JP2008062349A - Method of washing glass sheet - Google Patents

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0075Cleaning of glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C11/00Selection of abrasive materials or additives for abrasive blasts

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of washing the surface of a glass sheet, which removes foreign matter on the surface of the glass sheet derived from metal tin, so as to be used for a glass substrate for a flat panel display used in a plasma display, a liquid crystal display and so on. <P>SOLUTION: The method of washing the surface of glass sheet, which is obtained by forming glass ribbon like a plate on a molten metal tin, includes a process of injecting particles with the Moh's hardness of 3 or less, and with the average particle diameter of 5 to 50 μm to make the particles collide with the surface of the glass sheet, thereby removing foreign matter on the surface of the glass sheet due to molten metal tin. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、フロート法で得られるガラス板表面の洗浄方法に関する。   The present invention relates to a method for cleaning the surface of a glass plate obtained by a float process.

現在のガラス板製造方法の主流は“フロート法”である。本方法は、錫浴と呼ばれる溶融金属錫で満たされた槽に溶融ガラスを連続的に供給してガラスリボンを成型し、この錫浴面上でガラスリボンを浮かせた状態で前進させ、連続的に板状のガラスを成型する方法であり、平坦性に優れるガラス板を大量にかつ安定的に生産できる方法である。   The mainstream of the current glass plate manufacturing method is the “float method”. In this method, molten glass is continuously supplied to a bath filled with molten metal tin, called a tin bath, to form a glass ribbon, and the glass ribbon is floated on the surface of the tin bath. This is a method of forming a plate-like glass, and can stably produce a large amount of glass plates having excellent flatness.

しかしながら、このフロート法では、前記溶融金属錫を起因とする錫系の異物がガラス板表面に形成され、欠陥として認識されることがある。特にフロート法で製造されるガラス種の徐冷点が高いものの場合、製造過程中での溶融金属の揮発が生じやすくなり、結果、ガラス板表面に溶融金属起因の錫系異物の発生が起こりやすい。   However, in this float method, a tin-based foreign matter originating from the molten metal tin may be formed on the glass plate surface and recognized as a defect. In particular, when a glass type produced by the float process has a high annealing point, the volatilization of the molten metal is likely to occur during the production process, and as a result, the occurrence of tin-based foreign matters due to the molten metal is likely to occur on the glass plate surface. .

ガラス板の用途には、自動車用、建築用の窓分野、電子材料、ディスプレイ分野等があり、これら用途では光学的透過性や表面の平坦性が要求される。従って、前記したような錫系異物欠陥を極力少なくすることが求められている。中でも、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ等に用いられるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の場合、微細な欠点であっても、問題となる場合があるので、前記したようなガラス表面の欠陥が排除されることが特に望まれる。   Applications of glass plates include automotive and architectural window fields, electronic materials, display fields, etc., and these applications require optical transparency and surface flatness. Accordingly, there is a demand for minimizing tin-based foreign matter defects as described above. Above all, in the case of glass substrates for flat panel displays used for plasma displays, liquid crystal displays, etc., even fine defects may cause problems, so the above-mentioned glass surface defects may be eliminated. Particularly desired.

フロート法で製造されたガラス表面から錫系異物を除去する方法として、酸性水溶液にガラス基板を浸漬し、異物を溶解および除去する方法が提案されており、例えば、特許文献1においては硝酸と塩酸の混酸への浸漬、特許文献2および3においては2価のクロムイオンを含む無機酸溶液への浸漬が開示されている。その他に、特許文献4では、ガラス板表面の錫系微小異物を、その付近、または接触した状態でハロゲン化アンモニウムを高温で昇華させることにより分解、揮散させて除去する方法が検討されている。   As a method for removing tin-based foreign matter from the glass surface produced by the float process, a method in which a glass substrate is immersed in an acidic aqueous solution to dissolve and remove the foreign matter has been proposed. For example, Patent Document 1 discloses nitric acid and hydrochloric acid. Soaking in a mixed acid, Patent Documents 2 and 3 disclose soaking in an inorganic acid solution containing divalent chromium ions. In addition, Patent Document 4 discusses a method in which tin-based fine foreign matter on the surface of a glass plate is removed by decomposition and volatilization by sublimating ammonium halide at a high temperature in the vicinity or in contact therewith.

他方、被処理物の表面に存在する有機物や酸化物等の汚染物を除去してクリーニングするために、該表面をブラスト処理することが知られている。例えば、特許文献5では、フィルムが剥離されたガラス質液晶ディスプレイパネルの表面にドライアイス等の粒子を衝突させ、次いで、プラズマを供給することで有機物を表面から除去する技術が開示されている。
特開平2−88445号公報 特開平9−295832号公報 特開平9−295833号公報 特開平10−85684号公報 特開2002−144231号公報
On the other hand, it is known to blast the surface in order to remove and clean contaminants such as organic substances and oxides present on the surface of the object to be processed. For example, Patent Document 5 discloses a technique for removing organic substances from the surface by causing particles such as dry ice to collide with the surface of the glassy liquid crystal display panel from which the film has been peeled off, and then supplying plasma.
Japanese Patent Laid-Open No. 2-88445 JP-A-9-295832 JP-A-9-295833 Japanese Patent Laid-Open No. 10-85684 JP 2002-144231 A

本発明は、溶融金属錫上でガラスリボンを板状に成形して得られるガラス板表面の洗浄方法に関し、ガラス板を光学的透過性や表面の平坦性が要求される用途に提供できるよう、特には、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ等に用いられるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の用途にも使用できるように、金属錫由来のガラス板表面の異物を除去可能なガラス板表面の洗浄方法を提供することを課題とする。   The present invention relates to a method for cleaning the surface of a glass plate obtained by forming a glass ribbon into a plate shape on molten metal tin, so that the glass plate can be provided for applications requiring optical transparency and surface flatness. In particular, to provide a method for cleaning a glass plate surface capable of removing foreign substances on the surface of a glass plate derived from metal tin so that it can be used for a glass substrate for a flat panel display used in a plasma display, a liquid crystal display, etc. Is an issue.

本発明では、溶融金属錫上でガラスリボンを板状に成形して得られるガラス板表面の洗浄方法を検討し、洗浄のために表面をブラスト処理する方法を検討してみたところ、意外にも、ガラス等の酸化物表面に形成された金属性異物の除去に効果があるとの知見を得、本発明をなすに至った。   In the present invention, a method for cleaning the surface of a glass plate obtained by forming a glass ribbon into a plate shape on molten metal tin was investigated, and a method for blasting the surface for cleaning was unexpectedly investigated. The present inventors have obtained knowledge that they are effective in removing metallic foreign substances formed on the surface of oxides such as glass, and have made the present invention.

本発明のガラス板表面の洗浄方法は、溶融金属錫上でガラスリボンを板状に成形して得られるガラス板表面の洗浄方法であり、モース硬度3以下で、平均粒径が5〜50μmの粒子を噴射してガラス板表面に前記粒子を衝突させるブラスト処理を行うことで、前記溶融金属錫起因のガラス板表面の異物を除去することを特徴とする。   The glass plate surface cleaning method of the present invention is a glass plate surface cleaning method obtained by forming a glass ribbon into a plate shape on molten metal tin, and has a Mohs hardness of 3 or less and an average particle size of 5 to 50 μm. A foreign matter on the glass plate surface caused by the molten metal tin is removed by performing a blasting process in which the particles are jetted to cause the particles to collide with the glass plate surface.

ガラス板のモース硬度は、5〜6である。ブラスト処理にて溶融金属錫起因のガラス板表面の異物を除去しつつ、ガラス板表面の傷発生を防止するためには、ガラス板表面に噴射される粒子硬度及び粒子の大きさの選定が重要である。この観点から、ガラス板表面に噴射される粒子の硬度は3以下とされ、好ましくは、2以下、さらに好ましくは1以上とされる。   The Mohs hardness of the glass plate is 5-6. It is important to select the particle hardness and particle size to be sprayed on the glass plate surface to prevent the generation of scratches on the glass plate surface while removing foreign matter on the glass plate surface caused by molten metal tin by blasting. It is. From this viewpoint, the hardness of the particles injected onto the glass plate surface is 3 or less, preferably 2 or less, more preferably 1 or more.

また、ガラス板表面に噴射される粒子は、その粒径が大きくなりすぎると、ガラス板表面への衝突時の衝撃でガラス板が破損する場合がある。他方、その粒径が小さい場合、溶融金属錫起因の異物の除去が難しくなる。本発明では、これを考慮して、平均粒径を5〜50μmとした。そして、前述の点を考慮すると、該平均粒径は、さらには、10〜40μm、さらには、15〜35μmとすることが好ましい。   Further, if the particle size of the particles sprayed on the glass plate surface becomes too large, the glass plate may be damaged by an impact at the time of collision with the glass plate surface. On the other hand, when the particle size is small, it is difficult to remove foreign matters caused by molten metal tin. In the present invention, in consideration of this, the average particle size is set to 5 to 50 μm. In consideration of the above points, the average particle size is preferably 10 to 40 μm, more preferably 15 to 35 μm.

尚、本発明での平均粒径は、JIS H0554(1995年)に準拠した方法で得られる平均粒径の値として定義される。そして、該方法に準拠した方法で測定し、前記した粒子径を有する粒子が本発明に適用される。   In addition, the average particle diameter in this invention is defined as a value of the average particle diameter obtained by the method based on JIS H0554 (1995). And it measures by the method based on this method, and the particle | grains which have the above-mentioned particle diameter are applied to this invention.

さらに本発明では、ガラス板表面に粒子を衝突させる前又は粒子を衝突させた後に、ガラス板表面を酸化還元滴定で0.1〜30規定の酸性水溶液に接触させる酸処理を行うことが好ましい。本発明で、ブラスト処理と酸処理との併用を検討したところ、ブラスト処理を行う前に、酸処理を行うと、溶融金属錫起因のガラス板表面の異物の除去に著しく効果を奏した。そして、該酸性水溶液として、硝酸、硫酸、塩酸等の酸性度の強い無機酸を使用することが好ましい。   Furthermore, in this invention, it is preferable to perform the acid treatment which makes the glass plate surface contact with 0.1-30 normal acid aqueous solution by oxidation-reduction titration before or after making particles collide with the glass plate surface. In the present invention, the combined use of blasting and acid treatment was examined. When the acid treatment was performed before the blasting treatment, the removal of foreign matters on the surface of the glass plate caused by molten metal tin was remarkably effective. And it is preferable to use inorganic acid with strong acidity, such as nitric acid, a sulfuric acid, and hydrochloric acid, as this acidic aqueous solution.

そして本発明のブラスト処理で噴射に使用される粒子には、氷、及びドライアイスから選ばれる少なくとも1種を使用することが好ましい。該粒子が氷であれば、基板表面への粒子の残留が無く、その後の洗浄が軽微なもので済むため好ましい。また、該粒子が昇華性を有するドライアイスであれば、噴射後のガラス表面に固形粒子が残留することがなく、その後の洗浄などが不必要となる。これを考慮すると、噴射に使用される粒子はドライアイスであることがより好ましい。   And it is preferable to use at least 1 sort (s) chosen from ice and dry ice for the particle | grains used for injection by the blasting process of this invention. If the particles are ice, it is preferable that the particles do not remain on the substrate surface and the subsequent cleaning is light. Further, if the particles are dry ice having sublimation properties, solid particles do not remain on the glass surface after the injection, and subsequent cleaning or the like is unnecessary. Considering this, it is more preferable that the particles used for injection are dry ice.

本発明のガラス板表面の洗浄方法は、効率的に溶融金属錫起因のガラス板表面の異物を除去する。従って、本発明の方法で表面が洗浄されたガラス板は、光学的透過性や表面の平坦性が要求される用途に好適に提供でき、特には、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ等に用いられるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板として好適に使用できる。   The glass plate surface cleaning method of the present invention efficiently removes foreign matter on the glass plate surface caused by molten metal tin. Therefore, the glass plate whose surface is cleaned by the method of the present invention can be suitably provided for applications requiring optical transparency and surface flatness, and in particular, flat panels used for plasma displays, liquid crystal displays, and the like. It can be suitably used as a glass substrate for display.

本発明のガラス板表面の洗浄方法は、溶融金属錫上でガラスリボンを板状に成形して得られるガラス板表面の洗浄方法であり、モース硬度3以下で、平均粒径が5〜50μmの粒子を噴射してガラス板表面に前記粒子を衝突させるブラスト処理を行うことで、前記溶融金属錫起因のガラス板表面の異物を除去することを特徴とする。   The glass plate surface cleaning method of the present invention is a glass plate surface cleaning method obtained by forming a glass ribbon into a plate shape on molten metal tin, and has a Mohs hardness of 3 or less and an average particle size of 5 to 50 μm. A foreign matter on the glass plate surface caused by the molten metal tin is removed by performing a blasting process in which the particles are jetted to cause the particles to collide with the glass plate surface.

本発明でのモース硬度3以下の粒子の例は、氷、ドライアイス、炭酸カルシウム、石膏、滑石であり、中でも、前記で述べたように氷、ドライアイスを使用することが好ましい。   Examples of particles having a Mohs hardness of 3 or less in the present invention are ice, dry ice, calcium carbonate, gypsum, and talc. Among them, it is preferable to use ice and dry ice as described above.

ブラスト処理を行うための装置は、前記したような粒子の粒子群が分散されたキャリアガスを噴射する機構を有する。そして、噴射される粒子がドライアイスの場合、ブラスト処理を行うための装置は、液体又は超臨界状態の超臨界状態の二酸化炭素を気化させるための機構を有していても良い。二酸化炭素を気化さようとすると、20〜40重量%がドライアイスとなる。従って、液体又は超臨界状態の二酸化炭素を気化させるための機構を有すると、キャリアガス源と粒子源とを同一とすることができる。   An apparatus for performing blasting has a mechanism for injecting a carrier gas in which a group of particles as described above is dispersed. When the particles to be ejected are dry ice, the apparatus for performing the blast treatment may have a mechanism for vaporizing liquid or supercritical carbon dioxide in a supercritical state. When carbon dioxide is vaporized, 20 to 40% by weight becomes dry ice. Therefore, when a mechanism for vaporizing liquid or supercritical carbon dioxide is provided, the carrier gas source and the particle source can be made the same.

ブラスト処理する際のキャリアガスは、0.1〜1MPa、好ましくは、0.3〜0.8MPa、より好ましくは、0.4〜0.6MPaに圧縮された気体とすることが好ましく、二酸化炭素の他に、空気、窒素等の気体を使用することが好ましく、該気体は乾燥されたものとすることが好ましい。   The carrier gas at the time of blasting is preferably 0.1 to 1 MPa, preferably 0.3 to 0.8 MPa, more preferably a gas compressed to 0.4 to 0.6 MPa. In addition, it is preferable to use a gas such as air or nitrogen, and the gas is preferably dried.

そして、粒子は、ガラス板表面に3〜30秒間、好ましくは、5〜20秒間吹き付けられ、粒子はガラス板表面に対して垂直から45度の角度で吹き付けられることが好ましく、略垂直に吹き付けられることがより好ましい。   Then, the particles are sprayed on the glass plate surface for 3 to 30 seconds, preferably 5 to 20 seconds, and the particles are preferably sprayed at an angle of 45 degrees from the vertical to the glass plate surface, and are sprayed substantially vertically. It is more preferable.

本発明のガラス板表面の洗浄方法は、フロート法で製造されるガラス種中、特に徐冷点が600℃以上で、特には600〜800℃の徐冷点を有するガラス種、特にはアルカリイオン、アルカリ土類イオンを有する珪酸塩ガラス種、所謂高歪点ガラスの表面の洗浄に対して特に効果的である。これら高歪点ガラスは、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ用途に好適に使用されるもので、ガラスの徐冷点が高いことから、その製造過程で、錫浴から錫が揮発しやすくなり、溶融金属錫起因のガラス板表面の異物欠陥が発生しやすくなるからである。尚、前記の徐冷点は、JIS R3103−2(2001年)「ガラスの粘性及び粘性定点−第2部:繊維引き伸ばし法による徐冷点及びひずみ点の測定方法」に準拠した方法で得られるものである。   The glass plate surface cleaning method of the present invention is a glass type produced by a float process, particularly a glass type having an annealing point of 600 ° C. or higher, particularly 600 to 800 ° C., particularly alkali ions. It is particularly effective for cleaning the surface of silicate glass species having alkaline earth ions, so-called high strain point glass. These high strain point glasses are suitably used for display applications such as plasma displays and liquid crystal displays, and since the glass has a high annealing point, tin tends to volatilize from the tin bath in the manufacturing process. It is because the foreign-material defect of the glass plate surface resulting from molten metal tin becomes easy to generate | occur | produce. The annealing point is obtained by a method based on JIS R3103-2 (2001) “Viscosity of glass and viscosity fixed point—Part 2: Measurement method of annealing point and strain point by fiber stretching method”. Is.

次に溶融金属錫起因のガラス板表面の異物種について説明する。該異物は、ガラス板表面のトップ面側(溶融錫と接して形成された面とは反対側面)に形成されうるトップスペック、及び錫落下物、そして、ガラス板表面のボトム面側(溶融錫と接して形成された面)に形成されうる搬送ロール付着物からの転写に起因するドロスに分類することができる。   Next, foreign substance types on the surface of the glass plate caused by molten metal tin will be described. The foreign matter includes a top spec that can be formed on the top surface side of the glass plate surface (the side opposite to the surface formed in contact with the molten tin), a tin falling object, and a bottom surface side of the glass plate surface (molten tin). Can be classified into dross caused by transfer from the conveyance roll deposits that can be formed on the surface formed in contact with the surface.

トップスペックは、錫浴上部からの落下付着物であり、ガラス板の厚み方向に、1〜5μm、特には2〜4μm、ガラス板の面方向に1〜200μmの長さを有して形成されうるもの、錫落下物は、ガラス板の厚み方向に0.1〜1μm、特には0.2〜0.5μm、ガラス板の面方向に1〜100μmの長さを有して形成されうるもの、そして、ドロスは、ガラス板の厚み方向に0.1〜1μm、特には0.2〜0.5μm、ガラス板の面方向に100〜400μmの長さを有して形成されうるものとして説明できる。   The top spec is a fall deposit from the upper part of the tin bath, and is formed with a length of 1 to 5 μm, particularly 2 to 4 μm in the thickness direction of the glass plate, and 1 to 200 μm in the surface direction of the glass plate. The fallen tin can be formed with a length of 0.1 to 1 μm, particularly 0.2 to 0.5 μm in the thickness direction of the glass plate, and 1 to 100 μm in the surface direction of the glass plate. The dross is described as having a length of 0.1 to 1 μm, particularly 0.2 to 0.5 μm in the thickness direction of the glass plate and 100 to 400 μm in the surface direction of the glass plate. it can.

そして、ガラス板から異物の除去の困難性は、「トップスペック>ドロス>錫落下物」の順である。これは、異物が発生する時の温度が「トップスペック>ドロス>錫落下物」の順で高いからである。そして、本発明の洗浄方法は、トップスペックの除去に対しても効果を奏す。   And the difficulty of removing a foreign substance from a glass plate is in the order of “top spec> dross> tin fallen object”. This is because the temperature when foreign matter is generated is higher in the order of “top spec> dross> tin fallen object”. The cleaning method of the present invention is also effective for removing the top spec.

実施例1
フロート法で製造された表1の組成及び631℃の徐冷点を有するガラス板(1000mm×1000mm×2.8mmt)の両表面を目視観察し、錫系異物として、
トップスペック 3個
ドロス 3個
錫落下物 4個
有するものを洗浄されるガラス板として選択した。該ガラス板に対して、ブラスト洗浄装置(大陽日酸社製 ドライアイス ブラスト洗浄装置 パウダーショット)を用いて、錫系異物が存在する部分に対して、キャリアガスを用いて粒子を10秒間噴射するブラスト処理を行った。この噴射において、ガラス板面に対する噴射角度を90°、粒子の噴射部からガラス板面までの距離を10mmとした。
Example 1
Both surfaces of a glass plate (1000 mm × 1000 mm × 2.8 mmt) having a composition shown in Table 1 and an annealing point of 631 ° C. produced by the float method were visually observed, and as a tin-based foreign matter,
3 top specs
3 dross
Those having 4 falling tins were selected as glass plates to be cleaned. Using a blast cleaning device (dry ice blast cleaning device, powder shot, manufactured by Taiyo Nippon Sanso Co., Ltd.) on the glass plate, particles are jetted for 10 seconds using a carrier gas to the portion where tin-based foreign matter is present. A blasting process was performed. In this injection, the injection angle with respect to the glass plate surface was 90 °, and the distance from the particle injection portion to the glass plate surface was 10 mm.

該ブラスト洗浄装置では、液体又は超臨界状態の二酸化炭素を気化させるための機構から、気体状の二酸化炭素を0.25kg/分で噴射する。その内の30重量%がドライアイスとなる。本実施例では、モース硬度が2であるドライアイスの平均粒径を30μmとし、30重量%のドライアイス粒子を含んだ気体状の二酸化炭素(該二酸化炭素がキャリアガスとなっている)の流量を、300l/分としてブラスト処理を行っている。ブラスト処理後にガラス板表面に傷の発生は観察されなかった。洗浄後、ガラス板表面に存在する錫系異物の数を観察したところ、次のとおりとなった。   In the blast cleaning apparatus, gaseous carbon dioxide is injected at 0.25 kg / min from a mechanism for vaporizing carbon dioxide in a liquid or supercritical state. 30% by weight of it becomes dry ice. In this example, the average particle size of dry ice having a Mohs hardness of 2 is set to 30 μm, and the flow rate of gaseous carbon dioxide containing 30 wt% dry ice particles (the carbon dioxide is the carrier gas). Is performed at 300 l / min. No scratches were observed on the glass plate surface after blasting. After cleaning, the number of tin-based foreign matters present on the surface of the glass plate was observed, and the results were as follows.

トップスペック 2個
ドロス 1個
錫落下物 0個
2 top specs
1 dross
0 falling tin objects

実施例2
錫系異物として、
トップスペック 3個
ドロス 3個
錫落下物 5個
有するものを洗浄されるガラス板として選択し、ブラスト処理を行う前に、40℃−18%の硝酸水溶液(3規定)で60秒間シャワーリングする酸洗浄を実施した以外は実施例1と同様の手順とした。
Example 2
As a tin-based foreign material,
3 top specs
3 dross
Select a glass plate to be washed with 5 falling tin objects as a glass plate to be cleaned, and perform acid cleaning except showering for 60 seconds with a 40% -18% nitric acid aqueous solution (3N) before blasting. The procedure was the same as in Example 1.

洗浄後にガラス板表面に傷の発生は観察されなかった。そして、ガラス板表面に存在する錫系異物の数を観察したところ、次のとおりとなった。   No scratches were observed on the glass plate surface after cleaning. And when the number of the tin-type foreign material which exists in the glass plate surface was observed, it became as follows.

トップスペック 1個
ドロス 0個
錫落下物 0個
実施例3
錫系異物として、
トップスペック 4個
ドロス 3個
錫落下物 4個
有するものを洗浄されるガラス板として選択し、ブラスト処理と酸処理の順番 を逆とした意外は、実施例2と同様の手順とした。
Top spec 1
0 dross
Tin fallen object 0 Example 3
As a tin-based foreign material,
4 top specs
3 dross
A procedure similar to that of Example 2 was adopted except that a glass plate having four falling tins was selected as the glass plate to be cleaned and the order of the blast treatment and the acid treatment was reversed.

洗浄後にガラス板表面に傷の発生は観察されなかった。そして、ガラス板表面に存在する錫系異物の数を観察したところ、次のとおりとなった。   No scratches were observed on the glass plate surface after cleaning. And when the number of the tin-type foreign material which exists in the glass plate surface was observed, it became as follows.

トップスペック 2個
ドロス 1個
錫落下物 0個
比較例1
錫系異物として、
トップスペック 4個
ドロス 3個
錫落下物 5個
有するものを洗浄されるガラス板として選択し、ブラスト処理を行わなかった意外は、実施例2と同様の手順とした。
2 top specs
1 dross
0 falling tin objects Comparative Example 1
As a tin-based foreign material,
4 top specs
3 dross
A procedure having the same procedure as in Example 2 was performed except that a glass plate to be cleaned having 5 tin falling objects was selected and blasting was not performed.

洗浄後にガラス板表面に傷の発生は観察されなかった。そして、ガラス板表面に存在する錫系異物の数を観察したところ、次のとおりとなった。   No scratches were observed on the glass plate surface after cleaning. And when the number of the tin-type foreign material which exists in the glass plate surface was observed, it became as follows.

トップスペック 4個
ドロス 3個
錫落下物 1個
[各実施例及び比較例の洗浄方法の比較]
前記各実施例、及び前記比較例で行ったガラス板の洗浄の各錫系異物に対する除去率を表3に示す。これよりブラスト処理が錫系異物除去に効果があること、特にドロス、トップペックの除去に効果があることがわかる。また、ブラスト処理前又はブラスト処理した後に酸処理を行うことで、各錫系異物をさらに効率的に除去できることが本発明により明らかになった。
4 top specs
3 dross
Tin falling object 1 [comparison of cleaning methods of each example and comparative example]
Table 3 shows the removal rate of each tin-based foreign substance in the glass plate cleaning performed in each of the examples and the comparative example. From this, it can be seen that the blast treatment is effective in removing tin-based foreign matters, particularly in removing dross and top peck. Moreover, it became clear by this invention that each tin type foreign material can be removed more efficiently by performing acid treatment before blasting or after blasting.

本発明で実施されたブラスト処理によるトップスペック除去の効果を図面を用いて説明する。図1は、ガラス板表面にトップスペックが存在していた部分を本実施例の条件でブラスト処理した後の表面状態を示す図である。そして、図22は、ブラスト処理前のガラス板ののトップスペックが存在している部分の表面状態を示している。ブラスト処理によるガラス板表面の傷の発生はなく、ブラスト処理によるトップスペックが除去されていることが確認される。   The effect of removing the top specs by the blasting process performed in the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a surface state after a portion where the top spec is present on the surface of the glass plate is blasted under the conditions of this embodiment. And FIG. 22 has shown the surface state of the part in which the top specification of the glass plate before a blast process exists. It is confirmed that there is no scratch on the surface of the glass plate due to the blasting process, and that the top spec is removed by the blasting process.

本実施例では、ブラスト処理は、異物が存在する部分に対してスポット的になされた。しかしながら、これ以外にも、ガラス板表面全体に対して一度にブラスト処理してもよいし、ガラス長さ方向に線状にブラスト処理を実施し、このブラスト処理を実施中にガラス板を動かすか、ブラスト処理する部材をスキャンニングさせることでガラス板表面全体をブラスト処理してもよい。   In the present embodiment, the blasting process is performed in a spot-like manner on a portion where foreign matter is present. However, in addition to this, the entire glass plate surface may be blasted at once, or the glass plate may be blasted linearly in the length direction of the glass and the glass plate moved during the blasting. The entire surface of the glass plate may be blasted by scanning a member to be blasted.

本発明で示されたガラス板の洗浄方法が実施された後、研磨工程等を経てプラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ用途に好適に使用されるガラス基板が得られる。   After the glass plate cleaning method shown in the present invention is carried out, a glass substrate suitably used for display applications such as a plasma display and a liquid crystal display is obtained through a polishing process and the like.

ガラス板表面にトップスペックが存在していた部分を本実施例の条件でブラスト処理した後の表面状態を示す図(写真)である。図中のバーの長さは100μmを表している。It is a figure (photograph) which shows the surface state after carrying out the blast process of the part in which the top specification existed on the glass plate surface on the conditions of a present Example. The length of the bar in the figure represents 100 μm. ブラスト処理前のガラス板のトップスペックが存在している部分の表面状態を示している図(写真)である。図中のバーの長さは100μmを表している。It is a figure (photograph) which shows the surface state of the part in which the top specification of the glass plate before blasting exists. The length of the bar in the figure represents 100 μm.

Claims (4)

溶融金属錫上でガラスリボンを板状に成形して得られるガラス板表面の洗浄方法であり、モース硬度3以下で、平均粒径が5〜50μmの粒子を噴射してガラス板表面に前記粒子を衝突させることで、前記溶融金属錫起因のガラス板表面の異物を除去する工程を有することを特徴とするガラス板表面の洗浄方法。 A method for cleaning a glass plate surface obtained by forming a glass ribbon into a plate shape on molten metal tin, and spraying particles having a Mohs hardness of 3 or less and an average particle size of 5 to 50 μm on the glass plate surface A method for cleaning the surface of a glass plate, characterized by having a step of removing foreign matter on the surface of the glass plate caused by the molten metal tin by causing collisions. 粒子を衝突させる前又は粒子を衝突させた後に、ガラス板表面を酸化還元滴定で0.1〜30規定の酸性水溶液に接触させる工程を有することを特徴とする請求項1に記載のガラス板表面の洗浄方法。 The glass plate surface according to claim 1, further comprising a step of bringing the glass plate surface into contact with an acidic aqueous solution of 0.1 to 30 N by oxidation-reduction titration before or after the particles collide. Cleaning method. 粒子が、氷、及びドライアイスから選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガラス板表面の洗浄方法。 The method for cleaning a surface of a glass plate according to claim 1 or 2, wherein the particles are at least one selected from ice and dry ice. 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の方法でガラス板表面を洗浄する工程を有することを特徴とするガラス基板の製造方法。 A method for producing a glass substrate, comprising the step of cleaning the surface of the glass plate by the method according to claim 1.
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