JP2008064256A - シリンダ・バルブユニット - Google Patents

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Abstract

【課題】集中配管及び集中配線を可能とし、しかも配置スペースを効率化することが可能な最適な配置構成とすることにある。
【解決手段】略直方体状に形成された樹脂製のマニホールド16の上面の一端部側に複数のシリンダ20を5連且つ3段に設け、前記マニホールド16の上下面に該マニホールド16の軸線方向に沿って複数の電磁弁22を連設し、前記上下面と直交するマニホールド16の一側面50に軸線方向に沿って所定長だけ延在するように配線基板24を装着し、しかも、前記マニホールド16の上面の中間部に形成された凹部58内にコネクタ26を前記配線基板24と連結して設けた。
【選択図】図3

Description

本発明は、マニホールドに対して複数のシリンダ及びバルブ(電磁弁)等が設けられ、所定のバルブの駆動作用下にマニホールドに形成された流体通路を介してシリンダに圧力流体を供給することにより、選択されたシリンダを駆動制御することが可能なシリンダ・バルブユニットに関する。
従来から、例えば、マニホールド上に複数の電磁弁が連設して搭載された、いわゆる電磁弁マニホールドを用いて複数のシリンダ中の中から任意に選択されたシリンダに対して圧力流体を供給することにより、各シリンダを駆動制御することが知られている。
この場合、電磁弁マニホールドは、ブロック体によって形成されたマニホールドに対して複数の電磁弁が水平方向に沿って複数個並列に配置された状態で一体的に組み付けて構成されるが、複数のシリンダとは別体で設けられ、マニホールドとシリンダとを接続する複数の配管(例えば、チューブ等)によって前記複数のシリンダに対して圧力流体が供給される。
また、特許文献1には、プレート状に形成されたマニホールドと、前記マニホールドの上面の一方に並設された一組のシリンダと、前記マニホールドの上面の他方に併設された制御用シリンダ及び電磁弁からなる制御弁とを有するガスシリンダ制御システムが開示されている。
このガスシリンダ制御システムでは、マニホールドに対して一組のシリンダ、制御用シリンダ及び制御弁が一体的に組み付けられて構成され、リード線を介して制御弁に送給される制御信号によってソレノイドを励磁することにより、制御弁がオフ状からオン状態に切り換えられ、前記制御弁に接続されたエアー配管によって供給されたエアがマニホールド内に形成された流体通路を介して所定のシリンダに導入されるように構成されている。
米国特許第5170627号明細書
しかしながら、前記特許文献1に開示されたガスシリンダ制御システムでは、例えば、15個等の多数の複動シリンダ(ピストンが収装される一方又は他方のシリンダ室に対して圧力流体を供給することにより前記ピストンを往復動作させるシリンダ)をマニホールド上に配設すると仮定した場合、1個の複動シリンダに対して2個の電磁制御弁(3ポート)が必要となるため合計30個の電磁制御弁を配設するためのスペースが必要となると共に、1個の複動シリンダに設けられた一組のポートに対してそれぞれ圧力流体を供給するために前記30個の電磁制御弁とそれぞれ接続される30本の流体通路をマニホールド内に形成する必要があり、マニホールドを含むシステムの全体構成が大型化するという問題がある。
また、前記特許文献1に開示されたガスシリンダ制御システムでは、各電磁制御弁に対して外部コントローラからの制御信号を送給するために少なくとも60本の電気配線を配置する必要があり、電気信号の配線スペースを確保するためにシステムの全体構成がさらに大型化するという問題がある。
さらに、複数のシリンダ、バルブ及び電磁制御弁以外に、例えば、多数の電磁弁が電気的に接続される配線基板、外部コントローラと電気的に接続するためのコネクタ等を設けた場合、さらにシステムを構成する要素が増大するために小型化に最適な配置構成を鋭意検討する必要がある。
本発明は、前記の種々の点を鑑みてなされたものであり、集中配管及び集中配線を可能とし、しかも配置スペースを効率化することが可能な最適な配置構成とすることにより多数のシリンダ及びバルブ等の構成要素を一体的に組み付けて小型化を図ることが可能なシリンダ・バルブユニットを提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明は、略直方体状のブロック体からなり、内部に圧力流体が流通する複数の流体通路が形成されたマニホールドと、
前記マニホールドの幅広な第1の側面の一端部側に設けられる複数のシリンダと、
前記マニホールドの幅広な第1の側面又は前記第1の側面と略平行で幅広な第2の側面のいずれか一方又はその両側面に該マニホールドの軸線方向に沿って連設される複数の電磁弁と、
前記第1及び第2の側面と直交する幅狭な第3の側面に前記マニホールドの軸線方向に沿って所定長だけ延在するように装着され、端子ブロックを介して前記複数の電磁弁と電気的に接続される配線基板と、
前記第1の側面の中間部に形成された凹部内に前記配線基板の一側面と連結されて設けられ、複数のコネクタピンを有するコネクタと、
を備えることを特徴とする。
本発明では、例えば、外部コントローラからの電気信号がコネクタ、配線基板及び端子ブロックを介して所定の電磁弁に入力されて前記所定の電磁弁が付勢される。所定の電磁弁の付勢作用下に圧力流体がマニホールドの連通路を経由して所定のシリンダに供給され、前記所定のシリンダのピストンロッドが進退動作する。
本発明によれば、略直方体状に形成されたマニホールドの幅広な第1の側面の一端部側に複数のシリンダを設け、前記マニホールドの幅広な第1の側面又は前記第1の側面と略平行で幅広な第2の側面のいずれか一方又はその両側面に該マニホールドの軸線方向に沿って複数の電磁弁を連設し、前記第1及び第2の側面と直交する幅狭な第3の側面に前記マニホールドの軸線方向に沿って所定長だけ延在するように配線基板を装着し、しかも、前記マニホールドの第1の側面の中間部に形成された凹部内にコネクタを前記配線基板の一側面と連結して設けることにより、集中配線を可能とし、しかも配置スペースが効率化された最適な配置構成とすることができる。従って、本発明では、このような各種構成要素の最適な配置構成とすることによりシリンダ・バルブユニットの小型化を達成することができる。
さらに、本発明によれば、樹脂製の複数のプレートが積層されて一体的に結合されることによりマニホールドが製造される。その際、中間に介装されたプレートの積層面に溝部が形成され、前記溝部が積層される他のプレートとの間で閉塞されることにより、複数のシリンダに対して圧力流体をそれぞれ供給するための複数の流体通路が形成される。従って、本発明では、複数の流体通路をマニホールドの狭小な内部空間内に効率的に配置して、集中配管を達成することができる。
本発明では、集中配管及び集中配線を可能とし、しかも複数のシリンダ及び電磁弁、配線基板、コネクタ等の各種構成要素をマニホールドに対して最適な配置構成とすることにより、配置スペースの効率化を図り、小型化を達成することができる。
本発明に係るシリンダ・バルブユニットについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図1〜図3において、参照符号10は、本発明の実施の形態に係るシリンダ・バルブユニットを示す。
このシリンダ・バルブユニット10は、基本的に、一端部側の上部に傾斜面12が形成され他端部側の上面に圧力流体供給ポート14が形成された略直方体状のブロック体からなるマニホールド16と、横方向に5個連設され且つ縦方向に所定間隔離間して3段に配置され進退自在なピストンロッド18がそれぞれ設けられた15個のシリンダ20と、各シリンダ20を駆動させる30個の電磁弁22と、前記電磁弁22を制御する電気信号を送給するための配線基板24及び複数のコネクタピンを有するコネクタ26とから構成される。
前記シリンダ・バルブユニット10は、後述するように、マニホールド16の所定の側面に対して、複数のシリンダ20及び電磁弁22と、配線基板24及びコネクタ26とがそれぞれ一体的に組み付けられることにより、装置全体が小型化されて構成されたものである。
マニホールド16は、例えば、アクリル樹脂等の樹脂製材料によって形成された複数枚のプレートが積層されて一体的に結合され、その内部には所定の電磁弁22と所定のシリンダ20とを連通させる複数の流体通路が設けられる。
本実施の形態では、例えば、マニホールド16の上面を形成する第1プレート16aと、中間の第2プレート16bと、マニホールド16の下面を形成する第3プレート16cとからなる3枚の第1〜第3プレート16a〜16c(図4参照)を、例えば、半導体レーザにより樹脂溶着することによって一体的に結合しているが、溶着に限定されるものではないと共に、積層枚数も3枚に限定されるものではなく複数枚であればよい。
また、以下の説明では、一体的に結合されたマニホールド16を溶着前の第1〜第3プレート16a〜16cに分離して流体通路の構成を便宜上説明しているが、一体的に結合されたマニホールド16が3枚の第1〜第3プレート16a〜16cに分解されるものでないことは勿論である。
中間の第2プレート16bの上面及び下面には所定方向に所定長だけ延在する複数の溝部がそれぞれ形成され、前記第2プレート16bが第1プレート16aと第3プレート16cとの間に介装されて前記溝部が第1プレート16a及び第3プレート16cの平坦面によってそれぞれ閉塞されることにより、圧力流体(例えば、エア)を流通させる複数の流体通路である連通路28が設けられる。この複数の連通路28は、図4に示されるように、長方形状に形成された第2プレート16bの軸線方向に沿って略平行に延在するように配置される。
第1プレート16a及び第3プレート16cには、その上下面を貫通する一組の小孔からなる第1ポート30a及び第2ポート30bが形成され、前記一組の第1ポート30a及び第2ポート30bは、前記マニホールド16の中央部にその軸方向に沿って直線状に複数組連続するように配置される。前記第1ポート30a及び第2ポート30bは、後述するように、各電磁弁22のインレットポート32a及びアウトレットポート32bとそれぞれ連通接続される(図7参照)。また、第1プレート16a及び第3プレート16cには、各電磁弁22を取り付けるための取付用孔部34が形成される(図4参照)。
さらに、第2プレート16bには、第1プレート16aに形成された圧力流体供給ポート14と連通する圧力流体供給用共通通路36が軸線方向に沿って直線状に形成され、前記圧力流体供給用共通通路36は、第1プレート16aの第1ポート30aに連通接続すると共に、終局的には各電磁弁22のインレットポート32aとそれぞれ連通するように設けられる。
さらにまた、第3プレート16cには、後述するシリンダブロック37a〜37cの一組のポート38a、38bにそれぞれ連通する一組の小孔40a、40bが上下面を貫通するように形成される(図6参照)。
なお、前記圧力流体供給用共通通路36の内壁には、第2プレート16bの表裏両面を貫通する小孔41(図5参照)が設けられ、該圧力流体供給用共通通路36によって第2プレート16bの上面側及び下面側の連通路28に対して圧力流体をそれぞれ供給することができる。
シリンダ20は、例えば、アルミニウムの押し出し成形によって形成され、図示しないねじ部材等によって傾斜面12と反対側のマニホールド16の平坦面42に所定間隔離間してそれぞれ固定された第1〜第3シリンダブロック37a〜37cを有し、前記各シリンダブロック37a(37b、37c)には、それぞれ5個のシリンダ20が連設されて構成される。
前記各シリンダブロック37a(37b、37c)の内部には、図示しないシリンダ室に沿って摺動可能な図示しないピストンが収装され、前記ピストンには各シリンダブロック37a(37b、37c)の外部に露呈し該ピストンと一体的に変位するピストンロッド18が連結される。
この場合、シリンダ室は、ピストンによって一方のシリンダ室と他方のシリンダ室とに分割され、前記一方のシリンダ室と前記他方のシリンダ室とが、シリンダブロック37a(37b、37c)の側面に形成された一組のポート38a、38b及びマニホールド16の流体通路(連通路28)を介してそれぞれ一組の電磁弁22に接続されている。
換言すると、単一のシリンダ20のピストンロッド18を伸長させる第1の電磁弁22と、前記シリンダ20のピストンロッド18を退縮させる第2の電磁弁22とからなる一組の電磁弁22、22が必要となり、本実施の形態では、横方向に5連、縦方向に3段からなる15個のシリンダ20が配置されているため、合計30個の電磁弁22がマニホールド16の上面及び下面に該マニホールド16の軸方向に沿って複数個連設される。
複数の電磁弁22は、それぞれ、ソレノイド部と弁駆動部とを有する同一構成からなり、前記弁駆動部には、インレットポート32a、アウトレットポート32b及び排気ポート32cがそれぞれ形成され、前記インレットポート32aはマニホールド16に形成された第1ポート30aに接続され、前記アウトレットポート32bはマニホールド16に形成された第2ポート30bに接続される。電磁弁22の排気ポート32cは、図5及び図7に示されるように、マニホールド16の表面に形成された段差部46の切欠凹部48に臨むように設けられているため、大気と連通状態にある。
この場合、前記ソレノイド部の励磁作用下に前記弁駆動部の図示しない弁体が変位し、電磁弁22のインレットポート32aとアウトレットポート32bとが連通することにより、マニホールド16に形成された第1ポート30aと第2ポート30bとを連通させることができる。
配線基板24は、マニホールド16の上面と直交する片側の一側面50に沿って延在するように設けられ、前記配線基板24には該マニホールド16の軸方向に沿って複数のピン52が植設される。前記配線基板24のピン52には端子ブロック54が装着され、前記端子ブロック54によって個々の電磁弁22が前記配線基板24と電気的に接続される。従って、前記マニホールド16の上面に搭載された複数の電磁弁22のソレノイド部及びマニホールド16の下面に搭載された複数の電磁弁22のソレノイド部は、各電磁弁22に付設される端子ブロック54を介して前記配線基板24とそれぞれ電気的に接続される。
前記配線基板24が装着されるマニホールド16の片側の一側面50は、上部に傾斜面12を有するマニホールド16の一端部側の片側の一側面56と比較して水平方向に沿って所定長だけ窪んで形成され、前記片側の一側面50に沿って連設される複数の電磁弁22と前記一端部側の片側の一側面56とが略面一に形成される。
この場合、配線基板24をマニホールド16の上面と直交する片側の一側面50に沿って延在する帯状に形成することにより、マニホールド16の軸方向に沿った上面及び下面に連設された複数の電磁弁22に対して最短距離で電気的に接続することができ、設置スペースを狭小とすることができる。
マニホールド16の上面の中間部には断面矩形状の凹部58が形成され、前記凹部58には前記配線基板24と電気的に接続された複数のコネクタピンを有するコネクタ26が配置される。この場合、コネクタ26の上面と配線基板24とは略面一に形成される。なお、マニホールド16の上面に形成された断面矩形状の凹部58を利用して図示しない雌コネクタを前記凹部58に沿って水平方向に移動させることにより前記コネクタ26と簡便に接続することができる。
本実施の形態に係るシリンダ・バルブユニット10は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
先ず、コネクタ26及び配線基板24を介して図示しない外部コントローラから所定の電磁弁22に制御信号を導出し、前記所定の電磁弁22を付勢する。所定の電磁弁22のソレノイド部の励磁作用下に図示しない弁体が変位して前記所定の電磁弁22のインレットポート32aとアウトレットポート32bとが連通する。
従って、電磁弁22のインレットポート32aに連通接続されたマニホールド16の第1ポート30aと電磁弁22のアウトレットポート32bに連通接続されたマニホールド16の第2ポート30bとがそれぞれ連通する(図7参照)。この場合、マニホールド16の第1ポート30aは、圧力流体供給用共通通路36と連通状態にあるため、圧力流体供給用共通通路36に導入された圧力流体が電磁弁22及びマニホールド16の連通路28を経由してシリンダブロック37b(37a、37c)の一方のポート38b(38a)を介して所定のシリンダ20に供給され、前記所定のシリンダ20のピストンロッド18が進退動作する。
このように所定の電磁弁を付勢して所定のシリンダ20のピストンロッド18を進退動作させることにより、前記ピストンロッド18に係合する他の機器に対して運動エネルギを伝達することができる。
本実施の形態では、略直方体状に形成された樹脂製のマニホールド16の幅広な第1の側面(上面)の一端部側に複数のシリンダ20を設け、前記マニホールド16の幅広な第1の側面(上面)と略平行で幅広な第2の側面(下面)の両側面に該マニホールド16の軸線方向に沿って複数の電磁弁22を連設し、前記第1及び第2の側面と直交する幅狭な第3の側面(一側面50)に前記マニホールド16の軸線方向に沿って所定長だけ延在するように配線基板24を装着し、しかも、前記マニホールド16の第1の側面の中間部に形成された凹部58内にコネクタ26を前記配線基板24の一側面と連結して設けることにより、集中配線を可能とし、しかも配置スペースが効率化された最適な配置構成とすることができる。
従って、本実施の形態は、このような各種構成要素の最適な配置構成とすることによりシリンダ・バルブユニット10の小型化を達成することができる。
本実施の形態では、マニホールド16を構成する中間の第2プレート16bの上面及び下面、すなわち、第1プレート16a及び第3プレート16cとの積層面に溝部(長溝)を形成することにより、30個の電磁弁22と15個のシリンダ20の一組のポート38a、38bとをそれぞれ連通させる30本の流体通路(連通路28)をマニホールド16の狭小な内部空間内に効率的に配置することができる。
また、本実施の形態では、マニホールド16の内部に形成された多数の連通路28の長さをそれぞれ実質的に同一長さに設定すると共に、シリンダ20のシリンダ室の容積に対して単一の連通路28における全体の配管容積を小さく設定することにより、圧力流体の連通路28内における結露の発生を防止することができる。
さらに、従来技術では、樹脂製材料によって形成されたプレートの表面に機械加工等によって溝部(長溝)を形成した後、他のプレートを積層して一体的に結合するように設けてられていたのに対し、本実施の形態では、第2プレート16b自体を樹脂成形する際に前記第2プレート16bの表裏両面に一体的に溝部(長溝)を形成した後、他の第1プレート16a及び第3プレート16cを積層して一体的に結合しているため、製造工程が簡素化されると共に、製造コストを低減することができる。
さらにまた、本実施の形態では、15個のシリンダ20を横方向に5個連設し且つ縦方向(マニホールド16の軸線方向)に所定距離離間して3段に配置することにより、複数のシリンダ20に対するメンテナンスを容易に遂行することができる。
本発明の実施の形態に係るシリンダ・バルブユニットの斜視図である。 図1に示すシリンダ・バルブユニットを底面側から見た斜視図である。 図1に示すシリンダ・バルブユニットの分解斜視図である。 図1に示すシリンダ・バルブユニットを構成するマニホールドに形成された連通路を便宜的に説明するために、前記マニホールドを第1〜第3プレートに分割した状態の分解斜視図である。 マニホールドに供給される圧力流体の流通経路を示すための第1〜第3プレートの他端部の一部省略拡大図である。 マニホールドに供給される圧力流体の流通経路を示すための第1〜第3プレートの一端部の一部省略拡大図である。 電磁弁とマニホールドとの間で圧力流体の流通経路を示すための一部断面側面図である。
符号の説明
10…シリンダ・バルブユニット 14…圧力流体供給ポート
16…マニホールド 16a〜16c…プレート
18…ピストンロッド 20…シリンダ
22…電磁弁 24…配線基板
26…コネクタ 28…連通路
30a、30b、38a、38b…ポート 32a…インレットポート
32b…アウトレットポート 32c…排気ポート
36…圧力流体供給用共通通路 37a〜37c…シリンダブロック
40a、40b、41…小孔 46…段差部
48…切欠凹部 50、56…一側面
52…ピン 54…端子ブロック
58…凹部

Claims (2)

  1. 略直方体状のブロック体からなり、内部に圧力流体が流通する複数の流体通路が形成されたマニホールドと、
    前記マニホールドの幅広な第1の側面の一端部側に設けられる複数のシリンダと、
    前記マニホールドの幅広な第1の側面又は前記第1の側面と略平行で幅広な第2の側面のいずれか一方又はその両側面に該マニホールドの軸線方向に沿って連設される複数の電磁弁と、
    前記第1及び第2の側面と直交する幅狭な第3の側面に前記マニホールドの軸線方向に沿って所定長だけ延在するように装着され、端子ブロックを介して前記複数の電磁弁と電気的に接続される配線基板と、
    前記第1の側面の中間部に形成された凹部内に前記配線基板の一側面と連結されて設けられ、複数のコネクタピンを有するコネクタと、
    を備えることを特徴とするシリンダ・バルブユニット。
  2. 請求項1記載のユニットにおいて、
    前記マニホールドは、樹脂製の複数のプレートが積層されて一体的に結合され、中間に介装されたプレートの積層面に溝部が形成され、前記溝部が積層される他のプレートとの間で閉塞されることにより、複数のシリンダに対して圧力流体をそれぞれ供給するための複数の流体通路が形成されることを特徴とするシリンダ・バルブユニット。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010261558A (ja) * 2009-05-11 2010-11-18 Smc Corp 非晶性樹脂からなるマニホールド

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