JP2008129431A - Photosensitive transfer material, color filter and display device - Google Patents

Photosensitive transfer material, color filter and display device Download PDF

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JP2008129431A JP2006315854A JP2006315854A JP2008129431A JP 2008129431 A JP2008129431 A JP 2008129431A JP 2006315854 A JP2006315854 A JP 2006315854A JP 2006315854 A JP2006315854 A JP 2006315854A JP 2008129431 A JP2008129431 A JP 2008129431A
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Haruhiko Yoshino
晴彦 吉野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive transfer material which is low in production cost and substantially avoids occurrence of defects such as a pinhole and pattern fall-out, a color filter produced using this photosensitive transfer material, and a display device with this color filter. <P>SOLUTION: The photosensitive transfer material includes a temporary support, at least one photosensitive resin layer formed on the temporary support, and a cover film covering the photosensitive resin layer, wherein the photosensitive resin layer contains ≥10% of a pigment based on a solid content and the cover film has ring dots having a diameter of ≥10 μm in a number of 50-500 dots/m<SP>2</SP>and ring dots having a diameter of ≥300 μm in a number of ≤3 dots/m<SP>2</SP>. The color filter produced using this photosensitive transfer material and the display device with this color filter are also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタの製造に好適に用いられる感光性転写材料、ノートパソコン、テレビモニター等の、大画面の表示装置等においても好適に用いられるカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを有する表示装置に関する。   The present invention relates to a color filter that is preferably used in a large-screen display device such as a photosensitive transfer material, a notebook computer, and a television monitor that are preferably used for manufacturing a color filter, and a display device having the color filter.

カラーフィルタは、液晶ディスプレイ(以下、「液晶表示装置」ともいう。)に不可欠な構成部品である。このカラーフィルタを簡便に作製する方法として、仮支持体上に感光性樹脂組成物の樹脂層を設けた樹脂転写材料を用い、該樹脂層をラミネーターにより基板に貼り付け露光・現像によりパターンを形成する方法がある。上記方法に使用される樹脂転写材料は、一般的に仮支持体と少なくとも1層の感光性樹脂層とカバーフィルムとを有しており、カバーフィルムを剥がしながら転写される。   The color filter is an indispensable component for a liquid crystal display (hereinafter also referred to as “liquid crystal display device”). As a method for easily producing this color filter, a resin transfer material in which a resin layer of a photosensitive resin composition is provided on a temporary support is used, the resin layer is attached to a substrate by a laminator, and a pattern is formed by exposure and development. There is a way to do it. The resin transfer material used in the above method generally has a temporary support, at least one photosensitive resin layer, and a cover film, and is transferred while peeling the cover film.

樹脂転写材料を使用して製造されたカラーフィルタにはピンホール故障が起きることがある。特に、顔料が多量に入った黒画像や色の濃いRGB画像の形成に用いられる樹脂転写材料でこの傾向が顕著になってきた。現像前には基板側から見てとくに気泡などが樹脂層に見当たらないが、現像後ピンホール故障が発生することがある。   A pinhole failure may occur in a color filter manufactured using a resin transfer material. In particular, this tendency has become prominent in resin transfer materials used for forming black images containing a large amount of pigment and RGB images having dark colors. Before development, no bubbles or the like are found in the resin layer as viewed from the substrate side, but a pinhole failure may occur after development.

なお、ラミネート性等を向上する目的で所定のカバーフィルムを用いる感光性エレメントに関する発明が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開2000−330291号公報
In addition, the invention regarding the photosensitive element which uses a predetermined cover film for the purpose of improving laminating property etc. is disclosed (for example, refer patent document 1).
JP 2000-330291 A

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、製造コストが低く、ピンホールやパターン脱落などの欠陥の発生が少ない感光性転写材料、この感光性転写材料を用いて作製されたカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを有する表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has been manufactured using a photosensitive transfer material that is low in production cost and has few occurrences of defects such as pinholes and pattern dropout, and this photosensitive transfer material. An object is to provide a color filter and a display device having the color filter.

斯かる実情に鑑み本発明者は鋭意研究を行った結果、ピンホールやパターン脱落などの欠陥の数とカバーフィルムの生産性とを両立できるリング点の個数範囲を見出すことができ、本発明を完成した。
即ち、本発明は、
<1> 仮支持体と、前記仮支持体上に形成された少なくとも1層の感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層を覆うカバーフィルムと、を少なくとも有する感光性転写材料であって、前記感光性樹脂層が、固形分比10%以上の顔料を含み、前記カバーフィルムの、直径10μm以上のリング点の数が50から500個/mであり、直径300μm以上のリング点の数が3個/m以下であることを特徴とする感光性転写材料である。
In view of such circumstances, the present inventor has conducted extensive research, and as a result, has been able to find the number range of ring points that can achieve both the number of defects such as pinholes and pattern dropouts and the productivity of the cover film. completed.
That is, the present invention
<1> A photosensitive transfer material having at least a temporary support, at least one photosensitive resin layer formed on the temporary support, and a cover film covering the photosensitive resin layer, The photosensitive resin layer contains a pigment having a solid content ratio of 10% or more, the number of ring points having a diameter of 10 μm or more of the cover film is 50 to 500 pieces / m 2 , and the number of ring points having a diameter of 300 μm or more. It is a photosensitive transfer material characterized in that it is 3 pieces / m 2 or less.

<2> カラーフィルタの製造に用いられることを特徴とする<1>に記載の感光性転写材料である。   <2> The photosensitive transfer material according to <1>, which is used for producing a color filter.

<3> <1>又は<2>に記載の感光性転写材料を少なくとも1種類用いて作製されたことを特徴とするカラーフィルタである。   <3> A color filter produced using at least one photosensitive transfer material according to <1> or <2>.

<4> <3>に記載のカラーフィルタを有する表示装置である。   <4> A display device having the color filter according to <3>.

本発明によれば、製造コストが低く、ピンホールやパターン脱落などの欠陥の発生が少ない感光性転写材料、この感光性転写材料を用いて作製されたカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを有する表示装置を提供できる。   According to the present invention, a photosensitive transfer material that is low in manufacturing cost and has few defects such as pinholes and pattern dropouts, a color filter manufactured using the photosensitive transfer material, and a display device having the color filter are provided. Can be provided.

以下、本発明の感光性転写材料、カラーフィルタ及び表示装置について詳細に説明する。
<感光性転写材料>
本発明の感光性転写材料は、仮支持体と、前記仮支持体上に形成された感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層を覆うカバーフィルムと、を少なくとも有し、前記感光性樹脂層が、固形分比10%以上の顔料を含み、前記カバーフィルムの、直径10μm以上のリング点の数が50から500個/mであり、直径300μm以上のリング点の数が3個/m以下であることを特徴とするものである。
本発明の感光性転写材料は、カラーフィルタの製造に好適に用いられる。
Hereinafter, the photosensitive transfer material, the color filter, and the display device of the present invention will be described in detail.
<Photosensitive transfer material>
The photosensitive transfer material of the present invention has at least a temporary support, a photosensitive resin layer formed on the temporary support, and a cover film covering the photosensitive resin layer, and the photosensitive resin layer. Includes a pigment having a solid content ratio of 10% or more, and the cover film has 50 to 500 / m 2 ring points having a diameter of 10 μm or more, and 3 / m 2 ring points having a diameter of 300 μm or more. It is characterized by being 2 or less.
The photosensitive transfer material of the present invention is suitably used for producing a color filter.

本発明において「リング点」とは、カバーフィルムを顕微鏡で観察するとニュートンリングとして見える点をいう。   In the present invention, the “ring point” refers to a point that appears as a Newton ring when the cover film is observed with a microscope.

感光性樹脂層に含まれる顔料の固形分比が10%以上であると、該感光性樹脂層の柔軟性が低下する。カバーフィルムのリング点の存在する部分には凹凸が存在するため、感光性樹脂層がこの部分に接すると、該感光性樹脂層の膜厚が不均一になることがある。膜厚が不均一であり柔軟性の低い感光性樹脂層を基板にラミネートすると、基板と該感光性樹脂層との間にボイド等が発生し、現像後ピンホール故障発生の原因になることがある。   The softness | flexibility of this photosensitive resin layer falls that the solid content ratio of the pigment contained in the photosensitive resin layer is 10% or more. Since the portion where the ring point of the cover film exists is uneven, when the photosensitive resin layer is in contact with this portion, the film thickness of the photosensitive resin layer may be non-uniform. When a photosensitive resin layer with a non-uniform film thickness and low flexibility is laminated to a substrate, voids or the like are generated between the substrate and the photosensitive resin layer, which may cause a pinhole failure after development. is there.

本発明者は、解析の結果、ピンホールの発生は、カバーフィルムのロット差、中でもリング点の大きさ及び数と相関があることを見出した。リング点は、カバーフィルム作製時のフィルタのメッシュサイズを小さくするほど、数が減少しその直径も小さくなるが、メッシュサイズを小さくするほどカバーフィルムの生産性が落ちコストが上がるという問題がある。本発明者は、カバーフィルムの製造コストとピンホールの発生頻度とのバランスを考慮してリング点が存在してもよい許容範囲を見いだした。   As a result of analysis, the present inventor has found that the occurrence of pinholes correlates with the lot difference of the cover film, particularly the size and number of ring points. The number of ring points decreases and the diameter decreases as the mesh size of the filter at the time of manufacturing the cover film is reduced, but there is a problem that the productivity of the cover film decreases and the cost increases as the mesh size is reduced. The present inventor has found an allowable range in which a ring point may exist in consideration of a balance between the manufacturing cost of the cover film and the frequency of occurrence of pinholes.

本発明の感光性転写材料においては、仮支持体上に少なくとも1層の感光性樹脂層が形成されていればよく、複数の感光性樹脂層が形成されていてもよいし、必要に応じてその他の樹脂層が形成されていてもよい。より好ましくは、仮支持体上に熱可塑性樹脂層と中間層と感光性樹脂層とがこの順に形成されたものである。前記感光性転写材料は、例えば特開2005−3861号公報の段落[0064]〜[0066]に記載の工程によって製造することができる。   In the photosensitive transfer material of the present invention, it is sufficient that at least one photosensitive resin layer is formed on the temporary support, and a plurality of photosensitive resin layers may be formed. Other resin layers may be formed. More preferably, a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer are formed in this order on the temporary support. The photosensitive transfer material can be produced, for example, by the steps described in paragraphs [0064] to [0066] of JP-A-2005-3861.

以下、感光性転写材料を構成する各要素について詳細に説明する。   Hereinafter, each element constituting the photosensitive transfer material will be described in detail.

(仮支持体)
本発明の感光性転写材料に用いられる仮支持体としては、可撓性を有し、加圧、若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが好ましい。そのような仮支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
(Temporary support)
The temporary support used for the photosensitive transfer material of the present invention is preferably flexible and does not cause significant deformation, shrinkage or elongation even under pressure, or under pressure and heat. Examples of such a temporary support include a polyethylene terephthalate film, a cellulose triacetate film, a polystyrene film, a polycarbonate film, etc. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

(熱可塑性樹脂層)
感光性転写材料における熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平5−72724号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。
(Thermoplastic resin layer)
As a component used for the thermoplastic resin layer in the photosensitive transfer material, an organic polymer substance described in JP-A-5-72724 is preferable, and the Viker Vicat method (specifically, American Material Testing Method ASM It is particularly preferred that the polymer be selected from organic polymer materials having a softening point of about 80 ° C. or less as determined by ASTM D1235.

具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。   Specifically, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, ethylene copolymers such as ethylene and vinyl acetate or saponified products thereof, ethylene and acrylic acid esters or saponified products thereof, polyvinyl chloride, vinyl chloride and vinyl acetate and saponified products thereof. Vinyl chloride copolymer such as fluoride, polyvinylidene chloride, vinylidene chloride copolymer, polystyrene, styrene copolymer such as styrene and (meth) acrylic acid ester or saponified product thereof, polyvinyl toluene, vinyl toluene and (meta ) Vinyl toluene copolymer such as acrylic ester or saponified product thereof, poly (meth) acrylic ester, (meth) acrylic ester copolymer such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, vinyl acetate copolymer Combined nylon, copolymer nylon, N-alkoxyme Le nylon, and organic polymeric polyamide resins such as N- dimethylamino nylon.

(中間層)
本発明における感光性転写材料においては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
(Middle layer)
In the photosensitive transfer material of the present invention, it is preferable to provide an intermediate layer for the purpose of preventing mixing of components during application of a plurality of application layers and during storage after application. As the intermediate layer, it is preferable to use an oxygen-blocking film having an oxygen-blocking function, which is described as “separation layer” in JP-A-5-72724. This reduces the time load and improves productivity.
The oxygen barrier film is preferably one that exhibits low oxygen permeability and is dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution, and can be appropriately selected from known ones. Among these, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable.

(感光性樹脂層)
本発明における感光性樹脂層がブラックマトリクスなどの遮光部の形成に供される場合は、特開2005−3861号公報の感光性黒色樹脂層や、特開2004−240039号公報の着色組成物からなる層と同様にして、感光性樹脂層を形成することができる。RGBなどの着色画素の形成に供される場合は、特開2006−23696号公報や、特開2006−276818号公報の着色感光性樹脂組成物からなる層と同様にして、感光性樹脂層を形成することができ、スペーサなどの構造物を形成する場合は、特開2006−276496号公報や、特開2006−64921号公報の感光性樹脂組成物からなる層と同様にして、感光性樹脂層を形成することができる。
(Photosensitive resin layer)
When the photosensitive resin layer in the present invention is used for forming a light-shielding portion such as a black matrix, the photosensitive black resin layer disclosed in JP-A-2005-3861 or the colored composition disclosed in JP-A-2004-240039 is used. The photosensitive resin layer can be formed in the same manner as the layer to be formed. In the case of being used for the formation of colored pixels such as RGB, the photosensitive resin layer is formed in the same manner as the layer made of the colored photosensitive resin composition described in JP-A-2006-23696 and JP-A-2006-276818. In the case of forming a structure such as a spacer, a photosensitive resin can be formed in the same manner as the layer made of the photosensitive resin composition described in JP-A-2006-276696 and JP-A-2006-64921. A layer can be formed.

(カバーフィルム)
本発明の感光性転写材料には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために感光性樹脂層を覆うようにして、薄いカバーフィルムが設けられる。カバーフィルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。カバーフィルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
(Cover film)
The photosensitive transfer material of the present invention is provided with a thin cover film so as to cover the photosensitive resin layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The cover film may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the photosensitive resin layer. As the cover film material, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable.

本発明におけるカバーフィルムの、直径10μm以上のリング点の数は50から500個/mであり、直径300μm以上のリング点の数は3個/m以下であるが、好ましくは直径10μm以上のリング点が50から400個/m、かつ、直径300μm以上のリング点が2個/m以下であり、直径10μm以上のリング点が50から300個/m、かつ、直径300μm以上のリング点が1個/m以下が特に好ましい。 The number of ring points having a diameter of 10 μm or more of the cover film in the present invention is 50 to 500 pieces / m 2 , and the number of ring points having a diameter of 300 μm or more is 3 pieces / m 2 or less, preferably 10 μm or more in diameter. The ring point is 50 to 400 pieces / m 2 , the ring point having a diameter of 300 μm or more is 2 pieces / m 2 or less, the ring point having a diameter of 10 μm or more is 50 to 300 pieces / m 2 , and the diameter is 300 μm or more. The ring point is particularly preferably 1 piece / m 2 or less.

リング点の直径及び数が上記範囲を満たすリング点レベルの良好なフィルムは、材料の選定、混練方法の適正化、材料溶融後の瀘過等を行うことにより製造可能である。ここでリング点の大きさの測定方法は、例えば、光学顕微鏡を使用し測定可能である。なお、本発明におけるリング点の直径とは、リング点の最大径を意味する。   A film having a good ring point level in which the diameter and number of ring points satisfy the above range can be produced by selecting materials, optimizing a kneading method, filtering after melting the material, and the like. Here, the ring point size can be measured using, for example, an optical microscope. In the present invention, the diameter of the ring point means the maximum diameter of the ring point.

本発明において、カバーフィルムの厚みは1〜100μmであることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、10〜30μmであることが特に好ましい。この厚みが1μm以上であればカバーフィルムの強度が十分なため、感光性樹脂層にカバーフィルムを張り合わせる際に、カバーフィルムが破断しにくい。100μm以下であるとカバーフィルムの価格が高くならず、また、カバーフィルムをラミネートする際にシワが発生しにくい。   In the present invention, the thickness of the cover film is preferably 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, and particularly preferably 10 to 30 μm. If the thickness is 1 μm or more, the strength of the cover film is sufficient, so that the cover film is not easily broken when the cover film is bonded to the photosensitive resin layer. If the thickness is 100 μm or less, the price of the cover film does not increase, and wrinkles are unlikely to occur when the cover film is laminated.

このようなカバーフィルムは市販のものとして、例えば、王子製紙(株)製アルファンMA−410、E−200C、E−501、信越フィルム(株)製等のポリプロピレンフィルム、帝人(株)製PS−25等のPSシリーズなどのポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられるがこれに限られたものではない。また、市販のフィルムをサンドブラスト加工することにより、簡単に製造することが可能である。   Such cover films are commercially available, for example, polypropylene films such as Alfan MA-410, E-200C, E-501, Shin-Etsu Film Co., Ltd. manufactured by Oji Paper Co., Ltd., PS manufactured by Teijin Limited. Examples thereof include polyethylene terephthalate films such as PS series such as −25, but are not limited thereto. Moreover, it can be easily manufactured by sandblasting a commercially available film.

本発明においては、カバーフィルムとしてポリエチレンフィルムなどのポリオレフィンフィルムを用いることができる。また通常カバーフィルムとして用いられるポリオレフィンフィルムは、原材料を熱溶融し、混練、押し出し、2軸延伸、キャスティングまたはインフレーション法によって製造される。   In the present invention, a polyolefin film such as a polyethylene film can be used as the cover film. A polyolefin film usually used as a cover film is produced by heat-melting raw materials, kneading, extrusion, biaxial stretching, casting, or inflation.

<カラーフィルタ>
本発明のカラーフィルタは、上記本発明の感光性転写材料を少なくとも1種類用いて作製されたものである。本発明のカラーフィルタは、該感光性転写材料に係る感光性樹脂層を構成する樹脂組成物により形成された構造物を有する。概構造物としては、ブラックマトリクスなどの遮光部(以下、K画像ともいう)、赤(R)、緑(G)及び青(B)等の着色画像(画素)、オーバーコート層、樹脂スペーサ、液晶配向用リブ材等が挙げられる。
<Color filter>
The color filter of the present invention is produced using at least one kind of the photosensitive transfer material of the present invention. The color filter of this invention has the structure formed with the resin composition which comprises the photosensitive resin layer which concerns on this photosensitive transfer material. As a general structure, a light shielding portion such as a black matrix (hereinafter also referred to as a K image), a colored image (pixel) such as red (R), green (G), and blue (B), an overcoat layer, a resin spacer, Examples thereof include a rib material for liquid crystal alignment.

以下に、本発明の感光性転写材料を用いた、カラーフィルタを構成する構造物の製造方法について述べる。該構造物は、基板上に感光性樹脂層を転写した後、該感光性樹脂層を露光及び現像することにより形成することが出来る。   Below, the manufacturing method of the structure which comprises the color filter using the photosensitive transfer material of this invention is described. The structure can be formed by transferring the photosensitive resin layer onto the substrate and then exposing and developing the photosensitive resin layer.

(転写工程)
本発明において、基板上に感光性樹脂層を転写する方法としては、仮支持体上に感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用い、該感光性樹脂層を基板にラミネート後、仮支持体を除去する事によって行う方法が好ましい。
感光性樹脂層の基板表面への転写(貼り合わせ)は、一般に、感光性転写材料のカバーフィルムを除去した後、感光性樹脂層を基板表面に重ね、加圧、加熱することに行われる。貼り合わせには、ラミネーター、真空ラミネーター、および、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用することができる。
(Transfer process)
In the present invention, as a method for transferring the photosensitive resin layer onto the substrate, a photosensitive transfer material having the photosensitive resin layer on the temporary support is used, and the photosensitive resin layer is laminated on the substrate, and then the temporary support. A method of removing by removing is preferable.
Transfer (bonding) of the photosensitive resin layer to the substrate surface is generally performed by removing the cover film of the photosensitive transfer material, and then overlaying the photosensitive resin layer on the substrate surface, and applying pressure and heating. For laminating, a known laminator such as a laminator, a vacuum laminator, and an auto-cut laminator that can further improve productivity can be used.

(露光、現像工程、及びその他の工程)
感光性樹脂層を転写後、露光、現像、及びその他の工程によりパターンを形成することができる。該工程の例として、特開2006−23696号公報の段落番号[0035]〜[0051]に記載の方法を本発明においても好適に用いることができる。
(Exposure, development process, and other processes)
After transferring the photosensitive resin layer, a pattern can be formed by exposure, development, and other processes. As an example of this step, the method described in paragraphs [0035] to [0051] of JP-A-2006-23696 can be suitably used in the present invention.

(基板)
本発明において、カラーフィルタを構成する基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性樹脂層との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の膜厚としては、700〜1200μmが一般的に好ましく、500〜1100μmが特に好ましい。
(substrate)
In the present invention, as a substrate constituting the color filter, for example, a transparent substrate is used, and a known glass plate such as a soda glass plate having a silicon oxide film on its surface, a low expansion glass, a non-alkali glass, a quartz glass plate, Or a plastic film etc. can be mentioned.
Moreover, the said board | substrate can make close_contact | adherence with the photosensitive resin layer favorable by performing a coupling process previously. As the coupling treatment, a method described in JP 2000-39033 A is preferably used. In addition, although it does not necessarily limit, as a film thickness of a board | substrate, 700-1200 micrometers is generally preferable and 500-1100 micrometers is especially preferable.

<表示装置>
本発明の表示装置としては既述の本発明のカラーフィルタを備えるものであれば、特に限定するものではなく、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
<Display device>
The display device of the present invention is not particularly limited as long as it includes the color filter of the present invention described above, and a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, a CRT display device, etc. Is mentioned. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)).

本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。   Among the display devices of the present invention, a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".

液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行 )」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。   In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle compensation film. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC 1994)” and “2003 Liquid Crystal Related Markets Current Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

本発明の表示装置は、ECB(Electrically Controlled Birefringence)、TN(Twisted Nematic)、IPS(In−Plane Switching)、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)、OCB(Optically Compensatory Bend)、STN(Supper Twisted Nematic)、VA(Vertically Aligned)、HAN(Hybrid Aligned Nematic)、GH(Guest Host)のような様々な表示モードが採用できる。前述したようなカラーフィルタを用いることを特徴とし、これにより、テレビ、モニターに搭載したときに表示ムラが無く、広い色再現域と高コントラスト比を有することができ、ノートパソコン用ディスプレイやテレビモニター等の大画面の表示装置等にも好適に用いることができる。   The display device of the present invention includes ECB (Electrically Controlled Birefringence), TN (Twisted Nematic), IPS (In-Plane Switching), FLC (Ferroelectric Liquid Crystal), and OCB (OpticBandNyStic). Various display modes such as (Vertical Aligned), HAN (Hybrid Aligned Nematic), and GH (Guest Host) can be adopted. It is characterized by using the color filter as described above, and it has no display unevenness when mounted on a TV or monitor, and can have a wide color reproduction range and a high contrast ratio. It can be suitably used for a large-screen display device or the like.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、以下において「部」、「%」及び「分子量」は、「質量部」、「質量%」及び「重量平均分子量」を表す。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. Unless otherwise specified, “parts”, “%”, and “molecular weight” below represent “parts by mass”, “mass%”, and “weight average molecular weight”.

(カバーフィルム製造例)
王子製紙(株)製アルファンE−501を顕微鏡で観察し、該カバーフィルムの中で、下記カバーフィルムA〜Fのリング点の条件に合う部分を選別、カッティングし、使用した。
(Example of cover film production)
Oji Paper Co., Ltd. Alphan E-501 was observed with a microscope, and a portion of the cover film that meets the ring point conditions of the cover films A to F was selected, cut, and used.

−カバーフィルムA−
直径10μm以上のリング点が50個/m、直径300μm以上のリング点が0個/m
−カバーフィルムB−
直径10μm以上のリング点が500個/m、直径300μm以上のリング点が3個/m
−カバーフィルムC−
直径10μm以上のリング点が400個/m、直径300μm以上のリング点が2個/m
−カバーフィルムD−
直径10μm以上のリング点が300個/m、直径300μm以上のリング点が1個/m
−カバーフィルムE(比較例)−
直径10μm以上のリング点が30個/m、直径300μm以上のリング点が0個/m
−カバーフィルムF(比較例)−
直径10μm以上のリング点が600個/m、直径300μm以上のリング点が4個/m
-Cover film A-
50 / m 2 ring points with a diameter of 10 μm or more, 0 / m 2 ring points with a diameter of 300 μm or more
-Cover film B-
More rings point diameter 10μm is 500 / m 2, 3 or ring points or more in diameter 300 [mu] m / m 2
-Cover film C-
More rings point diameter 10μm is 400 / m 2, the ring points or more in diameter 300μm Two / m 2
-Cover film D-
300 / m 2 ring points with a diameter of 10 μm or more, 1 / m 2 ring points with a diameter of 300 μm or more
-Cover film E (comparative example)-
30 / m 2 ring points with a diameter of 10 μm or more, 0 / m 2 ring points with a diameter of 300 μm or more
-Cover film F (comparative example)-
Ring points with a diameter of 10 μm or more are 600 pieces / m 2 , ring points with a diameter of 300 μm or more are 4 pieces / m 2

(実施例1)
−感光性樹脂転写材料の作製−
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記着色感光性樹脂組成物B1を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が14.6μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、乾燥膜厚が2.2μmの感光性樹脂層と、を設け、該感光性樹脂層上にカバーフィルムAを圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断膜)とブルー(B)の感光性樹脂層とカバーフィルムとが一体となった感光性樹脂転写材料を作製し、サンプル名を感光性樹脂転写材料B1とした。
(Example 1)
-Production of photosensitive resin transfer material-
On a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support, a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation H1 was applied and dried using a slit nozzle. Next, an intermediate layer coating solution having the following formulation P1 was applied and dried. Further, the following colored photosensitive resin composition B1 is applied and dried, and a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 14.6 μm, an intermediate layer having a dry film thickness of 1.6 μm, and a dry layer are dried on the temporary support. A photosensitive resin layer having a film thickness of 2.2 μm was provided, and the cover film A was pressure-bonded on the photosensitive resin layer.
In this way, a photosensitive resin transfer material in which the temporary support, the thermoplastic resin layer, the intermediate layer (oxygen barrier film), the blue (B) photosensitive resin layer, and the cover film are integrated is prepared, and the sample name is photosensitive. Resin transfer material B1 was obtained.

熱可塑性樹脂層用塗布液:処方H1
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 6.36部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル
メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)
=55/11.7/4.5/28.8、分子量=9万、Tg≒70℃) 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)
=63/37、分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・ビスフェノールAにペンタエチレングリコールモノメタクリレートを
2当量脱水縮合した化合物(新中村化学工業(株)製、商品名:2,2−
ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン) 9.1部
・下記界面活性剤1 0.54部
Coating liquid for thermoplastic resin layer: Formulation H1
・ Methanol 11.1 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 6.36 parts ・ Methyl ethyl ketone 52.4 parts ・ Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio))
= 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, molecular weight = 90,000, Tg≈70 ° C.) 5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio))
= 63/37, molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts. Compound obtained by dehydration condensation of 2 equivalents of bisphenol A and pentaethylene glycol monomethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name: 2, 2-
Bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane) 9.1 parts. 0.54 parts of the following surfactant 1

中間層用塗布液:処方P1
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、
鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン(株)製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
Intermediate layer coating solution: Formulation P1
・ PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd.,
Degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 parts · Polyvinylpyrrolidone (manufactured by ASP Japan Co., Ltd., K-30) 14.9 parts · Distilled water 524 parts · Methanol 429 parts

Figure 2008129431
Figure 2008129431

着色感光性樹脂組成物B1は、まず表1に記載の量のB顔料分散物1、B顔料分散物2、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー3、DPHA液、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、フェノチアジンをはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌し、更に、表1に記載の量の界面活性剤1をはかり取り、温度24℃(±2℃)で添加して30RPM5分間攪拌し、ナイロンメッシュ#200で濾過することによって得た。   The colored photosensitive resin composition B1 is first weighed in the amounts of B pigment dispersion 1, B pigment dispersion 2, and propylene glycol monomethyl ether acetate listed in Table 1 and mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.). Stir at 150 RPM for 10 minutes, then weigh out the amounts of methyl ethyl ketone, binder 3, DPHA solution, 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, phenothiazine as shown in Table 1. , Added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), stirred at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.) for 150 RPM, and weighed out the surfactant 1 in the amount shown in Table 1 to a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.) and added at 30 RPM for 5 minutes and filtered through nylon mesh # 200.

尚、表1に記載の組成物の内、B顔料分散物1は、御国色素(株)製の「商品名:CFブルーEX3357」を用い、B顔料分散物2は、御国色素(株)製の「商品名:CFブルーEX3383」を用いた。   Of the compositions shown in Table 1, B Pigment Dispersion 1 uses “trade name: CF Blue EX3357” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd., and B Pigment Dispersion 2 is manufactured by Gokoku Dye Co., Ltd. “Trade name: CF Blue EX3383” was used.

また、バインダー3の組成は、以下のとおりであった。
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート
=36/22/42モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
Moreover, the composition of the binder 3 was as follows.
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid / methyl methacrylate)
= Random copolymer with a molar ratio of 36/22/42, molecular weight 38,000) 27 parts, 73 parts propylene glycol monomethyl ether acetate

DPHA液の組成は、下記のとおりであった。
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、 日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24部
The composition of the DPHA solution was as follows.
・ Dipentaerythritol hexaacrylate (containing polymerization inhibitor MEHQ 500ppm, Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24 parts

界面活性剤1の組成は、下記のとおりであった。
・下記構造物1 30部
・メチルエチルケトン 70部
The composition of surfactant 1 was as follows.
・ The following structure 1 30 parts ・ Methyl ethyl ketone 70 parts

Figure 2008129431
Figure 2008129431

−ブルー(B)画素の形成−
300×400mm(0.12m)の無アルカリガラス基板に、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱して次のラミネーターに送った。
前記感光性樹脂転写材料B1のカバーフィルムを剥離後、ラミネーター((株)日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、100℃に加熱した前記基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該熱可塑性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cmでパターン露光した。
-Formation of blue (B) pixels-
A 300 × 400 mm (0.12 m 2 ) non-alkali glass substrate was washed with a rotating brush having nylon bristles while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds with a shower. After washing with pure water, a silane cup A ring solution (0.3% by mass aqueous solution of N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes with a substrate preheating device and sent to the next laminator.
After the cover film of the photosensitive resin transfer material B1 is peeled off, a rubber roller temperature of 130 ° C. and a linear pressure of 100 N are applied to the substrate heated to 100 ° C. using a laminator (manufactured by Hitachi Industries (Lamic II type)). / Cm, laminating at a conveyance speed of 2.2 m / min.
After the temporary support is peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer, the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) are used with a proximity-type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp. In a state where is vertically set, the distance between the exposure mask surface and the thermoplastic resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .

次に、トリエタノールアミン系現像液(商品名:T−PD2、富士写真フイルム(株)製を、純水で12倍(T−PD2を1質量部と純水を11質量部の割合で混合)に希釈した液)を30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層を除去した。引き続き、この基板上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
引き続き炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株)製を純水で5倍に希釈した液)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
Next, a triethanolamine developer (trade name: T-PD2, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) is 12 times with pure water (1 part by weight of T-PD2 and 11 parts by weight of pure water are mixed) ) Was subjected to shower development at 30 ° C. for 50 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, air was blown onto the upper surface of the substrate to drain the liquid, and then pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate.
Subsequently, Na carbonate-based developer (0.38 mol / liter sodium hydrogen carbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% by weight sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer included , Trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. diluted 5 times with pure water) and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa to form a photosensitive resin layer. Development was performed to obtain a patterning image.

引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名:T−SD1 富士写真フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈して用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーで吹きかけ、更にナイロン毛を有す回転ブラシにより形成された画像を擦って残渣除去を行い、ブルー(B)画素を得た。その後、該基板に対して両面から超高圧水銀灯で500mJ/cmの露光量でポスト露光後、220℃、15分間熱処理した。これによりカラーフィルタ基板を得た。
得られたパターンの形状は縦300μm、横100μm、高さ2.0μmであって、同様のパターンを形成した基板を1000枚作製した。この時のパターン部の総面積は、0.3m(RGB画素想定)であった。
Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name: T-SD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) diluted 10 times with pure water was used. Sprayed with a shower with a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa at 20 ° C., and further removed the residue by rubbing the image formed with a rotating brush having nylon bristles to obtain a blue (B) pixel. Thereafter, the substrate was post-exposed with an ultrahigh pressure mercury lamp at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 from both sides and then heat-treated at 220 ° C. for 15 minutes. As a result, a color filter substrate was obtained.
The shape of the obtained pattern was 300 μm in length, 100 μm in width, and 2.0 μm in height, and 1000 substrates on which similar patterns were formed were produced. The total area of the pattern portion at this time was 0.3 m 2 (assuming RGB pixels).

(実施例2〜6、比較例1〜3)
実施例1において、着色感光性樹脂組成物B1を表1に記載のB2〜B4、カバーフィルムを表3に記載のリング点を持つカバーフィルムB、C、D、E、Fに変更した以外は、実施例1と同様の方法でブルー(B)画素を形成し、カラーフィルタ基板を得た。
(Examples 2-6, Comparative Examples 1-3)
In Example 1, except that the colored photosensitive resin composition B1 was changed to B2 to B4 shown in Table 1, and the cover film was changed to cover films B, C, D, E, and F having ring points shown in Table 3. Blue (B) pixels were formed by the same method as in Example 1 to obtain a color filter substrate.

(実施例7)
−フォトスペーサー形成用感光性転写材料の作製−
実施例1の感光性樹脂転写材料B1の作製において、用いた前記着色感光性樹脂組成物B1を、下記の組成よりなる顔料としてコロイダルシリカを含有するフォトスペーサ形成用樹脂組成物S1に変更した以外は上記と同様の方法によって、フォトスペーサ形成用感光性転写材料S1を作製した。感光性樹脂層の乾燥層厚は4.0μmであった。
(Example 7)
-Production of photosensitive transfer material for photospacer formation-
In the production of the photosensitive resin transfer material B1 of Example 1, the colored photosensitive resin composition B1 used was changed to a photospacer-forming resin composition S1 containing colloidal silica as a pigment having the following composition. Produced a photosensitive transfer material S1 for forming a photospacer by the same method as described above. The dry thickness of the photosensitive resin layer was 4.0 μm.

Figure 2008129431
Figure 2008129431

−フォトスペーサの形成−
得られたフォトスペーサ形成用感光性転写材料S1を用いて、実施例1と同様の方法で転写、露光、現像し、フォトスペーサーパターンを作製した。
次に、スペーサーパターンが設けられた基板を、230℃下で30分間加熱処理を行ない(熱処理工程)、フォトスペーサ付基板を作製した。
得られたスペーサーパターンは、直径20μm、平均高さ3.4μmの柱状であった。
また、この時のパターン部の総面積は、0.3m(RGB画素想定)であった。
-Formation of photo spacers-
Using the obtained photosensitive transfer material S1 for forming a photospacer, transfer, exposure and development were carried out in the same manner as in Example 1 to produce a photospacer pattern.
Next, the substrate provided with the spacer pattern was subjected to heat treatment at 230 ° C. for 30 minutes (heat treatment step) to produce a substrate with a photo spacer.
The obtained spacer pattern was columnar with a diameter of 20 μm and an average height of 3.4 μm.
Further, the total area of the pattern portion at this time was 0.3 m 2 (assuming RGB pixels).

(実施例8〜12、比較例4〜5)
実施例7において、フォトスペーサ形成用樹脂組成物S1を表2に記載のS2〜S3、カバーフィルムを表4に記載のリング点を持つカバーフィルムに変更した以外は、実施例1と同様の方法でフォトスペーサ付基板を形成した。
(Examples 8-12, Comparative Examples 4-5)
In Example 7, the same method as in Example 1 except that the photospacer-forming resin composition S1 was changed to S2 to S3 shown in Table 2, and the cover film was changed to a cover film having ring points shown in Table 4. A substrate with a photo spacer was formed.

−ピンホール−
実施例1〜6、比較例1〜3で作成したカラーフィルタ基板を光学顕微鏡(微分干渉モード、200倍)で全面観察しピンホール(大きさ30μmφ以上)の発生数を観察し、各カラーフィルタ基板について良品か不良かを判断した。カラーフィルタ基板1000枚中の良品数を表3に示した。
-Pinhole-
The color filter substrates prepared in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3 were observed on the entire surface with an optical microscope (differential interference mode, 200 times), and the number of pinholes (size 30 μmφ or more) was observed. The board was judged as good or bad. Table 3 shows the number of non-defective products in 1000 color filter substrates.

良品…0個以上20個未満、
不良…20個以上
Good ... 0 or more and less than 20
Bad ... 20 or more

−脱落数−
実施例7〜12、比較例4〜5で作成したスペーサ付基板を面検機(タカノ(株) CF検査装置 LCF−3011XU)で全面観察し脱落の発生数を観察し、各スペーサ付基板について良品か不良かを判断した。スペーサ付基板1000枚中の良品数を表4に示した。
-Number of omissions-
The substrates with spacers prepared in Examples 7 to 12 and Comparative Examples 4 to 5 were observed on the entire surface with a surface inspection machine (Takano Co., Ltd., CF inspection device LCF-3011XU) to observe the number of dropouts. Judged whether the product is good or bad. Table 4 shows the number of non-defective products in 1000 pieces of substrates with spacers.

良品…0個以上20個未満、
不良…20個以上
Good ... 0 or more and less than 20
Bad ... 20 or more

−カバーフィルム生産性−
王子製紙(株)製アルファンE−501を顕微鏡で観察し、該カバーフィルムの中でリング点の条件に合う部分を選別、カッティングした際に、使用可能な部分を評価した。
○:ほとんどが使用可能であった。
△:少し使用できない部分があった。
×:使用可能な部分がなかった。
-Cover film productivity-
The Ofan Paper Co., Ltd. Alphan E-501 was observed with a microscope, and when a portion of the cover film meeting the ring point condition was selected and cut, the usable portion was evaluated.
○: Most were usable.
(Triangle | delta): There was a part which cannot be used a little.
X: There was no usable part.

Figure 2008129431
Figure 2008129431

なお、比較例3で作製したカラーフィルタ基板は、実施例で作製したカラーフィルタ基板と比較して、色純度が低く、表示装置用カラーフィルタとして用いることはできなかった。   The color filter substrate produced in Comparative Example 3 had a lower color purity than the color filter substrate produced in the example, and could not be used as a color filter for display devices.

Figure 2008129431
Figure 2008129431

(実施例13)
[カラーフィルタの作製(感光性樹脂転写材料のラミネートによる作製)]
実施例1の感光性樹脂転写材料B1の作製において、用いた前記着色感光性樹脂組成物B1を、下記の組成よりなる着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1に変更した以外は上記と同様の方法によって、感光性樹脂転写材料K1、R1、G1を作製した。
(Example 13)
[Production of color filter (production by lamination of photosensitive resin transfer material)]
In the production of the photosensitive resin transfer material B1 of Example 1, the same as described above except that the colored photosensitive resin composition B1 used was changed to colored photosensitive resin compositions K1, R1, and G1 having the following compositions. Photosensitive resin transfer materials K1, R1, and G1 were prepared by the above method.

Figure 2008129431
Figure 2008129431

尚、表5に記載の組成物の内、K顔料分散物1の組成は下記の通りである。
・カーボンブラック(商品名:Nipex35、デグサ ジャパン(株)製)
13.1部
・分散剤(下記化合物1) 0.65部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.7万)6.72部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53部
Of the compositions shown in Table 5, the composition of K pigment dispersion 1 is as follows.
・ Carbon black (trade name: Nippon 35, manufactured by Degussa Japan Co., Ltd.)
13.1 parts-Dispersant (compound 1 below) 0.65 parts-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio)
Random copolymer, molecular weight 37,000) 6.72 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53 parts

Figure 2008129431
Figure 2008129431

バインダー2の組成は下記の通りである。
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比
のランダム共重合物、分子量3.8万)27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
The composition of the binder 2 is as follows.
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio
Random copolymer, molecular weight 38,000) 27 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

R顔料分散物1の組成は下記の通りである。
・C.I.P.R.254(商品名:Irgaphor Red B−CF、
チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製) 8部
・分散剤(前記化合物1) 0.8部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3万) 8部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 83部
The composition of the R pigment dispersion 1 is as follows.
・ C. I. P. R. 254 (trade name: Irgaphor Red B-CF,
Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 8 parts Dispersant (compound 1) 0.8 parts Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio)
Random copolymer, molecular weight 30,000) 8 parts propylene glycol monomethyl ether acetate 83 parts

R顔料分散物2の組成は下記の通りである。
・C.I.P.R.177(商品名:Cromophtal Red A2B、
チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製) 18部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3万) 12部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 70部
The composition of the R pigment dispersion 2 is as follows.
・ C. I. P. R. 177 (Product name: Chromophthal Red A2B,
Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 18 parts Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio)
Random copolymer, molecular weight 30,000) 12 parts, 70 parts propylene glycol monomethyl ether acetate

バインダー1の組成は下記の通りである。
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート
=38/25/37モル比のランダム共重合物、分子量4万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
The composition of the binder 1 is as follows.
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid / methyl methacrylate)
= Random copolymer with a molar ratio of 38/25/37, molecular weight 40,000) 27 parts · 73 parts propylene glycol monomethyl ether acetate

添加剤1は、燐酸エステル系特殊活性剤(楠本化成(株)製、商品名:HIPLAAD ED152)を用いた。
G顔料分散物1は、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製の「商品名:GT−2」を用いた。
Y顔料分散物1は、御国色素(株)製の「商品名:CFエローEX3393」を用いた。
Additive 1 used was a phosphate ester special activator (Enomoto Kasei Co., Ltd., trade name: HIPLAAD ED152).
As the G pigment dispersion 1, “trade name: GT-2” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. was used.
As the Y pigment dispersion 1, “trade name: CF EX3393” manufactured by Mikuni Color Co., Ltd. was used.

−ブラック(K)画像の形成−
無アルカリガラス基板に、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱して次のラミネーターに送った。
前記感光性樹脂転写材料K1のカバーフィルムを剥離後、ラミネーター((株)日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、100℃に加熱した前記基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング(株)製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該熱可塑性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cmでパターン露光した。
-Formation of black (K) image-
A glass detergent solution adjusted to 25 ° C. is sprayed on an alkali-free glass substrate with a shower for 20 seconds while being washed with a rotating brush having nylon bristles. A 0.3% by mass aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes with a substrate preheating device and sent to the next laminator.
After the cover film of the photosensitive resin transfer material K1 is peeled off, a rubber roller temperature of 130 ° C. and a linear pressure of 100 N are applied to the substrate heated to 100 ° C. using a laminator (manufactured by Hitachi Industries (Lamic II type)). / Cm, laminating at a conveyance speed of 2.2 m / min.
After the temporary support is peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer, the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) are mounted on a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp. In the state of being set up vertically, the distance between the exposure mask surface and the thermoplastic resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .

次に、トリエタノールアミン系現像液(商品名:T−PD2、富士写真フイルム(株)製を、純水で12倍(T−PD2を1質量部と純水を11質量部の割合で混合)に希釈した液)を30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層を除去した。引き続き、この基板上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
引き続き炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株)製を純水で5倍に希釈した液)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
Next, a triethanolamine developer (trade name: T-PD2, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) is 12 times with pure water (1 part by weight of T-PD2 and 11 parts by weight of pure water are mixed) ) Was subjected to shower development at 30 ° C. for 50 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, air was blown onto the upper surface of the substrate to drain the liquid, and then pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate.
Subsequently, Na carbonate-based developer (0.38 mol / liter sodium hydrogen carbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% by weight sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer included , Trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. diluted 5 times with pure water) and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa to form a photosensitive resin layer. Development was performed to obtain a patterning image.

引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名:T−SD1 富士写真フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈して用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーで吹きかけ、更にナイロン毛を有す回転ブラシにより形成された画像を擦って残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。その後、該基板に対して両面から超高圧水銀灯で500mJ/cmの露光量でポスト露光後、220℃、15分間熱処理した。
このKの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name: T-SD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) diluted 10 times with pure water was used. Sprayed with a shower with a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa at 20 ° C., and further removed the residue by rubbing the image formed with a rotating brush having nylon bristles to obtain a black (K) image. Thereafter, the substrate was post-exposed with an ultrahigh pressure mercury lamp at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 from both sides and then heat-treated at 220 ° C. for 15 minutes.
The substrate on which the K image was formed was washed again with a brush as described above, and after pure water shower washing, the silane coupling solution was not used and was sent to a substrate preheating device.

−レッド(R)画素の形成−
前記感光性樹脂転写材料R1を用い、前記感光性樹脂転写材料K1と同様の工程で、熱処理済みのレッド(R)画素を得た。但し露光量は40mJ/cm、炭酸Na系現像液による現像は35℃35秒とした。
このKの画像、及びRの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
-Formation of red (R) pixels-
Using the photosensitive resin transfer material R1, heat-treated red (R) pixels were obtained in the same process as the photosensitive resin transfer material K1. However, the exposure amount was 40 mJ / cm 2 , and development with a sodium carbonate-based developer was 35 ° C. for 35 seconds.
The substrate on which the K image and the R pixel were formed was again cleaned with a brush as described above, and after pure water shower cleaning, the silane coupling liquid was not used and the substrate was sent to a substrate preheating apparatus.

−グリーン(G)画素の形成−
前記感光性樹脂転写材料G1を用い、前記感光性樹脂転写材料R1と同様の工程で、熱処理済みのグリーン(G)の画素を得た。但し露光量は40mJ/cm、炭酸Na系現像液による現像は34℃45秒とした。
このKの画像、RとGの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
-Formation of green (G) pixels-
Using the photosensitive resin transfer material G1, heat-treated green (G) pixels were obtained in the same process as the photosensitive resin transfer material R1. However, the exposure amount was 40 mJ / cm 2 , and development with a sodium carbonate-based developer was 34 ° C. and 45 seconds.
The substrate on which the K image and R and G pixels were formed was again cleaned with a brush as described above, and after pure water shower cleaning, the silane coupling liquid was not used and the substrate was sent to a substrate preheating apparatus.

−ブルー(B)画素の形成−
前記感光性樹脂転写材料B1を用い、前記感光性樹脂転写材料R1と同様の工程で、熱処理済みのブルー(B)の画素を得た。但し露光量は30mJ/cm、炭酸Na系現像液による現像は36℃40秒とした。
-Formation of blue (B) pixels-
Using the photosensitive resin transfer material B1, heat-treated blue (B) pixels were obtained in the same process as the photosensitive resin transfer material R1. However, the exposure amount was 30 mJ / cm 2 , and development with a sodium carbonate-based developer was 36 ° C. for 40 seconds.

このR、G、B画素及びKの画像を形成した基板を240℃で50分ベークして、目的のカラーフィルタを得た。 The substrate on which the R, G, B pixel and K images were formed was baked at 240 ° C. for 50 minutes to obtain the desired color filter.

上記より得たカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びにK画像(ブラックマトリクス)の上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。次いで、前記実施例7に従い、前記で形成したITO膜上の隔壁(ブラックマトリックス)上部に相当する部分にスペーサを形成した。   A transparent electrode of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed by sputtering on the R pixel, G pixel, B pixel and K image (black matrix) of the color filter substrate obtained above. Next, according to Example 7, spacers were formed in the portion corresponding to the upper part of the partition wall (black matrix) on the ITO film formed above.

−液晶表示装置の作製−
別途、対向基板としてガラス基板を用意し、カラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれPVAモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、PVAモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。次いで、赤色(R)LEDとしてFR1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、緑色(G)LEDとしてDG1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、青色(B)LEDとしてDB1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置を作製した。
-Production of liquid crystal display device-
Separately, a glass substrate was prepared as a counter substrate, and patterning was performed for the PVA mode on the transparent electrode and the counter substrate of the color filter substrate, respectively, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.
After that, a UV curable resin sealant is applied by a dispenser method at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided around the pixel group of the color filter, and a liquid crystal for PVA mode is dropped and attached to the counter substrate. After bonding, the bonded substrate was irradiated with UV, and then heat-treated to cure the sealant. Polarizing plates HLC2-2518 manufactured by Sanlitz Co., Ltd. were attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained. Next, FR1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a red (R) LED, DG1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a green (G) LED, and DB1112H (as a blue (B) LED. A side-light type backlight was constructed using a chip-type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd., and was placed on the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate, thereby producing a liquid crystal display device.

(実施例14〜18、比較例6、7)
実施例13において、用いた感光性樹脂転写材料K1、R1、G1、B1とフォトスペーサ形成用感光性転写材料S1を表6に記載したカバーフィルムを用いた転写材料に変更した以外は、実施例13と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
(Examples 14 to 18, Comparative Examples 6 and 7)
In Example 13, except that the photosensitive resin transfer materials K1, R1, G1, B1 and the photosensitive spacer forming photosensitive transfer material S1 used in Example 13 were changed to transfer materials using the cover film described in Table 6. A liquid crystal display device was produced by the same method as in FIG.

[見栄え]
前記で得られた液晶表示装置の各々について、グレイのテスト信号を入力させたときのグレイ表示を目視にて観察し、表示ムラの発生の有無を下記評価基準にしたがって評価した。
〈評価基準1〉
○:表示ムラは全く認められなく、見栄えが良かった。
△:表示ムラが僅かに認められたが、見栄えが良かった。
×:表示ムラが顕著に認められ、見栄えが悪かった。
[appearance]
For each of the liquid crystal display devices obtained above, the gray display when a gray test signal was input was visually observed, and the presence or absence of display unevenness was evaluated according to the following evaluation criteria.
<Evaluation criteria 1>
○: Display unevenness was not recognized at all, and the appearance was good.
Δ: Display unevenness was slightly observed, but the appearance was good.
X: Display unevenness was noticeable and the appearance was poor.

Figure 2008129431
Figure 2008129431

なお、比較例6に用いられた感光性樹脂転写材料を構成するカバーフィルムは、上記評価から明らかなようにその生産性に劣るものである。   In addition, the cover film which comprises the photosensitive resin transfer material used for the comparative example 6 is inferior to the productivity as evident from the said evaluation.

Claims (4)

仮支持体と、前記仮支持体上に形成された少なくとも1層の感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層を覆うカバーフィルムと、を少なくとも有する感光性転写材料であって、
前記感光性樹脂層が、固形分比10%以上の顔料を含み、前記カバーフィルムの、直径10μm以上のリング点の数が50から500個/mであり、直径300μm以上のリング点の数が3個/m以下であることを特徴とする感光性転写材料。
A photosensitive transfer material having at least a temporary support, at least one photosensitive resin layer formed on the temporary support, and a cover film covering the photosensitive resin layer,
The photosensitive resin layer includes a pigment having a solid content ratio of 10% or more, the number of ring points having a diameter of 10 μm or more of the cover film is 50 to 500 pieces / m 2 , and the number of ring points having a diameter of 300 μm or more. Is a photosensitive transfer material characterized in that it is 3 pieces / m 2 or less.
カラーフィルタの製造に用いられることを特徴とする請求項1に記載の感光性転写材料。   The photosensitive transfer material according to claim 1, wherein the photosensitive transfer material is used for producing a color filter. 請求項1又は2に記載の感光性転写材料を少なくとも1種類用いて作製されたことを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter produced by using at least one kind of the photosensitive transfer material according to claim 1. 請求項3に記載のカラーフィルタを有する表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 3.
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