JP2008111800A - 電圧印加下における電子分光測定装置 - Google Patents
電圧印加下における電子分光測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008111800A JP2008111800A JP2006296406A JP2006296406A JP2008111800A JP 2008111800 A JP2008111800 A JP 2008111800A JP 2006296406 A JP2006296406 A JP 2006296406A JP 2006296406 A JP2006296406 A JP 2006296406A JP 2008111800 A JP2008111800 A JP 2008111800A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- sample
- electron
- chamber
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 0 *C[C@@]1C(CC2)C=C2C1 Chemical compound *C[C@@]1C(CC2)C=C2C1 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】電子分光測定装置は、真空チャンバー内に配置した多層構造を有する試料の上層に電気的に接続する第一端子と、前記試料の下層に電気的に接続する第二端子と、前記チャンバー外に配置した変圧式電圧印下器と、前記両端子と変圧印可器の出力端子とを前記チャンバーの隔壁を貫通して接続する配線とにより構成された電圧印可装置を有することを特徴とする。
【選択図】図13
Description
電圧印加下の測定例としては、非特許文献1の251ページに「Pt/InPのPt層をグランドに、InPが電気的にコンタクトしているサンプルプレートをポテンショスタットに接続してXPS測定をした」と記述されているが、それを可能にする方法について具体的記述は無い。また、電圧を印加する方法が限られるため、フラットバンド電圧やショットキーバリア高さなど、デバイス動作時の電気特性と関連させる計測法となっていない。
このような従来方法では、印下電圧を連続的に変化させて各層間に生じるポテンシャル差を調査することは困難であった。
Solid Stake Communications, Vol.92, No.3, pp.249−254, 1994
具体的には、MOS構造、MIM構造など、非オーミックコンタクトを持つ界面構造を有する試料の上下に、連続的に可変な電圧を印加した状態で、電子スペクトルの取得が可能である。この電子スペクトルから、非オーミックコンタクトの起こっている界面を特定することができる。また、ショットキーバリア高さ、フラットバンド電圧などを電子分光的に求めることができ、直接デバイスの電気特性測定結果と比較することができる。
図2に、MOS構造を例に、電極間の電位が異なる2つの状態(V=0とV=V)におけるM、O、Siそれぞれからの光電子結合エネルギーEM、EO、ESiの違いからどのようなことが言えるかを示してある。
非オーミックコンタクトを持つ界面構造を有する試料(S)の上部に電極(1)、下部に電極(2)をつけ、電線(L1)及び(L2)を通して真空容器外に電極端子を取り出す。それぞれの電線はオンオフスイッチ(3)及び(4)を介して可変式の定電圧発生器(5)に接続し、(3)または(4)のいずれかはスイッチ(6)を介してアースに接続するようになっている。スイッチ(3)、(4)、(6)のオンオフにより、下記の実施例に示すように様々な電圧印加状態を実現する。
前記電線(L1)(L2)は真空容器の隔壁(H)を貫通するものであるから、密封手段を採用してあるのは当然であり、その具体的な内容は公知であるから省略する。
また、下部電極は、試料に直接取り付けるのではなく、試料ステージに取り付け、試料下面と試料ステージとが通電状態になるように設置することも同様な効果を発揮させることが出来る。
また、上記構成は従来周知の何れの電子分光測定装置に対しても問題なく適用できるものである。
図2は、p型SiをSとする理想MOS構造に電圧を印加したとき(V=V)と印加しないとき(V=0)のM、Sのバンドエネルギー図である。
V=0(MとSの双方がアースポテンシャルになっている)では、Mの仕事関数φm(MのフェルミレベルEFと真空レベルEVACとの差)とSの電子親和力EAの大きさが異なるのでSの伝導帯Ecと価電子帯Evが界面でバンドベンディングする。このときのM、O、S各層の内殻電子の結合エネルギーをEM(0)、EO(0)、Esi(0)とする。次に、V=Vで内殻電子の結合エネルギーを測定したところ、それぞれ、EM(V)、EO(V)、Esi(V)とする。このとき、EM(V)=EM(0)+Vとなっている。すべての界面がオーミックコンタクトなら、EO(V)=EO(0)+V、Esi(V)=Esi(0)+Vとなるはずだが、実際にはそうならない。EO(V)−EO(0)−Vの値から、M−O界面(界面1)に蓄積された電荷によるポテンシャル変化の量、Esi(V)−Esi(0)−(EO(V)−EO(0))の値からO−S界面(界面2)に蓄積された電荷によるポテンシャル変化の量を求めることができる。また、バンドベンディングがゼロになる印加電圧(フラットバンド電圧)の時に、上記の関係式により界面1および界面2に蓄積された電荷を求めることにより、フラットバンド電圧が決まるメカニズムがわかる。
図5より、Siに印加した電圧によってPtのピークがシフトしていることから、回路全体に漏れ電流が発生していて、漏れ電流による電圧降下があることがわかる。また、印加した電圧よりもシフト量が少ないことから、Si−HfOxを経てPtに至るまでの間に電圧降下の要因があることがわかる。
図3のような構造を持つ試料に、図に示したように上下に電極を接続し、上下電極に図6に示すような電気的状況下でX線光電子分光(XPS)測定を行った。その結果、印加した電圧に応じてXPSスペクトルがシフトした。図7に示したのは、Pt4f7/2のピークのシフトする様子である。
図7より、Siに印加した電圧によってPtのピークがシフトしており、そのシフト量が印加した電圧と同じであることから、漏れ電流がなければ(回路として上部を開いているので、電流が流れない)、Si−HfOxを経てPtに至るまでの間に電圧降下は起こっていないことがわかる。
図3のような構造を持つ試料に、図に示したように上下に電極を接続し、上下電極に図8に示すような電気的状況下でX線光電子分光(XPS)測定を行った。その結果、印加した電圧に応じてXPSスペクトルがシフトした。図9に示したのは、Pt4f7/2のピークのシフトする様子である。
図9より、上部金属に印加した電圧よりもPtのピークのシフト量が少ないことから、回路全体に漏れ電流が発生していて、漏れ電流による電圧降下があることがわかる。
図3のような構造を持つ試料に、図に示したように上下に電極を接続し、上下電極に図10に示すような電気的状況下でX線光電子分光(XPS)測定を行った。その結果、印加した電圧に応じてXPSスペクトルがシフトした。図11に示したのは、Pt4f7/2のピークのシフトする様子である。
図11より、上部金属に印加した電圧によってPtのピークがシフトしており、そのシフト量が印加した電圧と同じであることから、漏れ電流がなければ(回路として下部を開いているので、電流が流れない)、電圧降下は起こっていないことがわかる。
図3のような構造を持ち、上部の金属層が前期の例よりも薄い試料に、図に示したように上下に電極を接続し、上下電極に図8に示すような電気的状況下でX線光電子分光(XPS)測定を行った。その結果、印加した電圧に応じてXPSスペクトルがシフトした。図12に示したのは、Pt4f7/2とHf4f7/2のピークのシフトする様子である。
図12より、上部金属に印加した電圧が同じ時に、PtとHfのピークのシフト量を比較することで、電圧降下の起こっている場所を特定することができる。ピークのシフト量の違いは、PtとHfO2との間に形成されている電気二重層による電位に相当する(図2を参照)。
実施例ではAlKαX線による光電子スペクトルを測定しているが、電子の相対的電位が反映される手法であることが、本技術の要件なので、オージェ電子スペクトル、紫外線励起や他の特性X線、放射光など様々なエネルギーの光源による光電子スペクトル測定など、電子分光スペクトルの種類を問わずに適用できる。
実施例では図13に示した配線を用いているが、スイッチ3、4の機能を一体化した図14に示すロータリースイッチを用いた配線も可能である。
MOSデバイスで問題が生じている場合に、その原因を特定するに役立つ(それが電圧印加により誘起される問題かどうか、電圧印加に対して可逆的現象なのかなど)。
MIM構造において、トンネル電子を引き出すために必要な電圧や、トンネル電子のエネルギー分布が予測できる。
MOS、MIM構造のブレークダウン電圧が予測できる。
(2)下部電極
(3)(4)(6)オンオフスイッチ
(L1)(L2)電線
(H)真空容器の隔壁
(8)ロータリースイッチ
(A)(A‘)(B)通電部
(3a)(3b)電線(L1)の端子
(4a)(4b))電線(L2)の端子
Claims (3)
- 電圧印加下における電子分光測定装置であって、真空チャンバー内に配置した多層構造を有する試料の上層に電気的に接続する第一端子と、前記試料の下層に電気的に接続する第二端子と、前記チャンバー外に配置した可変式定電圧発生器と、前記両端子と可変式定電圧発生器の出力端子とを前記チャンバーの隔壁を貫通して接続する配線とにより構成された電圧印可装置を有することを特徴とする電子分光測定装置
- 請求項1に記載の電子分光測定装置において、その電圧印可装置には、前記配線の途中には、端子との接続をON−OFFするスイッチが設けてあることを特徴とする電子分光測定装置
- 請求項1又は2に記載の電子分光測定装置において、その電圧印可装置には、前記変圧印可器の出力端子の何れか一方をアースに接続する切り替えスイッチが設けてあることを特徴とする電子分光測定装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006296406A JP5229848B2 (ja) | 2006-10-31 | 2006-10-31 | 電圧印加下における電子分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006296406A JP5229848B2 (ja) | 2006-10-31 | 2006-10-31 | 電圧印加下における電子分光測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008111800A true JP2008111800A (ja) | 2008-05-15 |
JP5229848B2 JP5229848B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=39444375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006296406A Expired - Fee Related JP5229848B2 (ja) | 2006-10-31 | 2006-10-31 | 電圧印加下における電子分光測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5229848B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018109566A (ja) * | 2017-01-05 | 2018-07-12 | 富士通株式会社 | X線分析装置及び強誘電体の分極特性評価方法 |
JP2021032706A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 国立大学法人 東京大学 | 電子顕微鏡 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06109672A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-04-22 | Jeol Ltd | 光電子分光装置 |
JPH07283284A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-27 | Texas Instr Inc <Ti> | 金属−酸化膜−半導体デバイスすなわちmosデバイス及びショットキーデバイスをバイアス電圧印加時の光電子スペクトルを測定することにより評価する方法 |
JPH08203970A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Hitachi Ltd | X線利用半導体評価装置 |
JPH09162253A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Hitachi Ltd | 半導体評価装置 |
JP2001281180A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Canon Inc | 光電子分光装置を用いた測定方法及び試料前処理方法 |
JP2001343340A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Canon Inc | 光電子分光装置および測定方法 |
JP2002243672A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-28 | Jeol Ltd | X線分析装置 |
-
2006
- 2006-10-31 JP JP2006296406A patent/JP5229848B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06109672A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-04-22 | Jeol Ltd | 光電子分光装置 |
JPH07283284A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-27 | Texas Instr Inc <Ti> | 金属−酸化膜−半導体デバイスすなわちmosデバイス及びショットキーデバイスをバイアス電圧印加時の光電子スペクトルを測定することにより評価する方法 |
JPH08203970A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Hitachi Ltd | X線利用半導体評価装置 |
JPH09162253A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Hitachi Ltd | 半導体評価装置 |
JP2001281180A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Canon Inc | 光電子分光装置を用いた測定方法及び試料前処理方法 |
JP2001343340A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Canon Inc | 光電子分光装置および測定方法 |
JP2002243672A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-28 | Jeol Ltd | X線分析装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6011051394; 小林光: '半導体バンドギャップ内の界面準位を分光学的に観測する新規技術' 生産と技術 第51巻,第4号, 19991025, P.14-20 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018109566A (ja) * | 2017-01-05 | 2018-07-12 | 富士通株式会社 | X線分析装置及び強誘電体の分極特性評価方法 |
JP2021032706A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 国立大学法人 東京大学 | 電子顕微鏡 |
JP7304624B2 (ja) | 2019-08-23 | 2023-07-07 | 国立大学法人 東京大学 | 電子顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5229848B2 (ja) | 2013-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Grillo et al. | A current–voltage model for double Schottky barrier devices | |
Afanas’Ev et al. | Internal photoemission at interfaces of high-κ insulators with semiconductors and metals | |
Weiland et al. | Recent applications of hard x-ray photoelectron spectroscopy | |
Levine et al. | Can we use time-resolved measurements to get steady-state transport data for halide perovskites? | |
Sezen et al. | XPS for chemical-and charge-sensitive analyses | |
Wang et al. | Modulation of nonlinear resistive switching behavior of a TaOx-based resistive device through interface engineering | |
Blank et al. | A model for multistep trap-assisted tunneling in thin high-k dielectrics | |
US20230091364A1 (en) | Magnetic tunnel junction (mtj) device and forming method thereof | |
Koepf et al. | Controlling the rectification properties of molecular junctions through molecule–electrode coupling | |
Belkin et al. | Recovery of alumina nanocapacitors after high voltage breakdown | |
Pešić et al. | Impact of charge trapping on the ferroelectric switching behavior of doped HfO2 | |
Afanas' ev et al. | Internal photoemission metrology of inhomogeneous interface barriers | |
Dubuis et al. | Oxygen displacement in cuprates under ionic liquid field-effect gating | |
JP5229848B2 (ja) | 電圧印加下における電子分光測定装置 | |
Baeumer et al. | Spectroscopic elucidation of ionic motion processes in tunnel oxide-based memristive devices | |
Shi et al. | The effects of interfacial recombination and injection barrier on the electrical characteristics of perovskite solar cells | |
Marquardt et al. | Impedance Spectroscopy on Hafnium Oxide‐Based Memristive Devices | |
Jeliazova et al. | Temperature stability of thin anodic oxide films in metal/insulator/metal structures: A comparison between tantalum and aluminium oxide | |
US20080223118A1 (en) | Scanning probe apparatus with in-situ measurement probe tip cleaning capability | |
Martinez et al. | Properties of innovative resistive memories studied by X‐ray and UV photoemission | |
Komiya et al. | Spectroscopic characterization of stress-induced leakage current in sub 5-nm-thick silicon oxide film | |
Comizzoli et al. | Electrical conduction mechanism in semi‐insulating polycrystalline silicon films | |
Kudla et al. | Photoelectrical measurements of the local value of the contact potential difference in the metal–insulator semiconductor (MIS) structures | |
Vigneron et al. | Cathodic decomposition of InP studied by XPS | |
Henrichsen et al. | Electrical conductivity of organic single-nanofiber devices with different contact materials |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130314 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5229848 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |