JP2008105760A - Static eliminating device inside automated warehouse - Google Patents
Static eliminating device inside automated warehouse Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008105760A JP2008105760A JP2006287573A JP2006287573A JP2008105760A JP 2008105760 A JP2008105760 A JP 2008105760A JP 2006287573 A JP2006287573 A JP 2006287573A JP 2006287573 A JP2006287573 A JP 2006287573A JP 2008105760 A JP2008105760 A JP 2008105760A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static
- static eliminator
- loading shelf
- automatic warehouse
- static elimination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
Description
本発明は、自動倉庫内の静電気除去装置に関し、特に、自動倉庫や製造工場内等に配設するスタッカクレーンの移載機に静電気除去装置を搭載し、かつ該スタッカクレーンを用いて自動倉庫内等の静電気除去処理を自動的に行うようにした自動倉庫内の静電気除去装置に関するものである。 The present invention relates to a static eliminator in an automatic warehouse, and in particular, the static eliminator is mounted on a transfer machine of a stacker crane disposed in an automatic warehouse or a manufacturing factory, and the automatic warehouse is used by using the stacker crane. The present invention relates to a static eliminator in an automatic warehouse that automatically performs static eliminator processing.
従来、液晶製造工場、半導体製造工場等において、各部品や製品の一時保管や搬送は不純物が付着しないようクリーンルーム内にて行っている。特に部品や製品の一時保管はこれらの工場内、或いはこれらの工場に近接した自動倉庫内等に、部品や製品等の搬送などを行うため、走行路に沿って走行するようスタッカクレーンを配設し、該スタッカクレーンに搭載した移載機にて、自動倉庫内で、かつスタッカクレーンの走行路に沿って配設する載荷棚へ部品や製品を収納したカセットの出し入りを行うようにしている。 Conventionally, in a liquid crystal manufacturing factory, a semiconductor manufacturing factory, etc., parts and products are temporarily stored and transported in a clean room so that impurities do not adhere. In particular, for temporary storage of parts and products, stacker cranes are installed to run along the running path in order to carry parts and products in these factories or in automated warehouses close to these factories. In the transfer machine mounted on the stacker crane, the cassette storing the parts and products is loaded into and unloaded from the loading shelf arranged in the automatic warehouse and along the travel path of the stacker crane. .
ところで、自動倉庫内に、かつスタッカクレーンが走行する走行路に沿って載荷棚を配設するが、該載荷棚は通常走行路に沿って複数列に、かつ上下方向には複数段となるよう複数配列、配置し、かつ製造する製品の特質からしてその部品や製品にごみ(不純物)が付着しないようにする必要がある。
ところが、新規に自動倉庫を建設した場合、或いはリニューアルした場合、載荷棚を構成する部材には、部材の製造並びにその搬送時、或いは部材の取り付けや組み立て、さらには作業者との接触等により静電気が帯電するようになる。これら載荷棚を構成する部材による静電気の帯電は、この載荷棚に保管する部品や製品にもごみ等の不純物を付着させる原因となる。これを防止するため、自動倉庫の建設時、或いはリニューアル時には、該自動倉庫を稼働させる前に必ず各列、各載荷棚毎に静電気除去処理作業(除電処理)を行うようにしている。
By the way, loading shelves are arranged in the automatic warehouse and along the traveling path on which the stacker crane travels. The loading shelves are arranged in a plurality of rows along the normal traveling path and in a plurality of stages in the vertical direction. It is necessary to prevent dust (impurities) from adhering to the parts and products due to the characteristics of the products to be arranged, arranged and manufactured.
However, when a new automatic warehouse is constructed or renewed, the components that make up the loading shelf are subject to static electricity during the manufacture and transportation of the components, or the attachment and assembly of components, and contact with workers. Becomes charged. The electrification of static electricity by the members constituting the loading shelf causes impurities such as dust to adhere to the parts and products stored in the loading shelf. In order to prevent this, at the time of construction or renewal of the automatic warehouse, static electricity removal processing work (static elimination processing) is always performed for each row and each loading shelf before the automatic warehouse is operated.
しかしながら、この載荷棚の静電気除去処理(イオナイザ処理)作業は、作業者が静電気除去器、特に限定されるものではないが、例えば、ガン式の静電気除去器を手で持ち、各載荷棚内に入って除電処理する人力作業となっている。
ところが、近年搬送物の大型化が進み、これを収納保管する載荷棚も高層、大型になり、この高層大型化した載荷棚の静電気除去処理作業を人力で行うには困難と危険が伴うとともに、作業時間が長くかかるという問題があった。
However, this static electricity removal processing (ionizer treatment) work of the loading shelf is not particularly limited by an operator, but for example, a gun-type static electricity removal device is held by hand, It is a human-powered work to enter and remove electricity.
However, in recent years, the size of the transported goods has increased, and the loading shelves for storing and storing them have also become high-rise and large-sized, and it is difficult and dangerous to perform the static electricity removal processing work of the high-rise large loading shelves manually, There was a problem that it took a long time to work.
本発明は、上記従来の自動倉庫内の静電気除去処理の有する問題点に鑑み、スタッカクレーンを用いて自動倉庫内の静電気除去処理を自動にて行うようにした自動倉庫内の静電気除去装置を提供することを目的とする。 The present invention provides a static eliminator in an automatic warehouse in which the static eliminator in the automatic warehouse is automatically performed using a stacker crane in view of the problems of the conventional static eliminator in the automatic warehouse. The purpose is to do.
上記目的を達成するため、本発明の自動倉庫内の静電気除去装置は、スタッカクレーンに搭載した移載機の伸縮アームに脱着可能とした除電フレームと、該除電フレームの左右両側及び伸縮アーム伸張方向側に取り付けた静電気除去器とより構成したことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a static eliminator in an automatic warehouse according to the present invention comprises a static elimination frame that can be attached to and detached from a telescopic arm of a transfer machine mounted on a stacker crane, left and right sides of the static elimination frame, and a telescopic arm extension direction. It consists of a static eliminator attached to the side.
この場合において、除電フレームに取り付ける静電気除去器を、バー式とすることができる。 In this case, the static eliminator attached to the static elimination frame can be a bar type.
また、静電気除去器を、除電フレームの左右両側及び伸縮アーム伸張方向側にそれぞれ上下二段にして取り付けることができる。 Also, the static eliminator can be attached in two stages, upper and lower, on both the left and right sides of the static elimination frame and the extension arm side.
また、除電フレームの左右及び伸縮アーム伸張方向側に取り付けた静電気除去器を、それぞれ選択的に作動させるよう制御プログラムを組み込むことができる。 In addition, a control program can be incorporated so as to selectively operate the static eliminators attached to the right and left sides of the static elimination frame and the extension arm side.
本発明の自動倉庫内の静電気除去装置によれば、スタッカクレーンに搭載した移載機の伸縮アームに脱着可能とした除電フレームと、該除電フレームの左右両側及び伸縮アーム伸張方向側に取り付けた静電気除去器とより構成することにより、スタッカクレーンを用いて自動倉庫内の静電気除去処理作業が行えるので、従来のように人件費がかからず、また専用の装置が不要となり、位置決めも正確に行えるので高精度の均一な除電が可能となり、高層、大型の移載棚においても高所作業の危険性もなく短時間でスムースに除電することができる。また、スタッカクレーンに移載棚除電モードをプログラミングすることで、高精度の除電処理を自動で行うことができる。 According to the static eliminator in an automatic warehouse of the present invention, a static elimination frame that can be attached to and detached from a telescopic arm of a transfer machine mounted on a stacker crane, and static electricity that is attached to both the left and right sides of the static elimination frame and the extension arm side. By constructing it with a remover, it is possible to carry out static electricity removal processing work in an automatic warehouse using a stacker crane, so there is no labor cost as in the past, no dedicated equipment is required, and positioning can be performed accurately. Therefore, highly accurate and uniform static elimination is possible, and even in high-rise and large transfer shelves, static elimination can be performed smoothly in a short time without risk of working at high places. In addition, by programming the transfer shelf charge removal mode in the stacker crane, highly accurate charge removal processing can be performed automatically.
また、除電フレームに取り付ける静電気除去器を、バー式とすることにより、載荷棚内壁面を均一な除電処理を行うことができる。 In addition, by using a bar-type static eliminator attached to the static elimination frame, it is possible to perform uniform static elimination processing on the inner surface of the loading shelf.
また、静電気除去器を、除電フレームの左右両側及び伸縮アーム伸張方向側にそれぞれ上下二段にして取り付けることにより、スタッカクレーンに搭載した移載機を載荷棚に沿って1回降下させるだけで、上下二段に取り付けた静電気除去器にて、上下端までかけ残しなく、また、中心部は2度の除電が行われることになり、簡易かつ迅速に高精度の除電処理を行うことができる。 In addition, by attaching the static eliminator to the left and right sides of the static eliminator frame and the extension arm in the upper and lower stages, the transfer machine mounted on the stacker crane can be lowered once along the loading shelf. With the static eliminator attached in two upper and lower stages, the upper and lower ends are not left untouched, and the central part is subjected to static elimination twice, so that highly accurate static elimination processing can be performed easily and quickly.
また、除電フレームの左右及び伸縮アーム伸張方向側に取り付けた静電気除去器を、それぞれ選択的に作動させるよう制御プログラムを組み込むことにより、静電気除去装置を効果的に使用することができ、静電気除去装置の幅よりも大きな、大型のカセットを収納するようにした大型の載荷棚でも簡易に除電処理を行うことができる。 In addition, the static eliminator can be used effectively by incorporating a control program to selectively operate the static eliminators attached to the left and right sides of the static elimination frame and the extension arm extension direction. Even with a large loading shelf that accommodates a large cassette that is larger than the width, it is possible to carry out the charge removal process easily.
以下、本発明の自動倉庫内の静電気除去装置の実施の形態を、図1〜図4に示す図面に基づいて説明する。 Hereinafter, an embodiment of a static eliminating device in an automatic warehouse according to the present invention will be described with reference to the drawings shown in FIGS.
本発明の自動倉庫内の静電気除去装置の一実施例を図1〜図4に示す。
図において1は、液晶製造工場、半導体製造工場等内に、或いはこれらの工場に隣接して配設した自動倉庫で、この自動倉庫1内には走行路Rに沿って複数列の、また上下方向には複数段にして複数の載荷棚10を配列配置して、各載荷棚10内に部品や製品を収納したカセットKを保管収納するようにして構成する。
この各列の個々の載荷棚10は、走行路の長手方向に沿い、かつ保管収納する載荷物、特に限定されるものではないが、例えば、液晶や半導体の部品等を収納したカセットKを載荷できるよう、所定の間隔をあけて対向配置した載荷棚柱11、11間に、かつ各載荷棚柱11に棚受け12を互いに対向する高さ位置に突設して形成し、同位置で対向する棚受け12、12に前記カセットKの底部端を掛止するようにして載置し、載荷するようにする。
One Example of the static eliminating device in the automatic warehouse of this invention is shown in FIGS.
In the figure,
The
したがって、走行路Rの長手方向に沿って配列する載荷棚柱11、11の間隔W1は、保管収納するカセットKが保管収納できるように、特に限定されるものではないが、例えば、カセットKの横幅に合わせて載荷棚柱11、11の間隔W1を定めるものとし、これにより載荷棚内にカセットKをスムースに収納できるようにする。
また、各段に対向して設ける棚受け12、12の上下方向において、上下の棚受けの間隔HもカセットKの大きさ、より詳しくはカセットKの高さに合わせて設定するので、この場合も、上下の棚受けの間隔Hを、カセットKの高さよりも若干大きくなるようにして定めるものとする。これにより載荷棚内にカセットKをスムースに収納できるようにする。
Accordingly, the interval W1 between the
Further, in the vertical direction of the shelf supports 12 and 12 provided facing each stage, the interval H between the upper and lower shelf supports is also set in accordance with the size of the cassette K, more specifically, the height of the cassette K. In addition, the interval H between the upper and lower shelf holders is determined to be slightly larger than the height of the cassette K. As a result, the cassette K can be smoothly stored in the loading shelf.
また、前記自動倉庫内には、走行路Rに沿って走行可能にスタッカクレーン2を配設し、該スタッカクレーン2には、伸縮式で複数段とした伸縮アームを備えた移載機3を搭載する。
この移載機3は、特に限定されるものではないが、例えば、スタッカクレーン2のマストに導かれて昇降するよう構成するとともに、複数段の伸縮式の伸縮アーム31、32、33を備え、この最先端の伸縮アーム31上にカセットKを乗せて搬送及び移載するように構成する。
Further, a
The
また、本発明の静電気除去装置Aは、このスタッカクレーン2を用いて、移載機3の最先端の伸縮アーム31上に取り付けて自動倉庫内の静電気除去処理作業を行うものである。
この静電気除去装置Aは、最先端の伸縮アーム31に脱着可能とした除電フレーム4と、該除電フレーム4の左右両側及び伸縮アーム伸張方向側に取り付けた静電気除去器5とより構成する。
Further, the static eliminator A of the present invention uses this
The static eliminator A includes a
除電フレーム4は、最先端の伸縮アーム31上に載置して取り付け或いは取り外し可能とする構成、これは特に限定されるものではないが、例えば、図示の実施例では伸縮アーム31上に平行して載置するようにした2本の水平フレーム41、41と、この2本の水平フレーム41、41のそれぞれの両端に一体とする垂直フレーム42、42と、また最先端の伸縮アーム31の伸張方向側に配列される1本の水平フレーム41より伸張方向側に水平に突出させて一体とするアーム43、43と、このアーム43、43の先端に取り付ける垂直フレーム44、44とより構成する。
これにより、除電フレーム4の2本の水平フレーム41、41を最先端の伸縮アーム31上に跨るようにして載置するだけで静電気除去装置Aをセットすることができ、かつ伸縮アーム31に対しては必要に応じてクランプ、ボルト等の固定具(図示省略)を用いて固定するようにする。
The
As a result, the static eliminator A can be set only by placing the two
除電フレーム4の左右両及び伸縮アームの伸張方向側に取り付ける静電気除去器5は、互いに対向する垂直フレーム42、42間及び垂直フレーム44、44間に掛け渡すようにして配設するため、バー式のものを採用する。そして、この除電フレーム4の左右両側に静電気除去器5、5を取り付けた際、その静電気除去装置Aの横幅W2は、載荷棚柱11、11の間隔W1よりも小となるようにして定める。
このバー式の静電気除去器5として、特に限定されるものではないが、例えば、クリンエアバリア除電器SJ−Vシリーズ(Keyence社製)を採用することができる。
このクリンエアバリア除電器は、定間隔で複数の電極針(図示省略)を突設して構成し、各電極針に「+」と「−」の高電圧を交互に印加し、両方の極性のイオンを生成させるようにしたもので、この電極針にて生成するイオン電流を除電バー51に形成したエアノズル52から噴射するクリーンエアに乗せて除電するように構成している。
なお、除電バー51は、図1(a)に示すように、除電バー51の外側面と上面又は下面の2面にエアノズル52を形成したもののほか、図1(b)に示すように、除電バー51の1面にエアノズル52を形成したものを2本1組で配設し、側面(裏面)と上面又は下面の2面にクリーンエアを噴射できるようにするようにする。これにより、一度の除電処理で載荷棚の側面と天面又は底面の2面の処理を同時に行うことができる。
The
The bar-type
This clean air barrier static eliminator is constructed by projecting a plurality of electrode needles (not shown) at regular intervals, and alternately applying a high voltage of “+” and “−” to each electrode needle. The ion current generated by the electrode needle is placed on clean air ejected from the
As shown in FIG. 1 (a), the
また、このバー式の静電気除去器5は、垂直フレーム42、42間及び44、44間に、それぞれ1本ずつを掛け渡すようにすることもできるが、図1に示すように上下に平行して2本ずつを掛け渡すよう配設することができる。
これにより、構成部材が干渉することを防止しながら、一度に除電できる範囲を拡大することができ、上下端までかけ残しなく、また、中心部は2度の除電が行われることになり、簡易かつ迅速に高精度の除電処理を行うことができる。
Further, the bar type
As a result, it is possible to expand the range that can be neutralized at a time while preventing the interference of the structural members, and the upper and lower ends are not left untouched. In addition, it is possible to perform highly accurate static elimination processing quickly.
また、除電フレームの左右及び伸縮アーム伸張方向側(前進側)の3方向に取り付けた静電気除去器5、5、5を、右側、左側、前進側のいずれか1つ或いは2つ又は3つを選択的に作動させるよう制御プログラムを組み込むことができる。これにより、静電気除去装置Aの横幅W2が載荷棚柱11、11の間隔W1よりもかなり小さい場合でも、静電気除去装置Aを一方の載荷棚柱11に沿って下降させた後、次に該静電気除去装置Aを他方側の載荷棚柱11側に近づけて再び下降させることで大きな間隔W1を有する大型のカセットKを収納するようにした載荷棚でも簡易に除電処理を行うことができる。
In addition, the
次に、本発明の自動倉庫内の静電気除去装置の作用について説明する。
自動倉庫の建設或いはリニューアルが完成し、自動倉庫にカセットKを保管する前に載荷棚の静電気除去(除電)処理を、該倉庫内に配設しているスタッカクレーンを用いて行う。これは、スタッカクレーンに搭載している移載機の最先端の伸縮アーム31上に、静電気除去装置Aを載置し、必要に応じてクランプ、ボルト等の固定具にて伸縮アームの所定位置に、特に限定されるものではないが、例えば、静電気除去装置Aの中央部が伸縮アーム31の中央部と一致するようにして固定する。そして、載荷棚を除電する際、最上段の載荷棚から除電処理を行うが、これは載荷棚の柱や棚受けに付着している微細なものを含めてすべてのごみを落下させ、確実に除去するようにするためである。
Next, the operation of the static eliminator in the automatic warehouse of the present invention will be described.
The construction or renewal of the automatic warehouse is completed, and before the cassette K is stored in the automatic warehouse, the static electricity removal (static elimination) of the loading shelf is performed using a stacker crane disposed in the warehouse. This is because the static eliminator A is placed on the most advanced
静電気除去装置Aをセットした後、移載機を所定の載荷棚位置まで昇降させて伸縮アームを伸張し、最先端の伸縮アーム31を最上段載荷棚内に挿入する。これにより、該伸縮アーム31に取り付けられた静電気除去装置Aも載荷棚内に挿入される。この場合、静電気除去装置Aが最上段載荷棚内上部位置となるようにするとともに、載荷棚柱或いは載荷棚柱に沿って配設された側壁と静電気除去器5との距離が、静電気除去器5にて発生するイオンにて除電可能範囲内と設定しておくものとする。
次に、すべての静電気除去器5を作動させて各電極針よりイオンを生成させながら移載機を降下させると、左右に対向する載荷棚柱或いは載荷棚柱に沿って配設された側壁と内奥部に配設した裏壁も同時にその上部位置から下部位置に沿って除電される。この除電にて除去されたごみは下方へ落下するが、その一部は下段側の載荷棚などに付着することもある。
この除電処理のため載荷棚内を静電気除去装置Aが降下する場合、バー形の静電気除去器5の長さを載荷棚の奥行き及び横幅と一致する長さを有していれば静電気除去器5を1回降下動作をさせるだけで載荷棚の側面及び裏面を同時に除電できるが、もし静電気除去器5の長さが載荷棚の奥行き及び横幅よりも短い場合は、静電気除去装置Aを前後方向及び/又は横方向に移動させつつ、降下するようにすれば良い。
After setting the static eliminator A, the transfer machine is moved up and down to a predetermined loading shelf position to extend the telescopic arm, and the most advanced
Next, when all the
When the static eliminator A descends in the loading shelf due to this charge removal processing, the
このようにして最上段の載荷棚の除電が完了すると、次に上から2段目の載荷棚の除電処理に取りかかる。これは、伸縮アームを一端縮小した後、移載機3を2段目の載荷棚の位置まで降下させ、次に伸縮アームを伸張させて、同様にして除電処理を行う。しかし、左右に対向する棚受け間内を静電気除去装置Aの静電気除去器5が棚受けのいずれにも接触することなく通過するようであれば伸縮アームの伸縮動作を省略することができ、連続的に最上段の載荷棚から2段目へと除電処理を行うことができる。
この動作を繰り返すことで、最下段の載荷棚までの除電処理を完了することができる。
When the charge removal of the uppermost loading shelf is completed in this way, the process of removing electricity from the second loading shelf from the top is started. In this case, after the telescopic arm is contracted at one end, the
By repeating this operation, the charge removal process up to the lowest loading shelf can be completed.
なお、大きなカセットKを保管収納する載荷棚では、該載荷棚の内幅がカセットKの横幅よりも大きく、かつ静電気除去器5の発生イオンによる除電処理が載荷棚に沿って1回、降下させる作動だけでは均一な処理をすることができない場合、左右に対向するいずれか片方の静電気除去器5を、これと対向する一方の載荷棚柱或いは載荷棚柱に沿って配設された側壁に対してイオンによる除電可能範囲に設定して、かつ該載荷棚柱或いは側壁に沿って降下させて除電処理を行った後、該静電気除去装置Aを同一の載荷棚内で上昇させ、次に該静電気除去装置Aを反対側の載荷棚柱或いは側壁に沿わせるよう移載機を横移動させた後、再び降下させることで載荷棚の左右両側の除電処理を行うことができる。
In the loading shelf for storing and storing a large cassette K, the inner width of the loading shelf is larger than the lateral width of the cassette K, and the static elimination process by the ions generated by the
このスタッカクレーンを用いて除電処理を行う場合は、該スタッカクレーンにはスタッカクレーンによる移載モードだけではなく、除電処理モードをもプログラミングすることで、スタッカクレーンを用いて除電処理を自動的に行うことができる。
また、静電気除去器5を、除電フレームの左右両側及び伸縮アーム伸張方向側にそれぞれ上下二段にして取り付けることで、静電気除去装置Aを1回降下させるだけで、これと対向する載荷棚の柱或いは壁面の除電がより確実に精度良く行えるものとなる。
When performing static elimination processing using this stacker crane, the static elimination processing is automatically performed using the stacker crane by programming not only the transfer mode by the stacker crane but also the static elimination processing mode. be able to.
In addition, by attaching the
以上、本発明の自動倉庫内の静電気除去装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。 As mentioned above, although the static electricity removal apparatus in the automatic warehouse of this invention was demonstrated based on the Example, this invention is not limited to the structure described in the said Example, In the range which does not deviate from the meaning, the The configuration can be changed.
本発明の自動倉庫内の静電気除去装置は、スタッカクレーンに搭載した移載機に静電気除去装置を搭載することで、該スタッカクレーンを用いて静電気除去処理を自動にて行うという特性を有していることから、スタッカクレーンを備えた自動倉庫内の除電の用途に好適に用いることができるほか、例えば、製造工場のクリーンルーム内の除電の用途にも用いることができる。 The static eliminator in the automatic warehouse of the present invention has a characteristic that the static eliminator is automatically performed using the stacker crane by mounting the static eliminator on the transfer machine mounted on the stacker crane. Therefore, it can be suitably used for static elimination in an automatic warehouse equipped with a stacker crane, and can also be used for static elimination in a clean room of a manufacturing plant, for example.
A 静電気除去装置
H 上下の棚受けの間
K カセット
R 隔走行路
W1 載荷棚柱の間隔
W2 静電気除去装置の横幅
1 自動倉庫
10 載荷棚
11 載荷棚柱
12 棚受け
2 スタッカクレーン
3 移載機
31 伸縮アーム
4 除電フレーム
5 静電気除去器
51 除電バー
A Static electricity removing device H Between upper and lower shelf holders K Cassette R Separation path W1 Loading shelf column interval W2 Static width of static eliminating
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006287573A JP5024523B2 (en) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | Static eliminator in automatic warehouse |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006287573A JP5024523B2 (en) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | Static eliminator in automatic warehouse |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008105760A true JP2008105760A (en) | 2008-05-08 |
JP5024523B2 JP5024523B2 (en) | 2012-09-12 |
Family
ID=39439444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006287573A Expired - Fee Related JP5024523B2 (en) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | Static eliminator in automatic warehouse |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5024523B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009128459A1 (en) | 2008-04-15 | 2009-10-22 | 日東電工株式会社 | Permanent magnet and process for producing permanent magnet |
CN108463044A (en) * | 2018-04-24 | 2018-08-28 | 湖州江忆针纺有限公司 | A kind of textile machines static elimination equipment being be easily moved |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05129090A (en) * | 1991-10-31 | 1993-05-25 | Shizuo Kawai | Negative static electricity generating device |
-
2006
- 2006-10-23 JP JP2006287573A patent/JP5024523B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05129090A (en) * | 1991-10-31 | 1993-05-25 | Shizuo Kawai | Negative static electricity generating device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009128459A1 (en) | 2008-04-15 | 2009-10-22 | 日東電工株式会社 | Permanent magnet and process for producing permanent magnet |
CN108463044A (en) * | 2018-04-24 | 2018-08-28 | 湖州江忆针纺有限公司 | A kind of textile machines static elimination equipment being be easily moved |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5024523B2 (en) | 2012-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20190374980A1 (en) | Nozzle cleaning device and nozzle drying method | |
RU2702938C2 (en) | Method of controlling device for storage and/or extraction from storage with flat floor | |
KR20180012508A (en) | Washing and drying equipment for EV rectangular battery | |
JP2015104793A (en) | Plate material conveyance system, plate working system and sorting device | |
JP5024523B2 (en) | Static eliminator in automatic warehouse | |
JP2009267038A (en) | Substrate processing apparatus | |
KR101228023B1 (en) | Cleaning device for mask | |
JP2014121742A (en) | Production system and production line using articulated dual-arm robot | |
KR101946101B1 (en) | Ion source, support member, suspension mechanism, ion source transfer system and ion source transfer method | |
JP2003171003A (en) | Automated storage and retrieval warehouse | |
JP2008204996A (en) | Buffer device | |
JPH082617A (en) | Stacker crane | |
JPS6334026A (en) | Parts supply device | |
JPH0549567B2 (en) | ||
JP2010063806A (en) | Dishwasher and dishwashing method | |
KR20170061300A (en) | Substrate cleaning module and substrate transferring apparatus having the same | |
JP2010093251A (en) | Separating device and method thereof | |
CN215200640U (en) | Machine frame | |
KR20060073430A (en) | Cassette and system for taking out board | |
CN210647646U (en) | Convenient carrier of transporting | |
CN217253747U (en) | Clamp for laser scribing | |
KR101212021B1 (en) | Cassette for loading substrate and substrate slimming apparatus having that | |
US9764898B2 (en) | Automated warehouse and operation method for same | |
CN211846025U (en) | Packing box placing, sorting and conveying device | |
CN210223991U (en) | Wafer bearing device and semiconductor equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110810 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120222 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120403 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120410 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120523 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120605 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |