JP2008123978A - Socket for electric test of semiconductor device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a socket for an electric test of a semiconductor device capable of reducing bending stress in a plate spring type contact, and of satisfying a requirement of high contact force exceeding 300 gf per contact pin. <P>SOLUTION: This socket for an electric test of a semiconductor device comprises: a base member comprising a bottom part, a side part and a semiconductor device mounting part; plate spring contacts and coil springs each having one end fixed to the bottom part of the base member; and latches 30 rotatably attached to the base member; and is structured such that the other end of each coil spring is fixed to the bottom surface of a pressing part of the latch, and the latch is attached such that a tip part of the latch comes into contact with a tip part of the plate contact at least in terminating the pressing. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体装置の検査に用いられる半導体装置(以下、パッケージということがある)用のソケットに関し、さらに詳しくは、例えばDIPやSOJ型と呼ばれるリード状の外部端子を備えた半導体装置の電気的特性検査を行う測定装置に係わり、コイルバネのバネ力を利用し、ラッチ機構でそれを伝達することを特徴とする半導体装置の電気的な検査を行うテスト用ソケットに関する。  The present invention relates to a socket for a semiconductor device (hereinafter sometimes referred to as a package) used for inspection of a semiconductor device, and more specifically, for example, an electrical of a semiconductor device having a lead-like external terminal called a DIP or SOJ type. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring device for performing a physical characteristic inspection, and more particularly to a test socket for performing an electrical inspection of a semiconductor device, which uses a spring force of a coil spring and transmits the result by a latch mechanism.

例えばDIPやSOJ型のようなリード状の外部端子(=リード端子)が半導体装置の対向する両側面から水平に引き出され、垂直に折り曲げられている半導体装置の電気的検査を行うには、金属板をプレス加工で打ち抜いた板バネ方式のコンタクトを用いたテスト用ソケット(以下、ソケットと言う)が従来から多く利用され、近来でも最も一般的な方式である。  For example, in order to perform an electrical inspection of a semiconductor device in which lead-like external terminals (= lead terminals) such as DIP and SOJ type are drawn horizontally from opposite side surfaces of the semiconductor device and bent vertically, a metal is used. Test sockets (hereinafter referred to as “sockets”) using leaf spring type contacts in which plates are punched out by press working have been widely used in the past, and are the most common method in recent years.

図7を参照して従来技術を説明する。図7は、板バネ方式のコンタクト(以下、板バネコンタクト、あるいはコンタクトということがある)を用いた従来のソケットの要部を示す断面図であって半導体装置11が装着された状態を示し、ソケットのベース部材20の載置部24に装着した半導体装置11と測定装置の検査回路基板13との間の接続を示す模式図である。コンタクト40は半導体装置のリード端子12のピッチや配列数に対応してソケットのベース部材20にコンタクトの固定部44で組み立てられており、コンタクトそれぞれの半田付用リード部45は、測定装置の検査回路基板13の電極パターンに半田で固定されている。コンタクトはバネ弾性部41のバネ力によりバネ先端部42が半導体装置のリード端子12と接触することにより、半導体装置はソケットを介して検査回路基板と電気的に接続される。コンタクトの材料はバネ限界値が高くへたりにくいベリリウム銅が一般的に使用されている。  The prior art will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part of a conventional socket using a leaf spring type contact (hereinafter sometimes referred to as a leaf spring contact or a contact), and shows a state in which the semiconductor device 11 is mounted. It is a schematic diagram which shows the connection between the semiconductor device 11 with which the mounting part 24 of the base member 20 of the socket was mounted | worn, and the test circuit board 13 of a measuring device. The contact 40 is assembled to the socket base member 20 by a contact fixing portion 44 corresponding to the pitch and the number of arrangement of the lead terminals 12 of the semiconductor device, and the solder lead portion 45 of each contact is inspected by the measuring device. It is fixed to the electrode pattern of the circuit board 13 with solder. The contact is brought into contact with the lead terminal 12 of the semiconductor device by the spring tip 42 by the spring force of the spring elastic portion 41, so that the semiconductor device is electrically connected to the test circuit board through the socket. The contact material is generally made of beryllium copper, which has a high spring limit and is difficult to loosen.

ソケットにおいて基本的に重要なことは、確実で安定した電気的接続を実現することである。そのため、ソケットのコンタクトは、使用される温度や環境に適合して、材料・材質、形状やバネ性を設計する必要がある。コンタクトのバネ部の設計には弾性と導電性に優れた色々な銅合金製の材料・材質が用いられている。またバネ部の設計においても、いろいろな湾曲部の形状が見られる。従来技術で共通した特徴的な点は、コンタクト自体のもつバネ力を利用してバネ力を設計し、形成していることである。  Essentially important in sockets is to achieve a reliable and stable electrical connection. Therefore, it is necessary to design the material / material, shape, and spring property of the socket contact in accordance with the temperature and environment in which it is used. For the design of the spring part of the contact, various copper alloy materials and materials excellent in elasticity and conductivity are used. Also in the design of the spring part, various curved parts can be seen. A characteristic point common to the prior art is that the spring force is designed and formed by using the spring force of the contact itself.

従来から最も多く使用されてきた板バネ方式のコンタクトを用いたソケットには、しかしながら下記のような問題があった。  However, the sockets using the leaf spring type contacts that have been used most often have the following problems.

第一の問題は、コンタクトは自体の弾性変形に依るものであり、繰り返しの検査の曲げ応力の結果としてバネ弾性部が永久変形しやすく、結果として信頼性ある電気テストを損なう。
第二の問題は、通常ではコンタクト1ピンあたり30gf程度の接触力であるが、接触抵抗の改善の視点から、従来より高い接触力の要望が増加する傾向にあり、従来の板バネ方式のコンタクトでは対応が困難であった。
第三の問題は、半導体装置の製造時の成型状況により、外部端子がモールド樹脂の薄膜(=絶縁物)で被われることがある。また外部端子の半田めっきが自然酸化で絶縁性の酸化膜を形成する場合もある。このような場合は、通常よりも高い100〜300gfの接触力が求められ、このような要求に対してはコンタクトに生じる曲げ応力が過大となり、従来の板バネ方式のコンタクトでは対応が極めて困難であった。
The first problem is that the contact relies on its own elastic deformation, and as a result of repeated bending bending stresses, the spring elastic portion tends to be permanently deformed, resulting in a loss of reliable electrical testing.
The second problem is usually about 30 gf of contact force per pin of contact, but from the viewpoint of improving contact resistance, there is a tendency for a demand for higher contact force than before, and the conventional leaf spring type contact. It was difficult to deal with.
The third problem is that the external terminal may be covered with a thin film (= insulator) of the mold resin depending on the molding situation at the time of manufacturing the semiconductor device. In some cases, solder plating of the external terminals forms natural oxide and forms an insulating oxide film. In such a case, a contact force of 100 to 300 gf, which is higher than usual, is required, and the bending stress generated in the contact is excessive for such a request, and it is extremely difficult to cope with the conventional leaf spring type contact. there were.

本発明は、上述の問題を解決するためになされたものである。すなわち、コンタクトに生じる曲げ応力を大幅に低減することにより、長期に確実で安定した接触力を保障でき、また必要に応じて従来より高い接触力を実現した半導体装置の電気テスト用ソケットを提供することである。  The present invention has been made to solve the above-described problems. That is, by significantly reducing the bending stress generated in the contact, it is possible to ensure a reliable and stable contact force over a long period of time, and to provide a socket for an electrical test of a semiconductor device that achieves a higher contact force than before as required. That is.

本発明者は、コイルバネのバネ力を利用し、支点・作用点・力点からなるラッチ機構をソケットに組み込むことにより、コンタクトの曲げ応力を従来の1/10以下に低減し、加えて300gf以上の高い接触力を現実化し、上述した問題が解決されることを見出し、本発明を完成したものである。
即ち、本発明は以下の発明を提供する。
(1)底部、側部および半導体装置載置部からなるベース部材、一端が該ベース部材の底部に固定されたコンタクトおよびコイルバネ、ならびに該ベース部材に回転可能に取り付けられたラッチからなり、該コイルバネの他端は該ラッチの押圧部底面に固定され、該ラッチは該ラッチの先端部が少なくとも押圧解除時に該コンタクト先端部と接するように取り付けられている半導体装置の電気テスト用ソケット。
(2)ベース部材の側部にストッパーが設けられており、ラッチにストッパー用切欠部が設けられている請求項1に記載の半導体装置の電気テスト用ソケット。
(3)ベース部材の相対する側部にシャフトを設け、該シャフトにラッチを保持した請求項1または2に記載の半導体装置の電気テスト用ソケット。
The present inventor reduces the bending stress of the contact to 1/10 or less of the conventional one by incorporating a latch mechanism comprising a fulcrum, an action point, and a force point into the socket by using the spring force of the coil spring, and in addition to 300 gf or more. The present invention has been completed by realizing a high contact force and finding that the above-mentioned problems can be solved.
That is, the present invention provides the following inventions.
(1) A base member comprising a bottom portion, a side portion, and a semiconductor device mounting portion, a contact and a coil spring having one end fixed to the bottom portion of the base member, and a latch rotatably attached to the base member. The other end of the semiconductor device is fixed to the bottom surface of the pressing portion of the latch, and the latch is attached so that the front end of the latch contacts at least the front end of the contact when the pressing is released.
(2) The electrical test socket for a semiconductor device according to (1), wherein a stopper is provided on a side of the base member, and a stopper notch is provided on the latch.
(3) The electrical test socket for a semiconductor device according to (1) or (2), wherein a shaft is provided on opposite sides of the base member, and a latch is held on the shaft.

(イ)本発明によれば、コイルバネのバネ力とラッチを用いることにより、コンタクトの曲げ応力が従来の1/10以下に大幅に軽減される。よってコンタクトの寿命が長くなり、長期にわたり安定確実な電気テストが可能となるという効果がある。
(ロ)本発明によれば、コイルバネのバネ力を利用することにより、コンタクトの曲げ応力を大幅に軽減しながらも、従来では困難であった1ピンあたり300gfを超える高い接触力を実現できるという効果がある。
(ハ)本発明によれば、半導体装置の外周4辺にリード端子を配列したパッケージタイプにも適用可能である。
(A) According to the present invention, by using the spring force of the coil spring and the latch, the bending stress of the contact is significantly reduced to 1/10 or less of the conventional one. Therefore, there is an effect that the life of the contact is extended and a stable and reliable electrical test can be performed over a long period of time.
(B) According to the present invention, by using the spring force of the coil spring, it is possible to realize a high contact force exceeding 300 gf per pin, which has been difficult in the past, while greatly reducing the bending stress of the contact. effective.
(C) According to the present invention, the present invention can also be applied to a package type in which lead terminals are arranged on the four outer sides of a semiconductor device.

本発明の半導体装置電気テスト用ソケットは、従来のソケットと同様にベース部材とコンタクトを備えており、更に、コイルバネおよびラッチを備えている。ラッチはベース部材に回転可能な状態に取り付けられており、コイルバネのバネ力がラッチを介してコンタクトに伝えられ、コンタクトと半導体装置のリードとの接触を補佐する構成となっている。
ラッチをベース部材に回転可能に取り付ける方法としては、例えば、ベース部材の左右の側面に設けられたシャフト用孔に設置されたシャフトにラッチを回転可能に保持する方法などがある。しかし、コイルバネのバネ力がコンタクトに伝達される構造であれば、この方法に限定されるものではない。
The semiconductor device electrical test socket of the present invention includes a base member and a contact as in the conventional socket, and further includes a coil spring and a latch. The latch is attached to the base member so as to be rotatable, and the spring force of the coil spring is transmitted to the contact through the latch to assist the contact between the contact and the lead of the semiconductor device.
As a method of attaching the latch to the base member so as to be rotatable, there is, for example, a method of holding the latch rotatably on a shaft installed in a shaft hole provided on the left and right side surfaces of the base member. However, the method is not limited to this method as long as the spring force of the coil spring is transmitted to the contact.

以下、上述したシャフトを用いた本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施に係わるソケットを示す斜視図である。図2は本発明の実施に係わるソケットの構成を示す斜視図である。図3aは本発明の実施に係わるソケットの構成を示す斜視図であり、半導体装置が未装着の状態を示す。図3bは図3aのA−AとB−B線断面図であって、図3bの左半分がA−A線断面図でラッチ切欠部を、右半分がB−B線断面図でラッチ中央部を示す。図4は図3aのB−B線断面図であって半導体装置が未装着の状態を示し、図5は図3aのB−B線断面図であるが、半導体装置が載置部に装着された状態を示す。図6aは本発明に係わる板バネコンタクトの平面図であり、図6bは図5の部分拡大断面図であって半導体装置のリード端子、コンタクトおよびラッチの関係を示す。図7は従来のソケットの要部を示す断面図である。  Hereinafter, embodiments of the present invention using the above-described shaft will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a socket according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the socket according to the embodiment of the present invention. FIG. 3A is a perspective view showing the configuration of the socket according to the embodiment of the present invention, and shows a state in which the semiconductor device is not mounted. 3b is a cross-sectional view taken along line AA and BB in FIG. 3a. The left half of FIG. 3b is a cross-sectional view taken along the line AA, and the right half is a cross-sectional view taken along the line BB. Indicates the part. 4 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 3A and shows a state in which the semiconductor device is not mounted. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. Indicates the state. 6A is a plan view of a leaf spring contact according to the present invention, and FIG. 6B is a partially enlarged cross-sectional view of FIG. 5, showing the relationship between the lead terminal, contact and latch of the semiconductor device. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part of a conventional socket.

図1は本発明のラッチ30とコイルバネ36を組み込んだ半導体装置の検査用ソケット10の一実施例を示す斜視図であって半導体装置11が装着の状態を示す。該検査用ソケットの要部は、従来のソケットにも用いられているベース部材20およびコンタクト40(図7参照)に加えて、ラッチ30、コイルバネ36およびラッチの回転軸となる金属製たとえばステンレス製のシャフト35(図2参照)から構成されている。図1〜7では、半導体装置として両側面に二列のリード端子を持つタイプを対象としているので、上述した構成が二組配置されている。半導体装置のパッケージの種類により外周4辺に4列あるいは1列の配列数を持つものがあるが、本発明によれば各配列毎に上述した構成で配置することにより、全ての列数に適用可能である。本発明の特徴的要点は、個々のコンタクトに対応してラッチとコイルバネをそれぞれ配置して、コンタクトのバネ力に頼ることなく、コイルバネのバネ力をラッチを介してコンタクトに伝達する点にある。  FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an inspection socket 10 of a semiconductor device incorporating a latch 30 and a coil spring 36 of the present invention, and shows a state in which the semiconductor device 11 is mounted. In addition to the base member 20 and the contact 40 (see FIG. 7) that are also used in conventional sockets, the main part of the inspection socket is made of a metal, for example, stainless steel, that serves as the rotation shaft of the latch 30, the coil spring 36, and the latch. Shaft 35 (see FIG. 2). In FIGS. 1 to 7, since the semiconductor device is a type having two rows of lead terminals on both side surfaces, two sets of the above-described configuration are arranged. Depending on the type of package of the semiconductor device, there are those having the number of arrays of 4 rows or 1 row on the outer periphery 4 sides, but according to the present invention, it can be applied to all the numbers of rows by arranging with the above-mentioned configuration for each array Is possible. The characteristic point of the present invention is that a latch and a coil spring are arranged corresponding to each contact, and the spring force of the coil spring is transmitted to the contact via the latch without depending on the spring force of the contact.

図2を参照して構成部位の概略を説明する。更に詳しくは図3乃至図6を参照して後述する。本発明に係わってソケットのベース部材20の材料・材質や外形寸法やプリント配線基板のレイアウトなどで従来のソケットから大きな変更を伴うものではない。該ベース部材はプリント配線基板に固定するためのネジが挿入される基板取付用孔21を対角の二隅に有している。後述する半導体装置を装着するためのガイド23および載置部24、またコンタクト固定用溝22を有する。これらは従来技術との互換性を重視して設計される。ソケット部材には絶縁性のモールド樹脂が一般的に使用されるが、本発明においてもベース部材とラッチは、これらの一般的材料を使用して問題ない。  An outline of the constituent parts will be described with reference to FIG. Further details will be described later with reference to FIGS. In connection with the present invention, there is no significant change from the conventional socket in terms of the material / material and outer dimensions of the socket base member 20 and the layout of the printed wiring board. The base member has substrate mounting holes 21 at two diagonal corners into which screws for fixing to the printed wiring board are inserted. It has a guide 23 and a mounting portion 24 for mounting a semiconductor device to be described later, and a contact fixing groove 22. These are designed with an emphasis on compatibility with the prior art. Insulating mold resin is generally used for the socket member, but the base member and the latch have no problem using these general materials in the present invention.

図2において、底部28、側部29および載置部よりなるベース部材との関係で本発明に係わるコイルバネ36とラッチ30を説明する。
コイルバネ36を収容するための孔27をベース部材底部28の対向する各辺に半導体装置の載置部をはさんで1〜3個、好ましくは2〜3個設ける。本図では孔3箇所にコイルバネ2個を使用した。各辺に使用するコイルバネの数は、後述するラッチに均等にバネ力を伝達するためには最低2個が好ましい。通常より高い接触力の要求を満たすためには3個がより好ましい。この選択を可能とするために孔は3箇所に施す。コイルバネの上端は後述するラッチに施したコイルバネ用孔37(図3参照)に収納されることにより上下から保持される。
In FIG. 2, the coil spring 36 and the latch 30 according to the present invention will be described in relation to the base member composed of the bottom portion 28, the side portion 29, and the mounting portion.
1 to 3, preferably 2 to 3, holes 27 for accommodating the coil springs 36 are provided on opposite sides of the base member bottom portion 28 with the mounting portion of the semiconductor device interposed therebetween. In this figure, two coil springs are used in three holes. The number of coil springs used on each side is preferably at least two in order to transmit the spring force evenly to a latch described later. In order to satisfy the requirement of higher contact force than usual, three is more preferable. To make this choice possible, the holes are made in three places. The upper end of the coil spring is held from above and below by being housed in a coil spring hole 37 (see FIG. 3) provided in a latch described later.

コイルバネは特殊なものではなく、寸法や強度は市販品から選んでよい。強度はコンタクト1ピンあたりの接触力に極数を乗じたものに、ラッチのテコの原理である支点からの力点や作用点までの距離の比を勘案して算定されるが、これは後述するラッチの項で詳述する。
本発明はコイルバネのバネ力を利用することによりコンタクトの曲げ応力の負荷を大幅に軽減する点において、ソケットの寿命はコイルバネの寿命によるので、耐久性を重視したコイルバネの選定が好ましい。
またコンタクトの下端は基板に半田付けされているので、コンタクトに不具合がある場合は交換作業が困難なため、ソケット全体が使用不能となる。本発明によれば、コンタクトへの負荷は大幅に軽減され、さらにコイルバネの交換は比較的に簡単なのでソケット全体の寿命が延命化される利点がある。
The coil spring is not special, and its dimensions and strength may be selected from commercially available products. The strength is calculated by multiplying the contact force per pin by the number of poles, and taking into consideration the ratio of the distance from the fulcrum and the point of action, which is the principle of latch levers, which will be described later. This will be described in detail in the section on latches.
In the present invention, the life of the socket depends on the life of the coil spring in that the load of the bending stress of the contact is greatly reduced by utilizing the spring force of the coil spring. Therefore, it is preferable to select a coil spring that emphasizes durability.
Further, since the lower end of the contact is soldered to the board, if the contact is defective, the replacement work is difficult, and the entire socket becomes unusable. According to the present invention, the load on the contact is greatly reduced, and the replacement of the coil spring is relatively simple, so that the life of the entire socket is extended.

コイルバネのバネ力をコンタクトに伝達するためにラッチ30を用いる。該ラッチはラッチ押圧部31、貫通孔(=支点)32、コンタクト位置決め用溝(=作用点)33、ラッチストッパー用切欠部34およびコイルバネ収容孔(=力点)37(図3b参照)から構成される。半導体装置のリード端子が両側に2列の場合には、ラッチも二組を用意する。要するにコンタクトの列数と同数用意する。
ピッチ方向でコンタクトと係合する面において、中央部はピッチと極数に応じてコンタクトの位置決め用溝33を設け、コンタクトの倒れや位置ズレを矯正する。左右両端にはラッチストッパー用切欠部を設ける。これは図3で後述する。
A latch 30 is used to transmit the spring force of the coil spring to the contact. The latch includes a latch pressing portion 31, a through hole (= fulcrum) 32, a contact positioning groove (= action point) 33, a latch stopper notch 34, and a coil spring accommodating hole (= force point) 37 (see FIG. 3b). The If the semiconductor device has two rows of lead terminals on both sides, two sets of latches are prepared. In short, prepare the same number of contacts as the number of contacts.
In the surface that engages with the contact in the pitch direction, a contact positioning groove 33 is provided in the center portion in accordance with the pitch and the number of poles to correct the contact collapse or misalignment. Latch stopper cutouts are provided on the left and right ends. This will be described later with reference to FIG.

ラッチ30はピッチ方向に貫通する貫通孔(=支点)32を有し、この孔に金属製シャフト35を挿入し、ベース部材側部のシャフト用孔25にラッチが回転可能なように固定される。
ラッチは貫通孔に挿入した金属製シャフトを支点として回転可能であり、コイルバネのバネ力はコイルバネ収容孔37を力点として、作用点であるコンタクト位置決め用溝33を介してコンタクトの突起部46に伝達される。支点と力点間の長さは支点と作用点間の長さよりも長く設定することにより、相対的に弱いコイルバネのバネ力で大きな出力を得ることが可能になる。ソケットを使用した検査工程では、半導体の着脱時は、ラッチ押圧部31をコイルバネのバネ力に抗して押圧し、押下する操作によって行う。従って、コイルバネは可能な限り弱い方が操作力を下げる点で好ましい。
The latch 30 has a through hole (= fulcrum) 32 penetrating in the pitch direction, and a metal shaft 35 is inserted into this hole, and the latch is fixed to the shaft hole 25 on the side of the base member so as to be rotatable. .
The latch is rotatable with a metal shaft inserted into the through hole as a fulcrum, and the spring force of the coil spring is transmitted to the contact protrusion 46 via the contact positioning groove 33 as the point of action with the coil spring accommodating hole 37 as a force point. Is done. By setting the length between the fulcrum and the force point to be longer than the length between the fulcrum and the action point, a large output can be obtained with a relatively weak spring force of the coil spring. In the inspection process using the socket, when the semiconductor is attached or detached, the latch pressing portion 31 is pressed against the spring force of the coil spring and pressed. Therefore, it is preferable that the coil spring is as weak as possible in terms of reducing the operating force.

図3aは本発明の実施に係わるソケットの構成を示す斜視図であり、半導体装置が未装着の状態を示す。図3bは図3aのA−AとB−B線断面図であって、図3bの左半分がA−A線断面図でラッチ切欠部を、右半分がB−B線断面図でラッチ中央部を示す。
コイルバネはラッチのコイルバネ収容孔37とベース部材底部のコイルバネ用孔27で上下から保持される。コイルバネのバネ力によりラッチはコンタクトの突起部46に向かって押す方向で回転しようとする。A−A線断面である左半分のラッチ切欠部は、ラッチの原位置を定める。即ちラッチのストッパー用切欠部34とベース部材のストッパー26により係止の原位置を決めている。この原位置のとき、B−B線断面である中央部ではラッチがコンタクトを押す状態にあり、コンタクトの接点部43は半導体装置が載置部24に着座した時に設計した接触力をリード端子に押圧する位置にある。
FIG. 3A is a perspective view showing the configuration of the socket according to the embodiment of the present invention, and shows a state in which the semiconductor device is not mounted. 3b is a cross-sectional view taken along line AA and BB in FIG. 3a. The left half of FIG. 3b is a cross-sectional view taken along the line AA, and the right half is a cross-sectional view taken along the line BB. Indicates the part.
The coil spring is held from above and below by a coil spring accommodating hole 37 of the latch and a coil spring hole 27 at the bottom of the base member. Due to the spring force of the coil spring, the latch tries to rotate in the direction of pushing toward the protrusion 46 of the contact. The latch cutout in the left half, which is a cross section taken along the line AA, defines the original position of the latch. That is, the latching notch 34 and the stopper 26 of the base member determine the original position of locking. At this original position, the latch is in a state of pushing the contact at the central portion of the cross section taken along the line BB, and the contact portion 43 of the contact uses the contact force designed when the semiconductor device is seated on the mounting portion 24 as the lead terminal. It is in the position to press.

半導体装置の検査にあたっては、ソケットへの半導体装置の着脱と通電検査の工程を順次繰り返すことになるが、図4と図5を参照して説明する。
図4は図3aのB−B線断面図であって半導体装置の装着前を示す。半導体装置11をソケットに挿入するときには、コンタクトの先端部42は干渉する位置に突き出しているので、ラッチ押圧部31を押下することによりコンタクトの先端部を載置部24から遠ざける方向で退避させ、半導体装置の受け入れ準備を行う。
図5は図3aのB−B線断面図であるが、半導体装置が載置部に装着された状態を示す。ラッチの力点である押圧部31の押圧を解くことによりラッチは原位置に戻り、コンタクトの接点部43は半導体装置のリード端子に接触する。
In the inspection of the semiconductor device, the process of attaching / detaching the semiconductor device to / from the socket and the current-inspecting process are sequentially repeated, which will be described with reference to FIGS.
4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 3A and shows a state before the semiconductor device is mounted. When the semiconductor device 11 is inserted into the socket, the contact tip portion 42 protrudes to an interfering position. Therefore, by pressing the latch pressing portion 31, the contact tip portion is retracted in a direction away from the placement portion 24. Prepare to accept semiconductor devices.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 3A and shows a state where the semiconductor device is mounted on the mounting portion. The latch returns to its original position by releasing the pressing of the pressing portion 31 that is the power point of the latch, and the contact portion 43 of the contact contacts the lead terminal of the semiconductor device.

図6aおよび図6bを参照してコンタクト40に関して説明する。図6aは本発明に係わるコンタクトの平面図であり、図6bは図5の部分拡大断面図であって半導体装置のリード端子、コンタクトおよびラッチの関係を示す。図6aにおいてコンタクトはバネ弾性部41、先端部42、接点部43、固定部44、半田付け用リード部45および先端部の背後の突起部46から構成される。固定部はベース部材のコンタクト固定用溝に固定されている。バネ弾性部は弾性変形することによりバネ力を生成し、先端部は剛体として働きその一部に半導体装置のリード端子に係合する接点部を有する。突起部は本発明に係わるラッチと係合する部位である。図6bにおいてコンタクトの先端部は背後からラッチで押され、載置部に着座した半導体装置のリード端子に係合している。突起がないとラッチとコンタクトが係合する場所がばらつき、性能も不安定になるので、突起を設けることが好ましい。
コンタクト材としては従来より一般的に使用されているベリリウム銅を使用することで問題ない。
The contact 40 will be described with reference to FIGS. 6a and 6b. 6A is a plan view of a contact according to the present invention, and FIG. 6B is a partially enlarged cross-sectional view of FIG. 5, showing the relationship between the lead terminal, contact, and latch of the semiconductor device. In FIG. 6a, the contact includes a spring elastic part 41, a tip part 42, a contact part 43, a fixing part 44, a soldering lead part 45, and a protrusion 46 behind the tip part. The fixing portion is fixed to the contact fixing groove of the base member. The spring elastic portion elastically deforms to generate a spring force, and the tip portion functions as a rigid body and has a contact portion that engages with a lead terminal of the semiconductor device at a part thereof. The protrusion is a portion that engages with the latch according to the present invention. In FIG. 6b, the tip of the contact is pushed by a latch from behind and engages with the lead terminal of the semiconductor device seated on the mounting portion. If there is no protrusion, the place where the latch and the contact are engaged varies and the performance becomes unstable. Therefore, it is preferable to provide the protrusion.
There is no problem by using beryllium copper which has been generally used as a contact material.

本発明によれば、コンタクトの曲げ応力は大幅に軽減されるが、図6aおよび図6bにおいてこれを説明する。コンタクトは図6aの形状でベース部材に固定され、先端部の原位置は図4で前述した載置部から離れた退避した位置にある。本発明によれば、バネ力はコイルバネで形成され、ラッチによりコンタクトの突起部に伝達される。図6bにおいて、コンタクトの突起部を支点として先端部は僅かな回転運動をしながら、接点部がリード端子を圧接する。コンタクトにかかる最大の負荷は、先端部の僅かな回転運動を支える時にバネ弾性部に起きる弾性変形によるものだが、これは従来技術に比べて1/10以下である。
また本発明によれば、コンタクト1ピンあたり300gfを超える従来より大幅に高い接触力への対応も容易である。コイルバネの強度を高めることにより、コンタクトへの負荷を軽減しながら高い接触力を実現できる。
According to the invention, the bending stress of the contact is greatly reduced, which is illustrated in FIGS. 6a and 6b. The contact is fixed to the base member in the shape of FIG. 6A, and the original position of the tip is in a retracted position away from the mounting portion described above with reference to FIG. According to the present invention, the spring force is formed by the coil spring, and is transmitted to the protrusion of the contact by the latch. In FIG. 6b, the contact portion press-contacts the lead terminal while the tip portion slightly rotates with the protrusion portion of the contact as a fulcrum. The maximum load applied to the contact is due to the elastic deformation that occurs in the spring elastic part when supporting a slight rotational movement of the tip part, which is 1/10 or less compared to the prior art.
Further, according to the present invention, it is easy to cope with a contact force that is significantly higher than the conventional one that exceeds 300 gf per contact pin. By increasing the strength of the coil spring, a high contact force can be realized while reducing the load on the contact.

本発明のコイルバネとラッチを用いたソケットは、コンタクトの曲げ応力を大幅に軽減でき、しかも従来よりも高い接触力が得られるので、電気テストの信頼性が長期に亘り向上する点で産業上の利用価値は極めて大きい。  The socket using the coil spring and the latch according to the present invention can greatly reduce the bending stress of the contact and can obtain a higher contact force than before, so that the reliability of the electrical test can be improved over the long term. The utility value is extremely large.

本発明の実施に係わるソケットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the socket concerning implementation of this invention. 本発明の実施に係わるソケットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the socket concerning implementation of this invention. は本発明の実施に係わるソケットを示す斜視図であって、半導体装置が未装着の状態を示す。These are perspective views which show the socket concerning implementation of this invention, Comprising: The semiconductor device is not mounted | worn. は図3aのA−AとB−B線断面図であって、左半分がラッチのストッパー用切欠き部を、右半分がラッチ中央部を示す。Fig. 3a is a cross-sectional view taken along line AA and BB of Fig. 3a, in which the left half shows a notch for a stopper of the latch and the right half shows a central portion of the latch. 図3aのB−B線断面図であって半導体装置が未装着の状態を示す。FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 図3aのB−B線断面図であるが、半導体装置が載置部に装着された状態を示す。FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. は本発明に係わる板バネコンタクトの平面図である。These are the top views of the leaf | plate spring contact concerning this invention. は板バネコンタクトと半導体装置のリード端子およびラッチとの係合関係を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing an engagement relationship between a leaf spring contact and a lead terminal and a latch of a semiconductor device. 従来のソケットの要部を示す断面図であって、半導体装置が装着された状態を示す。It is sectional drawing which shows the principal part of the conventional socket, Comprising: The state with which the semiconductor device was mounted | worn is shown.

符号の説明Explanation of symbols

10 ソケット
11 半導体装置
12 リード端子
13 検査回路基板
20 ベース部材
21 基板取付用孔
22 コンタクト固定用溝
23 ガイド
24 載置部
25 シャフト用孔(=ラッチの支点)
26 ストッパー
27 コイルバネ用孔
28 底部
29 側部
30 ラッチ
31 ラッチ押圧部
32 貫通孔(=ラッチの支点)
33 コンタクト位置決め用溝(=ラッチの作用点)
34 ラッチストッパー用切欠部
35 金属製シャフト(=ラッチの支点)
36 コイルバネ
37 ラッチのコイルバネ収容孔(=ラッチの力点)
40 コンタクト
41 バネ弾性部
42 先端部
43 接点部
44 固定部
45 半田付用リード部
46 (ラッチの作用点に対応する)突起部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Socket 11 Semiconductor device 12 Lead terminal 13 Test circuit board 20 Base member 21 Board mounting hole 22 Contact fixing groove 23 Guide 24 Placement part 25 Shaft hole (= Latch fulcrum)
26 Stopper 27 Coil spring hole 28 Bottom 29 Side 30 Latch 31 Latch pressing part 32 Through hole (= Latch fulcrum)
33 Contact positioning groove (= Latch operating point)
34 Notch for latch stopper 35 Metal shaft (= Latch fulcrum)
36 Coil Spring 37 Latch Coil Spring Housing Hole (= Latch Force)
40 Contact 41 Spring elastic part 42 Tip part 43 Contact part 44 Fixing part 45 Soldering lead part 46 (corresponding to the action point of the latch)

Claims (3)

底部、側部および半導体装置載置部からなるベース部材、一端が該ベース部材の底部に固定された板バネコンタクトおよびコイルバネ、ならびに該ベース部材に回転可能に取り付けられたラッチからなり、該コイルバネの他端は該ラッチの押圧部底面に固定され、該ラッチは該ラッチの先端部が少なくとも押圧解除時に該板バネコンタクト先端部と接するように取り付けられている半導体装置の電気テスト用ソケット。  A base member comprising a bottom portion, a side portion, and a semiconductor device mounting portion; a leaf spring contact and a coil spring having one end fixed to the bottom portion of the base member; and a latch rotatably attached to the base member. A socket for electrical test of a semiconductor device, wherein the other end is fixed to the bottom surface of the pressing portion of the latch, and the latch is attached so that the front end portion of the latch contacts at least the front end portion of the leaf spring contact when the pressing is released. ベース部材の側部にストッパーが設けられており、ラッチにストッパー用切欠部が設けられている請求項1に記載の半導体装置の電気テスト用ソケット。  The electrical test socket for a semiconductor device according to claim 1, wherein a stopper is provided on a side portion of the base member, and a stopper notch is provided on the latch. ベース部材の相対する側部にシャフトを設け、該シャフトにラッチを保持した請求項1または2に記載の半導体装置の電気テスト用ソケット。  The electrical test socket for a semiconductor device according to claim 1, wherein a shaft is provided on opposite sides of the base member, and a latch is held on the shaft.
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