JP2008084776A - Image display device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、外囲器と外囲器内部にゲッタが設けられた画像表示装置に関する。 The present invention relates to an envelope and an image display device in which a getter is provided inside the envelope.
近年、軽量・薄型の画像表示装置として、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィールドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導型電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)などが開発されている。 In recent years, as a lightweight and thin image display device, a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD) that controls the intensity of light using the orientation of liquid crystal, a plasma display panel (hereinafter referred to as LCD) that emits phosphors by ultraviolet rays of plasma discharge. (Referred to as PDP), field emission display (hereinafter referred to as FED) that emits a phosphor with an electron beam of a field emission electron emitter, and surface conduction electron that emits a phosphor with an electron beam of a surface conduction electron emitter. Emission displays (hereinafter referred to as SEDs) have been developed.
例えばFEDでは、一般に、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周辺部同士を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。前面基板の内面には蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には蛍光体を励起して発光させる電子放出源として多数の電子放出素子が設けられている。 For example, an FED generally has a front substrate and a rear substrate that are opposed to each other with a predetermined gap, and these substrates are surrounded by a vacuum by surrounding each other through a rectangular frame-shaped side wall. Make up the vessel. A phosphor screen is formed on the inner surface of the front substrate, and a number of electron-emitting devices are provided on the inner surface of the rear substrate as electron emission sources that excite the phosphor to emit light.
背面基板および前面基板に加わる大気圧荷重を支えるために、これら基板の間には複数の支持部材が配設されている。背面基板側の電位はほぼアース電位であり、蛍光面にはアノード電圧として例えば10kVが印加される。蛍光体スクリーンを構成する赤、緑、青の蛍光体に電子放出素子から放出された電子ビームを照射し、蛍光体を発光させることによって画像を表示する。 In order to support an atmospheric pressure load applied to the back substrate and the front substrate, a plurality of support members are disposed between these substrates. The potential on the back substrate side is almost the ground potential, and 10 kV, for example, is applied as an anode voltage to the phosphor screen. An image is displayed by irradiating the phosphors of red, green, and blue constituting the phosphor screen with the electron beams emitted from the electron-emitting devices and causing the phosphors to emit light.
このようなFEDにおいては、真空外囲器内部を高い真空度に維持することが重要となる。真空度が低いと、安定した電子放出ができず、画像表示装置の寿命が低下することになるからである。 In such an FED, it is important to maintain a high degree of vacuum inside the vacuum envelope. This is because if the degree of vacuum is low, stable electron emission cannot be performed, and the life of the image display device is reduced.
そこで、長期間にわたって真空外囲器内部を高い真空度に維持するため、真空外囲器内部には不所望なガス分子を吸着するゲッタ層を設けることが通常行われる。このようなゲッタ層として、例えば、PDPのパネル側辺に隣り合う領域に非蒸発型ゲッタ層を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、真空チャンバー内に前面基板を投入し、真空チャンバーを排気した後、前面基板の蛍光体スクリーン領域に蒸発型ゲッタ層を蒸着形成する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかし、パネル側辺に隣り合う領域に非蒸発型のゲッタ膜を形成する方法では、ゲッタから離れた領域、すなわち蛍光体スクリーンの中央部に存在する不所望なガス分子を効率的にゲッタに吸着することができない。そのため、真空外囲器の中央部のガス圧が高くなり、表示装置中央部の輝度が低下する。すなわち、FEDの動作中には電子ビームが蛍光体に照射され、蛍光体スクリーンから不所望なガス分子が放出される。しかしながら、真空外囲器内の中央部にはゲッタがないため、放出された中央部のガス分子は周辺部のゲッタに吸着される前に電子放出素子を汚染する可能性が高くなり、電子放出特性が劣化する。汚染された電子放出素子は十分な電子を放出することができず、FEDの周辺部の輝度に対して中央部の輝度が低くなってしまう。 However, in the method of forming a non-evaporable getter film in the area adjacent to the side of the panel, undesired gas molecules existing in the area away from the getter, that is, in the central portion of the phosphor screen, are efficiently adsorbed to the getter. Can not do it. Therefore, the gas pressure at the center of the vacuum envelope increases, and the brightness at the center of the display device decreases. That is, during the operation of the FED, an electron beam is irradiated onto the phosphor, and unwanted gas molecules are emitted from the phosphor screen. However, since there is no getter in the central part of the vacuum envelope, the emitted gas molecules in the central part are more likely to contaminate the electron-emitting device before being adsorbed by the peripheral getter. Characteristics deteriorate. The contaminated electron-emitting device cannot emit sufficient electrons, and the luminance at the central portion is lower than the luminance at the peripheral portion of the FED.
また、非蒸発型ゲッタは一般的に一酸化炭素、二酸化炭素の吸着量が小さいため、FEDを動作後しばらくすると一酸化炭素、二酸化炭素を吸着することができなくなる。このため、真空外囲器内部全体のガス圧が高くなり、電子放出素子が破壊されて安定した電子放出ができなくなる。その結果、FEDの寿命が低下する問題が生じる。 Further, since the non-evaporable getter generally has a small amount of adsorption of carbon monoxide and carbon dioxide, it becomes impossible to adsorb carbon monoxide and carbon dioxide after a while after operating the FED. For this reason, the gas pressure in the entire vacuum envelope is increased, and the electron-emitting device is destroyed and stable electron emission cannot be performed. As a result, there arises a problem that the life of the FED is reduced.
一方、真空チャンバー内に前面基板を投入し、真空チャンバーを排気した後、前面基板の蛍光体スクリーン領域に蒸発型のゲッタ膜を蒸着形成する方法では、不所望なガス分子は効率的にゲッタ膜に吸着される。そのため、FEDの真空外囲器内部は長期間にわたって高い真空度に維持される。 On the other hand, in a method in which a front substrate is placed in a vacuum chamber, the vacuum chamber is evacuated, and then an evaporation type getter film is deposited on the phosphor screen region of the front substrate, undesired gas molecules are efficiently removed by a getter film. To be adsorbed. For this reason, the inside of the vacuum envelope of the FED is maintained at a high degree of vacuum over a long period of time.
しかしながら、この方法では大型の真空チャンバーを使用するため、製造コストが高くなり、結果として画像表示装置のコストも高くなる。また、真空チャンバー内にゲッタ蒸着のための駆動機構を設けなければならないため、装置の信頼性やメンテナンス性が極めて悪くなる。さらに、蛍光体スクリーンの全面に亘って蒸発型のゲッタ膜を蒸着形成すると、輝度が低下するという性能上の問題も生じる。 However, since this method uses a large vacuum chamber, the manufacturing cost increases, and as a result, the cost of the image display device also increases. In addition, since a drive mechanism for getter vapor deposition must be provided in the vacuum chamber, the reliability and maintainability of the apparatus are extremely deteriorated. Further, when an evaporation type getter film is formed over the entire surface of the phosphor screen, there is a problem in performance that the luminance is lowered.
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、長期にわたって高い表示性能を維持することができ、製造コストの低減を図ることが可能な画像表示装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide an image display device capable of maintaining high display performance over a long period of time and capable of reducing the manufacturing cost.
この発明の態様に係る画像表示装置は、周辺部同士が接合された第1基板および第2基板を有する外囲器と、前記第1基板上に配置された蛍光体スクリーンと、前記第2の基板上に配置された電子源と、前記外囲器内のガスを吸着するゲッタと、を備え、
前記ゲッタは、前記蛍光体スクリーン上に形成された非蒸発型ゲッタと、前記外囲器の周縁部に設けられ、少なくともバリウムを含む蒸発型ゲッタとを有している。
An image display device according to an aspect of the present invention includes an envelope having a first substrate and a second substrate whose peripheral portions are joined to each other, a phosphor screen disposed on the first substrate, and the second substrate An electron source disposed on the substrate, and a getter that adsorbs the gas in the envelope,
The getter includes a non-evaporable getter formed on the phosphor screen, and an evaporative getter provided at a peripheral edge of the envelope and containing at least barium.
本発明の様態に係る画像表示装置によれば、非蒸発型ゲッタを蛍光体スクリーン上に形成し、一酸化炭素、二酸化炭素の吸着量が大きいバリウムゲッタを含む蒸発型ゲッタを外囲器の周辺部に形成することにより、輝度を落とさずに不所望なガス分子を効率よく長期間吸着することができ、真空外囲器内部を長期間にわたって高い真空度に維持することができる。製造に際して高価な真空チャンバーを用いる必要が無く、製造コストを抑えることができるとともに、装置の信頼性やメンテナンス性も良好になる。これにより、長期にわたって高い表示性能を維持することができ、製造コストの低減を図ることが可能な画像表示装置を提供することができる。 According to the image display device according to the aspect of the present invention, the non-evaporable getter is formed on the phosphor screen, and the evaporative getter including the barium getter having a large adsorption amount of carbon monoxide and carbon dioxide is provided around the envelope. By forming it in the part, undesired gas molecules can be efficiently adsorbed for a long period of time without lowering the luminance, and the inside of the vacuum envelope can be maintained at a high degree of vacuum for a long period of time. There is no need to use an expensive vacuum chamber for the production, the production cost can be reduced, and the reliability and maintainability of the apparatus are also improved. As a result, it is possible to provide an image display device that can maintain high display performance over a long period of time and can reduce the manufacturing cost.
以下図面を参照しながら、この発明の画像表示装置をSEDに適用した実施形態について詳細に説明する。
図1および図2に示すように、SEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は所定の間隔で対向配置されている。第2基板としての背面基板12は、第1基板としての前面基板11よりも大きな寸法に形成されている。前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された偏平な外囲器10を構成している。接合部材として機能する側壁13は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材25により、前面基板11の周縁部および背面基板12の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。
Hereinafter, an embodiment in which an image display device of the present invention is applied to an SED will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, the SED includes a
外囲器10の内部には、前面基板11および背面基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、複数の板状の支持部材14が設けられている。これらの支持部材14は、外囲器10の一辺と平行な方向にそれぞれ延在しているとともに、上記一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。各支持部材14の長手方向両端部は、それぞれ側壁13と隙間を置いて対向している。
A plurality of plate-
図2ないし図4に示すように、前面基板11の内面には、画像表示面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青の蛍光体層R、G、B、およびこれらの蛍光体層間に位置した黒色の遮光層20を並べて構成されている。赤、緑、青の3色の蛍光体層R、G、Bは、第1方向に隙間を置いて交互に並んで形成され、同一色の蛍光体層が第1方向と直交する第2方向に隙間を置いて配列されている。蛍光体層R、G、Bはそれぞれ、赤、緑、青の単色でサブピクセルを構成し、3色のサブピクセルを合わせて一画素を構成している。
As shown in FIGS. 2 to 4, a
蛍光体スクリーン16の遮光層20に重ねてマトリクス状の分断層31が形成されている。蛍光体スクリーン16上には、アルミニウム膜等からなるメタルバック層17が形成されている。本実施形態によれば、メタルバック層17は、分断層31により縦方向および横方向に分断され、互いに電気的に分離した複数の分断領域を有している。分断層31により夫々が互いに電気的に分断したメタルバック層17は、蛍光体層R、G、Bに夫々重なって位置している。
A matrix-shaped dividing
蛍光体スクリーン16の遮光層20に重ねて、ここでは、分断層31に重ねて、非蒸発型のゲッタ膜23が形成されている。ゲッタ膜23は、蛍光体スクリーン16上に所定の面積で配置されている。すなわち、ゲッタ膜23は、蛍光体層R、G、B上を避けるように分断層31上に重ねて形成され、互いに電気的に分断された複数の領域を有している。また、前面基板11の内面上において、蛍光体スクリーン16の外側の領域には、蒸発型ゲッタとしてバリウムを含むゲッタ膜28が形成されている。
A
まず、蒸発型のゲッタ膜28について詳細に説明する。ゲッタ膜28は、外囲器10の周縁部、例えば、蛍光体スクリーン16と側壁13の間に厚さ30nmで形成されている。ゲッタ膜28は、支持部材14の両端側で前面基板11の内面に形成され、支持部材と直交する方向に沿って連続的あるいは間欠的に設けられている。
First, the evaporation
バリウムを含む蒸発型ゲッタの材料としては、バリウムとアルミニウムとの金属間化合物BaAl4の粉末にニッケルを添加した反応型ゲッタを用いることができる。これはCRT用として使用されている一般的な蒸発型ゲッタである。外囲器10の封着工程を大気中で行う場合には耐酸化性ゲッタとしてフリッタブルゲッタを選択することが望ましい。このゲッタ材料を真空中で加熱し蒸着させることによりゲッタ膜28が形成される。
As a material for the evaporable getter containing barium, a reactive getter in which nickel is added to powder of an intermetallic compound BaAl 4 of barium and aluminum can be used. This is a general evaporative getter used for CRT. When the sealing process of the
次に、非蒸発型のゲッタ膜23について詳細に説明する。図3ないし図5に示すように、ゲッタ膜23は、非蒸発型ゲッタの粉末41、非蒸発型ゲッタの粉末同士および非蒸発型ゲッタの粉末と前面基板とを接着するための接着材粒子43を有している。非蒸発型ゲッタとしては、一般に使用されている様々なものを選択することが可能であるが、SEDに使用する場合には活性化温度が比較的低い種類のものが望ましい。
Next, the
粉末41の粒径は使用デバイスの真空特性、例えば到達真空度や放出ガス量などにより定める。本実施形態では、50%径が1〜10μm、望ましくは1〜5μmとするのがよい。これ以上粒径が大きいと非蒸発型ゲッタ粉末の比表面積が小さくなる。そのため、ゲッタのガス吸着速度が小さくなり、SEDの外囲器10内部を高い真空度に維持することが困難になる。また、これ以上粒径が小さいと、ゲッタ粉末41が室温においても非常に活性な状態となり、取り扱いが難しくなる。
The particle size of the
接着材粒子43は、一般に使用されている様々なものを選択することが可能であるが、非蒸発型ゲッタの粉末41よりも小さな粒径を有する接着材粒子を用いる。接着材粒子43の粒径が非蒸発型ゲッタの粉末41の粒径と同等かそれよりも大きい場合、非蒸発型ゲッタの粉末表面の大部分が接着材粒子43の陰になってしまい、ガス分子がゲッタ粉末に吸着しにくくなる。そのためにゲッタの吸着速度が落ち、SEDの外囲器内部を高い真空度に維持することができなくなる。
Various kinds of
望ましい接着材粒子43としては、50%径が0.1〜1μmの銀パウダーを挙げることができる。この銀パウダーによって非蒸発型ゲッタの粉末41同士を接着し、同時に、非蒸発型ゲッタの粉末と前面基板と互いに接着することにより、蛍光体スクリーン16上にゲッタ膜23が形成される。ゲッタ膜23は、例えば、スクリーン印刷法、ディスペンス法、スプレー塗布法等によって形成することができる。
Desirable
非蒸発型のゲッタ膜23は、蛍光体スクリーン16の中央部に位置した領域が厚く、前面基板11の周辺部に近い領域になるにしたがって薄くなるように形成されている。すなわち、蛍光体スクリーン16の中央部に位置したゲッタ膜23の膜厚は、蛍光体スクリーンの周辺部に位置したゲッタ膜23の膜厚よりも厚く形成されている。
The
上述のようにSEDの外囲器10は扁平に形成され、内部のコンダクタンスが小さい。そのため、外囲器内において、周辺部に存在するガス分子は周辺部に形成された蒸発型のゲッタ膜28に吸着され易いが、中央部に存在するガス分子はゲッタ膜28に吸着されにくくなる。そのため、中央部に滞在するガス分子の量は周辺部に滞在するガス分子の量よりも多くなる。そこで、中央部に位置したゲッタ膜の吸着能力が先に尽きることがないように、非蒸発型のゲッタ膜23の膜厚は厚く形成されている。
As described above, the
非蒸発型のゲッタ膜23のガス吸着速度が大きいと、外囲器10内のガス分子が、ゲッタ膜28よりも先に非蒸発型のゲッタ膜23に吸着されてしまう。SEDの内部のような高真空領域では、一酸化炭素および二酸化炭素が支配的なガス分子となる。しかし、これらのガス分子の吸着量は、非蒸発型のゲッタ膜23のほうが蒸発型のゲッタ膜28よりも小さい。そのため、ガス分子が先に非蒸発型のゲッタ膜23に吸着されてしまうと、外囲器中央部のガス圧が高くなり、SEDの寿命が低下してしまう。
When the gas adsorption speed of the
そこで、本実施形態によれば、一酸化炭素および二酸化炭素について、蒸発型のゲッタ膜28の単位面積当たりのガス吸着速度は、非蒸発型のゲッタ膜23の単位面積当たりのガス吸着速度よりも大きく設定されている。これにより、ガス吸着量を蒸発型のゲッタ膜28でかせぐとともに、面状に形成した非蒸発型のゲッタ膜23で外囲器10内部全体の真空度を保っている。
Therefore, according to the present embodiment, for carbon monoxide and carbon dioxide, the gas adsorption rate per unit area of the
図2に示すように、背面基板12の内面上には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bを励起する電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子18が設けられている。これらの電子放出素子18は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。背面基板12の内面には、電子放出素子18に電位を供給する多数本の配線21がマトリック状に設けられ、その端部は真空外囲器10の外部に引出されている。
As shown in FIG. 2, on the inner surface of the
背面基板12の周縁部、例えば、コーナー部には排気工程において真空外囲器10内部を排気するための排気孔29が貫通形成されている。排気孔29は、蛍光体スクリーン16から外れた位置、つまり、有効表示領域から外れた位置に設けられている。排気孔29は蓋部材30によって気密に封止されている。排気孔29は、1つに限らず、必要に応じて増加可能である。
Exhaust holes 29 for exhausting the inside of the
このようなSEDでは、画像を表示する場合、蛍光体スクリーン16およびメタルバック層17にアノード電圧を印加して、電子放出素子18から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体スクリーンへ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bが励起されて発光し、カラー画像を表示する。
In such an SED, when displaying an image, an anode voltage is applied to the
上記のように構成されたSEDによれば、非蒸発型ゲッタで形成されたゲッタ膜23は、蛍光体スクリーン16の全面にわたって形成されているとともに、蛍光体層R、G、B上を避けるよう遮光層20上に形成されている。そのため、ゲッタ膜23により輝度を低下させずに外囲器10内部全体を高い真空度に維持することが可能となる。また、一酸化炭素、二酸化炭素の吸着量が大きいバリウムを含むゲッタ膜28を外囲器の周辺部に形成し、一酸化炭素および二酸化炭素について、ゲッタ28の単位面積当たりのガス吸着速度を非蒸発型のゲッタ膜23の単位面積当たりのガス吸着速度よりも大きくしている。そのため、ガス吸着量を蒸発型のゲッタ膜28でかせぐことができ、長期間に亘って発生ガスを吸着可能な長寿命のSEDを得ることができる。更に、ゲッタ膜の形成に際して高価な真空チャンバーを用いる必要が無く、製造コストの増加を抑えることができ、また、装置の信頼性やメンテナンス性も良好になる。以上により、低コストで高画質、かつ長寿命な表示装置を提供することができる。
According to the SED configured as described above, the
次に、この発明の第2の実施形態に係るSEDについて説明する。 Next explained is an SED according to the second embodiment of the invention.
図6および図7に示すように、第2の実施形態によれば、外囲器10の周縁部、例えば、前面基板11の内面の両側縁部にバリウムの薄膜からなる蒸発型のゲッタ膜28がそれぞれ形成されている。ゲッタ膜28は、その一部が蛍光体スクリーン16に重なって形成されている。すなわち、第1の実施形態よりも蒸発型のゲッタ膜28の面積が広くなるように形成されている。この場合、ゲッタ膜28の蛍光体スクリーン16側の側縁部は、凹凸に形成され、例えば、櫛刃状に形成され、蛍光体スクリーン16の内、遮光層20と重なって形成されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, according to the second embodiment, the
ゲッタ膜28の面積を大きく形成すると、ガス吸着量が向上する。そのため、SEDの寿命をさらに長くする場合に有効である。バリウムを含む蒸発型ゲッタの材料としては、バリウムとアルミニウムの金属間化合物BaAl4の粉末にニッケルを添加した反応型ゲッタを用いることができる。
ゲッタ膜28を除くSEDの他の構成は、上述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
When the area of the
Other configurations of the SED excluding the
図8に示すように、この発明の第3の実施形態に係るSEDによれば、外囲器10の周縁部、例えば、前面基板11の内面の両側縁部にバリウムの薄膜からなる蒸発型のゲッタ膜28がそれぞれ形成されている。ゲッタ膜28は、その一部が蛍光体スクリーン16に重なって形成されている。すなわち、第1の実施形態よりも蒸発型のゲッタ膜28の面積が広くなるように形成されている。
As shown in FIG. 8, according to the SED according to the third embodiment of the present invention, an evaporation type consisting of a thin film of barium on the peripheral edge of the
この場合、ゲッタ膜28の蛍光体スクリーン16側の側縁部は、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bを避けるようにパターニングされ、遮光層20の上に電気的に分断された状態で形成されている。
In this case, the side edge of the
ゲッタ膜28のガス吸着特性を向上させるためには、ゲッタの形成面積を広くすると同時に膜厚を厚くすることが有効であるが、膜厚が厚すぎるとゲッタ膜が形成された領域の輝度が低下する。本実施形態にように、ゲッタ膜28を蛍光体層R、G、B16上を避けるよう遮光層20の上に形成することで、そのような不具合を回避することができる。
In order to improve the gas adsorption characteristics of the
パターニングされた蒸発型のゲッタ膜28を形成する場合、分断構造に対応するマスクを介してゲッタを蒸着させればよい。蛍光体スクリーン16の側縁部にマスクを介して蒸着する場合、蛍光体スクリーン16の全面に蒸着する場合と異なり、マスクの大きさが小さくてすむ。そのため、蛍光体スクリーン16とマスクとの位置合わせが容易であり、簡単に分断構造のゲッタ膜をパターニングし蒸着することが可能となる。
ゲッタ膜28を除くSEDの他の構成は、上述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
When the patterned evaporation
Other configurations of the SED excluding the
次に、この発明の第4の実施形態に係るSEDについて説明する。 Next explained is an SED according to the fourth embodiment of the invention.
本実施形態によれば、SEDは、背面基板12の外面側に固定されたゲッタボックス50を備え、このゲッタボックス内に、バリウムを含む蒸発型のゲッタ膜28が形成されている。ゲッタボックス50は、例えば、ガラスにより断面矩形状に形成され、背面基板12の底面に固定され、背面基板の側縁に沿って延びている。ゲッタボックス50の内部空間は、背面基板12に形成された排気孔29を通して、外囲器10の内部に連通している。ゲッタ膜28は、外囲器10内部を真空排気した後、ゲッタボックス50内に配置された蒸発型ゲッタを加熱、蒸発させることにより、ゲッタボックスの内面およびその近傍に形成されている。
ゲッタボックス50の大きさ、および設置数は、必要に応じて種々選択可能である。
According to this embodiment, the SED includes a
The size of the
第4の実施形態によれば、蒸発型のゲッタ膜28の膜厚と面積を比較的自由に設定できる。すなわち、前面基板11および背面基板12とは別個にゲッタボックス50を設け、その内部に蒸発型のゲッタ膜28を形成した場合、蛍光体スクリーン16や電子放出素子18の構造的な制約を受けることがなくなる。そのため、蛍光体スクリーン16のガス放出特性や画像表示装置の性能に合わせてゲッタ膜28を形成することが可能となる。このような構造は、とくに画面サイズが大きい大型の画像表示装置について有効である。
According to the fourth embodiment, the film thickness and area of the evaporation
図10に示すように、この発明の第5の実施形態に係るSEDによれば、蒸発型のゲッタからゲッタ膜28は、ゲッタボックス50内に加えて、外囲器10内部、例えば、第1の実施形態と同様に、前面基板11の内面周縁部に設けられている。この場合、蒸発型のゲッタ膜23の形成面積をさらに大きくすることができ、大型の画像表示装置について有効である。
As shown in FIG. 10, according to the SED according to the fifth embodiment of the present invention, the
第4および第5の実施形態において、ゲッタボックスおよびゲッタ膜28を除くSEDの他の構成は、上述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略した。
In the fourth and fifth embodiments, the other configurations of the SED excluding the getter box and the
この発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of components disclosed in the embodiment. Some constituent elements may be deleted from all the constituent elements shown in the embodiments, or constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.
上述した実施形態では、ゲッタ膜の形成対象となる部材として、内面に蛍光体スクリーンを有する前面基板を備えたSEDを例にとって説明したが、この発明はこれに限定されること無く、FED、PDP、その他の真空装置、蛍光表示管、半導体センサーなど他のデバイスに対しても適用することができる。非蒸発型ゲッタ粉末、接着材粒子、絶縁性の接着層の材料も上記実施形態に限定されること無く、使用するデバイスの真空特性や放出ガス特性、耐熱性などに合わせ、種々使用することができる。 In the above-described embodiment, the SED provided with the front substrate having the phosphor screen on the inner surface has been described as an example of the member to be the getter film. However, the present invention is not limited to this, and the FED and PDP are not limited thereto. The present invention can also be applied to other devices such as other vacuum apparatuses, fluorescent display tubes, and semiconductor sensors. The material of the non-evaporable getter powder, the adhesive particles, and the insulating adhesive layer is not limited to the above embodiment, and various materials can be used according to the vacuum characteristics, emission gas characteristics, heat resistance, etc. of the device to be used. it can.
例えば、接着材粒子の材料として、リン酸系フリットガラスを用いても良い。非蒸発型ゲッタの粉末をペースト化するときの有機材料についても、酢酸エチル、酢酸ブチル、ニトロセルロース、エルバサイト、ポリエチレンカーボネートなど、使用するデバイスの特性や非蒸発型ゲッタ材などに合わせ、様々な種類のものを適宜選択して使用してよい。その他ペースト化の混合比、ペーストの形成方法、ゲッタ膜形成のための焼成条件などについても、種々変更可能であり、活性化された非蒸発型ゲッタが十分なガス吸着性能を発揮できれば良い。 For example, phosphoric acid-based frit glass may be used as the material for the adhesive particles. Various organic materials can be used for pasting non-evaporable getter powders, such as ethyl acetate, butyl acetate, nitrocellulose, elbasite, and polyethylene carbonate, according to the characteristics of the device used and non-evaporable getter materials. Various types may be selected and used as appropriate. In addition, the mixing ratio of pasting, the forming method of the paste, the firing conditions for forming the getter film, and the like can be variously changed as long as the activated non-evaporable getter can exhibit sufficient gas adsorption performance.
SEDを構成する構造物の形状、寸法、配置、あるいは材料など、好適なものを選択することができることは言うまでもない。ゲッタ膜の形成寸法や形状、配置、膜厚についても、使用するデバイスの真空特性や放出ガス特性、耐熱性などに合わせ、種々使用することができる。前面基板と背面基板の封着についても、インライン型の連続炉の他、バッチ式の大気焼成炉を用いても良いし、真空中で封着を行っても良い。電子放出素子は、pn型の冷陰極素子あるいは電界放出型の電子放出素子等を用いてもよい。 Needless to say, it is possible to select a suitable shape, size, arrangement, or material of the structure constituting the SED. Various formation dimensions, shapes, arrangements, and film thicknesses of the getter film can be used in accordance with the vacuum characteristics, emission gas characteristics, heat resistance, etc. of the device to be used. Regarding the sealing of the front substrate and the rear substrate, in addition to the in-line type continuous furnace, a batch-type atmospheric firing furnace may be used, or the sealing may be performed in a vacuum. As the electron-emitting device, a pn-type cold cathode device or a field-emission type electron-emitting device may be used.
10…外囲器、 11…前面基板、 12…背面基板、 13…側壁、
14…支持部材、 16…蛍光体スクリーン、 17…メタルバック層、
18…電子放出素子、 R、G、B…蛍光体層、 20…遮光層、
23…非蒸発型のゲッタ膜、 28…蒸発型のゲッタ膜、 41…ゲッタの粉末、
43…接着剤粒子、 50…ゲッタボックス
DESCRIPTION OF
14 ... support member, 16 ... phosphor screen, 17 ... metal back layer,
18 ... electron-emitting device, R, G, B ... phosphor layer, 20 ... light shielding layer,
23 ... Non-evaporable getter film, 28 ... Evaporative getter film, 41 ... Getter powder,
43 ... Adhesive particles, 50 ... Getter box
Claims (8)
前記第1基板上に配置された蛍光体スクリーンと、
前記第2基板上に配置された電子源と、
前記外囲器内のガスを吸着するゲッタと、を備え、
前記ゲッタは、前記蛍光体スクリーン上に形成された非蒸発型ゲッタと、前記外囲器の周縁部に設けられ、少なくともバリウムを含む蒸発型ゲッタとを有している画像表示装置。 An envelope having a first substrate and a second substrate joined together at the periphery;
A phosphor screen disposed on the first substrate;
An electron source disposed on the second substrate;
A getter that adsorbs the gas in the envelope,
The getter is an image display device having a non-evaporable getter formed on the phosphor screen and an evaporating getter provided at a peripheral portion of the envelope and containing at least barium.
前記蒸発型ゲッタの一部は、前記蛍光体スクリーンの周縁部で前記遮光層に重ねて形成されている請求項3に記載の画像表示装置。 The phosphor screen has a light shielding layer formed between a plurality of phosphor layers and the phosphor layer,
The image display device according to claim 3, wherein a part of the evaporative getter is formed so as to overlap the light shielding layer at a peripheral portion of the phosphor screen.
Priority Applications (1)
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