JP2008151264A - Cage for roller bearing - Google Patents

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    • F16C23/086Ball or roller bearings self-adjusting by means of at least one substantially spherical surface forming a track for rolling elements

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a roller bearing cage having excellent abrasion resistance applicable to a roller bearing used in a high-speed revolution region and a high PV region. <P>SOLUTION: The cage 5 incorporated in the self-aligning roller bearing 1 is a pressed cage formed by press-molding a steel plate. The surface of the base material is coated with a diamond-like carbon (DLC) layer D having a lubricating property. The DLC layer D is composed of five layers, a carbon layer C composed of carbon, a composite carbon layer FC composed of tungsten and carbon, a first metal layer M1 composed of tungsten, a composite metal layer FM composed of tungsten and chromium and a second metal layer M2 composed of chromium. The five layers are arranged in the order of the carbon layer C, the composite carbon layer FC, the first metal layer M1, the composite metal layer FM and the second metal layer M2 starting from the surface side of the DLC layer D. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、転がり軸受に組み込まれる鋼製の保持器に関する。   The present invention relates to a steel cage incorporated in a rolling bearing.

従来から、負荷が作用する転がり軸受には、強度に優れる高力黄銅製のもみ抜き保持器がよく使用されている。しかしながら、高力黄銅は自己潤滑性を有しているものの高価であるので、高力黄銅製のもみ抜き保持器は材料コストが高いという問題点があった。また、もみ抜きにより加工されるため、加工費が高く、材料歩留まりも低い。よって、高力黄銅製のもみ抜き保持器は、特殊用途に限定されていた。このようなことから、近年においては、SPCC材に代表される冷間圧延鋼板やSPHD材に代表される熱間圧延鋼板から製造されたプレス保持器が多く使用されるようになっている。   Conventionally, a high-strength brass machined cage that is excellent in strength is often used for a rolling bearing on which a load acts. However, high strength brass has a self-lubricating property, but is expensive. Therefore, a high strength brass machined cage has a problem of high material cost. In addition, since it is processed by milling, the processing cost is high and the material yield is low. Therefore, the high-strength brass machined cage has been limited to special applications. For these reasons, in recent years, many press retainers manufactured from cold rolled steel sheets typified by SPCC materials or hot rolled steel sheets typified by SPHD materials have been used.

一般にSPCC材は高力黄銅と比較して摺動性,耐摩耗性が劣るため、潤滑条件が厳しい場合には、転動体と保持器ポケットとの接触部や、保持器の案内面と軌動輪との接触部で摩耗が著しく進行して、回転精度が低下する場合があり、最悪の場合には焼付きが生じて破損に至る場合があった。このため、SPCC材製又はSPHD材製の保持器には、塩浴窒化処理やガス軟窒化処理に代表される軟窒化処理を施して、鉄と窒素の化合物からなる硬質な窒化物層を保持器表面に形成して耐摩耗性を向上させる努力がなされてきた。   In general, SPCC materials are inferior in sliding property and wear resistance compared to high-strength brass. Therefore, when the lubrication conditions are severe, the contact portion between the rolling element and the cage pocket, the guide surface of the cage and the race wheel Wear may significantly progress at the contact area with the material, and rotation accuracy may be reduced. In the worst case, seizure may occur and damage may occur. For this reason, the cage made of SPCC material or SPHD material is subjected to soft nitriding treatment represented by salt bath nitriding treatment or gas soft nitriding treatment to hold a hard nitride layer made of a compound of iron and nitrogen. Efforts have been made to improve wear resistance by forming on the vessel surface.

例えば、特許文献1には、鋼板製プレス保持器に軟窒化処理を施して表面に窒化物層を形成し、耐摩耗性を改善する技術が開示されている。窒化物層の耐摩耗性は窒化物層の構造に支配されるので、表面に形成される多孔質層と、多孔質層の直下に形成される緻密層との厚さを規定することにより、多孔質層の油溜まりとしての効果を高め、保持器の耐摩耗性を改善している。   For example, Patent Document 1 discloses a technique for improving wear resistance by applying a soft nitriding treatment to a steel plate press cage to form a nitride layer on the surface. Since the wear resistance of the nitride layer is governed by the structure of the nitride layer, by defining the thickness of the porous layer formed on the surface and the dense layer formed immediately below the porous layer, The effect of the porous layer as an oil reservoir is enhanced, and the wear resistance of the cage is improved.

一方、材料の摺動性や耐摩耗性を改善する手段としてダイヤモンドライクカーボン(以降はDLCと記すこともある)の被覆がある。DLCは、その表面がダイヤモンドに準ずる硬さを有し、摺動抵抗も摩擦係数が0.2以下と二硫化モリブデンやフッ素樹脂と同様に小さいことから、従来から潤滑性材料として使用されている。さらに、その特異な表面の性質から、DLCは転がり摺動部材の新たな潤滑性材料として注目されており、近年、軸受への潤滑性の付与に利用されている。   On the other hand, as a means for improving the slidability and wear resistance of the material, there is a coating of diamond-like carbon (hereinafter sometimes referred to as DLC). DLC has a hardness similar to that of diamond and has a sliding coefficient as low as 0.2 or less, as well as molybdenum disulfide and fluororesin. . Furthermore, due to its unique surface properties, DLC has attracted attention as a new lubrication material for rolling and sliding members, and has recently been used to impart lubricity to bearings.

例えば、特許文献2には、軌道輪の軌道面や転動体の表面に金属を含有するDLC膜を備えた転がり軸受が開示されている。この転がり軸受においては、前記DLC膜により接触応力が緩和される。
また、CVD法,プラズマCVD法,イオンビーム形成法,イオン化蒸着法,非平衡型マグネトロンを用いたスパッタリング法等によって、軌道輪の軌道面や転動体の表面にDLC膜を形成した転がり軸受等の転動装置が知られている(特許文献3を参照)。
特開2001−90734号公報 国際公開第99/14512号パンフレット 特開2003−56575号公報
For example, Patent Document 2 discloses a rolling bearing including a DLC film containing metal on the raceway surface of a raceway or the surface of a rolling element. In this rolling bearing, the contact stress is relieved by the DLC film.
In addition, a rolling bearing having a DLC film formed on the raceway surface of the raceway and the surface of the rolling element by CVD method, plasma CVD method, ion beam forming method, ionized vapor deposition method, sputtering method using non-equilibrium magnetron, etc. A rolling device is known (see Patent Document 3).
JP 2001-90734 A WO99 / 14512 pamphlet JP 2003-56575 A

しかしながら、特許文献1に記載の保持器は、転がり軸受の使用条件が通常の条件である場合は、多孔質層の油溜まりの効果によって安定した耐摩耗性を発揮することができるが、転がり軸受が許容回転速度に近い高速で回転され、保持器と転動体との滑り速度が15m/sとなるような高PV領域で使用される場合は、強度が低い最表面側の多孔質層が脱落し、耐摩耗性が不十分となる場合があった。   However, the cage described in Patent Document 1 can exhibit stable wear resistance due to the effect of the oil accumulation in the porous layer when the usage conditions of the rolling bearing are normal conditions. Is rotated at a high speed close to the permissible rotational speed, and when used in a high PV region where the sliding speed between the cage and the rolling element is 15 m / s, the outermost porous layer with low strength falls off. However, the wear resistance may be insufficient.

また、特許文献3に記載の技術によれば、2種以上の金属と炭素とからなる複合層を有するDLC膜は、密着性に優れており且つ脆さが小さいため、大きな接触応力が作用するような条件下や無潤滑下においても使用可能であるが、大きな接線力が作用するような条件下(例えば高速回転条件下)での使用を考えると、さらなる改良が望まれる。
そこで、本発明は前述のような従来の転がり軸受用保持器が有する問題点を解決し、高速回転,高PV領域で使用される転がり軸受にも適用可能な耐摩耗性に優れた転がり軸受用保持器を提供することを課題とする。
Further, according to the technique described in Patent Document 3, a DLC film having a composite layer composed of two or more metals and carbon is excellent in adhesion and small in brittleness, so that a large contact stress acts. Although it can be used under such conditions and under non-lubricated conditions, further improvement is desired in consideration of use under conditions where a large tangential force acts (for example, under high-speed rotation conditions).
Accordingly, the present invention solves the problems of the conventional rolling bearing retainer as described above, and is applicable to rolling bearings used in high-speed rotation and high PV ranges, and has excellent wear resistance. It is an object to provide a cage.

前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明に係る請求項1の転がり軸受用保持器は、転がり軸受の内輪と外輪との間に複数の転動体を転動自在に保持する鋼製の転がり軸受用保持器において、下記の3つの条件を満足することを特徴とする。   In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. That is, the rolling bearing cage of claim 1 according to the present invention is a steel rolling bearing cage that holds a plurality of rolling elements freely between an inner ring and an outer ring of a rolling bearing. It is characterized by satisfying three conditions.

条件1:潤滑性を有するダイヤモンドライクカーボン層が表面に被覆されている。
条件2:前記ダイヤモンドライクカーボン層は、炭素からなるカーボン層と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属及び炭素からなる複合カーボン層と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属からなる第一金属層と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属及びクロムからなる複合金属層と、クロムからなる第二金属層と、の5層で構成されている。
条件3:前記5層は、前記ダイヤモンドライクカーボン層の表面側から前記カーボン層,前記複合カーボン層,前記第一金属層,前記複合金属層,前記第二金属層の順に配されている。
Condition 1: A diamond-like carbon layer having lubricity is coated on the surface.
Condition 2: The diamond-like carbon layer includes a carbon layer composed of carbon, a composite carbon layer composed of one kind of metal of silicon, titanium, tungsten, and molybdenum and carbon, and silicon, titanium, tungsten, and molybdenum. It consists of five layers: a first metal layer made of one kind of metal, a composite metal layer made of one kind of silicon, titanium, tungsten, and molybdenum and chromium, and a second metal layer made of chromium. ing.
Condition 3: The five layers are arranged in the order of the carbon layer, the composite carbon layer, the first metal layer, the composite metal layer, and the second metal layer from the surface side of the diamond-like carbon layer.

このような転がり軸受用保持器は、鋼製の母材と前記カーボン層との間に前記複合カーボン層,前記第一金属層,前記複合金属層,及び前記第二金属層が介在しているので、潤滑性に優れた前記ダイヤモンドライクカーボン層(以降においてはDLC層と記すこともある)と鋼製の母材との密着性が優れている。また、DLC層を構成する前記5層同士の密着性も優れている。   In such a rolling bearing cage, the composite carbon layer, the first metal layer, the composite metal layer, and the second metal layer are interposed between a steel base material and the carbon layer. Therefore, the adhesion between the diamond-like carbon layer (hereinafter sometimes referred to as a DLC layer) excellent in lubricity and the steel base material is excellent. Further, the adhesion between the five layers constituting the DLC layer is also excellent.

また、複合金属層が2種の金属(シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属及びクロム)で構成されているので、該金属と炭素とが結合して金属カーバイドが生成されたとしても、金属カーバイドの脆さが小さい。よって、繰り返し応力やせん断力が負荷されてもDLC層が破損しにくい。
また、本発明に係る請求項2の転がり軸受用保持器は、請求項1に記載の転がり軸受用保持器において、前記複合カーボン層中の炭素の割合が、前記第一金属層側から前記カーボン層側に向かって徐々に増加していることを特徴とする。このような構成であれば、DLC層と鋼製の母材との密着性がより優れたものとなる。
Further, since the composite metal layer is composed of two kinds of metals (one kind of silicon, titanium, tungsten, and molybdenum and chromium), the metal and carbon are combined to produce metal carbide. Even so, the brittleness of the metal carbide is small. Therefore, the DLC layer is not easily damaged even when repeated stress or shear force is applied.
The rolling bearing retainer according to claim 2 according to the present invention is the rolling bearing retainer according to claim 1, wherein the ratio of carbon in the composite carbon layer is from the first metal layer side to the carbon. It is characterized by gradually increasing toward the layer side. With such a configuration, the adhesion between the DLC layer and the steel base material becomes more excellent.

さらに、本発明に係る請求項3の転がり軸受用保持器は、請求項1又は請求項2に記載の転がり軸受用保持器において、前記ダイヤモンドライクカーボン層の等価弾性定数が100GPa以上240GPa以下であることを特徴とする。
このような構成であれば、母材である鋼よりもDLCの方が小さい等価弾性定数を有することとなるので、繰り返し応力が作用した際にDLC層が変形することが可能となる。その結果、母材の変形にDLC層が追従することが可能となるので、DLC層の破損が生じにくい。
Furthermore, the rolling bearing cage of claim 3 according to the present invention is the rolling bearing cage of claim 1 or 2, wherein the equivalent elastic constant of the diamond-like carbon layer is 100 GPa or more and 240 GPa or less. It is characterized by that.
With such a configuration, the DLC layer has a smaller equivalent elastic constant than the base steel, so that the DLC layer can be deformed when a repeated stress is applied. As a result, since the DLC layer can follow the deformation of the base material, the DLC layer is hardly damaged.

DLC層の等価弾性定数が240GPa超過であると、鋼よりもDLC層の方が大きい等価弾性定数を有することとなるので、繰り返し応力が作用した際の母材の変形にDLC層が追従することが困難となって、DLC層の破損が生じやすくなる。一方、100GPa未満であると、DLC層の硬さが低くなって、摩耗が生じやすくなる。
なお、DLC層のような薄膜については、通常の方法では弾性定数を測定することはできないため、本発明においては以下の方法により測定された、弾性定数に準拠する等価弾性定数を用いる。すなわち、押し込み深さを少なくともDLC層の厚さ内として微小硬度計による測定を行い、得られた荷重−除荷曲線により等価弾性定数を求める。
If the equivalent elastic constant of the DLC layer exceeds 240 GPa, the DLC layer will have a larger equivalent elastic constant than steel, so that the DLC layer will follow the deformation of the base material when repeated stress is applied. This makes it difficult to damage the DLC layer. On the other hand, if it is less than 100 GPa, the hardness of the DLC layer becomes low and wear tends to occur.
For a thin film such as a DLC layer, the elastic constant cannot be measured by a normal method. Therefore, in the present invention, an equivalent elastic constant based on the elastic constant measured by the following method is used. That is, the indentation depth is at least within the thickness of the DLC layer, measurement is performed with a microhardness meter, and the equivalent elastic constant is obtained from the obtained load-unloading curve.

例えば、DLC層の厚さが2μm以下である場合は、押し込み荷重を0.4〜50mNの間で適宜設定して測定を行う。本発明においては、エリオニクス社製の微小硬度計を使用し、押し込み荷重を50mNとして測定した等価弾性定数を用いる。
この他の等価弾性定数の測定方法としては、フィッシャー社製の微小硬度測定装置を用いる方法がある。この方法においては、(マイクロ)ビッカース硬度計は使用せず、静電容量で制御できる微小硬度計又はナノインデンテータを用いることが望ましい。なおかつ、押し込み深さはDLC層の厚さ内とする必要がある。そして、前記微小硬度計又はナノインデンテータによって得られた荷重−除荷曲線の弾性変形量から、等価弾性定数を求める。
For example, when the thickness of the DLC layer is 2 μm or less, the indentation load is appropriately set between 0.4 to 50 mN and measurement is performed. In the present invention, an equivalent elastic constant measured using a micro hardness tester manufactured by Elionix Co., Ltd. and an indentation load of 50 mN is used.
As another method for measuring the equivalent elastic constant, there is a method using a micro hardness measuring device manufactured by Fischer. In this method, it is desirable not to use a (micro) Vickers hardness tester but to use a micro hardness tester or a nano indentator that can be controlled by capacitance. In addition, the indentation depth needs to be within the thickness of the DLC layer. And an equivalent elastic constant is calculated | required from the elastic deformation amount of the load-unloading curve obtained by the said micro hardness meter or the nano indentator.

なお、HRC60の高炭素クロム鋼(SUJ2)の表面の等価弾性定数を上記の方法により求めると250GPaとなり、通常カタログ等に記載されている210GPaよりも大きい結果となる。これは、上記の方法が微小な押し込み領域における測定であることから、SUJ2の表面の加工硬化層の影響を受けるためである。   In addition, when the equivalent elastic constant of the surface of the high carbon chromium steel (SUJ2) of HRC60 is calculated | required by said method, it will be 250 GPa and will be a result larger than 210 GPa normally described in the catalog etc. This is because the above method is a measurement in a minute indentation region, and is therefore influenced by the work hardening layer on the surface of SUJ2.

さらに、本発明に係る請求項4の転がり軸受用保持器は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の転がり軸受用保持器において、前記ダイヤモンドライクカーボン層は、非平衡型マグネトロンを用いたスパッタリングにより形成されたものであることを特徴とする。
このような物理的成膜法は、CVD法,プラズマCVD法,イオンビーム形成法,イオン化蒸着法等と比較して、好適な等価弾性定数及び強度を有するDLC層が得られやすいので、大きな接触応力が作用する装置を構成する部品に対して好適である。
Furthermore, the rolling bearing cage according to claim 4 of the present invention is the rolling bearing cage according to any one of claims 1 to 3, wherein the diamond-like carbon layer uses a non-equilibrium magnetron. It is characterized by being formed by sputtering.
Such a physical film formation method has a large contact because a DLC layer having a suitable equivalent elastic constant and strength is easily obtained as compared with a CVD method, a plasma CVD method, an ion beam forming method, an ionized vapor deposition method and the like. It is suitable for parts constituting a device on which stress acts.

本発明の転がり軸受用保持器は、密着性に優れ且つ耐摩耗性に優れ摺動抵抗が小さいDLC層がその表面に設けられているので、耐摩耗性に優れており、高速回転,高PV領域で使用される転がり軸受にも適用可能である。   The cage for a rolling bearing of the present invention is provided with a DLC layer having excellent adhesion and wear resistance and low sliding resistance on its surface, so it has excellent wear resistance, high speed rotation, high PV It can also be applied to rolling bearings used in the region.

本発明に係る転がり軸受用保持器の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明に係る転がり軸受用保持器の一実施形態であるプレス保持器が組み込まれた自動調心ころ軸受の構成を示す部分縦断面図であり、図2は、図1の自動調心ころ軸受が備える保持器のDLC層の構成を示す模式的な断面図である。
この自動調心ころ軸受1は、内輪2と、外輪3と、内輪2と外輪3との間に転動自在に配された2列の球面ころ4と、内輪2と外輪3との間に複数の球面ころ4を転動自在に保持する保持器5,5と、で構成されている。内輪2の外周面には2列の球面ころ4の軌道面2a,2aが形成され、内輪2の外径は幅方向両端部よりも中央部の方が大きく形成されている。また、外輪3の内周面は、2列一体の球面軌道面3aとされている。なお、内輪2と外輪3との間に形成された内部空間に、グリース,潤滑油等の潤滑剤を配してもよい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a rolling bearing cage according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial longitudinal sectional view showing a configuration of a self-aligning roller bearing in which a press cage, which is an embodiment of a rolling bearing cage according to the present invention, is incorporated, and FIG. It is typical sectional drawing which shows the structure of the DLC layer of the holder | retainer with which a spherical roller bearing is provided.
This self-aligning roller bearing 1 includes an inner ring 2, an outer ring 3, two rows of spherical rollers 4 disposed between the inner ring 2 and the outer ring 3, and an inner ring 2 and an outer ring 3. It is comprised by the holder | retainers 5 and 5 which hold | maintain the some spherical roller 4 so that rolling is possible. On the outer peripheral surface of the inner ring 2, raceway surfaces 2a, 2a of two rows of spherical rollers 4 are formed, and the outer diameter of the inner ring 2 is formed larger at the center than at both ends in the width direction. Further, the inner peripheral surface of the outer ring 3 is a two-row integral spherical raceway surface 3a. Note that a lubricant such as grease or lubricating oil may be disposed in an internal space formed between the inner ring 2 and the outer ring 3.

この自動調心ころ軸受1の保持器5は、鋼板をプレス成形することにより製造されたプレス保持器であり、母材の表面(特に、内輪2,外輪3,球面ころ4と接触する接触部)には、潤滑性を有するダイヤモンドライクカーボン(DLC)層Dが被覆されている。
このDLC層Dは、図2に示すように、炭素からなるカーボン層Cと、シリコン(Si),チタン(Ti),タングステン(W),モリブデン(Mo)のうちの1種の金属及び炭素からなる複合カーボン層FCと、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属からなる第一金属層M1と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属及びクロムからなる複合金属層FMと、クロムからなる第二金属層M2と、の5層で構成されていて、これら5層はDLC層Dの表面側からカーボン層C,複合カーボン層FC,第一金属層M1,複合金属層FM,第二金属層M2の順に配されている。
The cage 5 of the self-aligning roller bearing 1 is a press cage manufactured by press-molding a steel plate, and is a contact portion that contacts the surface of the base material (in particular, the inner ring 2, the outer ring 3, and the spherical roller 4). ) Is coated with a diamond-like carbon (DLC) layer D having lubricity.
As shown in FIG. 2, the DLC layer D includes a carbon layer C made of carbon, and one kind of metal of silicon (Si), titanium (Ti), tungsten (W), and molybdenum (Mo) and carbon. A composite carbon layer FC, a first metal layer M1 made of one of silicon, titanium, tungsten and molybdenum, and a composite metal made of one of silicon, titanium, tungsten and molybdenum and chromium. The layer FM and the second metal layer M2 made of chromium are composed of five layers, and these five layers are the carbon layer C, the composite carbon layer FC, the first metal layer M1, the composite from the surface side of the DLC layer D. The metal layer FM and the second metal layer M2 are arranged in this order.

このようなDLC層Dは、母材との密着性に優れるとともに、金属同士が直接接触を起こすような厳しい条件下で保持器5が使用されても、剥離等の損傷が生じることなく優れた耐摩耗性を発揮する。よって、高速回転,高PV領域で使用される自動調心ころ軸受1にも好適に使用可能である。また、大きな接触応力が作用するような条件下や無潤滑下においても好適に使用可能である。   Such a DLC layer D has excellent adhesion to the base material, and is excellent without causing damage such as peeling even when the cage 5 is used under severe conditions in which metals directly contact each other. Demonstrate wear resistance. Therefore, it can be used suitably also for the self-aligning roller bearing 1 used in high speed rotation and a high PV area | region. Further, it can be suitably used under conditions where a large contact stress acts or under non-lubricated conditions.

なお、複合カーボン層FC中の炭素の割合は、第一金属層M1側からカーボン層C側に向かって徐々に増加していることが好ましい。また、DLC層Dの等価弾性定数は、100GPa以上240GPa以下であることが好ましい。
ここで、DLC層Dを形成する方法について説明する。油分を脱脂した保持器5を株式会社神戸製鋼所製のアンバランスドマグネトロンスパッタリング装置504(以降はUBMS装置と記す)に設置し、アルゴンプラズマによるスパッタリングを用いて、表面にボンバード処理を15分間施した。
Note that the proportion of carbon in the composite carbon layer FC is preferably gradually increased from the first metal layer M1 side toward the carbon layer C side. The equivalent elastic constant of the DLC layer D is preferably 100 GPa or more and 240 GPa or less.
Here, a method of forming the DLC layer D will be described. The degreased cage 5 is installed in an unbalanced magnetron sputtering apparatus 504 (hereinafter referred to as UBMS apparatus) manufactured by Kobe Steel, Ltd., and bombarded on the surface for 15 minutes using sputtering with argon plasma. did.

そして、クロムをターゲットとして、母材の表面にクロムをスパッタリングして成膜し、クロムからなる第二金属層M2を形成した。次に、クロムのスパッタリングを続けながら、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属(以降は、タングステンを使用した場合を例にして説明する)をターゲットとしたスパッタリングを開始した。このようなスパッタリングによって、タングステン及びクロムからなる複合金属層FMを第二金属層M2の上に形成した。このスパッタリングの際には、クロムのスパッタ効率を徐々に減少させながら、タングステンのスパッタ効率を徐々に増加させた。そして、クロムのスパッタリングを終了し、タングステンのスパッタリングのみとして、複合金属層FMの上にタングステンからなる第一金属層M1を形成した。   Then, using chromium as a target, a film was formed by sputtering chromium on the surface of the base material to form a second metal layer M2 made of chromium. Next, while continuing the sputtering of chromium, sputtering with a target of one kind of metal of silicon, titanium, tungsten, and molybdenum (hereinafter, described using tungsten as an example) was started. A composite metal layer FM made of tungsten and chromium was formed on the second metal layer M2 by such sputtering. During the sputtering, the sputtering efficiency of tungsten was gradually increased while the sputtering efficiency of chromium was gradually decreased. Then, the sputtering of chromium was terminated, and the first metal layer M1 made of tungsten was formed on the composite metal layer FM only for the sputtering of tungsten.

次に、タングステンのスパッタリングを続けながら、カーボンをターゲットとした炭素のスパッタリングを開始した。このようなスパッタリングによって、タングステンと炭素とが結合した金属カーバイドからなる複合カーボン層FCを、第一金属層M1の上に形成した。さらに、タングステンのスパッタ効率を徐々に減少させながら、炭素のスパッタ効率を徐々に増加させた。そして、タングステンのスパッタリングを終了し、炭素のスパッタリングのみとして、複合カーボン層FCの上にカーボン層Cを形成した(DLC層D全体の厚さは2.2μmとした)。   Next, while continuing sputtering of tungsten, sputtering of carbon using carbon as a target was started. By such sputtering, a composite carbon layer FC made of metal carbide in which tungsten and carbon were bonded was formed on the first metal layer M1. Furthermore, the sputtering efficiency of carbon was gradually increased while the sputtering efficiency of tungsten was gradually decreased. Then, the sputtering of tungsten was terminated, and the carbon layer C was formed on the composite carbon layer FC only for carbon sputtering (the thickness of the entire DLC layer D was 2.2 μm).

なお、上記の説明においては、複合金属層FM,第一金属層M1,複合カーボン層FCを構成する金属としてタングステンを使用した例を示したが、シリコン,チタン,又はモリブデンを使用してもよいことは勿論である。また、複合金属層FM,第一金属層M1,複合カーボン層FCに全て同種の金属を使用する必要はなく、これらの層のうち1層に別の金属を使用してもよいし、3層にそれぞれ異なる金属を使用してもよい。   In the above description, the example in which tungsten is used as the metal constituting the composite metal layer FM, the first metal layer M1, and the composite carbon layer FC is shown, but silicon, titanium, or molybdenum may be used. Of course. Further, it is not necessary to use the same kind of metal for the composite metal layer FM, the first metal layer M1, and the composite carbon layer FC, and another metal may be used for one of these layers. Different metals may be used.

このようなスパッタリングにより成膜を行えば、第二金属層M2からカーボン層Cに向かって、層の組成が連続的に徐々に変化していくDLC層Dを形成することができる。このような構成のDLC層Dは、各層(第二金属層M2,複合金属層FM,第一金属層M1,複合カーボン層FC,及びカーボン層C)の間の密着性が非常に優れているとともに、潤滑性に優れたカーボン層Cと母材である鋼との密着性が非常に優れている。   When film formation is performed by such sputtering, it is possible to form the DLC layer D in which the composition of the layer gradually and gradually changes from the second metal layer M2 toward the carbon layer C. The DLC layer D having such a configuration has very good adhesion between each layer (second metal layer M2, composite metal layer FM, first metal layer M1, composite carbon layer FC, and carbon layer C). At the same time, the adhesion between the carbon layer C having excellent lubricity and the steel as the base material is very excellent.

UBMS装置は、スパッタリングに用いるターゲットを複数装着でき、各ターゲットのスパッタ電源を独立に制御することにより、各成分のスパッタ効率を任意に制御することができるので、上記のような成膜に好適である。例えば、上記の場合の複合カーボン層FC及びカーボン層Cを成膜する工程においては、金属ターゲットのスパッタ電源(DC電源)の電力を低減させながら、同時にカーボンターゲットのスパッタ電源(DC電源)の電力を増加させればよい(このとき、保持器5には負のバイアス電圧を印加する)。   The UBMS apparatus can be equipped with a plurality of targets used for sputtering, and can control the sputtering efficiency of each component arbitrarily by independently controlling the sputtering power source of each target. is there. For example, in the process of forming the composite carbon layer FC and the carbon layer C in the above case, the power of the sputtering power source (DC power source) of the carbon target is simultaneously reduced while the power of the sputtering power source (DC power source) of the metal target is reduced. (At this time, a negative bias voltage is applied to the cage 5).

DLC層Dの等価弾性定数は、保持器5に印加するバイアス電圧を制御するか、又は導入するガスの分圧を制御することにより、変化させることができる。この導入するガス(アルゴン,水素,メタン等の炭化水素系ガス)の種類や分圧比を制御すれば、DLC層Dの等価弾性定数とともに表面の摺動抵抗を自在にコントロールすることが可能であるので、前記ガスを単独又は混合して導入することにより、目的にあった所望のDLC層を形成することができる。さらに、DLC層D及び各層(第二金属層M2,複合金属層FM,第一金属層M1,複合カーボン層FC,及びカーボン層C)の厚さは、スパッタ時間により精度よく制御することができる。   The equivalent elastic constant of the DLC layer D can be changed by controlling the bias voltage applied to the cage 5 or by controlling the partial pressure of the introduced gas. By controlling the type and partial pressure ratio of the introduced gas (hydrocarbon gas such as argon, hydrogen, methane, etc.), it is possible to freely control the sliding resistance of the surface as well as the equivalent elastic constant of the DLC layer D. Therefore, a desired DLC layer suitable for the purpose can be formed by introducing the gas alone or in combination. Furthermore, the thickness of the DLC layer D and each layer (the second metal layer M2, the composite metal layer FM, the first metal layer M1, the composite carbon layer FC, and the carbon layer C) can be accurately controlled by the sputtering time. .

ここで、グロー放電発光分析装置(島津製作所株式会社製のGDLS−9950)を使用して、DLC層Dを形成する元素を分析した結果を、図3の測定チャートに示す。図3のチャートは、複合金属層FM,第一金属層M1を構成する金属としてタングステンを使用し、複合カーボン層FCを構成する金属としてシリコンを使用したDLC層Dのチャートである。チャートの横軸は表面からの深さを示し、0μmがDLC層の表面を意味している。また、縦軸は、その深さ位置における各元素の含有量を示している。   Here, the results of analyzing the elements forming the DLC layer D using a glow discharge emission analyzer (GDLS-9950 manufactured by Shimadzu Corporation) are shown in the measurement chart of FIG. The chart of FIG. 3 is a chart of the DLC layer D in which tungsten is used as the metal constituting the composite metal layer FM and the first metal layer M1, and silicon is used as the metal constituting the composite carbon layer FC. The horizontal axis of the chart indicates the depth from the surface, and 0 μm means the surface of the DLC layer. Moreover, the vertical axis | shaft has shown content of each element in the depth position.

なお、アルゴンガスを使用した放電によって深さ方向の情報を得ているため、母材である鋼とDLC層Dとの界面において、各元素の含有量を示す曲線がブロードとなっている。また、鋼とDLC層Dとの界面が8000nm付近に位置していることから、このチャートからはDLC層Dの厚さは約8μmであることが読み取れるが、この分析法は直径2mmの円形部分について放電発光により分析するため、深さ方向の精度上約8μmとなって現れるものであって、実際のDLC層Dの厚さは2.2μmである。   In addition, since the information of the depth direction is obtained by the discharge using argon gas, the curve which shows content of each element is broad in the interface of steel and DLC layer D which are base materials. In addition, since the interface between the steel and the DLC layer D is located near 8000 nm, it can be seen from this chart that the thickness of the DLC layer D is about 8 μm. Therefore, the thickness of the actual DLC layer D is 2.2 μm.

なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、保持器を構成する鋼の種類は特に限定されるものではなく、冷間圧延鋼板や熱間圧延鋼板以外の材料を用いて保持器を製造してもよい。また、保持器の製造法も特に限定されるものではなく、プレス保持器に限らず、もみ抜き保持器でもよい。
また、本実施形態においては、非平衡型マグネトロンを用いたスパッタリングによりDLC層を成膜したが、パルスレーザーアーク蒸着法やプラズマCVD法等を用いることもできる。ただし、等価弾性定数及び塑性変形硬さ等を独立に制御することが容易な非平衡型マグネトロンを用いたスパッタリングが最も好適である。
In addition, this embodiment shows an example of this invention and this invention is not limited to this embodiment. For example, the type of steel constituting the cage is not particularly limited, and the cage may be manufactured using a material other than a cold rolled steel plate or a hot rolled steel plate. Further, the manufacturing method of the cage is not particularly limited, and is not limited to the press cage and may be a machined cage.
In this embodiment, the DLC layer is formed by sputtering using a non-equilibrium magnetron, but a pulsed laser arc deposition method, a plasma CVD method, or the like can also be used. However, sputtering using a non-equilibrium magnetron that can easily control the equivalent elastic constant, plastic deformation hardness, and the like is most preferable.

さらに、本実施形態においては、自動調心ころ軸受用の保持器を例示して説明したが、転がり軸受の種類は自動調心ころ軸受に限定されるものではなく、本発明は様々な種類の転がり軸受に対して適用することができる。例えば、深溝玉軸受,アンギュラ玉軸受,自動調心玉軸受,円筒ころ軸受,円すいころ軸受,針状ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受,スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。   Furthermore, in the present embodiment, the cage for the self-aligning roller bearing has been described as an example. However, the type of the rolling bearing is not limited to the self-aligning roller bearing, and the present invention includes various types. It can be applied to rolling bearings. For example, radial rolling bearings such as deep groove ball bearings, angular contact ball bearings, self-aligning ball bearings, cylindrical roller bearings, tapered roller bearings, needle roller bearings, and thrust type rolling bearings such as thrust ball bearings and thrust roller bearings It is a bearing.

〔実施例〕
以下に、実施例を示して、本発明をさらに具体的に説明する。
冷間圧延鋼板SPCC材からプレス成形にて自動調心ころ軸受(呼び番号22211)用のプレス保持器を作製し、その保持器の表面に、非平衡型マグネトロンを用いたスパッタリングによりDLC層を成膜した。
〔Example〕
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.
A press cage for a self-aligning roller bearing (nominal number 22211) is manufactured by press forming from a cold rolled steel plate SPCC material, and a DLC layer is formed on the surface of the cage by sputtering using a non-equilibrium magnetron. Filmed.

Figure 2008151264
Figure 2008151264

実施例1〜10は、前述のような5層構造のDLC層を備えている保持器である。比較例1は、スパッタリングを行っておらずDLC層を備えていない保持器である。比較例2,3は、スパッタリングにより3層構造のDLC層が形成された保持器である。該DLC層は、炭素からなるカーボン層(本実施形態のカーボン層Cに相当する)と、クロム及び炭素からなる複合層(本実施形態の複合カーボン層FCに相当する)と、クロムからなる金属層(本実施形態の第二金属層M2に相当する)と、の3層で構成されていて、該3層はDLC層の表面側からカーボン層,複合層,金属層の順に配されている。比較例4は、スパッタリングにより単層構造のDLC層が形成された保持器である。該DLC層は、炭素からなるカーボン層(本実施形態のカーボン層Cに相当する)である。   Examples 1 to 10 are cages provided with a DLC layer having a five-layer structure as described above. Comparative Example 1 is a cage that is not sputtered and does not have a DLC layer. Comparative Examples 2 and 3 are cages in which a DLC layer having a three-layer structure is formed by sputtering. The DLC layer includes a carbon layer made of carbon (corresponding to the carbon layer C of this embodiment), a composite layer made of chromium and carbon (corresponding to the composite carbon layer FC of this embodiment), and a metal made of chromium. Layer (corresponding to the second metal layer M2 of the present embodiment) and the three layers are arranged in the order of the carbon layer, the composite layer, and the metal layer from the surface side of the DLC layer. . Comparative Example 4 is a cage in which a DLC layer having a single layer structure is formed by sputtering. The DLC layer is a carbon layer made of carbon (corresponding to the carbon layer C of the present embodiment).

次に、実施例1〜10及び比較例1〜4の保持器の耐摩耗性を評価した。すなわち、保持器を自動調心ころ軸受(呼び番号22211)に組み込んで高速回転試験を行い、高速回転試験後の保持器の摩耗状況を質量変化によって評価した。高速回転試験の条件は、以下の通りである。
・荷重 :15415N
・回転速度:6750min-1
・潤滑条件:グリース潤滑
・試験時間:24時間
保持器の摩耗量を表1に併せて示す。なお、保持器の摩耗量は、比較例1の保持器の摩耗量を1とした場合の相対値で示してある。
Next, the abrasion resistance of the cages of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4 was evaluated. That is, the cage was incorporated in a self-aligning roller bearing (nominal number 22211), a high-speed rotation test was performed, and the wear situation of the cage after the high-speed rotation test was evaluated by mass change. The conditions for the high-speed rotation test are as follows.
・ Load: 15415N
・ Rotation speed: 6750 min -1
-Lubrication conditions: Grease lubrication-Test time: 24 hours Table 1 shows the wear amount of the cage. The wear amount of the cage is shown as a relative value when the wear amount of the cage of Comparative Example 1 is 1.

単層構造,3層構造のDLC層が形成された比較例2〜4は、DLC層を備えていない比較例1よりも摩耗量が多かった。これは、DLC層と母材との密着力、あるいは、DLC層を構成する各層同士の密着力が弱いために、高速回転試験開始直後にDLC層が母材から剥離して、母材である鋼が摩耗したためである。これに対して、5構造のDLC層が形成された実施例1〜10は、比較例1よりも摩耗量が少なかった。特に、等価弾性定数が100〜240GPaである実施例1〜7は、摩耗量が極めて少なかった。   In Comparative Examples 2 to 4 in which the DLC layers having the single-layer structure and the three-layer structure were formed, the wear amount was larger than that in Comparative Example 1 having no DLC layer. This is the base material because the DLC layer peels off from the base material immediately after the start of the high-speed rotation test because the adhesive strength between the DLC layer and the base material, or the adhesive strength between the layers constituting the DLC layer is weak. This is because the steel was worn out. On the other hand, Examples 1-10 in which the DLC layer of 5 structures was formed had less abrasion amount than the comparative example 1. In particular, Examples 1 to 7 having an equivalent elastic constant of 100 to 240 GPa had very little wear.

本発明に係る転がり軸受用保持器の一実施形態であるプレス保持器が組み込まれた自動調心ころ軸受の構成を示す部分縦断面図である。It is a fragmentary longitudinal cross-section which shows the structure of the self-aligning roller bearing incorporating the press retainer which is one Embodiment of the roller bearing retainer which concerns on this invention. 図1の自動調心ころ軸受が備える保持器のDLC層の構成を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the structure of the DLC layer of the holder | retainer with which the self-aligning roller bearing of FIG. 1 is provided. DLC層を形成する元素を分析した測定チャートである。It is the measurement chart which analyzed the element which forms a DLC layer.

符号の説明Explanation of symbols

1 自動調心ころ軸受
2 内輪
2a 軌道面
3 外輪
3a 球面軌道面
4 球面ころ
5 保持器
C カーボン層
D ダイヤモンドライクカーボン層
FC 複合カーボン層
FM 複合金属層
M1 第一金属層
M2 第二金属層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Self-aligning roller bearing 2 Inner ring 2a Raceway surface 3 Outer ring 3a Spherical raceway surface 4 Spherical roller 5 Cage C Carbon layer D Diamond-like carbon layer FC Composite carbon layer FM Composite metal layer M1 First metal layer M2 Second metal layer

Claims (4)

転がり軸受の内輪と外輪との間に複数の転動体を転動自在に保持する鋼製の転がり軸受用保持器において、下記の3つの条件を満足することを特徴とする転がり軸受用保持器。 条件1:潤滑性を有するダイヤモンドライクカーボン層が表面に被覆されている。
条件2:前記ダイヤモンドライクカーボン層は、炭素からなるカーボン層と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属及び炭素からなる複合カーボン層と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属からなる第一金属層と、シリコン,チタン,タングステン,モリブデンのうちの1種の金属及びクロムからなる複合金属層と、クロムからなる第二金属層と、の5層で構成されている。
条件3:前記5層は、前記ダイヤモンドライクカーボン層の表面側から前記カーボン層,前記複合カーボン層,前記第一金属層,前記複合金属層,前記第二金属層の順に配されている。
A rolling bearing cage for a steel rolling bearing, in which a plurality of rolling elements are rotatably held between an inner ring and an outer ring of a rolling bearing, wherein the following three conditions are satisfied: Condition 1: A diamond-like carbon layer having lubricity is coated on the surface.
Condition 2: The diamond-like carbon layer includes a carbon layer composed of carbon, a composite carbon layer composed of one kind of metal of silicon, titanium, tungsten, and molybdenum and carbon, and silicon, titanium, tungsten, and molybdenum. It consists of five layers: a first metal layer made of one kind of metal, a composite metal layer made of one kind of silicon, titanium, tungsten, and molybdenum and chromium, and a second metal layer made of chromium. ing.
Condition 3: The five layers are arranged in the order of the carbon layer, the composite carbon layer, the first metal layer, the composite metal layer, and the second metal layer from the surface side of the diamond-like carbon layer.
前記複合カーボン層中の炭素の割合が、前記第一金属層側から前記カーボン層側に向かって徐々に増加していることを特徴とする請求項1に記載の転がり軸受用保持器。   The rolling bearing retainer according to claim 1, wherein a ratio of carbon in the composite carbon layer gradually increases from the first metal layer side toward the carbon layer side. 前記ダイヤモンドライクカーボン層の等価弾性定数が100GPa以上240GPa以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の転がり軸受用保持器。   The rolling bearing retainer according to claim 1 or 2, wherein the diamond-like carbon layer has an equivalent elastic constant of 100 GPa to 240 GPa. 前記ダイヤモンドライクカーボン層は、非平衡型マグネトロンを用いたスパッタリングにより形成されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の転がり軸受用保持器。   The rolling bearing retainer according to any one of claims 1 to 3, wherein the diamond-like carbon layer is formed by sputtering using a non-equilibrium magnetron.
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WO2016140225A1 (en) * 2015-03-03 2016-09-09 Ntn株式会社 Rolling bearing for use in extremely low-temperature environment

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