JP2008107458A - Photosensitive resin composition and photosensitive element - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 46
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 150000002762 monocarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 claims abstract description 7
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 claims abstract description 7
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims abstract description 5
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- -1 phosphate ester Chemical class 0.000 claims description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 19
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract description 9
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 abstract 1
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 84
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 42
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 42
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 238000011161 development Methods 0.000 description 19
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 19
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 14
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 8
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 7
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 6
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 6
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 6
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000007934 α,β-unsaturated carboxylic acids Chemical class 0.000 description 5
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KJFMBFZCATUALV-UHFFFAOYSA-N phenolphthalein Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C2=CC=CC=C2C(=O)O1 KJFMBFZCATUALV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 3
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 3
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001463 antimony compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002366 halogen compounds Chemical class 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 3
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CC(C)=CC2C(=O)OC(=O)C12 MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 2
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 2
- NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N N-phenylglycine Chemical compound OC(=O)CNC1=CC=CC=C1 NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical group C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N m-xylene Chemical group CC1=CC=CC(C)=C1 IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229940059574 pentaerithrityl Drugs 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N toluene 2,6-diisocyanate Chemical compound CC1=C(N=C=O)C=CC=C1N=C=O RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 2
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 2
- FEIQOMCWGDNMHM-KBXRYBNXSA-N (2e,4e)-5-phenylpenta-2,4-dienoic acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C=C\C1=CC=CC=C1 FEIQOMCWGDNMHM-KBXRYBNXSA-N 0.000 description 1
- CDUQMGQIHYISOP-RMKNXTFCSA-N (e)-2-cyano-3-phenylprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(\C#N)=C\C1=CC=CC=C1 CDUQMGQIHYISOP-RMKNXTFCSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- SBJCUZQNHOLYMD-UHFFFAOYSA-N 1,5-Naphthalene diisocyanate Chemical compound C1=CC=C2C(N=C=O)=CC=CC2=C1N=C=O SBJCUZQNHOLYMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940008841 1,6-hexamethylene diisocyanate Drugs 0.000 description 1
- LMGYOBQJBQAZKC-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethylphenyl)-2-hydroxy-2-phenylethanone Chemical compound CCC1=CC=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 LMGYOBQJBQAZKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RLOIVWPKZYTEIK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-[2-[4-[2-[4-[2-[2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C(=O)(C=C)OCCOCCOCCOCCOCCOC1=CC=C(C(C)(C)C2=CC=C(OCCOCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C)C=C2)C=C1 RLOIVWPKZYTEIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIAWCKFOFPPVGF-UHFFFAOYSA-N 2-ethyladamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1C(CC)C2C3 LIAWCKFOFPPVGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004808 2-ethylhexylester Substances 0.000 description 1
- VZMLJEYQUZKERO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(2-methylphenyl)-2-phenylethanone Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 VZMLJEYQUZKERO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C(C=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNCQITRZEBFIRW-UHFFFAOYSA-N 3,5-dibromo-2-(2,4-dibromophenoxy)phenol Chemical group OC1=CC(Br)=CC(Br)=C1OC1=CC=C(Br)C=C1Br SNCQITRZEBFIRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 3-piperidin-1-ylpropane-1,2-diol Chemical compound OCC(O)CN1CCCCC1 MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JKZFRKHYUVIIFN-UHFFFAOYSA-N 4-(furan-2-yl)but-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=CCC1=CC=CO1 JKZFRKHYUVIIFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 9,10-phenanthroquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=O)C3=CC=CC=C3C2=C1 YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 9-phenylacridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGXHYQAQEKLYFL-UHFFFAOYSA-N C=CC(OC(COCCOCCOCCO)O)=O.N=C=O Chemical compound C=CC(OC(COCCOCCOCCO)O)=O.N=C=O MGXHYQAQEKLYFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 1
- OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N Leucocrystal Violet Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XOMPUFACNHSNPC-UHFFFAOYSA-N N=C=O.N=C=O.CC1=CC=CC=C1C Chemical compound N=C=O.N=C=O.CC1=CC=CC=C1C XOMPUFACNHSNPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N Phenyl glycidyl ether Chemical compound C1OC1COC1=CC=CC=C1 FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N TOTP Chemical compound CC1=CC=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC=CC=1)C)OC1=CC=CC=C1C YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- ARNIZPSLPHFDED-UHFFFAOYSA-N [4-(dimethylamino)phenyl]-(4-methoxyphenyl)methanone Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 ARNIZPSLPHFDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001251 acridines Chemical class 0.000 description 1
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N acrylic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 229940058905 antimony compound for treatment of leishmaniasis and trypanosomiasis Drugs 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 229940027998 antiseptic and disinfectant acridine derivative Drugs 0.000 description 1
- 150000008365 aromatic ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)OCC2OC2)C=1C(=O)OCC1CO1 JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIKYOFDZBWIHTF-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C1CC=CC(C(=O)OCC2OC2)C1C(=O)OCC1CO1 KIKYOFDZBWIHTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N bis[4-(diethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(CC)CC)C=C1 VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002981 blocking agent Substances 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 1
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 125000000332 coumarinyl group Chemical class O1C(=O)C(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- ARUKYTASOALXFG-UHFFFAOYSA-N cycloheptylcycloheptane Chemical compound C1CCCCCC1C1CCCCCC1 ARUKYTASOALXFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQWGXHWJMSMDJJ-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl isocyanate Chemical compound O=C=NC1CCCCC1 KQWGXHWJMSMDJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N desyl alcohol Natural products C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012216 imaging agent Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 description 1
- 231100000053 low toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 229940107698 malachite green Drugs 0.000 description 1
- FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M malachite green Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)=C1C=CC(=[N+](C)C)C=C1 FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229940086559 methyl benzoin Drugs 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N methylhexahydrophthalic anhydride Chemical compound C1CCCC2C(=O)OC(=O)C21C VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- JAYXSROKFZAHRQ-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(oxiran-2-ylmethyl)aniline Chemical compound C1OC1CN(C=1C=CC=CC=1)CC1CO1 JAYXSROKFZAHRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHIVNJATOVLWBW-UHFFFAOYSA-N n-butan-2-ylidenehydroxylamine Chemical compound CCC(C)=NO WHIVNJATOVLWBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- FAIAAWCVCHQXDN-UHFFFAOYSA-N phosphorus trichloride Chemical compound ClP(Cl)Cl FAIAAWCVCHQXDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- QVKOLZOAOSNSHQ-UHFFFAOYSA-N prop-1-ene;prop-2-enoic acid Chemical group CC=C.OC(=O)C=C QVKOLZOAOSNSHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O thiamine pyrophosphate Chemical compound CC1=C(CCOP(O)(=O)OP(O)(O)=O)SC=[N+]1CC1=CN=C(C)N=C1N AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- LMYRWZFENFIFIT-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(N)(=O)=O)C=C1 LMYRWZFENFIFIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004992 toluidines Chemical class 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphate Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)(=O)OC1=CC=CC=C1 XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOWVWXQNQNCRRS-UHFFFAOYSA-N tris(2,4-dimethylphenyl) phosphate Chemical compound CC1=CC(C)=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC(C)=CC=1)C)OC1=CC=C(C)C=C1C KOWVWXQNQNCRRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
Description
本発明は、感光性樹脂組成物及び感光性エレメントに関するものである。 The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photosensitive element.
プリント配線板の製造業界では、従来より、プリント配線板上にソルダーレジストを形成することが行われている。このソルダーレジストは、実装部品をプリント配線板に接合するためのはんだ付け工程において、プリント配線板の導体層の不要な部分にはんだが付着することを防ぐ役割を有している他、実装部品接合後のプリント配線板の使用時においては導体層の腐食を防止したり導体層間の電気絶縁性を保持したりする永久マスクとしての役割も有している。 In the printed wiring board manufacturing industry, conventionally, a solder resist is formed on a printed wiring board. This solder resist has a role to prevent solder from adhering to unnecessary portions of the conductor layer of the printed wiring board in the soldering process for bonding the mounted part to the printed wiring board. When the printed wiring board is used later, it also serves as a permanent mask for preventing corrosion of the conductor layer and maintaining electrical insulation between the conductor layers.
ソルダーレジストの形成方法としては、例えば、プリント配線板の導体層上に熱硬化性樹脂をスクリーン印刷する方法が知られているが、このような方法ではレジストパターンの高解像度化に限界があるため、近年のプリント配線板の高密度化に対応させることが困難になってきている。 As a method for forming a solder resist, for example, a method of screen printing a thermosetting resin on a conductor layer of a printed wiring board is known. However, since such a method has a limit in increasing the resolution of a resist pattern. However, it has become difficult to cope with the recent increase in the density of printed wiring boards.
そこで、レジストパターンの高解像度化を達成するために、フォトレジスト法が盛んに用いられるようになってきている。このフォトレジスト法は、基板上に感光性樹脂組成物からなる感光層を形成し、この感光層を所定パターンの露光により硬化させ、未露光部分を現像により除去して所定パターンの硬化膜を形成するものである。また、かかる方法に使用される感光性樹脂組成物は、作業環境保全、地球環境保全の点から、炭酸ナトリウム水溶液等の希アルカリ水溶液で現像可能なアルカリ現像型のものが主流になってきている。このような感光性樹脂組成物としては、例えば、下記特許文献1記載の液状レジストインキ組成物や、下記特許文献2記載の感光性熱硬化性樹脂組成物などが知られている。 Therefore, in order to achieve high resolution of the resist pattern, the photoresist method has been actively used. In this photoresist method, a photosensitive layer made of a photosensitive resin composition is formed on a substrate, the photosensitive layer is cured by exposure of a predetermined pattern, and an unexposed portion is removed by development to form a cured film of a predetermined pattern. To do. In addition, the photosensitive resin composition used in such a method is mainly an alkali development type that can be developed with a dilute aqueous alkali solution such as an aqueous sodium carbonate solution from the viewpoint of conservation of the working environment and global environment. . As such a photosensitive resin composition, for example, a liquid resist ink composition described in Patent Document 1 below and a photosensitive thermosetting resin composition described in Patent Document 2 below are known.
ところで、近年、各種工業製品の火災に対する難燃化の規制が厳しくなっており、プリント配線板等に使用される材料も例外ではない。難燃化する方法としては、ハロゲン系化合物、アンチモン系化合物、リン系化合物、ホウ素系化合物、無機充填剤等を添加する方法が一般的に知られている。しかし、最近では、環境問題、人体に対する安全性問題への関心の高まりと共に、非公害性、低有毒性、安全性へと重点が移り、単に燃えにくいだけでなく、有害ガス及び発煙性物質の低減が要望されつつある。これを受けて、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を使用しない難燃基板が既に開発・実用化され始めている。 By the way, in recent years, regulations on flame retardancy of various industrial products against fire have become stricter, and materials used for printed wiring boards and the like are no exception. As a flame retardant method, a method of adding a halogen compound, an antimony compound, a phosphorus compound, a boron compound, an inorganic filler or the like is generally known. However, recently, with increasing interest in environmental issues and human safety issues, the focus has shifted to non-polluting, low toxic and safety, not only flammable but also harmful gases and fuming substances. Reduction is being demanded. In response, flame retardant substrates that do not use halogen compounds or antimony compounds have already been developed and put into practical use.
しかしながら、上記のような難燃基板上に、上記特許文献1及び2に記載されているような従来の感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成すると、十分な難燃性(UL94 V−0)を確保することができなくなってしまうことが本発明者らの検討により判明している。 However, when a cured film is formed on the above flame retardant substrate using the conventional photosensitive resin composition as described in Patent Documents 1 and 2, sufficient flame retardancy (UL94 V- It has been found by the examination of the present inventors that 0) cannot be secured.
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、アルカリ現像性、難燃性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、このような感光性樹脂組成物からなる感光層を備える感光性エレメントを提供することをも目的とする。 Then, this invention is made | formed in view of the said situation, and it aims at providing the photosensitive resin composition excellent in alkali developability and a flame retardance. Another object of the present invention is to provide a photosensitive element having a photosensitive layer made of such a photosensitive resin composition.
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、特定の構造を有する希アルカリ水溶液に可溶な樹脂と、リン含有難燃剤を感光性樹脂組成物に含有させることで上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have made the photosensitive resin composition contain a resin soluble in a dilute alkaline aqueous solution having a specific structure and a phosphorus-containing flame retardant. The inventors have found that the object can be achieved and have completed the present invention.
本発明は、以下に関する。
1. (A)(a)下記一般式(1)で示されるエポキシ樹脂と(b)不飽和結合含有モノカルボン酸と(c)多塩基性カルボン酸無水物と、の反応物である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂と、(B)フェノキシフォスファゼン化合物と、(C)少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有する化合物と、(D)光重合開始剤と、(E)熱硬化剤と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
The present invention relates to the following.
1. (A) (a) a dilute alkaline aqueous solution that is a reaction product of an epoxy resin represented by the following general formula (1), (b) an unsaturated bond-containing monocarboxylic acid, and (c) a polybasic carboxylic acid anhydride. A soluble resin, (B) a phenoxyphosphazene compound, (C) a compound having at least one ethylenically unsaturated bond, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a thermosetting agent. A photosensitive resin composition characterized by containing.
[式(1)中、nは平均値を示し0〜10の数を示し、P、Rは水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、アリール基のいずれかを示し、P、Rはお互いに同一であっても異なっていてもよく、Gはグリシジル基を示す。]
[In the formula (1), n represents an average value and represents a number of 0 to 10, P and R each represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an aryl group, and P and R represent one another. May be the same or different, and G represents a glycidyl group. ]
2. (B)フェノキシフォスファゼン化合物が、下記一般式(2)で示される環状構造を有する化合物及び/又は下記一般式(3)で表される鎖状構造を有する化合物を含有することを特徴とする項1に記載の感光性樹脂組成物。 2. (B) The phenoxyphosphazene compound contains a compound having a cyclic structure represented by the following general formula (2) and / or a compound having a chain structure represented by the following general formula (3): Item 2. The photosensitive resin composition according to Item 1.
(式(2)中、mは1〜20の整数を示す。) (In formula (2), m represents an integer of 1 to 20.)
(式(3)中、nは1〜20の整数を示す。)
(In formula (3), n represents an integer of 1 to 20)
3. 更に(F)リン酸エステルを含有する項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
4. 感光性樹脂組成物中の(A)成分の含有量が35〜70重量%であり、かつ、リン含有量が1.5〜5.0重量%であることを特徴とする項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
5. フレキシブル基材上に項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用い硬化膜を形成した基板。
6. プリント配線板の永久マスク形成に用いられる項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
7. 支持体と、該支持体上に形成された項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備えることを特徴とする感光性エレメント。
3. Item 3. The photosensitive resin composition according to Item 1 or 2, further comprising (F) a phosphate ester.
4). Item 1-3, wherein the content of the component (A) in the photosensitive resin composition is 35 to 70% by weight and the phosphorus content is 1.5 to 5.0% by weight. The photosensitive resin composition in any one.
5. The board | substrate which formed the cured film using the photosensitive resin composition in any one of claim | item 1 -4 on the flexible base material.
6). Item 5. The photosensitive resin composition according to any one of Items 1 to 4, which is used for forming a permanent mask of a printed wiring board.
7). A photosensitive element comprising: a support; and a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition according to any one of Items 1 to 4 formed on the support.
本発明によれば、アルカリ現像性、難燃性、及び可とう性に優れた硬化膜を高解像度で効率よく形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photosensitive resin composition and photosensitive element which can form efficiently the cured film excellent in alkali developability, a flame retardance, and flexibility with high resolution can be provided.
すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、(A)(a)前記一般式(1)で示されるエポキシ樹脂と(b)不飽和結合含有モノカルボン酸と(c)多塩基性カルボン酸無水物と、の反応物である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂と、(B)フェノキシフォスファゼン化合物と、(C)少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有する化合物と、(D)光重合開始剤と、(E)熱硬化剤と、を含有することを特徴とする。 That is, the photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) (a) an epoxy resin represented by the general formula (1), (b) an unsaturated bond-containing monocarboxylic acid, and (c) a polybasic carboxylic acid anhydride. A resin soluble in a dilute alkaline aqueous solution, (B) a phenoxyphosphazene compound, (C) a compound having at least one ethylenically unsaturated bond, and (D) initiation of photopolymerization. And (E) a thermosetting agent.
本発明の感光性樹脂組成物は、上記(A)〜(E)成分を含有することにより、希アルカリ水溶液による現像が可能となるともに、該感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜の難燃性を高い水準で満足させることができる。よって、本発明の感光性樹脂組成物によれば、十分な難燃性を有する硬化膜を高解像度で効率よく形成することが可能となる。 When the photosensitive resin composition of the present invention contains the components (A) to (E), development with a dilute alkaline aqueous solution is possible, and a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition. The flame retardancy of can be satisfied at a high level. Therefore, according to the photosensitive resin composition of the present invention, a cured film having sufficient flame retardancy can be efficiently formed with high resolution.
また、本発明の感光性樹脂組成物によれば、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を含まずに硬化膜の難燃性を十分高いものとすることができることから、例えば、プリント配線板の環境負荷や毒性を低減することが可能となる。特に、本発明の感光性樹脂組成物を非ハロゲン系或いは非アンチモン系の難燃基板に適用する場合、上記の効果が更に有効に奏される。 Further, according to the photosensitive resin composition of the present invention, since the flame retardancy of the cured film can be made sufficiently high without containing a halogen compound or an antimony compound, for example, the environmental load of a printed wiring board And toxicity can be reduced. In particular, when the photosensitive resin composition of the present invention is applied to a non-halogen-based or non-antimony-based flame retardant substrate, the above-described effects are more effectively exhibited.
本発明の感光性樹脂組成物においては、(A)成分である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂は、(a)一般式(1)で示されるエポキシ樹脂と(b)不飽和結合含有モノカルボン酸と(c)多塩基性カルボン酸無水物と、の反応物であることを特徴とする。上記一般式(1)のような構造を持つ希アルカリ水溶液に可溶な樹脂を感光性樹脂組成物に含有させることによって、アルカリ現像性と難燃性の両立が可能となる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, the resin soluble in the dilute aqueous alkali solution (A) is (a) an epoxy resin represented by the general formula (1) and (b) an unsaturated bond-containing monocarboxylic acid. It is a reaction product of an acid and (c) a polybasic carboxylic acid anhydride. By making the photosensitive resin composition contain a resin soluble in a dilute alkaline aqueous solution having the structure of the above general formula (1), both alkali developability and flame retardancy can be achieved.
また、(B)成分であるフェノキシフォスファゼン化合物が一般式(2)で示される環状構造を有する化合物及び/又は一般式(3)で表される鎖状構造を有する化合物であるとさらに好ましい。これにより感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜が十分な難燃性を有することができる。また上記一般式(2)で示されるフェノキシフォスファゼン化合物は加水分解しにくい構造であり、電気絶縁性を低下させるイオン性不純物の発生を有効に防止することができるため、硬化膜は優れた絶縁信頼性を有することができる。 Further, the phenoxyphosphazene compound as the component (B) is more preferably a compound having a cyclic structure represented by the general formula (2) and / or a compound having a chain structure represented by the general formula (3). . Thereby, the cured film obtained by hardening | curing the photosensitive resin composition can have sufficient flame retardance. Further, the phenoxyphosphazene compound represented by the general formula (2) has a structure that is difficult to hydrolyze, and can effectively prevent the generation of ionic impurities that lower the electrical insulation, so that the cured film is excellent. It can have insulation reliability.
感光性樹脂組成物は、さらに(F)リン酸エステルを含有しても良い。これにより硬化膜の難燃性をさらに向上することができ、またリン酸エステルが可塑剤として働くため、硬化膜の可とう性がさらに向上できる。 The photosensitive resin composition may further contain (F) a phosphate ester. Thereby, the flame retardance of the cured film can be further improved, and since the phosphate ester functions as a plasticizer, the flexibility of the cured film can be further improved.
感光性樹脂組成物の硬化膜が良好な難燃性を有するためには、感光性樹脂組成物中の(A)成分の含有量が、35〜70重量%であると好ましい。また、感光性樹脂組成物中のリン含有量が、1.5〜5.0重量%であると好ましい。 In order for the cured film of the photosensitive resin composition to have good flame retardancy, the content of the component (A) in the photosensitive resin composition is preferably 35 to 70% by weight. Moreover, it is preferable in the photosensitive resin composition that phosphorus content is 1.5 to 5.0 weight%.
該感光性樹脂組成物の硬化膜をポリイミドなどのフレキシブル基材上形成した基板は、難燃性を有することを特徴とする。該感光性樹脂組成物は、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を含まずに硬化膜の難燃性を十分高いものとすることができることから、例えば、プリント配線板の環境負荷や毒性を低減することが可能となる。 The board | substrate which formed the cured film of this photosensitive resin composition on flexible base materials, such as a polyimide, has a flame retardance, It is characterized by the above-mentioned. The photosensitive resin composition does not contain a halogen-based compound or an antimony-based compound and can make the cured film sufficiently high in flame retardancy. For example, it reduces the environmental load and toxicity of a printed wiring board. Is possible.
本発明の感光性樹脂組成物は、十分な難燃性を有する硬化膜を高解像度で形成でき、十分な可とう性を有することから、プリント配線板、特にフレキシブルプリント配線板の永久マスク形成に用いられるものであることが好ましい。 Since the photosensitive resin composition of the present invention can form a cured film having sufficient flame retardancy with high resolution and has sufficient flexibility, it is suitable for forming a permanent mask of a printed wiring board, particularly a flexible printed wiring board. It is preferable to be used.
また、本発明は、支持体と、該支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光層とを備えることを特徴とする感光性エレメントを提供する。 Moreover, this invention provides the photosensitive element characterized by including a support body and the photosensitive layer which consists of the said photosensitive resin composition of this invention formed on this support body.
本発明の感光性エレメントによれば、本発明の感光性樹脂組成物からなる感光層を備えることにより、十分な難燃性を有する硬化膜を高解像度で効率よく形成することが可能となる。 According to the photosensitive element of the present invention, it is possible to efficiently form a cured film having sufficient flame retardancy with high resolution by including the photosensitive layer made of the photosensitive resin composition of the present invention.
また、本発明の感光性エレメントによれば、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を用いることなく十分な難燃性を有することから、低環境負荷、低毒性、高解像度のプリント配線板の効率的な生産が可能となる。 Further, according to the photosensitive element of the present invention, since it has sufficient flame retardancy without using a halogen-based compound or an antimony-based compound, it is possible to efficiently produce a printed wiring board with low environmental load, low toxicity, and high resolution. Production becomes possible.
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明において、(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. In the present invention, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid corresponding thereto, (meth) acrylate means acrylate and corresponding methacrylate, and (meth) acryloyl group means acryloyl group. And the corresponding methacryloyl group.
[感光性樹脂組成物]
先ず、本発明の感光性樹脂組成物について説明する。本発明の感光性樹脂組成物は、(A)(a)一般式(1)で示されるエポキシ樹脂と(b)不飽和結合含有モノカルボン酸と(c)多塩基性カルボン酸無水物と、の反応物である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂と、(B)フェノキシフォスファゼン化合物と、(C)少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有する化合物と、(D)光重合開始剤と、(E)熱硬化剤と、を含有するものである。
[Photosensitive resin composition]
First, the photosensitive resin composition of the present invention will be described. The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) (a) an epoxy resin represented by the general formula (1), (b) an unsaturated bond-containing monocarboxylic acid, (c) a polybasic carboxylic acid anhydride, A resin soluble in a dilute aqueous alkali solution, (B) a phenoxyphosphazene compound, (C) a compound having at least one ethylenically unsaturated bond, and (D) a photopolymerization initiator, (E) a thermosetting agent.
以下、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる各成分について説明する。
<(A)成分:希アルカリ水溶液に可溶な樹脂>
(A)成分である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂を構成する(a)エポキシ樹脂は、下記一般式(1)で示されることを特徴とする。
Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition of the present invention will be described.
<(A) component: resin soluble in dilute alkaline aqueous solution>
The (a) epoxy resin constituting the resin soluble in the dilute alkaline aqueous solution as the component (A) is represented by the following general formula (1).
[式(1)中、nは平均値を示し0〜10の数を示し、P、Rは水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、アリール基のいずれかを示し、P、Rはお互いに同一であっても異なっていてもよく、Gはグリシジル基を示す。]
[In the formula (1), n represents an average value and represents a number of 0 to 10, P and R each represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an aryl group, and P and R represent one another. May be the same or different, and G represents a glycidyl group. ]
(A)成分である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂を構成する(b)不飽和結合含有モノカルボン酸の具体例としては、例えば、アクリル酸、アクリル酸の二量体、メタクリン酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、クロトン酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸および飽和又は不飽和二塩基酸無水物と1分子中に1個の水酸基を有する(メタ)アクリレート誘導体との反応物である半エステル類、あるいは飽和または不飽和二塩基酸と不飽和基含有モノグリシジル化合物との反応物である半エステル類が挙げられる。 Specific examples of the (b) unsaturated bond-containing monocarboxylic acid constituting the resin soluble in the dilute alkaline aqueous solution as the component (A) include, for example, acrylic acid, a dimer of acrylic acid, methacrylic acid, β- Styrylacrylic acid, β-furfurylacrylic acid, crotonic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid and saturated or unsaturated dibasic acid anhydride and (meth) acrylate derivative having one hydroxyl group in one molecule Examples thereof include half-esters that are reactants, and half-esters that are reactants of a saturated or unsaturated dibasic acid and an unsaturated group-containing monoglycidyl compound.
半エステル類は、例えば無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸等の飽和および不飽和二塩基酸無水物と、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、フェニルグリシジルエーテルの(メタ)アクリレート等の1分子中に1個の水酸基を有する(メタ)アクリレート誘導体類とを等モルで反応させて得られる半エステル類あるいは、飽和または不飽和二塩基酸(例えば、コハク酸、マレイン酸、アジピン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、イタコン酸、フマル酸等。)と不飽和基含有モノグリシジル化合物(例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、を等モル比で反応させて得られる半エステル等である。これらの(b)モルカノボン酸は単独で、または併用して用いることができる。特に好ましいモノカルボン酸は、アクリル酸である。 Half esters include, for example, succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride, methylendomethylenetetrahydroanhydride. Saturated and unsaturated dibasic acid anhydrides such as phthalic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate , Trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, (meth) acrylate of phenylglycidyl ether Half-esters obtained by reacting equimolar amounts of (meth) acrylate derivatives having one hydroxyl group in one molecule, or saturated or unsaturated dibasic acids (for example, succinic acid, maleic acid, adipine Acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, itaconic acid, fumaric acid, etc.) and an unsaturated group-containing monoglycidyl compound (for example, glycidyl (meth) acrylate) in an equimolar ratio. These (b) mornobonic acids can be used alone or in combination, and a particularly preferred monocarboxylic acid is acrylic acid.
(A)成分である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂を構成する(c)多塩基性カルボン酸無水物の具体例としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水ヘッド酸等などが挙げられる。 Specific examples of the (a) polybasic carboxylic acid anhydride constituting the resin soluble in the dilute alkaline aqueous solution as the component (A) include, for example, maleic anhydride, succinic anhydride, phthalic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Examples thereof include acid, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, and head acid anhydride.
(A)成分である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂の酸価は、60〜150mgKOH/gであることが好ましく、80〜120mgKOH/gであることが更に好ましい。酸価が60mgKOH/g未満では、希アルカリ水溶液による現像が困難になる傾向があり、150mgKOH/gを超えると、得られる硬化膜の絶縁信頼性、耐薬品性及びめっき耐性が不十分となる傾向がある。 The acid value of the resin soluble in the dilute alkaline aqueous solution as the component (A) is preferably 60 to 150 mgKOH / g, and more preferably 80 to 120 mgKOH / g. When the acid value is less than 60 mgKOH / g, development with dilute alkali aqueous solution tends to be difficult, and when it exceeds 150 mgKOH / g, the insulation reliability, chemical resistance and plating resistance of the resulting cured film tend to be insufficient. There is.
なお、(A)成分の酸価は、以下の方法により測定することができる。まず(A)成分としての樹脂溶液約1gを精秤した後、その樹脂溶液にアセトンを30g添加し、樹脂溶液を均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行う。そして、滴定結果より以下の一般式(4);
A=10×Vf×56.1/(Wp×I)・・・・(4)
により酸価を算出する。なお、式中Aは酸価(mgKOH/g)を示し、Vfはフェノールフタレインの滴定量(mL)を示し、Wpは(A)成分としての樹脂溶液の重量(g)を示し、Iは(A)成分としての樹脂溶液の不揮発分の割合(質量%)を示す。
In addition, the acid value of (A) component can be measured with the following method. First, about 1 g of the resin solution as the component (A) is precisely weighed, 30 g of acetone is added to the resin solution, and the resin solution is uniformly dissolved. Next, an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator is added to the solution, and titration is performed using a 0.1N aqueous KOH solution. And from the titration result, the following general formula (4);
A = 10 × Vf × 56.1 / (Wp × I) (4)
To calculate the acid value. In the formula, A represents the acid value (mgKOH / g), Vf represents the titration amount (mL) of phenolphthalein, Wp represents the weight (g) of the resin solution as component (A), and I represents (A) The ratio (mass%) of the non volatile matter of the resin solution as a component is shown.
(A)成分である希アルカリ水溶液に可溶な樹脂は購入することもでき、例えば、ZCR−1569H、ZCR−1596H、ZCR−1611H、ZCR−1610H(いずれも日本化薬社製、商品名)を用いることもできる。 Resins that are soluble in the dilute alkaline aqueous solution that is component (A) can also be purchased. For example, ZCR-1569H, ZCR-1596H, ZCR-1611H, ZCR-1610H (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) Can also be used.
<(B)成分:フェノキシフォスファゼン化合物>
(B)成分である、フェノキシフォスファゼン化合物は下記一般式(2)で示される環状構造を有する化合物及び/又は下記一般式(3)で表される鎖状構造を有する化合物であるとさらに好ましい。
<(B) component: Phenoxyphosphazene compound>
The phenoxyphosphazene compound as component (B) is a compound having a cyclic structure represented by the following general formula (2) and / or a compound having a chain structure represented by the following general formula (3). preferable.
(式(3)中、nは1〜20の整数を示す。)
(In formula (3), n represents an integer of 1 to 20)
またフェノキシフォスファゼン化合物の好ましい例としては、上記一般式(2)で表される環状構造を有する化合物及び上記一般式(3)で表される鎖状構造を有する化合物が挙げられる。 Preferable examples of the phenoxyphosphazene compound include a compound having a cyclic structure represented by the general formula (2) and a compound having a chain structure represented by the general formula (3).
<(C)成分:少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有する化合物>
(C)少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有する化合物の具体例としては、例えば、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物;多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーが挙げられ、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート;γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、EO変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が例示可能である。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<(C) component: a compound having at least one ethylenically unsaturated bond>
(C) Specific examples of the compound having at least one ethylenically unsaturated bond include, for example, a bisphenol A-based (meth) acrylate compound; a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid. A compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid; a urethane monomer or urethane oligomer such as a (meth) acrylate compound having a urethane bond; in addition to these, nonylphenoxypoly Phthalic acid systems such as oxyethylene acrylate; γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β ′-(meth) acryloyloxyalkyl-o-phthalate Compound; (meth) acrylic acid alkyl ester, EO modified Nirufeniru (meth) acrylate or the like can be exemplified. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。 Examples of bisphenol A-based (meth) acrylate compounds include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy). ) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane, etc. Can be mentioned.
2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパン等が挙げられ、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−500(新中村化学工業製、商品名)として商業的に入手可能であり、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−1300(新中村化学工業製、商品名)として商業的に入手可能である。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2,2- Bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) Acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy nonaethoxy) ) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2, 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ( (Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexa) Decaethoxy) phenyl) propane and the like, and 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is BPE-5. 0 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name) and 2,2-bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane is BPE-1300 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., (Commercial name) is commercially available. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカプロポキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydipropoxy) phenyl) propane, 2,2- Bis (4-((meth) acryloxytripropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetrapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) Acryloxypentapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptapropoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acrylic) Xinonapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecapropoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxydodecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis ( 4-((meth) acryloxytetradecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecapropoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth)) And acryloxyhexadecapropoxy) phenyl) propane. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxyoctapropoxy) phenyl) propane, Examples include 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxytetrapropoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxyhexapropoxy) phenyl) propane. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートプロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14でありプロピレン基の数が2〜14であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO・PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of the compound obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a polyhydric alcohol include 2 to 14 polyethylene glycol di (meth) acrylate propylene groups having 2 to 14 ethylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylol Propane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO / PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylol methanetri (meth) acrylate Examples include relate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
なお、「EO」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「PO」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。また、「EO変性」とはエチレンオキシドユニット(−CH2CH2O−)のブロック構造を有することを意味し、「PO変性」とはプロピレンオキシドユニット(−CH2CH(CH3)O−)のブロック構造を有することを意味する。 “EO” refers to “ethylene oxide”, and “PO” refers to “propylene oxide”. “EO modified” means having a block structure of ethylene oxide units (—CH 2 CH 2 O—), and “PO modified” means having a block structure of propylene oxide units (—CH 2 CH (CH 3) O—). means.
グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート及び2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシ−2−ヒドロキシ−プロピルオキシ)フェニル等が挙げられる。上記のα,β−不飽和カルボン酸としては、(メタ)アクリル酸等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of the compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid include trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate and 2,2-bis (4- (meth) acryloxy- 2-hydroxy-propyloxy) phenyl and the like. Examples of the α, β-unsaturated carboxylic acid include (meth) acrylic acid. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
ウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーとしては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス((メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート)ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO又はPO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、カルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of the urethane monomer or urethane oligomer include (meth) acrylic monomers having an OH group at the β-position and diisocyanates such as isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, and 1,6-hexamethylene diisocyanate. Addition reaction product with compound, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO modified urethane di (meth) acrylate, EO or PO modified urethane di (meth) acrylate, carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate Etc. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
さらに、(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル及び(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Furthermore, examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, and (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester. It is done. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
<(D)成分:光重合開始剤>
(D)成分である光重合開始剤の具体例としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−モルホリノフェノン)−ブタノン−1,2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体、N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
<(D) component: Photopolymerization initiator>
Specific examples of the photopolymerization initiator as component (D) include, for example, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (Michler ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-methoxy- 4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-morpholinophenone) -butanone-1,2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone and other aromatic ketones, alkylanthraquinone and other quinones, benzoin methyl ether, Benzoin ethers such as benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether, benzoins such as methyl benzoin and ethyl benzoin, benzyl derivatives such as benzyl dimethyl ketal, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) hepta And acridine derivatives such as N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives, and coumarin compounds. These can be used alone or in combination of two or more.
<(E)成分:熱硬化剤>
(E)成分である熱硬化剤の具体例としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化性の化合物などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型三級脂肪酸変性ポリオールエポキシ樹脂;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等のジグリシジルエステル類、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトルイジン等のジグリシジルアミン類等が挙げられる。これらは1種を単独で、または2種以上を併用して使用してもよい。
<(E) component: thermosetting agent>
Specific examples of the thermosetting agent as component (E) include thermosetting compounds such as epoxy resins, phenol resins, urea resins, and melamine resins. Examples of the epoxy resin include bisphenol A type tertiary fatty acid-modified polyol epoxy resin; diglycidyl esters such as diglycidyl phthalate and diglycidyl tetrahydrophthalate, and diglycidyl amines such as diglycidyl aniline and diglycidyl toluidine. Etc. These may be used alone or in combination of two or more.
また(E)成分である熱硬化剤として、潜在性の熱硬化剤であるブロックイソシアネート化合物を用いることもできる。ブロックイソシアネート化合物としては、例えば、アルコール化合物、フェノール化合物、ε−カプロラクタム、オキシム化合物、活性メチレン化合物等のブロック剤によりブロック化されたポリイソシアネート化合物が挙げられる。ブロック化されるポリイソシアネート化合物としては、4,4−ジフェニルメタンジシソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン1,5−ジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、2,4−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートが挙げられ、耐熱性の観点からは芳香族ポリイソシアネートが、着色防止の観点からは脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが好ましい。 Moreover, the block isocyanate compound which is a latent thermosetting agent can also be used as a thermosetting agent which is (E) component. Examples of the blocked isocyanate compound include polyisocyanate compounds blocked with a blocking agent such as an alcohol compound, a phenol compound, ε-caprolactam, an oxime compound, and an active methylene compound. Examples of blocked polyisocyanate compounds include 4,4-diphenylmethane disissocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene 1,5-diisocyanate, o-xylene diisocyanate, m-xylene. Aromatic polyisocyanates such as diisocyanates and 2,4-tolylene dimers, aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate, and alicyclic polyisocyanates such as bicycloheptane triisocyanate An aromatic polyisocyanate is preferable from the viewpoint of heat resistance, and an aliphatic polyisocyanate or an alicyclic polyisocyanate is preferable from the viewpoint of preventing coloring.
<(F)成分:リン酸エステル>
感光性樹脂組成物は、硬化膜の難燃性及び、可とう性を向上させるため、さらに(F)リン酸エステルを含有することもできる。リン酸エステルの具体例としては、例えば、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、1,3−ジヒドロキシベンゼン・トリクロロホスフィン重縮合物のフェノール縮合物、2,2−ビス(p−ヒドロキシフェニル)プロパン・トリクロロホスフィンオキシド重縮合物のフェノール縮合物等が挙げられる。これらは市販のものを入手可能であり、例えば、TPP、TCP、TXP、CDP、XDP、CR−733S、CR−741、CR−747(いずれも大八化学社製、商品名)、PFR、FP−600及びFP−700(いずれもアデカ社製、商品名)等が挙げられる。
<(F) component: Phosphate ester>
In order to improve the flame retardancy and flexibility of the cured film, the photosensitive resin composition may further contain (F) a phosphate ester. Specific examples of phosphate esters include, for example, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, xylenyl diphenyl phosphate, 1,3-dihydroxybenzene / trichlorophosphine polycondensate phenol Examples include condensates and phenol condensates of 2,2-bis (p-hydroxyphenyl) propane / trichlorophosphine oxide polycondensate. These are commercially available, for example, TPP, TCP, TXP, CDP, XDP, CR-733S, CR-741, CR-747 (all are trade names manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.), PFR, FP -600 and FP-700 (both manufactured by Adeka, trade names) and the like.
感光性樹脂組成物が良好な難燃性を有するためには、感光性樹脂組成物中の(A)成分の含有量が、35〜70重量%であると好ましく、40〜65重量%であるとさらに好ましい。(A)成分が35重量%より少ない場合は、難燃性が低下する傾向があり、70重量%より多い場合は、希アルカリ水溶液による現像が困難になる傾向がある。また、良好な難燃性を有するための感光性樹脂組成物中のリン含有量が、1.5〜5.0重量%であると好ましく、2.0〜4.5重量%であるとさらに好ましい。1.5重量%より少ない場合は難燃性が低下する傾向があり、5.0重量%より多い場合は硬化膜の耐折性が低下する傾向がある。 In order for the photosensitive resin composition to have good flame retardancy, the content of the component (A) in the photosensitive resin composition is preferably 35 to 70% by weight, and preferably 40 to 65% by weight. And more preferred. When the component (A) is less than 35% by weight, the flame retardancy tends to decrease, and when it is more than 70% by weight, development with a dilute alkaline aqueous solution tends to be difficult. Further, the phosphorus content in the photosensitive resin composition for having good flame retardancy is preferably 1.5 to 5.0% by weight, and further preferably 2.0 to 4.5% by weight. preferable. When the amount is less than 1.5% by weight, the flame retardancy tends to decrease, and when the amount is more than 5.0% by weight, the folding resistance of the cured film tends to decrease.
(B)成分は、上記リン含有量の範囲になるように含有させることが好ましい。 (B) It is preferable to contain a component so that it may become the range of the said phosphorus content.
(C)成分の含有量は、解像性及び難燃性の観点から、感光性樹脂組成物中の(C)成分の含有量が、7〜30重量%であることが好ましく、10〜25重量%であることがより好ましい。(C)成分の含有量が7重量%より少ない場合は解像性が劣る傾向があり、30重量%より多い場合は難燃性が低下する傾向がある。 The content of the component (C) is preferably 7 to 30% by weight from the viewpoint of resolution and flame retardancy, and the content of the component (C) in the photosensitive resin composition is preferably 10 to 25%. More preferably, it is% by weight. When the content of the component (C) is less than 7% by weight, the resolution tends to be inferior, and when it is more than 30% by weight, the flame retardancy tends to decrease.
(D)成分の含有量は、光感度の観点から、感光性樹脂組成物中の(D)成分の含有量が、0.1〜10重量%であることが好ましく、0.2〜5重量%であることがより好ましい。 From the viewpoint of photosensitivity, the content of the component (D) is preferably 0.1 to 10% by weight, preferably 0.2 to 5% by weight, of the component (D) in the photosensitive resin composition. % Is more preferable.
(E)成分の含有量は、難燃性及び絶縁信頼性の観点から、感光性樹脂組成物中の(E)成分の含有量が、5〜20重量%であることが好ましく、8〜15重量%であることがより好ましい。 The content of the component (E) is preferably 5 to 20% by weight of the component (E) in the photosensitive resin composition from the viewpoint of flame retardancy and insulation reliability, and 8 to 15 More preferably, it is% by weight.
また、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、マラカイトグリーン等の染料、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤若しくはp−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系、アゾ系等の有機顔料若しくは二酸化チタン等の無機顔料、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム若しくは硫酸バリウム等の無機顔料からなる充填剤、消泡剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、酸化防止剤、香料或いはイメージング剤などを含有させることができる。これらの成分は、感光性樹脂組成物中の含有量として、各々0.01〜20重量%程度含有させることが好ましい。また、上記の成分は、1種類を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。 In addition, the photosensitive resin composition of the present invention includes a dye such as malachite green, a photochromic agent such as leuco crystal violet, a plasticizer such as a thermochromic inhibitor or p-toluenesulfonamide, phthalocyanine blue, if necessary. Phthalocyanine-based organic pigments such as azo-based pigments, inorganic pigments such as titanium dioxide, silica, alumina, talc, calcium carbonate or barium sulfate, and other fillers, antifoaming agents, stabilizers, and adhesion-imparting agents , A leveling agent, an antioxidant, a fragrance, an imaging agent, or the like. These components are each preferably contained in the photosensitive resin composition in an amount of about 0.01 to 20% by weight. Moreover, said component can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
更に、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解し、固形分30〜70質量%程度の溶液として塗布することができる。 Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether or the like as necessary. It can melt | dissolve in a mixed solvent and can apply | coat as a solution of solid content about 30-70 mass%.
以上説明したような本発明の感光性樹脂組成物は、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に、液状レジストとして塗布してから乾燥後、必要に応じて保護フィルムを被覆して用いるか、後述する感光性エレメントの形態で用いることができる。 The photosensitive resin composition of the present invention as described above is applied as a liquid resist on a metal surface such as copper, a copper-based alloy, iron, and an iron-based alloy, and then dried, and a protective film is provided as necessary. It can be used by coating or in the form of a photosensitive element described later.
[感光性エレメント]
次に、上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメントについて説明する。
[Photosensitive element]
Next, the photosensitive element using the photosensitive resin composition of the present invention described above will be described.
図1は、本発明の感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図1に示した感光性エレメント1は、支持体10と、支持体10上に設けられた感光層14と、で構成される。感光層14は、上述した本発明の感光性樹脂組成物からなる。本発明の感光性エレメントは、感光層14上の支持体10の反対側の面F1を保護フィルムで被覆してもよい。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the photosensitive element of the present invention. The photosensitive element 1 shown in FIG. 1 includes a support 10 and a
感光層14は、本発明の感光性樹脂組成物を上記溶剤又は混合溶剤に溶解して固形分30〜70質量%程度の溶液とした後に、かかる溶液を支持体10上に塗布して形成することが好ましい。感光層14の厚みは、用途により異なるが、加熱及び/又は熱風吹き付けにより溶剤を除去した乾燥後の厚みで、10〜100μmであることが好ましく、20〜60μmであることがより好ましい。この厚みが10μm未満では工業的に塗工困難な傾向があり、100μmを超えると本発明により奏される上述の効果が小さくなりやすく、特に、可撓性及び解像度が低下する傾向にある。
The
感光性エレメント1が備える支持体10としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどが挙げられる。 Examples of the support 10 included in the photosensitive element 1 include polymer films having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester.
支持体10の厚みは、5〜100μmであることが好ましく、10〜30μmであることがより好ましい。この厚みが5μm未満では現像前に支持体を剥離する際に当該支持体が破れやすくなる傾向があり、また、100μmを超えると解像度及び可撓性が低下する傾向がある。 The thickness of the support 10 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 30 μm. If the thickness is less than 5 μm, the support tends to be broken when the support is peeled off before development, and if it exceeds 100 μm, the resolution and flexibility tend to decrease.
上述したような支持体10と感光層14との2層からなる感光性エレメント1又は支持体10と感光層14と保護フィルムとの3層からなる感光性エレメントは、例えば、そのまま貯蔵してもよく、又は保護フィルムを介在させた上で巻芯にロール状に巻き取って保管することができる。
The photosensitive element 1 composed of two layers of the support 10 and the
本発明の感光性エレメントを用いたレジストパターンの形成方法は、必要に応じて上述した感光性エレメントから保護フィルムを除去する除去工程と、該感光性エレメントを感光層、支持体の順に回路形成用基板上に積層する積層工程と、活性光線を、必要に応じて支持体を通して、感光層の所定部分に照射して、感光層に光硬化部を形成させる露光工程と、光硬化部以外の感光層を除去する現像工程とを含むものである。なお、回路形成用基板とは、絶縁層と、絶縁層上に形成された導電体層(銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる)とを備えた基板をいう。 The method for forming a resist pattern using the photosensitive element of the present invention includes a removing step of removing the protective film from the photosensitive element as necessary, and a circuit for forming the photosensitive element in the order of the photosensitive layer and the support. A lamination process for laminating on the substrate, an exposure process for irradiating a predetermined portion of the photosensitive layer with an actinic ray through a support as necessary to form a photocured portion on the photosensitive layer, and a photosensitivity other than the photocured portion. And a developing step for removing the layer. The circuit-forming substrate is an insulating layer and a conductor layer (copper, copper-based alloy, iron-based alloy such as nickel, chromium, iron, stainless steel, preferably copper, copper-based alloy) formed on the insulating layer. , Made of an iron-based alloy).
必要に応じて保護フィルムを除去する除去工程後の積層工程における積層方法としては、感光層を加熱しながら回路形成用基板に圧着することにより積層する方法等が挙げられる。かかる積層の際の雰囲気は特に制限されないが、密着性及び追従性等の見地から減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導電体層の面であるが、当該導電体層以外の面であってもよい。感光層の加熱温度は70〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は0.1〜1.0MPa程度とすることが好ましく、周囲の気圧は4000Pa以下とすることがより好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光層を上記のように70〜130℃に加熱すれば、予め回路形成用基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために、回路形成用基板の予熱処理を行うこともできる。 Examples of the laminating method in the laminating step after the removing step of removing the protective film as needed include a method of laminating by pressure-bonding to the circuit forming substrate while heating the photosensitive layer. The atmosphere during the lamination is not particularly limited, but the lamination is preferably performed under reduced pressure from the viewpoint of adhesion and followability. The surface to be laminated is usually the surface of the conductor layer of the circuit forming substrate, but may be a surface other than the conductor layer. The heating temperature of the photosensitive layer is preferably 70 to 130 ° C., the pressure bonding pressure is preferably about 0.1 to 1.0 MPa, and the ambient atmospheric pressure is more preferably 4000 Pa or less. There are no particular restrictions. Further, if the photosensitive layer is heated to 70 to 130 ° C. as described above, it is not necessary to pre-heat the circuit forming substrate in advance. However, in order to further improve the laminating property, the pre-heat treatment of the circuit forming substrate is performed. Can also be done.
このようにして積層が完了した後、露光工程において感光層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成せしめる。光硬化部の形成方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。この際、感光層上に存在する支持体が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができるが、不透明の場合には、支持体を除去した後に感光層に活性光線を照射する。 After the lamination is completed in this way, a photocured portion is formed by irradiating a predetermined portion of the photosensitive layer with actinic rays in the exposure step. Examples of the method for forming the photocured portion include a method of irradiating an actinic ray in an image form through a negative or positive mask pattern called an artwork. At this time, when the support on the photosensitive layer is transparent, it can be irradiated with actinic rays as it is, but when it is opaque, it is irradiated with actinic rays after removing the support.
活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを用いることができる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものを用いることもできる。 As the light source of actinic light, a known light source such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that can effectively emit ultraviolet rays can be used. Moreover, what can radiate | emit visible light effectively, such as a flood bulb for photography, a solar lamp, can also be used.
次いで、露光後、感光層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、現像工程において、ウエット現像、ドライ現像等で光硬化部以外の感光層を除去して現像し、レジストパターンを形成させる。ウエット現像の場合は、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられ、例えば、20〜50℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液(1〜5質量%水溶液)等が用いられる。 Next, after the exposure, if a support is present on the photosensitive layer, the support is removed, and then the development is performed by removing the photosensitive layer other than the photocured portion by wet development, dry development, or the like. Then, a resist pattern is formed. In the case of wet development, development is performed using a developer such as an alkaline aqueous solution by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, or scraping. As the developer, a developer that is safe and stable and has good operability is used. For example, a dilute solution (1 to 5% by mass aqueous solution) of sodium carbonate at 20 to 50 ° C. is used.
上述の形成方法により得られたレジストパターンは、例えば、プリント配線板のソルダーレジストとして用いる場合は、上記現像工程終了後、ソルダーレジストとしてのはんだ耐熱性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射やオーブンによる加熱を行うことが好ましい。紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.2〜10J/cm2程度の照射量で照射を行うこともできる。また、加熱する場合は、100〜170℃程度の範囲で15〜90分程行われることが好ましい。さらに紫外線照射と加熱とを両方実施しても良く、いずれか一方を実施した後、他方を実施することもできる。 For example, when the resist pattern obtained by the above-described forming method is used as a solder resist for a printed wiring board, a high pressure is used for the purpose of improving solder heat resistance, chemical resistance, etc. as the solder resist after completion of the development process. It is preferable to perform ultraviolet irradiation with a mercury lamp or heating with an oven. In the case of irradiating ultraviolet rays, the irradiation amount can be adjusted as necessary. For example, the irradiation can be performed at an irradiation amount of about 0.2 to 10 J / cm 2 . Moreover, when heating, it is preferable to carry out for about 15 to 90 minutes in the range of about 100-170 degreeC. Furthermore, both ultraviolet irradiation and heating may be performed, and after either one is performed, the other can also be performed.
また、上述の形成方法により得られたレジストパターンはプリント配線板上に形成される永久マスクとして使用されると好ましい。本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜は、優れた難燃性を有するので、基板にはんだ付けを施した後の配線の保護膜を兼ねる、プリント配線板の永久マスクとして有効である。 The resist pattern obtained by the above-described forming method is preferably used as a permanent mask formed on a printed wiring board. Since the cured film formed from the photosensitive resin composition of the present invention has excellent flame retardancy, it is effective as a permanent mask for a printed wiring board that also serves as a protective film for wiring after soldering to the substrate. is there.
以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
(実施例1〜3、比較例1〜2)
まず、表1に示す各成分をそこに示す固形分の配合比(重量基準)(ただし、メチルエチルケトンは液体としての質量基準)で混合することにより感光性樹脂組成物溶液を得た。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.
(Examples 1-3, Comparative Examples 1-2)
First, the photosensitive resin composition solution was obtained by mixing each component shown in Table 1 by the compounding ratio (weight basis) (however, methyl ethyl ketone is a mass basis as a liquid) shown there.
なお表1中、(A−1)成分は、ビフェニル型エポキシアクリレート(日本化薬社製、商品名「ZCR−1569H」、酸価=98、Mw=4.5K)であり、(A−2)成分は、ビスフェノールA型エポキシアクリレート(日本化薬社製、商品名「ZAR−2001H」、酸価=103、Mw=13K)であり、(A−3)成分は、ビスフェノールF型エポキシアクリレート(日本化薬社製、商品名「ZFR−1516」、酸価=73、Mw=11K)である。 In Table 1, component (A-1) is biphenyl type epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “ZCR-1569H”, acid value = 98, Mw = 4.5K), and (A-2 ) Component is bisphenol A type epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “ZAR-2001H”, acid value = 103, Mw = 13K), and (A-3) component is bisphenol F type epoxy acrylate ( Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “ZFR-1516”, acid value = 73, Mw = 11K).
(B-1)成分は、フェノキシフォスファゼン化合物(大塚化学株式会社製 商品名SPB−100 リン含有率=13)であり、(B−2)成分は、リン酸エステル(アデカ社製、商品名「アデカスタブ FP−600」、リン含有量=8.9重量%)である。 The component (B-1) is a phenoxyphosphazene compound (trade name SPB-100, phosphorus content = 13, manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.), and the component (B-2) is a phosphate ester (manufactured by Adeka Corporation, product) Name “Adeka Stab FP-600”, phosphorus content = 8.9 wt%).
(C)成分は、ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレート(新中村化学工業社製、商品名「BPE−10」)である。 The component (C) is bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name “BPE-10”).
(D)成分は、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフェリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「I−369」)である。 The component (D) is 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (trade name “I-369” manufactured by Ciba Specialty Chemicals).
(E)成分は、ヘキサメチレンジイソシアネートをベースイソシアネートとするイソシアヌレート体のメチルエチルケトンオキシムブロック体の75質量%メチルエチルケトン溶液(住化バイエルウレタン社製、商品名「BL3175」)である。 The component (E) is a 75 mass% methyl ethyl ketone solution (trade name “BL3175”, manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd.) of an isocyanurate methylethylketone oxime block having hexamethylene diisocyanate as a base isocyanate.
注)表1中の値は、各成分の固形分の配合比である。(メチルエチルケトンは除く)
また、表中記号「−」は、該当する成分を含有していないことを示す。
Note) The values in Table 1 are the blending ratio of the solid content of each component. (Excluding methyl ethyl ketone)
Moreover, the symbol “-” in the table indicates that the corresponding component is not contained.
[感光性エレメントの作製]
次いで、これらの感光性樹脂組成物溶液を支持層である16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人社製、商品名「G2−16」)上にそれぞれ別に、均一に塗布することにより感光性樹脂組成物層を形成し、それを熱風対流式乾燥機を用いて100℃で約10分間乾燥した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、38μmであった。
[Production of photosensitive element]
Subsequently, these photosensitive resin composition solutions are separately and uniformly applied onto a 16 μm-thick polyethylene terephthalate film (manufactured by Teijin Ltd., trade name “G2-16”) as a support layer, thereby photosensitive resin composition. A layer was formed and dried for about 10 minutes at 100 ° C. using a hot air convection dryer. The film thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was 38 μm.
続いて、感光性樹脂組成物層の支持層と接している側とは反対側の表面上に、ポリエチレンフィルム(タマポリ社製、商品名「NF−13」)を保護フィルムとして貼り合わせ、感光性エレメントを得た。 Subsequently, on the surface of the photosensitive resin composition layer opposite to the side in contact with the support layer, a polyethylene film (manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name “NF-13”) is bonded as a protective film, and photosensitive. Got the element.
[評価用積層体の作製]
そして、18μm厚の銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシブルプリント配線板用基板(ニッカン工業社製、商品名「F30VC1」)の銅表面を砥粒ブラシで研磨し、水洗後、乾燥した。このフレキシブルプリント配線板用基板上に連続式真空ラミネータ(日立化成工業社製、商品名「HLM−V570」)を用いて、ヒートシュー温度100℃、ラミネート速度0.5m/分、気圧4000Pa以下、圧着圧力0.3MPaの条件の下、得られた感光性エレメントを、ポリエチレンフィルムを剥離しつつ積層し、評価用積層体を得た。
[Preparation of evaluation laminate]
And the copper surface of the board | substrate for flexible printed wiring boards (Nikkan Kogyo company make, brand name "F30VC1") which laminated | stacked 18-micrometer-thick copper foil on the polyimide base material was grind | polished with the abrasive brush, and it dried after washing with water. Using a continuous vacuum laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “HLM-V570”) on this flexible printed wiring board substrate, a heat shoe temperature of 100 ° C., a laminating speed of 0.5 m / min, and a pressure of 4000 Pa or less, Under the condition of a pressure bonding pressure of 0.3 MPa, the obtained photosensitive element was laminated while peeling the polyethylene film to obtain a laminate for evaluation.
[光感度の評価]
得られた上記評価用積層体上に、ネガとしてストーファー21段ステップタブレットを有するフォトツールを密着させ、オーク製作所社製HMW−201GX型露光機を使用して、該ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。続いて、常温で一時間静置して、PETフィルムを剥離した後、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を40秒間スプレーして現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。光感度を評価する数値として、上記エネルギー量を用いた。この数値が低いほど、光感度が高いことを示す。結果を表2に示す。
[Evaluation of light sensitivity]
On the obtained laminate for evaluation, a photo tool having a stove 21-step tablet as a negative was brought into close contact, and an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. was used. The exposure was performed with an energy amount such that the number of steps remaining after development was 8.0. Then, after leaving still at normal temperature for 1 hour and peeling a PET film, it developed by spraying 1 weight% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC for 40 second, and was heated (dried) at 80 degreeC for 10 minutes. The above energy amount was used as a numerical value for evaluating the photosensitivity. The lower this value, the higher the photosensitivity. The results are shown in Table 2.
[解像度の評価]
ストーファー21段ステップタブレットを有するフォトツールと、解像度評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が30/30〜200/200(単位:μm)の配線パターンを有するフォトツールとを評価用積層体上に密着させ、上述した露光機を用いて、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。続いて、常温で一時間静置して、PETフィルムを剥離した後、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を40秒間スプレーして現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。ここで、解像度は、現像処理によって矩形のレジスト形状が得られたライン幅間のスペース幅の最も小さい値(単位:μm)により評価した。この値が小さいほど、解像度に優れていることを示す。結果を表2に示す。
[Resolution evaluation]
A phototool having a stove 21-step tablet and a phototool having a wiring pattern with a line width / space width of 30/30 to 200/200 (unit: μm) as a negative for resolution evaluation are provided on the evaluation laminate. Using the above-described exposure apparatus, the exposure was performed with an energy amount such that the number of remaining steps after development of the stove 21-step tablet was 8.0. Then, after leaving still at normal temperature for 1 hour and peeling a PET film, it developed by spraying 1 weight% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC for 40 second, and was heated (dried) at 80 degreeC for 10 minutes. Here, the resolution was evaluated based on the smallest value (unit: μm) of the space width between the line widths in which a rectangular resist shape was obtained by development processing. It shows that it is excellent in the resolution, so that this value is small. The results are shown in Table 2.
[評価用FPCの作製]
さらに、得られた評価用積層体上に、ストーファー21段ステップタブレットを有するフォトツールと、カバーレイの信頼性評価用ネガとして配線パターンを有するフォトツールとを密着させ、上述した露光機を使用して、該ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、該積層体上のポリエチレンテレフタレートを剥離し、光感度評価の場合と同様の現像液及び現像条件でスプレー現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。続いて、オーク製作所社製紫外線照射装置を使用して1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、更に160℃で60分間加熱処理を行うことにより、カバーレイを形成した評価用FPCを得た。
[Production of evaluation FPC]
Further, on the obtained evaluation laminate, a phototool having a stove 21-step tablet and a phototool having a wiring pattern as a negative for coverlay reliability evaluation are used, and the above-described exposure machine is used. Then, the exposure was performed with an energy amount such that the number of remaining step stages after development of the stove 21-step tablet was 8.0. Next, after standing at room temperature for 1 hour, the polyethylene terephthalate on the laminate is peeled off, spray development is performed under the same developer and development conditions as in the photosensitivity evaluation, and heating (drying) at 80 ° C. for 10 minutes. did. Subsequently, the FPC for evaluation in which a coverlay was formed was obtained by performing ultraviolet irradiation with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and further performing heat treatment at 160 ° C. for 60 minutes. It was.
[可撓性(耐折性)の評価]
上述のようにして得られた評価用FPCを、ハゼ折りにより180°折り曲げを繰り返して行い、その際のカバーレイにおけるクラックが発生するまでの回数を顕微鏡により観察し、次の基準で評価した。すなわち、5回以上折り曲げてもカバーレイにクラックが認められないものは「A」とし、クラックが発生するまでの回数が2回以上で5回以下のものは「B」とし、クラックが発生するまでの回数が2回以下のものは「C」とした。結果を表2に示す。
[Evaluation of flexibility (folding resistance)]
The evaluation FPC obtained as described above was repeatedly folded 180 ° by goblet folding, and the number of times until cracks in the coverlay were generated was observed with a microscope, and evaluated according to the following criteria. That is, if the coverlay is not cracked even if it is bent 5 times or more, it is “A”, and if the number of times until the crack is generated is 2 times or more and 5 times or less, it is “B”. The number of times until 2 or less was designated as “C”. The results are shown in Table 2.
[難燃性の評価]
銅箔張積層板(新日鐵化学社製、商品名「エスパネックスMB」のシリーズ)の銅箔をエッチングにより除去して厚さ25μmのPIフィルムを得た。次いで、そのPIフィルムの両面に、連続式真空ラミネータ(日立化成工業社製、商品名「HLM−V570」)を用いて、ヒートシュー温度100℃、ラミネート速度0.5m/分、気圧4000Pa以下、圧着圧力0.3MPaの条件の下、上述の感光性エレメントを、ポリエチレンフィルムを剥離しつつ積層して積層体を得た。次に、オーク製作所社製HMW−201GX型露光機を使用して、上記感光性エレメントの感光層の露光を、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となる上記エネルギー量で行った。続いて、常温で一時間静置して、ポリエチレンテレフタレートフィルムを積層体から剥離した後、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を積層体に40秒間スプレーして現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。次いで、積層体の感光層にオーク製作所社製紫外線照射装置を使用して1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、更に160℃で60分間加熱処理を行うことにより、カバーレイを形成した難燃性評価用サンプルを得た。この難燃性評価用サンプルついて、UL94規格に準拠した薄材垂直燃焼試験を行った。評価はUL94規格に基づいて、VTM−0又はVTM−1と表した。結果を表2に示す。なお、表2中「NOT」とは、燃焼試験において難燃性評価用サンプルがVTM−0、VTM−1、VTM−2に該当せず全焼したことを示す。
[Evaluation of flame retardancy]
The copper foil of the copper foil-clad laminate (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., product name “ESPANEX MB” series) was removed by etching to obtain a PI film having a thickness of 25 μm. Next, on both sides of the PI film, using a continuous vacuum laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “HLM-V570”), a heat shoe temperature of 100 ° C., a laminating speed of 0.5 m / min, an atmospheric pressure of 4000 Pa or less, Under the conditions of a pressure bonding pressure of 0.3 MPa, the above-described photosensitive element was laminated while peeling the polyethylene film to obtain a laminate. Next, using the HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., the exposure of the photosensitive layer of the photosensitive element described above is such that the number of remaining steps after development of the stove 21-step tablet becomes 8.0. Done in quantity. Then, after leaving still at room temperature for 1 hour and peeling a polyethylene terephthalate film from a laminated body, a 1 weight% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC is sprayed on a laminated body for 40 seconds, and it develops at 80 degreeC for 10 minutes. Heated (dried). Next, the laminate was subjected to ultraviolet irradiation with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and further subjected to heat treatment at 160 ° C. for 60 minutes to form a coverlay. A sample for flame retardancy evaluation was obtained. This flame retardant evaluation sample was subjected to a thin material vertical combustion test based on the UL94 standard. Evaluation was expressed as VTM-0 or VTM-1 based on the UL94 standard. The results are shown in Table 2. Note that “NOT” in Table 2 indicates that the flame retardancy evaluation sample did not fall under VTM-0, VTM-1, or VTM-2 in the combustion test and was completely burned.
表2から明らかなように、実施例1、2及び3の感光性樹脂組成物によれば、十分な光感度及び解像度が得られることが確認された。また、実施例1、2及び3の感光性樹脂組成物から形成された硬化膜を備える積層板は、十分な難燃性(VTM−0)を有していることが確認された。更に、実施例2及び3の感光性樹脂組成物から形成された硬化膜は、優れた可撓性(耐折性)を有していることが分かった。 As is clear from Table 2, it was confirmed that the photosensitive resin compositions of Examples 1, 2, and 3 can provide sufficient photosensitivity and resolution. Moreover, it was confirmed that the laminated board provided with the cured film formed from the photosensitive resin composition of Example 1, 2, and 3 has sufficient flame retardance (VTM-0). Furthermore, it turned out that the cured film formed from the photosensitive resin composition of Example 2 and 3 has the outstanding flexibility (folding resistance).
1…感光性エレメント
10…支持体
14…感光層
F1…感光層上の支持体の反対側の面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive element 10 ...
Claims (7)
[式(1)中、nは平均値を示し0〜10の数を示し、P、Rは水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、アリール基のいずれかを示し、P、Rはお互いに同一であっても異なっていてもよく、Gはグリシジル基を示す。] (A) (a) a dilute alkaline aqueous solution that is a reaction product of an epoxy resin represented by the following general formula (1), (b) an unsaturated bond-containing monocarboxylic acid, and (c) a polybasic carboxylic acid anhydride. A soluble resin, (B) a phenoxyphosphazene compound, (C) a compound having at least one ethylenically unsaturated bond, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a thermosetting agent. A photosensitive resin composition characterized by containing.
[In the formula (1), n represents an average value and represents a number of 0 to 10, P and R each represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an aryl group, and P and R represent one another. May be the same or different, and G represents a glycidyl group. ]
(式(3)中、nは1〜20の整数を示す。) (B) The phenoxyphosphazene compound contains a compound having a cyclic structure represented by the following general formula (2) and / or a compound having a chain structure represented by the following general formula (3): The photosensitive resin composition according to claim 1.
(In formula (3), n represents an integer of 1 to 20)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|---|---|
JP2006288721A Expired - Fee Related JP4986024B2 (en) | 2006-10-24 | 2006-10-24 | Photosensitive resin composition and photosensitive element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4986024B2 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
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JP4986024B2 (en) | 2012-07-25 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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