JP2008064631A - Substrate appearance inspecting apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To inexpensively improve the precision for recognizing an identification code of a substrate. <P>SOLUTION: If the processing of reading the two-dimensional code as the encoded identification code of the substrate is failed when the substrate to be inspected is carried, an image used for reading is displayed on a display panel. Three options regarding a method for processing the re-read two-dimensional code are displayed on the same screen, and a user selection is accepted. If the image correction option is selected among the options, an operation for correcting the displayed image is accepted, and an inspecting apparatus uses the corrected image and implements the reading process again. If the image reading option or the real thing reading option is selected, a code entry from a two-dimensional code reader connected to the apparatus is accepted, and the entered code is recognized as identification data of the substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、部品実装基板の製造に係る所定の工程(はんだ印刷工程、部品実装工程、リフロー工程など)を経た基板を所定の照明下で撮像し、生成された画像を用いて前段の工程で基板に付加された構成(クリームはんだ、部品、はんだのフィレットなど)を検査する基板外観検査装置に関する。   In the present invention, a substrate that has undergone predetermined processes (solder printing process, component mounting process, reflow process, etc.) relating to the manufacture of a component mounting board is imaged under predetermined illumination, and the generated image is used in the preceding process. The present invention relates to a substrate visual inspection apparatus for inspecting a configuration (cream solder, component, solder fillet, etc.) added to a substrate.

この種の基板外観検査装置(以下、単に「検査装置」という場合もある。)は、一般に、基板製造ラインに組み込まれ、前段の工程からコンベアにより搬送されてくる基板を順に取り込んで検査を実行し、1枚の基板の検査を終了する都度、その検査結果を出力するようにしている。   This type of substrate appearance inspection device (hereinafter sometimes simply referred to as “inspection device”) is generally incorporated into a substrate production line, and sequentially inspects the substrate conveyed by the conveyor from the previous process. Each time the inspection of one substrate is completed, the inspection result is output.

特に検査対象の基板を特定する必要がある場合には、各基板にそれぞれ固有の識別コードを付与し、そのコードと検査結果とを対応づけて管理するようにしている。この場合、各基板には、上記の識別コードを表すバーコードや2次元コードがマーキングされ、検査に先立ち、撮像部によりこのコードが撮像され、生成された画像を用いた識別コードの読取処理が行われる(特許文献1 段落0044,0045,0050,0095参照。)   In particular, when it is necessary to specify a substrate to be inspected, a unique identification code is assigned to each substrate, and the code and the inspection result are associated with each other and managed. In this case, a barcode or two-dimensional code representing the above identification code is marked on each substrate, and the code is imaged by the imaging unit prior to inspection, and the identification code is read using the generated image. (See Patent Document 1, paragraphs 0044, 0045, 0050, and 0095.)

特開2005−286309号公報JP 2005-286309 A

しかし、検査装置における光学系は、被検査部位の検出を目的に最適化されているので、光学情報コードの読取に適した条件で撮像が行われず、そのためにコードの読取に失敗する場合がある。たとえば、リフロー工程後の検査装置の光学系は、はんだのフィレットからの正反射光を撮像するように構成されている(特許文献2参照)が、基板面は一般に鏡面反射性が低いので、光学情報コードの鏡面反射性も低いと、基板面とコードとの区別がつきにくい画像が生成され、コードの検出やデコードの際に誤りが生じる可能性がある。また、コードのマーキング位置のずれや基板の搬送状態の不備などによって、コードの全体像が生成されないために、読取処理が不可能になる場合もある。   However, since the optical system in the inspection apparatus is optimized for the purpose of detecting the part to be inspected, imaging may not be performed under conditions suitable for reading the optical information code, and thus the code reading may fail. . For example, the optical system of the inspection apparatus after the reflow process is configured to image specularly reflected light from a solder fillet (see Patent Document 2), but the substrate surface is generally low in specular reflectivity. If the specular reflectivity of the information code is low, an image that is difficult to distinguish between the substrate surface and the code is generated, and an error may occur when detecting or decoding the code. In addition, because the entire image of the code is not generated due to the deviation of the marking position of the code or the incomplete conveyance state of the substrate, the reading process may be impossible.

特公平6−1173号公報Japanese Patent Publication No.6-1173

上記の問題を解決する方法として、まず考えられるのは、検査装置内または装置より若干上流に、光学情報コード用の読取装置(一般に「コードリーダ」と呼ばれるもの)を配置する方法である。しかし、前出の特許文献1のように、工程毎に検査装置を設ける場合に、各検査装置に1台ずつ読取装置を設けると、その分だけコストも増大する。検査装置で生成した画像によるコードの読取に失敗する比率や、読取に失敗しても画像の補正により対応可能な場合がある点を考えると、検査装置毎に読取装置を導入するのは不経済である。しかし、画像を修正するのは困難であるが、光学情報コード専用の読取装置があれば、簡単にコードを読み取ることができるケースがあるのも事実である。   As a method for solving the above problem, firstly, a method for arranging an optical information code reader (generally called “code reader”) in the inspection apparatus or slightly upstream of the apparatus is considered. However, when an inspection apparatus is provided for each process as in the above-mentioned Patent Document 1, if one reading apparatus is provided for each inspection apparatus, the cost increases accordingly. Considering the ratio of failing to read a code with an image generated by an inspection device and the fact that even if reading fails, it can be dealt with by correcting the image, it is uneconomical to introduce a reading device for each inspection device. It is. However, although it is difficult to correct the image, it is also true that the code can be easily read if there is a reader dedicated to the optical information code.

この発明は、上記の諸事情を考慮してなされたもので、少ないコストで基板の識別コードの読取精度を向上し、検査装置の利便性を高めることを、目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and an object thereof is to improve the reading accuracy of an identification code on a substrate at a low cost and to enhance the convenience of an inspection apparatus.

この発明に係る基板外観検査装置は、検査対象の基板を支持するための基板ステージと、この基板ステージの上方に配置された照明部および撮像部と、撮像部により生成された画像を表示するための表示部とを具備し、撮像部により生成された画像を用いて前記基板上の被検査部位の良否を検査する検査手段と、検査に先立ち、基板の所定位置に付された光学情報コードが示す基板の識別コードを認識するコード認識手段と、検査の結果をコード認識手段が認識した識別コードに対応づけて出力する結果出力手段とを具備するもので、装置本体の外周面に、手持ち式の光学情報コードの読取装置を前記処理部に接続するためのコネクタが設けられている。   A substrate appearance inspection apparatus according to the present invention displays a substrate stage for supporting a substrate to be inspected, an illumination unit and an imaging unit disposed above the substrate stage, and an image generated by the imaging unit. And an inspection unit that inspects the quality of the inspected part on the substrate using an image generated by the imaging unit, and an optical information code attached to a predetermined position on the substrate prior to the inspection. Comprising a code recognition means for recognizing the identification code of the substrate to be shown, and a result output means for outputting the result of the inspection in association with the identification code recognized by the code recognition means. A connector for connecting the optical information code reader to the processing unit is provided.

コード認識手段は、撮像部に光学情報コードを撮像させる処理と、この撮像により生成された画像を用いて前記光学情報コードを読み取る処理とを実行し、読み取ったコードを基板の識別コードとして認識する。一方、光学情報コードの読取に失敗したときは、コード認識手段は、撮像により生成された画像を表示部に表示して、前記読取装置からのコード入力および表示部に表示された画像に対する修正操作を受け付けられる状態となる。さらにこの状態下で読取装置からコードが入力されたときは、入力されたコードを基板の識別コードとして認識し、画像に対する修正操作が行われたときは、修正後の画像を用いて光学情報コードの読取処理を再度実行する。   The code recognizing unit executes a process of causing the imaging unit to image the optical information code and a process of reading the optical information code using an image generated by the imaging, and recognizes the read code as an identification code of the substrate . On the other hand, when the reading of the optical information code fails, the code recognition unit displays the image generated by the imaging on the display unit, and inputs the code from the reading device and corrects the image displayed on the display unit. Will be accepted. Further, when a code is input from the reading device in this state, the input code is recognized as a board identification code. When a correction operation is performed on the image, the optical information code is used using the corrected image. The reading process is executed again.

撮像部により生成された画像に光学情報コードの全体像が含まれている場合には、読取に失敗しても、画像の明るさを調整したり、コード周囲のマージンを確保するなど、比較的簡単な修正作業を行うことにより、読取が可能になることがある。上記の構成によれば、光学情報コードの読取に失敗した場合には、その読取用に生成された画像が表示部に表示されるので、ユーザーは、この画面上で、読取可能な画像に容易に修正できるかどうかを判断することができる。ここで修正が容易にできると判断すれば、ユーザーは画像に対する修正操作を行い、検査装置に、光学情報コードの再度の読取処理を行わせる。一方、ユーザーが画像を簡単に修正できないと判断した場合には、コネクタに手持ち式の読取装置を接続し、その読取装置を用いて光学情報コードの読取処理を実行する。   If the entire image of the optical information code is included in the image generated by the imaging unit, even if reading fails, the brightness of the image can be adjusted and a margin around the code can be secured. Reading may be possible by performing a simple correction operation. According to the above configuration, when the reading of the optical information code fails, the image generated for the reading is displayed on the display unit, so that the user can easily make a readable image on this screen. It can be determined whether or not it can be corrected. If it is determined that the correction can be easily performed, the user performs a correction operation on the image, and causes the inspection apparatus to read the optical information code again. On the other hand, when it is determined that the user cannot easily correct the image, a hand-held reader is connected to the connector, and the optical information code is read using the reader.

このように、検査装置で生成された画像の状態によって対応方法を切り替えることができるから、識別コードの認識処理を、より効率良く、確実に行うことができる。また手持ち式の読取装置であれば、適宜接続することができ、持ち運びも容易であるから、1台の読取装置を複数の検査装置で共用することが可能であり、読取装置の導入によるコストを低くすることができる。   As described above, since the correspondence method can be switched depending on the state of the image generated by the inspection apparatus, the identification code recognition process can be performed more efficiently and reliably. In addition, if it is a hand-held reader, it can be connected appropriately and is easy to carry, so one reader can be shared by multiple inspection devices, and the cost of introducing the reader can be reduced. Can be lowered.

読取装置は、そのコードの読取面が前記表示部の画面および基板ステージの双方に届く長さのケーブルを介して前記接続用端子に接続されるのが望ましい。このようにすれば、読取装置に実際の光学情報コードを読み取らせるだけでなく、表示部の画面に表示された光学情報コードを読み取らせることができる。読取装置は、光学情報コードの読取に適した照明部を具備しており、また照明条件の切替などの処理によって、コードの読取に適した画像を生成することができるから、読取対象のコードが多少不鮮明であっても、コードの全体像が生成されていれば、読取が可能になることが多いと考えられる。また、一般に、基板ステージは検査装置の内部に設けられるので、基板上のコードに対する読取を行うには、装置を開放する等の手間がかかるが、表示画面上のコードを読み取る場合の処理は、きわめて簡単である。   The reading device is preferably connected to the connection terminal via a cable having a length that allows the code reading surface to reach both the screen of the display unit and the substrate stage. In this way, it is possible not only to cause the reading device to read the actual optical information code but also to read the optical information code displayed on the screen of the display unit. The reading device includes an illumination unit suitable for reading an optical information code, and can generate an image suitable for code reading by processing such as switching of illumination conditions. Even if it is somewhat unclear, it is considered that reading is often possible if the entire image of the code is generated. In general, since the substrate stage is provided inside the inspection apparatus, reading the code on the substrate takes time and effort such as opening the apparatus. It is very simple.

さらに、好ましい態様の基板外観検査装置は、コード認識手段に前記識別コードを手入力するための操作部を具備する。この場合のコード認識手段は、識別コードの読取に失敗して前記表示部に画像を表示したとき、さらに前記操作部からのコード入力を受け付けられる状態となり、この操作部から入力されたコードを識別コードとして認識する。   Further, the substrate appearance inspection apparatus according to a preferred aspect includes an operation unit for manually inputting the identification code into the code recognition means. In this case, when the code recognition unit fails to read the identification code and displays an image on the display unit, the code recognition unit is in a state where it can accept a code input from the operation unit, and identifies the code input from the operation unit. Recognize as a code.

上記の態様によれば、バーコードのように、光学情報コードの近傍に識別コードの内容を示す文字列が表記されている場合には、ユーザーは、表示部の画面に表示された文字列を確認して、操作部から識別コードを手入力することができる。   According to the above aspect, when a character string indicating the content of the identification code is written in the vicinity of the optical information code, such as a barcode, the user displays the character string displayed on the screen of the display unit. After confirmation, the identification code can be manually input from the operation unit.

上記構成の基板外観検査装置によれば、識別コードを示す光学情報コードの読取に失敗した場合、ユーザーは、読取処理に用いた画像の表示画面から、この画像を修正する方法または外付けの読取装置を用いる方法のいずれが適切であるかを判断し、その適切と判断した方法を実行することができるので、基板の識別コードを認識する処理を効率良く行うことが可能になる。また、光学情報コードの読取装置を常に接続しなくとも、手持ち式の読取装置を適宜接続する方法で対応できるから、低いコストで識別コードの認識精度を向上することができ、検査装置の利便性を高めることが可能になる。   According to the substrate appearance inspection apparatus having the above configuration, when reading of the optical information code indicating the identification code fails, the user can modify the image from the display screen of the image used for the reading process or external reading. Since it is possible to determine which method using the apparatus is appropriate and execute the method determined to be appropriate, the process of recognizing the identification code of the substrate can be performed efficiently. In addition, since it is possible to cope with the method of appropriately connecting a hand-held reader without always connecting an optical information code reader, the recognition accuracy of the identification code can be improved at low cost, and the convenience of the inspection device Can be increased.

図1は、この発明が適用された基板外観検査装置の外観を示す。
この基板外観検査装置1(以下、単に「検査装置1」という。)は、部品実装工程またはリフロー工程を経た基板を処理対象として、各部品の実装状態やはんだのフィレットなどの検査を行うものである。装置本体10の上半分には、基板を支持して撮像を行うための空間(図示せず。以下、「撮像空間」という。)が設けられる。また、撮像空間の前方にあたる位置には扉部17が設けられ、その前面に表示パネル14や複数のスイッチ15が設けられる。また、扉部17の下方には、後記する2次元コードリーダを接続するためのコネクタ16が設けられている。
FIG. 1 shows the external appearance of a substrate visual inspection apparatus to which the present invention is applied.
This board appearance inspection apparatus 1 (hereinafter, simply referred to as “inspection apparatus 1”) is an apparatus for inspecting the mounting state of each part, the solder fillet, etc., on a substrate subjected to a component mounting process or a reflow process. is there. The upper half of the apparatus main body 10 is provided with a space (not shown; hereinafter referred to as “imaging space”) for supporting the substrate and performing imaging. A door portion 17 is provided at a position in front of the imaging space, and a display panel 14 and a plurality of switches 15 are provided on the front surface thereof. A connector 16 for connecting a two-dimensional code reader, which will be described later, is provided below the door portion 17.

装置本体10の一側面には、検査対象の基板を撮像空間に取り込むための搬入口(図示せず。)が設けられ、他方の側面には、検査の終了した基板を搬出するための搬出口(図示せず。)が設けられる。また、装置本体10内の適所には、後記するコントローラ100を構成する回路基板が組み込まれる。   A carry-in port (not shown) for taking a substrate to be inspected into the imaging space is provided on one side surface of the apparatus main body 10, and a carry-out port for carrying out the substrate that has been inspected on the other side surface. (Not shown) is provided. Further, a circuit board constituting the controller 100 described later is incorporated at an appropriate position in the apparatus main body 10.

図2は、上記検査装置1の光学系の構成および電気的構成を示す。
この検査装置1の撮像空間には、カメラ11、照明部12、および基板ステージ13が配備される。基板ステージ13には、検査対象の基板Sを支持するためのテーブル部131や、X軸ステージおよびY軸ステージ(いずれも図示せず。)を含む移動機構132などが含まれる。
FIG. 2 shows the configuration and electrical configuration of the optical system of the inspection apparatus 1.
In the imaging space of the inspection apparatus 1, a camera 11, an illumination unit 12, and a substrate stage 13 are provided. The substrate stage 13 includes a table 131 for supporting the substrate S to be inspected, a moving mechanism 132 including an X-axis stage and a Y-axis stage (both not shown).

カメラ11および照明部12は、「カラーハイライト方式」と呼ばれる光学系を構成する。カメラ11はカラー静止画像を生成するもので、基板ステージ13の上方に撮像面を下方に向け、かつ光軸を鉛直方向に合わせた状態で配備される。照明部12は、基板ステージ13とカメラ11との間に配置された3個の円環状光源12R,12G,12Bにより構成される。これらの光源12R,12G,12Bは、それぞれ、赤色、緑色、青色の色彩光を発するもので、各中心部をカメラ11の光軸に位置合わせした状態で配備されている。また、各光源12R,12G,12Bは、基板Sに対しそれぞれ異なる方向から光を照射できるように、互いに異なる大きさの径を有するように設定される。   The camera 11 and the illumination unit 12 constitute an optical system called “color highlight method”. The camera 11 generates a color still image, and is arranged above the substrate stage 13 with the imaging surface facing downward and the optical axis aligned with the vertical direction. The illumination unit 12 includes three annular light sources 12R, 12G, and 12B disposed between the substrate stage 13 and the camera 11. These light sources 12R, 12G, and 12B emit red, green, and blue chromatic light, respectively, and are arranged in a state in which each central portion is aligned with the optical axis of the camera 11. In addition, the light sources 12R, 12G, and 12B are set to have different diameters so that the substrate S can be irradiated with light from different directions.

上記のカメラ11、照明部12、基板ステージ13を制御するコントローラ100は、コンピュータによる制御部101のほか、画像入力部102、撮像制御部103、照明制御部104、XYステージ制御部105、メモリ106、CD−ROMドライブ107、通信用インターフェース108、コード入力部109などが設けられる。   The controller 100 that controls the camera 11, the illumination unit 12, and the substrate stage 13 includes a computer-based control unit 101, an image input unit 102, an imaging control unit 103, an illumination control unit 104, an XY stage control unit 105, and a memory 106. A CD-ROM drive 107, a communication interface 108, a code input unit 109, and the like are provided.

このほか、制御部101には、図1に示した表示パネル14や入力部16が接続される。入力部16には、図1に示したスイッチ15のほか、図示しないキーボードやマウスなどが含まれる。   In addition, the display panel 14 and the input unit 16 shown in FIG. In addition to the switch 15 shown in FIG. 1, the input unit 16 includes a keyboard and a mouse (not shown).

画像入力部102には、カメラ11に対するインターフェース回路などが含まれる。撮像制御部103は、カメラ11に対し、撮像を指示するタイミング信号を出力するためのものである。   The image input unit 102 includes an interface circuit for the camera 11 and the like. The imaging control unit 103 is for outputting a timing signal instructing imaging to the camera 11.

照明制御部104は、前記照明部12の各光源12R,12G,12Bの点灯・消灯動作の制御や光量の調整などを行う。XYステージ制御部105は、基板ステージ13の移動タイミングや移動量を制御する。   The illumination control unit 104 controls the turning on / off operation of each of the light sources 12R, 12G, and 12B of the lighting unit 12 and adjusts the amount of light. The XY stage control unit 105 controls the movement timing and movement amount of the substrate stage 13.

メモリ106には、各被検査部位の検査に用いられるプログラムや検査基準データなどが格納される。制御部101は、これらのプログラムや検査基準データを用いて、検査に関する一連の処理を実行する。大まかに説明すると、基板ステージ13の移動を制御することにより、カメラ11の視野を基板Sの複数位置に順に合わせながらカメラ11に撮像を行わせる。さらに生成された各画像に検査領域を設定して、被検査部位の検出、位置や面積などの計測、計測値の適否判定などの処理を実行する。   The memory 106 stores a program used for inspection of each part to be inspected, inspection reference data, and the like. The control unit 101 executes a series of processes related to inspection using these programs and inspection reference data. Roughly described, the movement of the substrate stage 13 is controlled, so that the camera 11 takes an image while sequentially adjusting the visual field of the camera 11 to a plurality of positions on the substrate S. Further, an inspection region is set in each generated image, and processing such as detection of a region to be inspected, measurement of a position and an area, and determination of suitability of a measurement value is executed.

また、この検査装置1により検査される基板Sの所定位置には、その基板Sの識別コードがエンコードされた2次元コードが付されている(たとえば、レーザーや刻印処理などにより基板Sに直接マーキングされる。)。制御部101は、基板ステージ13に基板Sが搬入されると、まず2次元コードのマーキング位置にカメラ11を合わせて撮像を行い、生成された画像を用いて2次元コードの読取処理を実行し、読み取ったコードを識別コードとして認識する。また、一連の検査が終了すると、検査結果をまとめたデータファイル(以下、「検査結果データファイル」という。)を作成するが、このファイルに、2次元コードから読み取った識別コードを含むファイル名を付与する。   Further, a two-dimensional code in which an identification code of the substrate S is encoded is attached to a predetermined position of the substrate S to be inspected by the inspection apparatus 1 (for example, direct marking on the substrate S by a laser or a marking process). .) When the substrate S is carried into the substrate stage 13, the control unit 101 first performs imaging by aligning the camera 11 with the marking position of the two-dimensional code, and executes a two-dimensional code reading process using the generated image. The read code is recognized as an identification code. When a series of inspections is completed, a data file in which the inspection results are collected (hereinafter referred to as “inspection result data file”) is created. The file name including the identification code read from the two-dimensional code is created in this file. Give.

装置本体10の前面に設けられたコネクタ16は、手持ち式の2次元コードリーダを接続するためのものである。コード入力部109は、この2次元コードリーダが読み取って出力したコードを取り込んで、制御部101に入力するためのインターフェース回路である。   A connector 16 provided on the front surface of the apparatus main body 10 is for connecting a hand-held two-dimensional code reader. The code input unit 109 is an interface circuit for taking in a code read and output by the two-dimensional code reader and inputting the code to the control unit 101.

図3は、上記の検査装置1に接続される2次元コードリーダ2の外観を示す。この2次元コードリーダ2は、前面の上半分にコードの読取面21が設けられ、その下方に握り部22が設けられた構成のものである。また、この2次元コードリーダ2の側面には、読取開始を指示するための操作ボタン23が設けられている。   FIG. 3 shows the appearance of the two-dimensional code reader 2 connected to the inspection apparatus 1 described above. The two-dimensional code reader 2 has a configuration in which a code reading surface 21 is provided in the upper half of the front surface and a grip 22 is provided below the code reading surface 21. An operation button 23 for instructing the start of reading is provided on the side surface of the two-dimensional code reader 2.

この2次元コードリーダ2の内部構成については、図示しないが、照明用の光源、撮像素子、制御基板などの既知の構成が組み込まれる。また、装置本体の底面からは、この制御基板からの出力信号ラインを含むケーブル24が引き出されている。さらに、このケーブル24の先端部には、検査装置側のコネクタに適合するコネクタ(図示せず。)が取り付けられている。また、このケーブル24は、読取面21が検査装置1の内部の基板ステージ13にまで十分に届く長さに設定される。   Although the internal structure of the two-dimensional code reader 2 is not shown, known structures such as a light source for illumination, an image sensor, and a control board are incorporated. A cable 24 including an output signal line from the control board is drawn out from the bottom surface of the apparatus main body. Further, a connector (not shown) that fits the connector on the inspection apparatus side is attached to the distal end portion of the cable 24. The cable 24 is set to a length that allows the reading surface 21 to reach the substrate stage 13 inside the inspection apparatus 1 sufficiently.

この実施例の検査装置1では、装置内の2次元コードの読取に失敗したとき、2次元コードの再読取処理を行うようにしている。この再読取処理は、上記の2次元コードリーダ2を用いて行うほか、失敗した読取処理に使用された画像を修正し、その修正後の画像を検査装置側で再度処理する方法により行うこともできる。この実施例では、読取に使用された画像を表示パネル14に表示するとともに、この表示画面上で、再読取の方法を選択する操作を受け付けるようにしている。   In the inspection apparatus 1 of this embodiment, when the reading of the two-dimensional code in the apparatus fails, the two-dimensional code is read again. This rereading process is performed by using the above-described two-dimensional code reader 2 or by correcting the image used in the failed reading process and processing the corrected image again on the inspection apparatus side. it can. In this embodiment, an image used for reading is displayed on the display panel 14 and an operation for selecting a rereading method is accepted on the display screen.

図4(1)〜(3)は、表示パネル14に表示される画面の例を示す。この画面30の左側には、画像表示用のウィンドウ31が設定され、その内部に、読取に使用された2次元コードの画像が表示される。この画像は、カメラ11により生成された画像から、2次元コードの読取のために切り出されたものである。この切り出し対象の領域はあらかじめ定められたものである。   FIGS. 4A to 4C show examples of screens displayed on the display panel 14. An image display window 31 is set on the left side of the screen 30, and an image of the two-dimensional code used for reading is displayed therein. This image is cut out from an image generated by the camera 11 for reading a two-dimensional code. The area to be cut out is predetermined.

さらに、画面30の右下には、再読取の方法を示す3つの選択肢が表示されている。また、現在選択されている選択肢が枠33で囲まれるとともに、選択位置を示すマウスカーソル32が表示されている。ユーザーは、このマウスカーソル32を枠33に合わせてクリック操作を行うことにより、選択肢の選択を確定することができる。   Further, three options indicating a re-reading method are displayed on the lower right of the screen 30. In addition, the currently selected option is surrounded by a frame 33, and a mouse cursor 32 indicating the selection position is displayed. The user can confirm selection of an option by performing a click operation with the mouse cursor 32 in alignment with the frame 33.

3つの選択肢のうちの「画像修正」は、ユーザーが読取に使用された画像を修正し、その修正後の画像を用いて、検査装置側で再度の読取処理を行う方法を選択するためのものである。「画像を読み取り」「実物を読み取り」は、いずれも2次元コードリーダ2による読取処理を行う方法を選択するためのものであるが、読取の対象が異なる。   “Image correction” of the three options is for the user to select a method of correcting the image used for reading and performing the reading process again on the inspection apparatus side using the corrected image. It is. “Read image” and “read actual object” are for selecting a method for performing a reading process by the two-dimensional code reader 2, but the objects to be read are different.

「画像を読み取り」では、ウィンドウ31内の2次元コードの画像を読取の対象とする。一方、「実物を読み取り」は、基板Sにマーキングされている実際の2次元コードを読取対象とする。   In “read image”, the image of the two-dimensional code in the window 31 is set as a reading target. On the other hand, “read actual object” uses an actual two-dimensional code marked on the substrate S as a reading target.

図4(1)は、「画像修正」が選択される例を示す。この例の画像では、2次元コード自体は明瞭であるが、その周囲の一部に影が生じている。画像中の2次元コードを認識するには、コードの周囲に所定幅のマージンが必要であるため、上記のような影があるとマージンが確保できず、コードを認識できなくなる。しかし、この影を削除する修正を行えば、コードを認識することが可能になり、読取処理を問題なく実行できるものと考えられる。   FIG. 4A shows an example in which “image correction” is selected. In the image of this example, the two-dimensional code itself is clear, but a shadow is generated in a part of the periphery. In order to recognize a two-dimensional code in an image, a margin of a predetermined width is required around the code. Therefore, if there is a shadow as described above, the margin cannot be secured and the code cannot be recognized. However, it is considered that if the correction for deleting the shadow is performed, the code can be recognized and the reading process can be executed without any problem.

図4(2)は、「画像を読み取り」が選択される例を示す。この例の画像には2次元コードの全体像が含まれているが、コードに適した照明がなされなかった等の理由により、2次元コードが不鮮明になっている。しかし、2次元コードリーダ2は、コードの読取に適した画像が生成されるまで照明条件を調整するなど、2次元コードの読取について高度の機能を具備するので、上記のような画像でも、読取に適した画像を生成して、コードを読み取ることが可能である。   FIG. 4B shows an example in which “read image” is selected. The image of this example includes the entire image of the two-dimensional code, but the two-dimensional code is unclear due to reasons such as the illumination not being suitable for the code. However, since the two-dimensional code reader 2 has advanced functions for reading the two-dimensional code such as adjusting the illumination conditions until an image suitable for reading the code is generated, even the above-described image can be read. It is possible to generate a suitable image and read the code.

なお、この図4(2)の画像については、「画像修正」を選択し、画像の明るさを調整する処理を行うことも可能であるが、この種の調整は試行錯誤で行われることが多く、1度の調整で読取に適した画像を得るのは困難である。よって、この場合には、「画像を読み取り」を選択した方が効率が良く、検査に速やかに移行できる可能性が高いと思われる。ただし、画像の修正後も2次元コードリーダ2による読取を行う前に画像の明るさを調整した方が良い場合もあるので、この実施例では、「画像修正」を選択した後に、修正後の画像により再読取を行う方法と、修正後の画像を2次元コードリーダ2で読み取る方法とを選択できるようにしている。   For the image in FIG. 4B, it is possible to select “image correction” and perform processing for adjusting the brightness of the image, but this type of adjustment may be performed by trial and error. In many cases, it is difficult to obtain an image suitable for reading with a single adjustment. Therefore, in this case, it is considered more efficient to select “read image”, and there is a high possibility that the examination can be promptly shifted. However, since it may be better to adjust the brightness of the image after the image correction before reading with the two-dimensional code reader 2, in this embodiment, after selecting “image correction”, A method of re-reading with an image and a method of reading a corrected image with the two-dimensional code reader 2 can be selected.

図4(3)は、「実物を読み取り」が選択される例を示す。この例では、2次元コードの全体像が生成されていないため、「画像修正」や「画像を読み取り」では対応できず、2次元コードを再度撮像する必要がある。   FIG. 4 (3) shows an example in which “Read Real” is selected. In this example, since the whole image of the two-dimensional code is not generated, “image correction” or “read image” cannot be handled, and it is necessary to image the two-dimensional code again.

上記の例において、「実物を読み取り」の選択が確定すると、扉部17のロックが外れ、開放可能な状態となる。したがって、ユーザーは、扉部17を開放して、基板ステージ13上の基板Sまで2次元コードリーダ2を移動させ、2次元コードの読取操作を実行することができる。   In the above example, when the selection of “read real” is confirmed, the door portion 17 is unlocked and can be opened. Therefore, the user can open the door 17 and move the two-dimensional code reader 2 to the substrate S on the substrate stage 13 to execute a two-dimensional code reading operation.

ただし、画面30のウィンドウ31に表示されているのは、あらかじめ決められた領域内の画像のみであり、カメラ11により生成された全画像に2次元コードの全体像が含まれている場合もある。このような場合には、「画像修正」を選択し、カメラ11により生成された全画像を表示させて、切り出し対象の領域を変更できるようにしてもよい。   However, only the image in the predetermined area is displayed in the window 31 of the screen 30, and the entire image generated by the camera 11 may include the entire image of the two-dimensional code. . In such a case, “image correction” may be selected and the entire image generated by the camera 11 may be displayed so that the region to be cut out can be changed.

上記図4(1)〜(3)に示した画面表示によれば、ユーザーは読取処理に使用された画像を確認し、3種類の方法の中から最適な方法を選択することができる。よって、コードの再読取処理を、効率良くかつ的確に実行することができ、検査に速やかに移行することができる。   According to the screen displays shown in FIGS. 4 (1) to 4 (3), the user can check the image used for the reading process and select an optimum method from the three methods. Therefore, the code re-reading process can be executed efficiently and accurately, and the process can be quickly shifted to the inspection.

なお、図4の例では、画面30中に選択肢を表示して方法を選択するようにしたが、「画像を読み取り」については、選択操作をなくし、2次元コードからのコード入力がなされたことをもって、その入力コードを識別コードとして認識してもよい。「実物を読み取り」についても、扉部17のロック解除を手動で行えるならば、選択操作をなくしてもよい。   In the example of FIG. 4, the option is displayed on the screen 30 and the method is selected. However, for “read image”, the selection operation is not performed and the code is input from the two-dimensional code. The input code may be recognized as an identification code. As for “reading the actual object”, if the unlocking of the door portion 17 can be manually performed, the selection operation may be omitted.

図5は、上記検査装置1で実行される処理の流れを示す。
最初のST1(STは「ステップ」の略である。以下も同じ。)で、基板ステージ13への基板Sの搬入を受け付けると、ST2では、2次元コードのマーキング位置としてあらかじめ教示された位置にカメラ11の視野を合わせ、撮像を行う。ST3では、ST2の撮像により生成された画像を用いて、2次元コードの読取処理を実行する。この読取に成功すると、ST4が「YES」となってST11に進み、読み取ったコードを基板Sの識別コードとして認識する。
FIG. 5 shows a flow of processing executed by the inspection apparatus 1.
In the first ST1 (ST is an abbreviation of “step”. The same applies to the following), when the loading of the substrate S to the substrate stage 13 is accepted, in ST2, the marking position of the two-dimensional code is preliminarily taught. The field of view of the camera 11 is matched and imaging is performed. In ST3, a two-dimensional code reading process is executed using the image generated by the imaging in ST2. If this reading is successful, ST4 becomes “YES” and the process proceeds to ST11, where the read code is recognized as the identification code of the substrate S.

一方、読取に失敗した場合にはST5に進み、読取に使用された2次元コードの画像を選択肢とともに表示パネル14に表示する。この表示画面において、「画像修正」が選択されると、ST6が「YES」となってST9に進む。   On the other hand, if reading fails, the process proceeds to ST5, and the image of the two-dimensional code used for reading is displayed on the display panel 14 together with options. If “image correction” is selected on this display screen, ST6 becomes “YES” and the process proceeds to ST9.

一方、2次元コードの表示画面において、「画像を読み取り」または「実物を読み取り」が選択された場合には、ST6が「NO」となり、2次元コードリーダ2からのコード入力に待機する。ここで、ユーザーが、2次元コードリーダ2の読取面21を画像もしくは基板S上の2次元コードに向けて読取操作を実行し、その操作に応じて2次元コードリーダ2で実行された読取処理が成功すると、読み取られたコードが制御部101に入力される。これによりST7が「YES」となってST8に進み、入力されたコードを基板Sの識別コードとして認識する。   On the other hand, when “read image” or “read actual object” is selected on the display screen of the two-dimensional code, ST6 becomes “NO” and the apparatus waits for the code input from the two-dimensional code reader 2. Here, the user performs a reading operation with the reading surface 21 of the two-dimensional code reader 2 directed toward the two-dimensional code on the image or the substrate S, and reading processing executed by the two-dimensional code reader 2 in response to the operation. If successful, the read code is input to the control unit 101. As a result, ST7 becomes “YES” and the process proceeds to ST8, where the input code is recognized as the identification code of the substrate S.

「画像修正」が選択されてST9に進んだ場合には、たとえば表示パネル14に、ウィンドウ31内の画像が拡大表示された編集画面を立ち上げて、ユーザーの修正操作を受け付ける。修正操作が完了して編集画面を閉じる操作が行われると、表示パネル14には、修正後の画像とともに、「修正後の画像を使用」および「画像を読み取り」の2つの選択肢が表示される。ここでユーザーが「修正後の画像を使用」を選択すると、ST10が「YES」となってST3に戻り、修正後の画像を用いた読取処理を実行する。この読取に成功すると、前記と同様に、ST4からST11に進み、基板Sの識別コードを認識する。一方、ユーザーが「画像を読み取り」を選択し、修正後の画像に2次元コードリーダ2の読取面21を向けて読取操作を実行した場合には、ST8に進み、2次元コードリーダ2から入力されたコードを基板Sの識別コードとして認識する。   When “image correction” is selected and the process proceeds to ST9, for example, an edit screen on which an image in the window 31 is enlarged is displayed on the display panel 14 to accept a user's correction operation. When the correction operation is completed and the editing screen is closed, the display panel 14 displays two options of “use corrected image” and “read image” together with the corrected image. . Here, when the user selects “use corrected image”, ST10 becomes “YES” and the process returns to ST3 to execute a reading process using the corrected image. If this reading is successful, the process proceeds from ST4 to ST11 in the same manner as described above, and the identification code of the substrate S is recognized. On the other hand, when the user selects “read image” and performs the reading operation with the reading surface 21 of the two-dimensional code reader 2 facing the corrected image, the process proceeds to ST8 and input from the two-dimensional code reader 2. The obtained code is recognized as the identification code of the substrate S.

このように、ST8またはST11で基板Sの識別コードが認識された後は、ST12に進み、検査にかかる一連の処理を実行する。すべての検査が終了すると、認識した識別コードをファイル名とする検査結果データファイルが作成され、メモリ106に保存される。この検査結果データファイルは、必要に応じて、図示しない外部機器にも出力される。また検査において不良箇所が検出された場合には、その不良に関するデータと識別コードとを組み合わせたデータが、外部機器に出力される。   As described above, after the identification code of the substrate S is recognized in ST8 or ST11, the process proceeds to ST12, and a series of processing for inspection is executed. When all inspections are completed, an inspection result data file having the recognized identification code as a file name is created and stored in the memory 106. This inspection result data file is also output to an external device (not shown) as necessary. When a defective part is detected in the inspection, data obtained by combining the data related to the defect and the identification code is output to the external device.

この後も、検査対象の基板がある場合には、ST13が「YES」となってST1に戻り、上記の手順が繰り返される。   After this, if there is a substrate to be inspected, ST13 becomes “YES”, the process returns to ST1, and the above procedure is repeated.

なお、上記の実施例では、基板Sの識別コードを2次元コードにエンコードしたが、これに代えてバーコードにエンコードしてもよい。バーコードには、その内容を示す文字列が付記されることが多いので、このような文字列が記されている場合には、読取の失敗に応じて画像を表示した際に、前記した3つの選択肢の方法に加えて、キーボードからのコード入力を受け付ける方法を実行できるようにしてもよい。   In the above embodiment, the identification code of the substrate S is encoded into a two-dimensional code, but it may be encoded into a barcode instead. Since a character string indicating the contents is often appended to the barcode, when such a character string is written, when an image is displayed in response to reading failure, the above-mentioned 3 In addition to the method of one option, a method of receiving code input from the keyboard may be executed.

この発明の一実施例にかかる基板外観検査装置の外観を示す正面図である。It is a front view which shows the external appearance of the board | substrate external appearance inspection apparatus concerning one Example of this invention. 基板外観検査装置の光学系の構成および電気構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure and electrical structure of the optical system of a board | substrate external appearance inspection apparatus. 2次元コードリーダの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of a two-dimensional code reader. 読取失敗時に表示される画面の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the screen displayed at the time of reading failure. 基板外観検査における処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the process in a board | substrate external appearance inspection.

符号の説明Explanation of symbols

S 基板
1 基板外観検査装置
2 2次元コードリーダ
11 カメラ
12 照明部
13 基板ステージ
14 表示パネル
16 コネクタ
100 コントローラ
101 制御部
S Substrate 1 Substrate visual inspection device 2 Two-dimensional code reader 11 Camera 12 Illumination unit 13 Substrate stage 14 Display panel 16 Connector 100 Controller 101 Control unit

Claims (3)

検査対象の基板を支持するための基板ステージと、この基板ステージの上方に配置された照明部および撮像部と、撮像部により生成された画像を表示するための表示部とを具備し、撮像部により生成された画像を用いて前記基板上の被検査部位の良否を検査する検査手段と、検査に先立ち、前記基板の所定位置に付された光学情報コードが示す基板の識別コードを認識するコード認識手段と、前記検査の結果をコード認識手段が認識した識別コードに対応づけて出力する結果出力手段とを具備する基板外観検査装置において、
装置本体の外周面には、手持ち式の光学情報コードの読取装置を前記処理部に接続するためのコネクタが設けられており、
前記コード認識手段は、
前記撮像部に光学情報コードを撮像させる処理と、この撮像により生成された画像を用いて前記光学情報コードを読み取る処理とを実行して、読み取ったコードを基板の識別コードとして認識する一方、光学情報コードの読取に失敗したとき、前記撮像により生成された画像を表示部に表示して、前記読取装置からのコード入力および表示部に表示された画像に対する修正操作を受け付けられる状態となり、この状態下で読取装置からコードが入力されたとき、入力されたコードを前記基板の識別コードとして認識し、前記画像に対する修正操作が行われたとき、修正後の画像を用いて識別コードの読取処理を再度実行する、基板外観検査装置。
A substrate stage for supporting a substrate to be inspected, an illumination unit and an imaging unit disposed above the substrate stage, and a display unit for displaying an image generated by the imaging unit; An inspection means for inspecting the quality of a part to be inspected on the substrate using an image generated by the method, and a code for recognizing an identification code of the substrate indicated by an optical information code attached to a predetermined position of the substrate prior to the inspection In a board appearance inspection apparatus comprising: a recognition unit; and a result output unit that outputs a result of the inspection in association with an identification code recognized by the code recognition unit.
On the outer peripheral surface of the apparatus main body, a connector for connecting a hand-held optical information code reader to the processing unit is provided,
The code recognition means includes
A process of causing the imaging unit to image the optical information code and a process of reading the optical information code using an image generated by the imaging are performed, and the read code is recognized as a substrate identification code. When reading of the information code fails, the image generated by the imaging is displayed on the display unit, and the code input from the reading device and the correction operation on the image displayed on the display unit can be received. When the code is input from the reading device below, the input code is recognized as the identification code of the board, and when the correction operation is performed on the image, the identification code is read using the corrected image. Substrate visual inspection apparatus to be executed again.
前記読取装置は、そのコードの読取面が前記表示部の画面および基板ステージの双方に届く長さのケーブルを介して前記接続用端子に接続される請求項1に記載された基板外観検査装置。   2. The board appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the reading device is connected to the connection terminal via a cable having a length in which a code reading surface reaches both the screen of the display unit and the substrate stage. 請求項1または2のいずれかに記載された基板外観検査装置であって、
前記コード認識手段に前記識別コードを手入力するための操作部をさらに備え、
前記コード認識手段は、前記識別コードの読取に失敗して前記表示部に画像を表示したとき、さらに前記操作部からのコード入力を受け付けられる状態となり、この操作部から入力されたコードを識別コードとして認識する基板外観検査装置。
A substrate visual inspection apparatus according to claim 1 or 2,
An operation unit for manually inputting the identification code in the code recognition means;
When the code recognizing unit fails to read the identification code and displays an image on the display unit, the code recognizing unit further receives a code input from the operation unit. Recognizing board appearance inspection device.
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