JP2008114208A

JP2008114208A - ヘッドキャッピング機構、ヘッドキャッピング方法、液滴吐出装置、液滴吐出方法

Info

Publication number: JP2008114208A
Application number: JP2006302474A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Imai; 貴之今井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2006-11-08
Filing date: 2006-11-08
Publication date: 2008-05-22

Abstract

【課題】液滴吐出装置の非液滴吐出時に機能液が乾燥することによる吐出ヘッドのノズルの目詰りを確実に防止することができるヘッドキャッピング機構、ヘッドキャッピング方法、該ヘッドキャッピング機構を備えた液滴吐出装置、及びヘッドキャッピング方法を用いた液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】キャップ３３はキャップ本体３１にパッキン部３２を設けられてなり、パッキン部３２は、ノズル面に接触する接触面部３４と該接触面部３４の周辺に突起部３５を有し、接触面部３４のノズル面１２のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部３６を設け、ノズル面１２にパッキン部３２の接触面部３４を当接させて配置させてなり、ノズル面１２のノズル形成部を保湿液収容部３６に収容された保湿液４０に接液させてノズル形成部を湿潤状態に保つ。
【選択図】図３

Description

本発明は機能液の液滴を吐き出す液滴吐出装置の非液的吐出時に機能液が乾燥することにより、吐出ヘッドのノズルの目詰りを防止するヘッドキャッピング機構、ヘッドキャッピング方法、該ヘッドキャッピング機構を備えた液滴吐出装置、及びヘッドキャッピング方法を用いた液滴吐出方法に関するものである。

従来、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからワークに向けて機能液を吐出して描画する液滴吐出装置を用い、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等を製造している。

このような液滴吐出装置において、機能液（インキ）の非吐出時に吐出ヘッドのノズルの機能液が乾燥することにより、該ノズルの目詰まりを引起し、適切な液滴吐出量及び描画の精度が確保できなくなるという問題がある。この対策として特許文献１及び特許文献２に記載されたものがある。

特許文献１に記載のヘッドキャッピング機構は、液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させ、ノズル面に形成されたノズルを封止するもので、キャップを保持するキャップホルダに磁石を設け、該磁石の吸着力により、キャップ全体をノズル面に均等に密着させている。また磁石の吸着力はノズル面を損なうような過大な押圧力とならないように制御されている。

特許文献２に記載の印字ヘッド保護装置は、吐出ヘッド部を保湿液に浸漬させることにより、吐出ヘッドノズルの乾燥を防ぎ、目詰まりを防止するようにしたものである。保湿液には吐出液滴の溶媒を使用している。
特開２００５−７２５３号公報特開２００１−１３８５０号公報

上記特許文献１に記載のヘッドキャッピング機構は、キャップをノズル面に吸着させるのにキャップホルダに設けた磁石を用いるので、吐き出する機能液の種類によっては、磁石からの磁界が機能液に悪影響を及ぼすため磁石の吸引力を利用できないという問題がある。また、引用文献２に記載の印字ヘッド保護装置では、吐出ヘッドのノズル面のみならず吐出ヘッド部を保湿液に浸漬させるため、ノズル面以外の部分について、保湿液に対する耐性を考慮しなければならないという問題がある。

本発明は上述の点に鑑みてなされたもので上記問題点を除去し、液滴吐出装置の非液滴吐出時に機能液が乾燥することによる吐出ヘッドのノズルの目詰りを確実に防止することができるヘッドキャッピング機構、ヘッドキャッピング方法、該ヘッドキャッピング機構を備えた液滴吐出装置、及びヘッドキャッピング方法を用いた液滴吐出方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面に装着されるキャップを備え、前記キャップを、前記ノズル面に密着させるヘッドキャッピング機構であって、前記キャップにはパッキン部が設けられてなり、前記パッキン部は、前記ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺に前記ノズル面側に突出する突起部とを有し、前記接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、前記キャップ本体には前記保湿液収容部に保湿液を供給する保湿液供給部と該保湿液収容部の保湿液を吸引する保湿液吸引部とが設けられてなり、前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させて配置されてなり、前記ノズル面のノズル形成部を前記保湿液収容部に収容された保湿液に接液させることを特徴とする。

本発明は、ヘッドキャッピング機構において、前記保湿液収容部に所定量の保湿液が収容されていることを検出する保湿液検出センサが配置されてなることを特徴とする。

本発明は、ヘッドキャッピング機構において、前記保湿液検出センサは、前記パッキン部の前記突起部に設けられてなり、前記接触面部の保湿液収容部から溢れ出た前記保湿液を検出するセンサであることを特徴とする。

本発明は、ヘッドキャッピング機構において、前記保湿液検出センサは、前記パッキン部の底部に設けた排液口を通って流れ出る保湿液を検出する流量センサであることを特徴とする。

本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面に装着されるキャップを備え、前記キャップを、前記ノズル面に密着させるヘッドキャッピング機構であって、前記キャップにはパッキン部が設けられてなり、前記パッキン部は、前記ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺に前記ノズル面側に突出する突起部とを有し、前記接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、前記キャップ本体には前記保湿液収容部に保湿液を供給する保湿液供給部と該保湿液収容部の保湿液を吸引する保湿液吸引部とを設けられてなり、前記パッキン部の接触面部に密接し保湿液収容部から溢れた保湿液が流入する所定容積の余剰保湿液収容部を具備する保湿液量測定部を備え、前記保湿液量測定部の余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたら該保湿液量測定部を除去し、前記余剰保湿液収容部の前記保湿液を前記保湿液収容部に移し、前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させて配置されてなり、前記ノズル面のノズル形成部を前記保湿液収容部に収容された保湿液に接液させることを特徴とする。

本発明は、ヘッドキャッピング機構において、前記保湿液量測定部の余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたことを検出する保湿液充填センサが配置されてなることを特徴とする。

本発明は、ヘッドキャッピング機構において、前記保湿液充填センサは、前記余剰保湿液収容部に充填された保湿液の圧力を検出する圧力センサであることを特徴とする。

本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させるヘッドキャッピング方法であって、前記キャップの保湿液供給部から前記キャップに設けられたパッキン部の前記ノズル面のノズル形成部に対向する保湿液収容部に保湿液を供給し、前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させ、該保湿液収容部に収容した保湿液に前記ノズル面のノズル形成部を接液させることを特徴とする。

本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させて、前記ノズル面に形成されたノズルを封止するヘッドキャッピング方法であって、前記キャップはキャップ本体にパッキン部を設けた構成であり、前記パッキン部は、前記ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺に前記ノズル面側に突出する突起部とを有し、該接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、前記キャップ本体の保湿液供給部から前記保湿液収容部に前記保湿液収容部の容積を超えて所定量の保湿液を供給し、前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させ、前記保湿液収容部に収容された保湿液に前記ノズル面のノズル形成部を接液させることを特徴とする。

本発明は、ヘッドキャッピング機構と、機能液滴を吐出す液滴吐出ヘッドを備え、
前記液滴吐出ヘッドをワークに対向させ、該ワークに対し、前記液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液滴を選択的に吐出する描画手段とを備えたことを特徴とする。

本発明は、機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドをワークに対向させ、該ワークに対して該液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液滴を選択的に吐出して描画を形成する液滴吐出方法において、前記機能液滴吐出停止中、ヘッドキャッピング方法を用いて前記液滴吐出ヘッドのノズル面のノズル形成部を保湿液に接液させることを特徴とする。

本発明によれば、キャップにはパッキン部が設けられてなり、パッキン部は、ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺にノズル面側に突出する突起部とを有し、接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、キャップ本体には保湿液収容部に保湿液を供給する保湿液供給部と該保湿液収容部の保湿液を吸引する保湿液吸引部とが設けられてなり、ノズル面にパッキン部の接触面部を当接させて配置されてなり、ノズル面のノズル形成部を保湿液収容部に収容された保湿液に接液させるので、ノズル面のノズル形成部は湿潤状態に保たれ、機能液乾燥によるノズルの目詰まりを確実に防止できる。また、ノズル面のノズル形成部のみに保湿液が接液するから、液滴吐出ヘッドのノズル面のみの耐保湿液性を考慮すればよい。

本発明によれば、保湿液収容部に所定量の保湿液が収容されていることを検出する保湿液検出センサが配置されたので、該保湿液検出センサが保湿液収容部に所定量の保湿液が収容されていることを感知すれば、パッキン部の接触面部をノズル面に当接した際、ノズル形成部が確実に保湿液に接液することを確認できる。

本発明によれば、保湿液検出センサがパッキン部の接触面部の保湿液収容部から溢れた保湿液を検出すると、保湿液が保湿液収容部の上端部まで収容されていることになるから、この状態でパッキン部の接触面部をノズル面に当接すると、ノズル形成部が確実に保湿液に接液することを確認できる。また、保湿液検出センサをパッキン部の突起部に設けることにより、センサのセンシング面にパッキン部の接触面部の保湿液収容部から溢れた保湿液が付着することがない。

本発明によれば、保湿液検出センサを、パッキン部の底部に設けた排液口を通って流れる保湿液を検出する流量センサとするので、該流量センサが保湿液を検出するとパッキン部の接触面部の保湿液収容部が上端まで保湿液で満たされていることになるから、この状態でパッキン部の接触面部をノズル面に当接すると、ノズル形成部が確実に保湿液に接液することを確認できる。

本発明によれば、パッキン部の接触面部に密接し保湿液収容部から溢れた保湿液が流入する余剰保湿液収容部を具備する保湿液量測定部を備え、余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたら該保湿液量測定部を除去し、該余剰保湿液収容部の保湿液を保湿液収容部に移した状態で、ノズル面にパッキン部の接触面部を当接させることにより、ノズル面のノズル形成部が保湿液収容部に収容された保湿液に接液した状態を保つことができるから、ノズルの機能液乾燥による目詰まりを確実に防止できる。また、ノズル面のノズル形成部にのみに保湿液が接液するから、液滴吐出ヘッドのノズル面のみの耐保湿液性を考慮すればよい。

本発明によれば、保湿液量測定部の余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたことを検出する保湿液充填センサを配置させたので、該保湿液充填センサが余剰保湿液収容部の保湿液を検出すると、保湿液収容部の容量を超えた保湿液が供給されたことを検出できる。

本発明によれば、保湿液充填センサは、保湿液測定部の余剰保湿液収容部に充填された保湿液の圧力を検出する圧力センサであるので、簡単な構成で余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたことを確実に検出できる。

本発明によれば、キャップの保湿液供給部からキャップに設けられたパッキン部のノズル面のノズル形成部に対向する保湿液収容部に保湿液を供給し、ノズル面にパッキン部の接触面部を当接させ、該保湿液収容部に収容した保湿液にノズル面のノズル形成部を接液させるので、液滴吐出ヘッドの液滴吐出停止時にノズル面のノズル形成部を保湿液で湿潤状態に保ち、該ノズルの機能液乾燥による目詰まりを確実に防止できる。

本発明によれば、保湿液収容部に該保湿液収容部の容積を超えて所定量の保湿液を供給し、ノズル面にパッキン部の接触面部を当接させ、保湿液収容部に収容された保湿液にノズル面のノズル形成部を接液させるので、ノズル面のノズル形成部が湿潤状態に保たれ、ノズルの機能液乾燥を防止でき、ノズルの目詰まりを確実に防止できる。

本発明によれば、前記ヘッドキャッピング機構を備えているので、液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出停止時、ノズル面のノズル形成部を保湿液で湿潤状態に保ち、該ノズルの機能液乾燥による目詰まりを確実に防止できる液滴吐出装置を提供できる。

本発明によれば、機能液滴吐出停止中、前記ヘッドキャッピング方法を用いて液滴吐出ヘッドのノズル面のノズル形成部を保湿液に接液させ湿潤状態に保つので、機能液滴吐出停止中にノズルの機能液乾燥による目詰まりを確実に防止できる液滴吐出方法を提供できる。

以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドの構成例を示す図である。本液滴吐出ヘッド１０は、いわゆる２連のものであり、図１（ａ）に示すように、２連の接続針１３を有する機能液導入部１４と、機能液導入部１４に連なるヘッド基板１５と、機能液導入部１４の下方に連なり、内部に機能液が満たされるヘッド本体１６とを備えている。各接続針１３は、配管アダプタ１９を介して、機能液供給系の給液チューブ（図示を省略）に接続されており、液滴吐出ヘッド１０は、各接続針１３から機能液の供給を受けるようになっている。

ヘッド基板１５には、一対のコネクタ２０が設けられており、このコネクタ２０と中継基板とがＦＦＣケーブル（図示を省略）により接続されており、液滴吐出ヘッド１０とポストコンピュータ（図示を省略）とが接続されている。ヘッド本体１６は、ピエゾ圧電素子が組み込まれたキャビティ１７とノズル面１２を有するノズルプレート１８とで構成されている。ノズルプレート１８には、多数（１８０個）のノズル１１からなるノズル列が２列形成されている。液滴吐出ヘッド１０では、キャビティ１７のポンプ作用によりノズル１１から機能液を吐き出するようになっている。なお、図１（ａ）は液滴吐出ヘッド１０の外観斜視図、図１（ｂ）は液滴吐出ヘッド１０を配管アダプタ１９に装着したときの断面図である。

上記構成の液滴吐出装置において、機能液滴の吐出停止時に機能液が乾燥することにより、液滴吐出ヘッド１０のノズル１１において目詰まりを引き起こし、液滴吐出量及び描画の精度を確保できなくなる。この機能液の乾燥を防止するため、本発明に係る液滴吐出装置では液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２を封止するヘッドキャッピング機構を備えている。

図２は本発明に係るヘッドキャッピング機構の構成例を示す図で、本ヘッドキャッピング機構３０はキャップ本体３１とパッキン部３２とで構成されるキャップ３３を備えている。パッキン部３２はキャップ本体３１の上面に装着され、その上面の中央部に液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に接触する接触面部３４が突出して形成されている。該接触面部３４を取り囲むように周辺部に接触面部３４と同方向に突出する堤状の突起部３５が形成され、接触面部３４のノズル面１２に接触する部分３４ａは密封性を維持する形状となっている。接触面部３４にはキャップ３３を液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に当接した際、該ノズル面１２のノズル１１形成部（ノズル列２１形成部）を囲むように保湿液収容部３６が形成されている。パッキン部３２は保湿液収容部３６から溢れ出た保湿液を底面で受けることができるように皿形状に形成されている。

皿形状のパッキン部３２の側面部となる堤状の突起部３５には、保湿液収容部３６から溢れ出て接触面部３４の外周面に流れ出た保湿液を検出する保湿液センサ３７が設けられている。即ち、保湿液収容部３６の上端部から溢れ出た保湿液を保湿液センサ３７が検出することにより、保湿液収容部３６の上端部まで保湿液で満たされていることを検知できる。また、保湿液センサ３７の取り付け位置は、パッキン部３３の突起部３５とすることにより、機能液滴の種類によっては保湿液センサ３７のセンシング面に液滴が付着することを避けることが可能となる。また、キャップ本体３１には、保湿液収容部３６に保湿液を供給する保湿液供給部３８、保湿液収容部３６の保湿液を吸引する保湿液吸引部３９が設けられている。

次に、上記構成のヘッドキャッピング機構の動作を説明する。後に詳述する液滴吐出装置の液滴吐出ヘッド１０の液滴吐出停止時、液滴吐出ヘッド１０を図３（ａ）に示すように、ヘッドキャッピング機構３０の上方に移動する。そしてキャップ本体３１の保湿液供給部３８から保湿液４０を保湿液収容部３６に供給し、該保湿液収容部３６から溢れ出る保湿液４０を保湿液センサ３７で検知することにより、保湿液収容部３６が上端部まで保湿液４０で満たされていることを感知する。その後、ヘッドキャッピング機構３０を図３（ｂ）に示すように液滴吐出ヘッド１０の方向へ移動し、ノズル面１２とパッキン部３２の接触面部３４を密着し、ノズル面１２のノズル形成部を密封する。液滴吐出ヘッド１０の再稼動時には、ヘッドキャッピング機構３０のパッキン部３２を液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２より離し、保湿液収容部３６に残留する保湿液を保湿液吸引部３９で吸引して排出する。

これにより、ノズル面１２のノズル１１は保湿液収容部３６の保湿液に接液し、且つノズル面１２はパッキン部３２の接触面部３４で密封状態に維持されるから、ノズル１１は湿潤状態に保たれ、ノズル１１内の機能液が乾燥してノズル１１が目詰りを起すことはない。従って、液滴吐出ヘッド１０の再稼動時に、適切な液滴吐出量及び描画の精度を確保することができる。保湿液としては、ここでは機能液の溶媒を用いている。ヘッドキャッピング機構３０を上記のような構成とすることにより、液滴吐出ヘッド１０の保湿液４０と接液する部分は、ノズル面１２のみとなるので、耐保湿液性を考慮しなければならないのはノズル面１２のみとなる。

図４は本発明に係るヘッドキャッピング機構の他の構成例を示す図である。本ヘッドキャッピング機構が、図２に示すヘッドキャッピング機構と異なる点は、保湿液収容部３６から溢れ出た保湿液４０を検知するセンサが、皿形状のパッキン部３２の底面に設けた排液口４１に接続された排液流路４２に設けた流量センサ４３となっている点で、他は図２に示す構成のヘッドキャッピング機構と同一構成である。このような構成とすることにより、保湿液収容部３６から溢れた保湿液４０はパッキン部３２の皿形状の底面に流れ込み、排液口４１及び排液流路４２を通って流出するから、流量センサ４３が保湿液の流量を検出すれば、保湿液収容部３６の上端部まで保湿液４０で満たされたことを感知することになる。なお、本ヘッドキャッピング機構のキャッピング動作は図３に示す動作と同一であるから、その説明は省略する。

図５は本発明に係るヘッドキャッピング機構の他の構成例を示す図である。本ヘッドキャッピング機構３０がキャップ本体３１とパッキン部３２とで構成されるキャップ３３を備えている点は、図２に示す構成のヘッドキャッピング機構と同一である。本ヘッドキャッピング機構が図２のヘッドキャッピング機構と異なる点は、保湿液量測定部４５を備えている点である。保湿液量測定部４５はその下面がパッキン部３２の接触面部３４の上面（接触面）に密接する構成で、その中央部に上下方向に接触面部３４の保湿液収容部３６に連通する余剰保湿液収容部４６が設けられている。また、余剰保湿液収容部４６の頂部には圧力センサ４７が設けられている。

上記構成のヘッドキャッピング機構において、キャップ本体３１の保湿液供給部３８から保湿液収容部３６に保湿液を供給し、該保湿液収容部３６内を保湿液４０で満たし、更に保湿液量測定部４５の余剰保湿液収容部４６を満たすと、圧力センサ４７が保湿液４０の液圧を検知する。これにより保湿液収容部３６及び余剰保湿液収容部４６内が保湿液４０で満たされたことを感知することになる。

次に、図５に示す構成のヘッドキャッピング機構の動作を説明する。液滴吐出装置の液滴吐出ヘッド１０の液滴吐出停止時、液滴吐出ヘッド１０を図示を省略するが、ヘッドキャッピング機構３０の上方に移動する。図５に示すように、キャップ本体３１の保湿液供給部３８から保湿液４０を保湿液収容部３６に供給し、該保湿液収容部３６を満たし、更に湿液量測定部４５の余剰保湿液収容部４６を満たすと、圧力センサ４７が保湿液４０の液圧を検知し、保湿液４０の供給を停止する。

続いて図６（ａ）に示すように、保湿液量測定部４５をパッキン部３２の接触面部３４から上方に引き離すと、余剰保湿液収容部４６内の保湿液４０が保湿液収容部３６内に流下し、保湿液収容部３６の保湿液４０が表面張力により、その表面が図６（ｂ）に示すように盛上る。この状態のヘッドキャッピング機構３０を上方に待機している液滴吐出ヘッド１０に移動させ、図６（ｃ）に示すように接触面部３４の接触面３４ａを液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に当接する。これにより、ノズル面１２のノズル形成部は保湿液収容部３６の保湿液４０に接液し、且つノズル面１２はパッキン部３２の接触面部３４で密封状態に維持されるから、ノズル１１は湿潤状態に保たれ、ノズル１１内の機能液が乾燥してノズル１１が目詰りを起すことはない。従って、液滴吐出ヘッド１０の再稼動時に、適切な液滴吐出量及び描画の精度を確保することができる。

次に、上記ヘッドキャッピング機構３０を備える液滴吐出装置について説明する。本液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれたものであり、
液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、ワーク（基板）上にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の３色から成る液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図７乃至図９に示すように、液滴吐出装置１００は、Ｘ軸支持ベース１０２（石定盤）上に配設され、Ｘ軸方向（主走査方向）に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１１（主走査移動手段）と、複数の支柱１０４を介してＸ軸テーブル１１１を跨ぐように架け渡された一対（２個）のＹ軸支持ベース１０３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１１２（副走査移動手段）と、複数の液滴吐出ヘッド（図示を省略）が搭載された７つのキャリッジユニット１８１から成り、Ｙ軸テーブル１１２にＹ軸方向（副走査方向）に移動自在に支持されたヘッドユニット１１３とを備えている。そして、Ｘ軸テーブル１１１およびＹ軸テーブル１１２の駆動と同期して液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液滴を吐出させ、後に詳述するワークＷに所定の描画パターンを描画する（描画処理）。

また、液滴吐出装置１００は、フラッシングユニット１１４、吸引ユニット１１５、ワイピングユニット１１６、吐出不良検査ユニット１１７、ヘッドキャッピングユニット６０（これらを総称してメンテナンス手段とする）を備えており、これらを液滴吐出ヘッドの保守に供して、液滴吐出ヘッドの機能維持・機能回復を図るようになっている（メンテナンス処理）。なお、メンテナンス手段を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１１４及び吐出不良検査ユニット１１７は、Ｘ軸テーブル１１１に搭載され、吸引ユニット１１５、ヘッドキャッピングユニット６０、及びワイピングユニット１１６は、ヘッドユニット１１３が移動可能である位置に配設された架台１０５上に配設されている。

なお、液滴吐出装置１００には、図１２に示すように全体を制御する制御手段１１８が備えられており、上記描画処理及びメンテナンス処理は、該制御手段１１８による制御に基づいて行われる。

以下、液滴吐出装置１００の構成要素について説明する。図７乃至図９に示すように、Ｘ軸テーブル１１１は、ワークＷをセットするセットテーブル１２１と、該セットテーブル１２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ１２２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル１２１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示を省略）と、該Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ１２２の移動を案内する一対（２本）のＸ軸ガイドレール１２３とを備えている。

セットテーブル１２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル１３１と、該吸着テーブル１３１を支持し、該吸着テーブル１３１にセットされたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル１３２等を有している。図１５に示すように、吸着テーブル１３１は、ワークＷを吸着セットするためのテーブル本体１４１と、該テーブル本体１４１を３点支持する３組のテーブル支持部材（図示を省略）と、θテーブル１３２に固定され、前記テーブル支持部材を介して、テーブル本体１４１を支持する支持ベース１４２とを有している。テーブル本体１４１は、厚板状の石盤で構成され、一辺が所定長さ（例えば１８００ｍｍ）の平面略正方形に形成されている。テーブル本体１４１の表面には、ワークＷを吸引するための吸引溝１４３が複数形成され、各吸収溝１４３には上記エアー吸引手段に連なる吸引孔（図示を省略）が貫通形成され、該吸引溝１４３を介して、ワークＷに十分な吸引力が作用するようになっている。

なお、支持ベース１４２には、３組のテーブル支持部材と共に、後述する描画前フラッシングユニット２１１が支持されている。テーブル本体１４１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、後述する描画前フラッシングユニット２１１の一対の描画前フラッシングボックス２２１添設されている。図中の１４４は、リフター機構（図示を省略）のリフターピンが遊挿する多数の遊挿孔である。吸着テーブル１３１には、該吸着テーブル１３１に対してワークＷの搬入出を行うリフター機構が組み込まれている。リフター機構は、支持ベース１４２に支持されており、昇降自在に構成された多数のリフターピンを有している。そして、多数のリフターピンをテーブル本体１４１に形成された多数の遊挿孔１４４から出没させることにより、図示しないロボットアームから未処理のワークＷを受け取り、これを吸着テーブル１３１に渡すと共に、処理済みのワークＷをセットテーブル１２１からリフトアップさせて、これをロボットアームに渡すようになっている。

図７及び図９に示すように、Ｘ軸エアースライダ１２２は、セットテーブル１２１を支持するスライダ本体１５１と、スライダ本体１５１の下部に固定された、一対の（２組４個）の係合部１５２とを有している。スライダ本体１５１には、セットテーブル１２１と共に、フラッシングユニット１１４の定期フラッシングユニット２１２及び吐出不良検査ユニット１１７の被描画ユニット２６１（いずれも後述）が搭載されている。一対のＸ軸リニアモータを（同期させて）駆動すると、一対の係合部１５２により一対のＸ軸ガイドレール１２３にガイドされた状態で、Ｘ軸エアースライダ１２２がＸ軸方向に移動し、セットテーブル１２１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する（主走査移動）。

なお、図８における図示手前の位置が、ワークＷの載せ換え位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル１３１に導入（搬入）するときや、処理済のワークＷを回収（搬出）するときには、吸着テーブル１３１をこの位置まで移動するようになっている。また、図中の符号１６２は、ワークＷの位置認識を行うためのワークアライメントカメラであり、ワークアライメント１６２の撮像結果に基づいて、θテーブル１３２によるワークＷのθ補正が行われる。

Ｙ軸テーブル１１２は、ヘッドユニット１１３を構成する７つの各キャリッジユニット１８１（キャリッジ１８５）をそれぞれ挿通して固定した７つのブリッジプレート１７１と、該７つのブリッジプレート１７１を両持ちで支持する７組１４個のＹ軸スライダ（図示を省略）と、上記一対のＹ軸支持ベース１０３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを介してブリッジプレート１７１をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示を省略）と、Ｙ軸リニアモータと並んでＹ軸支持ベース１０３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを支持して、各Ｙ軸スライダの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示を省略）とを備えている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸ガイドレールを案内して同時にＹ軸方向に平行移動する。これにより、ブリッジプレート１７１が両持ち状態でＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット１８１がＹ軸方向に移動する（副走査移動）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各ブリッジプレート１７１（キャリッジユニット１８１）を独立させて個別に移動させることも可能であるし、７つの全ブリッジプレート１７１を一体として移動させることも可能である。

図７乃至図９に示すように、ヘッドユニット１１３は、同様に構成された７つのキャリッジユニット１８１をＹ軸方向に整列させて構成されている。各キャリッジユニット１８１は、１２個の図１に示す液滴吐出ヘッド１０（図１０を参照）と、１２個の液滴吐出ヘッド１０を２個ずつ保持する６個のヘッド保持プレート１８３（図１０を参照）と、該６個のヘッド保持プレート１８３を介して、１２個の液滴吐出ヘッド１０を搭載するヘッドプレート１８４と、該ヘッドプレート１８４を支持するキャリッジ１８５とを備えている。

図１０に示すように、ヘッドプレート１８４は、ステンレス等の厚板で平面視略平方四辺形に形成されている。該ヘッドプレート１８４には、上記ヘッド保持プレート１８３を位置決め・装着するための開口（図示を省略）が設けられており、６個のヘッド保持プレートが（液滴吐出ヘッド１０のノズル列２１方向（図１参照））に略１ヘッド分のノズル列２１の長さＬだけ位置ずれして階段状に配置されている。これにより、各ヘッドプレート１８４に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド１０のノズル列２１がＹ軸方向において連続（一部重複）し、１本の分割描画ラインが形成される。

キャリッジ１８５は、ヘッドプレート１８４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構２０１と、該θ回転機構２０１を介して、ヘッドプレート１８４をＹ軸テーブル１１２（各ブリッジプレート１７１）に支持させる吊設部材２０２とを備えている。θ回転機構２０１は、分割描画ラインがＹ軸方向と平行になるように、ヘッドプレート１８４を支持している。なお、図示は省略するが、吊設部材２０２には、θ回転機構２０１を介してヘッドプレート１８４を昇降させるヘッド昇降機構が組み込まれており、ヘッドプレート１８４（機能液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２）の高さ位置を調整可能に構成されている。

そして、７つの各キャリッジ１８５を７つの各ブリッジプレート１７１にそれぞれ支持させ、７つのキャリッジユニット１８１をＹ軸方向に整列させることにより、ヘッドユニット１８２がＹ軸方向に連続し、各キャリッジユニット１８１の７本の分割描画ラインがＹ軸方向に連続して１描画ラインが形成されている。なお、図８におけるＸ軸テーブル１１１の図示左寄り（架台１０５側）の位置が、ヘッドユニット１１３のホーム位置となっており、この位置からワークＷに対する描画処理が開始される。

ところで、ヘッドユニット１１３に搭載された１２×７個の液滴吐出ヘッド１０は、それぞれＲ・Ｇ・Ｂの３色の機能液のいずれかに対応しており、ワークＷに３色の機能液からなる描画パターンを描画できるようになっている。図１１は、本実施形態のヘッドユニット１１３における液滴吐出ヘッド１０の配色パターンを説明する図である。同図に示すように、ヘッドユニット１１３における液滴吐出ヘッド１０の配色パターンは、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の液滴吐出ヘッド１０に対して、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色を所定の順番に（本実施形態では、Ｒ・Ｂ・Ｇの順）で繰り返し１個ずつ対応させたものであり、７つの各キャリッジユニット１８１における液滴吐出ヘッド１０の配色パターンは全て同様となっている。

従って、ヘッドユニット１１３を２ヘッド分のノズル列長分、副走査移動させれば、移動方向３番目以下に液滴吐出ヘッド１０が（副走査移動前に）臨んでいた領域にＲ・Ｇ・Ｂの３色分の液滴吐出ヘッド１０を臨ませることができ、この領域内に３色から成る描画パターンを描画可能である。そこで、本実施形態では、２ヘッドノズル列長分の副走査移動で（１枚の）ワークＷに対する描画処理を終了できるように１描画ラインの長さが設定されている。具体的には、１描画ラインの長さは、セットテーブル１２１にセット可能なワークＷの最大幅に基づいて設定されており、最大幅のワークＷに対して１回の走査移動で描画可能な（最小数ｎ個分の）ノズル列長さ＋２ヘッド分のノズル列長の長さ（すなわち、（ｎ＋２）×Ｌ）となっている。なお、本実施形態では、ｎ＝８２である。

なお、ヘッド保持プレート１８３が機能液の色数（３色）の整数倍個（６個）設けられているため、同一ヘッド保持プレート１８３に保持される２個の液滴吐出ヘッド１０には、同一色の機能液が対応するようになっている。これにより、機能液タンクと各液滴吐出ヘッド１０との配管接続を比較的単純なものとすることが可能である。

ここで、図１６を参照しながら、液晶表示装置のカラーフィルムを作成する場合を例に、本液滴吐出装置１００における一連の描画処理について説明する。カラーフィルタは、図１６に示すように、透光性（透明）の基板６０１と、ワークＷ上にＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域（フィルタエレメント）６０７ａと、画素領域６０７ａ上に形成されたＲ・Ｇ・Ｂの３色の着色層６０８（６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂ）と、各画素領域６０７ａを仕切る遮光性のバング６０３とを備えている。そして、描画処理では、バンク６０３を作り込んだ基板６０１が上記液滴吐出装置１００にワークＷと搬入され、各画素領域６０７ａ内に対応するＲ・Ｇ・Ｂの３色のいずれか１色の機能液が吐き出されるように、ワークＷに所定の描画パターンが描画されるようになっている。なお、図１６（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造工程を示す模式図であり、６０２はブラックマトリクス、６０３はブラックマトリクス６０２の上に形成されたバンク、６０５はマスクフィルム、６０９は保護膜である。

なお、カラーフィルタの配色パターンは、図１３（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に並ぶ画素領域６０７ａの横列すべてが同色であり、Ｘ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂの３色を繰り返し配列させたストライブ配列、図１３（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に並ぶ、縦列及び横列の連続する３つの画素領域６０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列、及び図１３（ｃ）に示すように、複数の画素領域５０７ａが千鳥状に（半ピッチずつずらして）配設され、隣接して並ぶ３つの画素領域６０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるデルタ配列のいずれかを採用することが可能であるが、ここでは図１３（ａ）のストライプ配列のカラーフィルタを作成する場合について説明する。

描画処理は、ワーク載せ換え位置からワークＷ（吸着テーブル１３１）の移動に引き続いて行われ、先ず、第１描画動作が開始される。第１描画動作では、Ｘ軸テーブル１１１がそのまま駆動され、セットテーブル１２１を介してワークＷが往動すると共に、これと同期して、ホーム位置に臨むヘッドユニット１１３の液滴吐出ヘッド１０が選択的に吐出駆動され、ワークＷに機能液が吐出される。ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル１１２が駆動され、ヘッドユニット１１３がＹ軸方向へ微少量移動する。そして、再度Ｘ軸テーブル１１１の駆動と液滴吐出ヘッド１０の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークＷに対して機能液が吐出される。ワークＷの復動が終了すると、さらにＹ軸テーブル１１２が駆動され、ヘッドユニット１１３がＹ軸方向へ微少量移動すると共に、上記した一連の動作が再び繰り返され、第１描画動作が終了する。

図１３（ａ）に示すように、ヘッドユニット１１３の１描画ラインは、ワークＷにマトリクス状に形成された画素領域６０７ａが縦列と直交しており、各画素領域列に液滴吐出ヘッド１０が臨むようになっている。また、ヘッドユニット１１３がホーム位置に臨んでいるときヘッドユニット１１３の（Ｒ・Ｇに対応する）図示右端の２つの液滴吐出ヘッド１０（図８では左端に位置する）は、図示最右端の画素領域列からさらに右側に外れている。上記の第１描画動作を行うと、各液滴吐出ヘッド１０が各列に臨み、当該液滴吐出ヘッド１０に対応する色と同色に対応する画素領域６０７ａに機能液が吐出される。

第１描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１１２が駆動され、ヘッドユニット１１３が略１ヘッドノズル列長Ｌ分だけＹ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する液滴吐出ヘッド１０が臨んでいた位置に、Ｂ色に対応する液滴吐出ヘッド１０が、Ｇ色が対応していた位置にＲ色に対応する液滴吐出ヘッド１０が、Ｂ色が対応していた位置にＧ色が対応する液滴吐出ヘッド１０が臨む。続いて、第２描画動作が行われ、第１描画動作と同様にワークＷの往復動とこれに伴う液滴吐出ヘッド１０の吐出駆動が２回繰り返される。これにより、図１３（ｂ）に示すように、第２描画動作では、第１描画動作でＲ色が吐出された画素領域列にＢ色の機能液が、Ｇ色が吐出された画素領域列にＲ色の機能液が、Ｂ色が吐出された画素領域列にＧ色の機能液が吐出される。

第２描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１１２が駆動されて、ヘッドユニット１１３が、更に略１ヘッドノズル列長分Ｙ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する液滴吐出ヘッド１０が臨んだ位置に、Ｇ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１０が、Ｇ色が対応していた位置にＢ色に対応する液滴吐出ヘッド１０が、Ｂ色が対応していた位置にＲ色に対応する液滴吐出ヘッド１０が臨むようになっている。そして、この後、第３描画動作が行われ、第１描画動作及び第２描画動作と同様に、ワークＷの往復動が２回行われる。これにより、各画素領域の全画素領域６０７ａに対してＲ・Ｇ・Ｂ全色分の機能液が吐出され、ワークＷに対する描画処理が終了する。なお、描画処理の終了時には、ヘッドユニット１１３の（Ｇ・Ｂ対応する）図示左端の２つの液滴吐出ヘッド１０（図８においては、右端に位置する）が、図示最左端の画素領域列から更に左側に外れている（図１４（ｃ）参照）。

このように、本実施形態では、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の機能液滴吐出ヘッド１０の配色パターンをＲ・Ｇ・Ｂ異なる３色の繰り返しパターンとしているため、２ヘッド分のノズル列長（２Ｌ）の移動を行うだけで、ワークＷの全画素領域６０７ａに全色の機能液を吐出させることができる。また、同一列の画素領域６０７ａに対して（ストライブ配列の場合には、横列の画素領域６０７ａに対しても）、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液が同時に吐出されることがないため、たとえ（飛行曲がり等に起因して）バンク６０３上に機能液が着弾した場合でも、混色が生じ難く（時間差によってバング６０３上の機能液が乾燥するため）、精度良くカラーフィルムを作成することが可能である。

なお、本実施形態では、各画素領域６０７ａに対して、ヘッドユニット１１３を２回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。

次に、メンテナンス手段を構成するフラッシングユニット１１４、吸引ユニット１１５、ヘッドキャッピングユニット６０、ワイピングユニット１１６、及び吐出不良検査ユニット１１７について順に説明する。フラッシングユニット１１４は、液滴吐出ベッド１０の全ノズル１１からの捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、描画前フラッシングユニット２１１と、定期フラッシングユニット２１２とで構成されている。

描画前フラッシングユニット２１１は、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス２２１と、該一対の各描画前フラッシングボックス２２１を吸着テーブル１３１（支持ベース１４２）に支持させる一対のボックス支持部材（図示を省略）とで構成されている（図７乃至図９、及び図１４参照）。各描画前フラッシングボックス２２１は、Ｙ軸方向に長い平面視長方形の細長い箱状に形成されており、その底部には、機能液を吸収させる吸収材２２３が敷設されている。各描画前のフラッシングボックス２２１は、ボックス支持部材を介して吸着テーブル１３１に支持されているため、吸着テーブル１３１をθテーブル１３２によりθ補正して回転させるとこれに伴って回転する。

一対の各ボックス支持部材は、各描画前フラッシングボックス２２１が吸着テーブル１３１のＹ軸方向に平行な一対の辺（周縁）に沿うよう、吸着テーブル１３１から張り出すようにこれを支持している。即ち、描画前フラッシングボックス２２１は、前後を挟むように配置されており、ワークＷをＸ軸方向に往復動すると、ヘッドユニット１１３の液滴吐出ヘッド１０は、ワークＷに臨む直前に順次描画前フラッシングボックス２２１に臨み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。

この場合、描画前フラッシングボックス２２１の長辺の長さは、描画処理中において、全液滴吐出ヘッド１０からの捨て吐出しを受け得るように、上記ヘッドユニット１１３の１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さ（（ｎ＋４）×Ｌ）と略同じ長さに構成されている。即ち、本実施形態の描画処理では、ヘッドユニット１１３における液滴吐出ヘッド１０をヘッド分Ｙ軸方向へ移動させるようになっており、描画前フラッシングボックス２２１を１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長の長さに対応させることにより、描画処理中にいかなる位置に臨む液滴吐出ヘッド１０に対しても、そのＹ軸方向における吐出範囲をカバーできるようになっている。これにより、液滴吐出ヘッド１０からの機能液滴の吐出しを安定させることができ、ワークＷに精度良く描画処理を行うことが可能となる。

なお、図示は省略したが、各ボックス支持部材には、描画前フラッシングボックス２２１を昇降させるボックス昇降機構が組み込まれており、描画処理時、即ち吐出前フラッシングを受けるときには、各描画前フラッシングボックス２２１の上端面が吸着テーブル１３１にセットされたワークＷの表面に高さに一致させた位置でこれを支持すると共に、非描画処理時には、各描画前フラッシングボックス２２１の上端面が吸着テーブル１３１の上面（セット面）の高さより低くなる位置（待機位置）でこれを支持する。これにより、描画前フラッシングの機能液を外部に飛び散らせることなく、描画前フラッシングボックス２２１で受けることができると共に、非描画時に行うワークＷの載せ換え作業に描画前フラッシングボックス２２１が干渉することがない。なお、吸収材２２３の膨張等を考慮して、上昇時における描画前フラッシングボックス２２１の上端面の位置を、ワーク表面よりも若干低い位置とすることも可能である。なお、ボックス昇降機構は、必ずしも設けなければならないものではなく、実情に応じて設ければよい。

図７乃至図９、及び図１４に示すように、定期フラッシングユニット２１２は、ワークＷの載せ換え時等に、描画処理を一時的に休止される時にヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける定期フラッシングボックス２３１と、上記のＸ軸エアースライダ１２２に搭載され、定期フラッシングボックス２３１の両端を高さ調整可能に支持する一対の支柱部材２３２とを有している。

定期フラッシングボックス２３１は、上面が開放され、Ｙ軸方向に長い平面視方形のボックス状に形成されている。定期フラッシングボックス２３１は、ヘッドユニット１１３に搭載された１２×７個の全機能液滴吐出ヘッド１０を包含し得る大きさに構成され、ヘッドユニット１１３の全液滴は吐出ヘッド１０を同時に定期フラッシングできるようになっている。より具体的には、定期フラッシングボックス２３１の長さは、描画前フラッシングボックス２２１と同様、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さ（（ｎ＋４）×Ｌ）に対応して設定され、短辺の長さは、上記平面視平行四辺形のヘッドプレート８４の高さ（Ｘ軸方向の長さ）に略対応した長さに設定されている。図１４に示すように、定期フラッシングボックス２３１の底面には、Ｙ軸方向に延在する複数本の（図では３本）のリブ２３３が突設されており、これらのリブ２３３上に機能液を吸収させるシート状のシート吸収材２３４が配設されている。シート吸収材２３４の上端面は、定期フラッシングボックス２３１の上端面と略一致している。

ボックス支柱部材２３２は、定期フラッシングボックス２３１の上端面が、ヘッドユニット１１３に搭載された液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２の高さ位置よりも僅かに（２〜３ｍｍ程度）低い位置となるように、定期フラッシングボックス２３１を支持している。ボックス支柱部材２３２は、セットテーブル１２１と共に、Ｘ軸エアースライダ１２２のスライダ本体１５１に固定されており、Ｘ軸エアースライダ１２２を移動させると、ボックス支柱部材２３２を介して定期フラッシングボックス２３１もＸ軸方向を移動するように構成されている。そして、ボックス支柱部材２３２は、セットテーブル１２１より後方位置で定期フラッシングボックス２３１を支持しており、Ｘ軸エアースライダ１２２を移動させて、吸着テーブル１３１をワーク載せ換え位置に臨ませると、定期フラッシングボックス２３１がヘッドユニット１１３に臨み、定期フラッシングの機能液を受け得るようになっている。

なお、図示を省略したが、定期フラッシングボックス２３１には、シート吸収材２３４の反りや撓みを防止するための反り防止機構が設けられている。本実施形態では、シート吸収２３４と液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２とのギャップが僅かであるため、シート吸収材材２３４が上反り状態のまま（定期フラッシングの）機能液を吸収させると、機能液により膨潤したシート吸収材２３４が液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に干渉する惧れがある。そこで、本実施形態では、定期フラッシングボックス２３１に反り防止機構を設けて、シート吸収材２３４の反りを防止し、シート吸収材２３４が液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２と接触するのを防止している。

吸引ユニット１１５は、液滴吐出ヘッド１０を吸引して、液滴吐出ヘッド１０のノズル１１から機能液を強制的に排出させるものである。図８に示すように、吸引ユニット１１５は、ヘッドユニット１１３、すなわち７個のキャリッジユニットに１８１に対応して構成されており、同様に構成された７個の分割吸収ユニット２４１を上記架台１０５上に整列配置したものである。各分割吸収ユニット２４１は、吸引を行うキャリッジユニット１８１に対して下側から臨み、キャリッジユニット１８１に搭載されている１２個の各液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に対応する１２個の各キャップ２４３をそれぞれ密着させるキャップユニット２４２と、キャップユニット２４２を昇降させ、液滴吐出ヘッド１０（ノズル面１２）に対してキャップ２４３を離接させるキャップ昇降機構（図示を省略）と、密着させたキャップ２４３を介して各液滴吐出ヘッド１０に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示を省略）とを備えている。

機能液滴の吸引は、液滴吐出ヘッド１０（ノズル１１）の目詰まりを解消／防止するために行われる他、液滴吐出装置１００を新設した場合や、液滴吐出ヘッド１０のヘッド交換を行った場合等に、機能液タンクから液滴吐出ヘッド１０に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。また、吸引ユニット１１５のキャップ２４３は、液滴吐出ヘッド１０の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、吸引ユニット１１５に臨んだ一部のキャリッジユニット１８１に対してのみ吸引を行なうような場合には、吸引を行なわない他のキャリッジユニット１８１から、キャップ２４３に対して捨て吐出を行わせるようになっている。この場合、キャップ２４３は、キャップ昇降機構により、その上面が機能液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２から僅かに離間する位置まで移動させられる。

ヘッドキャッピングユニット６０は、液滴吐出ヘッド１０の非稼動時に、液滴吐出ヘッド１０のノズル列２１形成部を湿潤状態に維持するためにも用いられる。ヘッドキャッピングユニット６０は、ヘッドユニット１１３、すなわち７個のキャリッジユニット１８１に対応して構成されており、同様に構成された７個の分割キャッピングユニット５１を上記架台１０５上に整列配置したものである。各分割キャッピングユニット５１は、ノズル列２１形成部を湿潤状態に維持するキャリッジユニット１８１に対して下側から臨み、キャリッジユニット１８１に搭載されている１２個の各液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に対応する１２個のヘッドキャップピング機構３０のキャップ３３を昇降させ、液滴吐出ヘッド１０（ノズル面１２）に対してキャップ３３を離接させるキャップ昇降機構（図示を省略）を備えている。

非液滴吐出時のヘッドユニット１１３をヘッドキャッピングユニット６０に臨ませ、図３（ａ）又は図６（ｂ）に示すように、接触面部３４の保湿液収容部３６を保湿液４０で満たしたキャップ３３の接触面部３４の上面を液吐出ヘッド１０のノズル面１２に密着させることにより、液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２を保湿液４０に接液させ、ノズル１１の乾燥を防止する。

ワイピングユニット１１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート２５１で液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２を拭き取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート２５１を繰り出しながら巻き取って行く巻取りユニット２５２と、繰り出したワイピングユニット１１６に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット２５３と、洗浄液が散布されたワイピングシート２５１でノズル面１２を拭き取る拭取ユニット２５４とを備えている（図８参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット１１５による吸引後等に行われ、ノズル面１２に付着した汚れを払拭する。そして、ワイピングユニット１１６は吸引ユニット１１５よりもＸ軸テーブル１１１側に配設されており、吸引ユニット１１５による吸引ホーム位置に戻るヘッドユニット１１３（各キャリッジユニット１８１）に臨んで、効率よくワイビング動作を行えるようになっている。

なお、図示は省略したが、吸引ユニット１１５の各分割吸引ユニット２４１、ヘッドキャッピングユニット６０の分割キャッピングユニット５１、及びワイピングユニット１１６は、ユニット昇降機構に昇降自在に支持されており、これらのユニット１１５（２４１）、１１６を所定の退避位置まで下降させることにより、これらのユニット１１５（２４１）、１６のメンテナンスやキャリッジユニット１８１に搭載したヘッドプレート１８４を交換する（ヘッド交換）ための作業領域をユニット１１５（２４１）、１１６上に確保できるようになっている。また、吸引ユニット１１５、ヘッドキャッピングユニット６０、及びワイピングユニット１１６が搭載された架台１０５、Ｘ軸方向に図示しない移動機構により移動できるようになっており、各分割吸引ユニット２４１、各分割キャッピングユニト５１を架台１０５の上方に移動したヘッドプレート１８４に搭載された各液滴吐出しヘッド１０に対応した位置に移動できるようになっている。

図７乃至図９、及び図１５に示すように、吐出不良検査ユニット１１７は、ヘッドユニット１１３に搭載された全液滴吐出ヘッド１０（のノズル１１）から機能液が適切に吐出されているか否か検査するためのものであり、ヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０の全ノズル１１から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット２６１と、被描画ユニット２６１に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット２６２とを備えている。

被描画ユニット２６１は、液滴吐出ヘッド１０からの検査吐出しを受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート２７１（ロール紙等）と、描画シート２７１を繰り出しながら巻き取っていく巻取り手段２７２と、巻取り手段２７２を支持する巻取り支持部材２７３と、巻取り支持部材２７３を支持するユニットベース２７４とを備えている。巻取り手段２７２は、描画シート２７１が装填され、描画シート２７１を繰出す繰出しリール２７５と、繰出された描画シート２７１を巻き取る巻取りリール２７６と、巻取りリール２７６を回転させるための巻取りモータ（ギヤードモータ：図示を省略）とを有している。繰出された描画シート２７１は、外部に露出した状態でＹ軸方向に水平に走行し、巻取りリール２７６で巻き取られるようになっているが、この描画シート２７１の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画部となっている。水平走行部のＹ軸方向の長辺の長さは、ヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０からの検査吐出しを受けることができるように設定されており、本実施形態では描画前フラッシングボックス２２１や定期フラッシングボックス２３１と同様に、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さに対応して設定されている。

なお、描画シート２７１の巻取りは、検査パターンを１回描画する毎に行うのではなく、繰出した描画シート２７１に所定回数検査パターンが描画された後行われる。この場合、各回の検査吐出による検査パターンが重ならないように、前回に描画された検査パターンに対して、次回に描画される検査パターンは、Ｘ軸方向に僅かに位置ずれして描画される。そして、（所定回数の検査パターンが描画され）描画シート２７１の幅いっぱいに検査パターンが描画されると、巻取りモータが駆動され、描画済みの描画シート２７１を巻き取ると共に、新しい描画シート２７１を繰出すようになっている。なお、本実施形態では、描画シート２７１の巻取りをモータ駆動により自動で行っているが、（巻き取り頻度が低い場合等には）手動の巻き取り機構を設け、手動で行うようにしてもよい。

また、本実施形態では、ロール状に巻回した描画シート２７１を検査パターンの描画対象として用いているが、これに代えて検査パターン用のガラス基板等を用いることも可能である。この場合、ガラス基板は適宜交換されることになるが、描画済みのガラス基板は、洗浄された後、繰り返し利用される。

ユニットベース２７４は、セットテーブル１２１と定期フラッシングユニット２１２との間に位置してスライダ本体１５１に支持されており、巻取り支持部材２７３は、定期フラッシングボックス２３１側に位置する一方の描画前フラッシングボックス２２１と、定期フラッシングボックス２３１との間で巻取り手段２７２を支持している。従って、描画処理終了後に、ワークＷの載せ換えのために、吸着テーブル１３１をワーク載せ換え位置まで移動させると、定期フラッシングボックス２３１がヘッドユニット１１３に臨むことに先立って繰出された描画シート２７１がヘッドユニット１１３に臨み、描画シート２７１に検査パターンを描画することができるようになっている。

図９に示すように、撮像ユニット２６２は、上記したＹ軸支持ベース１０３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１１に上側から臨み、描画シート２７１に描画された検査パターンを描画する２個の検査カメラ２８１を保持するカメラホルダ２８２を介して、該２個の検査カメラ２８１をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構２８３と、カメラ移動機構２８３を介して検査カメラ２８１をＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示を省略）とを有している。２個の検査カメラ２８１は、描画シート２７１に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像するように構成されている。例えば、２個の検査カメラ２８１を、ヘッドユニット１１３の１描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で２個の検査カメラ２８１を移動させて、検査パターンの左側半分を左側の検査カメラ２８１で、右側半分を右側の検査カメラ２８１で撮像する。これにより、短時間で効率的に検査パターンを撮像（スキャン）することが可能となり、液滴吐出ヘッド１０の吐出不良検査に要する時間を削減することが可能となる。

撮像ユニット２６２は、吸着テーブル１３１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ２８１が描画シート２７１に臨むように配設されており、本実施形態では、ワーク載せ換え中に、検査パターンの撮像を行えるようになっている。そして、２個の検査カメラ２８１による撮像結果は、制御手段１１８（図１２参照）に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１０の各ノズル１１が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かを判断されるが、この判断もワーク載せ換え中に行なわれる、即ち、吐出不良検査手段は、撮像ユニット２６２及び制御手段１１８より構成されている。

なお、図示は省略したが、ユニットベース２７４と巻取り支持部材２７３との間には、巻取り手段２７２全体をＸ軸方向に（微少）移動させるユニット移動機構が設けられている。上述したように、描画シート２７１に描画される検査パターンの描画位置は、Ｘ軸方向に位置ずれして行くが、検査パターンの描画位置に応じて巻取り手段２７２をＸ軸方向へ移動させることにより、Ｘ軸方向において固定の撮像ユニット（２個の検査カメラ２８１）に対して、検査パターンを確実に臨ませることができるようになっている。

また、この吐出不良検査ユニット１１７を用いて、ヘッドユニット１１３を構成する各キャリッジユニット１８１の位置補正を行い、各分割描画ラインが１描画ラインを構成するように、初期のヘッドアライメントを行うことも可能である。

次に、図１２を参照して、本液滴吐出装置１００の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１００は、ヘッドユニット１１３（液滴吐出ヘッド１０）を有する液滴吐出部２９１と、Ｘ軸テーブル１１１を有しワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部２９２と、Ｙ軸テーブル１１２を有し、ヘッドユニット１１３をＹ軸方向に移動させるヘッド移動部２９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部２９４と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部２９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部２９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１００全体の制御を行なう制御部２９７（制御手段１１８）とを備えている。

制御部２９７には、各手段を接続するためのインターフェース３０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ３０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ３０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３０４と、ＲＯＭ３０３やハードディスク３０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ３０５と、これらを互いに接続するバス３０６とが備えられている。

そして、制御部２９７は、各手段からの各種データを、インターフェース３０１を介して入力すると共に、ハードディスク３０４に記憶された（又は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ３０５に演算処理させ、その処理結果を駆動部２９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより液滴吐出装置１００の全体が制御され、液滴吐出装置１００の各種処理が行なわれる。

ここで、未処理のワークＷをセットテーブル１２１（吸着テーブル１３１）に搬入してから、次のワークＷに載せ換えるまでの、本液滴吐出装置１００の一連の動作について説明する。図示しないロボットアーム（ワーク搬出入装置）を介して、ワーク載せ換え位置に臨む吸着テーブル１３１にワークＷが載せ込まれると、制御部２９７は、ワークアライメントカメラ１６２を駆動してワークＷを撮像すると共に、この撮像結果を画像認識する。そして、この画像認識に基づいて、θテーブル１３２を駆動し、ワークＷの位置（θ）補正を行なう。（この間、ヘッドユニット１１３は、定期フラッシングユニット２１２に臨んでおり、液滴吐出ヘッド１０の定期フラッシングが実行されている。）

ワークＷの位置補正が終了すると、制御部２９７は、（定期フラッシングを終了させ、）Ｘ軸テーブル１１１を駆動して、ワーク載せ換え位置から吸着テーブル１３１をヘッドユニット１１３側へ移動させ、上記した一連の描画処理を開始する。この場合、本実施形態では、吸着テーブル１３１及びこれに添設された一対の描画前フラッシングボックス２２１に掛かる領域が描画処理を行うための描画領域として設定されている。そして、一連の描画処理中は、この描画領域内にヘッドユニット１１３が臨むようにＸ軸テーブル１１１が駆動制御され、吸着テーブル１３１（ワークＷ）の往復動が為される。従って、描画処理中のヘッドユニット１１３には、描画前フラッシングボックス２２１、ワークＷが順に臨み、描画前フラッシングに続いて、ワークに対する描画が行われると共に、描画処理に関与しない定期フラッシングユニット２１２及び吐出不良検査ユニット１１７が描画処理中のヘッドユニット１１３に臨むことがないため、効率的且つ適切に描画処理を行うことができる。

ワークＷに対する機能液の吐出しが終了し、描画処理（上記第３描画動作における２回目のワークＷの往動）が終了した後も、Ｘ軸テーブル１１１の駆動が続けられ、ワークＷをワーク載せ換え位置まで移動させる。このとき、制御部２９７は、所定のタイミングでヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動して、全液滴吐出ヘッド１０から検査吐出しを行わせる。これにより、ワークＷの移動中に、ヘッドユニット１１３（全液滴吐出ヘッド１０）に臨む吐出不良検査ユニット１１７の描画シート２７１に検査パターンが描画される。このように、本実施形態では、描画処理終了後におけるワーク載せ換え位置までのワークＷの移動動作を利用して、描画シート２７１に検査パターンが描画される。そのため、検査吐出しのためにヘッドユニット１１３を敢えて移動させる必要がなく、効率よく検査パターンを描画させることができる。

ワークＷ（吸着テーブル１３１）がワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部２９７は、Ｘ軸テーブル１１１の駆動を停止させると共に、Ｙ軸テーブル１１２を駆動して、ヘッドユニット１１３をホーム位置に戻す。そして、ヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動させ、ヘッドユニット１１３の直下に位置する定期フラッシングボックス２３１に対して定期フラッシングを行うと共に、定期フラッシングを続けたまま、図示しないロボットアームを用いて処理済のワークＷを回収させると共に、未処理のワークＷをセットテーブル１２１に搬入する。

一方で、ワークＷがワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部２９７は、移動モータを駆動して２個の検査カメラ２８１をＸ軸方向に移動させてゆき、描画シート２７１に描画された検査パターンを２個の検査カメラ２８１で撮像してゆく。そして、撮像結果を画像認識して、ヘッドユニット１１３の各液滴吐出ヘッド１０について吐出不良が生じているか否かを判断する。ここで、全液滴吐出ヘッド１０が正常に機能液滴を吐出していると判断されれば、吐出不良検査を終了させる。そしてワークＷの載せ換え終了後には、定期フラッシングを停止すると共に、新たに描画処理のためにＸ軸テーブル１１１を駆動して、セットテーブル１２１をヘッドユニット１１３側へ移動させる。

他方、吐出不良の液滴吐出ヘッド１０があると判断された場合は、液滴吐出ヘッド１０のメンテナンス処理を行う。具体的には、吐出不良の液滴吐出ヘッド１０を有するキャリッジユニット１８１を吸引ユニット１１５（分割吸引ユニット２４１）に臨ませ、吐出不良の液滴吐出ヘッド１０に対して吸引を行った後、更にワイピングユニット１１６を臨ませ、ワイピング処理を行う。この場合、本実施形態では、ヘッドユニット１１３のホーム位置が吸引ユニット１１５（及びワイピングユニット１１６）寄りに設けられているため、吐出不良の判断がなされたときには、ホーム位置に臨むヘッドニユット１１３を迅速に吸引ユニット１１５に臨ませて、メンテナンス処理を行うことができるようになっている。

なお、本実施形態のヘッドユニット１１３は、７つのキャリッジユニット１８１から構成されており、これらを独立して移動させることが可能であるため、吐出不良の液滴吐出ヘッド１０があると判断された場合に、７つの全てのキャリッジユニット１８１を吸引ユニット１１５又はワイピングユニット１１６に臨ませる必要はない。例えば、図８において、図示左から３番目のキャリッジユニット１８１の液滴吐出ヘッド１０に吐出不良が検出された場合には、左から３番目までのキャリッジユニット１８１を吸引ユニット１１５に臨ませればよい。そして、左から３番目のキャリッジユニット１８１に対してのみ、吸引を行うようにする。この場合、ホーム位置に残されたキャリッジユニット１８１の液滴吐出ヘッド１０に対しては、定期フラッシングを継続させておくと共に、吸引ユニット１１５に臨んだ正常なキャリッジユニット１８１に対しては、各液滴吐出ヘッド１０に対して離間した状態で吸引ユニット１５の各キャップ２４３を臨ませ、各キャップ２４３に対してフラッシング動作を行わせるようにする。

そして、吐出し不良の液滴吐出ヘッド１０を有するキャリッジユニット１８１の一連のメンテナンス処理が終了し、吸引ユニット１１５に移動させたキャリッジユニット１８１がホーム位置に戻ると、Ｘ軸テーブル１１１を駆動して、吐出不良検査ユニット１１７の描画シート２７１をヘッドユニット１１３に臨ませ、描画シート２７１に再度検査パターンを描画させる。以下、上述した一連の動作と略同様の動作を繰り返し、ヘッドユニット１１３をホーム位置に臨ませて、定期フラッシングを行うと共に、液滴吐出ヘッド１０の吐出し不良が回復したか否かを確認する。

このように、本実施形態の液滴吐出装置１００では、ワークＷの載せ換えと並行して、検査パターンの撮像とこれに基づく吐出し不良の判断が行われるため、ワークＷの載せ換え時間を有効に活用することができ、全体のタクトタイムを削減することができる。そして、ワークＷの描画処理終了後、新たに未処理のワークＷに対して描画処理を開始する前に、ヘッドユニット１１３の全液滴吐出ヘッド１０について吐出し不良が生じているか否かについて検査が行われるため、製造上の歩留まりを向上させることができる。

また、本実施形態の液滴吐出装置１００では、吸着テーブル１３１がワーク載せ換え位置に臨むと、定期フラッシングボックス２３１がヘッドユニット１１３に臨み、ワークＷの載せ換え中は定期フラッシングが継続して行われる。従って、液滴吐出ヘッド１０の吐出し不良検査中も含め、ワークＷの載せ換え中に、液滴吐出ヘッド１０のノズル１１が目詰まりをおこすことを有効に防止することができると共に、各液滴吐出ヘッド１０から吐出される機能液量を安定した状態に保つことができる。特に、定期フラッシングボックス２３１は、セットテーブル１２１の移動軸上に設けられているため、（新たな描画処理を開始させるために）ワークＷをワーク載せ換え位置から移動させる直前まで定期フラッシングを継続させることができ、液滴吐出ヘッド１０を適切な状態に維持することができる。

なお、本実施形態では、定期フラッシングボックス２３１及び被描画ユニット２６１の描画シート２７１の水平走行部の長さを描画前フラッシングボックス２２１と同様に、描画処理におけるヘッドユニット１１３の液吐出し範囲に対応させて、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長さに形成している。そこで、描画処理の終了位置から次の描画処理の開始位置であるホーム位置までヘッドユニット１１３を移動中にも定期フラッシングを行なわせるようにしてもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド１０の駆動停止時間をさらに短縮することができ、液滴吐出ヘッド１０のノズル詰まりを有効に防止することができる。

また、ヘッドユニット１１３を副走査方向に移動させながら描画処理を行う場合であって、奇数回目の描画処理をヘッドユニット１１３のホーム位置から開始し、偶数回目の描画処理を奇数回目の描画処理終了位置から開始させる（奇数回目の描画処理と偶数回目の描画処理とを逆方向に行ってゆく）ような場合には、奇数回目及び偶数回目のいずれの描画開始位置にヘッドユニットが臨んでいても定期フラッシングを行わせることができる。

なお、定期フラッシングボックス２３１及び被描画ユニット２６１の描画シート２７１の水平走行部の長さを、１描画ラインの長さに対応させて形成することも可能である。この場合、定期フラッシングボックス２３１は、ワーク載せ換え中に定期フラッシングを受けられるように、ホーム位置に位置するヘッドユニット１１３に臨むように（吸引ユニット１１５側寄りに）Ｘ軸エアースライダ１２２に配設される。一方、被描画ユニット２６１は、描画処理が終了して、ワークＷがワーク載せ換え位置に臨むまでの間にヘッドユニット１１３に臨むように、第３描画処理動作における２回目のワークＷ復動時のヘッドユニット１１３の位置に対応して、Ｘ軸エアースライダ１２２に配設される。

また、本実施形態では、同一軸のＸ軸エアースライダ１２２（スライダ本体１５１）上にセットテーブル１２１、定期フラッシングユニット２１２及び吐出不良検査ユニット１１７を搭載させているが、（スライダ本体１５１を分割させて）Ｘ軸リニアモータの駆動によりＸ軸方向を独立してスライド可能な２個のスライダを設け、一方にセットテーブル１２１を、他方に定期フラッシングユニット２１２及び吐出不良検査ユニット１１７の被描画ユニット２６１を搭載するように構成してもよい。この場合、ワーク載せ換え位置からセットテーブル１２１を移動させるとき、及びセットテーブル１２１をワーク載せ換え位置に移動させるときは、Ｘ軸リニアーモータを制御して、両スライダを一体的に移動させるようにする。一方、描画処理時には、Ｘ軸リニアモータを制御して、セットテーブル１２１を搭載したスライダのみを往復動させて、描画前フラッシングとワークＷに対する描画を行わせる。

また、本実施形態では、ワークＷを主走査方向に移動させ、ヘッドユニット１１３を副走査方向に移動させる構成となっているが、ヘッドユニット１１３を主走査方向に移動させ、ワークＷを副走査方向に移動させる構成とすることも可能である。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１１３を主走査方向及び副走査方向に移動させるように構成してもよい。いずれの場合にせよ、上記配置に依って、主走査移動軸上にフラッシングユニット１１４及び吐出不良検査ユニット１１７を配設することにより、効率よくフラッシングや、吐出し不良検査を行うことが可能である。

ヘッドユニット１１３の液滴吐出ヘッド１０の再稼動時は、ヘッドキャッピングユニット６０をヘッドユニット１１３から離し、ヘッドキャッピング機構３０のパッキン部３２の保湿液収容部３６内に残留する保湿液４０を保湿液吸引部３９で吸引して排出する。ヘッドユニット１１３の液滴吐出ヘッド１０のノズル面はヘッドキャッピングユニット６０が離されるまで、保湿液４０に接液していたのであるから、直ちに液滴吐出動作に移行でき、適切な液滴吐出量及び描画の精度を確保できる。なお、再稼動の前にワイピングユニット１１６により、液滴吐出ヘッド１０のノズル面１２に付着する保湿液４０を拭い取ってもよい。

なお、上記液滴吐出装置１００は本発明に係るヘッドキャッピングを用いる液滴吐出装置の一例であり、本発明に係るヘッドキャッピングを用いる液滴吐出装置はこれに限定されるものではない。

以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載のない何れの形状や材質であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。

本発明に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドの構成例を示す図であり、（ａ）は外観斜視図、（ｂ）は液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。本発明に係るヘッドキャッピング機構の構成例を示す図である。本発明に係るヘッドキャッピング機構の動作を示す図である。本発明に係るヘッドキャッピングの他の構成例を示す図である。本発明に係るヘッドキャッピング機構の動作を示す図である。本発明に係るヘッドキャッピング機構の動作を示す図である。本発明に係る液滴吐出装置の構成例を示す外観斜視図である。本発明に係る液滴吐出装置の構成例を示す平面図である。本発明に係る液滴吐出装置の構成例を示す側面図である。本発明に係る液滴吐出装置のヘッドプレートの構成例を示す図である。本発明に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドの配色パターンを説明する図である。本発明に係る液滴吐出装置の制御系の構成を示すブロック図である。カラーフィルタの配色パターンの説明図で、（ａ）はストライプ配列、（ｂ）はモザイク配列、（ｃ）はデルタ配列を示す。本発明に係る液滴吐出装置の描画処理の説明図で、（ａ）は第１描画動作、画動作、（ｃ）は第３描画動作についての平面模式図である。を示す図である。本発明に係る液滴吐出装置のＸ軸エアースライダ廻りの外観斜視図である。カラーフィルタの製造工程を示す模式図である。

符号の説明

１０液滴吐出ヘッド
１１ノズル
１２ノズル面
１３接続針
１４機能液導入部
１５ヘッド基板
１６ヘッド本体
１７キャビティ
１８ノズルプレート
１９配管アダプタ
２０コネクタ
２１ノズル列
３０ヘッドキャッピング機構
３１キャップ本体
３２パッキン部
３３キャップ
３４接触面部
３５突起部
３６保湿液収容部
３７保湿液センサ
３８保湿液供給部
３９保湿液吸引部
４０保湿液
４１排液口
４２排液流路
４３流量センサ
４５保湿液量測定部
４６余剰保湿液収容部
４７圧力センサ
５１分割キャンピングユニット
６０ヘッドキャッピングユニット
１００液滴吐出装置
１０２Ｘ軸支持ベース（石定盤）
１０３Ｙ軸支持ベース
１０４支柱
１０５架台
１１１Ｘ軸テーブル
１１２Ｙ軸テーブル
１１３ヘッドユニット
１１４フラッシングユニット
１１５吸引ユニット
１１６ワイピングユニット
１１７吐出不良検査ユニット
１１８制御手段
１２１セットテーブル
１２２Ｘ軸エアースライダ
１２３Ｘ軸ガイドレール
１３１吸着テーブル
１３２ θテーブル
１４１テーブル本体
１４２支持ベース
１４３吸引溝
１４４遊挿孔
１５１スライダ本体
１５２係合部
１６２ワークアライメントカメラ
１７１ブリッジプレート
１８１キャリッジユニット
１８２ヘッドユニット
１８３ヘッド保持プレート
１８４ヘッドプレート
１８５キャリッジ
２０１ θ回転機構
２０２吊設部材
２１１描画前フラッシングユニット
２１２定期フラッシングユニット
２２１描画前フラッシングボックス
２２３吸収材
２３１定期フラッシングボックス
２３２ボックス支柱部材
２３４シート吸収材
２４１分割吸収ユニット
２４２キャップユニット
２４３キャップ
２５１ワイピングシート
２５２巻取りユニット
２５３洗浄液供給ユニット
２５４拭取ユニット
２６１被描画ユニット
２６２撮像ユニット
２７１描画シート
２７２巻取り手段
２７３巻取り支持部材
２７４ユニットベース
２７５繰出しリール
２７６巻取りリール
２８１検査カメラ
２８２カメラホルダ
２８３カメラ移動機構
２９１液滴吐出部
２９２ワーク移動部
２９３ヘッド移動部
２９４メンテナンス部
２９５検出部
２９６駆動部
２９７制御部
３０１インターフェース
３０２ＲＡＭ
３０３ＲＯＭ
３０４ハードディスク
３０５ＣＰＵ
３０６バス

Claims

液滴吐出ヘッドのノズル面に装着されるキャップを備え、
前記キャップを、前記ノズル面に密着させるヘッドキャッピング機構であって、
前記キャップにはパッキン部が設けられてなり、
前記パッキン部は、前記ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺に前記ノズル面側に突出する突起部とを有し、前記接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、
前記キャップ本体には前記保湿液収容部に保湿液を供給する保湿液供給部と該保湿液収容部の保湿液を吸引する保湿液吸引部とが設けられてなり、
前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させて配置されてなり、前記ノズル面のノズル形成部を前記保湿液収容部に収容された保湿液に接液させることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
請求項１に記載のヘッドキャッピング機構において、
前記保湿液収容部に所定量の保湿液が収容されていることを検出する保湿液検出センサが配置されてなることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
請求項２に記載のヘッドキャッピング機構において、
前記保湿液検出センサは、前記パッキン部の前記突起部に設けられてなり、前記接触面部の保湿液収容部から溢れ出た前記保湿液を検出するセンサであることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
請求項２に記載のヘッドキャッピング機構において、
前記保湿液検出センサは、前記パッキン部の底部に設けた排液口を通って流れ出る保湿液を検出する流量センサであることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
液滴吐出ヘッドのノズル面に装着されるキャップを備え、
前記キャップを、前記ノズル面に密着させるヘッドキャッピング機構であって、
前記キャップにはパッキン部が設けられてなり、
前記パッキン部は、前記ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺に前記ノズル面側に突出する突起部とを有し、前記接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、
前記キャップ本体には前記保湿液収容部に保湿液を供給する保湿液供給部と該保湿液収容部の保湿液を吸引する保湿液吸引部とを設けられてなり、
前記パッキン部の接触面部に密接し保湿液収容部から溢れた保湿液が流入する所定容積の余剰保湿液収容部を具備する保湿液量測定部を備え、
前記保湿液量測定部の余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたら該保湿液量測定部を除去し、前記余剰保湿液収容部の前記保湿液を前記保湿液収容部に移し、前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させて配置されてなり、前記ノズル面のノズル形成部を前記保湿液収容部に収容された保湿液に接液させることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
請求項５に記載のヘッドキャッピング機構において、
前記保湿液量測定部の余剰保湿液収容部に保湿液が充填されたことを検出する保湿液充填センサが配置されてなることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
請求項６に記載のヘッドキャッピング機構において、
前記保湿液充填センサは、前記余剰保湿液収容部に充填された保湿液の圧力を検出する圧力センサであることを特徴とするヘッドキャッピング機構。
液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させるヘッドキャッピング方法であって、
前記キャップの保湿液供給部から前記キャップに設けられたパッキン部の前記ノズル面のノズル形成部に対向する保湿液収容部に保湿液を供給し、前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させ、該保湿液収容部に収容した保湿液に前記ノズル面のノズル形成部を接液させることを特徴とするヘッドキャッピング方法。
液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させて、前記ノズル面に形成されたノズルを封止するヘッドキャッピング方法であって、
前記キャップはキャップ本体にパッキン部を設けた構成であり、
前記パッキン部は、前記ノズル面に接触する接触面部と該接触面部の周辺に前記ノズル面側に突出する突起部とを有し、該接触面部の前記ノズル面のノズル形成部が対向する部分には保湿液を収容する保湿液収容部を設け、
前記キャップ本体の保湿液供給部から前記保湿液収容部に前記保湿液収容部の容積を超えて所定量の保湿液を供給し、
前記ノズル面に前記パッキン部の接触面部を当接させ、前記保湿液収容部に収容された保湿液に前記ノズル面のノズル形成部を接液させることを特徴とするヘッドキャッピング方法。
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のヘッドキャッピング機構と、機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備え、
前記液滴吐出ヘッドをワークに対向させ、該ワークに対し、前記液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液滴を選択的に吐出する描画手段とを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドをワークに対向させ、該ワークに対して該液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液滴を選択的に吐出して描画を形成する液滴吐出方法において、
前記機能液滴吐出停止中、請求項８又は９に記載のヘッドキャッピング方法を用いて前記液滴吐出ヘッドのノズル面のノズル形成部を保湿液に接液させる特徴とする液滴吐出方法。