JP2008116410A

JP2008116410A - 円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法およびこれを用いた装置

Info

Publication number: JP2008116410A
Application number: JP2006302150A
Authority: JP
Inventors: Fumiaki Tajima; 文昭但馬; Yoshiro Nishiyama; 善郎西山
Original assignee: Yokohama National University NUC
Current assignee: Yokohama National University NUC
Priority date: 2006-11-07
Filing date: 2006-11-07
Publication date: 2008-05-22
Anticipated expiration: 2026-11-07
Also published as: JP4923255B2

Abstract

【課題】ｎｍオーダーの複数の円柱体の直径、屈折率及び中心軸間距離を効率よく同時に測定する測定方法およびその測定方法を用いた装置を提供する。
【解決手段】中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。
【選択図】図１

Description

本発明は、複数の細径円柱体が平行や同軸に配されているナノカーボンチューブ、光ファイバ、めっき線、蒸着線や蜘蛛の糸などにおいて、個々の細径円柱体の直径、屈折率及び、それらの中心軸間距離並びに入射光軸と間隔のなす角を同時にはかる測定方法、およびこの測定方法を用いた装置に関するものである。

細径円柱体の直径を求める方法としては、特許文献１に、繊維製造時の外径測定を、レーザ光の回折強度の比率を基に求める方法により行い、外径１０μｍ程度の繊維が測定できることが示されている。
又、特許文献２、３では、レーザ光による被測定細線のフラウンフォーファ回折像の回
折パターンからその外径を算出する方法によって、外径１７．５μｍの細線の測定ができ
ることが開示されている。

しかしながら、ｎｍオーダーの細径円柱体の外径測定となると有効な測定方法がなかった。
そこで、本発明者らは非特許文献１に示すようにレーザ光を被測定物に対して垂直、或いは水平に偏光したレーザ光を用いて、被測定物による散乱強度を測定し、ある式の基に計算した計算値との偏差から、その外径および屈折率を測定する方法を開発した。この方法によれば、外径２４０ｎｍ程度の細い円柱体が測定できることを示した。

更に、より細径のナノファイバーの外径及び屈折率を測定する方法として、本発明者らは特許文献４に示す測定方法及び測定装置を提案している。この方法を用いることで９０ｎｍ程度と細いナノファイバーの外径を測定することが可能となっている。

特開平５−４５１３０号公報特開平６−２８８７２３号公報特開平６−２４１７３３号公報但馬文昭、西山善郎、「約１２０ｎｍのくもの糸の太さと屈折率の測定の可能性の検討」、平成１６年春季第６４回応用物理学会学術講演会講演予稿集、社団法人応用物理学会、平成１６年３月特開２００６−２４２５９１号公報

前記本発明者らによる特許文献４において提案した外径の測定方法では、特許文献１乃至特許文献３及び非特許文献１に示す測定方法に比べて、より細径のナノファイバーの外径測定が可能である。
しかしながら、ナノカーボンチューブなどのチューブ状の円柱体ではその内径を知ることや、同軸でコア部と外周に配されるクラッド部を持つ光ファイバなどの同軸円柱体では、そのコア部の直径や光ファイバ自体の直径、コアの偏芯度、個々の屈折率などを制御することが特性向上に対する重要な要素であり、これらの値を知ることが必要となっている。
更に、めっき線などの外周に被覆層を持つ円柱体のその被覆層厚みなどを直接知る方法、複合構造を採る神経繊維などの生体構造の解明においても、その寸法や屈折率などを知ることが望まれている。
そこで、本発明では、これらを精度良く、且つ効率よく測定する測定方法およびその測定方法を用いた装置を提供するものである。

請求項１記載の発明は、中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。

請求項２記載の発明は、同一の中心軸を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。

請求項３記載の発明は、中心軸が平行関係を持つ円柱体と同一の中心軸を持つ円柱体とで構成される複合円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複合円柱体を構成する個々の円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。

請求項４記載の発明は、中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して水平に偏向された水平偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。

請求項５記載の発明は、同一の中心軸を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して水平に偏向された水平偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。

請求項６記載の発明は、中心軸が平行関係を持つ円柱体と同一の中心軸を持つ円柱体とで構成される複合円柱体の長さ方向に対して水平に偏向された水平偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複合円柱体を構成する個々の円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。

請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれかの測定方法を用いた装置である。

本発明によれば、投射されたレーザ光が被測定物である複数の円柱体による散乱によって生じる散乱光の散乱光強度及びその散乱角度を基に、被測定物の直径、屈折率及び中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数となる偏差指標を算出し、適正化することによって、複数の円柱体の直径、屈折率及び中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を同時に、効率よく且つ精度良く求めることを可能とするもので、工業上顕著な効果を奏するものである。

本発明の測定に供される被測定物の形態を図１に示す。
図１（ａ）は、中心軸が平行関係を持つ場合の例を示し、ａ−１、ａ−２は中心軸間距離Ｌが異なる２本の円柱体で構成されている例、ａ−３は中心軸間距離Ｌで内部に円柱体を持つ２本の円柱体で構成されている例である。図１（ｂ）は同一の中心軸を持つ同軸円柱体の例で、ｂ−１、ｂ−４は中実の多重円柱体を示し、光ファイバや外面に被覆層が設けられているめっき線などの例である。ｂ−２、ｂ−３は中空の円柱体（円筒体）の例で、ｂ−３はｂ−１の中空内に同軸の円柱体が配されているものである。図１（ｃ）は中心軸が平行関係を持つ円柱体と同軸円柱体が存在する場合の例で、ｃ−１はｂ−１のような同軸円柱体に偏心軸を持つもう一体の円柱体が加わった構成の例で、ｃ−２はｂ−４の内部円柱体の中心軸が偏心している状態の例である。以上のようにいくつかの被測定物の例を示したが、本発明に供される被測定物の形態は本発明の要件を満たしていれば図１に限定されない。

図１に示す形態の被測定物（複数の円柱体からなる）における本発明の直径及び屈折率、並びに中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法は、図２のフローチャートに沿って行う。
図２の散乱光強度Ｉ_ｉを測定するために、図３に示す直径・屈折率測定装置１で、被測定物２に対して、光源３から波長λｎｍ（４４６．１ｎｍ）のレーザ光３ａを発光し、そのレーザ光３ａが偏向装置４で被測定物に対して垂直偏光、或いは水平偏光とされ、検出部５上面に支持台５ｂで支持された被測定物２に投射される。レーザ光３ａは、被測定物２により一部が反射され、レーザ光３ａの光軸に対して散乱角度θに配置された検出器６で、その測定散乱光強度Ｉが測定される。この手順で、散乱角度θ_ｉ（ｉ＝０・・・ｎ）を変化させてその時の測定散乱光強度Ｉ_ｉ（ｉ＝０・・・ｎ）を順次測定していく。
又は、図４のように複数の検出器６（図４の場合は２８基）を、被測定物２を支持する
支持台５ｂの円周上に配置し、各々の検出器６の散乱角度θ_ｉで測定散乱光強度Ｉ_ｉを測
定することでも良い。

これらの測定した散乱角度θ_ｉと測定散乱光強度Ｉ_ｉは、図２に記した直径・屈折率・中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角同時解析プログラムを搭載したパーソナルコンピュータのような演算部７に送られる。
この演算部７内で計算散乱光強度σ_ｉが計算される。
本発明では、この計算散乱光強度σ_ｉを、円柱体の数が２の場合には数１に表す式を用いて求める。これ以降の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の算出において精度の良い値が得られることからこの式では、第１種と第３種ベッセル関数を用いて表している。その計算散乱光強度σ_ｉの算出に際しては、垂直偏光で散乱させた場合は、添字⊥の式を用いて計算し、水平偏光を散乱させた場合は、添字‖の式を用いて計算を行う。

ここで、図５は数１における幾何学関係を示し、添字‖は水平偏光によるものを表し添字⊥は垂直偏光によるものを表す、ｋは波数、ｒ_１０、ｒ_２０は被測定物の半径（Ｄ_１０／２、Ｄ_２０／２）、Ｊ_ｍ（ｘ）は第一種ベッセル関数、Ｈ_ｍ ^（１）（＝Ｊ_ｍ（ｘ）+ｉＹ_ｍ（ｘ））は第三種ベッセル関数を表し、ｍは次数である。

ところで、数１で示した計算散乱光強度の式は、図１に示すような被測定物の形態によって適当な式を選択する。例えば、円筒形体で内の円柱体が偏心しているような場合には、数１に示す式を数２の式に変えることにより、より精度のある結果が得られ、円柱体の数が３以上の場合にも、数１に示す式を適時拡張することで個々の円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を算出できる。
また、数１の式は繊維編素や蜘蛛の糸のような透明性の高い材質の測定に有効であるが、金属系超伝導線のような反射の強い金属などの場合や、カーボンナノチューブなどのような中空試料では、この計算散乱光強度式をより適した式に変えることで、本発明の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の同時測定を行うことができる。

ただし、ｊ＝１、２。上記Ｈ_{ｊ（ｑ）ｃ/ｓ}については、ＥをＨに読み替える。図６は数２における幾何学関係を示している。

次に、測定した測定散乱光強度Ｉ_ｉと測定角度θ_ｉから算出した計算散乱光強度σ_ｉを用いて、数３に示す直径Ｄ_ｊ、屈折率ｎ_ｊ、中心軸間距離Ｌ、入射光軸と間隔のなす角ψを包含する形式の偏差指標Ｕ（ｎ_１，Ｄ_１，ｎ_２，Ｄ_２，Ｌ，ψ）を作成する。この偏差指標を直径Ｄ_１，Ｄ_２、屈折率ｎ_１，ｎ_２と中心軸間距離Ｌの関数として、偏差指標が最小となる点（ｎ_１０，Ｄ_１０，ｎ_２０，Ｄ_２０，Ｌ_０，ψ_０）を求め、その時の直径Ｄ_１、Ｄ_２、屈折率ｎ_１、ｎ_２、中心軸間距離Ｌ、入射光軸と間隔のなす角ψの組み合わせを被測定物の直径及び屈折率、並びに中心軸間距離とする。

先ず、この計算は偏差指標が、直径Ｄ_１０、Ｄ_２０、屈折率ｎ_１０、ｎ_２０、中心軸間距離Ｌ_０の時、Ｉ_ｉ ^{（ｏｐｔ）}＝ｂσ_ｉ（ｎ_１０，Ｄ_１０，ｎ_２０，Ｄ_２０，Ｌ_０，ψ_０）の場合に最適分布を示し、この最適分布における最適偏差指標Ｕ_Ｔ ^{（ｏｐｔ）}（ｎ_１，Ｄ_１，ｎ_２，Ｄ_２，Ｌ，ψ）を数３のように表す。

ここで、Ｎは測定数、ｂは入射波強度を表す。

次いで、直径Ｄ_１、Ｄ_２、屈折率ｎ_１、ｎ_２、中心軸間距離Ｌの関数としての偏差指標の集合Ｇを、Ｇ＝｛ｎ_１，Ｄ_１，ｎ_２，Ｄ_２，Ｌ，ψ｜Ｕ_Ｔ ^{（ｏｐｔ）}（ｎ_１，Ｄ_１，ｎ_２，Ｄ_２，Ｌ，ψ）≦Ｕ_Ｔ（ｎ_１０，Ｄ_１０，ｎ_２０，Ｄ_２０，Ｌ_０，ψ_０）｝として、その範囲内において、ｎ_ｍｉｎ、ｎ_ｍａｘ、Ｄ_ｍｉｎ、Ｄ_ｍａｘ、Ｌ_ｍｉｎ、Ｌ_ｍａｘを求める。
次に求めた各値と、ｎ_１０、Ｄ_１０、ｎ_２０、Ｄ_２０、Ｌ_０との差、直径に関しては（Ｄ_ｍｉｎ−Ｄ_１０，Ｄ_ｍａｘ−Ｄ_１０）、（Ｄ_ｍｉｎ−Ｄ_２０，Ｄ_ｍａｘ−Ｄ_２０）、屈折率に関しては（ｎ_ｍｉｎ−ｎ_１０，ｎ_ｍａｘ−ｎ_１０）、（ｎ_ｍｉｎ−ｎ_２０，ｎ_ｍａｘ−ｎ_２０）、中心軸間距離に関しては（Ｌ_ｍｉｎ−Ｌ_１０，Ｌ_ｍａｘ−Ｌ_１０）、（Ｌ_ｍｉｎ−Ｌ_２０，Ｌ_ｍａｘ−Ｌ_２０）を不確実さと定義し、この値を最小とする点（ｎ_１０，Ｄ_１０，ｎ_２０，Ｄ_２０，Ｌ_０，ψ_０）を求めることにより、被測定物の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を算出する。

以下に、実施例を用いて本発明を説明する。
被測定物としては、中心軸が平行関係を持ち、中心軸間距離が大きい試料Ａ(図１（ａ）ａ−１相当)と中心軸間距離が小さい試料Ｂ、Ｃ（図１（ａ）ａ−２相当）を用いた
これらの試料を図２の直径・屈折率測定装置１の支持台５ｂにセットして、波長λ＝４４１．６ｎｍのレーザ光を投射し、散乱角度θ_ｉを０度から１５０度の間で、２度刻みに
順次変化させ、その散乱強度を測定し、測定散乱光強度Ｉ_ｉとした。

次にパーソナルコンピュータに先の散乱角度θ_ｉと測定散乱光強度Ｉ_ｉを入力し、散乱
角度θ_ｉから計算散乱光強度σ_ｉを求め、測定散乱光強度Ｉ_ｉと求めた計算散乱光強度σ_ｉから偏差指標Ｕ_Ｉ（ｎ_１，Ｄ_１，ｎ_２，Ｄ_２，Ｌ，ψ）を計算し、Ｕ_Ｉ（ｎ_１，Ｄ_１，ｎ_２，Ｄ_２，Ｌ，ψ）を最小とする値を最適値として求め、その時のＤ_１、ｎ_１、Ｄ_２、ｎ_２、Ｌを各々直径、屈折率及び中心軸間距離とした。その結果を表１に記した。
なお、測定は、垂直偏光及び水平偏光の両者で行なっている。

表１から明らかなように、中心軸が平行関係を持つ２つの円柱体からなる試料Ａ、Ｂ、Ｃ（図１（ａ）に示す形態）では、中心軸間距離がｎｍオーダーでも、μｍオーダーで離れていても精度良く各円柱体の直径、屈折率が求められていることがわかる。
垂直偏光を用いた場合と水平偏光を用いた場合での得られる精度には大きな差が無いこともわかる。

被測定物の形態例を示す模式図である。本発明に係る測定方法フローチャートである。直径・屈折率・中心間距離測定装置の一例を示す図である。直径・屈折率・中心間距離測定装置の別の一例を示す図である。数１の幾何学表示を示す説明図である。数２の幾何学表示を示す説明図である。

符号の説明

１測定装置
２被測定物
３光源
３ａレーザ光
３ｂ散乱光
４偏向装置
５ａ検出部
５ｂ支持台
６検出器
７演算部
θ_ｉ散乱角度
Ｉ_ｉ測定光散乱強度
σ_ｉ計算散乱光強度
Ｄ_１、Ｄ_２直径
ｎ_１、ｎ_２屈折率
Ｌ中心軸間距離
ψ 入射光軸と間隔Lのなす角

Claims

中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
同一の中心軸を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
中心軸が平行関係を持つ円柱体と同一の中心軸を持つ円柱体とで構成される複合円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複合円柱体を構成する個々の円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して水平に偏向された水平偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
同一の中心軸を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して水平に偏向された水平偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
中心軸が平行関係を持つ円柱体と同一の中心軸を持つ円柱体とで構成される複合円柱体の長さ方向に対して水平に偏向された水平偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複合円柱体を構成する個々の円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して前記複合円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
請求項１乃至請求項６のいずれかの測定方法を用いた装置。