JP2008046247A - 顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】試料を対物レンズ側からその光軸に対して斜めにかつ複数の方位から照明する照明光学系を有する顕微鏡装置において、簡易な構成で照明光の利用効率を向上させる。
【解決手段】顕微鏡装置を、照明光を生じる光源21と、光源21から生じた照明光を集光する複眼レンズ5であって、位置の異なるレンズ中心AP1、AP2を有する正の屈折力の複数のレンズ曲面が形成される複眼レンズ50と、複眼レンズ50によって異なる軸線AX1、AX2上に集光される照明光の各々を案内し、これら照明光を異なる方位から試料2表面へと各々入射させる光学的案内部61、62、71、72及び28とを備えて構成する。
【選択図】図2
【解決手段】顕微鏡装置を、照明光を生じる光源21と、光源21から生じた照明光を集光する複眼レンズ5であって、位置の異なるレンズ中心AP1、AP2を有する正の屈折力の複数のレンズ曲面が形成される複眼レンズ50と、複眼レンズ50によって異なる軸線AX1、AX2上に集光される照明光の各々を案内し、これら照明光を異なる方位から試料2表面へと各々入射させる光学的案内部61、62、71、72及び28とを備えて構成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、試料表面を、対物レンズ側からその光軸に対して斜めに照明し、試料表面で反射した光学像を捉える顕微鏡装置に関する。特に、半導体ウエハや、フォトマスク用基板、並びに液晶表示パネル用基板、液晶デバイス用基板などである試料の表面に形成されたパターンの欠陥を検出する外観検査装置において、これら試料の画像を生成するために利用される顕微鏡装置に関する。
半導体ウエハや、フォトマスク用基板、並びに液晶表示パネルなどの半導体装置等の製造は多数の工数から成り立っており、最終及び途中の工程での欠陥の発生具合を検査して製造工程にフィードバックすることが歩留まり向上の上からも重要である。製造工程の途中で欠陥を検出するために、半導体ウエハ、フォトマスク用基板、液晶表示パネル用基板、液晶デバイス用基板などの試料の表面に形成されたパターンを撮像し、これにより得られた画像を検査することにより試料表面に存在する欠陥を検出するパターン欠陥検査などの外観検査が広く行われている。
上述の外観検査では、被検査物体である半導体ウエハ表面に形成された回路パターンの光学像を生成するために光学顕微鏡が使用されるのが一般的である。また外観検査装置では、例えば暗視野顕微鏡のように、試料を照明する照明光を対物レンズ側からかつ対物レンズの光軸に対して斜めに入射させる照明光学系がしばしば採用される。このような照明光学系は、被検査物体の表面の欠陥で乱反射した光を明るくすることができるため、比較的簡単な構成で高感度の欠陥検出を行うことが可能であるという利点を有する。
図1に、従来の顕微鏡装置を用いた半導体ウエハ外観検査装置の概略構成を示す。半導体ウエハ外観検査装置1(以下、「外観検査装置1」と記す)の顕微鏡装置は、主に、半導体ウエハ2(以下、「ウエハ2」と記す)を保持するステージ41と、ステージ41に保持されたウエハ2の表面の光学像を撮像する撮像装置31と、ウエハ2を照明する照明光学系と、この照明光学系により照明されたウエハ2の表面の光学像を撮像装置31の受光面上に結像する結像光学系により構成される。
外観検査装置1の結像光学系は少なくとも対物レンズ10を含み、対物レンズ10は、以下に説明する照明光学系によって照明されたウエハ2の表面の光学像を投影する。
照明光学系は、光源21と、光源21からの照明光を集光して平行光束を生成する集光光学系22と、集光光学系22により生成された平行光束をその周辺を残してマスクするスリット26と、スリット26を通過する光束を被検査物体方向に反射しつつ対物レンズ10による投影光を通過させる穴あきミラー27と、対物レンズ10の周囲を通過する照明光を集束して、対物レンズ10の周囲からその光軸に対して傾けて入射させるリング状コンデンサレンズ28と、を含む。
照明光学系は、光源21と、光源21からの照明光を集光して平行光束を生成する集光光学系22と、集光光学系22により生成された平行光束をその周辺を残してマスクするスリット26と、スリット26を通過する光束を被検査物体方向に反射しつつ対物レンズ10による投影光を通過させる穴あきミラー27と、対物レンズ10の周囲を通過する照明光を集束して、対物レンズ10の周囲からその光軸に対して傾けて入射させるリング状コンデンサレンズ28と、を含む。
スリット26により中空となった照明光の光束は、対物レンズ10の光軸に対して斜めにウエハ2の表面に入射するが、このとき照明光はウエハ2の表面に関して定まる2次元方位(以下、単に「方位」と示す)の全方位から入射する。このためウエハ2の表面に高低差があっても、ウエハ2の表面上に存在する欠陥がこの表面の他の部分の陰に隠れることを防止する。
撮像装置31としては、2次元CCD素子を使用したTVカメラなどを使用することも可能であるが、高精細の画像信号を得るためには1次元CCD等のラインセンサを使用して、ステージ41をウエハ2に対して相対移動させ(走査して)、ステージ41を駆動するパルス発生器42による駆動パルス信号に同期して、画像処理部33がラインセンサ31の信号を取り込んで画像を取得することが多い。
ウエハ2の表面には、複数のダイ(チップ)がそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されており、また1つダイの内部においても同じセルがそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されている。画像処理部33は、ウエハ2の画像に現れる繰り返しパターン内の本来同一となるべき部分同士を比較して、その相違部分を欠陥箇所として検出する。
なお、光学顕微鏡に使用される従来の照明装置については、下記特許文献1〜7に開示されている。
ウエハ2の表面には、複数のダイ(チップ)がそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されており、また1つダイの内部においても同じセルがそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されている。画像処理部33は、ウエハ2の画像に現れる繰り返しパターン内の本来同一となるべき部分同士を比較して、その相違部分を欠陥箇所として検出する。
なお、光学顕微鏡に使用される従来の照明装置については、下記特許文献1〜7に開示されている。
従来の顕微鏡装置の構成では、試料を照明する照明光を、対物レンズ側からその光軸に対して斜めにかつ複数の方位から入射させるために、図1に示すように単一の光源21から生じた1つの光束L0の光軸中心部分をマスクして中空の光束を生成するか、または各方位から試料を照明する光束をそれぞれ別個の照明光学系で生成していた。
しかしながら、図1に示すように単一の光源から生じた光束の中心部分をマスクする構成によれば、光束の断面のうち光強度が最も強い中央部がマスクされるため、照明光の利用効率が悪い。また複数の照明光学系を使用すると顕微鏡装置の部品点数が増加する。
しかしながら、図1に示すように単一の光源から生じた光束の中心部分をマスクする構成によれば、光束の断面のうち光強度が最も強い中央部がマスクされるため、照明光の利用効率が悪い。また複数の照明光学系を使用すると顕微鏡装置の部品点数が増加する。
上記問題点に鑑み、本発明では、試料を対物レンズ側からその光軸に対して斜めにかつ複数の方位から照明する照明光学系を有する顕微鏡装置において、簡易な構成で照明光の利用効率を向上させることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、レンズ中心の位置の異なる正の屈折力の複数のレンズ曲面が透過面上に形成されるレンズ(以下「複眼レンズ」と示す)を、照明光学系に設け、異なる軸線上に集光される複数の照明光を、1つの光束から生成する。
上記の複眼レンズに光束が入射すると、複眼レンズの透過面上に形成された複数のレンズ曲面によって屈折する光は、それぞれ異なる軸線上に集光される。このため、試料を複数の方位から各々照明するための複数の光束を1つの光源から生成することができる。その際に照明光をマスクして無駄に捨てる必要もない。
上記の複眼レンズに光束が入射すると、複眼レンズの透過面上に形成された複数のレンズ曲面によって屈折する光は、それぞれ異なる軸線上に集光される。このため、試料を複数の方位から各々照明するための複数の光束を1つの光源から生成することができる。その際に照明光をマスクして無駄に捨てる必要もない。
本発明によれば、試料表面を、対物レンズ側からその光軸に対して斜めにかつ複数の方位から照明する顕微鏡装置であって、照明光を生じる光源と、光源から生じた照明光を集光する上記の複眼レンズと、複眼レンズに形成された複数のレンズ曲面に入射することによって異なる軸線上に集光される照明光の各々を案内し、これら照明光を試料表面上の異なる方位から試料表面へと各々入射させる光学的案内部と、を備える顕微鏡装置が提供される。
所定の集光光学系を用いて光源から生じる照明光から照明光束を生成するとき、複眼レンズと集光光学系との間の相対位置を、照明光束の中心が複眼レンズの透過面に入射するように定めてよい。照明光束の断面強度分布が光軸中心で最も強い光強度を呈するとき、このように複眼レンズと集光光学系との間の相対位置を定めることによって、効率よく照明光を利用することが可能となる。
半導体ウエハの外観検査装置では、試料である半導体ウエハの表面を2方向又は4方向から照明すれば足りることが多い。したがって例えば複眼レンズの透過面上に形成するレンズ曲面は2つ又は4つとしてよい。
本発明によれば、試料を対物レンズ側からその光軸に対して斜めにかつ複数の方位から照明する照明光学系を有する顕微鏡装置において、照明光の利用効率を向上することが可能となる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図2は、本発明の実施例による顕微鏡装置を用いた半導体ウエハ外観検査装置の概略構成図である。図2に示す外観検査装置1の構成は、図1を参照して説明した外観検査装置に類似する構成を有しており、したがって同様の構成要素には同じ参照番号を付すこととし同様の機能については説明を省略する。また、図示の通りウエハ2の表面と平行な平面をXY平面とし、これに垂直な方向をZ方向とする。
本構成における外観検査装置1は、集光光学系22により平行光束L0となった照明光が入射されるときにこの光を異なる2つの軸線上に集光する複眼レンズ50を備える。
本構成における外観検査装置1は、集光光学系22により平行光束L0となった照明光が入射されるときにこの光を異なる2つの軸線上に集光する複眼レンズ50を備える。
図3の(A)は図2に示す複眼レンズ50の第1例の平面図であり、図3の(B)は図3の(A)のA−A’断面図である。図3の(A)にて一点鎖線で示される曲線は、複眼レンズ50の透過面の等高線を概略的に示す線である。
図示するとおり複眼レンズ50の透過面には、異なる位置AP1及びAP2にレンズ中心がある正の屈折力の2つのレンズ曲面が形成される。すなわち図示の境界線LNを挟んだ一方の領域A1には、光学的中心が位置AP1にある正の屈折力を有する第1のレンズ曲面が形成され、他方の領域A2には、光学的中心が位置AP2にある正の屈折力を有する第2のレンズ曲面が形成される。
このような複眼レンズ50は、モールド成形技術によって容易に形成することが可能であり、フレネルレンズや単に複数のレンズを貼り合わせ又は並べて実現してもよい。
図示するとおり複眼レンズ50の透過面には、異なる位置AP1及びAP2にレンズ中心がある正の屈折力の2つのレンズ曲面が形成される。すなわち図示の境界線LNを挟んだ一方の領域A1には、光学的中心が位置AP1にある正の屈折力を有する第1のレンズ曲面が形成され、他方の領域A2には、光学的中心が位置AP2にある正の屈折力を有する第2のレンズ曲面が形成される。
このような複眼レンズ50は、モールド成形技術によって容易に形成することが可能であり、フレネルレンズや単に複数のレンズを貼り合わせ又は並べて実現してもよい。
図2に戻り、複眼レンズ50に入射した照明光束L0は、複眼レンズ50の第1及び第2のレンズ曲面によって、それぞれのレンズ中心AP1及びAP2をそれぞれ通る光軸AX1及びAX2上に集光される。
光軸AX1及びAX2上にはそれぞれ負の屈折力を有する光学素子、例えば凹レンズ61及び62がそれぞれ設けられる。複眼レンズ50により集光される照明光は、これら凹レンズ61及び62によって再び平行光束L1及びL2となる。
光軸AX1及びAX2上にはそれぞれ負の屈折力を有する光学素子、例えば凹レンズ61及び62がそれぞれ設けられる。複眼レンズ50により集光される照明光は、これら凹レンズ61及び62によって再び平行光束L1及びL2となる。
凹レンズ61及び62により平行光束となった照明光は、それぞれミラー71及び72によって、ウエハ2の方向にかつ対物レンズ10の光軸と平行な方向に反射され、コンデンサレンズ28によって集光されることによって、対物レンズ10の周囲からその光軸に対して斜めに入射する。
図4は、図3に示す複眼レンズ50による照明光束L1及びL2による照明方向を示す図である。点線にて図示する光束L1及びL2のXY平面上の位置は、コンデンサレンズ28により集光される前の位置を示す。
複眼レンズ50により光軸AX1上に集光される光は、凹レンズ61の作用で平行光束L1となり、その後、ミラー71で反射してウエハ2に向かう方向に反射され、コンデンサレンズ28によって集光されることによって、ウエハ2を−X方向(矢印91の方向)に照明する照明光となる。
一方で、複眼レンズ50により光軸AX2上に集光される光は、凹レンズ62の作用で平行光束L2となり、その後、ミラー72で反射してウエハ2に向かう方向に反射され、コンデンサレンズ28によって集光されることによって、ウエハ2を+X方向(矢印92の方向)に照明する照明光となる。
ここに、凹レンズ61及び62、ミラー71及び72、並びにコンデンサレンズ28は、本願の特許請求の範囲に係る光学的案内部に対応する。
ここで、コンデンサレンズ28を対物レンズ10と一体のレンズとして設け、対物レンズ10により平行光として投影されるウエハ2からの反射光を撮像装置31の受光面上に結像するレンズを、対物レンズ10と撮像装置31との間に別途設けてもよい。
図4は、図3に示す複眼レンズ50による照明光束L1及びL2による照明方向を示す図である。点線にて図示する光束L1及びL2のXY平面上の位置は、コンデンサレンズ28により集光される前の位置を示す。
複眼レンズ50により光軸AX1上に集光される光は、凹レンズ61の作用で平行光束L1となり、その後、ミラー71で反射してウエハ2に向かう方向に反射され、コンデンサレンズ28によって集光されることによって、ウエハ2を−X方向(矢印91の方向)に照明する照明光となる。
一方で、複眼レンズ50により光軸AX2上に集光される光は、凹レンズ62の作用で平行光束L2となり、その後、ミラー72で反射してウエハ2に向かう方向に反射され、コンデンサレンズ28によって集光されることによって、ウエハ2を+X方向(矢印92の方向)に照明する照明光となる。
ここに、凹レンズ61及び62、ミラー71及び72、並びにコンデンサレンズ28は、本願の特許請求の範囲に係る光学的案内部に対応する。
ここで、コンデンサレンズ28を対物レンズ10と一体のレンズとして設け、対物レンズ10により平行光として投影されるウエハ2からの反射光を撮像装置31の受光面上に結像するレンズを、対物レンズ10と撮像装置31との間に別途設けてもよい。
図5の(A)は図2に示す複眼レンズ50を通過する前後の光束の態様を示す図である。ここで集光光学系22により光軸AX0を中心とする平行光束とされた照明光束をL0とする。複眼レンズ50に入射する前の光束L0のA−A’ における照明光の光強度プロファイルを図5の(B)に示す。
略点光源からの光を比較的簡易な光学系を用いて平行光とした光束は、図5の(B)に示すように、光束の中心に1つの光強度のピークPを有し周辺となるにしたがって強度が低下する不均一な断面強度分布を有する。
略点光源からの光を比較的簡易な光学系を用いて平行光とした光束は、図5の(B)に示すように、光束の中心に1つの光強度のピークPを有し周辺となるにしたがって強度が低下する不均一な断面強度分布を有する。
図5の(C)は、図5の(A)に示すB−B’断面における照明光の光強度プロファイル、すなわち複眼レンズ50に入射した光束L0が複眼レンズ50から出射した後の光強度プロファイルである。
図示するとおり、複眼レンズ50の透過面に形成された2つのレンズ曲面の作用によって、1つの光強度のピークPが存在する断面強度分布を有する光束L0が2つのレンズ曲面の光学軸AX1及びAX2上に集光されるため、複眼レンズ50を通過した後の光束の断面強度分布は、光学軸AX1及びAX2上、またはそれらの付近にそれぞれ光強度のピークP1及びP2を有する。
図示するとおり、複眼レンズ50の透過面に形成された2つのレンズ曲面の作用によって、1つの光強度のピークPが存在する断面強度分布を有する光束L0が2つのレンズ曲面の光学軸AX1及びAX2上に集光されるため、複眼レンズ50を通過した後の光束の断面強度分布は、光学軸AX1及びAX2上、またはそれらの付近にそれぞれ光強度のピークP1及びP2を有する。
ここで複眼レンズ50には光束L0の中心部分が入射し、かかる中心部分には光束L0が持つ光エネルギーが集中している。一方で入射した光束の光エネルギーは、複眼レンズ50を出射する光束のピークP1及びP2の部分に集中する。
したがって、これらピークP1及びP2を中心に集光される照明光を、凹レンズ61及び62、ミラー71及び72並びにコンデンサレンズ28を用いて、ウエハ2の表面へと案内することによって光源21から生じた照明光の多くを利用することが可能となる。
したがって、これらピークP1及びP2を中心に集光される照明光を、凹レンズ61及び62、ミラー71及び72並びにコンデンサレンズ28を用いて、ウエハ2の表面へと案内することによって光源21から生じた照明光の多くを利用することが可能となる。
このように、光源21から生じた照明光を効率よく利用するには、集光光学系22によって集光された光束L0のうちの光エネルギーが集中する部分が、複眼レンズ50のレンズ曲面によって集光されることが好ましい。
また複眼レンズ50を通過した後の光束に複数の光強度ピークP1及びP2を生じさせるためには、複眼レンズ50に形成された複数のレンズ曲面のそれぞれに光束L0が入射する必要がある。
また複眼レンズ50を通過した後の光束に複数の光強度ピークP1及びP2を生じさせるためには、複眼レンズ50に形成された複数のレンズ曲面のそれぞれに光束L0が入射する必要がある。
このため複眼レンズ50の1つの態様では、光束L0の断面のうちの光強度が所定の強度以上となる中心部分が、漏れなく複眼レンズ50に設けられたレンズ曲面に入射し、かつかかる中心部分が複数のレンズ曲面にそれぞれ入射するように、複眼レンズ50と集光光学系22との相対位置及び複眼レンズ50の形状及び寸法が決定される。
例えば図6の(A)に示すように、光束L0の断面が半径r0の円形であり、その断面強度分布が光軸中心Oにてピークを有し、この光軸Oを中心とする半径r1の円形領域LA1においてその光強度が所定の強度TL以上である場合を想定する。
図6の(B)に示す複眼レンズ50の例では、光束L0の全てが複眼レンズ50のレンズ曲面A1及びA2に入射し、かつレンズ曲面A1及びA2のいずれにも入射するように、複眼レンズ50の形状及び寸法が決定される。
図6の(B)に示す複眼レンズ50の例では、光束L0の全てが複眼レンズ50のレンズ曲面A1及びA2に入射し、かつレンズ曲面A1及びA2のいずれにも入射するように、複眼レンズ50の形状及び寸法が決定される。
図6の(C)に示す複眼レンズ50の例では、光束L0の光軸Oを中心とする半径r1の円形領域LA1の全てが複眼レンズ50のレンズ曲面A1及びA2に入射し、かつレンズ曲面A1及びA2のいずれにも入射するように、複眼レンズ50の形状及び寸法が決定される。
このように、光束L0の断面の全て、また光束L0の断面内の所定面積を有する領域LA1を漏れなくレンズ曲面A1及びA2に入射させ、かつレンズ曲面A1及びA2のいずれにも入射させるために、複眼レンズ50に設けられる複数のレンズ曲面A1及びA2の境界は、長さが0でない曲面間交線LNであることが望ましい。
このように、光束L0の断面の全て、また光束L0の断面内の所定面積を有する領域LA1を漏れなくレンズ曲面A1及びA2に入射させ、かつレンズ曲面A1及びA2のいずれにも入射させるために、複眼レンズ50に設けられる複数のレンズ曲面A1及びA2の境界は、長さが0でない曲面間交線LNであることが望ましい。
図7は、図2に示す複眼レンズ50の第2例の平面図である。図7にて一点鎖線で示される曲線は、複眼レンズ50の透過面の等高線を概略的に示す線である。
図示するとおり複眼レンズ50の透過面には、異なる位置AP1〜AP4にレンズ中心がある正の屈折力の2つのレンズ曲面が形成される。すなわち図示の境界線LN1及びLN4に挟まれる領域A1には光学的中心が位置AP1にある正の屈折力を有する第1のレンズ曲面が形成され、境界線LN2及びLN1に挟まれる領域A2には光学的中心が位置AP2にある正の屈折力を有する第2のレンズ曲面が形成され、境界線LN3及びLN2に挟まれる領域A3には光学的中心が位置AP3にある正の屈折力を有する第3のレンズ曲面が形成され、境界線LN4及びLN3に挟まれる領域A4には光学的中心が位置AP4にある正の屈折力を有する第4のレンズ曲面が形成される。
図示するとおり複眼レンズ50の透過面には、異なる位置AP1〜AP4にレンズ中心がある正の屈折力の2つのレンズ曲面が形成される。すなわち図示の境界線LN1及びLN4に挟まれる領域A1には光学的中心が位置AP1にある正の屈折力を有する第1のレンズ曲面が形成され、境界線LN2及びLN1に挟まれる領域A2には光学的中心が位置AP2にある正の屈折力を有する第2のレンズ曲面が形成され、境界線LN3及びLN2に挟まれる領域A3には光学的中心が位置AP3にある正の屈折力を有する第3のレンズ曲面が形成され、境界線LN4及びLN3に挟まれる領域A4には光学的中心が位置AP4にある正の屈折力を有する第4のレンズ曲面が形成される。
このような4つのレンズ曲面を有する複眼レンズ50を用いることによって、集光光学系22による照明光束L0を、各レンズ中心AP1〜AP4をそれぞれ通る4つ光軸上に集光することができる。
そして、4つの光軸上に集光される照明光をそれぞれ、上記凹レンズ61及び62のような負の屈折力を有する光学素子を用いて平行光束にする。これら4つの光束はそれぞれ異なる光軸を有するので、これらをそれぞれミラーによってウエハ2の方向にかつ対物レンズ10の光軸と平行な方向に反射させ、コンデンサレンズ28によって集光することによって、ウエハ2の表面を、4つの異なる方位からかつ対物レンズ10の光軸に対して斜めに照明することが可能となる。
そして、4つの光軸上に集光される照明光をそれぞれ、上記凹レンズ61及び62のような負の屈折力を有する光学素子を用いて平行光束にする。これら4つの光束はそれぞれ異なる光軸を有するので、これらをそれぞれミラーによってウエハ2の方向にかつ対物レンズ10の光軸と平行な方向に反射させ、コンデンサレンズ28によって集光することによって、ウエハ2の表面を、4つの異なる方位からかつ対物レンズ10の光軸に対して斜めに照明することが可能となる。
図8は、図7に示す複眼レンズ50による照明光束による照明方向を示す図である。点線にて図示する光束L1〜L4の位置は、図7に示す複眼レンズ50の4つのレンズ曲面によって集光された照明光を、それぞれ図2に示す凹レンズ61及び62並びにミラー71及び72と同様の光案内手段によって、コンデンサレンズ28の入射面まで案内された時点の位置を示す。
図8に示す照明方向の例では、4つの光束L1〜L4はそれぞれ、−X方向(矢印91の方向)、+Y方向(矢印92の方向)、+X方向(矢印93の方向)及び−Y方向(矢印94の方向)の方向から、ウエハ2を斜めに照明する。
図8に示す照明方向の例では、4つの光束L1〜L4はそれぞれ、−X方向(矢印91の方向)、+Y方向(矢印92の方向)、+X方向(矢印93の方向)及び−Y方向(矢印94の方向)の方向から、ウエハ2を斜めに照明する。
本発明は、試料表面を、対物レンズ側からその光軸に対して斜めに照明し、試料表面で反射した光学像を捉える顕微鏡装置に利用可能である。特に、半導体ウエハや、フォトマスク用基板、並びに液晶表示パネル用基板、液晶デバイス用基板などである試料の表面に形成されたパターンの欠陥を検出する外観検査装置において、これら試料の画像を生成するために利用される顕微鏡装置に利用可能である。
1 外観検査装置
2 半導体ウエハ
10 対物レンズ
21 光源
22 集光光学系
28 コンデンサレンズ
10 対物レンズ
31 撮像装置
41 可動ステージ
50 複眼レンズ
61、62 凹レンズ
71、72 ミラー
2 半導体ウエハ
10 対物レンズ
21 光源
22 集光光学系
28 コンデンサレンズ
10 対物レンズ
31 撮像装置
41 可動ステージ
50 複眼レンズ
61、62 凹レンズ
71、72 ミラー
Claims (4)
- 試料表面を、対物レンズ側からその光軸に対して斜めにかつ複数の方位から照明する顕微鏡装置であって、
照明光を生じる光源と、
前記光源から生じた前記照明光を集光する複眼レンズであって、その透過面上に、レンズ中心の位置の異なる正の屈折力の複数のレンズ曲面が形成される複眼レンズと、
これら複数のレンズ曲面に入射することによって異なる軸線上に集光される照明光の各々を案内し、これら照明光を前記試料表面上の異なる方位から前記試料表面へと各々入射させる光学的案内部と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。 - 前記光源から生じる前記照明光を、前記複眼レンズに入射する照明光束を生成する集光光学系を備え、
前記複眼レンズは、前記照明光束の中心が前記複眼レンズの前記透過面に入射するように、前記集光光学系との相対位置が定められる、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。 - 前記複眼レンズは、前記透過面上に、それぞれ頂点を有する正の屈折力の2つのレンズ曲面が形成され、
これら2つのレンズ曲面によって各々収束される前記各照明光を、異なる2つの方位から前記試料表面に照射することを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡装置。 - 前記複眼レンズは、前記透過面上に、それぞれ頂点を有する正の屈折力の4つのレンズ曲面が形成され、
これら4つのレンズ曲面によって各々収束される前記各照明光を、異なる4つの方位から前記試料表面に照射することを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡装置。
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JP2006220130A JP2008046247A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 顕微鏡装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009107531A1 (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 旭硝子株式会社 | 溶融ガラスの減圧脱泡装置および減圧脱泡方法 |
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2006
- 2006-08-11 JP JP2006220130A patent/JP2008046247A/ja active Pending
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WO2009107531A1 (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 旭硝子株式会社 | 溶融ガラスの減圧脱泡装置および減圧脱泡方法 |
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