JP2008088037A - Method of manufacturing fine-glass-particle deposited body - Google Patents

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Masahito Konuki
雅人 小貫
Toshimi Habasaki
利巳 幅崎
Hisatsugu Kasai
久嗣 笠井
Mitsuru Takagi
充 高城
Tomoya Suzuki
智哉 鈴木
Nobutaka Musa
宜孝 撫佐
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B2207/70Control measures

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a high grade fine-glass-particle deposited body by accurately measuring the deposited quantity of fine glass particles during the manufacture. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the fine-glass-particle deposited body is provided by which a glass rod 11 is vertically held while gripping the upper end of a glass rod 11 and vertically moved while being rotated and a plurality of deposited layers of the fine glass particles are deposited on the circumference of the glass rod 11 using a burner. The method is characterized in that the glass rod 11 and a gripping part 12 are hung on a weight measuring part to measure the weight of the hung part, a plurality of feed conditions of gas to the burner 26 is changed based on the change in the measured weight, a whirling vibration suppressing tool 30 arranged in the vicinity of the lower end of the glass rod 11 is brought into contact with the whirling vibration of the lower end of the glass rod 11 to suppress the whirling vibration and the whirling vibration suppressing tool 30 is moved with the vertical movement of the glass rod 11 while vertically moving the weight measuring part 13 by a frame 21. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、バーナにより生成したガラス微粒子をロッドの周囲に堆積させ、ガラス微粒子の堆積層を複数層形成してガラス微粒子堆積体を製造する方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a glass fine particle deposit by depositing glass fine particles generated by a burner around a rod and forming a plurality of glass fine particle deposition layers.

一般に、ガラス微粒子堆積体を製造する方法としては、上端を支持したロッドを回転させつつ軸方向へ移動させながら、その外周にバーナによってガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を軸方向に成長させるVAD法、あるいは径方向に成長させるOVD法などが挙げられる。   In general, as a method for producing a glass particulate deposit, the glass particulate deposit is grown in the axial direction by depositing glass particulates on the outer periphery thereof while rotating the rod supporting the upper end in the axial direction while rotating the rod. Examples thereof include a VAD method and an OVD method of growing in the radial direction.

上記の製造方法でガラス微粒子堆積体を製造する際にロッドが長尺になるとロッドの回転に伴う振れまわりが大きくなり、ロッドに堆積するガラス微粒子の量が不均一となるおそれがある。そのため、ガラス微粒子堆積体を製造する装置には、ロッドの振れまわりを無くして非円化や偏肉化を防止するために、上端のみならず下端を保持して安定させるロッド防振装置を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
このガラスロッド防振装置は、軸方向へ移動するガラスロッドに追従しながら、その下端に当接するアルミニウムなどの金属から形成された防振キャップを備えている。
When the glass fine particle deposit is manufactured by the above manufacturing method, if the rod becomes long, the swing around the rod rotates and the amount of glass fine particles deposited on the rod may be non-uniform. For this reason, the apparatus for producing a glass particulate deposit body is provided with a rod vibration isolator that holds and stabilizes not only the upper end but also the lower end in order to prevent the rod from swinging and prevent non-circularity and uneven thickness. Are known (for example, see Patent Document 1).
This glass rod vibration isolator is provided with a vibration isolating cap formed from a metal such as aluminum that contacts the lower end of the glass rod that moves in the axial direction.

特開2004−10377号公報JP 2004-10377 A

ところで、上記の製造方法でガラス微粒子堆積体を製造する際には、ガラス微粒子の堆積量を確認するためにロッドの把持部に堆積量測定装置(重量測定装置)を設置しておき、重量の変化をガラス微粒子の堆積量としてモニターしながらガラス微粒子堆積体の製造を行う場合がある。   By the way, when manufacturing a glass particle deposit by the above manufacturing method, a deposition amount measuring device (weight measuring device) is installed in the gripping portion of the rod in order to confirm the amount of glass particle deposition. In some cases, a glass particulate deposit is produced while monitoring the change as the amount of deposited glass particulates.

しかし、上記のような防振装置は、ロッドの先端に皿状またはパイプ状の治具を押さえつけて振れまわりを抑制する構造であるため、堆積量測定装置により測定される値は、防振装置の押さえつける力が加わった状態のものとなってしまう。また、ロッドを上下に移動させると、上昇時と下降時では防振装置からロッドへ作用する力が変動するため、堆積量の測定値が不安定となり、ロッドの移動毎の測定値は信頼性の低いものとなってしまう。そのため、堆積量の測定値に応じて堆積量を正確に調整することが難しかった。   However, since the vibration isolator as described above has a structure in which a dish-shaped or pipe-shaped jig is pressed against the tip of the rod to suppress the vibration, the value measured by the deposition amount measuring apparatus is It will be in the state where the force of pressing is added. In addition, if the rod is moved up and down, the force acting on the rod from the vibration isolator fluctuates during ascent and descent, so the measured value of the accumulated amount becomes unstable, and the measured value for each movement of the rod is reliable. Will be low. Therefore, it is difficult to accurately adjust the deposition amount according to the measurement value of the deposition amount.

本発明は、製造中にガラス微粒子の堆積量を正確に測定して、堆積量を適切に調節することで高品質なガラス微粒子堆積体を製造することが可能なガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することを目的としている。   The present invention provides a method for producing a glass particulate deposit capable of producing a high-quality glass particulate deposit by accurately measuring the amount of deposited glass particulate during production and appropriately adjusting the deposition amount. It is intended to provide.

上記課題を解決することのできる本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、ロッドの上端を把持した状態で垂直に保持し、前記ロッドを回転させながら上下に移動させ、ガラス微粒子を生成するバーナにより前記ロッドの周囲にガラス微粒子の堆積層を複数層形成するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記ロッド及びその上端を把持する把持部を重量測定部に吊るし、吊るされた部分の重量を計測し、測定された重量の変化に基づいて前記ガラス微粒子を生成するための前記バーナへのガスの供給条件を変化させ、前記ロッドの下端近傍に振れまわり抑制治具を配置し、前記ロッドの下端の振れまわりに対し前記振れまわり抑制治具が接触しながら振れまわりを抑制し、ロッド移動台により前記重量測定部を上下に移動させるとともに、前記振れまわり抑制治具を前記ロッドの上下の移動にあわせ移動させることを特徴としている。   The method for producing a glass particulate deposit according to the present invention that can solve the above-mentioned problems is a burner that generates glass particulates by holding the upper end of a rod vertically while holding it vertically and moving the rod up and down while rotating the rod. Is a method for producing a glass particulate deposit body in which a plurality of glass particulate deposition layers are formed around the rod, wherein the rod and the gripping portion for gripping the upper end of the rod are suspended from a weight measuring portion, and the weight of the suspended portion And changing a gas supply condition to the burner for generating the glass fine particles based on the measured change in weight, and arranging a whirling suppression jig near the lower end of the rod, When the whirling restraining jig contacts the whirling at the lower end of the rod, the whirling is restrained and the weight measuring unit is moved up and down by the rod moving table. To, it is characterized by moving together the whirling suppressed jig moving up and down the rod.

また、前記振れまわり抑制治具は、前記ロッドが所定の位置より上方に移動する際は、前記ガラスロッドの移動に追従させないことが好ましい。
その際、前記振れまわり抑制治具またはそれを固定する治具固定部を上方へ押し上げる押し上げ機構により、前記振れまわり抑制治具は、前記所定の位置までは、前記振れまわり抑制治具または前記治具固定部が前記ロッド移動台に当接して前記ロッド移動台とともに移動すると良い。
Further, it is preferable that the whirling suppression jig does not follow the movement of the glass rod when the rod moves upward from a predetermined position.
At that time, the whirling restraining jig is pushed up to the predetermined position by the push-up mechanism that pushes up the whirling restraining jig or the jig fixing portion that fixes the whirling restraining jig. It is preferable that the fixture fixing portion abuts on the rod moving table and moves together with the rod moving table.

本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法によれば、振れまわり抑制治具はロッドの下端の振れまわりに対して接触するようにしており、さらにロッドの上下の移動にあわせ移動させるようにしたことで、重量測定部による測定値を振れまわり抑制治具により変動させることなく、製造中にガラス微粒子の堆積量を正確に測定して、測定された重量の変化に基づいてバーナへのガスの供給条件を変化させて堆積量を適切に調節することで、高品質なガラス微粒子堆積体を製造することができる。   According to the method for producing a glass particulate deposit of the present invention, the whirling suppression jig is in contact with the whirling of the lower end of the rod, and is further moved in accordance with the vertical movement of the rod. Therefore, without changing the measurement value of the weight measurement unit with the whirling suppression jig, the amount of glass fine particles deposited is accurately measured during production, and the gas is supplied to the burner based on the measured weight change. By appropriately adjusting the deposition amount by changing the conditions, a high-quality glass particulate deposit can be produced.

以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の実施の形態の例を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法を実施する製造装置を示す概略構成図である。
Hereinafter, an example of an embodiment of a method for producing a glass fine particle deposit according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a manufacturing apparatus for carrying out the method for manufacturing a glass fine particle deposit according to the present embodiment.

図1に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置10は、ガラスロッド11の上端を把持部12により把持した状態で垂直に保持し、その把持部12によりガラスロッド11を回転させながら、把持部12を吊るす重量測定部13をロッド移動装置20のフレーム(ロッド移動台)21により上下に移動させることでガラスロッド11を上下に移動させ、ガラス微粒子を生成するバーナ26によりガラスロッド11の周囲にガラス微粒子の堆積層を複数層形成することで、ガラス微粒子堆積体Gを製造するものである。そして、ガラス微粒子堆積体の製造装置10では、ガラスロッド11の下端近傍に振れまわり抑制治具30を配置し、ガラスロッド11の下端の振れまわりに対し振れまわり抑制治具30が接触しながら振れまわりを抑制し、振れまわり抑制治具30をガラスロッド11の上下の移動にあわせて移動させるようになっている。   As shown in FIG. 1, the glass particle deposit manufacturing apparatus 10 holds the glass rod 11 vertically while holding the upper end of the glass rod 11 with the holding portion 12, and rotates the glass rod 11 with the holding portion 12. The weight measuring unit 13 for suspending the unit 12 is moved up and down by a frame (rod moving table) 21 of the rod moving device 20 to move the glass rod 11 up and down, and around the glass rod 11 by a burner 26 that generates glass fine particles. A glass fine particle deposit G is produced by forming a plurality of glass fine particle deposition layers. In the glass particle deposit manufacturing apparatus 10, the whirling suppression jig 30 is arranged in the vicinity of the lower end of the glass rod 11, and the whirling suppression jig 30 comes into contact with the whirling suppression at the lower end of the glass rod 11. The surroundings are suppressed, and the whirling suppression jig 30 is moved in accordance with the vertical movement of the glass rod 11.

ガラスロッド11の上端を把持する把持部12は、モータ14の回転軸16に接続されており、モータ14の回転駆動によって回転することでガラスロッド11を回転させるようになっている。モータ14は底面が開口した短円筒形状を有する支持具15の上面に設置されており、把持部12は支持具15の内側に軸受18を介して取り付けられている。支持具15はロッド移動装置20のフレーム21上に設置された重量測定部13上に配置され、支持具15とともにモータ14、軸受18、把持部12、ガラスロッド11、ガラス微粒子堆積体Gの重量を重量測定部13により吊るして、これら吊るされた部分の重量を重量測定部13により計測し、制御部24にてモニターできるようになっている。重量測定部13は、例えば支持具15の円周方向に沿って3箇所に配置されたロードセルとすればよい。   The grip portion 12 that grips the upper end of the glass rod 11 is connected to a rotating shaft 16 of the motor 14, and rotates the glass rod 11 by rotating by the rotational drive of the motor 14. The motor 14 is installed on the upper surface of a support 15 having a short cylindrical shape with an open bottom, and the gripping portion 12 is attached to the inside of the support 15 via a bearing 18. The support 15 is disposed on the weight measuring unit 13 installed on the frame 21 of the rod moving device 20, and the weight of the motor 14, the bearing 18, the grip 12, the glass rod 11, and the glass particulate deposit G together with the support 15. Are suspended by the weight measuring unit 13, and the weights of these suspended portions are measured by the weight measuring unit 13 and can be monitored by the control unit 24. The weight measuring unit 13 may be, for example, load cells arranged at three locations along the circumferential direction of the support 15.

ロッド移動装置20は、ロッド移動台としてのフレーム21の上部で重量測定部13が設置されているとともに、重量測定部13を介して支持した把持部12等を上下に移動させるための構造として、垂直方向に設けられたボールねじ22及びレール23がフレーム21に取り付けられた構成となっている。すなわち、フレーム21はレール23によってガイドされながらボールねじ22の回転によりボールねじ22の軸方向に上下するようになっている。   The rod moving device 20 has a weight measuring unit 13 installed on the upper part of a frame 21 as a rod moving table, and has a structure for moving the gripping unit 12 and the like supported via the weight measuring unit 13 up and down. A ball screw 22 and a rail 23 provided in the vertical direction are attached to the frame 21. That is, the frame 21 is moved up and down in the axial direction of the ball screw 22 by the rotation of the ball screw 22 while being guided by the rail 23.

このように、ガラスロッド11の上端は把持部12により把持されて、ガラスロッド11はロッド移動装置20によって上下に移動されるようになっている。一方で、ガラスロッド11の下端近傍には、ガラスロッド11の下端の振れまわりに対して接触しながら振れまわりを抑制する振れまわり抑制治具30が配置されている。振れまわり抑制治具30は、図2にも示すように、内側に円筒状の穴35が形成されており、ガラスロッド11が振れまわった場合にガラスロッド11の外周に接触してガラスロッド11の振れまわりを抑制するようになっている。穴35の内径は、ガラスロッド11が挿入されることを許容しつつ振れまわりを防ぐように、挿入されたガラスロッド11に対して僅かなクリアランスを有する大きさとされている。また、穴35の深さは、振れまわり抑制治具30に対するガラスロッド11の多少の上下動を許容するとともに、把持部12に対するガラスロッド11の着脱の際にガラスロッド11をその軸方向に移動させる分だけ移動可能な長さとされている。振れまわり抑制治具30の材質は、ガラス微粒子を堆積させる際の耐熱性や耐腐食性を考慮して、アルミやカーボン、またはセラミックとすることが好ましい。   As described above, the upper end of the glass rod 11 is gripped by the grip portion 12, and the glass rod 11 is moved up and down by the rod moving device 20. On the other hand, in the vicinity of the lower end of the glass rod 11, a whirling suppression jig 30 that suppresses whirling while being in contact with the whirling of the lower end of the glass rod 11 is disposed. As shown in FIG. 2, the whirling suppression jig 30 is formed with a cylindrical hole 35 on the inside, and when the glass rod 11 swings, the glass rod 11 comes into contact with the outer periphery of the glass rod 11. It is designed to suppress the whirling around. The inner diameter of the hole 35 is set to a size having a slight clearance with respect to the inserted glass rod 11 so as to prevent the glass rod 11 from being swung while allowing the glass rod 11 to be inserted. The depth of the hole 35 allows the glass rod 11 to move up and down slightly with respect to the whirling suppression jig 30 and moves the glass rod 11 in the axial direction when the glass rod 11 is attached to and detached from the grip portion 12. The length is movable as much as possible. The material of the whirling suppression jig 30 is preferably aluminum, carbon, or ceramic in consideration of heat resistance and corrosion resistance when depositing glass particles.

また、振れまわり抑制治具30は、ロッド移動装置20の下方に配置された治具固定部31により支持されている。治具固定部31は、垂直方向に設けられたレール33によりガイドされた状態で、押し上げ機構34により上方へ付勢されている。また、治具固定部31はロッド移動装置20のフレーム21の下端に当接部32において当接しており、押し上げ機構34の押し上げ付勢力との作用により、押し上げ機構34が押し上げるストロークの上限となる所定の位置以下ではフレーム21に当接した状態でフレーム21とともに上下に移動するようになっている。   Further, the whirling suppression jig 30 is supported by a jig fixing portion 31 disposed below the rod moving device 20. The jig fixing portion 31 is urged upward by a push-up mechanism 34 while being guided by a rail 33 provided in a vertical direction. Further, the jig fixing portion 31 is in contact with the lower end of the frame 21 of the rod moving device 20 at the contact portion 32, and becomes the upper limit of the stroke that the push-up mechanism 34 pushes up by the action of the push-up biasing force of the push-up mechanism 34. Below a predetermined position, it moves up and down together with the frame 21 while being in contact with the frame 21.

すなわち、振れまわり抑制治具30がフレーム21とともに上昇する上限となる所定の位置が決まっていて、振れまわり抑制治具30がその所定の位置にある状態からさらにロッド移動装置20を上昇させることで、ガラスロッド11を振れまわり抑制治具30から離脱させて把持部12に対するガラスロッド11の着脱作業を容易に行うことができる。   That is, a predetermined position that is the upper limit for the whirling suppression jig 30 to rise with the frame 21 is determined, and the rod moving device 20 is further lifted from the state in which the whirling suppression jig 30 is in the predetermined position. The glass rod 11 can be detached from the whirling suppression jig 30, and the glass rod 11 can be easily attached to and detached from the grip portion 12.

なお、振れまわり抑制治具30の前記所定の位置は、ガラスロッド11にガラス微粒子を堆積させるときの上下の移動範囲よりも上方の位置に設定されており、ガラス微粒子堆積体Gを形成する際には常に振れまわり抑制治具30がガラスロッド11とともに移動するようになっている。また、押し上げ機構34には、エアシリンダーやコイルばねを用いるとよい。   The predetermined position of the whirling suppression jig 30 is set to a position above the vertical movement range when the glass particles are deposited on the glass rod 11, and the glass particle deposit G is formed. In this case, the whirling suppression jig 30 always moves together with the glass rod 11. The push-up mechanism 34 may be an air cylinder or a coil spring.

上記のような振れまわり抑制治具30を備えたガラス微粒子堆積体の製造装置10は、ガラスロッド11に向けて固定されたガラス微粒子生成用のバーナ26を備えており、このバーナ26により生成されたガラス微粒子が回転しながら上下に移動するガラスロッド11の外周面に堆積して堆積層が複数層形成されていき、ガラス微粒子堆積体Gが成長する。   The apparatus 10 for producing a glass particulate deposit body provided with the above-described whirling suppression jig 30 includes a burner 26 for producing glass particulates fixed to the glass rod 11, and is produced by the burner 26. The glass particulates are deposited on the outer peripheral surface of the glass rod 11 that moves up and down while rotating, forming a plurality of deposited layers, and the glass particulate deposit G grows.

バーナ26は、四塩化珪素(SiCl)を含むガラス原料ガスを噴出するポートと、助燃性ガスである酸素(O)を噴出するポートと、支燃性ガスである水素(H)を噴出するポートとを備え、噴出した酸素と水素により酸水素火炎を発生させてその酸水素火炎中にガラス原料ガスを噴出することで、加水分解反応によってシリカ(SiO)が生じ、ガラス微粒子を生成する。 The burner 26 has a port for ejecting a glass raw material gas containing silicon tetrachloride (SiCl 4 ), a port for ejecting oxygen (O 2 ) as an auxiliary combustion gas, and hydrogen (H 2 ) as a combustion support gas. And a port for jetting, generating an oxyhydrogen flame with the jetted oxygen and hydrogen, and jetting a glass raw material gas into the oxyhydrogen flame, thereby producing silica (SiO 2 ) by a hydrolysis reaction, whereby glass fine particles are produced. Generate.

バーナ26に供給される複数のガスは、それぞれガス供給部25から所望の流量に調整されて供給される。ガス供給部25は、制御部24からの指令により各ガスの供給量を変化させるようになっている。   The plurality of gases supplied to the burner 26 are respectively adjusted to a desired flow rate and supplied from the gas supply unit 25. The gas supply unit 25 changes the supply amount of each gas according to a command from the control unit 24.

本実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法において、バーナ26に供給するガスの供給条件(供給量や割合)を、ガラス微粒子の堆積量に応じて変化させる。供給条件を変化させるガスとしては、上記の四塩化珪素、酸素、水素、等のうち一種類又は複数の種類を適宜選択できる。ガラス微粒子の堆積量は、重量測定部13で計測された値の増加量に対応しているため、例えばガラスロッド11を上下に一往復させる間のガラス微粒子の堆積量を、重量測定部13の計測値から制御部24が算出してモニターし、予め設定された目標値に対する計測値のずれを修正するように、制御部24からガス供給部25にガスの供給条件に関する指令を出す。   In the method for producing a glass fine particle deposit according to the present embodiment, the supply conditions (supply amount and ratio) of the gas supplied to the burner 26 are changed according to the glass fine particle deposition amount. As the gas for changing the supply conditions, one or more kinds of silicon tetrachloride, oxygen, hydrogen, and the like can be selected as appropriate. Since the accumulation amount of the glass fine particles corresponds to the increase amount of the value measured by the weight measuring unit 13, for example, the accumulation amount of the glass fine particles while the glass rod 11 is reciprocated once up and down is determined by the weight measuring unit 13. The control unit 24 calculates and monitors from the measured value, and issues a command related to the gas supply condition from the control unit 24 to the gas supply unit 25 so as to correct the deviation of the measured value with respect to the preset target value.

このとき、重量測定部13の計測値は、重力加速度とガラスロッド11の移動速度の影響により、ガラスロッド11の上昇時は下降時と比較して大きくなる傾向があるため、ガラス微粒子の堆積量は、ガラスロッド11が上下に一往復した期間内における計測値の平均値を目安にするとよい。   At this time, the measured value of the weight measuring unit 13 tends to be larger when the glass rod 11 is raised than when the glass rod 11 is lowered due to the influence of the acceleration of gravity and the moving speed of the glass rod 11. May be based on the average value of the measured values during the period in which the glass rod 11 reciprocates up and down once.

ガラスロッド11が上下に移動する際、振れまわり抑制治具30はガラスロッド11の下端が振れまわったときに摺接して振れまわりを抑制し、ガラスロッド11の周方向に均一にガラス微粒子が堆積するようにしている。そして、振れまわり抑制治具30はガラスロッド11とともに上下に移動するが、それはロッド移動装置20に対して治具固定部31が当接した状態で移動するためであり、ガラスロッド11と振れまわり抑制治具30との間には、上下方向の力は作用しない。そのため、振れまわり抑制治具30が重量測定部13の計測値を変動させることはなく、ガラス微粒子の堆積量を正確に測定することができるようになっている。したがって、堆積量の正確な計測に基づいた正確なガス供給制御を行うことができるため、ガラス微粒子の堆積不良に素早く対応して、ガラスロッド11の一往復毎の堆積量を適切に調節しながらガラス微粒子堆積体Gを成長させていくことができる。   When the glass rod 11 moves up and down, the whirling suppression jig 30 slidably contacts when the lower end of the glass rod 11 swings to suppress the whirling, and the glass particles are uniformly deposited in the circumferential direction of the glass rod 11. Like to do. The whirling suppression jig 30 moves up and down together with the glass rod 11 because it moves in a state where the jig fixing portion 31 is in contact with the rod moving device 20. No vertical force acts between the restraining jig 30. Therefore, the whirling suppression jig 30 does not fluctuate the measurement value of the weight measuring unit 13 and can accurately measure the deposition amount of the glass fine particles. Therefore, since accurate gas supply control based on accurate measurement of the deposition amount can be performed, the deposition amount of each round trip of the glass rod 11 can be adjusted promptly in response to the deposition failure of the glass fine particles. The glass particulate deposit G can be grown.

上記実施形態では、ガラス微粒子を堆積させるロッドをガラスのロッドとしたが、カーボンのロッドまたはセラミックのロッドとしてもよい。
また、押し上げ機構34は、振れまわり抑制治具30を支持した治具固定部31を押し上げることで振れまわり抑制治具30を押し上げる構成としたが、押し上げ機構34によって直接振れまわり抑制治具30を押し上げるようにしてもよい。
また、振れまわり抑制治具30の形状は、図2に示した形状に限られず、ガラスロッド11の下端近傍の振れまわりに対して接触し、かつガラスロッド11を押し上げない形状であれば良い。
In the above embodiment, the rod on which the glass particles are deposited is a glass rod, but may be a carbon rod or a ceramic rod.
The push-up mechanism 34 is configured to push up the whirling suppression jig 30 by pushing up the jig fixing portion 31 that supports the whirling suppression jig 30. It may be pushed up.
The shape of the whirling suppression jig 30 is not limited to the shape shown in FIG. 2, and may be any shape that contacts the whirling near the lower end of the glass rod 11 and does not push up the glass rod 11.

また、ロッド移動台であるフレーム21と振れまわり抑制治具30とを一体構造として、振れまわり抑制治具30を適宜開閉可能な半割構造等とすれば、上記押し上げ機構34を用いなくてもよい。   Further, if the frame 21 that is the rod moving base and the swing-out restraining jig 30 are integrated, and the swing-out restraining jig 30 has a halved structure that can be opened and closed appropriately, the push-up mechanism 34 is not used. Good.

本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法を実施する製造装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the manufacturing apparatus which enforces the manufacturing method of the glass fine particle deposit body concerning this invention. 図1に示す振れまわり抑制治具の断面図である。It is sectional drawing of the whirling suppression jig | tool shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 ガラス微粒子堆積体の製造装置
11 ガラスロッド
12 把持部
13 重量測定部
20 ロッド移動装置
21 フレーム(ロッド移動台)
24 制御部
25 ガス供給部
26 バーナ
30 振れまわり抑制治具
34 押し上げ機構
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Glass fine particle manufacturing apparatus 11 Glass rod 12 Grasping part 13 Weight measuring part 20 Rod moving device 21 Frame (rod moving stand)
24 Control Unit 25 Gas Supply Unit 26 Burner 30 Swing Suppression Jig 34 Push-up Mechanism

Claims (3)

ロッドの上端を把持した状態で垂直に保持し、前記ロッドを回転させながら上下に移動させ、ガラス微粒子を生成するバーナにより前記ロッドの周囲にガラス微粒子の堆積層を複数層形成するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ロッド及びその上端を把持する把持部を重量測定部に吊るし、吊るされた部分の重量を計測し、
測定された重量の変化に基づいて前記ガラス微粒子を生成するための前記バーナへのガスの供給条件を変化させ、
前記ロッドの下端近傍に振れまわり抑制治具を配置し、前記ロッドの下端の振れまわりに対し前記振れまわり抑制治具が接触しながら振れまわりを抑制し、
ロッド移動台により前記重量測定部を上下に移動させるとともに、前記振れまわり抑制治具を前記ロッドの上下の移動にあわせ移動させることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
A glass particulate deposit body in which the upper end of the rod is held vertically and the rod is moved up and down while rotating, and a plurality of glass particulate deposition layers are formed around the rod by a burner that generates glass particulates. A manufacturing method of
Suspend the grip part that grips the rod and its upper end on a weight measurement part, measure the weight of the suspended part,
Changing the gas supply conditions to the burner to produce the glass particulates based on the measured change in weight;
A whirling suppression jig is disposed near the lower end of the rod, and the whirling suppression jig is in contact with the whirling lower end of the rod to suppress whirling,
A method for producing a glass particulate deposit, wherein the weight measuring unit is moved up and down by a rod moving table, and the whirling suppression jig is moved in accordance with the vertical movement of the rod.
前記振れまわり抑制治具は、前記ロッドが所定の位置より上方に移動する際は、前記ガラスロッドの移動に追従させないことを特徴とする請求項1に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。   2. The method for producing a glass particulate deposit according to claim 1, wherein the whirling suppression jig does not follow the movement of the glass rod when the rod moves upward from a predetermined position. 前記振れまわり抑制治具またはそれを固定する治具固定部を上方へ押し上げる押し上げ機構により、前記振れまわり抑制治具は、前記所定の位置までは、前記振れまわり抑制治具または前記治具固定部が前記ロッド移動台に当接して前記ロッド移動台とともに移動することを特徴とする請求項2に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。   By the push-up mechanism that pushes up the swing-around suppression jig or the jig fixing portion that fixes the swing-out suppression jig, the swing-out suppression jig is moved up to the predetermined position until the predetermined position. 3. The method for producing a glass particle deposit according to claim 2, wherein the abutment is in contact with the rod moving table and moves together with the rod moving table.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017100916A (en) * 2015-12-02 2017-06-08 住友電気工業株式会社 Production device and method of glass preform
WO2021172575A1 (en) * 2020-02-28 2021-09-02 京セラ株式会社 Member for optical glass production apparatus

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