JP2008144819A - エアオペレイトバルブ - Google Patents
エアオペレイトバルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008144819A JP2008144819A JP2006331044A JP2006331044A JP2008144819A JP 2008144819 A JP2008144819 A JP 2008144819A JP 2006331044 A JP2006331044 A JP 2006331044A JP 2006331044 A JP2006331044 A JP 2006331044A JP 2008144819 A JP2008144819 A JP 2008144819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- valve
- piston rod
- air operated
- operated valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
【解決手段】操作ポート85に供給される操作エアの圧力によってピストン23,24をシリンダ内で摺動させることにより、弁部2に駆動力を与えるエアオペレイトバルブ1において、常時弁閉状態の場合に弁部2側に進退する第1ピストンロッド42と、常時弁開状態の場合に弁部2側に進退する第2ピストンロッド52とをピストン部41,51を挟んで反対向きに設けたピストン構造を設ける。
【選択図】図1
Description
(1)操作エアの圧力によってピストンをシリンダ内で摺動させ、前記ピストンに連結するピストンロッドを弁部側に進退させることにより、前記弁部に駆動力を与えるエアオペレイトバルブにおいて、常時弁閉状態の場合に前記弁部側に進退する第1ピストンロッドと、常時弁開状態の場合に前記弁部側に進退する第2ピストンロッドとをピストン部を挟んで反対向きに設けたピストン構造を有する。
本実施形態のエアオペレイトバルブ1は、常時弁閉状態の場合に弁部2側に進退する「第1ピストンロッド」の一例であるピストンロッド42と、常時弁開状態の場合に弁部2側に進退する「第2ピストンロッド」の一例であるピストンロッド52とを、「ピストン部」の一例であるピストン部41,51を挟んで反対向きに設けたピストン構造を有する点に特徴を有する。
図1に示すエアオペレイトバルブ1は、ノーマルクローズタイプ(以下「NC型」という。)のバルブであって、制御流体を制御する弁部2と、弁部2に駆動力を与えるアクチュエータ部3Aとを備える。エアオペレイトバルブ1は、アクチュエータ部3Aをアダプタ11を介してボディ4に連結することにより、円柱状の外観を構成する。
図3は、図1に示すピストン23とピストン24の中央縦断面図である。
ピストン23,24は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)、POM(ポリアセタール)、PA(ポリアミド)、PVDF(ポリフッ化ビニリレン)など、耐熱性があって軽量な樹脂を射出成形した樹脂成形品である。
尚、ピストン24は、ピストンロッド24の基端部が拡径されてガイド部59を備える。ガイド部59は、圧縮バネ29Aに挿入され、圧縮バネ29Aを軸線方向に安定して伸縮させるために設けられている。
図1に示す内装部品22A,22B,22Cは、PPS、PBT、POM、PA、PVDFなど、耐熱性と剛性を有する樹脂を射出成形した樹脂成形品である。内装部品22A,22B,22Cは、同一形状をなすので、ここでは、説明の便宜上、内装部品22Bについて説明し、内装部品22A,22Cの説明を省略する。
内装部品22Bは、閉塞端面の中央部にピストン23のピストンロッド43(内装部品22A,22Bの場合はピストンロッド42,52)を貫き通すための貫通孔61が設けられている。閉塞端面の外面には、貫通孔61と同心円状に環状溝62が形成されている。そして、閉塞端面の外面には、貫通孔61と環状溝62との間から外径方向に長く、案内溝63が複数形成されている。そして、内装部品22Bの外周面には、Dカット通路64が案内溝63から連続するように軸線と平行に形成されている。内装部品22Bは、側面の開口端部にDカット通路64と連続するように、切欠部65が形成されている。
図1に示すように、ベース25とキャップ26は、外装部材21の両端部をかしめ固定され、アクチュエータ部3Aの外観を構成する。金属製の外装部材21とベース25とキャップ26は、樹脂製の内装部品22A,22B,22Cの周りを囲んで内装部品22A,22B,22Cの強度を補完する。
外装部材21は、両端が開放した円筒形状をなす。外装部材21は、ステンレスなどの剛性を有する金属を、引抜加工又は押出加工により肉薄なパイプ状に成形し、その引抜管又は押出管を所定の長さにカットしたものである。外装部材21の全長は、内装部品22を重ね合わせ、ピストン室をいくつ設けるかによって決定される。また、外装部材21の肉厚は、操作エアに対する耐圧性を考慮して決定される。本実施形態では0.5mmにしている。
ベース25とキャップ26は、圧縮バネ29Aの弾性力に抗して内装部品22A,22B,22Cを重ね合わせて外装部材21に収納するように、外装部材21の両端部を塞ぎ、外装部材21の内部に空間(隙間)を形成する。また、キャップ26とベース25は、内装部品22A,22Cの閉塞端面に当接し、内装部品22A,22Cを支持する。そのため、ベース及びキャップ26は、ステンレスやアルミなど、剛性を有する金属を材質とする円柱形状をなす。
次に、上記構成要素を備えるエアオペレイトバルブ1の組立方法について一例を説明する。
先ず、ボディ4の取付孔7に弁座8を固定し、取付孔7にダイアフラム9をセットする。そして、ダイアフラム9の外縁部を押さえるようにホルダ10をボディ4の取付孔7に挿入し、ホルダ10にステム13を嵌め込んだ後、アダプタ11をボディ4にねじ込んで固定する。これにより弁部2が組み立てられる。
上記のように組み立てたエアオペレイトバルブ1の流路構造について説明する。図6は、図1に示すエアオペレイトバルブ1であって、流路構造を示す図である。
給排気ポート85は、キャップ26の挿入孔81、ピストン24の分岐流路56、主流路55、ピストン23の主流路47、分岐流路48を介して第1ピストン室27の加圧室27aに連通している。また、給排気ポート85は、キャップ26の挿入孔81、ピストン24の分岐流路56、主流路55、連通路58、嵌合凹部57を介して第2ピストン室28の加圧室28aに連通している。
次に、本実施形態に係るエアオペレイトバルブ1の動作を説明する。
エアオペレイトバルブ1は、図2に示すようにボディ4に設けた取付孔14にボルト(図示せず)を挿通し、そのボルトを取付プレートや半導体製造装置などに締結することにより、設置固定される。エアオペレイトバルブ1は、給排気ポート85が給排気管(図示せず)を介して給排気制御装置(図示せず)に接続され、操作エアの給排気を制御される。
次に、図1に示すエアオペレイトバルブ1をノーマルオープンタイプ(以下「NO型」という。)にした場合について説明する。図7は、NO型エアオペレイトバルブ1の断面図である。
このようなエアオペレイトバルブ1は、給排気ポート85に操作エアを供給していないときには、圧縮バネ29Bの弾性力によって、ピストン24とピストン23が押し上げられる。そのため、ダイアフラム9は、ステム13を介して弁座方向に加圧されず、自身の反力により弁座8から離れている。この状態で一次側ポート5に制御流体を供給すると、制御流体が一次側ポート5に供給した制御流体が弁座8を介して二次側ポート6に流れる。
エアオペレイトバルブ1を常時弁閉状態から常時弁開状態にする場合には、図1に示す内装部品22A,22B,22Cとピストン23,24を外装部材21から取り出す。そして、ピストン24の主流路55の開口部から止め栓90を圧入して主流路55を封止するとともに、ピストン23のピストンロッド42からOリング32を取り外す。そして、圧縮バネ29Aを圧縮バネ29Bに交換して、内装部品22A,22B,22Cの間にピストン23,24と圧縮バネ29Bを装填する。そして、図7に示すようにピストン23,24を内装部品22A,22B,22Cごと反転させて外装部材21に嵌め込み、ピストン24のピストンロッド52をベース25の貫通孔に貫き通して弁部2側に突出させる。
尚、図8に示すエアオペレイトバルブ1Bについても、シール部材32を取り外すと共に、圧縮バネ29Aを圧縮バネ29Bに交換し、更にピストン24の主流路55に止め栓90を装着した状態で、内装部品22A,22B,22C,22Dとピストン23,24,122を一体的に反転させて外装部材21内に配置すれば、NC型をNO型に変更することができる。
(9)上記実施形態では、エアオペレイトバルブ1の外径を円柱状としたが、外径を多角形形状であってもよい。
(10)上記実施形態では、一次側ポート5から二次側ポート6へ制御流体が流れるようにしたが、二次側ポート6から一次側ポート5へ制御流体が流れるようにしてもよい。
2 弁部
21 外装部材
22 内装部品
23 ピストン
24 ピストン
27 第1ピストン室
28 第2ピストン室
29A,29B 圧縮バネ(付勢部材)
32 シール部材
36 シール部材
41 ピストン部
42 ピストンロッド(第1ピストンロッド)
47 主流路(バイパス流路)
48 分岐流路(第1分岐流路)
51 ピストン部
52 ピストンロッド(第2ピストンロッド)
55 主流路(バイパス流路)
56 分岐流路(第2分岐流路)
90 止め栓(封止部材)
Claims (5)
- 操作エアの圧力によってピストンをシリンダ内で摺動させ、前記ピストンに連結するピストンロッドを弁部側に進退させることにより、前記弁部に駆動力を与えるエアオペレイトバルブにおいて、
常時弁閉状態の場合に前記弁部側に進退する第1ピストンロッドと、常時弁開状態の場合に前記弁部側に進退する第2ピストンロッドとをピストン部を挟んで反対向きに設けたピストン構造を有すること
を特徴とするエアオペレイトバルブ。 - 請求項1に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記ピストン構造は、
前記第1ピストンロッドに軸線に対して交わる方向に形成した第1分岐流路と、前記第2ピストンロッドに軸線に対して交わる方向に形成した第2分岐流路と、前記ピストンに軸線方向に形成されて前記第1分岐流路と前記第2分岐流路とを連通させるバイパス流路とを含み、
常時弁開状態の場合に前記バイパス流路に取り付けられて前記第1分岐流路と前記第2分岐流路との間を遮断する封止部材を有すること
を特徴とするエアオペレイトバルブ。 - 請求項2に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記ピストン構造は、常時弁閉状態のときには、前記第1ピストンロッドと前記第2ピストンロッドにシール部材を装着する一方、常時弁開状態のときには、前記第2ピストンロッドにシール部材を装着し、前記第1ピストンロッドにシール部材を装着しないものであること、
を特徴とするエアオペレイトバルブ。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記シリンダは、中空状の外装部材と、一方に開口する筒状をなし、前記外装部材に装填される内装部品とを含み、
前記内装部品を組み合わせて前記外装部材内にピストン室を形成し、各ピストン室に前記ピストンを配置していること
を特徴とするエアオペレイトバルブ。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載するエアオペレイトバルブにおいて、
常時弁閉状態の場合に前記シリンダ内に装着する付勢部材は、常時弁開状態の場合に前記シリンダ内に装着する付勢部材より付勢力が大きいこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006331044A JP4347878B2 (ja) | 2006-12-07 | 2006-12-07 | エアオペレイトバルブ |
US11/802,217 US7971599B2 (en) | 2006-06-20 | 2007-05-21 | Air-operated valve |
KR1020070059056A KR100907328B1 (ko) | 2006-06-20 | 2007-06-15 | 에어 오퍼레이팅 밸브 |
CN2007101118547A CN101093034B (zh) | 2006-06-20 | 2007-06-20 | 气动阀 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006331044A JP4347878B2 (ja) | 2006-12-07 | 2006-12-07 | エアオペレイトバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008144819A true JP2008144819A (ja) | 2008-06-26 |
JP4347878B2 JP4347878B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=39605225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006331044A Active JP4347878B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-12-07 | エアオペレイトバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4347878B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008144817A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Ckd Corp | エアオペレイトバルブ |
JP2012511674A (ja) * | 2008-12-11 | 2012-05-24 | アルファ ラヴァル コーポレイト アクチボラゲット | バルブアクチュエータ |
EP2789887A1 (en) * | 2013-04-12 | 2014-10-15 | Parker Hannifin Corporation | Stream switching system |
JP2015045406A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-03-12 | ダイキン工業株式会社 | 四路切換弁 |
KR20200117855A (ko) * | 2019-04-05 | 2020-10-14 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유체 제어 밸브 |
-
2006
- 2006-12-07 JP JP2006331044A patent/JP4347878B2/ja active Active
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008144817A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Ckd Corp | エアオペレイトバルブ |
JP2012511674A (ja) * | 2008-12-11 | 2012-05-24 | アルファ ラヴァル コーポレイト アクチボラゲット | バルブアクチュエータ |
US8960219B2 (en) | 2008-12-11 | 2015-02-24 | Alfa Laval Corporate Ab | Valve actuator |
EP2789887A1 (en) * | 2013-04-12 | 2014-10-15 | Parker Hannifin Corporation | Stream switching system |
JP2015045406A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-03-12 | ダイキン工業株式会社 | 四路切換弁 |
KR20200117855A (ko) * | 2019-04-05 | 2020-10-14 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유체 제어 밸브 |
JP2020169706A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
KR102314574B1 (ko) * | 2019-04-05 | 2021-10-20 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유체 제어 밸브 |
JP7061587B2 (ja) | 2019-04-05 | 2022-04-28 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4347878B2 (ja) | 2009-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4261559B2 (ja) | エアオペレイトバルブ | |
KR100907328B1 (ko) | 에어 오퍼레이팅 밸브 | |
JP4347878B2 (ja) | エアオペレイトバルブ | |
EP2884135A1 (en) | Thermoregulator and thermoregulator component | |
US20120260993A1 (en) | Poppet valve assembly for controlling a pneumatic actuator | |
US8336852B1 (en) | Cartridge valve and manifold assembly | |
JP2008039083A (ja) | 閉鎖力増強機構付きダイヤフラム型電磁弁 | |
EP2236840B1 (en) | Booster valve | |
JP6170635B2 (ja) | 多段ピストンアクチュエータ | |
US20190250645A1 (en) | Motor-operated valve | |
JP4437554B2 (ja) | エアオペレイトバルブ | |
CN108266568B (zh) | 一种热管理组件 | |
JP5982354B2 (ja) | 流体制御弁 | |
WO2018126856A1 (zh) | 一种调温阀、及具有该调温阀的热管理组件 | |
US9322488B2 (en) | Pneumatic control valve and assembling method thereof | |
JP5341433B2 (ja) | 三方切換弁 | |
JP7365147B2 (ja) | 高温バルブ用小径アクチュエータと高温バルブ | |
US11073223B2 (en) | Fluid control valve | |
CN108087579B (zh) | 阀组件 | |
JP6534842B2 (ja) | ダイアフラムバルブ、流体制御装置およびこれらを用いた半導体製造方法 | |
WO2023243452A1 (ja) | アクチュエータ、開閉弁機構および流体制御装置 | |
KR102406048B1 (ko) | 고압 밸브 | |
JP2023046322A (ja) | 二段バルブアセンブリ | |
JP2003206807A (ja) | 高温ガス方向切換バルブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090714 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090716 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4347878 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130724 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130724 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140724 Year of fee payment: 5 |