JP2008130996A - 露光方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 マルチレイヤーレチクルを用いた場合であっても露光ショットの合わせ誤差を小さくすることができ、パターン露光精度の向上をはかる。
【解決手段】 マルチレイヤーレチクルを用いた露光方法であって、一つのマスク上に1層分のパターンを搭載したシングルレイヤーレチクルを用い、単位露光領域40を1ショット41で露光し、一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用い、単位露光領域40を同一パターンの複数ショット42a,42bに分割して露光し、且つ各々のショット42a,42bに対し単位露光領域40内の位置情報に基づく属性別に合わせ補正値を持たせて露光する。
【選択図】 図6
【解決手段】 マルチレイヤーレチクルを用いた露光方法であって、一つのマスク上に1層分のパターンを搭載したシングルレイヤーレチクルを用い、単位露光領域40を1ショット41で露光し、一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用い、単位露光領域40を同一パターンの複数ショット42a,42bに分割して露光し、且つ各々のショット42a,42bに対し単位露光領域40内の位置情報に基づく属性別に合わせ補正値を持たせて露光する。
【選択図】 図6
Description
本発明は、マスクに形成されたパターンを試料上に転写する露光方法に係わり、特に一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用いた露光方法に関する。
少量多品種で、生涯ロット数の少ない傾向のあるカスタムロジックデバイスでは、近年のパターンサイズの微細化・高集積化に伴うマスクの高価格化と、設計修正増加に伴うマスク作製コストの増加が問題となっている。そこで、レチクルコスト削減のために、一つのマスク上に複数層のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルが注目されている。マルチレイヤーレチクルを用いることで、マスク枚数を削減できるために、少量多品種製品では、コストメリットが生じる。
一方、レチクルのパターンと下地とを位置合わせする方法としては、特許文献1又は特許文献2などが知られている。特許文献1では、ウェハ上のアライメントマークを位置合わせするアライメント検出器を具備する露光装置において、検出されたアライメントマーク位置の位置誤差から系統誤差を求め、アライメントマーク位置の位置誤差から系統誤差を除いた残差量によってアライメント精度を求める。また、位置検出原理が異なる複数のアライメント検出器を用いて残差量を求め、最も少ない残差量のアライメント検出器をそのウェハの最適な装置として選択する。特許文献2では、線形誤差パラメータ(並進量、残存回転、線形伸縮、直交度)と同時に、ランダム誤差を算出し、その値に応じて位置合わせ、露光をすることの可否を判定し、判定が否である場合、適切な処置が行なわれた後に、再度、誤差パラメータを算出し、位置合わせ、露光を実施する。
マルチレイヤーレチクルを用いると、ショットサイズが小さくなることに起因したスループット低下が懸念されるために、マスクリファイン率の高いレイヤーに限る運用方法が検討されている。この場合、対象工程により、マルチレイヤーレチクルと通常レチクルとが混在するために、異なる露光フィールド同士の重ね合わせとなるため、合わせ精度への影響が発生する。
通常のシングルレイヤーレチクルを用いた場合、光学系で決まる最大の露光領域サイズ以下である単位露光領域を1ショットで露光し、マルチレイヤーレチクルを用いた場合、単位露光領域を同一パターンの複数ショットに分割して露光する。ここで、シングルレイヤーレチクルを用いた場合の単位露光領域のショット上に、マルチレイヤーレチクルで複数ショットを合わせ露光する際に、単位露光領域のショット4隅で計測した合わせ補正値を、そのまま上層の複数ショットの補正値として用いると、合わせ誤差を生じる問題があった。
特許3313543号公報
特開平7−57996号公報
このように従来、マルチレイヤーレチクルを用いた場合、露光ショットサイズが下地ショットサイズ(単位露光領域と同じサイズ)とは異なるために、合わせ精度が低下し、パターン露光精度が低下する問題があった。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、マルチレイヤーレチクルを用いた場合であっても露光ショットの合わせ誤差を小さくすることができ、パターン露光精度の向上をはかり得る露光方法を提供することにある。
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
即ち、本発明の一態様は、一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用い、単位露光領域を複数ショットに分割して露光する露光方法であって、前記複数ショットに対し、前記単位露光領域内の位置情報に基づく属性別に合わせ補正値を持たせることを特徴とする。
また、本発明の別の一態様は、マルチレイヤーレチクルを用いた露光方法において、一つのマスク上に1層分のパターンを搭載したシングルレイヤーレチクルを用い、単位露光領域を1ショットで露光する工程と、一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用い、前記単位露光領域を同一パターンの複数ショットに分割して露光し、且つ各々のショットに対し前記単位露光領域内の位置情報に基づく属性別に合わせ補正値を持たせて露光する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、マルチレイヤーレチクルを用いた場合にあっても、単位露光領域内の位置情報に基づく属性により、露光ショットの合わせ補正値を変えることにより、合わせ精度を向上させることができ、これによってパターン露光精度の向上をはかることができる。
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
(第1の実施形態)
下地層を図1で示す通常レチクルで露光し、上層を図2で示す2層混用のマルチレイヤーレチクルを用いて露光する場合を考える。使用する露光装置は、光露光装置であってもよいし、X線露光装置であってもよい。
下地層を図1で示す通常レチクルで露光し、上層を図2で示す2層混用のマルチレイヤーレチクルを用いて露光する場合を考える。使用する露光装置は、光露光装置であってもよいし、X線露光装置であってもよい。
図1の通常のシングルレイヤーレチクル10は、下地(L0)層の露光に用いるものであり、マスク上に2つの同一パターン11が形成されている。2つのパターン11は、例えば2チップ分のパターンであるが、露光光学系で決まるフルフィールドサイズ以下であるショットで同時に露光される。ここで、図1のシングルレイヤーレチクル10は、2チップ分のパターンとして2つに分割されたようになっているが、必ずしも2つのパターンにする必要はなく、1つのパターンであってもよいのは勿論のことである。
図2のマルチイヤーレチクル20は、上層(L1,L2)露光に用いるものであり、マスク上に2つの異なるパターン21,22が形成されている。即ち、上側にn層目のパターン21が形成され、下側にn+1層目のパターン22が形成されている。
図1のシングルレイヤーレチクル10を用いた、L0層露光時のショットマップ(フルショットサイズ)は図3に示すようになり、単位露光領域31が1ショットで露光される。図2のマルチレイヤーレチクル20を用いたL1層露光時のショットマップ(フルショットを2分割)は図4に示すようになり、単位露光領域31が2ショットで露光される。L1層露光の際には、L0層に対して合わせ露光を行い、合わせ先と露光層とでショットマップが異なる。なお、マルチレイヤーレチクル20を用いる場合、L1層露光時にはパターン22をマスクし、L2層露光時にはパターン21をマスクすることになる。
L0ショットに対するL1ショットの合わせ時に、図5(a)(b)に示すような、ショット直行成分が乗っている場合、通常の合わせ露光では、L0ショットマップで計測した合わせずれ補正値(ショット直行成分)をそのまま、L1層のショットに適用する。この場合、図6に示すように、L0ショット及びL1ショットに対して位置ずれが生じる。図6中の40は単位露光領域でありL0ショットを本来転写すべき領域、41は実際に転写されるL0ショット、42(42a,42b)は実際に転写されるL1ショットを示している。
図6から分かるように、L0ショット41上で上側(+y方向)に位置するショット42aでは、Xプラス方向のオフセット成分が、L0ショット41上で下側(−y方向)に位置するショット42bではXマイナス方向のオフセット成分が発生し、その結果として合わせ誤差が生じる。
本実施形態では、下地に対する位置属性、この場合では、L0ショット上で上側に位置するか下側に位置するかによって、反転したX−オフセット補正値を持たせる。これにより、L0ショットとL1ショットの合わせ誤差を低減することができる。なお、オフセット補正値は、レチクルとウェハとの相対位置を補正すればよいため、レチクル又はウェハを載置したステージの位置を補正すればよい。
また、L2層の露光の際にはL1層の露光と同様に、L2ショットがL0ショット上で上側に位置するか下側に位置するかによって、反転したX−オフセット補正値を持たせるようにすればよい。
このように本実施形態によれば、2層分のパターンを有するマルチレイヤーレチクル20を用い、単位露光領域を一方向に分割して2回のショットで露光する際に、各々のショットが単位露光領域を分割した何れの側に位置するかによって、各々のショットに互いに逆方向の合わせ補正値を持たせることにより、マルチレイヤーレチクル20を用いた場合であっても露光ショットの合わせ誤差を小さくすることができ、パターン露光精度の向上をはかることができる。
(第2の実施形態)
次に、下地にY方向倍率成分がある場合の例について説明する。
次に、下地にY方向倍率成分がある場合の例について説明する。
先に説明した第1の実施形態と同様に、下地層を図1で示すシングルレイヤーレチクル10で露光し、上層を図2で示す2層混用のマルチレイヤーレチクル20を用いて露光する場合を考える。
シングルレインーレチクル10を用いたL0層露光時のショットマップは前記図3に示すようになり、マルチレイヤーレチクル20を用いたL1層露光時のショットマップは前記図4に示すようになる。L1層露光の際には、L0層に対して合わせ露光を行い、合わせ先と露光層とでショットマップが異なる。
L0ショットに対するL1ショットの合わせ時に、図7(a)(b)に示すような、ショット倍率成分が乗っている場合、通常の合わせ露光では、L0ショットマップで計測した合わせずれ補正値(ショットY方向倍率成分)をそのまま、L1層のショットに適用する。
この場合、第1の実施形態の図6とは異なり、図8に示すような位置ずれが生じる。図8中の50は単位露光領域でありL0ショットを本来転写すべき領域、51は実際に転写されるL0ショット、52(52a,52b)は実際に転写されるL1ショットを示している。
図8から分かるように、L0ショット上で上側(+y方向)に位置するショット52aでは、Yプラス方向の残留成分が、L0ショット上で下側(−y方向)に位置するショット52bではYマイナス方向の残留成分が発生し、その結果として合わせ誤差が生じる。
そこで本実施形態では、下地に対する位置属性、この場合では、L0ショット上で上側に位置するか下側に位置するかによって、反転したY−オフセット補正値を持たせる。これにより、第1の実施形態と同様に、L0ショットとL1ショットの合わせ誤差を低減することができ、第1の実施形態と同様の効果が得られる。
(第3の実施形態)
次に、4層混用(4分割)での合わせ誤差の例を説明する。
次に、4層混用(4分割)での合わせ誤差の例を説明する。
下地層を図9で示す通常のシングルレイヤーレチクルで露光し、上層を図10に示す4層混用のマルチレイヤーレチクルを用いて露光する場合を考える。
図9のシングルレイヤーレチクル60は、下地(L0)層の露光に用いるものであり、マスク上に4つの同一パターン61が形成されている。4つのパターン11は、例えば4チップ分のパターンである。第1の実施形態と同様に、必ずしも4つのパターンにする必要はなく、1つのパターンであってもよいのは勿論のことである。
図10のマルチイヤーレチクル70は、上層(L1,L2,L3,L4)露光に用いるものであり、マスク上に4つの異なるパターン71,72,73,74が形成されている。即ち、左上にn層目のパターン71が形成され、右上にn+1層目のパターン72が形成され、左下にn+2層目のパターン73が形成され、右下にn+3層目のパターン74が形成されている。
図9のシングルレイヤーレチクル60を用いたL0層露光時のショットマップ(フルショットサイズ)は図11に示すようになり、単位露光領域81が1ショットで露光される。図10のマルチレイヤーレチクル70を用いたL1層露光時のショットマップ(フルショットを4分割)は図12に示すようになり、単位露光領域81が4ショットで露光される。L1層露光の際には、L0層に対して合わせ露光を行い、合わせ先と露光層とでショットマップが異なる。
L0ショットに対するL1合わせ時に、図13(a)(b)に示すような、ショット回転成分が乗っている場合、通常の合わせ露光では、L0ショットマップで計測した合わせずれ補正値(ショット回転成分)をそのまま、L1層のショットに適用する。
この場合、図14に示すように、L0ショットを4つに分割した各ショット92a,92b,92c,92dで異なる残留成分が発生し、合わせ誤差が生じる。図中の矢印が、各ショットでの残留誤差成分(x方向、y方向)を示す。
図14から分かるように、L0ショット上で左上に位置するショット92aでは左下方向の残留成分が、L0ショット右上に位置するショット92bでは左上方向の残留成分が発生し、L0ショット上で左下に位置するショット92cでは右下方向の残留成分が、L0ショット右下に位置するショット92dでは右上方向の残留成分が発生し、その結果として合わせ誤差が生じる。
そこで本実施形態では、下地露光時のL0ショット中心に対するショット位置に応じた合わせ補正値を持たせる。即ち、L0ショットの中心に対してL1ショットが左上か、右上か、左下か、右下かによって、図14に示すような合わせ補正値を持たせる。これにより、L0ショットとL1ショットの合わせ誤差を低減することができ、第1の実施形態と同様の効果が得られる。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、マルチレイヤーレチクルとして2層又は4層分のパターンを有するものを例に説明したが、これらに限らず複数層分のパターンを有するものに適用することができる。さらに、同一パターンの各々のショットに対する合わせ補正値は、実施形態に示したものに限らず、単位露光領域内の位置情報に基づく属性別に設定すればよい。
また、露光装置の種類は何ら限定されるものではなく、マルチレイヤーレチクルを用いた各種の露光装置に適用することができる。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
10,60…シングルレイヤーレチクル
11,61…L0層パターン
20,70…マルチレイヤーレチクル
21,71…L1層パターン
22,72…L2層パターン
30…ウェハ
31,81…単位露光領域
40,50…単位露光領域
41,51,91…L0ショット
42a,42b,52a,52b,92a,92b,92c,92d…L1ショット
73…L3層パターン
74…L4層パターン
11,61…L0層パターン
20,70…マルチレイヤーレチクル
21,71…L1層パターン
22,72…L2層パターン
30…ウェハ
31,81…単位露光領域
40,50…単位露光領域
41,51,91…L0ショット
42a,42b,52a,52b,92a,92b,92c,92d…L1ショット
73…L3層パターン
74…L4層パターン
Claims (5)
- 一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用い、単位露光領域を複数ショットに分割して露光する露光方法であって、
前記複数ショットに対し、前記単位露光領域内の位置情報に基づく属性別に合わせ補正値を持たせることを特徴とする露光方法。 - 一つのマスク上に1層分のパターンを搭載したシングルレイヤーレチクルを用い、単位露光領域を1ショットで露光する工程と、
一つのマスク上に複数層分のパターンを搭載したマルチレイヤーレチクルを用い、前記単位露光領域を同一パターンの複数ショットに分割して露光し、且つ各々のショットに対し前記単位露光領域内の位置情報に基づく属性別に合わせ補正値を持たせて露光する工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 前記マルチレイヤーレチクルは前記マスク上に2層分のパターンを有し、前記単位露光領域を一方向に分割して2回のショットで露光する際に、各々のショットが前記単位露光領域を分割した何れの側に位置するかによって、各々のショットに互いに逆方向の合わせ補正値を持たせることを特徴とする請求項1又は2記載の露光方法。
- 前記シングルレイヤーレチクルのパターンは、露光光学系で決まるフルフィールドサイズ以下のショットサイズであり、前記マルチレイヤーレチクルのパターンは前記ショットサイズを2分割したサイズであることを特徴とする請求項3記載の露光方法。
- 前記シングルレイヤーレチクル及びマルチレイヤーレチクルを用いた露光は、光露光又はX線露光であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の露光方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006317521A JP2008130996A (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006317521A JP2008130996A (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 露光方法 |
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---|---|
JP2008130996A true JP2008130996A (ja) | 2008-06-05 |
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JP2006317521A Pending JP2008130996A (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 露光方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011029498A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-11-24 JP JP2006317521A patent/JP2008130996A/ja active Pending
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