JP2008139052A - Method and device for inspecting crack of honeycomb structure - Google Patents

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    • G01N21/95692Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crack inspection method of a honeycomb structure capable of detecting even a fine crack of a partition wall. <P>SOLUTION: The honeycomb structure 20 is irradiated with light from the side of its first opening end surface 23 by an illumination device 40 and, in this light irradiation state, the honeycomb structure 20 is imaged from the side of its second opening end surface 24 using a camera of which the optical axis is inclined with respect to the axial direction of a through-hole 22. The light and dark of the image data acquired by the camera are discriminated to detect the crack 25 of each of the partition walls 21 of the honeycomb structure 20. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ハニカム構造体のクラック検査方法及び検査装置に関する。   The present invention relates to a crack inspection method and an inspection apparatus for a honeycomb structure.

例えば、ディーゼルエンジンでは排ガス中のPM(パティキュレートマター)を捕集するフィルタ(DPF)が採用されており、そのDPFを構成するセラミック製のハニカム構造体としては、図9(a),(b)に示すものが知られている。このハニカム構造体20には、隔壁21により区画された多数の貫通孔22が設けられている。   For example, a diesel engine employs a filter (DPF) that collects PM (particulate matter) in exhaust gas. As a ceramic honeycomb structure constituting the DPF, FIGS. ) Is known. The honeycomb structure 20 is provided with a large number of through holes 22 partitioned by partition walls 21.

ハニカム構造体20は、粘土質の成形材を押出成形した後、乾燥や焼成等の工程を経て製品となる。ところが、乾燥工程や焼成工程における隔壁21の部分的な収縮差によって、隔壁21にクラック(亀裂)が生じる場合がある。隔壁21にクラックが生じた成形体は、製品の機能や耐久性等に影響を及ぼすおそれがあるので、クラックの有無を検査する必要がある。   The honeycomb structure 20 becomes a product through processes such as drying and firing after extrusion molding of a clay-like molding material. However, a crack (crack) may occur in the partition wall 21 due to a partial shrinkage difference of the partition wall 21 in the drying process or the firing process. Since the molded body in which the partition wall 21 is cracked may affect the function and durability of the product, it is necessary to inspect the presence or absence of the crack.

隔壁21のクラックの有無を検査する方法としては、例えば特許文献1に記載の方法が知られている。この方法では、ハニカム構造体20の一端面側から貫通孔22の軸線に対して斜め方向の平行光束を照射する。そして、隔壁21に存在するクラックを通過して隣接する貫通孔22内に入射した光をハニカム構造体20の他端面側で検出することでクラックがあることを検出している。
特開昭58−155343号公報
As a method for inspecting the presence or absence of cracks in the partition wall 21, for example, a method described in Patent Document 1 is known. In this method, a parallel light beam oblique to the axis of the through hole 22 is irradiated from one end surface side of the honeycomb structure 20. And the light which passed through the crack which exists in the partition 21 and entered into the adjacent through-hole 22 is detected on the other end surface side of the honeycomb structure 20 to detect the presence of the crack.
JP 58-155343 A

特許文献1に記載の検査方法では、上述の斜め方向の光を通すような比較的大きなクラックについては検査することができるが、上述の角度の光を通さないような微細なクラックを検査することは困難であった。   In the inspection method described in Patent Document 1, it is possible to inspect a relatively large crack that allows light in the above-described oblique direction to pass through, but inspects a fine crack that does not pass light at the above-described angle. Was difficult.

本発明は、上記問題に鑑みなされたものであり、微細な隔壁のクラックをも検出可能なハニカム構造体のクラック検査方法及び検査装置を提供することを主たる目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above problems, and a main object of the present invention is to provide a honeycomb structure crack inspection method and inspection apparatus capable of detecting even fine partition wall cracks.

以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて作用、効果等を示しつつ説明する。   Hereinafter, means and the like effective for solving the above-described problems will be described while showing functions and effects as necessary.

請求項1に記載の発明は、隔壁により互いに平行に且つ直線状に形成された多数の貫通孔を有するハニカム構造体において、前記隔壁のクラックを検査するクラック検査方法に関するものである。そして、前記ハニカム構造体の一端面側から光照射手段により光を照射し、この光照射状態において、前記貫通孔の軸線方向に対して実質的に光軸を傾斜させた撮像手段を用いて前記ハニカム構造体を他端面側から撮像し、前記撮像手段により得られた画像データにおいて、その明暗を識別することにより、前記ハニカム構造体における隔壁のクラックを検出することを特徴としている。   The invention described in claim 1 relates to a crack inspection method for inspecting cracks in the partition walls in a honeycomb structure having a large number of through holes formed in parallel and linearly by the partition walls. Then, light is irradiated by light irradiation means from one end surface side of the honeycomb structure, and in this light irradiation state, the imaging means is used in which the optical axis is substantially inclined with respect to the axial direction of the through hole. An image of the honeycomb structure is taken from the other end surface side, and cracks in the partition walls in the honeycomb structure are detected by identifying brightness and darkness in image data obtained by the imaging means.

貫通孔の軸線方向に対して実質的に光軸を傾斜させた撮像手段を用いることにより、ハニカム構造体の他端面側から隔壁内部を撮像することが可能となる。ここで、光照射手段によって照射された光は様々な方向に斜行する成分を含んでいる。そして、それら各斜行成分はハニカム構造体の一端面側から貫通孔に入射され、隔壁によって反射されつつ貫通孔の内部を通過する。他端面側から出た光も様々な方向に斜行する成分を含んでいるが、実際に撮像手段の撮像に寄与するのは他端面側から撮像手段の光軸と平行に出て行く光である。すなわち、一端面側から隔壁に対して所定角度で入射されるとともに隔壁に対して所定角度で反射され、撮像手段の光軸と平行に出て行く光のみが撮像手段の撮像に寄与することとなる。   By using an image pickup means in which the optical axis is substantially inclined with respect to the axial direction of the through hole, the inside of the partition wall can be imaged from the other end face side of the honeycomb structure. Here, the light irradiated by the light irradiating means includes components that skew in various directions. Each skew component enters the through hole from one end surface side of the honeycomb structure, and passes through the through hole while being reflected by the partition walls. The light emitted from the other end surface also includes components that are skewed in various directions, but what actually contributes to the imaging of the imaging means is light that exits in parallel with the optical axis of the imaging means from the other end surface side. is there. That is, only light that is incident at a predetermined angle with respect to the partition wall from one end surface side, is reflected at a predetermined angle with respect to the partition wall, and exits in parallel with the optical axis of the imaging unit contributes to the imaging of the imaging unit. Become.

一端面側から貫通孔に入射された光がクラックのない隔壁で反射されて他端面側から出る場合、撮像手段によって取得される隔壁の像はほぼ均一な明るさとなる。これに対し、一端面側から貫通孔に入射された光がクラックのある隔壁で反射される場合、クラックの部分では光が散乱されるため撮像手段の光軸と平行な反射光は弱められる。このことは、比較的大きなクラックのみならず、微細なクラックについてもいえる。そのため、撮像手段により撮像された画像データにおいてはクラックに対応する部分が他の隔壁部分よりも相対的に暗くなる。このため、撮像手段により得られた画像データにおいてその明暗を識別することにより、隔壁のクラックを検出することが可能となる。   When the light incident on the through hole from the one end surface side is reflected by the partition wall without cracks and exits from the other end surface side, the image of the partition wall obtained by the imaging means has almost uniform brightness. On the other hand, when light incident on the through-hole from one end surface is reflected by a cracked partition wall, light is scattered at the cracked portion, so reflected light parallel to the optical axis of the imaging means is weakened. This is true not only for relatively large cracks but also for fine cracks. Therefore, in the image data picked up by the image pickup means, the portion corresponding to the crack is relatively darker than the other partition wall portions. For this reason, it is possible to detect a crack in the partition wall by identifying the brightness and darkness in the image data obtained by the imaging means.

請求項2に記載の発明では、前記撮像手段により得られた画像データにおける相対的な明度差を識別することにより、相対的に暗い部分にクラックがあることを検出することを特徴している。上述の通り、撮像手段により撮像された画像データにおいてはクラックに対応する部分が他の隔壁部分よりも相対的に暗くなる。このため、画像データにおける相対的な明度差(明暗の差)を識別することにより、相対的に暗い部分にクラックがあることを検出することが可能となる。   The invention according to claim 2 is characterized in that the presence of a crack in a relatively dark portion is detected by identifying a relative brightness difference in the image data obtained by the imaging means. As described above, in the image data picked up by the image pickup means, the portion corresponding to the crack is relatively darker than the other partition wall portions. Therefore, it is possible to detect a crack in a relatively dark part by identifying a relative brightness difference (brightness / darkness difference) in the image data.

請求項3に記載の発明では、クラックが存在しない前記隔壁についての前記画像データにおける明度を予め基準明度として規定しておき、前記撮像手段により得られた画像データにおいて、前記基準明度と比較により明暗を識別して前記ハニカム構造体における隔壁のクラックを検出することを特徴としている。クラックが存在しない隔壁についての画像データにおける明度を基準明度とすれば、その基準明度との明暗を識別することにより、容易に隔壁のクラックを検出することができる。   According to a third aspect of the present invention, the brightness in the image data for the partition without cracks is defined in advance as a reference brightness, and in the image data obtained by the imaging means, the brightness is compared with the reference brightness. And cracks in the partition walls in the honeycomb structure are detected. If the lightness in the image data of the partition wall having no crack is used as the reference lightness, it is possible to easily detect a crack in the partition wall by discriminating the brightness from the reference lightness.

請求項4に記載の発明では、前記ハニカム構造体の長さをL、前記貫通孔の口径をaとした場合において、前記撮像手段の光軸と前記貫通孔の軸線との実質的な傾斜角度θをθ=arctan(a/L)となるように設定することを特徴としている。これにより、一端面側から他端面側に至る隔壁の全長を撮像することができる。この結果、隔壁の全長におけるクラックの有無を一度に検査することができ、クラック検査の効率が向上する。   In the invention according to claim 4, when the length of the honeycomb structure is L and the diameter of the through hole is a, the substantial inclination angle between the optical axis of the imaging means and the axis of the through hole It is characterized in that θ is set such that θ = arctan (a / L). Thereby, the full length of the partition from the one end surface side to the other end surface side can be imaged. As a result, the presence or absence of cracks in the entire length of the partition wall can be inspected at a time, and the efficiency of crack inspection is improved.

請求項5に記載の発明では、テレセントリック光学系を用いて、複数の前記貫通孔から出た光を前記撮像手段の結像面に集光させることを特徴とすることを特徴としている。これにより、貫通孔の他端面側からテレセントリック光学系の光軸と平行に出てくる光をそれぞれ撮像手段の結像面に集光することができる。この結果、複数の隔壁におけるクラックの有無を一括して検査することが可能となり、検査の効率が向上する。   The invention according to claim 5 is characterized in that the light emitted from the plurality of through-holes is condensed on the imaging surface of the imaging means using a telecentric optical system. As a result, it is possible to condense light that emerges in parallel with the optical axis of the telecentric optical system from the other end surface side of the through hole onto the imaging surface of the imaging means. As a result, it is possible to inspect collectively for the presence or absence of cracks in the plurality of partition walls, thereby improving the inspection efficiency.

請求項6に記載の発明では、前記テレセントリック光学系を用いて、全ての前記貫通孔から出た光を前記撮像手段の結像面に集光させることを特徴としている。これにより、全ての貫通孔における隔壁のクラックの有無を一括して検査することが可能となり、検査の効率が向上する。   The invention described in claim 6 is characterized in that the light emitted from all the through-holes is condensed on the imaging plane of the imaging means using the telecentric optical system. Thereby, it is possible to inspect collectively for the presence or absence of cracks in the partition walls in all the through holes, and the efficiency of the inspection is improved.

請求項7に記載の発明では、前記ハニカム構造体及び前記撮像手段の間に配設された凸レンズの光軸と前記撮像手段の光軸とを相対的に移動させることにより、実質的に前記撮像手段の光軸と前記貫通孔の軸線とを傾斜させることを特徴としている。凸レンズの光軸を撮像手段の光軸に対してずらした場合、凸レンズの光軸に対して所定の角度で入射した光が撮像手段の光軸上に集光する。すなわち、撮像手段の光軸を貫通孔の軸線に対して実質的に傾斜させた状態を作り出すことが可能となる。   In the invention according to claim 7, by substantially moving the optical axis of the convex lens disposed between the honeycomb structure and the imaging means and the optical axis of the imaging means, the imaging is substantially performed. The optical axis of the means and the axis of the through hole are inclined. When the optical axis of the convex lens is shifted with respect to the optical axis of the imaging unit, light incident at a predetermined angle with respect to the optical axis of the convex lens is collected on the optical axis of the imaging unit. That is, it is possible to create a state in which the optical axis of the imaging means is substantially inclined with respect to the axis of the through hole.

請求項8に記載の発明では、前記凸レンズとしてフレネル凸レンズを用いることを特徴としている。フレネル凸レンズを用いることでレンズを薄く且つ軽くすることができ、本発明に用いる装置を小型軽量化することが可能となる。   The invention according to claim 8 is characterized in that a Fresnel convex lens is used as the convex lens. By using a Fresnel convex lens, the lens can be made thin and light, and the apparatus used in the present invention can be reduced in size and weight.

請求項9に記載の発明は、隔壁により互いに区画された複数の貫通孔を有するハニカム構造体における隔壁のクラック検査装置に関するものである。そして、前記ハニカム構造体の一端面側から光を照射する光照射手段と、前記貫通孔の軸線方向に対して実質的に光軸を傾斜させた状態で、前記ハニカム構造体の他端面側に配設された撮像手段と、前記撮像手段により取得した画像データを表示する表示手段とを備えることを特徴としている。   The invention according to claim 9 relates to a crack inspection apparatus for partition walls in a honeycomb structure having a plurality of through holes partitioned from each other by partition walls. And a light irradiating means for irradiating light from one end face side of the honeycomb structure, and the other end face side of the honeycomb structure with the optical axis inclined substantially with respect to the axial direction of the through-hole. It is characterized by comprising an arranged image pickup means and a display means for displaying the image data acquired by the image pickup means.

このような装置を用いることにより、上述の検査方法を好適に実現することが可能となる。   By using such an apparatus, the above-described inspection method can be suitably realized.

[第1実施形態]
以下、本発明にかかるハニカム構造体におけるクラック検査装置を具体化した第1の実施形態を図面に基づいて説明する。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of a crack inspection apparatus for a honeycomb structure according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1はクラック検査装置の全体構成を示す図である。本実施形態のハニカム構造体20はセラミックからなり、自動車用排ガス浄化装置のフィルタ等に用いられるものである。ハニカム構造体20は円柱形状であり、図9(a),(b)に示すごとく、隔壁21により区画された多数の貫通孔22が設けられている。各貫通孔22はハニカム構造体20における第1開口端面23と第2開口端面24との間で直線状に延び、両端面23,24間を貫通している。また、各貫通孔22は、その軸線がハニカム構造体の軸線Hに対して平行になるように形成されている。貫通孔22は断面正方形状であり、その一辺の長さaは約1mmである。貫通孔22(ハニカム構造体20)の長さL、即ち上記第1開口端面23から第2開口端面24までの距離は約100mmである。また、ハニカム構造体20の貫通方向に対して垂直な断面の最大径dは約150mmである。   FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a crack inspection apparatus. The honeycomb structure 20 of the present embodiment is made of ceramic, and is used for a filter or the like of an automobile exhaust gas purification device. The honeycomb structure 20 has a cylindrical shape, and is provided with a large number of through holes 22 partitioned by partition walls 21 as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b). Each through hole 22 extends linearly between the first opening end face 23 and the second opening end face 24 in the honeycomb structure 20 and penetrates between both end faces 23, 24. Each through hole 22 is formed so that its axis is parallel to the axis H of the honeycomb structure. The through hole 22 has a square cross section, and the length a of one side thereof is about 1 mm. The length L of the through hole 22 (honeycomb structure 20), that is, the distance from the first opening end face 23 to the second opening end face 24 is about 100 mm. The maximum diameter d of the cross section perpendicular to the penetration direction of the honeycomb structure 20 is about 150 mm.

クラック検査装置10は、載置部30、照明装置40、テレセントリック光学系50、カメラ60、撮像制御部70及びモニタ80を備えて構成されている。   The crack inspection apparatus 10 includes a placement unit 30, an illumination device 40, a telecentric optical system 50, a camera 60, an imaging control unit 70, and a monitor 80.

載置部30には、円柱状のハニカム構造体20がその軸線を水平方向に向けて載置される。載置部30にはハニカム構造体20を挟持して載置部30上の所定位置に固定するための保持部31が設けられている。   A cylindrical honeycomb structure 20 is placed on the placement portion 30 with its axis line oriented in the horizontal direction. The mounting portion 30 is provided with a holding portion 31 for sandwiching the honeycomb structure 20 and fixing it at a predetermined position on the mounting portion 30.

照明装置40は面光源であり、載置部30に載置されたハニカム構造体20の第1開口端面23側からハニカム構造体20に向けて光を照射する。照明装置40からは、ハニカム構造体20の貫通孔22と平行な成分の他に貫通孔22に対して斜行する成分を含む光が照射される。   The lighting device 40 is a surface light source, and irradiates light from the first opening end face 23 side of the honeycomb structure 20 placed on the placement unit 30 toward the honeycomb structure 20. The illumination device 40 emits light including a component that is skewed with respect to the through hole 22 in addition to a component parallel to the through hole 22 of the honeycomb structure 20.

テレセントリック光学系50は、複数の貫通孔22の第2開口端面24側から出た光を集光するためのものである。テレセントリック光学系50とは、レンズの光軸に対して平行に入射した光線はレンズの焦点を通過するが、光軸に対して斜めに入射した光線は焦点を通過しないよう構成した光学系である。すなわち、図2に示すごとく、ハニカム構造体20の貫通孔22を通過した光のうち、レンズ51の光軸Tと平行な光のみがレンズ51の焦点位置fに設けた開口絞52を通過する。したがって、テレセントリック光学系50を用いることにより、テレセントリック光学系50の光軸Tと平行な光であれば、光軸Tから離れた光であっても、カメラ60の結像面61に集光することができる。   The telecentric optical system 50 is for condensing light emitted from the second opening end face 24 side of the plurality of through holes 22. The telecentric optical system 50 is an optical system configured such that light rays incident parallel to the optical axis of the lens pass through the focal point of the lens, but light rays incident obliquely with respect to the optical axis do not pass through the focal point. . That is, as shown in FIG. 2, only the light parallel to the optical axis T of the lens 51 out of the light passing through the through-hole 22 of the honeycomb structure 20 passes through the aperture stop 52 provided at the focal position f of the lens 51. . Therefore, by using the telecentric optical system 50, even if the light is parallel to the optical axis T of the telecentric optical system 50, even the light away from the optical axis T is condensed on the imaging surface 61 of the camera 60. be able to.

図1及び図2に示すように、本実施形態では、テレセントリック光学系50はその光軸Tがハニカム構造体20の軸線Hと角度θ(=arctan(a/L))をなすように配置される。なお、図1に示すごとく、テレセントリック光学系50は、ハニカム構造体20の全ての貫通孔22から出た光を集光することができるよう構成してある。そして、検査像81はハニカム構造体20の全ての貫通孔22に対応して形成される。   As shown in FIGS. 1 and 2, in this embodiment, the telecentric optical system 50 is arranged such that the optical axis T forms an angle θ (= arctan (a / L)) with the axis H of the honeycomb structure 20. The As shown in FIG. 1, the telecentric optical system 50 is configured to collect light emitted from all the through holes 22 of the honeycomb structure 20. The inspection image 81 is formed corresponding to all the through holes 22 of the honeycomb structure 20.

カメラ60はその光軸Cをテレセントリック光学系50の光軸Tに一致させた状態で接続されている。すなわち、カメラ60の光軸Cもハニカム構造体20の軸線Hと角度θをなすように配置される。これにより、カメラ60はハニカム構造体20の軸線Hに対して角度θの方向から隔壁21を撮像することが可能となっている。カメラ60としては、例えばCCDカメラ、CMOSカメラ、ラインセンサ等を用いることができる。カメラ60は、撮像制御部70からの撮像指令信号に応じて撮像を行うとともに、得られた画像データを撮像制御部70に送信する。   The camera 60 is connected with its optical axis C aligned with the optical axis T of the telecentric optical system 50. That is, the optical axis C of the camera 60 is also arranged so as to form an angle θ with the axis H of the honeycomb structure 20. Thereby, the camera 60 can image the partition wall 21 from the direction of the angle θ with respect to the axis H of the honeycomb structure 20. As the camera 60, for example, a CCD camera, a CMOS camera, a line sensor, or the like can be used. The camera 60 performs imaging in accordance with an imaging command signal from the imaging control unit 70 and transmits obtained image data to the imaging control unit 70.

撮像制御部70は、カメラ60に撮像指令信号を出力するとともにカメラ60で撮像された画像データを受信する。そして、この受信した画像データをモニタ80に出力する。これにより、カメラ60で取得された検査像81がモニタ80に表示される。   The imaging control unit 70 outputs an imaging command signal to the camera 60 and receives image data captured by the camera 60. The received image data is output to the monitor 80. As a result, the inspection image 81 acquired by the camera 60 is displayed on the monitor 80.

次に本実施形態のクラック検査装置10を用いたクラック検査方法を説明する。   Next, a crack inspection method using the crack inspection apparatus 10 of this embodiment will be described.

まず、ハニカム構造体20を載置部30に載置するとともに保持部31にて載置部30上の所定位置に固定する。次いで、照明装置40によりハニカム構造体20の第1開口端面23の全面に光を照射する。そして、ハニカム構造体20の第2開口端面24から出た光をテレセントリック光学系50によって受ける。テレセントリック光学系50は、その光軸Tと平行な光のみを、カメラ60の結像面61に集光する。   First, the honeycomb structure 20 is mounted on the mounting unit 30 and fixed to a predetermined position on the mounting unit 30 by the holding unit 31. Next, the illumination device 40 irradiates the entire surface of the first opening end surface 23 of the honeycomb structure 20 with light. Then, the light emitted from the second opening end face 24 of the honeycomb structure 20 is received by the telecentric optical system 50. The telecentric optical system 50 focuses only the light parallel to the optical axis T on the imaging surface 61 of the camera 60.

カメラ60は撮像制御部70からの撮像指令信号を受けて撮像を行うとともに取得した画像データを撮像制御部70に送信する。撮像制御部70は画像データをモニタ80に送信し、図3に示すごとく、モニタ80に検査像81を表示する。モニタ80に表示された検査像81は検査員により目視で確認される。そして、モニタ80に表示された検査像81の隔壁21に対応する部分において他の隔壁21の部分よりも暗く写っている箇所が確認できた場合、そこにクラックが存在していることが検出される。   The camera 60 receives an imaging command signal from the imaging control unit 70 and performs imaging, and transmits acquired image data to the imaging control unit 70. The imaging control unit 70 transmits image data to the monitor 80, and displays an inspection image 81 on the monitor 80 as shown in FIG. The inspection image 81 displayed on the monitor 80 is visually confirmed by an inspector. Then, when a portion of the inspection image 81 displayed on the monitor 80 corresponding to the partition wall 21 is darker than the other partition wall 21 is detected, it is detected that a crack exists. The

この点につき、図4を用いて詳述する。図4は、クラックの検出原理を説明するための模式的な図である。照明装置40によって照射された光は様々な方向に斜行する成分を含んでいる。そして、それら各斜行成分はハニカム構造体20の第1開口端面23から貫通孔22内に入射され、隔壁21によって反射されつつ貫通孔22の内部を通過する。第2開口端面24から出た光も様々な方向に斜行する成分を含んでいるが、テレセントリック光学系50の開口絞52を通過するのはテレセントリック光学系50の光軸Tと平行な方向の成分のみである。すなわち、光軸Tと平行にテレセントリック光学系50に入射する光のみがカメラ60による撮像に寄与することとなる。   This point will be described in detail with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the principle of crack detection. The light irradiated by the illuminating device 40 includes components that skew in various directions. Each of the skew components enters the through hole 22 from the first opening end face 23 of the honeycomb structure 20, and passes through the through hole 22 while being reflected by the partition wall 21. The light emitted from the second opening end face 24 also includes components that are skewed in various directions, but the light passing through the aperture stop 52 of the telecentric optical system 50 is in a direction parallel to the optical axis T of the telecentric optical system 50. Only ingredients. That is, only the light incident on the telecentric optical system 50 in parallel with the optical axis T contributes to imaging by the camera 60.

第1開口端面23側から貫通孔22に入射された光がクラック25のない隔壁21で反射されて第2開口端面24から出た場合、検査像81におけるその隔壁21に対応する部分はほぼ均一な明るさとなる。これに対し、第1開口端面23側から貫通孔22に入射された光が微細なクラック25のある隔壁21で反射される場合、クラック25の部分では光が散乱され光軸Tと平行な反射光は弱められる。そのため、光軸Tと平行な光を集光して得られた検査像81においてはクラック25に対応する部分がクラック25のない隔壁21部分よりも暗くなる。このため、検査像81において他よりも暗い部分を含む隔壁21がある場合には、その隔壁21にクラック25が存在していることがわかる。   When the light incident on the through hole 22 from the first opening end face 23 side is reflected by the partition wall 21 without the crack 25 and exits from the second opening end face 24, the portion corresponding to the partition wall 21 in the inspection image 81 is substantially uniform. Brightness. On the other hand, when the light incident on the through hole 22 from the first opening end face 23 side is reflected by the partition wall 21 having the fine crack 25, the light is scattered at the portion of the crack 25 and reflected parallel to the optical axis T. The light is weakened. Therefore, in the inspection image 81 obtained by condensing light parallel to the optical axis T, the portion corresponding to the crack 25 is darker than the partition 21 portion without the crack 25. For this reason, when there is a partition wall 21 including a darker portion than the others in the inspection image 81, it can be seen that the crack 25 exists in the partition wall 21.

以上詳述した本実施の形態によれば、以下の優れた効果が得られる。   According to the embodiment described above in detail, the following excellent effects can be obtained.

隔壁21のクラック25の部分では、光は入射角と同一の角度で反射せずに散乱する。すなわち、クラック25が存在する隔壁21で反射した光を集光した場合、クラック25がない部分で反射した光と平行な反射光はクラック25の部分では弱められることとなる。これにより、テレセントリック光学系50の光軸T(カメラ60の光軸C)とハニカム構造体20の軸線Hとを傾斜させた状態で隔壁21を撮像し、得られた検査像81うち基準の明るさよりも暗く写っている隔壁21の部分を検出することで微細なクラック25についても容易に検査することが可能となる。   In the crack 25 portion of the partition wall 21, light is scattered without being reflected at the same angle as the incident angle. That is, when the light reflected by the partition wall 21 in which the crack 25 exists is collected, the reflected light parallel to the light reflected by the portion without the crack 25 is weakened at the crack 25 portion. As a result, the partition wall 21 is imaged in a state where the optical axis T of the telecentric optical system 50 (the optical axis C of the camera 60) and the axis H of the honeycomb structure 20 are tilted. By detecting the part of the partition wall 21 that appears darker than that, it is possible to easily inspect the fine crack 25.

すなわち、本実施形態では、テレセントリック光学系50の光軸T(カメラ60の光軸C)とハニカム構造体20の軸線Hとを傾斜させることにより、隔壁21で反射する光により形成される検査像81を取得している。微細なクラックであっても反射光の強度に影響するため、隔壁21を斜め方向に貫通する光によりクラックの検出を行う検査方法と異なり、微細なクラックをも好適に検出することができる。   In other words, in the present embodiment, the inspection image formed by the light reflected by the partition walls 21 by inclining the optical axis T of the telecentric optical system 50 (the optical axis C of the camera 60) and the axis H of the honeycomb structure 20. 81 is acquired. Even a fine crack affects the intensity of reflected light, and therefore, unlike an inspection method in which a crack is detected by light penetrating the partition wall 21 in an oblique direction, a fine crack can be suitably detected.

なお、本実施形態では、クラック25の有無を判別するための基準の明るさを、検査像81におけるクラック25のない隔壁21の部分の明るさとしている。この明るさを基準とすれば、それより暗い部分を検出することで容易に隔壁21のクラック25を検出することができる。   In the present embodiment, the reference brightness for determining the presence or absence of the crack 25 is the brightness of the part of the partition wall 21 without the crack 25 in the inspection image 81. If this brightness is used as a reference, the crack 25 of the partition wall 21 can be easily detected by detecting a darker portion.

本実施形態では、ハニカム構造体20の軸線H(すなわち貫通孔22の軸線)とテレセントリック光学系50の光軸Tとを角度arctan(a/L)だけ傾斜させた。これにより、第1開口端面23側から第2開口端面24側に至る隔壁21の全長における検査像81を得ることができる。この結果、隔壁21の全長におけるクラック25の有無を一度に検査することができ、クラック検査の効率が向上する。   In the present embodiment, the axis H of the honeycomb structure 20 (that is, the axis of the through hole 22) and the optical axis T of the telecentric optical system 50 are inclined by an angle arctan (a / L). Thereby, the inspection image 81 in the full length of the partition 21 from the 1st opening end surface 23 side to the 2nd opening end surface 24 side can be obtained. As a result, the presence or absence of the crack 25 in the entire length of the partition wall 21 can be inspected at a time, and the efficiency of the crack inspection is improved.

本実施形態では、ハニカム構造体20の第2開口端面24から出た光を、テレセントリック光学系50を用いて集光した。これにより、第2開口端面24からテレセントリック光学系50の光軸Tと平行に出てくる光を略均一にそれぞれカメラ60の結像面61に集光することができる。この結果、検査像81はハニカム構造体20の複数の隔壁21に対応して形成される。この検査像81を用いることにより、複数の隔壁21におけるクラック25の有無を一括して検査することが可能となり、検査の効率が向上する。   In the present embodiment, the light emitted from the second opening end face 24 of the honeycomb structure 20 is collected using the telecentric optical system 50. As a result, the light emitted from the second opening end face 24 in parallel with the optical axis T of the telecentric optical system 50 can be condensed almost uniformly on the imaging surface 61 of the camera 60. As a result, the inspection image 81 is formed corresponding to the plurality of partition walls 21 of the honeycomb structure 20. By using the inspection image 81, it is possible to inspect collectively for the presence or absence of the crack 25 in the plurality of partition walls 21, and the inspection efficiency is improved.

また、本実施形態では、テレセントリック光学系50は、ハニカム構造体20の全ての貫通孔22から出た光をカメラ60の結像面61に集光することができるよう構成してあり、検査像81はハニカム構造体20の全ての隔壁21に対応して形成される(図3)。これにより、ハニカム構造体20の全ての貫通孔22について、一括してクラック検査を行うことができる。そのため、クラック検査の効率が一層向上する。   In the present embodiment, the telecentric optical system 50 is configured so as to be able to focus the light emitted from all the through holes 22 of the honeycomb structure 20 on the imaging surface 61 of the camera 60, so that an inspection image is obtained. 81 is formed corresponding to all the partition walls 21 of the honeycomb structure 20 (FIG. 3). Thereby, the crack inspection can be performed collectively for all the through holes 22 of the honeycomb structure 20. Therefore, the efficiency of crack inspection is further improved.

[第2実施形態]
次に本発明を具体化した第2実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図5に示すように、本実施形態のクラック検査装置110は、照明装置140、フレネル凸レンズ150、レンズ移動手段151、カメラ160、撮像制御部170、モニタ180、コントローラ190及び操作手段191を備えて構成されている。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 5, the crack inspection apparatus 110 of this embodiment includes an illumination device 140, a Fresnel convex lens 150, a lens moving unit 151, a camera 160, an imaging control unit 170, a monitor 180, a controller 190, and an operation unit 191. It is configured.

照明装置140は面光源である。照明装置140は発光面を鉛直上方向に向けて設置されており、照明装置140の上には第1開口端面23を下にしたハニカム構造体20が載置される。照明装置140からはハニカム構造体20の貫通孔22と平行な成分の他に貫通孔22に対して斜行する成分を含む光が上方に照射される。   The illumination device 140 is a surface light source. The illuminating device 140 is installed with the light emitting surface facing vertically upward, and the honeycomb structure 20 with the first opening end surface 23 facing down is placed on the illuminating device 140. From the lighting device 140, light including a component that is skewed with respect to the through hole 22 in addition to a component parallel to the through hole 22 of the honeycomb structure 20 is irradiated upward.

フレネル凸レンズ150は照明装置140の上方に設けられている。そして、レンズ移動手段151からの信号を受けて、水平面内で直交する2方向(x、y軸方向)に移動可能に構成されている。レンズ移動手段151は、コントローラ190からの信号を受けてフレネル凸レンズ150をx、y方向に移動させるものである。   The Fresnel convex lens 150 is provided above the lighting device 140. And it is comprised so that the signal from the lens moving means 151 can be received, and it can move to two directions (x, y-axis direction) orthogonal in a horizontal surface. The lens moving means 151 receives the signal from the controller 190 and moves the Fresnel convex lens 150 in the x and y directions.

カメラ160は広角レンズ161がマウントされている点を除いて第1実施形態のカメラ60と同様であり、撮像制御部170はコントローラ190からの信号を受けて作動する点を除いて第1実施形態の撮像制御部70と同様である。また、モニタ180は第1実施形態のモニタ80と同様である。   The camera 160 is the same as the camera 60 of the first embodiment except that the wide-angle lens 161 is mounted, and the imaging control unit 170 operates in response to a signal from the controller 190, in the first embodiment. This is the same as the imaging control unit 70 of FIG. The monitor 180 is the same as the monitor 80 of the first embodiment.

検査員が操作手段191を操作することにより、コントローラ190には操作入力信号が入力される。操作入力信号を受けて、コントローラ190は上述のようにレンズ移動手段151及び撮像制御部170に制御指令信号を出力する。   When the inspector operates the operation means 191, an operation input signal is input to the controller 190. In response to the operation input signal, the controller 190 outputs a control command signal to the lens moving unit 151 and the imaging control unit 170 as described above.

ここで、フレネル凸レンズ150を水平面内で移動した場合の作用について説明する。フレネル凸レンズ150の光軸Fがカメラ160の光軸Cと一致している場合には、図7(a)に示すように、フレネル凸レンズ150の下面に垂直に入射した光は、光軸C,F上に存在するフレネル凸レンズ150の焦点に集まる(この場合の焦点位置をf0とする)。次に、フレネル凸レンズ150を、図7(b)に示すようにx軸方向に距離x0だけ移動した場合について考える。この場合においては、位置f0に集光する光は、フレネル凸レンズ150の下面に対して所定角度で平行に入射する光である。すなわち、フレネル凸レンズ150をxy平面内で移動することにより、実質的にハニカム構造体20の軸線Hに対して傾斜した方向(図8(b)の二点鎖線の傾斜方向)からハニカム構造体20を見たのと同様の効果を得ることができる。したがって、フレネル凸レンズ150の移動距離を適切に設定することで、第1実施形態と同様、ハニカム構造体20の軸線Hに対して角度θ(=arctan(a/L))だけ傾斜させた方向からカメラ160で撮像したのと同様の検査像を得ることが可能となる。   Here, an operation when the Fresnel convex lens 150 is moved in a horizontal plane will be described. When the optical axis F of the Fresnel convex lens 150 is coincident with the optical axis C of the camera 160, as shown in FIG. They are collected at the focal point of the Fresnel convex lens 150 existing on F (the focal position in this case is assumed to be f0). Next, consider a case where the Fresnel convex lens 150 is moved by a distance x0 in the x-axis direction as shown in FIG. In this case, the light condensed at the position f0 is light that enters the lower surface of the Fresnel convex lens 150 in parallel at a predetermined angle. That is, by moving the Fresnel convex lens 150 in the xy plane, the honeycomb structure 20 is substantially tilted with respect to the axis H of the honeycomb structure 20 (inclination direction of the two-dot chain line in FIG. 8B). You can get the same effect that you saw. Therefore, by appropriately setting the moving distance of the Fresnel convex lens 150, the angle θ (= arctan (a / L)) is inclined with respect to the axis H of the honeycomb structure 20 as in the first embodiment. An inspection image similar to that captured by the camera 160 can be obtained.

次に、本実施形態のクラック検査装置110を用いたクラック検査方法を説明する。まず、フレネル凸レンズ150を照明装置140上から退避させた状態で、第1開口端面23を下にした状態のハニカム構造体20を照明装置140上に載置する。この際、ハニカム構造体20の軸線Hとカメラ160のレンズの光軸Cとを一致させる。ハニカム構造体20の軸線Hとカメラ160のレンズの光軸Cとを一致させるためには、カメラ160によって撮像された検査像181をモニタ180で確認しながら、ハニカム構造体20の載置位置を調整するとよい。   Next, a crack inspection method using the crack inspection apparatus 110 of this embodiment will be described. First, with the Fresnel convex lens 150 retracted from the lighting device 140, the honeycomb structure 20 with the first opening end face 23 facing down is placed on the lighting device 140. At this time, the axis H of the honeycomb structure 20 and the optical axis C of the lens of the camera 160 are matched. In order to make the axis H of the honeycomb structure 20 coincide with the optical axis C of the lens of the camera 160, the mounting position of the honeycomb structure 20 is checked while checking the inspection image 181 captured by the camera 160 on the monitor 180. Adjust it.

次に、操作手段191を操作することによりフレネル凸レンズ150をハニカム構造体20上に移動させ、カメラ160の光軸Cとフレネル凸レンズ150の光軸Fとを一致させる。両光軸C,Fが一致した状態においては、フレネル凸レンズ150の下面に垂直に入射した光がカメラ160の光軸C上に集まる。すなわち、両光軸C,Fが一致した状態の検査像181は、ハニカム構造体20の各貫通孔22を第2開口端面24側の真上から見たものとなる。そして、検査像181における貫通孔22に対応する位置には隔壁21を反射することなく貫通孔22を直進してきた光が映し出されているため、図7に示すように隔壁21と貫通孔22との明暗差が最も明確となった状態である。この状態であることも、モニタ180を見ながら確認することができる。   Next, the operating means 191 is operated to move the Fresnel convex lens 150 onto the honeycomb structure 20 so that the optical axis C of the camera 160 and the optical axis F of the Fresnel convex lens 150 are aligned. In a state in which both optical axes C and F coincide with each other, light perpendicularly incident on the lower surface of the Fresnel convex lens 150 is collected on the optical axis C of the camera 160. That is, the inspection image 181 in a state where the optical axes C and F coincide with each other is a view of each through hole 22 of the honeycomb structure 20 as viewed from directly above the second opening end face 24 side. Then, since light that has traveled straight through the through hole 22 without being reflected by the partition wall 21 is reflected at a position corresponding to the through hole 22 in the inspection image 181, as shown in FIG. This is the state in which the difference in brightness is the clearest. This state can also be confirmed while looking at the monitor 180.

カメラ160の光軸Cとフレネル凸レンズ150の光軸Fとが一致したら、この状態からフレネル凸レンズ150をx軸方向に移動させる。フレネル凸レンズ150の移動は、モニタ180に出力された検査像181を見ながら行い、隔壁21で反射することなく貫通孔22を直行した光が検査像181に現れなくなった状態(図5の状態)でフレネル凸レンズ150の移動を停止する。この状態は、ハニカム構造体20の軸線Hとカメラ160のレンズの光軸Cとを角度θ(=arctan(a/L))だけ実質的に傾斜させた状態である。そして、この状態において、モニタ180に表示された検査像181が検査員により目視で確認される。そして、モニタ80に表示された検査像81の隔壁21に対応する部分において他の隔壁21よりも暗く写っている箇所がある場合には、その隔壁21にクラック25が存在していることがわかる。   When the optical axis C of the camera 160 coincides with the optical axis F of the Fresnel convex lens 150, the Fresnel convex lens 150 is moved in the x-axis direction from this state. The movement of the Fresnel convex lens 150 is performed while viewing the inspection image 181 output to the monitor 180, and the light that has passed through the through hole 22 without being reflected by the partition wall 21 does not appear in the inspection image 181 (state of FIG. 5). The movement of the Fresnel convex lens 150 is stopped. This state is a state in which the axis H of the honeycomb structure 20 and the optical axis C of the lens of the camera 160 are substantially inclined by an angle θ (= arctan (a / L)). In this state, the inspection image 181 displayed on the monitor 180 is visually confirmed by the inspector. When there is a portion that is darker than the other partition walls 21 in the portion corresponding to the partition wall 21 of the inspection image 81 displayed on the monitor 80, it can be seen that the crack 25 exists in the partition wall 21. .

その後、カメラ160の光軸Cとフレネル凸レンズ150の光軸Fとを再度一致させるとともに、フレネル凸レンズ150の移動をx軸の逆方向、及びy軸の正負各方向について同様に行う。これにより、各貫通孔22を形成する4つの隔壁21におけるクラック25の有無を検査することができる。また、必要に応じて、ハニカム構造体20の第1開口端面23側からの検査を行ってもよい。   Thereafter, the optical axis C of the camera 160 and the optical axis F of the Fresnel convex lens 150 are made to coincide again, and the Fresnel convex lens 150 is moved in the same manner in the opposite direction of the x axis and in the positive and negative directions of the y axis. Thereby, the presence or absence of the crack 25 in the four partition walls 21 forming each through hole 22 can be inspected. Moreover, you may inspect from the 1st opening end surface 23 side of the honeycomb structure 20 as needed.

本実施形態においても、フレネル凸レンズ150を移動させることにより、カメラ160のレンズの光軸Cとハニカム構造体20の軸線Hとを実質的に傾斜させた状態を作り出している。これにより、第1実施形態と同様、カメラ160のレンズの光軸Cをハニカム構造体20の軸線Hと実質的に傾斜させた状態で貫通孔22の内部の隔壁21を撮像することができる。そして、隔壁21の検査像181うち基準の明るさよりも暗く写っている部分を検出することで微細なクラック25についても容易に検査することが可能となる。   Also in this embodiment, the Fresnel convex lens 150 is moved to create a state in which the optical axis C of the lens of the camera 160 and the axis H of the honeycomb structure 20 are substantially inclined. Thereby, as in the first embodiment, the partition wall 21 inside the through hole 22 can be imaged in a state where the optical axis C of the lens of the camera 160 is substantially inclined with respect to the axis H of the honeycomb structure 20. Then, by detecting a portion of the inspection image 181 of the partition wall 21 that is darker than the reference brightness, the minute crack 25 can be easily inspected.

本実施形態では、フレネル凸レンズ150移動させる構成を採用することで、ハニカム構造体20の軸線Hとカメラ160のレンズの光軸Cとの実質的な傾斜角度の微調整を容易に行うことが可能となる。また、フレネル凸レンズ150を用いることでレンズを薄く且つ軽くすることができる。   In this embodiment, it is possible to easily finely adjust the substantial inclination angle between the axis H of the honeycomb structure 20 and the optical axis C of the lens of the camera 160 by adopting a configuration in which the Fresnel convex lens 150 is moved. It becomes. Further, by using the Fresnel convex lens 150, the lens can be made thin and light.

[他の実施形態]
上記実施形態では、隔壁21に微細なクラック25がある場合について説明した。しかし、本発明は微細なクラック25のみでなく、比較的大きなクラック25の検査にも適用できる。図8は、比較的大きなクラックの検出原理を説明するための模式的な図である。図8に示すように、比較的大きなクラック25が存在する場合には、隣接する貫通孔22から貫通孔22内に光が入射されるが、隔壁21の厚さに相当する部分の影(図8の斜線部分)は生じる。したがって、比較的大きなクラック25の場合においても、他より暗い部分を検出することにより、上記各実施形態の構成及び方法でクラック25の検査を行うことが可能である。
[Other Embodiments]
In the above embodiment, the case where the partition wall 21 has the fine crack 25 has been described. However, the present invention can be applied not only to inspection of the fine crack 25 but also to a relatively large crack 25. FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the principle of detecting a relatively large crack. As shown in FIG. 8, when a relatively large crack 25 exists, light enters the through hole 22 from the adjacent through hole 22, but the shadow corresponding to the thickness of the partition wall 21 (see FIG. 8). 8). Therefore, even in the case of a relatively large crack 25, it is possible to inspect the crack 25 by the configuration and method of each of the above embodiments by detecting a darker part than the other.

上記各実施形態においては、モニタ80,180に表示された検査像81,181を目視で観察したが、この代わりに画像処理装置で自動判別させてもよい。即ち、隔壁21に存在するクラック25は、検査像81,181における明度の差として現れる。そのため、画像明度を指標とすることで画像処理装置によるクラック25の有無の自動判別を容易に実現することができる。   In each of the above-described embodiments, the inspection images 81 and 181 displayed on the monitors 80 and 180 are visually observed. However, instead of this, the image processing apparatus may automatically determine them. That is, the crack 25 existing in the partition wall 21 appears as a difference in brightness between the inspection images 81 and 181. Therefore, automatic determination of the presence or absence of the crack 25 by the image processing apparatus can be easily realized by using the image brightness as an index.

第1実施形態ではテレセントリック光学系50を用いてハニカム構造体20の全ての貫通孔22から出た光を集光した。しかし、テレセントリック光学系による集光はこれに限るものではない。たとえば、ハニカム構造体20に含まれる貫通孔22を複数のグループに分割し、グループごとに貫通孔22から出た光を集光するようにしてもよい。これによっても、複数の貫通孔22について一括してクラック検査を行うことができるので、効率よくクラック検査を行うことが可能である。また、テレセントリック光学系50を用いずに、カメラ60を移動させながら各隔壁21のクラック25を検査することも可能である。   In the first embodiment, the light emitted from all the through holes 22 of the honeycomb structure 20 is collected using the telecentric optical system 50. However, the light collection by the telecentric optical system is not limited to this. For example, the through holes 22 included in the honeycomb structure 20 may be divided into a plurality of groups, and the light emitted from the through holes 22 may be collected for each group. Also by this, since the crack inspection can be performed collectively for the plurality of through holes 22, the crack inspection can be performed efficiently. Further, it is possible to inspect the cracks 25 of the respective partition walls 21 while moving the camera 60 without using the telecentric optical system 50.

第2実施形態では、フレネル凸レンズ150を用いたが、単なる凸レンズを用いてもカメラ160のレンズの光軸Cをハニカム構造体20の軸線Hと実質的に傾斜させた状態を作り出すことができる。また、第2実施形態では、カメラ160に広角レンズ161をマウントさせたが、広角レンズ161は本発明に必須の要件ではない。   In the second embodiment, the Fresnel convex lens 150 is used. However, even if a simple convex lens is used, a state in which the optical axis C of the lens of the camera 160 is substantially inclined with respect to the axis H of the honeycomb structure 20 can be created. In the second embodiment, the wide-angle lens 161 is mounted on the camera 160, but the wide-angle lens 161 is not an essential requirement for the present invention.

第1実施形態に係るクラック検査装置の全体構成を示す図。The figure which shows the whole structure of the crack inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment. テレセントリック光学系の説明図。Explanatory drawing of a telecentric optical system. モニタに表示される検査像を示す図。The figure which shows the test | inspection image displayed on a monitor. クラックの検出原理を説明するための模式的な図。The schematic diagram for demonstrating the detection principle of a crack. 第2実施形態に係るクラック検査装置の全体構成を示す図。The figure which shows the whole structure of the crack inspection apparatus which concerns on 2nd Embodiment. フレネル凸レンズを移動させた場合の作用を示す図。The figure which shows an effect | action at the time of moving a Fresnel convex lens. モニタに表示される検査像を示す図。The figure which shows the test | inspection image displayed on a monitor. クラックの検出原理を説明するための模式的な図。The schematic diagram for demonstrating the detection principle of a crack. (a)はハニカム構造体の斜視図、(b)はハニカム構造体の軸方向断面図。(A) is a perspective view of a honeycomb structure, (b) is an axial sectional view of the honeycomb structure.

符号の説明Explanation of symbols

10…クラック検査装置、20…ハニカム構造体、21…隔壁、22…貫通孔、23…第1開口端面、24…第2開口端面、25…クラック、30…載置部、31…保持部、40…照明装置、50…テレセントリック光学系、60…カメラ、70…撮像制御部、80…モニタ、81…検査像。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Crack inspection apparatus, 20 ... Honeycomb structure, 21 ... Partition, 22 ... Through-hole, 23 ... 1st opening end surface, 24 ... 2nd opening end surface, 25 ... Crack, 30 ... Mounting part, 31 ... Holding part, 40 ... Illuminating device, 50 ... Telecentric optical system, 60 ... Camera, 70 ... Imaging control unit, 80 ... Monitor, 81 ... Inspection image.

Claims (9)

隔壁により互いに平行に且つ直線状に形成された多数の貫通孔を有するハニカム構造体において、前記隔壁のクラックを検査するクラック検査方法であって、
前記ハニカム構造体の一端面側から光照射手段により光を照射し、
この光照射状態において、前記貫通孔の軸線方向に対して実質的に光軸を傾斜させた撮像手段を用いて前記ハニカム構造体を他端面側から撮像し、
前記撮像手段により得られた画像データにおいて、その明暗を識別することにより、前記ハニカム構造体における隔壁のクラックを検出することを特徴とするハニカム構造体のクラック検査方法。
In the honeycomb structure having a large number of through-holes formed in parallel and linearly by the partition walls, a crack inspection method for inspecting cracks of the partition walls,
Irradiate light from the one end surface side of the honeycomb structure by light irradiation means,
In this light irradiation state, the honeycomb structure is imaged from the other end surface side using an imaging means having an optical axis substantially inclined with respect to the axial direction of the through hole,
A method for inspecting cracks in a honeycomb structure, wherein cracks in partition walls in the honeycomb structure are detected by identifying brightness and darkness in image data obtained by the imaging means.
前記撮像手段により得られた画像データにおける相対的な明度差を識別することにより、相対的に暗い部分にクラックがあることを検出することを特徴とする請求項1に記載のハニカム構造体のクラック検査方法。   The crack of the honeycomb structure according to claim 1, wherein a crack is detected in a relatively dark portion by identifying a relative brightness difference in image data obtained by the imaging means. Inspection method. クラックが存在しない前記隔壁についての前記画像データにおける明度を予め基準明度として規定しておき、
前記撮像手段により得られた画像データにおいて、前記基準明度と比較により明暗を識別して前記ハニカム構造体における隔壁のクラックを検出することを特徴とする請求項1に記載のハニカム構造体のクラック検査方法。
The brightness in the image data for the partition without cracks is defined in advance as a reference brightness,
The crack inspection of the honeycomb structure according to claim 1, wherein in the image data obtained by the imaging means, light and darkness are identified by comparison with the reference lightness, and cracks in the partition walls in the honeycomb structure are detected. Method.
前記ハニカム構造体の長さをL、前記貫通孔の口径をaとした場合において、前記撮像手段の光軸と前記貫通孔の軸線との実質的な傾斜角度θを
θ=arctan(a/L)
となるように設定することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のハニカム構造体のクラック検査方法。
When the length of the honeycomb structure is L and the diameter of the through hole is a, the substantial inclination angle θ between the optical axis of the imaging means and the axis of the through hole is θ = arctan (a / L )
The crack inspection method for a honeycomb structure according to any one of claims 1 to 3, wherein the crack inspection method is set so as to satisfy the following conditions.
テレセントリック光学系を用いて、複数の前記貫通孔から出た光を前記撮像手段の結像面に集光させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のハニカム構造体のクラック検査方法。   The honeycomb structure according to any one of claims 1 to 4, wherein light emitted from a plurality of the through holes is condensed on an imaging surface of the imaging means using a telecentric optical system. Crack inspection method. テレセントリック光学系を用いて、全ての前記貫通孔から出た光を前記撮像手段の結像面に集光させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のハニカム構造体のクラック検査方法。   The honeycomb structure according to any one of claims 1 to 4, wherein light emitted from all of the through holes is condensed on an imaging surface of the imaging unit using a telecentric optical system. Crack inspection method. 前記ハニカム構造体及び前記撮像手段の間に配設された凸レンズの光軸と前記撮像手段の光軸とを相対的に移動させることにより、実質的に前記撮像手段の光軸と前記貫通孔の軸線とを傾斜させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のハニカム構造体のクラック検査方法。   By relatively moving the optical axis of the convex lens disposed between the honeycomb structure and the imaging unit and the optical axis of the imaging unit, the optical axis of the imaging unit and the through hole are substantially The crack inspection method for a honeycomb structure according to any one of claims 1 to 4, wherein the axis is inclined. 前記凸レンズとしてフレネル凸レンズを用いることを特徴とする請求項7に記載のハニカム構造体のクラック検査方法。   The method for inspecting cracks in a honeycomb structure according to claim 7, wherein a Fresnel convex lens is used as the convex lens. 隔壁により互いに平行に且つ直線状に形成された多数の貫通孔を有するハニカム構造体において、前記隔壁のクラックを検査するクラック検査装置であって、
前記ハニカム構造体の一端面側から光を照射する光照射手段と、
前記貫通孔の軸線方向に対して実質的に光軸を傾斜させた状態で、前記ハニカム構造体の他端面側に配設された撮像手段と、
前記撮像手段により取得した画像データを表示する表示手段とを備えることを特徴とするハニカム構造体のクラック検査装置。
In the honeycomb structure having a large number of through-holes formed in parallel and linearly by the partition walls, a crack inspection apparatus for inspecting cracks in the partition walls,
A light irradiation means for irradiating light from one end surface side of the honeycomb structure;
In a state where the optical axis is substantially inclined with respect to the axial direction of the through hole, an imaging unit disposed on the other end surface side of the honeycomb structure;
A crack inspection apparatus for a honeycomb structure, comprising: display means for displaying image data acquired by the imaging means.
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