JP2008112773A - 太陽電池パネルの製造方法及びシリコン薄膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この太陽電池パネルの製造方法は、基材2上にバッファ層3を形成する工程と、バッファ層3上に第1非晶質膜4を製膜する工程と、第1非晶質膜4に第1の正イオン5をドーピングする工程と、第1非晶質膜4をレーザアニールする工程と、第1非晶質膜4上に第2非晶質膜7を製膜する工程と、第2非晶質膜7をレーザアニールする工程と、第2非晶質膜7上に第3非晶質膜8を製膜する工程と、第3非晶質膜8に第2の正イオンを9ドーピングする工程と、第3非晶質膜8をレーザアニールする工程とを有している。
【選択図】図10
Description
以下、本発明の実施の形態に係る太陽電池パネルの製造方法について、図面を用いて説明する。なお、この太陽電池パネルの製造方法を10段階に分類し、各々図1〜図10に示して説明する。
S:太陽光
1:太陽電池パネル
2:基材
3:バッファ層
4:第1の非晶質シリコン薄膜(第1非晶質膜)
5:第1の正イオン
6,6a,6b:レーザ光
7:第2の非晶質シリコン薄膜(第2非晶質膜)
7b:核
8:第3の非晶質シリコン薄膜(第3非晶質膜)
9:第2の正イオン
10:金属層
Claims (12)
- 基材上にバッファ層を形成する工程と、
該バッファ層上に第1の非晶質シリコン薄膜を製膜する工程と、
該第1の非晶質シリコン薄膜に第1の正イオンをドーピングする工程と、
該第1の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程と、
該第1の非晶質シリコン薄膜上に第2の非晶質シリコン薄膜を製膜する工程と、
該第2の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程と、
該第2の非晶質シリコン薄膜上に第3の非晶質シリコン薄膜を製膜する工程と、
該第3の非晶質シリコン薄膜に第2の正イオンをドーピングする工程と、
該第3の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程と、を有することを特徴とする太陽電池パネルの製造方法。 - 前記基材が、樹脂又はガラスであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第1及び前記第3の非晶質シリコン薄膜の膜厚が、ともに30nm以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第2の非晶質シリコン薄膜を製膜する工程と、前記第2の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程とを、交互に繰り返す工程をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記1回の製膜工程において製膜される前記第2の非晶質シリコン薄膜の膜厚が200nm以上500nm以下であって、前記繰り返し工程の繰り返し数が4以上であることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第1、前記第2及び前記第3の非晶質シリコン薄膜をスパッタリングにより製膜することを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第1の正イオンが、砒素イオン又は燐イオンであることを特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第2の正イオンが、臭素イオンであることを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第1の非晶質シリコン薄膜を波長308nmのエキシマレーザによりレーザアニールすることを特徴とする請求項1から請求項8のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 前記第2の非晶質シリコン薄膜を波長532nmのYAGレーザによりレーザアニールすることを特徴とする請求項1から請求項9のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 該第3の非晶質シリコン薄膜上に金属層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項10のうちいずれか1項に記載の太陽電池パネルの製造方法。
- 製膜された第1の非晶質シリコン薄膜に第1の正イオンをドーピングする工程と、
該第1の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程と、
該第1の非晶質シリコン薄膜上に第2の非晶質シリコン薄膜を製膜する工程と、
該第2の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程と、
該第2の非晶質シリコン薄膜上に第3の非晶質シリコン薄膜を製膜する工程と、
該第3の非晶質シリコン薄膜に第2の正イオンをドーピングする工程と、
該第3の非晶質シリコン薄膜をレーザアニールする工程と、を有することを特徴とするシリコン薄膜の形成方法。
Priority Applications (1)
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JP2006293508A JP2008112773A (ja) | 2006-10-30 | 2006-10-30 | 太陽電池パネルの製造方法及びシリコン薄膜の形成方法 |
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JP (1) | JP2008112773A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8993919B2 (en) | 2010-04-20 | 2015-03-31 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser source and laser beam machine |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002170772A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Sharp Corp | 結晶薄膜製造装置、結晶薄膜製造方法および結晶薄膜素子 |
-
2006
- 2006-10-30 JP JP2006293508A patent/JP2008112773A/ja active Pending
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