JP2008036595A - Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus - Google Patents

Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2008036595A
JP2008036595A JP2006217765A JP2006217765A JP2008036595A JP 2008036595 A JP2008036595 A JP 2008036595A JP 2006217765 A JP2006217765 A JP 2006217765A JP 2006217765 A JP2006217765 A JP 2006217765A JP 2008036595 A JP2008036595 A JP 2008036595A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solvent
heat exchanger
vapor
tank
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006217765A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Yoshimura
典之 吉村
Kesao Suzuki
今朝男 鈴木
Yasuteru Ozaki
泰照 尾崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minebea Co Ltd
Dan Science Co Ltd
Original Assignee
Minebea Co Ltd
Dan Science Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minebea Co Ltd, Dan Science Co Ltd filed Critical Minebea Co Ltd
Priority to JP2006217765A priority Critical patent/JP2008036595A/en
Publication of JP2008036595A publication Critical patent/JP2008036595A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solvent washing apparatus provided with a solvent recovery apparatus with a consumption amount of the solvent capable of sufficiently washing and drying a part and a part assembly (work) in a short time, continuously and efficiently performing recovery of the solvent for a long period of time and polluting no environment. <P>SOLUTION: The solvent washing apparatus is provided with a plurality of washing tanks 11-13 for washing the work with the solvent to remove an oil component and a particle deposited on the work and immersing the work in the solvent liquid to perform washing in order to dry the work, and a vapor drying tank 20 for washing and drying the work coming out from the final stage washing tank 13 of these washing tanks by a solvent vapor. The solvent washing apparatus is further provided with an air-tight closed type complete drying tank 30 for completely drying the work coming out from the vapor drying tank 20 in the air-tightly closed chamber, and the solvent recovery apparatus 40 for sucking, liquefying and recovering the solvent vapor with the raised gas concentration generated in the air-tightly closed type complete drying tank 30. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本願の発明は、溶剤洗浄装置に関し、OA機器等精密機器の製造工場の生産ラインにおいて発生する中間品である各種部品や部品組立体(ワーク)を溶剤を用いて洗浄し、これらのワークに付着する油分やパーティクルを除去して、これらのワークを乾燥させる溶剤洗浄装置であって、特に、その溶剤を高い回収効率で回収する溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置に関する。   The invention of the present application relates to a solvent cleaning apparatus, and uses a solvent to clean various parts and parts assemblies (workpieces), which are intermediate products generated in the production line of a precision equipment manufacturing plant such as OA equipment, and adheres to these works. The present invention relates to a solvent cleaning apparatus that removes oil and particles to be dried and dries these workpieces, and more particularly, to a solvent cleaning apparatus including a solvent recovery apparatus that recovers the solvent with high recovery efficiency.

この種の部品や部品組立体は、高い加工精度と組立精度とが求められるため、それらの表面に付着する切削用冷却油等の油分や切削屑(切粉)、一般ゴミ等のパーティクルについても、それらの完全な除去が求められる。一般に、機械の部品や部品組立体を洗浄する方法としては、従来、水洗浄機と溶剤洗浄機とが使用されている。   Since this type of parts and parts assembly requires high processing accuracy and assembly precision, oil such as cutting cooling oil, cutting chips (chips), and particles such as general dust that adhere to the surface of these parts are also required. , Their complete removal is sought. In general, as a method of cleaning machine parts and component assemblies, a water cleaner and a solvent cleaner are conventionally used.

水洗浄機は、洗浄液として純水や超純水を使用するので、洗浄液となる水自体の入手が比較的容易であり、メンテナンスも、洗浄槽の構成段数を増すことも、容易であり、設備コストが比較的安価で、環境に優しい等のメリットがある反面、錆び易く、乾燥処理が時間を要して難しい、タクトタイムが長く、生産性が悪い、油分の除去には洗剤を使用しなければならず、油分汚れに加えて洗剤も除去する必要が生ずる等のデメリットがあり、純水設備は必要ではあるが、現在では、専らパーティクルやイオン汚れ除去を目的として、半導体部品、電子部品、電気機械部品の最終洗浄用にしか使用されていない。   Since the water washer uses pure water or ultrapure water as the cleaning liquid, it is relatively easy to obtain water as the cleaning liquid, and maintenance is easy to increase the number of stages in the cleaning tank. While the cost is relatively low and environmentally friendly, it is easy to rust, difficult to dry, long tact time, poor productivity, and detergent must be used to remove oil. There is a demerit that it is necessary to remove detergent in addition to oil stains, and pure water equipment is necessary, but at present, for the purpose of removing particles and ion stains, semiconductor parts, electronic parts, Used only for final cleaning of electromechanical parts.

これに対して、これらの部品や部品組立体に付着する油分やパーティクルを除去するためには、一般に、溶剤洗浄機が使用される。この場合の溶剤には、油分分解能が高く、水に比較してぬれ性が高く、蒸発性(乾燥性)が良い等の性質を兼ね備えていることが求められ、臭素系溶剤(ブロム)、代替フロン、トリクレン、トリクロロエタン、炭化水素系溶剤等が使用されている。図10には、このような溶剤洗浄機の一般的な構成が図示されている。   On the other hand, in order to remove oil and particles adhering to these components and component assemblies, a solvent cleaning machine is generally used. The solvent in this case is required to have properties such as high oil content resolution, high wettability compared to water, and good evaporability (dryability). Freon, trichlene, trichloroethane, hydrocarbon solvents and the like are used. FIG. 10 shows a general configuration of such a solvent cleaning machine.

図10において、従来の溶剤洗浄機010は、複数の洗浄槽011、012、013・・・、ベーパー槽020を備えている。また、複数の洗浄槽011、012、013・・・の多くは、その底部に超音波発振器025を備えている。そこで、所定の生産工程を経て製造された中間品である各種部品や部品組立体等のワーク(W)は、それらのまとまった数量が籠026に入れられ、該籠026がハンガー027により吊持、搬送されて、順次、これらの洗浄槽011、012、013・・・及びベーパー槽020を通される(矢印A1〜A4参照)。   In FIG. 10, a conventional solvent cleaner 010 includes a plurality of cleaning tanks 011, 012, 013... And a vapor tank 020. Many of the plurality of cleaning tanks 011, 012, 013... Have an ultrasonic oscillator 025 at the bottom. Therefore, the workpieces (W) such as various parts and parts assemblies that are intermediate products manufactured through a predetermined production process are put together in a basket 026, and the basket 026 is suspended by the hanger 027. Are sequentially passed through these cleaning tanks 011, 012, 013... And a vapor tank 020 (see arrows A 1 to A 4).

先ず、ワークは、第1の洗浄槽011に搬入され、そこに浸漬されて、超音波発振器025により励起された溶剤液の振動を受けながら、該ワークに付着した油分やパーティクルが物理的及び化学的に分離される。ここで、物理的分離とは、溶剤液の振動により発生するキャビテーション(空洞破壊)に起因する物理的な力及び溶剤のぬれ性に起因する物理的な力による分離であり、化学的分離とは、溶剤の物質分解能に起因する化学変化による分離である。そして、このような油分やパーティクルの分離作用が、複数段の洗浄槽において複数回繰り返される。   First, the work is carried into the first cleaning tank 011 and immersed therein, and the oil and particles adhering to the work are physically and chemically absorbed while receiving vibration of the solvent liquid excited by the ultrasonic oscillator 025. Separated. Here, physical separation is separation by physical force due to cavitation (cavity fracture) generated by vibration of solvent liquid and physical force due to solvent wettability. , Separation by chemical change due to the substance resolution of the solvent. Such oil and particle separation action is repeated a plurality of times in a plurality of stages of cleaning tanks.

このようにして複数の洗浄槽011、012、013・・・を通過したワークは、最後に、ベーパー槽020に搬入されて、溶剤蒸気による洗浄と乾燥とが行なわれる。このベーパー槽020においては、槽底部の液槽に貯留された溶剤液がヒータ021により溶剤蒸気圧温度以上に加熱されて、発生した蒸気がワークを加熱し、ワーク自体は冷却されているためにワーク表面に溶剤が凝縮し、この溶剤の凝縮液がワーク表面になお付着して残っている油分やパーティクル等の汚れを洗い落として分離する。   In this way, the workpieces that have passed through the plurality of cleaning tanks 011, 012, 013... Are finally carried into the vapor tank 020, where washing with solvent vapor and drying are performed. In the vapor tank 020, the solvent liquid stored in the liquid tank at the bottom of the tank is heated to a temperature higher than the solvent vapor pressure temperature by the heater 021, and the generated steam heats the work and the work itself is cooled. The solvent condenses on the work surface, and the condensate of this solvent still adheres to the work surface to wash away and remove oil, particles and other dirt.

ベーパー槽020の上部内周壁には、冷却管が複数回巻回されてなる冷却器022が取り付けられており、ワークにより凝縮された溶剤の気化溶剤やベーパー液槽から上昇して来る溶剤蒸気がこの冷却器022により冷却されて凝縮し、冷却器022の下方の樋023に集められる。このように、ベーパー槽020内においてワークにより凝縮された溶剤が気化されてしまうことがワークの乾燥となるのである。   A cooler 022 in which a cooling pipe is wound a plurality of times is attached to the upper inner peripheral wall of the vapor tank 020, and the vaporized solvent condensed by the work and the solvent vapor rising from the vapor liquid tank It is cooled by this cooler 022, condensed, and collected in a basket 023 below the cooler 022. Thus, the work is dried when the solvent condensed by the work in the vapor tank 020 is vaporized.

樋023に集められた凝縮液は、そこから槽外の水分離器024に導かれ、この水分離器024において水が分離されて得られた溶剤液は、再び最終段洗浄槽01Nに戻される。このようにして再生された溶剤液を受け入れて液面高さを増した洗浄槽01Nからは、溶剤液が溢れて、順次、前段の洗浄槽01N−1、01N−2・・・に流入し(矢印B1、B2参照)、これらの洗浄槽内の溶剤液がより新鮮な溶剤液により入れ換えられる。なお、このような溢れた溶剤液の前段洗浄槽への戻りを容易にするために、複数の洗浄槽011、012、013・・・は、図10に図示されるように、前段の洗浄槽程、その液面が低くなるようにされている。   The condensate collected in the trough 023 is led from there to a water separator 024 outside the tank, and the solvent liquid obtained by separating water in this water separator 024 is returned again to the final stage washing tank 01N. . The solvent tank overflows from the cleaning tank 01N that has received the regenerated solvent liquid and has an increased liquid level, and sequentially flows into the preceding cleaning tanks 01N-1, 01N-2,. (See arrows B1 and B2), the solvent solution in these washing tanks is replaced with a fresher solvent solution. In order to facilitate the return of such overflowing solvent liquid to the pre-stage washing tank, a plurality of washing tanks 011, 012, 013..., As shown in FIG. The liquid level is lowered as much as possible.

しかしながら、このような従来の溶剤洗浄機010にあっては、一般に、溶剤の消費量が多い上に、ベーパー槽020のみによりワークを乾燥させることが困難である。その理由は、ワークの比熱が一般に小さく、このため、ワークに付着する溶剤の蒸発潜熱でワークが直ぐに冷却されて溶剤の蒸発性が悪くなり、ワークに付着する溶剤が蒸発し切れないままに残り、特に凹形状部や盲孔に溜まる溶剤が蒸発し切れないうちにワークが冷却されて、溶剤が残留して残ったまま、ワークがベーパー槽020から搬出されてしまうからである。   However, in such a conventional solvent washer 010, generally, the consumption of the solvent is large and it is difficult to dry the workpiece only by the vapor tank 020. The reason for this is that the specific heat of the workpiece is generally small, so that the workpiece is immediately cooled by the latent heat of vaporization of the solvent adhering to the workpiece and the solvent evaporates, and the solvent adhering to the workpiece remains without evaporating. This is because, in particular, the work is cooled before the solvent accumulated in the concave portion or the blind hole evaporates, and the work is carried out of the vapor tank 020 while the solvent remains.

このように、決められた洗浄機内でワークを乾燥し切れないとなると、洗浄機からワークが搬出された後、洗浄機外でワークを自然蒸発・乾燥させざるを得なくなる。しかしながら、このような洗浄機外でのワークの自然蒸発・乾燥は、溶剤が大気に発散されることになり、環境汚染の原因にもなりかねず、また、大気放出のために溶剤が回収されず、溶剤消費量のさらなる増大を招くことにもなる。これらの問題の発生を回避するためにも、ワークの乾燥は、あくまでも洗浄機内で済ませることが鉄則である。   As described above, if the work cannot be completely dried in the determined washing machine, the work must be naturally evaporated and dried outside the washing machine after the work is unloaded from the washing machine. However, such spontaneous evaporation and drying of the work outside the washing machine causes the solvent to be emitted into the atmosphere, which may cause environmental pollution, and the solvent is recovered for release to the atmosphere. In addition, the solvent consumption is further increased. In order to avoid the occurrence of these problems, it is a rule that the work should be dried in the washing machine.

本出願人は、先に、これらの問題点を解決するために、ワークを溶剤洗浄機内で短時間に十分に洗浄、乾燥させることができ、これにより、ワークに付着する油分やパーティクルを略完全に除去して、しかも、溶剤の回収効率が高くて、溶剤の消費量が少なく、環境を汚染することのない溶剤洗浄機を発明して、特許出願を行った(特許文献3)。しかしながら、このものにおいても、溶剤回収がなお十分とは言い難く、この解決のため、例えば、溶剤ガスを熱交換器内に導いて冷却して凝縮させ、その溶剤液を回収するとしても、熱交換器内に流入してくる溶剤ガスには必然的に大気中の水分が含まれるため、連続運転を行えば時間とともに熱交換器内部は着霜することになり、その解凍を行うためには定期的に回収運転を停止せざるを得ず、効率が悪いものであった。したがって、溶剤ガスを長時間にわたって連続的且つ効率的に凝縮させて回収することができるようにするためには、なお、改善すべき点が残されていた。
特開平7−265817号公報 特開平8−039019号公報 特開平2003−305417号公報
In order to solve these problems, the applicant of the present invention can sufficiently clean and dry the work in a solvent washer in a short time, thereby almost completely removing oil and particles adhering to the work. In addition, a solvent washer was invented with high solvent recovery efficiency, low solvent consumption, and no environmental pollution (Patent Document 3). However, even in this case, it is difficult to say that the solvent recovery is still sufficient. For this solution, for example, even if the solvent gas is introduced into the heat exchanger and cooled and condensed to recover the solvent liquid, Since the solvent gas that flows into the exchanger inevitably contains moisture in the atmosphere, if the continuous operation is performed, the inside of the heat exchanger will be frosted over time, and in order to defrost it. The recovery operation had to be stopped periodically and the efficiency was poor. Therefore, in order to be able to condense and recover the solvent gas continuously and efficiently over a long period of time, there are still points to be improved.
JP-A-7-265817 JP-A-8-039019 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-305417

本願の発明は、従来の溶剤洗浄機が有する前記のような問題点を解決して、OA機器等精密機器の製造工場の生産ラインにおいて発生する中間品である各種部品や部品組立体(ワーク)を溶剤洗浄装置内で短時間に十分に洗浄、乾燥させることができ、これにより、ワークに付着する油分やパーティクルをさらに完全に除去して、しかも、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができて、溶剤の消費量が少なく、環境を汚染することのない、溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置を提供することを課題とする。   The invention of the present application solves the above-mentioned problems of the conventional solvent washer, and various parts and parts assemblies (workpieces) that are intermediate products generated in the production line of a precision equipment manufacturing factory such as OA equipment. Can be sufficiently cleaned and dried in a solvent cleaning device in a short time, thereby further removing oil and particles adhering to the workpiece, and solvent recovery continuously and efficiently over a long period of time. It is an object of the present invention to provide a solvent cleaning apparatus equipped with a solvent recovery apparatus that can be carried out easily and does not pollute the environment with low solvent consumption.

前記のような課題は、本願の特許請求の範囲の各請求項に記載された次のような発明により解決される。
すなわち、その請求項1に記載された発明は、ワークを溶剤で洗浄して、前記ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、前記ワークを乾燥させるために、前記ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽と、複数の前記洗浄槽のうちの最終段洗浄槽を出た前記ワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽とを備えている溶剤洗浄装置が、前記蒸気乾燥槽を出た前記ワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽と、前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置とをさらに備えて成ることを特徴とする溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置である。
The above-described problems can be solved by the following invention described in each claim of the present application.
That is, the invention described in claim 1 is a method in which a workpiece is washed with a solvent to remove oil and particles adhering to the workpiece, and the workpiece is immersed in a solvent solution in order to dry the workpiece. A solvent drying apparatus comprising: a plurality of cleaning tanks for cleaning; and a steam drying tank for cleaning and drying the workpiece that has exited the final stage cleaning tank among the plurality of cleaning tanks with a solvent vapor. The closed-type complete drying tank that completely drys the work that has left the tank in a sealed room, and the solvent vapor with increased gas concentration generated in the closed-type complete drying tank is sucked, liquefied, and collected. The solvent cleaning apparatus further includes a solvent recovery apparatus. The solvent cleaning apparatus includes the solvent recovery apparatus.

請求項1に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
複数の洗浄槽を経て溶剤により洗浄され、蒸気乾燥槽を経て溶剤蒸気で仕上げ洗浄及び乾燥されて、油分やパーティクルが除去されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽に入り、ここで、密閉された室内で加熱・乾燥されて、ワークの表面、とりわけ、凹形状部や盲孔等の汲み出しにくい所になお付着して残っている溶剤が蒸発させられ、完全に除去される。このようにして、ワークを完全に乾燥させることができる。
Since the invention described in claim 1 is configured as described above, the following effects can be obtained.
Workpieces that have been cleaned with solvent through multiple cleaning tanks, finished and dried with solvent vapor through vapor drying tanks, and removed oil and particles, then enter a closed-type complete drying tank where they are sealed Heated and dried in the chamber, the solvent remaining on the surface of the workpiece, especially the concave portions and blind holes, which are difficult to pump out, is evaporated and completely removed. In this way, the workpiece can be completely dried.

しかも、このようにしてワークから分離させられて、蒸発し、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気は、次いで、溶剤回収装置に吸引され、ここで、液化して、回収されるので、溶剤の回収効率が著しく向上して、溶剤の消費量を大幅に低減することができる。また、環境を汚染することもない。   Moreover, the solvent vapor separated and evaporated from the workpiece in this way and evaporated to increase the gas concentration is then sucked into the solvent recovery device, where it is liquefied and recovered. Is significantly improved, and the consumption of the solvent can be greatly reduced. Moreover, it does not pollute the environment.

また、その請求項2に記載された発明は、請求項1に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その密閉型完全乾燥槽が、その内部にワークを加熱・乾燥させるためのヒータと、ガス攪拌ファンとを備えていて、密閉型完全乾燥槽で発生した溶剤蒸気をガス攪拌ファンにより攪拌して、槽内に拡散させるようにされていることを特徴としている。   Further, the invention described in claim 2 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 1, wherein the hermetic complete drying tank is a heater for heating and drying the workpiece therein. And a gas agitation fan, and the solvent vapor generated in the closed complete drying tank is agitated by the gas agitation fan and diffused into the tank.

請求項2に記載された発明は、この構成により、密閉型完全乾燥槽内でのワークの加熱・乾燥を迅速に、効率良く行うことができる。   With this configuration, the invention described in claim 2 can quickly and efficiently perform heating and drying of the workpiece in the closed type complete drying tank.

また、その請求項3に記載された発明は、請求項1に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その密閉型完全乾燥槽が、その内部とガス吸引口及びガス吐出口を介して流体連通する閉鎖循環路を備え、該閉鎖循環路には、送風ファンと、ヒータと、フィルターとが設けられており、ガス吸引口より送風ファンにより吸引した溶剤蒸気をヒータにより加熱し、フィルターにより濾過して、ガス吐出口より密閉型完全乾燥槽内に吐出するようにされていることを特徴としている。   Further, the invention described in claim 3 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 1, wherein the hermetic type complete drying tank is connected to the inside through the gas suction port and the gas discharge port. The closed circulation path is provided with a blower fan, a heater, and a filter. The solvent vapor sucked by the blower fan from the gas suction port is heated by the heater, and the filter And is discharged from the gas discharge port into the sealed complete drying tank.

請求項3に記載された発明は、この構成により、ヒータにより加熱されて生成された乾燥熱源となる温風を、ヒータにより再加熱し、フィルターにより浄化して、再生しつつ、密閉型完全乾燥槽内を循環させて、そこでのワークへのパーティクル等の汚れ再付着を防止しつつ、ワークの加熱・乾燥をさらに迅速に、さらに効率良く行うことができる。   According to the third aspect of the present invention, in this configuration, the warm air as the drying heat source generated by heating by the heater is reheated by the heater, purified by the filter, and regenerated, and is completely sealed. The work can be heated and dried more quickly and more efficiently while circulating in the tank and preventing reattachment of particles and the like to the work.

さらに、その請求項4に記載された発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その溶剤回収装置が、密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、該予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、該圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第1及び第2の熱交換器と、該第1及び第2の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、少なくとも該第1及び第2の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機とを備えて成り、第1及び第2の熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようにされており、この位置の切替えに同期して、そのシリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、そのシリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されることを特徴としている。   Furthermore, the invention described in claim 4 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the solvent recovery apparatus is generated in a closed type complete drying tank. A precooler that sucks and pre-cools the solvent vapor having an increased gas concentration, a compressor that sucks and compresses the solvent vapor that exits the pre-cooler, and a pressure that is discharged from the compressor. First and second heat exchangers for cooling and liquefying the solvent vapor, recovery tanks for recovering the solvent liquid exiting the first and second heat exchangers, and at least the first and second heat exchangers The first and second heat exchangers are connected in series to the flow of the solvent vapor, and the series connection is connected to the heat exchanger. It is possible to switch alternately between upstream position and downstream position. In synchronism with this position change, while one heat exchanger located downstream of the series connection cools the pressurized solvent vapor and continues the liquefaction cooling operation, the series The other heat exchanger located on the upstream side of the connection is characterized in that the cooling operation is interrupted and the switching operation is alternately performed so as to continue the thawing operation for defrosting itself.

請求項4に記載された発明は、この構成により、溶剤回収装置が備える第1及び第2の熱交換器が、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられながら、溶剤蒸気の冷却運転と自己の解凍運転とに交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。   According to this configuration, the first and second heat exchangers included in the solvent recovery device are connected in series with respect to the flow of the solvent vapor, and the upstream side of the series connection is provided. Since the solvent vapor cooling operation and the self thawing operation are alternately switched between the position and the downstream position, the solvent recovery is continuously and efficiently performed for a long time. Can do.

また、その請求項5に記載された発明は、請求項4に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その一方の熱交換器には、冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、外部熱源の投入が遮断されていることを特徴としている。   Further, the invention described in claim 5 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 4, wherein one of the heat exchangers is supplied with the refrigerant gas exiting the refrigerator, The other heat exchanger is characterized in that the input of an external heat source is blocked.

請求項5に記載された発明は、この構成により、第1及び第2の熱交換器のうちの他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されて、外部熱源を必要とすることがないので、溶剤回収を効率的、経済的に行うことができる。   According to the fifth aspect of the present invention, with this configuration, the heat stored in the solvent vapor itself is used for the defrosting operation of the other heat exchanger of the first and second heat exchangers, and the external heat source Therefore, the solvent can be recovered efficiently and economically.

また、その請求項6に記載された発明は、請求項4に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第1及び第2の熱交換器は、第1及び第2の外部ヒータをそれぞれ備え、その一方の熱交換器には、冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該他方の外部ヒータが発生する外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされていることを特徴としている。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a solvent cleaning apparatus comprising the solvent recovery apparatus according to the fourth aspect, wherein the first and second heat exchangers are first and second external heaters. Each of the heat exchangers is supplied with refrigerant gas exiting the refrigerator, and the other heat exchanger has an external heat source generated by the other external heater provided in the other heat exchanger. When the other heat exchanger interrupts the cooling operation and continues the defrosting operation to defrost itself, the external heat source generated by the other external heater performs the defrosting operation of the other heat exchanger. It is characterized by being supported.

請求項6に記載された発明は、この構成により、第1及び第2の熱交換器のうちの他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されるとともに、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされているので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結をより良く防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。   According to the sixth aspect of the present invention, the heat stored in the solvent vapor itself is used for the defrosting operation of the other heat exchanger of the first and second heat exchangers. While the external heat source generated by the other external heater included in the other heat exchanger is turned on and the other heat exchanger interrupts the cooling operation and continues the thawing operation to defrost itself, the external heat source Since it is designed to support the thawing operation of the other heat exchanger, it is possible to forcibly perform its own thawing in the other heat exchanger in a short time and better prevent its freezing. In addition, heat exchange in the other heat exchanger can be performed efficiently from start to finish, and solvent recovery can be performed more efficiently.

さらに、その請求項7に記載された発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その溶剤回収装置が、密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、該予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、該圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第1及び第2の熱交換器と、該第1及び第2の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、少なくとも該第1及び第2の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機とを備えて成り、第1及び第2の熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、一方の熱交換器が加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が冷却運転を中断して、前記溶剤蒸気の流れから切り離された状態で自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されることを特徴としている。   Furthermore, the invention described in claim 7 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the solvent recovery apparatus is generated in a closed type complete drying tank. A precooler that sucks and pre-cools the solvent vapor having an increased gas concentration, a compressor that sucks and compresses the solvent vapor that exits the pre-cooler, and a pressure that is discharged from the compressor. First and second heat exchangers for cooling and liquefying the solvent vapor, recovery tanks for recovering the solvent liquid exiting the first and second heat exchangers, and at least the first and second heat exchangers The first and second heat exchangers are connected in parallel to the flow of the solvent vapor, and one of the heat exchanges is provided. While the vessel continues the cooling operation to cool and liquefy the pressurized solvent vapor, Square heat exchanger interrupts the cooling operation, the so in a state of being separated from the flow of the solvent vapor to continue the thawing operation for performing self-defrosting, is characterized by being operated alternately switched.

請求項7に記載された発明は、この構成により、溶剤回収装置が備える第1及び第2の熱交換器が、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、溶剤蒸気の冷却運転と自己の解凍運転とに交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。   According to the seventh aspect of the present invention, with this configuration, the first and second heat exchangers provided in the solvent recovery device are connected in parallel to the flow of the solvent vapor, so that the cooling operation of the solvent vapor and the self Therefore, the solvent recovery can be performed continuously and efficiently over a long period of time.

また、その請求項8に記載された発明は、請求項7に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その一方の熱交換器には、冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるようにされていることを特徴としている。   Further, the invention described in claim 8 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 7, wherein one of the heat exchangers includes an extremely cold refrigerant that has exited the expansion valve of the refrigerator. The gas is supplied, and the other heat exchanger is supplied with a high-temperature refrigerant gas exiting the compressor of the refrigerator.

請求項8に記載された発明は、この構成により、他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが使用されるので、その他の外部熱源を必要とすることがなく、溶剤回収装置の機器構成を比較的簡易に行うことができる。   In the invention described in claim 8, because of this configuration, the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor of the refrigerator is used as the heat source for the self-defrosting operation in the other heat exchanger. There is no need for an external heat source, and the equipment configuration of the solvent recovery apparatus can be relatively simple.

また、その請求項9に記載された発明は、請求項7に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第1及び第2の熱交換器が、第1及び第2の外部ヒータをそれぞれ備え、冷却運転を続行する一方の熱交換器には、冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、冷却運転を中断する他方の熱交換器には、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入されるようにされていることを特徴としている。   The invention described in claim 9 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 7, wherein the first and second heat exchangers are the first and second external heaters. Each of the heat exchangers that continue the cooling operation is supplied with the refrigerant gas that has exited the refrigerator, and the other heat exchanger that interrupts the cooling operation has the other heat exchanger that the other heat exchanger has An external heat source generated by the external heater is input.

請求項9に記載された発明は、この構成により、他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結を防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。   According to the ninth aspect of the present invention, with this configuration, an external heat source generated by the other external heater provided in the other heat exchanger is input as a heat source to the self-thawing operation in the other heat exchanger. Therefore, the self-defrosting in the other heat exchanger can be forcibly performed in a short time to prevent icing, and the heat exchange in the other heat exchanger can be performed efficiently from start to finish. As a result, the solvent can be recovered more efficiently.

さらに、その請求項10に記載された発明は、請求項7に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第1及び第2の熱交換器が、第1及び第2の外部ヒータをそれぞれ備え、一方の熱交換器には、冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるとともに、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該他方の外部ヒータが発生する外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされていることを特徴としている。   Further, the invention described in claim 10 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 7, wherein the first and second heat exchangers are the first and second external heaters. One of the heat exchangers is supplied with cryogenic refrigerant gas exiting the expansion valve of the refrigerator, and the other heat exchanger is supplied with high-temperature refrigerant gas exiting the compressor of the refrigerator. And the external heat source generated by the other external heater provided in the other heat exchanger is turned on, while the other heat exchanger interrupts the cooling operation and continues the defrosting operation to defrost itself, An external heat source generated by the other external heater supports the thawing operation of the other heat exchanger.

請求項10に記載された発明は、この構成により、他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスと、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源とが投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍をさらに強制的に、さらに短時間に行って、その氷結をさらに良く防止することができ、溶剤回収がきわめて長時間にわたって連続的に行われたとしても、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。   According to the invention described in claim 10, with this configuration, the self-defrosting operation in the other heat exchanger is performed by using the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor of the refrigerator as the heat source, and the other heat exchanger. Since the external heat source generated by the other external heater provided in is supplied, the self-defrosting in the other heat exchanger is forcibly performed in a shorter time to further prevent icing. Even if the solvent recovery is performed continuously for an extremely long time, the heat exchange in the other heat exchanger is efficiently performed from beginning to end, and the solvent recovery can be performed more efficiently.

また、その請求項11に記載された発明は、請求項9又は10に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第1及び第2の熱交換器が、1つの共通のタンク内に収納され、このタンクは、溶剤液の回収タンクを兼ねており、第1の熱交換器と第2の熱交換器との間には、仕切り壁が設けられ、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされていることを特徴としている。   The invention described in claim 11 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to claim 9 or 10, wherein the first and second heat exchangers are in one common tank. The tank also serves as a solvent liquid recovery tank. A partition wall is provided between the first heat exchanger and the second heat exchanger, and heat exchange in each heat exchanger is performed. It is characterized by the fact that the actions do not interfere with each other.

請求項11に記載された発明は、この構成により、溶剤洗浄装置をコンパクトに構成して、製作コストを低減することができるとともに、両熱交換器での熱交換を効率良く行わせることができる。   According to the invention described in claim 11, with this configuration, the solvent cleaning apparatus can be configured in a compact manner, the manufacturing cost can be reduced, and heat exchange in both heat exchangers can be efficiently performed. .

さらに、その請求項12に記載された発明は、請求項9ないし11のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第1及び第2の熱交換器は、フィン付き管式熱交換器により構成されていることを特徴としている。   Furthermore, the invention described in claim 12 is the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to any one of claims 9 to 11, wherein the first and second heat exchangers are finned tubes. It is characterized by comprising a heat exchanger.

請求項12に記載された発明は、この構成により、熱交換性能に優れたフィン付き管式熱交換器を使用して、第1及び第2の熱交換器の氷結しにくい構造を得ることができ、これにより、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。   The invention described in claim 12 can obtain a structure in which the first and second heat exchangers are hard to freeze by using the finned tube heat exchanger having excellent heat exchange performance. This makes it possible to recover the solvent more efficiently.

前記のとおり、本願の発明の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置によれば、複数の洗浄槽を経て溶剤により洗浄され、蒸気乾燥槽を経て溶剤蒸気で洗浄及び乾燥されて、油分やパーティクルのほとんどが除去されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽に入り、ここで、密閉された室内で加熱・乾燥されて、ワークの表面、とりわけ、凹形状部や盲孔等の汲み出しにくい所になお付着して残っている溶剤が、油分やゴミと共に蒸発させられ、完全に除去される。このようにして、ワークを完全に洗浄、乾燥させることができる。   As described above, according to the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus of the present invention, it is cleaned with a solvent through a plurality of cleaning tanks, cleaned and dried with a solvent vapor through a steam drying tank, Next, the workpiece that has been almost removed enters the sealed complete drying tank, where it is heated and dried in a sealed room, where it is difficult to pump out the surface of the workpiece, especially concave parts and blind holes. The remaining solvent is evaporated together with oil and dust and completely removed. In this way, the workpiece can be completely cleaned and dried.

しかも、このようにしてワークから分離させられて、蒸発し、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気は、次いで、溶剤回収装置に吸引され、そこで、液化して、回収されるので、溶剤の回収効率が著しく向上して、溶剤の消費量を大幅に低減することができる。また、環境を汚染することもない。   Moreover, the solvent vapor that has been separated from the work in this way, evaporated, and gas concentration has been increased is then sucked into the solvent recovery device, where it is liquefied and recovered, so that the solvent recovery efficiency is improved. It can be remarkably improved and the consumption of the solvent can be greatly reduced. Moreover, it does not pollute the environment.

特に、この溶剤回収装置が、第1及び第2の熱交換器を備えるものとされ、これらの熱交換器が、シリーズもしくはパラレルに接続されて、一方の熱交換器が溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的、経済的に行うことができる。
その他、前記したような種々の効果を奏することができる。
In particular, the solvent recovery apparatus is provided with first and second heat exchangers, these heat exchangers are connected in series or in parallel, and one heat exchanger cools the solvent vapor. While the cooling operation to liquefy is continued, the other heat exchanger interrupts the cooling operation and is alternately switched to continue the thawing operation to defrost itself, so that the solvent recovery is continued for a long time. Can be done efficiently, efficiently and economically.
In addition, various effects as described above can be achieved.

ワークを溶剤で洗浄して、ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、ワークを乾燥させるために、ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽と、複数の該洗浄槽のうちの最終段洗浄槽を出たワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽とを備えている溶剤洗浄装置が、該蒸気乾燥槽を出たワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽と、該密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置とをさらに備えて成るものとする。   Washing the workpiece with a solvent to remove oil and particles adhering to the workpiece, and in order to dry the workpiece, a plurality of washing tanks that are immersed in a solvent solution and washed, and a plurality of the washing tanks The solvent cleaning apparatus provided with a steam drying tank for cleaning and drying the work exiting the final stage cleaning tank with solvent vapor completely seals the work exiting the steam drying tank in a sealed room The apparatus further includes a complete drying tank and a solvent recovery device that sucks, liquefies, and recovers the solvent vapor having an increased gas concentration generated in the sealed complete drying tank.

この溶剤回収装置は、密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、該予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、該圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第1及び第2の熱交換器と、該第1及び第2の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、少なくとも該第1及び第2の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機とを備えて成り、該第1及び第2の熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してシリーズもしくはパラレルに接続されて、一方の熱交換器が加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されるものとする。   This solvent recovery device sucks solvent vapor with increased gas concentration generated in a closed complete drying tank and precools it, and sucks and vaporizes the solvent vapor exiting the precooler. , A first and second heat exchanger that cools and liquefies pressurized solvent vapor exiting the compressor, and a solvent exiting the first and second heat exchangers A recovery tank for recovering the liquid, and a refrigerator for supplying refrigerant gas alternately or simultaneously to at least the first and second heat exchangers, wherein the first and second heat exchangers include a solvent Connected in series or parallel to the steam flow, one heat exchanger cools pressurized solvent vapor and continues the cooling operation to liquefy while the other heat exchanger interrupts the cooling operation Switch to alternate so that the thawing operation to defrost itself continues. And shall.

ここで、一方の熱交換器での溶剤蒸気の冷却運転における熱源としては、冷凍機を出た冷媒ガスもしくは極冷冷媒ガスを使用するものとし、他方の熱交換器での自己の解凍運転における熱源としては、溶剤蒸気自身の保有熱、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガス、外部ヒータが発生する外部熱源等を単独でか、もしくは組み合わせて使用するものとする。   Here, as a heat source in the cooling operation of the solvent vapor in one heat exchanger, it is assumed that the refrigerant gas or the cryogenic refrigerant gas exiting the refrigerator is used, and in the self-thawing operation in the other heat exchanger As the heat source, the heat retained by the solvent vapor itself, the high-temperature refrigerant gas discharged from the compressor of the refrigerator, the external heat source generated by the external heater, or the like is used alone or in combination.

次に、本願の発明の第1の実施例(実施例1)について説明する。
図1は、本実施例1の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置の、当該溶剤回収装置部分を除いた部分の概略構成図、図2は、同溶剤洗浄装置がさらに備える密閉型完全乾燥槽の変形例を示す図、図3は、同密閉型完全乾燥槽の他の変形例を示す図、図4は、本願の発明の各実施例の溶剤洗浄装置に共通する溶剤回収装置の一般的な概略構成図、図5は、本実施例1の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置(以下、「本実施例1の溶剤回収装置」と略称する場合がある。その他の実施例について同様。)の模式的な概略構成図である。
Next, a first embodiment (embodiment 1) of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a portion of the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to the first embodiment, excluding the solvent recovery apparatus, and FIG. 2 is a sealed complete drying tank further provided in the solvent cleaning apparatus. FIG. 3 is a diagram showing another modification of the sealed complete drying tank, and FIG. 4 is a general view of a solvent recovery apparatus common to the solvent cleaning apparatus of each embodiment of the present invention. FIG. 5 is a schematic configuration diagram, and FIG. 5 is a solvent recovery device provided in the solvent cleaning device of the first embodiment (hereinafter, may be abbreviated as “solvent recovery device of the first embodiment”. The same applies to other embodiments). It is a typical schematic block diagram.

本実施例1の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置は、特にOA機器等精密機器の製造工場の生産ラインにおいて発生する中間品である各種部品や部品組立体(以下、これらを総称して「ワーク」という。この「ワーク」は、図1において符号Wで示されている。)を溶剤で洗浄して、これらのワークに付着する切削用冷却油等の油分や切削屑(切粉)、一般ゴミ等のパーティクルを除去し、これらのワークを乾燥させるとともに、洗浄に用いられた溶剤を高い回収効率で回収するために使用される。   The solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus according to the first embodiment is various parts and parts assemblies (hereinafter collectively referred to as “intermediate products”) generated in a production line of a manufacturing plant for precision equipment such as OA equipment. The “work” is indicated by the symbol W in FIG. 1) and is washed with a solvent, and oil such as cutting cooling oil or cutting waste (chip) adhering to these workpieces, It is used to remove particles such as general dust, dry these works, and recover the solvent used for cleaning with high recovery efficiency.

その全体構成は、概略、図1及び図4に図示されるように、第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13と、第3段の洗浄槽13に続くベーパー槽(蒸気乾燥槽)20と、該ベーパー槽20に続く密閉型完全乾燥槽30と、該密閉型完全乾燥槽30に続く溶剤回収装置40とから成っている。   As shown in FIG. 1 and FIG. 4, the overall configuration is generally a first to third stage cleaning tanks 11 to 13 and a vapor tank (steam drying tank) following the third stage cleaning tank 13. 20, a sealed complete drying tank 30 following the vapor tank 20, and a solvent recovery device 40 following the sealed complete drying tank 30.

第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13、ベーパー槽20の詳細な構造と作用とは、図10に図示される従来の溶剤洗浄機010における第1段ないし第3段の洗浄槽011〜013、ベーパー槽020の詳細な構造と作用と略同様であり、第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13、ベーパー槽20は、従来の溶剤洗浄機010の第1段ないし第3段の洗浄槽011〜013、ベーパー槽020にそれぞれ付された符号の頭文字0を単に削除して示しただけのものであるので、重複する詳細な説明を省略する。
なお、符号10は、第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13、ベーパー槽20から構成され、従来の溶剤洗浄機010に対応する溶剤洗浄機部分を示している。洗浄槽の段数は、必要に応じて増設される。
The detailed structure and operation of the first to third stage cleaning tanks 11 to 13 and the vapor tank 20 are described with reference to the first to third stage cleaning tanks 011 in the conventional solvent washer 010 shown in FIG. ˜013, substantially the same as the detailed structure and operation of the vapor tank 020, the first to third stage washing tanks 11 to 13 and the vapor tank 20 are the first to third stages of the conventional solvent washer 010. Since the initial letter 0 of the reference numerals attached to the stage washing tanks 011 to 013 and the vapor tank 020 is simply deleted, the detailed description thereof is omitted.
Reference numeral 10 indicates a solvent washer portion corresponding to the conventional solvent washer 010, which is composed of first to third stage wash tanks 11 to 13 and a vapor tank 20. The number of washing tanks will be increased as necessary.

ここで、第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13、ベーパー槽20におけるワークの洗浄・乾燥は、従来の溶剤洗浄機010の説明でも述べたとおり、一般に、溶剤の消費量が多い上に、ベーパー槽20のみによりワークを乾燥させることが困難である。その理由は、従来の溶剤洗浄機010の説明でも簡単に述べたが、ここで、さらに敷衍して説明すれば、以下のとおりである。
今、ベーパー槽20内に溜められた溶剤液を加熱し、沸騰させて、溶剤蒸気を発生させると、この溶剤蒸気は、空気より重いため、液面上に蒸気相として存在する。この蒸気相中に、溶剤の沸点よりも低い温度のワークを導入すると、ワーク表面に溶剤蒸気が凝縮する。この凝縮した溶剤液は、ワーク表面に付着している油分やパーティクルなどを除去しつつ、流れ落ちる。このように、ワーク表面に常に清浄な溶剤が凝縮し、流れ落ちることによって蒸気洗浄が進行する。ワークは、次第に蒸気により温められ、やがて、ワーク表面の温度は、蒸気温度と同じになるため、溶剤蒸気の凝縮が起こらなくなり、ワークは乾燥される。このようにして蒸気乾燥が完了したワークは、蒸気相を乱さないようにゆっくりと引き上げられ、ベーパー槽20の外に出される。しかしながら、ワークの大きさや形状によっては、ベーパー槽20のみによりワークを完全に乾燥させることが困難である。ワークが大きい場合は、その表面を一様に温めて完全乾燥させるのが難しく、また、凹形状部や盲孔がある場合は、それらに溜まる溶剤が蒸発し切れないうちにワークがベーパー槽20から出されて、そのまま溶剤が残留してしまうからである。
Here, as described in the explanation of the conventional solvent washer 010, the cleaning and drying of the work in the first to third washing tanks 11 to 13 and the vapor tank 20 generally requires a large amount of solvent consumption. Moreover, it is difficult to dry the workpiece only by the vapor tank 20. The reason for this has been briefly described in the description of the conventional solvent washer 010, but here is a further explanation as follows.
Now, when the solvent liquid stored in the vapor tank 20 is heated and boiled to generate a solvent vapor, the solvent vapor is heavier than air and therefore exists as a vapor phase on the liquid surface. When a workpiece having a temperature lower than the boiling point of the solvent is introduced into the vapor phase, the solvent vapor is condensed on the workpiece surface. The condensed solvent liquid flows down while removing oil and particles adhering to the workpiece surface. In this way, clean solvent is constantly condensed on the surface of the work and flows down to advance the steam. The work is gradually warmed by the steam, and eventually the temperature of the work surface becomes the same as the steam temperature, so that the condensation of the solvent vapor does not occur and the work is dried. The work that has been vapor-dried in this way is slowly pulled up so as not to disturb the vapor phase and is taken out of the vapor tank 20. However, depending on the size and shape of the workpiece, it is difficult to completely dry the workpiece using only the vapor tank 20. If the workpiece is large, it is difficult to warm the surface uniformly and completely dry, and if there are concave portions or blind holes, the workpiece is vaporized before the solvent accumulated in them is completely evaporated. This is because the solvent remains as it is.

そこで、本実施例1の溶剤洗浄装置においては、ベーパー槽20を経たワークを完全に乾燥させるとともに、蒸発した溶剤の高効率回収を図るために、ベーパー槽20の直後に密閉型完全乾燥槽30が設置され、また、この密閉型完全乾燥槽30の後に溶剤回収装置40が設置されている。   Therefore, in the solvent cleaning apparatus of the first embodiment, the work that has passed through the vapor tank 20 is completely dried, and in order to achieve highly efficient recovery of the evaporated solvent, the sealed complete drying tank 30 immediately after the vapor tank 20. In addition, a solvent recovery device 40 is installed after the sealed complete drying tank 30.

密閉型完全乾燥槽30は、その内部の周壁にヒータ32が周回されて設置されており、第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13、ベーパー槽20において発生した溶剤蒸気とともに、室内(槽内)に搬入されたワーク(及び該ワークを収容するトレイ)は、この完全に密閉された室内で、ヒータ32により高温に保持された雰囲気の中で加熱されて、その特に凹形状部や盲孔に蒸発し切れないままで残っている溶剤が汚れと共に蒸発させられ、ワークは、完全に乾燥される。このようにして完全に洗浄され、乾燥されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽30の蓋38が開放されることにより、外部へ取り出され、次工程へと搬送される。他方、新たに発生した溶剤蒸気も加わって、ガス濃度が上昇した室内の溶剤蒸気は、高温空気と混合した状態で、配管39を通って溶剤回収装置40へと送られる。符号31は、ベーパー槽20と密閉型完全乾燥槽30との間を仕切るシャッターを示している。   The closed-type complete drying tank 30 is provided with a heater 32 around its inner peripheral wall, and is installed together with the solvent vapor generated in the first to third cleaning tanks 11 to 13 and the vapor tank 20 in the room ( The workpiece (and the tray that accommodates the workpiece) carried into the tank) is heated in an atmosphere kept at a high temperature by the heater 32 in the completely sealed chamber, and particularly the concave portion or The solvent remaining in the blind hole without being completely evaporated is evaporated together with the dirt, and the workpiece is completely dried. The work completely cleaned and dried in this way is then taken out to the outside and transported to the next step by opening the lid 38 of the closed complete drying tank 30. On the other hand, the newly generated solvent vapor is added, and the indoor solvent vapor whose gas concentration is increased is sent to the solvent recovery device 40 through the pipe 39 in a state of being mixed with high-temperature air. Reference numeral 31 denotes a shutter that partitions the vapor tank 20 and the sealed complete drying tank 30.

なお、この密閉型完全乾燥槽30は、図2に図示されるように、変形されることができる。
この変形例においては、密閉型完全乾燥槽30は、その内部にガス攪拌ファン33を備えている。そして、このガス攪拌ファン33により、密閉型完全乾燥槽30内のガス濃度が上昇した溶剤蒸気を攪拌して、室内に拡散させる。これにより、密閉型完全乾燥槽30内でのワークの加熱・乾燥を迅速に、効率良く行うことができる。
The sealed complete drying tank 30 can be modified as shown in FIG.
In this modification, the sealed complete drying tank 30 includes a gas stirring fan 33 therein. Then, the gas agitating fan 33 agitates the solvent vapor having an increased gas concentration in the sealed complete drying tank 30 and diffuses it into the room. Thereby, the heating and drying of the workpiece in the sealed complete drying tank 30 can be performed quickly and efficiently.

また、この密閉型完全乾燥槽30は、図3に図示されるように、さらに変形されることができる。
この変形例においては、密閉型完全乾燥槽30は、その内部とガス吸引口34a及びガス吐出口34bを介して流体連通する閉鎖循環路34を備えており、この閉鎖循環路34には、送風ファン35と、ヒータ36と、フィルター37とが設けられている。そして、ガス吸引口34aより送風ファン35により吸引された溶剤蒸気を含む温風をヒータ36により加熱し、フィルター37により濾過して、ガス吐出口34bより密閉型完全乾燥槽30内に吐出するようになっている。このようにすることにより、ヒータ36により加熱されて生成された乾燥熱源となる温風をヒータ36により再加熱し、フィルター37により浄化して、再生しつつ、密閉型完全乾燥槽30内を満遍なく循環させて、そこで温風中のパーティクル等がワークに再付着してワークを汚すのを防止しつつ、ワークの加熱・乾燥をさらに迅速に、さらに効率良く行うことができる。
Further, the sealed complete drying tank 30 can be further modified as shown in FIG.
In this modification, the sealed complete drying tank 30 includes a closed circulation path 34 that is in fluid communication with the inside thereof via a gas suction port 34a and a gas discharge port 34b. A fan 35, a heater 36, and a filter 37 are provided. Then, warm air containing solvent vapor sucked by the blower fan 35 from the gas suction port 34a is heated by the heater 36, filtered by the filter 37, and discharged into the sealed complete drying tank 30 from the gas discharge port 34b. It has become. By doing in this way, the warm air which becomes the drying heat source generated by heating by the heater 36 is reheated by the heater 36, purified by the filter 37 and regenerated, and the inside of the closed complete drying tank 30 is evenly distributed. It is possible to heat and dry the workpiece more quickly and more efficiently while preventing the particles in the hot air from re-adhering to the workpiece and contaminating the workpiece.

次に、溶剤回収装置40の構造と作用とについて説明する。
溶剤回収装置40は、図4に図示されるように、予備冷却器42、圧縮機43、熱交換器ユニット50、分離槽(回収タンク)54及び冷凍機60を備えている。
予備冷却器42は、配管39、41を通して密閉型完全乾燥槽30から供給される温度約70°Cの溶剤蒸気を吸引して、これを、配管44を通して供給される冷却水と熱交換させて、圧縮機43を保護するために、40°Cにまで冷却する。次いで、圧縮機43は、この冷却された溶剤蒸気を吸引して、溶剤蒸気の濃度を高めるために、圧力0.7Mpa、温度70°Cにまで加圧、加温し、これを熱交換器ユニット50に送り込む。熱交換器ユニット50は、この加圧、加温された溶剤蒸気と、冷凍機60から供給される冷媒ガスとを熱交換させて、溶剤蒸気を冷却し、液化する。液化された溶剤及び不凝縮気体の混合体は、配管53、減圧弁75を通って分離槽54に導かれ、そこで、溶剤液と不凝縮気体とに分離される。そして、溶剤液は、そこから水分離器24へと送られて、再び、第1段ないし第3段の洗浄槽11〜13における洗浄用溶剤として使用される。また、不凝縮気体成分は、配管55を通して排気される。なお、ここでは、前記溶剤として、ディップゾール社からSC−52Sという商品名で提供されている臭素系溶剤(沸点71°C)が使用されている。
Next, the structure and operation of the solvent recovery device 40 will be described.
As shown in FIG. 4, the solvent recovery device 40 includes a precooler 42, a compressor 43, a heat exchanger unit 50, a separation tank (recovery tank) 54, and a refrigerator 60.
The precooler 42 sucks the solvent vapor having a temperature of about 70 ° C. supplied from the sealed complete drying tank 30 through the pipes 39 and 41, and exchanges heat with the cooling water supplied through the pipe 44. In order to protect the compressor 43, it is cooled to 40 ° C. Next, the compressor 43 sucks the cooled solvent vapor and pressurizes and heats it to a pressure of 0.7 Mpa and a temperature of 70 ° C. in order to increase the concentration of the solvent vapor. Feed into unit 50. The heat exchanger unit 50 heat-exchanges the pressurized and heated solvent vapor and the refrigerant gas supplied from the refrigerator 60 to cool and liquefy the solvent vapor. The mixture of the liquefied solvent and the non-condensable gas is guided to the separation tank 54 through the pipe 53 and the pressure reducing valve 75, where it is separated into the solvent liquid and the non-condensable gas. Then, the solvent liquid is sent from there to the water separator 24 and again used as a cleaning solvent in the first to third cleaning tanks 11 to 13. Further, the non-condensable gas component is exhausted through the pipe 55. Here, as the solvent, a brominated solvent (boiling point 71 ° C.) provided by Dipsol under the trade name SC-52S is used.

熱交換器ユニット50は、一対の第1の熱交換器51aと第2の熱交換器51bとを備えている。このように、熱交換器ユニット50が熱交換器を一対備えるのは、次の理由による。すなわち、従来の溶剤洗浄機では、溶剤回収がなお十分とは言い難く、この解決のため、例えば、溶剤洗浄機に熱交換器を接続し、溶剤ガスをこの熱交換器内に導いて冷却して凝縮させ、その溶剤液を回収するとしても、熱交換器内に流入してくる溶剤ガスには必然的に大気中の水分が含まれるため、連続運転を行えば時間とともに熱交換器内部は着霜することになり、その解凍を行うためには定期的に溶剤回収運転を停止せざるを得ず、効率が悪いものとなる。そこで、溶剤ガスを長時間にわたって連続的且つ効率的に凝縮させて回収することができるようにするために、熱交換器を2機設けて、これらを交互に使用できるようにするのである。   The heat exchanger unit 50 includes a pair of first heat exchanger 51a and second heat exchanger 51b. The reason why the heat exchanger unit 50 includes a pair of heat exchangers is as follows. That is, it is difficult to say that the solvent recovery is still sufficient in the conventional solvent washer. To solve this problem, for example, a heat exchanger is connected to the solvent washer, and the solvent gas is introduced into the heat exchanger and cooled. Even if the solvent liquid is condensed and recovered, the solvent gas flowing into the heat exchanger inevitably contains moisture in the atmosphere. In order to perform thawing, the solvent recovery operation must be periodically stopped in order to perform the thawing, resulting in poor efficiency. Therefore, in order to condense and recover the solvent gas continuously and efficiently over a long period of time, two heat exchangers are provided so that they can be used alternately.

これらの熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続される場合と、パラレルに接続される場合とがあるが、本実施例1においては、シリーズに接続されており、しかも、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようになっている。このことを、図5を参照して、具体的に説明すると、(1)圧縮機43を出た溶剤蒸気の流れが実線で示される流れにされ、この流れに対して、第1の熱交換器51aが上流側に、第2の熱交換器51bが下流側にあるようにして、それぞれ配置・接続される配置・接続パターンと、(2)同溶剤蒸気の流れが破線で示される流れにされ、この流れに対して、第2の熱交換器51bが上流側に、第1の熱交換器51aが下流側にあるようにして、それぞれ配置・接続される配置・接続パターンとの間で、交互に切り替えられるようになっているものである。 These heat exchangers may be connected in series to the flow of solvent vapor or connected in parallel, but in the first embodiment, they are connected in series, and this The position is switched alternately between the upstream position and the downstream position of the series connection. This will be described in detail with reference to FIG. 5. (1) The flow of the solvent vapor exiting the compressor 43 is changed to a flow indicated by a solid line, and the first heat exchange is performed with respect to this flow. The arrangement and connection pattern are arranged and connected such that the vessel 51a is on the upstream side and the second heat exchanger 51b is on the downstream side, and (2) the flow of the solvent vapor is the flow indicated by the broken line With respect to this flow, the second heat exchanger 51b is on the upstream side and the first heat exchanger 51a is on the downstream side. , Which can be switched alternately.

そして、両熱交換器が(1)の配置・接続パターンに設定されている場合には、下流側に位置する第2の熱交換器51bには、冷凍機60で生成された冷媒ガスが後述する分岐冷媒配管61b(図5では実線で示されている)を通して供給され、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、上流側に位置する第1の熱交換器51aは、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるのみで、冷媒ガスの供給が遮断されて、溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を中断している。そして、前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより−15°C程度にまで冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その溶剤蒸気の熱で溶解して除去する解凍運転を続行する。この解凍運転により、第1の熱交換器51aの伝熱壁面の温度は、0°Cにまで回復する。   When both heat exchangers are set to the arrangement / connection pattern of (1), the refrigerant gas generated by the refrigerator 60 is described later in the second heat exchanger 51b located on the downstream side. Is supplied through a branch refrigerant pipe 61b (shown by a solid line in FIG. 5), where heat exchange between the solvent vapor and the refrigerant gas is performed, and the solvent vapor is cooled, liquefied and recovered. The During this time, the first heat exchanger 51a located on the upstream side only flows the pressurized and heated solvent vapor inside, and the supply of the refrigerant gas is shut off, and the solvent vapor is cooled and liquefied. Cooling operation is interrupted. And the thawing operation which melts and removes the frost that has been cooled to about −15 ° C. and adhered to its own heat transfer wall by the heat of the solvent vapor by continuing the cooling operation at the time of the previous switching operation. continue. By this thawing operation, the temperature of the heat transfer wall surface of the first heat exchanger 51a is recovered to 0 ° C.

また、両熱交換器が(2)の配置・接続パターンに設定されている場合には、下流側に位置する第1の熱交換器51aには、冷凍機60で生成された冷媒ガスが後述する分岐冷媒配管61a(図5では破線で示されている)を通して供給され、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、上流側に位置する第2の熱交換器51bは、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるのみで、冷媒ガスの供給が遮断されて、溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を中断している。そして、前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その溶剤蒸気の熱で溶解して除去する解凍運転を続行する。   When both heat exchangers are set to the arrangement / connection pattern of (2), the refrigerant gas generated by the refrigerator 60 is described later in the first heat exchanger 51a located on the downstream side. Is supplied through a branch refrigerant pipe 61a (shown by a broken line in FIG. 5), in which heat exchange between the solvent vapor and the refrigerant gas is performed, and the solvent vapor is cooled, liquefied and recovered. The During this time, the second heat exchanger 51b located on the upstream side only flows the pressurized and heated solvent vapor inside, and the supply of the refrigerant gas is cut off to cool and liquefy the solvent vapor. Cooling operation is interrupted. And the thawing | decompression operation which melt | dissolves with the heat | fever of the solvent vapor | steam and removes the frost cooled by having continued the cooling operation at the time of the previous switching operation and adhering to the own heat-transfer wall surface is continued.

このように、本実施例1においては、第1及び第2の熱交換器51a、51bは、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようになっており、且つ、この位置の切替えに同期して、シリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を続行する間、シリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器がその冷却運転を中断して、加圧、加温されて流れて来る溶剤蒸気によって自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されるようになっているものである。   Thus, in the first embodiment, the first and second heat exchangers 51a and 51b are connected in series with respect to the flow of the solvent vapor, and the upstream position and the downstream side of the series connection are connected. In addition, in synchronization with the switching of the position, one of the heat exchangers located on the downstream side of the series connection is supplied with pressurized and heated solvent vapor. While continuing the cooling operation that cools and liquefies, the other heat exchanger located upstream of the series connection interrupts the cooling operation and presses and heats itself to defrost itself with the flowing solvent vapor. In order to continue the thawing operation, the switching operation is alternately performed.

なお、第1及び第2の熱交換器51a、51bには、第1及び第2のヒータ52a、52b(図4参照)がそれぞれ付設されて、これらのヒータが発生する外部熱源が、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されることがあるが、本実施例1においては、使用されないので、不要である。   The first and second heat exchangers 51a and 51b are provided with first and second heaters 52a and 52b (see FIG. 4), respectively, and external heat sources generated by these heaters are connected to these first and second heat exchangers 51a and 51b. Although it may be used to support the thawing operation of the heat exchanger, it is unnecessary in the first embodiment because it is not used.

ここで、冷凍機60の構造と作用とについて、さらに詳細に説明する。
冷凍機60は、概略、冷媒配管61が途中において二股に分岐されて分岐冷媒配管61a、61bとされた冷媒回路上に、圧縮機62、凝縮器63、膨張弁64a、64bが、この順に設置されるとともに、圧縮機62と凝縮器63との間から高温冷媒ガス配管67a(往路)、67b(復路)が分岐されることにより構成されている。ここで、膨張弁64aは、分岐冷媒配管61aに設置され、膨張弁64bは、分岐冷媒配管61bに設置されている。これらの分岐冷媒配管61a、61bにおいて、膨張弁64a、64bの上流側には、切替弁65a、65bが設置されている。凝縮器63は、圧縮機62を出た高温冷媒ガスを配管72を通して供給される冷却水と熱交換させて、凝縮させて冷媒液にする。
Here, the structure and operation of the refrigerator 60 will be described in more detail.
In the refrigerator 60, the compressor 62, the condenser 63, and the expansion valves 64a and 64b are installed in this order on the refrigerant circuit in which the refrigerant pipe 61 is bifurcated in the middle to be branched refrigerant pipes 61a and 61b. In addition, the high-temperature refrigerant gas pipes 67a (outward path) and 67b (return path) are branched from between the compressor 62 and the condenser 63. Here, the expansion valve 64a is installed in the branch refrigerant pipe 61a, and the expansion valve 64b is installed in the branch refrigerant pipe 61b. In these branch refrigerant pipes 61a and 61b, switching valves 65a and 65b are installed upstream of the expansion valves 64a and 64b. The condenser 63 exchanges heat with the cooling water supplied from the compressor 72 through the pipe 72 and condenses it into a refrigerant liquid.

高温冷媒ガス配管67aが冷媒配管61から分岐する個所には、三方弁66が設置されている。そして、この三方弁66が高温冷媒ガス配管67a方向に開にされると、圧縮機62から凝縮器63方向に流れていた高圧、高温の冷媒ガスの一部が高温冷媒ガス配管67a方向に流れる。高温冷媒ガス配管67aは、その末端が分岐冷媒配管61a、61bのいずれかと、熱交換器ユニット50より上流側の位置において切替弁68a、68bにより切替え接続されるようになっている。また、高温冷媒ガス配管67bは、その基端が、分岐冷媒配管61a、61bのいずれかと、熱交換器ユニット50より下流側の位置において切替弁69a、69bにより切替え接続されるようになっている。   A three-way valve 66 is installed at a location where the high-temperature refrigerant gas pipe 67 a branches from the refrigerant pipe 61. When the three-way valve 66 is opened in the direction of the high-temperature refrigerant gas pipe 67a, a part of the high-pressure and high-temperature refrigerant gas flowing from the compressor 62 in the direction of the condenser 63 flows in the direction of the high-temperature refrigerant gas pipe 67a. . The end of the high-temperature refrigerant gas pipe 67a is switched and connected to one of the branch refrigerant pipes 61a and 61b at a position upstream of the heat exchanger unit 50 by switching valves 68a and 68b. Further, the base end of the high-temperature refrigerant gas pipe 67b is switched and connected to one of the branch refrigerant pipes 61a and 61b at the position downstream of the heat exchanger unit 50 by the switching valves 69a and 69b. .

しかしながら、これら高温冷媒ガス配管67a、67bも、本実施例1においては使用されず、三方弁66、4個の切替弁68a、68b、69a、69bは、いずれも本実施例1においては、閉止されている。したがって、本実施例1においては、これら高温冷媒ガス配管67a、67b、三方弁66、4個の切替弁68a、68b、69a、69bは、除去されても良い。冷凍機60から、これら高温冷媒ガス配管67a、67b、三方弁66、4個の切替弁68a、68b、69a、69bを取り除き、冷媒配管61から分岐冷媒配管61a、61bが分岐されないものは、通常の冷凍サイクルの基本構成を示すものである。   However, these high-temperature refrigerant gas pipes 67a and 67b are not used in the first embodiment, and the three-way valve 66 and the four switching valves 68a, 68b, 69a and 69b are all closed in the first embodiment. Has been. Therefore, in the first embodiment, the high-temperature refrigerant gas pipes 67a and 67b, the three-way valve 66, and the four switching valves 68a, 68b, 69a, and 69b may be removed. The high-temperature refrigerant gas pipes 67a, 67b, the three-way valve 66, and the four switching valves 68a, 68b, 69a, 69b are removed from the refrigerator 60, and the branch refrigerant pipes 61a, 61b are not branched from the refrigerant pipe 61. 1 shows a basic configuration of the refrigeration cycle.

冷凍機60は、また、分岐冷媒配管61a、61bが熱交換器ユニット50より下流側で合流する位置と圧縮機62との間の冷媒回路上にアキュムレータ70を備えており、さらに、凝縮器63と、冷媒配管61が熱交換器ユニット50より上流側で二股に分岐されて分岐冷媒配管61a、61bとされる位置との間の冷媒回路上にレシーバタンク71を備えている。その他、冷媒回路上の所定の位置に複数の温度センサや圧力センサ、これらのセンサにより制御される各種弁等を備えているが、詳細な説明を省略する。   The refrigerator 60 also includes an accumulator 70 on the refrigerant circuit between the compressor 62 and the position where the branch refrigerant pipes 61a and 61b merge on the downstream side of the heat exchanger unit 50, and further includes a condenser 63. The receiver tank 71 is provided on the refrigerant circuit between the refrigerant pipe 61 and the position where the refrigerant pipe 61 is bifurcated on the upstream side of the heat exchanger unit 50 to be the branched refrigerant pipes 61a and 61b. In addition, a plurality of temperature sensors and pressure sensors, various valves controlled by these sensors, and the like are provided at predetermined positions on the refrigerant circuit, but detailed description thereof is omitted.

冷凍機60は、前記のようにして構成されているので、本実施例1において、両熱交換器が(1)の配置・接続パターンに設定されている場合には、切替弁65bが開かれ、膨張弁64bが適度の開度に調節されて、下流側に位置する第2の熱交換器51bに冷凍機60で生成された冷媒ガス(この冷媒ガスは、冷媒液が膨張弁64bを通過後、気化膨脹して得られたものである。)が分岐冷媒配管61bを通して供給される。この間、切替弁65aは閉じられており、上流側に位置する第1の熱交換器51aには、冷媒ガスは供給されない。   Since the refrigerator 60 is configured as described above, in the first embodiment, when both heat exchangers are set to the arrangement / connection pattern of (1), the switching valve 65b is opened. The expansion valve 64b is adjusted to an appropriate opening degree, and the refrigerant gas generated in the refrigerator 60 in the second heat exchanger 51b located on the downstream side (this refrigerant gas passes through the expansion valve 64b). Thereafter, it is obtained by vaporization and expansion.) Is supplied through the branch refrigerant pipe 61b. During this time, the switching valve 65a is closed, and the refrigerant gas is not supplied to the first heat exchanger 51a located on the upstream side.

また、両熱交換器が(2)の配置・接続パターンに設定されている場合には、切替弁65aが開かれ、膨張弁64aが適度の開度に調節されて、下流側に位置する第1の熱交換器51aに冷凍機60で生成された冷媒ガス(この冷媒ガスは、冷媒液が膨張弁64aを通過後、気化膨脹して得られたものである。)が分岐冷媒配管61aを通して供給される。この間、切替弁65bは閉じられており、上流側に位置する第2の熱交換器51bには、冷媒ガスは供給されない。
なお、この冷凍機60は、予備冷却器42に配管44を通して供給される冷却水を生成するためにも使用されるようにシステム構成することが可能である。
When both the heat exchangers are set to the arrangement / connection pattern of (2), the switching valve 65a is opened, the expansion valve 64a is adjusted to an appropriate opening degree, and the second position located on the downstream side. The refrigerant gas generated by the refrigerator 60 in the first heat exchanger 51a (this refrigerant gas is obtained by evaporating and expanding after the refrigerant liquid passes through the expansion valve 64a) passes through the branch refrigerant pipe 61a. Supplied. During this time, the switching valve 65b is closed, and the refrigerant gas is not supplied to the second heat exchanger 51b located on the upstream side.
The refrigerator 60 can be configured to be used for generating cooling water supplied to the preliminary cooler 42 through the pipe 44.

本実施例1の溶剤回収装置40を備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
複数の洗浄槽11〜13を経て溶剤により洗浄され、ベーパー槽(蒸気乾燥槽)20を経て溶剤蒸気で仕上げ洗浄及び乾燥されて、油分やパーティクルが除去されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽30に入り、ここで、密閉された室内で加熱・乾燥されて、ワークの表面、とりわけ、凹形状部や盲孔等の汲み出しにくい所になお付着して残っていた溶剤が蒸発させられ、完全に除去される。このようにして、ワークを完全に乾燥させることができる。
Since the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus 40 of the first embodiment is configured as described above, the following effects can be achieved.
Workpieces that have been cleaned with a solvent through a plurality of cleaning tanks 11 to 13, finished with a solvent vapor through a vapor tank (steam drying tank) 20 and dried and then removed from oil and particles are then sealed and completely dried. The tank 30 is heated and dried in a sealed chamber, and the solvent remaining on the surface of the workpiece, particularly, the concave portions and blind holes, which are difficult to pump out, is evaporated. Completely removed. In this way, the workpiece can be completely dried.

しかも、このようにしてワークから分離させられて蒸発し、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気は、次いで、溶剤回収装置40に吸引され、そこで、液化して、回収されるので、溶剤の回収効率が著しく向上して、溶剤の消費量を大幅に低減することができる。また、環境を汚染することもない。   Moreover, the solvent vapor that has been separated from the workpiece and evaporated in this way and whose gas concentration has been increased is then sucked into the solvent recovery device 40 where it is liquefied and recovered. It can be remarkably improved and the consumption of the solvent can be greatly reduced. Moreover, it does not pollute the environment.

さらに、その溶剤回収装置40が、密閉型完全乾燥槽30で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して予備冷却する予備冷却器42と、該予備冷却器42を出た溶剤蒸気を吸引して、さらにガス濃度を上昇させるために圧縮する圧縮機43と、該圧縮機43を出た加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する第1及び第2の熱交換器51a、51bと、該第1及び第2の熱交換器51a、51bを出た溶剤液を回収する分離槽(回収タンク)54と、該第1及び第2の熱交換器51a、51bに冷媒ガスを交互に供給する冷凍機60とを備えて成り、第1及び第2の熱交換器51a、51bは、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようにされており、この位置の切替えに同期して、そのシリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を続行する間、そのシリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。   Further, the solvent recovery device 40 sucks and preliminarily cools the solvent vapor having an increased gas concentration generated in the closed complete drying tank 30 and the solvent vapor discharged from the precooler 42. Compressor 43 that sucks and compresses to further increase the gas concentration, and first and second heat exchangers that cool and liquefy the pressurized and heated solvent vapor exiting compressor 43 51a, 51b, a separation tank (recovery tank) 54 for recovering the solvent liquid exiting the first and second heat exchangers 51a, 51b, and a refrigerant in the first and second heat exchangers 51a, 51b The first and second heat exchangers 51a and 51b are connected in series with respect to the flow of solvent vapor, and are located upstream of the series connection. And can be switched alternately between downstream position Synchronously with the switching of this position, while one heat exchanger located downstream of the series connection continues the cooling operation to cool and liquefy the pressurized and heated solvent vapor, Since the other heat exchanger located upstream of the series connection interrupts the cooling operation and continues the defrosting operation to defrost itself, the solvent recovery is continued for a long time. Efficient and efficient.

特に、その一方の熱交換器には、冷凍機60を出た冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、溶剤蒸気が流れるのみで、外部熱源の投入が遮断されているので、他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されて、外部熱源を必要とすることがなく、溶剤回収を効率的、経済的に行うことができる。
なお、第1及び第2の熱交換器51a、51bの上記した切替え運転がきわめて長時間続行されると、冷却運転を続行する側の熱交換器において氷結が進んで、次の切替え運転の時には、その氷結の解凍に溶剤蒸気自身の保有熱では間に合わなくなる可能性があり、そのような事態が生じた場合には、その氷結が熱交換器を詰まらせる虞があるので、そのような事態に至らない氷結時間をデータから割り出して、切替え運転の時間間隔を適切に設定する必要がある。
In particular, one of the heat exchangers is supplied with the refrigerant gas that has exited the refrigerator 60, and the other heat exchanger only has solvent vapor flowing therethrough, and the input of an external heat source is interrupted. In the thawing operation of this heat exchanger, the heat retained by the solvent vapor itself is used, and an external heat source is not required, and the solvent can be recovered efficiently and economically.
If the switching operation of the first and second heat exchangers 51a and 51b is continued for a very long time, freezing proceeds in the heat exchanger on the side where the cooling operation is continued, and at the time of the next switching operation. In the case where such a situation occurs, there is a possibility that the freeze will clog the heat exchanger. It is necessary to determine the freezing time that does not reach from the data and set the switching operation time interval appropriately.

また、密閉型完全乾燥槽30が、その内部にワークを加熱・乾燥させるためのヒータ32と、ガス攪拌ファン33とを備えていて、密閉型完全乾燥槽30で発生した溶剤蒸気をガス攪拌ファン33により攪拌して、室内に拡散させるようにされる場合には、密閉型完全乾燥槽30内でのワークの加熱・乾燥を迅速に、効率良く行うことができる。   The sealed complete drying tank 30 includes a heater 32 for heating and drying the workpiece and a gas stirring fan 33 inside, and the solvent vapor generated in the sealed complete drying tank 30 is removed from the gas stirring fan. In the case where the agitation is performed by 33 and diffused in the room, heating and drying of the workpiece in the sealed complete drying tank 30 can be performed quickly and efficiently.

また、密閉型完全乾燥槽30が、その内部とガス吸引口34a及びガス吐出口34bを介して流体連通する閉鎖循環路34を備え、該閉鎖循環路34には、送風ファン35と、ヒータ36と、フィルター37とが設けられており、ガス吸引口34aより送風ファン35により吸引した溶剤蒸気をヒータ36により加熱し、フィルター37により濾過して、ガス吐出口34bより密閉型完全乾燥槽30内に吐出するようにされる場合には、ヒータ36により加熱されて生成された乾燥熱源となる温風を、ヒータ36により再加熱し、フィルター37により浄化して、再生しつつ、密閉型完全乾燥槽30内を循環させて、そこでのワークへのパーティクル等の汚れ再付着を防止しつつ、ワークの加熱・乾燥をさらに迅速に、さらに効率良く行うことができる。   Further, the closed complete drying tank 30 includes a closed circulation path 34 that is in fluid communication with the inside thereof via a gas suction port 34a and a gas discharge port 34b. The closed circulation path 34 includes a blower fan 35 and a heater 36. And a filter 37, the solvent vapor sucked by the blower fan 35 from the gas suction port 34 a is heated by the heater 36, filtered by the filter 37, and the inside of the closed complete drying tank 30 from the gas discharge port 34 b. In this case, the warm air as the drying heat source generated by heating by the heater 36 is reheated by the heater 36, purified by the filter 37, regenerated, and regenerated, and completely sealed. Circulating the tank 30 to prevent the particles from re-adhering to the workpiece, and to heat and dry the workpiece more quickly and efficiently. Can.

次に、本願の発明の第2の実施例(実施例2)について説明する。
図6は、本実施例2の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。図6に図示されるように、本実施例2の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40aは、実施例1の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40と比較すると、第1及び第2の熱交換器51a、51bにそれぞれ付設された第1及び第2のヒータ52a、52bが、溶剤回収装置40においては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されなかったのに対して、溶剤回収装置40aにおいては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用される点で異なっている。
Next, a second embodiment (embodiment 2) of the present invention will be described.
FIG. 6 is a schematic schematic configuration diagram of a solvent recovery device provided in the solvent cleaning device of the second embodiment. As illustrated in FIG. 6, the solvent recovery device 40 a included in the solvent cleaning device according to the second embodiment is compared with the solvent recovery device 40 included in the solvent cleaning device according to the first embodiment. In contrast, the first and second heaters 52a and 52b attached to the containers 51a and 51b were not used in the solvent recovery apparatus 40 to support the thawing operation of these heat exchangers, The solvent recovery device 40a is different in that it is used to support the thawing operation of these heat exchangers.

すなわち、実施例1の溶剤回収装置40においては、加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する他方の熱交換器は、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるのみで、外部熱源の投入が遮断されていて、外部熱源と溶剤蒸気との間の熱交換も、外部熱源による熱交換器の伝熱壁の外部からの加熱も行われなかったが、本実施例2の溶剤回収装置40aにおいては、該他方の熱交換器は、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるとともに、その外部には、第1及び第2のヒータ52a、52bのうちの該他方の熱交換器に付設された側のヒータが発生する外部熱源が存在することになるので、この他方の熱交換器は、その内部から溶剤蒸気自身の保有熱による加熱を受けるとともに、その外部から、この外部熱源による加熱を受けることになる。このようにして、この外部熱源は、該他方の熱交換器に投入されて、該他方の熱交換器の溶剤蒸気自身の保有熱による霜取り・解凍運転をサポートするように使用されるものである。   That is, in the solvent recovery apparatus 40 of the first embodiment, the other heat exchanger that continues the thawing operation for defrosting itself by interrupting the cooling operation for cooling and liquefying the pressurized and heated solvent vapor. However, only the solvent vapor that has been pressurized and heated flows inside, and the external heat source is shut off, and heat exchange between the external heat source and the solvent vapor is also conducted by the heat exchanger by the external heat source. Although heating from the outside of the hot wall was not performed, in the solvent recovery apparatus 40a of Example 2, the other heat exchanger was pressurized and heated in the other heat exchanger. Since the external heat source which the heater of the side attached to this other heat exchanger of the 1st and 2nd heaters 52a and 52b generate | occur | produces in the exterior exists, this other heat exchanger Heats the solvent vapor itself from its internal heat. Kicking with, from the outside, it will be subject to heating by the external heat source. In this way, this external heat source is input to the other heat exchanger and used to support the defrosting / thawing operation by the retained heat of the solvent vapor itself of the other heat exchanger. .

本実施例2の溶剤回収装置40aを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、さらに、次のような効果を奏することができる。
第1及び第2の熱交換器51a、51bのうちの他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されるとともに、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータ52aもしくは52bが発生する外部熱源が投入されて、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされているので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結をより良く防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
Since the solvent cleaning apparatus including the solvent recovery apparatus 40a of the second embodiment is configured as described above, the following effects can be further achieved.
In the thawing operation of the other heat exchanger of the first and second heat exchangers 51a and 51b, the retained heat of the solvent vapor itself is used, and the other external heater provided in the other heat exchanger While the external heat source generated by 52a or 52b is turned on and the other heat exchanger continues the thawing operation to interrupt the cooling operation and defrost itself, the external heat source defrosts the other heat exchanger. Since it is designed to support the operation, the other heat exchanger can be forced to defrost itself in a short time, and the freezing can be better prevented. Thus, the heat exchange can be performed efficiently from start to finish, and the solvent can be recovered more efficiently.

次に、本願の発明の第3の実施例(実施例3)について説明する。
図7は、本実施例3の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。本実施例3の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40bは、実施例1、2の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40、40aと比較すると、第1及び第2の熱交換器51a、51bが、溶剤回収装置40、40aにおいては、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されていたのに対して、溶剤回収装置40bにおいては、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続される点で異なっている。また、実施例2の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40aと比較すると、第1及び第2のヒータ52a、52bが、溶剤回収装置40aにおいては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されていたのに対して、溶剤回収装置40bにおいては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されていない点でも異なっている。しかし、いずれの溶剤回収装置40、40a、40bにおいても、いずれか一方の熱交換器が加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器がその冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、これらの熱交換器が交互に切替え運転される点で共通している。
Next, a third embodiment (embodiment 3) of the present invention will be described.
FIG. 7 is a schematic schematic configuration diagram of a solvent recovery device provided in the solvent cleaning device of the third embodiment. The solvent recovery device 40b included in the solvent cleaning device of the third embodiment is different from the solvent recovery devices 40 and 40a included in the solvent cleaning device of the first and second embodiments in that the first and second heat exchangers 51a and 51b are The solvent recovery devices 40 and 40a are connected in series with the flow of the solvent vapor, whereas the solvent recovery device 40b is different in that it is connected in parallel with the flow of the solvent vapor. ing. Further, as compared with the solvent recovery device 40a included in the solvent cleaning device of Example 2, the first and second heaters 52a and 52b support the thawing operation of these heat exchangers in the solvent recovery device 40a. The solvent recovery device 40b is different in that it is not used to support the thawing operation of these heat exchangers. However, in any one of the solvent recovery devices 40, 40a, 40b, while one of the heat exchangers continues the cooling operation of cooling and liquefying the pressurized and heated solvent vapor, the other heat exchanger However, it is common in that these heat exchangers are alternately switched so that the cooling operation is interrupted and the thawing operation for defrosting itself is continued.

具体的に説明すると、本実施例3の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40bにおいては、圧縮機43を出た溶剤蒸気の流れが、第1及び第2の熱交換器51a、51bの各々の熱交換器に交互に切替え接続されるようになっている。そして、溶剤蒸気の流れに接続された側の熱交換器には、冷凍機60の膨張弁64aもしくは64bを出た極冷冷媒ガスが供給され、ここで、溶剤蒸気と極冷冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて回収される。この間、溶剤蒸気の流れに接続されなかった側の熱交換器には、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスが供給され、ここで、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その熱で溶解して除去するようになっている。
すなわち、溶剤蒸気の流れに接続された側の熱交換器は、溶剤蒸気の冷却運転を続行し、溶剤蒸気の流れに接続されなかった側の熱交換器は、自己の解凍運転を続行するように、第1及び第2の熱交換器51a、51bは、交互に切替え運転されるものである。
More specifically, in the solvent recovery device 40b included in the solvent cleaning device of the third embodiment, the flow of the solvent vapor exiting the compressor 43 is caused by the flow of each of the first and second heat exchangers 51a and 51b. The heat exchanger is alternately switched and connected. Then, the cryogenic refrigerant gas exiting the expansion valve 64a or 64b of the refrigerator 60 is supplied to the heat exchanger on the side connected to the flow of the solvent vapor, where the solvent vapor and the cryogenic refrigerant gas are supplied. Heat exchange takes place and the solvent vapor is cooled, liquefied and recovered. During this time, the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor 62 of the refrigerator 60 is supplied to the heat exchanger on the side that is not connected to the flow of the solvent vapor. Here, the heat transfer wall of the heat exchanger is supplied from the outside. The frost that has been heated and cooled as a result of the heat exchanger continuing the cooling operation during the previous switching operation and adhered to its own heat transfer wall is dissolved and removed by the heat.
That is, the heat exchanger on the side connected to the solvent vapor flow continues the cooling operation of the solvent vapor, and the heat exchanger on the side not connected to the solvent vapor flow continues its thawing operation. Moreover, the first and second heat exchangers 51a and 51b are alternately switched and operated.

このことを、図4、図7を参照して、さらに具体的に説明すると、第1及び第2の熱交換器51a、51bは、(1)圧縮機43を出た溶剤蒸気の流れが実線で示される流れにされ、この溶剤蒸気の流れに対して、第1の熱交換器51aが接続され、第2の熱交換器51bが切り離される配置・接続パターンと、(2)同溶剤蒸気の流れが破線で示される流れにされ、この溶剤蒸気の流れに対して、第2の熱交換器51bが接続され、第1の熱交換器51aが切り離される配置・接続パターンとの間で、交互に切替え接続される。   This will be described in more detail with reference to FIGS. 4 and 7. The first and second heat exchangers 51a and 51b are: (1) the flow of the solvent vapor exiting the compressor 43 is a solid line. An arrangement / connection pattern in which the first heat exchanger 51a is connected to the flow of the solvent vapor and the second heat exchanger 51b is disconnected from the flow of the solvent vapor, and (2) The flow is changed to a flow indicated by a broken line, and the second heat exchanger 51b is connected to the flow of the solvent vapor, and the arrangement / connection pattern in which the first heat exchanger 51a is disconnected alternately. To be switched to.

そして、両熱交換器が(1)の配置・接続パターンに設定されている場合には、溶剤蒸気の流れに接続される第1の熱交換器51aには、冷凍機60の膨張弁64aを出た極冷冷媒ガスが分岐冷媒配管61aを通して供給され(図7では実線で示されている)、ここで、溶剤蒸気と極冷冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、溶剤蒸気の流れから切り離された第2の熱交換器51bには、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスが三方弁66、高温冷媒ガス配管67a(往路)、切替弁68b、分岐冷媒配管61bを通して供給され(図7では実線で示されている)、ここで、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その熱で溶解して除去する。   When both heat exchangers are set to the arrangement / connection pattern of (1), the expansion valve 64a of the refrigerator 60 is connected to the first heat exchanger 51a connected to the flow of the solvent vapor. The discharged cryogenic refrigerant gas is supplied through the branch refrigerant pipe 61a (shown by a solid line in FIG. 7). Here, heat exchange between the solvent vapor and the cryogenic refrigerant gas is performed, and the solvent vapor is cooled. Liquefied and recovered. Meanwhile, in the second heat exchanger 51b separated from the flow of the solvent vapor, the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor 62 of the refrigerator 60 is fed with the three-way valve 66, the high-temperature refrigerant gas pipe 67a (outward path), and the switching valve 68b. Is supplied through the branch refrigerant pipe 61b (shown by a solid line in FIG. 7), where the heat transfer wall of the heat exchanger is heated from the outside, and the heat exchanger is cooled during the previous switching operation. The frost that has been cooled by adhering to the operation and adhered to its own heat transfer wall is dissolved and removed by the heat.

また、両熱交換器が(2)の配置・接続パターンに設定されている場合には、溶剤蒸気の流れに接続される第2の熱交換器51bには、冷凍機60の膨張弁64bを出た極冷冷媒ガスが分岐冷媒配管61bを通して供給され(図7では破線で示されている)、ここで、溶剤蒸気と極冷冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、溶剤蒸気の流れから切り離された第1の熱交換器51aには、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスが三方弁66、高温冷媒ガス配管67a(往路)、切替弁68a、分岐冷媒配管61aを通して供給され(図7では破線で示されている)、ここで、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その熱で溶解して除去する。   When both heat exchangers are set to the arrangement / connection pattern of (2), the expansion valve 64b of the refrigerator 60 is connected to the second heat exchanger 51b connected to the solvent vapor flow. The cryogenic refrigerant gas that has exited is supplied through the branch refrigerant pipe 61b (indicated by a broken line in FIG. 7), where heat exchange between the solvent vapor and the cryogenic refrigerant gas is performed, and the solvent vapor is cooled. Liquefied and recovered. During this time, in the first heat exchanger 51a separated from the flow of the solvent vapor, the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor 62 of the refrigerator 60 is supplied with the three-way valve 66, the high-temperature refrigerant gas pipe 67a (outward path), and the switching valve 68a. Is supplied through the branch refrigerant pipe 61a (indicated by a broken line in FIG. 7), where the heat transfer wall of the heat exchanger is heated from the outside, and the heat exchanger is cooled during the previous switching operation. The frost that has been cooled by adhering to the operation and adhered to its own heat transfer wall is dissolved and removed by the heat.

このようにして第1の熱交換器51a及び第2の熱交換器51bを交互に通過した高温冷媒ガスは、温度を低下させた状態で分岐冷媒配管61a、61b、切替弁69a、69bを交互に通り、次いで、高温冷媒ガス配管67b(復路)を通って冷媒配管61に戻される。この高温冷媒ガスが冷媒配管61に戻される位置は、三方弁66と凝縮器63との間の位置とされている。   The high-temperature refrigerant gas that has alternately passed through the first heat exchanger 51a and the second heat exchanger 51b in this way alternates between the branch refrigerant pipes 61a and 61b and the switching valves 69a and 69b in a state where the temperature is lowered. Then, the refrigerant pipe 61 is returned to the refrigerant pipe 61 through the high-temperature refrigerant gas pipe 67b (return path). The position where the high-temperature refrigerant gas is returned to the refrigerant pipe 61 is a position between the three-way valve 66 and the condenser 63.

本実施例3の溶剤回収装置40bを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような特有の効果を奏することができる。
溶剤回収装置40bが備える第1及び第2の熱交換器51a、51bは、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、溶剤蒸気の冷却運転と自己の解凍運転とに交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。
Since the solvent cleaning apparatus including the solvent recovery apparatus 40b of the third embodiment is configured as described above, the following specific effects can be achieved.
The first and second heat exchangers 51a and 51b included in the solvent recovery device 40b are connected in parallel to the flow of the solvent vapor, and are alternately switched between the solvent vapor cooling operation and the self-defrosting operation. Therefore, solvent recovery can be performed continuously and efficiently over a long period of time.

また、第1及び第2の熱交換器51a、51bのうちの一方の熱交換器での溶剤蒸気の冷却運転、他方の熱交換器での自己の解凍運転のいずれにも、その熱源として、冷凍機60を出た冷媒ガス(極冷冷媒ガス及び高温冷媒ガス)が使用されるので、その他の外部熱源を必要とすることがなく、溶剤回収装置40bの機器構成を比較的簡易に行うことができる。   In addition, as a heat source for both the solvent vapor cooling operation in one of the first and second heat exchangers 51a and 51b and the self-defrosting operation in the other heat exchanger, Since the refrigerant gas (extremely cold refrigerant gas and high-temperature refrigerant gas) exiting the refrigerator 60 is used, no other external heat source is required, and the device configuration of the solvent recovery device 40b is relatively simple. Can do.

次に、本願の発明の第4の実施例(実施例4)について説明する。
図8は、本実施例4の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。本実施例4の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40cは、実施例3の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40bと比較すると、自己の解凍運転を続行する他方の熱交換器の外部熱源として、溶剤回収装置40bにおいては、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスが使用されたのに対して、溶剤回収装置40cにおいては、それぞれの熱交換器が備える第1もしくは第2のヒータ52a、52bが発生する熱源が使用される点で異なっている。
Next, a fourth embodiment (embodiment 4) of the present invention will be described.
FIG. 8 is a schematic schematic configuration diagram of a solvent recovery device provided in the solvent cleaning device of the fourth embodiment. As compared with the solvent recovery device 40b provided in the solvent cleaning device of Example 3, the solvent recovery device 40c provided in the solvent cleaning device of Example 4 is used as an external heat source of the other heat exchanger that continues its thawing operation. In the solvent recovery device 40b, the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor 62 of the refrigerator 60 is used, whereas in the solvent recovery device 40c, the first or second heater provided in each heat exchanger. The difference is that a heat source generating 52a and 52b is used.

図8を参照して、具体的に説明すると、第1及び第2の熱交換器51a、51bが、実施例3における(1)の配置・接続パターンと同じ配置・接続パターンに設定されている場合において、溶剤蒸気の流れに接続される第1の熱交換器51aには、冷凍機60の膨張弁64aを出た冷媒ガスが分岐冷媒配管61aを通して供給され(図8では実線で示されている)、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この点は、極冷冷媒ガスが単に冷媒ガスと呼称されただけで、実施例3と異なるところはない。   Specifically, referring to FIG. 8, the first and second heat exchangers 51a and 51b are set to the same arrangement / connection pattern as the arrangement / connection pattern (1) in the third embodiment. In this case, the refrigerant gas exiting the expansion valve 64a of the refrigerator 60 is supplied to the first heat exchanger 51a connected to the flow of the solvent vapor through the branch refrigerant pipe 61a (shown by a solid line in FIG. 8). Here, heat exchange between the solvent vapor and the refrigerant gas is performed, and the solvent vapor is cooled, liquefied, and collected. In this respect, the cryogenic refrigerant gas is simply called the refrigerant gas, and there is no difference from the third embodiment.

他方、前記のようにして、第1の熱交換器51aが溶剤蒸気の冷却運転を続行する間、溶剤蒸気の流れから切り離された第2の熱交換器51bには、該第2の熱交換器51bが備える第2のヒータ52bが発生する熱源が投入され、この外部熱源が、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を溶解して除去する。したがって、この場合には、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスが使用されることはない。   On the other hand, as described above, while the first heat exchanger 51a continues the solvent vapor cooling operation, the second heat exchanger 51b disconnected from the flow of the solvent vapor has the second heat exchange. The heat source generated by the second heater 52b included in the heat exchanger 51b is turned on, and the external heat source heats the heat transfer wall of the heat exchanger from the outside, and the heat exchanger performs a cooling operation when performing the previous switching operation. The frost that has been cooled and adhered to its own heat transfer wall is melted and removed by continuing the process. Therefore, in this case, the high-temperature refrigerant gas that has exited the compressor 62 of the refrigerator 60 is not used.

また、第1及び第2の熱交換器51a、51bが、実施例3における(2)の配置・接続パターンと同じ配置・接続パターンに設定されている場合において、溶剤蒸気の流れに接続される第2の熱交換器51bには、冷凍機60の膨張弁64bを出た冷媒ガスが分岐冷媒配管61bを通して供給され(図8では破線で示されている)、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この点は、極冷冷媒ガスが単に冷媒ガスと呼称されただけで、実施例3と異なるところはない。   Further, when the first and second heat exchangers 51a and 51b are set to the same arrangement / connection pattern as the arrangement / connection pattern of (2) in the third embodiment, they are connected to the flow of the solvent vapor. The refrigerant gas exiting the expansion valve 64b of the refrigerator 60 is supplied to the second heat exchanger 51b through the branch refrigerant pipe 61b (shown by broken lines in FIG. 8), where the solvent vapor and the refrigerant gas The solvent vapor is cooled, liquefied and recovered. In this respect, the cryogenic refrigerant gas is simply called the refrigerant gas, and there is no difference from the third embodiment.

他方、前記のようにして、第2の熱交換器51bが溶剤蒸気の冷却運転を続行する間、溶剤蒸気の流れから切り離された第1の熱交換器51aには、該第1の熱交換器51aが備える第1のヒータ52aが発生する熱源が投入され、この外部熱源が、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を溶解して除去する。したがって、この場合には、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスが使用されることはない。   On the other hand, as described above, while the second heat exchanger 51b continues the cooling operation of the solvent vapor, the first heat exchanger 51a disconnected from the flow of the solvent vapor has the first heat exchange. The heat source generated by the first heater 52a included in the heat exchanger 51a is turned on, the external heat source heats the heat transfer wall of the heat exchanger from the outside, and the heat exchanger performs a cooling operation when performing the previous switching operation. The frost that has been cooled and adhered to its own heat transfer wall is melted and removed by continuing the process. Therefore, in this case, the high-temperature refrigerant gas that has exited the compressor 62 of the refrigerator 60 is not used.

本実施例4の溶剤回収装置40cにおいては、第1及び第2の熱交換器51a、51bは、いずれも熱交換性能に優れたフィン付き管式熱交換器により構成され、1つの共通のタンク73内に収納されており、このタンク73は、溶剤液の回収タンクを兼ねている。したがって、図4に図示されるような別置きの分離槽(回収タンク)54は、不要である。また、第1の熱交換器51aと第2の熱交換器51bとの間には、仕切り壁74が設けられていて、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされている。   In the solvent recovery apparatus 40c of the fourth embodiment, the first and second heat exchangers 51a and 51b are both constituted by finned tube heat exchangers having excellent heat exchange performance, and one common tank. The tank 73 is also used as a solvent liquid recovery tank. Therefore, a separate separation tank (collection tank) 54 as shown in FIG. 4 is unnecessary. Further, a partition wall 74 is provided between the first heat exchanger 51a and the second heat exchanger 51b so that the heat exchange actions in the heat exchangers do not interfere with each other. Yes.

本実施例4の溶剤回収装置40cを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような特有の効果を奏することができる。
第1及び第2の熱交換器51a、51bのうちの他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータ52aもしくは52bが発生する外部熱源が投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結を防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
Since the solvent cleaning apparatus including the solvent recovery apparatus 40c of the fourth embodiment is configured as described above, the following specific effects can be achieved.
As the heat source, the other external heater 52a or 52b provided in the other heat exchanger is generated as a heat source for the self-defrosting operation in the other heat exchanger of the first and second heat exchangers 51a and 51b. Since an external heat source is input, the self-defrosting in the other heat exchanger can be forcibly performed in a short time to prevent freezing, and heat exchange in the other heat exchanger can be prevented. It is efficiently performed from beginning to end, and solvent recovery can be performed more efficiently.

また、第1及び第2の熱交換器51a、51bが、1つの共通のタンク73内に収納され、このタンク73は、溶剤液の回収タンクを兼ねており、第1の熱交換器51aと第2の熱交換器51bとの間には、仕切り壁74が設けられ、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされているので、溶剤回収装置40cをコンパクトに構成して、製作コストを低減することができるとともに、両熱交換器での熱交換を効率良く行わせることができる。   The first and second heat exchangers 51a and 51b are housed in a common tank 73. The tank 73 also serves as a solvent liquid recovery tank. A partition wall 74 is provided between the second heat exchanger 51b and the heat exchange action in each heat exchanger is prevented from interfering with each other. Therefore, the solvent recovery device 40c is configured in a compact manner. Thus, the manufacturing cost can be reduced, and the heat exchange between the two heat exchangers can be performed efficiently.

また、第1及び第2の熱交換器51a、51bは、フィン付き管式熱交換器により構成されているので、熱交換性能に優れたフィン付き管式熱交換器を使用して、第1及び第2の熱交換器51a、51bの氷結しにくい構造を得ることができ、これにより、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。   Moreover, since the 1st and 2nd heat exchangers 51a and 51b are comprised by the finned tubular heat exchanger, the finned tubular heat exchanger excellent in heat exchanging performance is used, And the structure which is hard to freeze of the 2nd heat exchangers 51a and 51b can be obtained, and, thereby, solvent recovery can be performed more efficiently.

次に、本願の発明の第5の実施例(実施例5)について説明する。
図9は、本実施例5の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。本実施例5の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40dは、基本的に、実施例3、4の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置40b、40cを組み合わせた溶剤回収装置に相当している。すなわち、その溶剤回収装置40dは、自己の解凍運転を続行する他方の熱交換器の外部熱源として、溶剤回収装置40bにおいて使用された、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスと、溶剤回収装置40cにおいて使用された、それぞれの熱交換器が備える第1もしくは第2のヒータ52a、52bが発生する熱源とが、ともに使用されたものである。その他の構造部分は、溶剤回収装置40b、40cのそれぞれ対応する部分と特に異なるところはない。
Next, a fifth embodiment (embodiment 5) of the present invention will be described.
FIG. 9 is a schematic schematic configuration diagram of a solvent recovery device provided in the solvent cleaning device of the fifth embodiment. The solvent recovery device 40d included in the solvent cleaning device of the fifth embodiment basically corresponds to a solvent recovery device that is a combination of the solvent recovery devices 40b and 40c included in the solvent cleaning device of the third and fourth embodiments. That is, the solvent recovery device 40d uses the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor 62 of the refrigerator 60, used in the solvent recovery device 40b as an external heat source of the other heat exchanger that continues its thawing operation, The heat sources used in the solvent recovery apparatus 40c and generated by the first or second heaters 52a and 52b included in the respective heat exchangers are used together. Other structural portions are not particularly different from the corresponding portions of the solvent recovery apparatuses 40b and 40c.

図9は、以上のような溶剤回収装置40dと溶剤回収装置40b、40cとの関係が、やや読み取られにくい図面になっているが、膨張弁64a、64bが1つの弁図形の上に合体させられて象徴的に描かれただけであり、その他の部分については、溶剤回収装置40b、40cのそれぞれ対応する部分と、基本的に異なるところはないものである。第1及び第2の熱交換器51a、51bが、フィン付き管式熱交換器により構成され、1つの共通のタンク73内に収納され、このタンク73が、溶剤液の回収タンクを兼ねる点も、実施例4の溶剤回収装置40cと同様である。したがって、これ以上の詳細な説明を省略する。なお、タンク73で回収された溶剤液は、直接、水分離器24に導かれて良い。   In FIG. 9, the relationship between the solvent recovery device 40d and the solvent recovery devices 40b and 40c is slightly difficult to read. However, the expansion valves 64a and 64b are combined on one valve figure. The other portions are basically the same as the corresponding portions of the solvent recovery apparatuses 40b and 40c. The first and second heat exchangers 51a and 51b are constituted by finned tube heat exchangers and are housed in one common tank 73. The tank 73 also serves as a solvent liquid recovery tank. This is the same as the solvent recovery device 40c of Example 4. Therefore, further detailed description is omitted. Note that the solvent liquid recovered in the tank 73 may be directly guided to the water separator 24.

本実施例5の溶剤回収装置40dを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような特有の効果を奏することができる。
第1及び第2の熱交換器51a、51bのうちの他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、冷凍機60の圧縮機62を出た高温冷媒ガスと、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータ52aもしくは52bが発生する外部熱源とが投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍をさらに強制的に、さらに短時間に行って、その氷結をさらに良く防止することができ、溶剤回収がきわめて長時間にわたって連続的に行われたとしても、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
Since the solvent cleaning apparatus provided with the solvent recovery apparatus 40d of the fifth embodiment is configured as described above, the following specific effects can be obtained.
The self-defrosting operation in the other heat exchanger of the first and second heat exchangers 51a and 51b, as its heat source, the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor 62 of the refrigerator 60, and the other Since the external heat source generated by the other external heater 52a or 52b provided in the heat exchanger is turned on, the thawing of the other heat exchanger is further compulsorily performed in a shorter time, and the ice is frozen. Even if the solvent recovery is performed continuously for a very long time, the heat exchange in the other heat exchanger is performed efficiently from start to finish. It can be carried out.

なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されずに、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能である。   The invention of the present application is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

本願の発明の第1の実施例(実施例1)の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置の、当該溶剤回収装置部分を除いた部分の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the part except the said solvent collection | recovery apparatus part of the solvent washing | cleaning apparatus provided with the solvent collection | recovery apparatus of 1st Example (Example 1) of invention of this application. 同溶剤洗浄装置がさらに備える密閉型完全乾燥槽の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the sealed complete drying tank with which the same solvent washing | cleaning apparatus is further provided. 同密閉型完全乾燥槽の他の変形例を示す図である。It is a figure which shows the other modification of the same sealing type complete drying tank. 本願の発明の各実施例の溶剤洗浄装置に共通する溶剤回収装置の一般的な概略構成図である。It is a general schematic block diagram of the solvent collection | recovery apparatus common to the solvent washing | cleaning apparatus of each Example of invention of this application. 本実施例1の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。It is a typical schematic block diagram of the solvent collection | recovery apparatus with which the solvent cleaning apparatus of the present Example 1 is provided. 本願の発明の第2の実施例(実施例2)の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。It is a typical schematic block diagram of the solvent collection | recovery apparatus with which the solvent cleaning apparatus of 2nd Example (Example 2) of invention of this application is provided. 本願の発明の第3の実施例(実施例3)の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。It is a typical schematic block diagram of the solvent collection | recovery apparatus with which the solvent cleaning apparatus of 3rd Example (Example 3) of invention of this application is provided. 本願の発明の第4の実施例(実施例4)の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。It is a typical schematic block diagram of the solvent collection | recovery apparatus with which the solvent cleaning apparatus of 4th Example (Example 4) of invention of this application is provided. 本願の発明の第5の実施例(実施例5)の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。It is a typical schematic block diagram of the solvent collection | recovery apparatus with which the solvent cleaning apparatus of 5th Example (Example 5) of invention of this application is provided. 従来の溶剤洗浄機の一般的な構成を示す図である。It is a figure which shows the general structure of the conventional solvent washer.

符号の説明Explanation of symbols

10…従来の溶剤洗浄機相当部分、11〜13…第1段〜第3段洗浄槽、20…ベーパー槽(蒸気乾燥槽)、21…ヒータ、22…冷却器、23…樋、24…水分離器、25…超音波発振器、26…籠、27…ハンガー、30…密閉型完全乾燥槽、31…シャッター、32…ヒータ、33…ガス攪拌ファン、34a…ガス吸引口、34b…ガス吐出口、35…送風ファン、36…ヒータ、37…フィルター、38…蓋、39…配管、40…溶剤回収装置、41…配管、42…予備冷却器、43…圧縮機、44…配管、50…熱交換器ユニット、51a…第1の熱交換器、51b…第2の熱交換器、52a…第1のヒータ、52b…第2のヒータ、53…配管、54…分離槽(回収タンク)、55…配管、60…冷凍機、61…冷媒配管、61a、61b…分岐冷媒配管、62…圧縮機、63…凝縮器、64a、64b…膨張弁、65a、65b…切替弁、66…三方弁、67a…高温冷媒ガス配管(往路)、67b…高温冷媒ガス配管(復路)、68a、68b…切替弁、69a、69b…切替弁、70…アキュムレータ、71…レシーバタンク、72…配管、73…タンク、74…仕切り壁、75…減圧弁、W…ワーク。















DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Corresponding part for conventional solvent washer, 11-13 ... 1st to 3rd stage washing tank, 20 ... Vapor tank (steam drying tank), 21 ... Heater, 22 ... Cooler, 23 ... Soot, 24 ... Water Separator, 25 ... Ultrasonic oscillator, 26 ... Spear, 27 ... Hanger, 30 ... Sealed complete drying tank, 31 ... Shutter, 32 ... Heater, 33 ... Gas stirring fan, 34a ... Gas suction port, 34b ... Gas discharge port 35 ... Blower fan, 36 ... Heater, 37 ... Filter, 38 ... Lid, 39 ... Piping, 40 ... Solvent recovery device, 41 ... Piping, 42 ... Precooler, 43 ... Compressor, 44 ... Piping, 50 ... Heat Exchanger unit, 51a ... first heat exchanger, 51b ... second heat exchanger, 52a ... first heater, 52b ... second heater, 53 ... piping, 54 ... separation tank (recovery tank), 55 ... Piping, 60 ... Refrigerator, 61 ... Refrigerant piping, 61 61b ... Branch refrigerant piping, 62 ... Compressor, 63 ... Condenser, 64a, 64b ... Expansion valve, 65a, 65b ... Switching valve, 66 ... Three-way valve, 67a ... High-temperature refrigerant gas piping (outward), 67b ... High-temperature refrigerant Gas piping (return path), 68a, 68b ... switching valve, 69a, 69b ... switching valve, 70 ... accumulator, 71 ... receiver tank, 72 ... piping, 73 ... tank, 74 ... partition wall, 75 ... pressure reducing valve, W ... work .















Claims (12)

ワークを溶剤で洗浄して、前記ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、前記ワークを乾燥させるために、
前記ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽と、
複数の前記洗浄槽のうちの最終段洗浄槽を出た前記ワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽と
を備えている溶剤洗浄装置が、
前記蒸気乾燥槽を出た前記ワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽と、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置と
をさらに備えて成る
ことを特徴とする溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
In order to dry the workpiece while washing the workpiece with a solvent to remove oil and particles adhering to the workpiece,
A plurality of cleaning tanks for cleaning the workpiece by immersing it in a solvent solution;
A solvent cleaning apparatus comprising a vapor drying tank for cleaning and drying the workpiece that has exited the final stage cleaning tank among the plurality of cleaning tanks with a solvent vapor,
A closed-type complete drying tank for completely drying the work exiting the steam drying tank in a sealed room;
A solvent cleaning apparatus equipped with a solvent recovery device, further comprising a solvent recovery device that sucks, liquefies, and recovers the solvent vapor generated in the sealed complete drying tank and having an increased gas concentration .
前記密閉型完全乾燥槽は、その内部に前記ワークを加熱・乾燥させるためのヒータと、ガス攪拌ファンとを備え、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した溶剤蒸気を前記ガス攪拌ファンにより攪拌して、槽内に拡散させるようにされている
ことを特徴とする請求項1に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The sealed complete drying tank includes a heater for heating and drying the workpiece inside, and a gas stirring fan,
2. The solvent cleaning apparatus according to claim 1, wherein the solvent vapor generated in the closed complete drying tank is stirred by the gas stirring fan and diffused in the tank. apparatus.
前記密閉型完全乾燥槽は、その内部とガス吸引口及びガス吐出口を介して流体連通する閉鎖循環路を備え、
前記閉鎖循環路には、送風ファンと、ヒータと、フィルターとが設けられており、
前記ガス吸引口より前記送風ファンにより吸引した溶剤蒸気を前記ヒータにより加熱し、前記フィルターにより濾過して、前記ガス吐出口より前記密閉型完全乾燥槽内に吐出するようにされている
ことを特徴とする請求項1に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The sealed complete drying tank includes a closed circuit that is in fluid communication with the inside through a gas suction port and a gas discharge port,
The closed circuit is provided with a blower fan, a heater, and a filter,
Solvent vapor sucked by the blower fan from the gas suction port is heated by the heater, filtered by the filter, and discharged from the gas discharge port into the sealed complete drying tank. A solvent cleaning apparatus comprising the solvent recovery apparatus according to claim 1.
前記溶剤回収装置が、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、
前記予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第1及び第2の熱交換器と、
前記第1及び第2の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、
少なくとも前記第1及び第2の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機と
を備えて成り、
前記第1及び第2の熱交換器は、前記溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようにされており、この位置の切替えに同期して、前記シリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が前記加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、前記シリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転される
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The solvent recovery device is
A precooler that sucks and precools the solvent vapor having an increased gas concentration generated in the sealed complete drying tank;
A compressor that sucks and compresses the solvent vapor exiting the precooler;
First and second heat exchangers that cool and liquefy the pressurized solvent vapor exiting the compressor;
A recovery tank for recovering the solvent liquid exiting the first and second heat exchangers;
A refrigerator that supplies refrigerant gas alternately or simultaneously to at least the first and second heat exchangers,
The first and second heat exchangers are connected in series with the solvent vapor flow so that they are alternately switched between an upstream position and a downstream position of the series connection. In synchronism with the switching of the position, while the one heat exchanger located downstream of the series connection cools the pressurized solvent vapor and continues the cooling operation to liquefy, the series The other heat exchanger located on the upstream side of the connection is alternately switched so that the cooling operation is interrupted and the thawing operation for defrosting itself is continued. A solvent cleaning apparatus comprising the solvent recovery apparatus according to any one of the above.
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、外部熱源の投入が遮断されている
ことを特徴とする請求項4に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The one heat exchanger is supplied with refrigerant gas exiting the refrigerator,
5. The solvent cleaning apparatus having a solvent recovery apparatus according to claim 4, wherein an input of an external heat source is blocked in the other heat exchanger.
前記第1及び第2の熱交換器は、第1及び第2の外部ヒータをそれぞれ備え、
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、前記他方の熱交換器が備える他方の前記外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、
前記他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、前記他方の外部ヒータが発生する外部熱源が前記他方の熱交換器の前記解凍運転をサポートするようにされている
ことを特徴とする請求項4に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The first and second heat exchangers include first and second external heaters, respectively.
The one heat exchanger is supplied with refrigerant gas exiting the refrigerator,
The other heat exchanger is charged with an external heat source generated by the other external heater provided in the other heat exchanger,
The external heat source generated by the other external heater supports the defrosting operation of the other heat exchanger while the other heat exchanger interrupts the cooling operation and continues the defrosting operation to defrost itself. The solvent cleaning apparatus provided with the solvent collection | recovery apparatus of Claim 4 characterized by the above-mentioned.
前記溶剤回収装置が、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、
前記予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第1及び第2の熱交換器と、
前記第1及び第2の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、
少なくとも前記第1及び第2の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機と
を備えて成り、
前記第1及び第2の熱交換器は、前記溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、一方の熱交換器が前記加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、前記溶剤蒸気の流れから切り離された状態で自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転される
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The solvent recovery device is
A precooler that sucks and precools the solvent vapor having an increased gas concentration generated in the sealed complete drying tank;
A compressor that sucks and compresses the solvent vapor exiting the precooler;
First and second heat exchangers that cool and liquefy the pressurized solvent vapor exiting the compressor;
A recovery tank for recovering the solvent liquid exiting the first and second heat exchangers;
A refrigerator that supplies refrigerant gas alternately or simultaneously to at least the first and second heat exchangers,
The first and second heat exchangers are connected in parallel to the flow of the solvent vapor, and one of the heat exchangers continues the cooling operation for cooling and liquefying the pressurized solvent vapor. During the operation, the other heat exchanger is alternately switched to continue the thawing operation by interrupting the cooling operation and continuing the defrosting operation in a state where the heat exchanger is disconnected from the flow of the solvent vapor. A solvent cleaning apparatus comprising the solvent recovery apparatus according to any one of claims 1 to 3.
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、前記冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるようにされている
ことを特徴とする請求項7に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The one heat exchanger is supplied with cryogenic refrigerant gas exiting the expansion valve of the refrigerator,
8. The solvent cleaning apparatus having a solvent recovery apparatus according to claim 7, wherein the other heat exchanger is supplied with a high-temperature refrigerant gas exiting the compressor of the refrigerator. .
前記第1及び第2の熱交換器は、第1及び第2の外部ヒータをそれぞれ備え、
冷却運転を続行する前記一方の熱交換器には、前記冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、
冷却運転を中断する前記他方の熱交換器には、前記他方の熱交換器が備える他方の前記外部ヒータが発生する外部熱源が投入されるようにされている
ことを特徴とする請求項7に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The first and second heat exchangers include first and second external heaters, respectively.
The one heat exchanger that continues the cooling operation is supplied with the refrigerant gas exiting the refrigerator,
The external heat source generated by the other external heater provided in the other heat exchanger is input to the other heat exchanger that interrupts the cooling operation. A solvent cleaning apparatus comprising the solvent recovery apparatus described.
前記第1及び第2の熱交換器は、第1及び第2の外部ヒータをそれぞれ備え、
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、前記冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるとともに、前記他方の熱交換器が備える他方の前記外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、 前記他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、前記他方の外部ヒータが発生する外部熱源が前記他方の熱交換器の前記解凍運転をサポートするようにされている
ことを特徴とする請求項7に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The first and second heat exchangers include first and second external heaters, respectively.
The one heat exchanger is supplied with cryogenic refrigerant gas exiting the expansion valve of the refrigerator,
The other heat exchanger is supplied with an external heat source generated by the other external heater provided in the other heat exchanger while being supplied with the high-temperature refrigerant gas exiting the compressor of the refrigerator. The external heat source generated by the other external heater supports the defrosting operation of the other heat exchanger, while the other heat exchanger interrupts the cooling operation and continues the defrosting operation of defrosting itself. The solvent cleaning apparatus provided with the solvent collection | recovery apparatus of Claim 7 characterized by the above-mentioned.
前記第1及び第2の熱交換器は、1つの共通のタンク内に収納され、
前記タンクは、前記回収タンクを兼ねており、
前記第1の熱交換器と前記第2の熱交換器との間には、仕切り壁が設けられ、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされている
ことを特徴とする請求項9又は10に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
The first and second heat exchangers are housed in one common tank;
The tank also serves as the recovery tank,
A partition wall is provided between the first heat exchanger and the second heat exchanger so that heat exchange actions in the heat exchangers do not interfere with each other. A solvent cleaning apparatus comprising the solvent recovery apparatus according to claim 9.
前記第1及び第2の熱交換器は、フィン付き管式熱交換器により構成されていることを特徴とする請求項9ないし11のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。









12. The solvent cleaning apparatus equipped with the solvent recovery apparatus according to claim 9, wherein the first and second heat exchangers are constituted by finned tube heat exchangers.









JP2006217765A 2006-08-10 2006-08-10 Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus Pending JP2008036595A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006217765A JP2008036595A (en) 2006-08-10 2006-08-10 Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006217765A JP2008036595A (en) 2006-08-10 2006-08-10 Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008036595A true JP2008036595A (en) 2008-02-21

Family

ID=39172214

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006217765A Pending JP2008036595A (en) 2006-08-10 2006-08-10 Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008036595A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016108622A (en) * 2014-12-08 2016-06-20 新日鐵住金株式会社 Oil content separation method and oil content separator for metal cutting chip
CN107470238A (en) * 2017-09-29 2017-12-15 老肯医疗科技股份有限公司 A kind of water circulation system suitable for large-scale medical cleaner

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016108622A (en) * 2014-12-08 2016-06-20 新日鐵住金株式会社 Oil content separation method and oil content separator for metal cutting chip
CN107470238A (en) * 2017-09-29 2017-12-15 老肯医疗科技股份有限公司 A kind of water circulation system suitable for large-scale medical cleaner

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104011285A (en) Clothes Dryer And Method Of Cleaning Evaporator In Clothes Dryer
JP6568114B2 (en) Solid-liquid separator
JPH08505935A (en) Method and apparatus for washing oil from refrigerators and heat pumps
JP2008036595A (en) Solvent washing apparatus provided with solvent recovery apparatus
JP5412775B2 (en) Adsorption refrigerator, control method thereof, and cooling system
KR100969204B1 (en) Refrigerant purifying and collecting apparatus and method thereof
JPH1183245A (en) Refrigerant recovery apparatus and method
JP5318975B2 (en) Substrate processing apparatus using high-pressure processor and gas recycling method for high-pressure processor
CN210613279U (en) Rotary wheel type self-defrosting condensing device
KR100775517B1 (en) Heat interchanging system for manufacturing equipment of semiconductor capable of removing moisture and fluorine in a coolant
KR102163293B1 (en) Flux cleaning system for semiconductor wafer
JP4167720B2 (en) Solvent washer
CN117450680B (en) Refrigerating equipment and refrigerating method capable of recycling condensed water
JP5483536B2 (en) Carbon dioxide cleaning apparatus and carbon dioxide cleaning method
JP4803234B2 (en) Pipe cleaning device
CN112856864B (en) Refrigerant purifying system
JP2734343B2 (en) Vacuum ice making equipment
KR102163298B1 (en) Flux cleaning method for semiconductor wafer
JP2001133060A (en) Heat recovery system for batch plant
JP3225187B2 (en) Solvent recovery device
JP2003071239A (en) Organic solvent recovery system
JP4760119B2 (en) Pipe cleaning method and refrigeration cycle apparatus
JPH0434881Y2 (en)
JPH06108972A (en) Vacuum-drying method
KR101963144B1 (en) System for drying wafer using liquid based on hydrofluoroether