JP2008101368A - Roll screen for clean room - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a roll screen for a clean room, which can prevent dust produced by a driving source from adhering to a product. <P>SOLUTION: In this roll screen for the clean room, a screen 22 is moved up and down in a frame body 7 by a driving force of a motor 14, so as to open/close a conveying passage on a manufacturing line. The motor 14, and driving force transmission mechanisms 12, 13a and 13b, which transmit the driving force of the motor to hoisting and lowering devices 11 and 19 for the screen 22, are positioned below the conveying passage. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、クリーンルームの間仕切りとして使用されるロールスクリーンに関するものである。   The present invention relates to a roll screen used as a partition for a clean room.

クリーン度の異なるクリーンルーム間で、製造物を搬送装置により搬送する製造ラインでは、クリーンルーム間をロールスクリーンで緩やかに気密を保持する状態で仕切り、そのロールスクリーンを開放することにより、製造物をクリーンルーム間で搬送可能としたものがある。   In a production line that transports products between clean rooms with different cleanliness using a transport device, the clean rooms are separated with a roll screen in a state that is gently airtight, and the roll screen is opened to separate the products between clean rooms. Can be transported with

このような製造ラインでは、クリーン度の高い第一のクリーンルームの気圧がクリーン度の低い第二のクリーンルームの気圧より僅かに高く保持される。そして、製造物の搬送時にロールスクリーンを開放すると、第一のクリーンルームから第二のクリーンルームに向かって空気が流れるようにして、第一のクリーンルームのクリーン度を確保するようになっている。   In such a production line, the air pressure in the first clean room having a high cleanness is maintained slightly higher than the air pressure in the second clean room having a low cleanness. When the roll screen is opened during the conveyance of the product, air flows from the first clean room toward the second clean room, thereby ensuring the cleanliness of the first clean room.

特許文献１には、上方に巻取り可能とした巻取り式シートシャッターで構成されるクリーンルームの開閉扉が開示されている。
特許文献２には、クリーンルーム用のロールスクリーンが開示されている。 Patent Document 1 discloses a clean room open / close door configured by a retractable sheet shutter that can be wound upward.
Patent Document 2 discloses a roll screen for a clean room.

特許文献３には、クリーンルームの気圧差によるガイドレールからの離脱を防止するようにしたクリーンルーム用のロールスクリーンが開示されている。
特開２０００−１５３９２０号公報 特開２００５−２００８９４号公報 特開２００５−１６３３６８号公報 Patent Document 3 discloses a clean room roll screen that prevents separation from a guide rail due to a pressure difference in the clean room.
JP 2000-153920 A Japanese Patent Laying-Open No. 2005-200894 JP 2005-163368 A

上記のようなクリーンルーム用ロールスクリーンでは、スクリーンを開放するためにそのスクリーンを巻き取る巻取軸と、その巻取軸を回転駆動するモータ等の駆動源がクリーンルームの上部に配設されている。   In the clean room roll screen as described above, a winding shaft that winds the screen to open the screen, and a drive source such as a motor that rotationally drives the winding shaft are disposed in the upper portion of the clean room.

従って、塵埃の発生源となるモータあるいはモータの駆動力を巻取軸に伝達する駆動力伝達機構がクリーンルームの上部に位置するため、製造物に塵埃が付着しやすいという問題点がある。   Accordingly, there is a problem in that dust tends to adhere to the product because the motor that is the source of dust or the driving force transmission mechanism that transmits the driving force of the motor to the take-up shaft is located above the clean room.

特許文献１に記載された開閉扉でもシートの駆動源がクリーンルームの上部に配設されるため、同様な問題点がある。
特許文献２，３には、駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止する構成は開示されていない。 The open / close door described in Patent Document 1 also has the same problem because the drive source of the seat is disposed in the upper part of the clean room.
Patent Documents 2 and 3 do not disclose a configuration for preventing dust generated by a drive source from adhering to a product.

この発明の目的は、駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止し得るクリーンルーム用ロールスクリーンを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a roll screen for a clean room that can prevent dust generated by a drive source from adhering to a product.

請求項１では、モータの駆動力により枠体内でスクリーンを昇降して、製造ライン上の搬送路を開閉するクリーンルーム用ロールスクリーンにおいて、前記モータと、該モータの駆動力を前記スクリーンの昇降装置に伝達する駆動力伝達機構を前記搬送路より下方に位置させた。   In a clean room roll screen that lifts and lowers a screen in a frame by a driving force of a motor to open and close a conveyance path on a production line, the motor and the driving force of the motor are transferred to the lifting device of the screen. A driving force transmission mechanism for transmission was positioned below the conveyance path.

請求項２では、前記搬送路の下方で前記枠体に回転可能に支持された巻取軸に前記スクリーンを巻取り、前記スクリーンの上端にウェイトバーを取着し、前記モータの駆動力により前記ウェイトバーを昇降するとともに前記巻取軸を回転させて、前記スクリーンを昇降可能とした。   According to a second aspect of the present invention, the screen is wound around a winding shaft rotatably supported by the frame body below the conveyance path, a weight bar is attached to an upper end of the screen, and the driving force of the motor The screen can be raised and lowered by raising and lowering the weight bar and rotating the winding shaft.

請求項３では、前記枠体に、前記巻取軸の回転にともなって周回するタイミングベルトを支持し、前記ウェイトバーを前記タイミングベルトに取着し、前記搬送路の上方で前記タイミングベルトが掛装されるプーリーの周面は、前記タイミングベルトが噛み合わない平滑面とした。   According to a third aspect of the present invention, a timing belt that rotates as the winding shaft rotates is supported on the frame body, the weight bar is attached to the timing belt, and the timing belt is hooked above the conveyance path. The peripheral surface of the pulley to be mounted was a smooth surface that does not mesh with the timing belt.

本発明によれば、駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止し得るクリーンルーム用ロールスクリーンを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the roll screen for clean rooms which can prevent adhesion to the product of the dust generated with a drive source can be provided.

以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。図６に示す製造ライン１では、製造物２が第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂを経て第三のクリーンルーム３ｃに搬送される。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the production line 1 shown in FIG. 6, the product 2 is conveyed from the first clean room 3a to the third clean room 3c through the second clean room 3b.

前記第一〜第三のクリーンルーム３ａ〜３ｃは、第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃのクリーン度が１００、第二のクリーンルーム３ｂのクリーン度が１０００に設定される。クリーン度１００とは１立方メートル中の塵埃の数が１００個以内に、クリーン度１０００は１立方メートル中の塵埃の数が１０００個以内に維持されることを示す。   In the first to third clean rooms 3a to 3c, the cleanliness of the first and third clean rooms 3a and 3c is set to 100, and the cleanness of the second clean room 3b is set to 1000. A cleanness of 100 means that the number of dust in one cubic meter is kept within 100, and a cleanness of 1000 means that the number of dust in one cubic meter is kept within 1000.

従って、第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃは、第二のクリーンルーム３ｂよりクリーン度が高い。また、第二のクリーンルーム３ｂは第一のクリーンルーム３ａと第三のクリーンルーム３ｃとの間の搬送用空間である。   Accordingly, the first and third clean rooms 3a and 3c have a higher degree of cleanliness than the second clean room 3b. The second clean room 3b is a transfer space between the first clean room 3a and the third clean room 3c.

前記第一〜第三のクリーンルーム３ａ〜３ｃでは、いずれも天井面近傍の送気口から浄化された空気が供給され、供給された空気は床面近傍に設けられる排気口から排出される。また、第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃの気圧は、第二のクリーンルーム３ｂより僅かに高い気圧に維持される。   In each of the first to third clean rooms 3a to 3c, purified air is supplied from an air supply port near the ceiling surface, and the supplied air is discharged from an exhaust port provided near the floor surface. The atmospheric pressure in the first and third clean rooms 3a and 3c is maintained at a slightly higher atmospheric pressure than that in the second clean room 3b.

前記第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに製造物２を搬送する搬送路は、第一のロールスクリーン４ａで開閉可能であり、前記第二のクリーンルーム３ｂから第三のクリーンルーム３ｃに製造物を搬送する搬送路は、第二のロールスクリーン４ｂで開閉可能となっている。   The transport path for transporting the product 2 from the first clean room 3a to the second clean room 3b can be opened and closed by the first roll screen 4a, and the product is transferred from the second clean room 3b to the third clean room 3c. Can be opened and closed by the second roll screen 4b.

そして、製造物２が第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに搬送されるとき第一のロールスクリーン４ａが開放され、製造物２が第二のクリーンルーム３ｂから第三のクリーンルーム３ｃに搬送されるとき第二のロールスクリーン４ｂが開放される。   When the product 2 is conveyed from the first clean room 3a to the second clean room 3b, the first roll screen 4a is opened, and the product 2 is conveyed from the second clean room 3b to the third clean room 3c. The second roll screen 4b is opened.

次に、第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂの具体的構成を説明する。図６に示すように、第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは、床面５と天井面６との間に枠体７が固定され、第二のクリーンルーム３ｂに対し線対称状に配設されている。   Next, a specific configuration of the first and second roll screens 4a and 4b will be described. As shown in FIG. 6, the first and second roll screens 4a and 4b have a frame 7 fixed between the floor surface 5 and the ceiling surface 6 and are arranged in line symmetry with respect to the second clean room 3b. It is installed.

第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは基本的に同一構成であるので、第一のロールスクリーン４ａについて説明する。
図１〜図４に示すように、枠体７は前記床面５から垂立する一対の縦枠８ａ，８ｂの上端部間が上枠９で連結されている。前記縦枠８ａ，８ｂの下部は下枠１０で連結され、その下枠１０の上方において縦枠８ａ，８ｂ間にはスクリーンの巻取軸（昇降装置）１１が回転可能に支持されている。 Since the first and second roll screens 4a and 4b have basically the same configuration, the first roll screen 4a will be described.
As shown in FIGS. 1 to 4, the frame body 7 is connected by an upper frame 9 between upper ends of a pair of vertical frames 8 a and 8 b that are suspended from the floor surface 5. Lower portions of the vertical frames 8a and 8b are connected by a lower frame 10, and a screen winding shaft (elevating device) 11 is rotatably supported between the vertical frames 8a and 8b above the lower frame 10.

また、巻取軸１１の縦枠８ａ側の端部には第一のプーリー１２が設けられ、巻取軸１１の両端には第二のプーリー１３ａ，１３ｂが設けられている。第一及び第二のプーリー（駆動力伝達機構）１２，１３ａ，１３ｂは、巻取軸１１と一体に回転する。   A first pulley 12 is provided at the end of the winding shaft 11 on the vertical frame 8 a side, and second pulleys 13 a and 13 b are provided at both ends of the winding shaft 11. The first and second pulleys (driving force transmission mechanisms) 12, 13 a, and 13 b rotate integrally with the winding shaft 11.

前記巻取軸１１の下方において、前記縦枠８ａにはモータ１４が固定され、そのモータ１４の出力軸と前記巻取軸１１の第一のプーリー１２には第一のタイミングベルト１５が掛装されている。第一のタイミングベルト１５は、金属線にてなる芯材を備えたウレタンゴムで形成される。従って、モータ１４の正逆回転にともなって巻取軸１１が正逆回転されるようになっている。   A motor 14 is fixed to the vertical frame 8 a below the winding shaft 11, and a first timing belt 15 is hooked on the output shaft of the motor 14 and the first pulley 12 of the winding shaft 11. Has been. The first timing belt 15 is made of urethane rubber having a core material made of a metal wire. Therefore, the winding shaft 11 is rotated forward and backward as the motor 14 rotates forward and backward.

前記縦枠８ａ，８ｂの上端部において、前記第二のプーリー１３ａ，１３ｂの上方には従動プーリー１６ａ，１６ｂが回転可能に支持され、その従動プーリー１６ａ，１６ｂと前記第二のプーリー１３ａ，１３ｂとの間には第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂがそれぞれ掛装されている。従動プーリー１６ａ，１６ｂの周面は、タイミングベルト１７ａ，１７ｂに噛み合わない平滑面で形成されている。   At the upper ends of the vertical frames 8a and 8b, driven pulleys 16a and 16b are rotatably supported above the second pulleys 13a and 13b, and the driven pulleys 16a and 16b and the second pulleys 13a and 13b are supported. The second timing belts 17a and 17b are respectively hung between them. The peripheral surfaces of the driven pulleys 16a and 16b are formed as smooth surfaces that do not mesh with the timing belts 17a and 17b.

第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂは、前記第一のタイミングベルト１５と同様な材質で構成され、一本のベルトの両端部を連結部材で連結して無端状に形成されている。そして、前記第二のプーリー１３ａ，１３ｂが回転されると、第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂは第二のプーリー１３ａ，１３ｂと従動プーリー１６ａ，１６ｂとの間を周回するようになっている。   The second timing belts 17a and 17b are made of the same material as that of the first timing belt 15, and are formed endlessly by connecting both ends of one belt with a connecting member. When the second pulleys 13a and 13b are rotated, the second timing belts 17a and 17b circulate between the second pulleys 13a and 13b and the driven pulleys 16a and 16b.

前記第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂには、同一高さ位置にテンションユニット１８ａ，１８ｂの下端部が取着され、そのテンションユニット１８ａ，１８ｂの上端部にウェイトバー（昇降装置）１９の両端部が連結部材２０を介して取着されている。前記テンションユニット１８ａ，１８ｂの下端部と上端部はコイルスプリング２１を介して伸縮可能に連結されている。   The lower ends of the tension units 18a and 18b are attached to the second timing belts 17a and 17b at the same height, and both ends of a weight bar (elevating device) 19 are attached to the upper ends of the tension units 18a and 18b. Is attached via the connecting member 20. The lower end and upper end of the tension units 18a and 18b are connected to each other via a coil spring 21 so as to extend and contract.

前記ウェイトバー１９にはスクリーン２２の上端部が取着され、そのスクリーン２２の下部は前記巻取軸１１に巻着されている。そして、モータ１４の作動により巻取軸１１がスクリーン２２の巻取り方向に回転されると、スクリーン２２が巻取軸１１に巻き取られ、同時に第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの周回によりウェイトバー１９が下降して、スクリーン２２が下降する。スクリーン２２は、静電気の発生を防止した塩化ビニールのシートで形成される。   An upper end portion of a screen 22 is attached to the weight bar 19, and a lower portion of the screen 22 is wound around the winding shaft 11. When the winding shaft 11 is rotated in the winding direction of the screen 22 by the operation of the motor 14, the screen 22 is wound around the winding shaft 11, and at the same time, the weight bar is rotated by the rotation of the second timing belts 17a and 17b. 19 descends and the screen 22 descends. The screen 22 is formed of a vinyl chloride sheet that prevents the generation of static electricity.

一方、巻取軸１１がスクリーン２２の巻戻し方向に回転されると、スクリーン２２が巻取軸１１から巻き戻され、同時に第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの周回によりウェイトバー１９が上昇して、スクリーン２２が上昇する。   On the other hand, when the winding shaft 11 is rotated in the rewinding direction of the screen 22, the screen 22 is unwound from the winding shaft 11, and at the same time, the weight bar 19 is raised by the rotation of the second timing belts 17a and 17b. The screen 22 rises.

このようなスクリーン２２の昇降動作時に、スクリーン２２の巻取軸１１への巻取り量あるいは巻戻し量と、ウェイトバー１９との昇降ストロークとがほぼ一致するように、第一のプーリー１２と第二のプーリー１３ａ，１３ｂの歯数が設定されている。   When the screen 22 is moved up and down, the first pulley 12 and the first pulley 12 are moved so that the amount of winding or unwinding of the screen 22 around the winding shaft 11 and the lifting stroke of the weight bar 19 substantially coincide with each other. The number of teeth of the second pulleys 13a and 13b is set.

また、巻取軸１１の巻径の変化によりスクリーン２２の巻取軸１１への巻取り量あるいは巻戻し量と、ウェイトバー１９との昇降ストロークとの間に僅かなずれが生じるが、そのずれはテンションユニット１８ａ，１８ｂの伸縮動作により吸収される。   Further, due to the change in the winding diameter of the winding shaft 11, a slight shift occurs between the amount of winding or unwinding of the screen 22 around the winding shaft 11 and the lifting stroke with the weight bar 19. Is absorbed by the expansion and contraction of the tension units 18a and 18b.

前記縦枠８ａには、上下方向に４つの位置検出センサ２３ａ〜２３ｄが設けられ、その出力信号は前記下枠１０上あるいはクリーンルーム内外の任意位置に設置される制御盤２４に出力される。制御盤２４はモータの作動を制御するものであり、位置検出センサ２３ａ〜２３ｄの出力信号に基づいて、ウェイトバー１９が上枠９近傍まで上昇したとき、あるいは巻取軸１１近傍まで下降したとき、モータ１４の作動を停止させる。   The vertical frame 8a is provided with four position detection sensors 23a to 23d in the vertical direction, and output signals thereof are output to the control panel 24 installed on the lower frame 10 or at an arbitrary position inside or outside the clean room. The control panel 24 controls the operation of the motor, and when the weight bar 19 rises to the vicinity of the upper frame 9 or descends to the vicinity of the winding shaft 11 based on the output signals of the position detection sensors 23a to 23d. Then, the operation of the motor 14 is stopped.

なお、制御盤２４は位置検出センサ２３ｂ，２３ｃの出力信号に基づいて、スクリーン２２の上昇あるいは下降動作の開始後の所定範囲と、ウェイトバー１９が上限あるいは下限に達する前の所定範囲で、ウェイトバー１９の上昇あるいは下降速度を抑制するようにモータ１４を制御する機能を備えている。   Based on the output signals of the position detection sensors 23b and 23c, the control panel 24 has a predetermined range after the start of the raising or lowering operation of the screen 22 and a predetermined range before the weight bar 19 reaches the upper limit or the lower limit. A function of controlling the motor 14 is provided so as to suppress the ascending or descending speed of the bar 19.

前記スクリーン２２の両端部は、図５に示すように、前記縦枠８ａ，８ｂに設けられるガイドレール２５にインナーレール２６を介して支持されている。インナーレール２６は、弾性を備えた金属線を折り曲げて形成した保持部材２７を介して上下方向に複数箇所でガイドレール２５に支持されている。   As shown in FIG. 5, both ends of the screen 22 are supported by guide rails 25 provided on the vertical frames 8a and 8b via inner rails 26. The inner rail 26 is supported by the guide rail 25 at a plurality of locations in the vertical direction via a holding member 27 formed by bending a metal wire having elasticity.

前記スクリーン２２の側縁部にはファスナー２８が取着され、そのファスナー２８が前記インナーレール２５に上下動可能に支持されている。
上記のような第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂを備えた製造ラインの動作を説明する。 Fasteners 28 are attached to the side edges of the screen 22, and the fasteners 28 are supported by the inner rail 25 so as to be movable up and down.
The operation of the production line including the first and second roll screens 4a and 4b as described above will be described.

第一のクリーンルーム３ａで加工された製造物２を、第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに搬送する場合には、図４に示すように、第一のロールスクリーン４ａのスクリーン２２が下降され、製造物２が第二のクリーンルーム３ｂに搬送される。このとき、第一のクリーンルーム３ａと第二のクリーンルーム３ｂとの気圧差により、第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに空気が流れ込むため、第一のクリーンルーム３ａのクリーン度が低下することはない。   When the product 2 processed in the first clean room 3a is transported from the first clean room 3a to the second clean room 3b, the screen 22 of the first roll screen 4a is lowered as shown in FIG. Then, the product 2 is conveyed to the second clean room 3b. At this time, because the air flows from the first clean room 3a to the second clean room 3b due to the pressure difference between the first clean room 3a and the second clean room 3b, the cleanliness of the first clean room 3a decreases. Absent.

製造物２が第二のクリーンルーム３ｂに搬送されると、第一のロールスクリーン４ａのスクリーン２２が引き上げられ、第一のクリーンルーム３ａと第二のクリーンルーム３ｂとが仕切られる。   When the product 2 is conveyed to the second clean room 3b, the screen 22 of the first roll screen 4a is pulled up, and the first clean room 3a and the second clean room 3b are partitioned.

次いで、第二のロールスクリーン４ｂのスクリーン２２が下降され、製造物２が第三のクリーンルーム３ｃに搬送される。このとき、第三のクリーンルーム３ｃと第二のクリーンルーム３ｂとの気圧差により、第三のクリーンルーム３ｃから第二のクリーンルーム３ｂに空気が流れ込むため、第三のクリーンルーム３ｃのクリーン度が低下することはない。   Next, the screen 22 of the second roll screen 4b is lowered, and the product 2 is conveyed to the third clean room 3c. At this time, because the air flows from the third clean room 3c to the second clean room 3b due to the pressure difference between the third clean room 3c and the second clean room 3b, the cleanliness of the third clean room 3c is reduced. Absent.

第三のクリーンルーム３ｃに搬送された製造物２は、新たな加工が施された後、次工程に搬送される。
上記のようなクリーンルーム用ルールスクリーンでは、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）天井面６側から床面５に向かって空気が流れるクリーンルーム内において、塵埃の発生源となるモータ１４及びそのモータ１４の駆動力を第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂに伝達するプーリー１２，１３ａ，１３ｂが製造物２の搬送位置より下方に位置している。従って、製造物２への塵埃の付着を防止することができる。
（２）製造物２の搬送位置より上方に位置する従動プーリー１６ａ，１６ｂの周面は、第二のタイミング１７ａ，１７ｂと噛み合わない平滑面で構成されるので、塵埃の発生を防止することができる。
（３）第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは、第二のクリーンルーム３ｂに対し線対称状に配設され、モータ１４が第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃ側に突出するように配置される。従って、製造物２を搬送するためにのみ使用される第二のクリーンルーム３ｂを狭小化することができる。 The product 2 transported to the third clean room 3c is transported to the next step after being subjected to new processing.
With the clean room rule screen as described above, the following operational effects can be obtained.
(1) In a clean room where air flows from the ceiling surface 6 toward the floor surface 5, the motor 14 that is a dust generation source and the pulley 12 that transmits the driving force of the motor 14 to the second timing belts 17a and 17b. , 13a, 13b are located below the transport position of the product 2. Accordingly, it is possible to prevent dust from adhering to the product 2.
(2) Since the peripheral surfaces of the driven pulleys 16a and 16b positioned above the transport position of the product 2 are configured as smooth surfaces that do not mesh with the second timings 17a and 17b, generation of dust can be prevented. it can.
(3) The first and second roll screens 4a and 4b are arranged symmetrically with respect to the second clean room 3b so that the motor 14 protrudes toward the first and third clean rooms 3a and 3c. Be placed. Therefore, the 2nd clean room 3b used only for conveying the product 2 can be narrowed.

上記実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは、共通のモータでスクリーンを昇降するようにしてもよい。 You may implement the said embodiment in the following aspects.
The first and second roll screens 4a and 4b may be moved up and down by a common motor.

一実施の形態のロールスクリーンを示す正面図である。It is a front view which shows the roll screen of one Embodiment. 一実施の形態のロールスクリーンを示す側面図である。It is a side view which shows the roll screen of one Embodiment. 一実施の形態のロールスクリーンを示す平面図である。It is a top view which shows the roll screen of one Embodiment. スクリーンを下降させた状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which lowered the screen. ガイドレールを示す断面図である。It is sectional drawing which shows a guide rail. ロールスクリーンで仕切られるクリーンルームを示す正面図である。It is a front view which shows the clean room partitioned off with a roll screen.

符号の説明Explanation of symbols

１…製造ライン、２…製造物、３ａ〜３ｃ…第一〜第三のクリーンルーム、４ａ，４ｂ…第一〜第三のロールスクリーン、７…枠体、１１…昇降装置（巻取軸）、１２…駆動力伝達機構（第一のプーリー）、１３ａ，１３ｂ…駆動力伝達機構（第二のプーリー）、１４…モータ、１９…昇降装置（ウェイトバー）、２２…スクリーン。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Production line, 2 ... Product, 3a-3c ... 1st-3rd clean room, 4a, 4b ... 1st-3rd roll screen, 7 ... Frame, 11 ... Lifting apparatus (winding shaft), DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 ... Driving force transmission mechanism (1st pulley), 13a, 13b ... Driving force transmission mechanism (2nd pulley), 14 ... Motor, 19 ... Lifting device (weight bar), 22 ... Screen.

Claims (3)

モータの駆動力により枠体内でスクリーンを昇降して、製造ライン上の搬送路を開閉するクリーンルーム用ロールスクリーンにおいて、
前記モータと、該モータの駆動力を前記スクリーンの昇降装置に伝達する駆動力伝達機構を前記搬送路より下方に位置させたことを特徴とするクリーンルーム用ロールスクリーン。 In a roll screen for a clean room that lifts and lowers the screen within the frame by the driving force of the motor to open and close the conveyance path on the production line,
A roll screen for a clean room, characterized in that the motor and a driving force transmission mechanism for transmitting a driving force of the motor to a lifting device for the screen are positioned below the conveyance path. 前記搬送路の下方で前記枠体に回転可能に支持された巻取軸に前記スクリーンを巻取り、前記スクリーンの上端にウェイトバーを取着し、前記モータの駆動力により前記ウェイトバーを昇降するとともに前記巻取軸を回転させて、前記スクリーンを昇降可能としたことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用ロールスクリーン。   The screen is wound around a winding shaft rotatably supported by the frame body below the conveyance path, a weight bar is attached to the upper end of the screen, and the weight bar is moved up and down by the driving force of the motor. The roll screen for a clean room according to claim 1, wherein the screen can be moved up and down by rotating the winding shaft. 前記枠体に、前記巻取軸の回転にともなって周回するタイミングベルトを支持し、前記ウェイトバーを前記タイミングベルトに取着し、前記搬送路の上方で前記タイミングベルトが掛装されるプーリーの周面は、前記タイミングベルトが噛み合わない平滑面としたことを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用ロールスクリーン。   A timing belt that circulates with the rotation of the winding shaft is supported on the frame body, the weight bar is attached to the timing belt, and a pulley on which the timing belt is hooked is disposed above the conveyance path. The roll screen for a clean room according to claim 2, wherein the peripheral surface is a smooth surface that does not mesh with the timing belt.
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