JP2008127054A - バリア膜被覆プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 - Google Patents
バリア膜被覆プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008127054A JP2008127054A JP2006313511A JP2006313511A JP2008127054A JP 2008127054 A JP2008127054 A JP 2008127054A JP 2006313511 A JP2006313511 A JP 2006313511A JP 2006313511 A JP2006313511 A JP 2006313511A JP 2008127054 A JP2008127054 A JP 2008127054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plastic container
- wire
- catalyst
- metal species
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 title claims abstract description 229
- 239000004033 plastic Substances 0.000 title claims abstract description 229
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 185
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 185
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 156
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 156
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 105
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 63
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 140
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 81
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 81
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 42
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 18
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 claims description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 72
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 228
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 description 38
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 37
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 28
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 27
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 21
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 18
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 9
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 6
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 235000013361 beverage Nutrition 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 5
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Natural products CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 235000014214 soft drink Nutrition 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 1H-indene Chemical compound C1=CC=C2CC=CC2=C1 YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004713 Cyclic olefin copolymer Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000013334 alcoholic beverage Nutrition 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 2
- HGCIXCUEYOPUTN-UHFFFAOYSA-N cyclohexene Chemical compound C1CCC=CC1 HGCIXCUEYOPUTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N phenanthrene Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- PMJHHCWVYXUKFD-SNAWJCMRSA-N (E)-1,3-pentadiene Chemical compound C\C=C\C=C PMJHHCWVYXUKFD-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1-pentene Chemical compound CC(C)CC=C WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVZWSLJZHVFIQJ-UHFFFAOYSA-N Cyclopropane Chemical compound C1CC1 LVZWSLJZHVFIQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 229920001893 acrylonitrile styrene Polymers 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 235000011089 carbon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 235000014171 carbonated beverage Nutrition 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000002537 cosmetic Substances 0.000 description 1
- 150000001924 cycloalkanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 235000015203 fruit juice Nutrition 0.000 description 1
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N prop-2-enenitrile;styrene Chemical compound C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- MWWATHDPGQKSAR-UHFFFAOYSA-N propyne Chemical group CC#C MWWATHDPGQKSAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Containers Having Bodies Formed In One Piece (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係るバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法は、プラスチック容器を収容した真空チャンバの内部に炭素源原料ガスを供給し、炭素源原料ガスを熱触媒体に吹き付けて炭素源原料ガスを分解して化学種を生成させ、かつ、ホットワイヤーから金属種を揮発させ、容器の内表面又は外表面の少なくともいずれか一方に化学種及び金属種を到達させることによって金属種含有DLC薄膜を形成する。
【選択図】図2
Description
Carbon)膜が実用化されてきている。このDLC膜は、炭素原子及び水素原子による非晶性の三次元構造からなる膜で、硬く、絶縁性に優れ、高屈折率で、非常に滑らかなモルフォロジを有する硬質炭素膜である。
まず、容器の内表面に酸化物薄膜を成膜できる第1形態に係る成膜装置について説明する。図2は、第1形態に係る成膜装置を示す概略図であり、(a)はワイヤーが直線形状の場合、(b)はワイヤーがコイルばね形状の場合、(c)はワイヤーがジグザク線形状の場合、である。ただし、図2(b)(c)は、原料ガス供給管23の部分拡大図である。なお、以下特に断らない限り「図2」は「図2(a)」として説明する。図2に示した成膜装置100は、プラスチック容器11を収容する真空チャンバ6と、真空チャンバ6を真空引きする排気ポンプ(不図示)と、真空チャンバ6の内部に配置されている触媒用ワイヤー18Xと、触媒用ワイヤー18Xに電力を供給する熱触媒体用ヒータ電源20Xと、真空チャンバ6の内部に配置されている加熱用ワイヤー18Yと、加熱用ワイヤー18Yに電力を供給するホットワイヤー用ヒータ電源20Yと、真空チャンバ6内に配置されたプラスチック容器11の内部空間に炭素源原料ガス等の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、を有する。ここで、原料ガス供給手段は、具体的には絶縁且つ耐熱の材料で形成された原料ガス供給管23である。触媒用ワイヤー18Xと加熱用ワイヤー18Yとは、いずれも原料ガス供給管23に支持されているが、図示の容易化のため、加熱用ワイヤー18Yは原料ガス供給管23の近傍に図示した。また、図2(b)(c)では、いずれも加熱用ワイヤー18Yは原料ガス供給管23に支持されているが、図示の容易化のため、加熱用ワイヤー18Yの記載を省略している。すなわち、図2(b)ではコイルばね形状の加熱用ワイヤー18Yの記載を省略しており、図2(c)ではジグザク線形状の加熱用ワイヤー18Yの記載を省略している。
次に、容器の外表面にガスバリア薄膜を成膜できる第2形態に係る成膜装置について説明する。図4は第2形態に係る成膜装置の一形態を示す概略図であり、(a)はワイヤーが線状の場合、(b)はワイヤーがコイルばね形状の場合、である。ただし、図4(b)は、ワイヤーの概略図である。なお、以下特に断らない限り「図4」は「図4(a)」として説明する。図4に示した成膜装置200は、プラスチック容器11を収容する真空チャンバ60と、真空チャンバ60を真空引きする排気ポンプ(不図示)と、真空チャンバ60の内部に配置されている触媒用ワイヤー18Xと、触媒用ワイヤー18Xに電力を供給する熱触媒体用ヒータ電源20Xと、真空チャンバ60の内部に配置されている加熱用ワイヤー18Yと、加熱用ワイヤー18Yに電力を供給するホットワイヤー用ヒータ電源20Yと、真空チャンバ60内に配置されたプラスチック容器11の外部空間に炭素源原料ガス等の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、を有する。ここで、原料ガス供給手段は、具体的には絶縁且つ耐熱の材料で形成された原料ガス供給管73である。触媒用ワイヤー18Xと加熱用ワイヤー18Yとは、いずれもプラスチック容器11の周囲に配置されており、図4では真空チャンバ60の内壁面に沿って配線されている場合を示したが、図示の容易化のため、主として触媒用ワイヤー18Xを図示し、加熱用ワイヤー18Yは一部のみ図示した。また、図4(b)では、触媒用ワイヤー18Xのみ図示し、加熱用ワイヤー18Yの記載を省略したが、加熱用ワイヤー18Yも同様である。
まず、ベント(不図示)を開いて真空チャンバ6内を大気開放する。反応室12には、上部チャンバ15を外した状態で、下部チャンバ13の上部開口部からプラスチック容器11が差し込まれて、収容される。この後、位置決めされた上部チャンバ15が降下し、上部チャンバ15につけられた原料ガス供給管23とそれに固定された触媒用ワイヤー18Xと加熱用ワイヤー18Yがプラスチック容器の口部21からプラスチック容器11内に挿入される。そして、上部チャンバ15が下部チャンバ13にOリング14を介して当接することで、反応室12が密閉空間とされる。このとき、下部チャンバ13の内壁面とプラスチック容器11の外壁面との間隔は、ほぼ均一に保たれており、且つプラスチック容器11の内壁面と触媒用ワイヤー18X・加熱用ワイヤー18Yとの間の間隔も、ほぼ均一に保たれている。
次いでベント(不図示)を閉じたのち、排気ポンプ(不図示)を作動させ、真空バルブ8を開とすることにより、反応室12内の空気が排気される。このとき、プラスチック容器11の内部空間のみならずプラスチック容器11の外壁面と下部チャンバ13の内壁面との間の空間も排気されて、真空にされる。すなわち、反応室12全体が排気される。そして反応室12内が必要な圧力、例えば1〜100Pa、好ましくは10〜100Paに到達するまで減圧される。これは1Pa未満の圧力では排気時間がかかり、また、成膜速度が低下する場合があり、成膜コス卜が増加する。また、100Paより高い圧力で良いとするとプラスチック容器11内に不純物が多くなり、バリア性の高い容器を得ることができない。
次に触媒用ワイヤー18Xに通電して所定温度以上に発熱させて熱触媒体とする。所定温度とは、前述のとおり、炭素源原料ガスをメタンガスとすれば、W線を使用する場合、例えば1600〜2000℃であることが好ましく、1800〜2000℃であることがより好ましい。ニッケル‐クロム合金線であれば、例えば800〜1200℃であることが好ましく、1000〜1100℃であることがより好ましい。なお、触媒用ワイヤー18Xは、プラスチック容器11の内表面との距離が5〜50mmとなるように配置されている。
次に加熱用ワイヤー18Yに通電して所定温度以上に発熱させてホットワイヤーとする。ワイヤーの成分を揮発させ、反応室12内に蒸気を供給することができる。ホットワイヤーとして作動させる所定温度は、前述のとおり、蒸発源がワイヤーの材料によって異なり、Moであれば、例えば1000〜2600℃であることが好ましく、1200〜2400℃であることがより好ましい。Pdであれば、例えば1000〜1500℃であることが好ましく、1100〜1200℃であることがより好ましい。Agであれば、例えば700〜900℃であることが好ましく、800〜840℃であることがより好ましい。炭素鋼であれば、例えば1100〜1400℃であることが好ましく、1200〜1300℃であることがより好ましい。Tiであれば、例えば1300〜1600℃であることが好ましく、1400〜1550℃であることがより好ましい。Zrであれば、例えば1500〜1800℃であることが好ましく、1500〜1650℃であることがより好ましい。Hfであれば、例えば1500〜2200℃であることが好ましく、1800〜2000℃であることがより好ましい。なお、加熱用ワイヤー18Yは、プラスチック容器11の内表面との距離が5〜50mmとなるように配置されている。
この後、ガス流量調整器24aでメタン等の炭素源原料ガスを所定流量供給する。メタン等の炭素源原料ガスは、原料ガス供給管23を経て、所定の圧力に減圧されたプラスチック容器11内において、ガス吹き出し孔17xから触媒用ワイヤー18Xに向けて、好ましくは触媒用ワイヤー18Xと加熱用ワイヤー18Yの両方に向けて吹き出される。そして、触媒用ワイヤー18Xによってメタン等の炭素源原料ガスは、活性の高い化学種に分解され、プラスチック容器11の内表面に接触させられる。同時に、ホットワイヤー18Yから揮発した金属種が化学種と共にプラスチック容器11の内表面に接触させられる。そして、プラスチック容器11の内表面には金属種含有DLC薄膜が形成させる。
薄膜が所定の厚さに達すると、メタン等の炭素源原料ガス33の供給を止め、反応室12内を再度排気した後、図示していないリークガスを導入して、反応室12を大気圧にする。この後、上部チャンバ15を開けてプラスチック容器11を取り出す。薄膜の膜厚は、5〜100nmとなるようにするのが好ましい。上記実施形態によれば、成膜速度は、例えば、上限が2.5〜4.0nm/秒と高速である。金属種含有DLC薄膜を被覆したプラスチック容器の酸素透過度を測定したところ、未コートのプラスチック容器と比較して、3分の1〜18分の1に低下し、バリア性の向上が確認できた。
図2に示した成膜装置100を用いて、プラスチック容器11として、丸型500mlのPETボトルの内表面に成膜を行なった。容器壁の肉厚は約0.3mmであった。触媒用ワイヤー18Xとしてタングステンワイヤーを用い、加熱用ワイヤー18Yとしてモリブデンワイヤーを用いた。炭素源原料ガスとしてメタンを用い、80sccmを供給した。触媒用ワイヤー18X・加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。触媒用ワイヤー18X・加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。触媒用ワイヤー18Xに直流電流を印加し、2000℃の熱触媒体とした。加熱用ワイヤー18Yに直流電流を印加し、2100℃のホットワイヤーとした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとした。成膜時間は10秒とした。化学種と金属種とを同時にプラスチック表面に到達させた。得られた金属種含有DLC薄膜(DLCと金属種との複合薄膜)を被覆したPETボトルを実施例1とした。実施例1について、次のとおり評価を行なった。
(1)酸素透過度
この容器の酸素透過度は、Modern Control社製 Oxtran 2/20を用いて、23℃、90%RHの条件にて測定し、窒素ガス置換開始から72時間後の測定値を記載した。
(2)膜厚
DLCの膜厚は、Veeco社DEKTAK3を用いて測定した。
加熱用ワイヤーとして、パラジウムワイヤーを用い、1200℃とした以外は実施例1と同様に成膜を行ない、実施例2とした。成膜条件と結果を表1に示した。
触媒用ワイヤーとして、ニッケル‐クロム合金ワイヤーを用い、1000℃とし、成膜時間を40秒とした以外は実施例1と同様に成膜を行ない、実施例3とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤーとして、パラジウムワイヤーを用い、1200℃とし、成膜時間を109秒とした以外は実施例3と同様に成膜を行ない、実施例4とした。成膜条件と結果を表1に示した。
図2に示した成膜装置100を用いて、実施例1と同様のプラスチック容器の内表面に成膜を行なった。加熱用ワイヤー18Yとしてモリブデンワイヤーを用いた。加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。加熱用ワイヤー18Yに直流電流を印加し、2100℃のホットワイヤーとした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとし、まず、金属種のみを蒸着させた。成膜時間は20秒とした。次に、触媒用ワイヤー18Xとしてタングステンワイヤーを用い、炭素源原料ガスとしてメタンを用い、80sccmを供給した。触媒用ワイヤー18Xとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。触媒用ワイヤー18Xとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。触媒用ワイヤー18Xに直流電流を印加し、2000℃の熱触媒体とした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとし、化学種のみを蒸着させた。成膜時間は5秒とした。以上の操作によって、金属種、化学種の順にプラスチック表面に到達させて成膜を行なった。得られた金属種含有DLC薄膜(金属種の上にDLCが堆積した2層型積層薄膜)を被覆したPETボトルを実施例5とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤー18Yとしてパラジウムワイヤーを用い、1200℃のホットワイヤーとし、成膜時間を100秒として金属種を蒸着させた以外は実施例5と同様に成膜を行ない、実施例6とした。成膜条件と結果を表1に示した。
触媒用ワイヤー18Xしてニッケル‐クロム合金ワイヤーを用い、1000℃の熱触媒体とし、成膜時間を120秒として化学種を蒸着させた以外は実施例5と同様に成膜を行ない、実施例7とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤー18Yとしてパラジウムワイヤーを用い、1200℃のホットワイヤーとし、成膜時間を100秒として金属種を蒸着させた以外は実施例7と同様に成膜を行ない、実施例8とした。成膜条件と結果を表1に示した。
図2に示した成膜装置100を用いて、実施例1と同様のプラスチック容器の内表面に成膜を行なった。触媒用ワイヤー18Xとしてタングステンワイヤーを用い、炭素源原料ガスとしてメタンを用い、80sccmを供給した。触媒用ワイヤー18Xとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。触媒用ワイヤー18Xとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。触媒用ワイヤー18Xに直流電流を印加し、2000℃の熱触媒体とした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとし、化学種のみを蒸着させた。成膜時間は5秒とした。次に加熱用ワイヤー18Yとしてモリブデンワイヤーを用いた。加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。加熱用ワイヤー18Yに直流電流を印加し、2100℃のホットワイヤーとした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとし、金属種のみを蒸着させた。成膜時間は20秒とした。以上の操作によって、化学種、金属種の順にプラスチック表面に到達させて成膜を行なった。得られた金属種含有DLC薄膜(DLCの上に金属種が堆積した2層型積層薄膜)を被覆したPETボトルを実施例9とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤー18Yとしてパラジウムワイヤーを用い、1200℃のホットワイヤーとし、成膜時間を100秒として金属種を蒸着させた以外は実施例9と同様に成膜を行ない、実施例10とした。成膜条件と結果を表1に示した。
触媒用ワイヤー18Xしてニッケル‐クロム合金ワイヤーを用い、1000℃の熱触媒体とし、成膜時間を120秒として化学種を蒸着させた以外は実施例9と同様に成膜を行ない、実施例11とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤー18Yとしてパラジウムワイヤーを用い、1200℃のホットワイヤーとし、成膜時間を100秒として金属種を蒸着させた以外は実施例11と同様に成膜を行ない、実施例12とした。成膜条件と結果を表1に示した。
図2に示した成膜装置100を用いて、実施例1と同様のプラスチック容器の内表面に成膜を行なった。触媒用ワイヤー18Xとしてタングステンワイヤーを用い、炭素源原料ガスとしてメタンを用い、80sccmを供給した。触媒用ワイヤー18Xとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。触媒用ワイヤー18Xとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。触媒用ワイヤー18Xに直流電流を印加し、2000℃の熱触媒体とした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとし、化学種のみを蒸着させた。成膜時間は5秒とした。次に加熱用ワイヤー18Yとしてモリブデンワイヤーを用いた。加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の底面との距離を30mmとした。加熱用ワイヤー18Yとボトルの内側の側面との距離は約30mmとした。加熱用ワイヤー18Yに直流電流を印加し、2100℃のホットワイヤーとした。成膜時の真空チャンバ6内の圧力を6Paとし、金属種のみを蒸着させた。成膜時間は20秒とした。次に、第1層となる最初の化学種の蒸着と同条件にて、再度化学種のみを蒸着させた。以上の操作によって、化学種、金属種、化学種の順にプラスチック表面に到達させて成膜を行なった。得られた金属種含有DLC薄膜(DLCの上に金属種が堆積し、該金属種の上にさらにDLCが堆積した3層型積層薄膜)を被覆したPETボトルを実施例13とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤー18Yとしてパラジウムワイヤーを用い、1200℃のホットワイヤーとし、成膜時間を100秒として金属種を蒸着させた以外は実施例13と同様に成膜を行ない、実施例14とした。成膜条件と結果を表1に示した。
触媒用ワイヤー18Xしてニッケル‐クロム合金ワイヤーを用い、1000℃の熱触媒体とし、成膜時間を120秒として、第1層、第3層ともに化学種を蒸着させた以外は実施例13と同様に成膜を行ない、実施例15とした。成膜条件と結果を表1に示した。
加熱用ワイヤー18Yとしてパラジウムワイヤーを用い、1200℃のホットワイヤーとし、成膜時間を100秒として金属種を蒸着させた以外は実施例15と同様に成膜を行ない、実施例16とした。成膜条件と結果を表1に示した。
図2に示した成膜装置100の代わりに、図4に示した成膜装置200を用いて、実施例1〜16と同様の金属種含有DLC薄膜をプラスチック容器の外表面に成膜し、それぞれ実施例17〜32とした。
未コートのプラスチック容器の酸素透過性は0.035cc/容器/日であった。
1A,炭素源ガスの導入口
1B,排気口
2,外部電極
3,内部電極
4,高周波電源
5,11,プラスチック容器
6,60,真空チャンバ
8,真空バルブ
13,63,下部チャンバ
14,Oリング
15,65,上部チャンバ
16,66,ガス供給口
17,原料ガス流路
17x,77x,ガス吹き出し孔
18X,触媒用ワイヤー
18Y,加熱用ワイヤー
19,配線
20X,熱触媒体用ヒータ電源
20Y,ホットワイヤー用ヒータ電源
21,プラスチック容器の口部
22,排気管
23,73,原料ガス供給管
24a,流量調整器
25a,25b,バルブ
26a,26b,79a,79b,接続部
27,冷却水流路
28,真空チャンバの内面
29,冷却手段
30,透明体からなるチャンバ
31,原料ガス配管
32,ボトル回転機構
33,34,メタン等の炭素源原料ガス
35,絶縁セラミックス部材
36,伸縮機構付の絶縁セラミックス製の内管
40,ボトル整列室
41,排気室
42,薄膜形成室
43,大気リーク室
44,取出し室
50,冷却された液体若しくは気体
51,容器冷却手段
100,200,成膜装置
Claims (8)
- プラスチック容器を収容した真空チャンバの内部を大気圧以下の所定圧力とする圧力調整工程と、
前記真空チャンバの内部に配置されている触媒用ワイヤーに通電して発熱させて熱触媒体とする工程と、
前記真空チャンバの内部に配置されている加熱用ワイヤーに通電して発熱させてホットワイヤーとする工程と、
前記真空チャンバの内部に炭素源原料ガスを供給し、前記炭素源原料ガスを前記熱触媒体に吹き付けて前記炭素源原料ガスを分解して化学種を生成させ、かつ、前記ホットワイヤーから金属種を揮発させ、前記プラスチック容器の内表面又は外表面の少なくともいずれか一方に前記化学種及び前記金属種を到達させることによって金属種含有DLC薄膜を形成する成膜工程と、
を有することを特徴とするバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。 - 前記触媒用ワイヤーがタングステン又はニッケル‐クロム合金を主成分とするワイヤーであり、かつ、前記加熱用ワイヤーがモリブデン、パラジウム、銀、炭素鋼、チタン、ジルコニウム又はハフニウムを含有するワイヤーであることを特徴とする請求項1に記載のバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。
- 前記成膜工程において、前記プラスチック容器の表面に前記化学種及び前記金属種を同時に到達させることによって、DLCと金属種との複合薄膜を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。
- 前記成膜工程において、前記プラスチック容器の表面に、前記化学種、前記金属種の順に到達させることによって、DLCの上に金属種が堆積した2層型積層薄膜を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。
- 前記成膜工程において、前記プラスチック容器の表面に、前記金属種、前記化学種の順に到達させることによって、金属種の上にDLCが堆積した2層型積層薄膜を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。
- 前記成膜工程において、前記プラスチック容器の表面に、前記化学種、前記金属種、前記化学種の順に到達させることによって、DLCの上に金属種が堆積し、該金属種の上にさらにDLCが堆積した3層型積層薄膜を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。
- 前記プラスチック容器が、前記真空チャンバ内に差圧機構を介して搬入される工程と、
前記プラスチック容器が、前記真空チャンバ内の搬送経路に設置された前記触媒用ワイヤー及び前記加熱用ワイヤーに接触せずに前記搬送経路上を搬送される工程と、
前記プラスチック容器が、前記真空チャンバ外へ差圧機構を介して搬出される工程と、をさらに有することを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6に記載のバリア膜被覆プラスチック容器の製造方法。 - プラスチック容器を収容する真空チャンバと、
該真空チャンバを真空引きする排気ポンプと、
前記真空チャンバの内部に配置されている触媒用ワイヤーと、
該触媒用ワイヤーに電力を供給する熱触媒体用ヒータ電源と、
前記真空チャンバの内部に配置されている加熱用ワイヤーと、
該加熱用ワイヤーに電力を供給するホットワイヤー用ヒータ電源と、
前記真空チャンバ内に配置されたプラスチック容器の内部空間又は外部空間或いはその両方の空間に原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
を有することを特徴とするバリア膜被覆プラスチック容器の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006313511A JP4954679B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | バリア膜被覆プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006313511A JP4954679B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | バリア膜被覆プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008127054A true JP2008127054A (ja) | 2008-06-05 |
JP4954679B2 JP4954679B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=39553282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006313511A Active JP4954679B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | バリア膜被覆プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4954679B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010002656A3 (en) * | 2008-06-30 | 2010-03-11 | Amcor Limited | Single serve container |
EP2350340A1 (en) * | 2008-09-22 | 2011-08-03 | Becton, Dickinson and Company | Systems, apparatus and methods for coating the interior of a container using a photolysis and/or thermal chemical vapor deposition process |
JP2012185877A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Fuji Electric Co Ltd | Dlc膜の製造方法および製造装置 |
WO2013099960A1 (ja) | 2011-12-27 | 2013-07-04 | 麒麟麦酒株式会社 | 薄膜の成膜装置 |
WO2014103677A1 (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | 麒麟麦酒株式会社 | 薄膜の成膜装置 |
WO2018193991A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 株式会社ニコン | 容器、容器の製造方法及びアモルファスカーボン膜の評価方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10203896A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-04 | Mitsubishi Electric Corp | ダイヤモンドライクカーボン薄膜が形成された部材およびその形成方法 |
JP2000109076A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Toppan Printing Co Ltd | 内面コートボトルおよびその製造方法 |
JP2004107689A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Ulvac Japan Ltd | ダイヤモンド状炭素膜形成方法及び製造装置 |
-
2006
- 2006-11-20 JP JP2006313511A patent/JP4954679B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10203896A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-04 | Mitsubishi Electric Corp | ダイヤモンドライクカーボン薄膜が形成された部材およびその形成方法 |
JP2000109076A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Toppan Printing Co Ltd | 内面コートボトルおよびその製造方法 |
JP2004107689A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Ulvac Japan Ltd | ダイヤモンド状炭素膜形成方法及び製造装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010002656A3 (en) * | 2008-06-30 | 2010-03-11 | Amcor Limited | Single serve container |
EP2350340A1 (en) * | 2008-09-22 | 2011-08-03 | Becton, Dickinson and Company | Systems, apparatus and methods for coating the interior of a container using a photolysis and/or thermal chemical vapor deposition process |
CN102209800A (zh) * | 2008-09-22 | 2011-10-05 | 贝克顿·迪金森公司 | 使用光解和/或热化学气相沉积法涂布容器内部的系统、设备和方法 |
EP2350340A4 (en) * | 2008-09-22 | 2012-06-06 | Becton Dickinson Co | SYSTEMS, APPARATUS AND METHODS FOR COATING THE INTERIOR OF A CONTAINER USING A PHOTOLYSIS METHOD AND / OR THERMAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS |
EP3505206A1 (en) * | 2008-09-22 | 2019-07-03 | Becton, Dickinson and Company | A system for coating the interior of a container using a photolysis chemical vapor deposition process |
JP2012185877A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Fuji Electric Co Ltd | Dlc膜の製造方法および製造装置 |
WO2013099960A1 (ja) | 2011-12-27 | 2013-07-04 | 麒麟麦酒株式会社 | 薄膜の成膜装置 |
US10612142B2 (en) | 2011-12-27 | 2020-04-07 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Apparatus for forming thin film |
WO2014103677A1 (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | 麒麟麦酒株式会社 | 薄膜の成膜装置 |
JPWO2014103677A1 (ja) * | 2012-12-26 | 2017-01-12 | 麒麟麦酒株式会社 | 薄膜の成膜装置及び成膜方法 |
WO2018193991A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 株式会社ニコン | 容器、容器の製造方法及びアモルファスカーボン膜の評価方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4954679B2 (ja) | 2012-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5260050B2 (ja) | ガスバリア性プラスチック容器の製造装置及びその容器の製造方法 | |
JP4954679B2 (ja) | バリア膜被覆プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 | |
JP4426790B2 (ja) | 多層バリヤ層を作製するための高速処理法 | |
CA2822599C (en) | Gas-barrier plastic molded product and manufacturing process therefor | |
JP5695673B2 (ja) | ガスバリア性プラスチック成形体の製造方法 | |
JP5063089B2 (ja) | 酸化物薄膜を被膜したプラスチック容器の製造方法 | |
US10316408B2 (en) | Delivery device, manufacturing system and process of manufacturing | |
JP2012149334A (ja) | ガスバリア性プラスチック成形体及びその製造方法 | |
JP2004107689A (ja) | ダイヤモンド状炭素膜形成方法及び製造装置 | |
AU2011236081B2 (en) | Apparatus for manufacturing gas barrier plastic container, method for manufacturing the container, and the container | |
JP2006335379A (ja) | 被膜を備える合成樹脂製容器と、合成樹脂製容器に被膜を形成する方法及び装置 | |
JP2012122089A (ja) | ガスバリア薄膜を備えるプラスチック成形体及びその製造方法 | |
JP2012188700A (ja) | ガスバリア性プラスチック成形体及びその製造方法 | |
JP2005048272A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
TW201326449A (zh) | 阻氣性塑膠成形體之製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120313 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120314 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4954679 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |