JP2008045923A - 温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置 - Google Patents
温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008045923A JP2008045923A JP2006219895A JP2006219895A JP2008045923A JP 2008045923 A JP2008045923 A JP 2008045923A JP 2006219895 A JP2006219895 A JP 2006219895A JP 2006219895 A JP2006219895 A JP 2006219895A JP 2008045923 A JP2008045923 A JP 2008045923A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- reference object
- radiation thermometer
- emissivity
- band
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 9
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0003—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
【課題】被測定物質の放射率を必要とせず温度を正確に測定することを可能とし、かつ、1台の装置で低温域から高温域までの広い温度領域での測定を可能とする。
【解決手段】本発明の温度測定装置は、所定の波長範囲にわたって放射率が実質的に1とみなすことができる基準物体と、前記波長範囲の輻射エネルギーを透過させるバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーを取り込んで温度を観測する放射温度計とを備え、前記基準物体を測定対象に接触させて実質的に熱平衡状態となったときに前記基準物体から放射され、前記バンドパスフィルタを透過し、前記放射温度計によって観測された温度から前記測定対象の温度を求めるよう構成される。
【選択図】図3
【解決手段】本発明の温度測定装置は、所定の波長範囲にわたって放射率が実質的に1とみなすことができる基準物体と、前記波長範囲の輻射エネルギーを透過させるバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーを取り込んで温度を観測する放射温度計とを備え、前記基準物体を測定対象に接触させて実質的に熱平衡状態となったときに前記基準物体から放射され、前記バンドパスフィルタを透過し、前記放射温度計によって観測された温度から前記測定対象の温度を求めるよう構成される。
【選択図】図3
Description
本発明は、温度測定の対象物の放射率を設定しなくても、放射温度計を用いて低温から高温までの広い範囲の温度を非接触で正確に測定することが可能となる温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置に関する。
物質の表面の真の温度を非接触で測定するには、その物質の熱物性の一つである放射率が、その温度依存性とともに正しく測られていることが重要であり、非接触タイプの放射温度計の測定精度は、放射率が正確に設定されているか否かに大きく影響を受ける。
従来から知られている放射温度計には、被測定物質の放射率を設定するダイヤル式の放射率設定手段が設けられており、これを調節して放射率を決め、この放射率に基づいて温度が求められている。しかしながら、被測定物質の放射率の温度依存性等が必ずしも厳密に考慮されて測定されるわけではない。このため、被測定物質の放射率を別途測定してから温度を測定することも行われているが、このようにすると、簡易かつ非接触で測定することができるという、放射温度計の特長が減殺される。
2色式放射温度計では、被測定物質の表面が灰色体のときには放射率を設定する必要はない。しかし、放射率設定の必要がないのが灰色体に限られるという制約がある。また、従来の放射温度計では、温度センサの特性や感度の制約から、低温域(約−50〜0℃)、中温域(室温付近〜600℃)、高温域(600〜3000℃)といった広い範囲の温度を1台で測定することはできない。このため、広い温度範囲にわたって測定する場合には、複数の放射温度計を準備する必要があった。
本発明は、被測定物質の放射率を必要とせず温度を正確に測定することを可能とし、かつ、1台の装置で低温域から高温域までの広い温度領域での測定が可能となる温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置を提供することを目的とする。
本発明の温度測定装置は、所定の波長範囲にわたって放射率が温度に依存しないで実質的に1とみなすことができる基準物体(屈折率1、消衰係数0)と、前記波長範囲の輻射エネルギーを透過させるバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーを取り込んで温度を観測する放射温度計とを備え、前記基準物体を測定対象に接触させて実質的に熱平衡状態となったときに前記基準物体から放射され、前記バンドパスフィルタを透過し、前記放射温度計によって観測された温度から前記測定対象の温度を求めるよう構成される。
前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーに透過させる減光フィルタを設けることもできる。これにより、高温域の温度測定も、低温域と同じ放射温度計を用いて温度を測定することができる。
前記基準物体としては、例えば、ZrO2、Al2O3、Si3N4などを用いることができる。ただし、所定の波長範囲にわたって放射率が温度に依存しないで実質的に1になるものであれば、これらの物質に限定されるものではない。
上記の温度測定装置による測定は、まず、基準物体を測定対象に接触させて実質的に熱平衡状態とし、続いて、実質的に熱平衡状態となった前記基準物体から放射される放射エネルギーを前記バンドパスフィルタに透過させ、ここを透過した輻射エネルギーを放射温度計によって観測し、その温度を求める。また、高温域の温度を測定する場合には、減光フィルタを用いればよく、複数台の装置を準備する必要がない。
上記の装置を用いて、上記の方法に基づいて測定することにより、放射温度計によって温度が観測される基準物体の放射率は1とみなすことができるので、これまでの放射温度計のように放射率を調整する必要がなく、したがって放射率の調整に伴って生じる測定誤差を解消することができ、正確な温度測定が可能となる。さらに、減光フィルタと組み合わせることによって、広い温度範囲での温度測定を一台の装置で行うことが可能となる。
以下に図面を参照ながら、本発明の実施の一形態について説明する。
本発明の温度測定の方法及び装置は、基本的に、低温から高温域のある特定波長(クリスチャンセン波長)において、放射率が常に1になる物質と、そのクリスチャンセン波長の放射のみを透過させるバンドパスフィルタと、必要に応じて用いる減光フィルタとを備えた放射温度計と組み合わせて構成される。
図1は、上記方法を実行するために、使用する放射温度計を校正する方法を示している。図1において、10は黒体を示しており、Tblackbodyはその絶対温度を示している。バンドパスフィルタ12は、後述するクリスチャンセン効果を呈する基準物体の放射率が1となる輻射波長λchを透過させる役割を果たす。放射温度計14は、バンドパスフィルタ12を通過した輻射エネルギを観測して黒体の温度を求める温度計である。図2は、この放射温度計14の出力Vと、絶対温度Tとの関係を示した特性図である。図2から分かるように、放射温度計14の出力Vと、絶対温度Tとは比例している。ここで、黒体の温度Tblackbodyが分かっているので、それに基づいて、放射温度計14を校正することができる。ただしここで言う校正は、放射率の調整とは無関係である。
このようにして校正した放射温度計14を用いて、図3に示すようにして温度を測定する。すなわち、まず、ある波長領域においてクリスチャンセン効果を呈する(すなわちその波長領域において放射率が1となる)基準物体20を、温度を測定しようとする測定対象22に接触させ、両者が熱平衡状態となるのを待つ。そして、熱平衡状態となったら、バンドパスフィルタ12を通した輻射エネルギを放射温度計14で観測して温度を求める。こうやって得られた温度は、放射率に関係なく正確な温度となる。
また、もしも測定対象22が非常に高温の場合には、図4に示すように、バンドパスフィルタ12の後に減光フィルタ16を挿入し、ここを通過した輻射を放射温度計14で測定する。こうすることによって高温での温度測定が可能となり、結果として低温域から高温域までの広い温度範囲にわたって1台の放射温度計14を用いて温度を測定することができる。
本実施形態の方法及び装置によれば、従来の放射温度計で行っていた測定対象物質の放射率を設定する必要がなく、これに伴って放射率補正用の電気回路が不要となり、信頼性と低コストの両方を実現することができる。さらに、従来の放射温度測定法では低温(約−100℃)から高温(約3000℃)までの広い温度範囲を測定するには複数台の装置が必要とされたが、本測定方法では、バンドパスフィルタと減光フィルタとを組み合わせることによって、このような広い温度範囲を1台の放射温度計だけで測定することが可能となる。また、測定対象は固体に限られず、液体についても測定対象とすることができる。さらに、測定環境は、大気中のみならず真空中でも可能である。
本発明に係る方法及び装置は、航空宇宙に留まらず、高温になる溶鉱炉や半導体の温度乖離が必要な現場等において有効である。また、製造現場や研究の場において、非接触で正確な温度測定が必要とされる各種分野において適用することができる。
10 黒体
12 バンドパスフィルタ
14 放射温度計
16 減光フィルタ
20 基準物体
22 測定対象
12 バンドパスフィルタ
14 放射温度計
16 減光フィルタ
20 基準物体
22 測定対象
Claims (6)
- 所定の波長範囲にわたって放射率が温度に依存しないで実質的に1とみなすことができる基準物体を測定対象に接触させて実質的に熱平衡状態とする工程と、
実質的に熱平衡状態となった前記基準物体から放射される前記波長範囲の輻射エネルギーにバンドパスフィルタを透過させる工程と、
放射温度計によって前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーを観測して、前記基準物体の温度を求める工程と、
を含んで構成される温度測定方法。 - バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーにさらに減光フィルタを透過させる工程を設けた、請求項1に記載の温度測定方法。
- 前記基準物体は、ZrO2、Al2O3、Si3N4のうちのいずれかからなるものである請求項1又は2に記載の温度測定方法。
- 所定の波長範囲にわたって放射率が温度に依存しないで実質的に1とみなすことができる基準物体と、
前記波長範囲の輻射エネルギーを透過させるバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーを取り込んで温度を測定する放射温度計とを備え、
前記基準物体を測定対象に接触させて実質的に熱平衡状態となったときに前記基準物体から放射され、前記バンドパスフィルタを透過し、前記放射温度計によって観測された温度から前記測定対象の温度を求めるよう構成された温度測定装置。 - 前記バンドパスフィルタを透過した輻射エネルギーに透過させる減光フィルタを設けた、請求項4に記載の温度測定装置。
- 前記基準物体は、ZrO2、Al2O3、Si3N4のうちのいずれかからなるものである請求項4又は5に記載の温度測定装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006219895A JP2008045923A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置 |
EP07113368A EP1901046A3 (en) | 2006-08-11 | 2007-07-27 | Method of temperature measurement and temperature-measuring device using the same |
US11/836,693 US7591586B2 (en) | 2006-08-11 | 2007-08-09 | Method of temperature measurement and temperature-measuring device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006219895A JP2008045923A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008045923A true JP2008045923A (ja) | 2008-02-28 |
Family
ID=38996755
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006219895A Pending JP2008045923A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7591586B2 (ja) |
EP (1) | EP1901046A3 (ja) |
JP (1) | JP2008045923A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109341871A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-02-15 | 西安应用光学研究所 | 一种采用内部控温技术提高红外辐射计信噪比的方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07134069A (ja) * | 1993-11-10 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | 基板温度のモニタ方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54143184A (en) * | 1978-04-27 | 1979-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | Temperature measurement |
DE3276262D1 (en) * | 1981-11-25 | 1987-06-11 | Exxon Research Engineering Co | Temperature measurement in the presence of ambient radiation |
US5203631A (en) * | 1991-10-18 | 1993-04-20 | Varian Associates, Inc. | Narrow spectral band pyrometry |
US5822222A (en) * | 1995-04-05 | 1998-10-13 | New Jersey Institute Of Technology | Multi-wavelength imaging pyrometer |
-
2006
- 2006-08-11 JP JP2006219895A patent/JP2008045923A/ja active Pending
-
2007
- 2007-07-27 EP EP07113368A patent/EP1901046A3/en not_active Withdrawn
- 2007-08-09 US US11/836,693 patent/US7591586B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07134069A (ja) * | 1993-11-10 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | 基板温度のモニタ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7591586B2 (en) | 2009-09-22 |
EP1901046A3 (en) | 2009-04-08 |
EP1901046A2 (en) | 2008-03-19 |
US20080037610A1 (en) | 2008-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2523775C2 (ru) | Способ и система коррекции на основе квантовой теории для повышения точности радиационного термометра | |
CA2589377C (en) | Thermometer calibration | |
KR102039275B1 (ko) | 저-드리프트 적외선 검출기 | |
JP2011501135A5 (ja) | ||
RU2593445C1 (ru) | Устройство для определения спектральной излучательной способности теплозащитных материалов при высоких температурах | |
WO2009081748A1 (ja) | 放射測温方法及び放射測温システム | |
TW200936996A (en) | Temperature sensing module | |
RU2577389C1 (ru) | Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков | |
Riou et al. | Quantitative study of the temperature dependence of normal LWIR apparent emissivity | |
JP2007218591A (ja) | ハイブリッド型表面温度計、温度分布測定装置及び測定方法 | |
JP2008268106A (ja) | 温度情報計測方法 | |
JP2008045923A (ja) | 温度測定方法及び当該方法を用いた温度測定装置 | |
US10598619B2 (en) | Thermal properties measuring device | |
RU2610115C1 (ru) | Устройство для определения температуры газа в полых высокотемпературных элементах газотурбинных двигателей | |
US20220128502A1 (en) | Sensor Device and Method for Operating A Sensor Device | |
Hohmann et al. | Calibration of heat flux sensors with small heat fluxes | |
Merchant | Infrared temperature measurement theory and application | |
Mekhontsev et al. | NIST radiance temperature and infrared spectral radiance scales at near-ambient temperatures | |
JP2004294433A (ja) | 抵抗温度計用のキャリブレーション装置、気体組成分析計および抵抗温度計のキャリブレーション方法 | |
Astrua et al. | Facility for the calibration of Pt/Pd thermocouples in the temperature range from 960 C to 1500 C | |
CZ2012175A3 (cs) | Zpusob zjistování totální emisivity povrchu materiálu | |
JP6114960B2 (ja) | 感温液晶による温度計測法及び装置 | |
Oikawa et al. | A compact high-emissivity variable-temperature blackbody furnace with carbon-nanotube coated bottom | |
RU2456557C1 (ru) | Способ измерения температуры | |
Lowe et al. | Design, construction and traceable calibration of a phosphor-based fibre-optic thermometer from 0 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110613 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111017 |