づきアナログの前記出力電圧に変換するＤＡ変換器を有し、
前記少なくとも１つの信号入力部は、前記ノイズ伝送路を介して前記基準電圧源に接続され、
前記判定部は、前記基準電圧にノイズが検出されたか否かを判定する
請求項１に記載の試験装置。 At least one of the signal output units is connected to a reference voltage source that outputs a preset reference voltage, inputs a digital value of an output voltage to be output to the device under test, and receives an analog value based on the reference voltage. A DA converter for converting the output voltage;
The at least one signal input unit is connected to the reference voltage source via the noise transmission path;
The test apparatus according to claim 1, wherein the determination unit determines whether noise is detected in the reference voltage. 前記ノイズ伝送路は、一端が前記少なくとも１つの信号入力部に接続され、他端が予め定められた基準電位に接続され、前記一端と前記他端の間に抵抗を有する請求項１に記載の試験装置。   2. The noise transmission path according to claim 1, wherein one end of the noise transmission path is connected to the at least one signal input unit, the other end is connected to a predetermined reference potential, and a resistor is provided between the one end and the other end. Test equipment. 前記被試験デバイスが搭載され、前記被試験デバイスと前記複数の信号出力部、および前記少なくとも１つの信号入力部以外の前記信号入力部と前記被試験デバイスの間を電気的に接続するデバイス搭載部を更に備え、
前記検出制御部は、前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載し、または前記デバイス搭載部から取り外すハンドラ装置の動作中に、前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧を検出させ、
前記判定部は、前記ハンドラ装置の動作中に前記少なくとも１つの信号入力部が前記基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、前記ハンドラ装置の動作によりノイズが発生したことを特定する
請求項１に記載の試験装置。 A device mounting portion on which the device under test is mounted, and electrically connects between the device under test and the plurality of signal output portions, and between the signal input portion other than the at least one signal input portion and the device under test. Further comprising
The detection control unit causes the at least one signal input unit to detect a voltage outside the reference range during operation of a handler device that mounts the device under test on the device mounting unit or removes the device from the device mounting unit. ,
The determination unit specifies that noise is generated by the operation of the handler device in response to the at least one signal input unit detecting a voltage outside the reference range during the operation of the handler device. The test apparatus according to 1. 前記ハンドラ装置を制御して、前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載して前記被試験デバイスの電気的な試験を行うことなく前記デバイス搭載部から前記被試験デバイスを取り外す動作を繰り返させるハンドラ制御部を更に備え、
前記判定部は、前記ハンドラ装置が前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載する動作および前記被試験デバイスを取り外す動作の少なくとも一方を行う度に前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧が検出されたことに応じて、前記ハンドラ装置の動作によりノイズが発生したことを特定する
請求項４に記載の試験装置。 A handler that controls the handler device to repeat the operation of mounting the device under test on the device mounting portion and removing the device under test from the device mounting portion without performing an electrical test of the device under test. A control unit;
The determination unit is out of the reference range by the at least one signal input unit every time the handler device performs at least one of an operation of mounting the device under test on the device mounting unit and an operation of removing the device under test. The test apparatus according to claim 4, wherein noise is generated by an operation of the handler device in response to detection of a voltage. 前記検出制御部は、ノイズが検出されたことに応じて前記基準範囲をより広げていき、
前記判定部は、ノイズが検出される前記基準範囲の最大範囲に応じてノイズの大きさを判定する
請求項１に記載の試験装置。 The detection control unit further expands the reference range in response to detection of noise,
The test apparatus according to claim 1, wherein the determination unit determines the magnitude of noise according to a maximum range of the reference range in which noise is detected. 前記被試験デバイスの動作試験を行わない期間中において、前記動作試験を行う期間と比較して前記試験周期を大きく設定する周期設定部を更に備え、
前記検出制御部は、前記被試験デバイスの動作試験を行わない期間中において、前記入力信号の電圧が前記基準範囲外となったか否かを検出する
請求項１に記載の試験装置。 In a period during which the operation test of the device under test is not performed, the apparatus further includes a cycle setting unit that sets the test cycle to be larger than a period during which the operation test is performed,
The test apparatus according to claim 1, wherein the detection control unit detects whether or not a voltage of the input signal is out of the reference range during a period in which an operation test of the device under test is not performed. 前記検出制御部は、試験周期中における前記入力信号の電圧が前記基準範囲外となったか否かを検出する期間の割合を最大に設定する請求項１に記載の試験装置。   The test apparatus according to claim 1, wherein the detection control unit sets a ratio of a period for detecting whether or not the voltage of the input signal is out of the reference range during a test cycle. 前記ノイズ伝送路は、第１の前記信号入力部および第２の前記信号入力部に接続され、
前記検出制御部は、前記第１の信号入力部および前記第２の信号入力部を、前記ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードとし、前記第１の信号入力部および前記第２の信号入力部における、前記入力信号の電圧が前記基準範囲外となったか否かを検出できない非検出期間が重ならないように試験周期中における検出期間を設定する
請求項１に記載の試験装置。 The noise transmission path is connected to the first signal input unit and the second signal input unit,
The detection control unit causes the first signal input unit and the second signal input unit to be out of a reference range in which a voltage of an input signal input from the noise transmission path is set in advance during a test cycle. In the window detection mode for detecting whether or not the test signal has been detected at each test cycle, it is impossible to detect whether or not the voltage of the input signal in the first signal input unit and the second signal input unit is out of the reference range. The test apparatus according to claim 1, wherein the detection period in the test cycle is set so that the non-detection periods do not overlap. 被試験デバイスを試験する試験装置を制御して、前記試験装置のノイズを検出する検出方法であって、
前記試験装置は、
それぞれが前記被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部と
を備え、
前記試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの前記信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路を接続することと、
前記少なくとも１つの信号入力部を、前記ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードで動作させることと、
前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定することと
を備える検出方法。 A detection method for controlling a test apparatus for testing a device under test to detect noise of the test apparatus,
The test apparatus comprises:
A plurality of signal output units each outputting a test signal to a terminal of the device under test;
A plurality of signal input units that respectively input signals output from the terminals of the device under test according to the test signal;
Connecting a noise transmission path for propagating noise to at least one of the signal input units used to detect noise of the test apparatus;
In the window detection mode, the at least one signal input unit detects, for each test cycle, whether or not the voltage of the input signal input from the noise transmission path is outside a preset reference range during the test cycle. To make it work,
Determining that noise has been detected during the test period in response to detecting a voltage outside the reference range by the at least one signal input unit.
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