JP2008097361A - 異常監視装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号入力部2は、機器Xの動作により生じる対象信号を取り込む。対象信号の特徴を表す特徴ベクトルを特徴抽出部3で抽出する。カテゴリ分類部1は、特徴抽出部3により抽出した特徴ベクトルを入力データとする競合学習型ニューラルネットワークを用いて構成される。乖離度演算部4は、カテゴリ分類部1における出力層のニューロンに設定された重みベクトルと機器Xの動作により得られた特徴ベクトルとの差分ベクトルの大きさを乖離度として求める。乖離度演算部4で求めた乖離度の履歴が履歴記録部5に記録され、判別部6は、乖離度の履歴において変化率が規定値以上かつ継続時間に達すると機器Xの動作状態に異常の前兆があると判定する。
【選択図】図1
Description
Y=([X]/X−[Wwin]/Wwin)T([X]/X−[Wwin]/Wwin)
ここにTは転置を表し、角付き括弧を付与していないX,Wwinは各ベクトルのノルムを表す。各ベクトルの要素をノルムで除算していることにより正規化される。
2 信号入力部
3 特徴抽出部
4 乖離度演算部
5 履歴記録部
6 判別部
7 学習データ記憶部
11 入力層
12 出力層
N1 ニューロン
N2 ニューロン
X 機器
Claims (3)
- 検査対象の動作を反映する電気信号を対象信号として取り込む信号入力部と、対象信号の特徴を表す特徴ベクトルを抽出する特徴抽出部と、特徴抽出部により抽出した特徴ベクトルを入力データとし学習データを用いてあらかじめ学習することにより出力層の各ニューロンに学習データのカテゴリに対応した重みベクトルが設定される競合学習型ニューラルネットワークからなるカテゴリ分類部と、カテゴリ分類部における出力層のニューロンに設定された重みベクトルと検査対象の動作により得られた特徴ベクトルとの差分ベクトルの大きさを乖離度として求める乖離度演算部と、乖離度の履歴を記録する履歴記録部と、履歴記録部に記録された乖離度の履歴の変化パターンを用いて検査対象の異常傾向を検出する判別部とを備えることを特徴とする異常監視装置。
- 前記判別部は、前記履歴記録部に記録された乖離度の変化率が規定値以上であり、かつ乖離度の変化率が前記規定値以上である時間が規定の持続時間に達すると検査対象に異常傾向があると判断することを特徴とする請求項1記載の異常監視装置。
- 前記競合学習型ニューラルネットワークは、前記検査対象が正常に動作しているときに各対象信号について得られた特徴ベクトルを学習データとし、各対象信号をそれぞれ1つのカテゴリとして学習されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の異常監視装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110014735A (zh) * | 2018-01-10 | 2019-07-16 | 精工爱普生株式会社 | 对异常进行警告的方法以及异常警告系统 |
CN111578983A (zh) * | 2019-02-15 | 2020-08-25 | 瑞萨电子株式会社 | 异常检测装置、异常检测系统以及异常检测方法 |
JP2021102817A (ja) * | 2017-04-05 | 2021-07-15 | 株式会社荏原製作所 | 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム |
CN113834595A (zh) * | 2020-06-08 | 2021-12-24 | 上银科技股份有限公司 | 滚珠螺杆预压衰退判定方法 |
JP7014869B1 (ja) | 2020-09-03 | 2022-02-01 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | ボールねじの予圧低下の検出方法 |
US11435262B2 (en) | 2020-09-08 | 2022-09-06 | Hiwin Technologies Corp. | Method for assessing preload degradation of ball screw |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0652474A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラント監視装置 |
JPH11338848A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Ffc:Kk | データ異常検出装置 |
JP2002015000A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Toshiba Corp | 多変数時系列データ類似度判定装置 |
JP2002188411A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 異常診断装置 |
JP2006053818A (ja) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Kagawa Univ | データ処理方法及びデータ処理装置、並びに診断方法及び診断装置 |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0652474A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラント監視装置 |
JPH11338848A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Ffc:Kk | データ異常検出装置 |
JP2002015000A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Toshiba Corp | 多変数時系列データ類似度判定装置 |
JP2002188411A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 異常診断装置 |
JP2006053818A (ja) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Kagawa Univ | データ処理方法及びデータ処理装置、並びに診断方法及び診断装置 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7093442B2 (ja) | 2017-04-05 | 2022-06-29 | 株式会社荏原製作所 | 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム |
JP2021102817A (ja) * | 2017-04-05 | 2021-07-15 | 株式会社荏原製作所 | 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム |
US11315812B2 (en) | 2017-04-05 | 2022-04-26 | Ebara Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus, failure prediction method for semiconductor manufacturing apparatus, and failure prediction program for semiconductor manufacturing apparatus |
CN110014735B (zh) * | 2018-01-10 | 2022-03-25 | 精工爱普生株式会社 | 对异常进行警告的方法以及异常警告系统 |
EP3511867A1 (en) * | 2018-01-10 | 2019-07-17 | Seiko Epson Corporation | Abnormality warning method and abnormality warning system |
CN110014735A (zh) * | 2018-01-10 | 2019-07-16 | 精工爱普生株式会社 | 对异常进行警告的方法以及异常警告系统 |
US11020996B2 (en) | 2018-01-10 | 2021-06-01 | Seiko Epson Corporation | Abnormality warning method and abnormality warning system |
JP2020135170A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 異常検知装置、異常検知システム、異常検知方法 |
CN111578983A (zh) * | 2019-02-15 | 2020-08-25 | 瑞萨电子株式会社 | 异常检测装置、异常检测系统以及异常检测方法 |
JP7175216B2 (ja) | 2019-02-15 | 2022-11-18 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 異常検知装置、異常検知システム、異常検知方法 |
CN113834595A (zh) * | 2020-06-08 | 2021-12-24 | 上银科技股份有限公司 | 滚珠螺杆预压衰退判定方法 |
CN113834595B (zh) * | 2020-06-08 | 2024-04-26 | 上银科技股份有限公司 | 滚珠螺杆预压衰退判定方法 |
JP2022042670A (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-15 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | ボールねじの予圧低下の検出方法 |
JP7014869B1 (ja) | 2020-09-03 | 2022-02-01 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | ボールねじの予圧低下の検出方法 |
US11435262B2 (en) | 2020-09-08 | 2022-09-06 | Hiwin Technologies Corp. | Method for assessing preload degradation of ball screw |
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Publication number | Publication date |
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