JP2008029459A - Bio-magnetic field measuring instrument and measurement position setting method for bio-magnetic field measuring instrument - Google Patents

Bio-magnetic field measuring instrument and measurement position setting method for bio-magnetic field measuring instrument Download PDF

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  • Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify an operation procedure for setting a measurement position of a test object in a bio-magnetic field measuring instrument, precisely adjust the position in the bio-magnetic field measuring instrument, reduce the occupation space of the measuring instrument and provide a bio-magnetic field measuring instrument attaining the issues and provide a measurement position setting method for the test object in the bio-magnetic field measurement. <P>SOLUTION: This bio-magnetic field measuring instrument includes a measuring means having fluxmeters for measuring magnetic fields generated from the test object, a stage for disposing the test object, a criterion predetermining a positional relation between a predetermined fluxmeter out of the fluxmeters and the stage, a reference position adjusting mechanism capable of horizontally and vertically driving for adjusting the test object and the reference position, a carrier mechanism carrying the stage to the measuring means, and a positioning mechanism disposing the carried stage in a predetermined position of the measuring means. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、超伝導デバイスであるSQUID(Superconducting Quantum Interference Device 超伝導量子干渉素子)磁束計を利用して生体の脳や心臓などから発生する微弱な磁場(磁気、磁界)を計測する生体磁場計測装置に係わる。   The present invention is a biomagnetic field measurement that measures a weak magnetic field (magnetism, magnetic field) generated from the brain, heart, etc. of a living body using a superconducting quantum interference device (SQUID), which is a superconducting device. Related to the device.

特に、容易に被検者と磁束計の位置合わせを可能とする生体磁場計測装置に関する。   In particular, the present invention relates to a biomagnetic field measurement apparatus that enables easy alignment of a subject and a magnetometer.

生体磁場計測装置では、SQUID磁束計が不透明なデュワー等の断熱容器内に設置されているため被検者と磁場センサとの位置関係を正確に把握するのが難しい。   In the biomagnetic field measurement apparatus, since the SQUID magnetometer is installed in an insulating container such as an opaque dewar, it is difficult to accurately grasp the positional relationship between the subject and the magnetic field sensor.

位置関係を把握する手段として、例えば、特許文献1記載の脳磁計に関する技術では、複数のSQUID磁束計を、外形を頭部の曲率に合わせたデュワーの底部に配置し、頭部の複数個所に設置した磁場発生コイルに通電して発生する磁場をSQUID磁束計により計測して、磁場発生コイルにより発生する磁場とSQUID磁束計の出力関係をシミュレートする。   As a means for grasping the positional relationship, for example, in the technique related to the magnetoencephalograph described in Patent Document 1, a plurality of SQUID magnetometers are arranged at the bottom of a dewar whose outer shape is matched to the curvature of the head, and are arranged at a plurality of locations on the head. The magnetic field generated by energizing the installed magnetic field generating coil is measured by the SQUID magnetometer, and the output relationship between the magnetic field generated by the magnetic field generating coil and the SQUID magnetometer is simulated.

SQUID磁束計による出力電圧の理論値と計測値の差を最小とする磁場発生コイルの位置を推定することによって、磁場発生コイルを配置した頭部の個所の位置座標を特定している。   By estimating the position of the magnetic field generating coil that minimizes the difference between the theoretical value and the measured value of the output voltage by the SQUID magnetometer, the position coordinates of the head portion where the magnetic field generating coil is arranged are specified.

また、特許文献2に記載の心磁計に関する技術では、検査対象の剣状突起、頚切根の体表面に各々第1、第2のマーカが配置され、第1、第2のマーカを結ぶ線が、低温容器の内部で磁束計が配列する1方向に沿うように、低温容器底面の下部に腹部が配置され、演算処理装置は磁場波形の信号から心臓の活動に関する機能情報を表す画像を作成する処理と、剣状突起の体表面に第1のマーカを配置して、撮像装置により撮影された心臓を含む形態画像の画素の大きさに、機能情報を表す画像の画素の大きさを一致させ、形態画像と同じ大きさの画素をもつ機能画像を作成する処理、機能画像における第1のマーカの位置を一致させる処理、機能画像と形態画像との合成画像を作成する処理を実行している。   Further, in the technique related to the magnetocardiograph described in Patent Document 2, first and second markers are arranged on the surface of the sword-like projection to be examined and the cervical root, respectively, and a line connecting the first and second markers. However, the abdomen is placed at the bottom of the bottom of the cryocontainer so as to be along one direction in which the magnetometers are arranged inside the cryocontainer, and the arithmetic processing unit creates an image representing functional information related to cardiac activity from the magnetic field waveform signal The first marker is placed on the body surface of the xiphoid process, and the pixel size of the image representing the functional information matches the pixel size of the morphological image including the heart imaged by the imaging device And executing a process for creating a functional image having pixels of the same size as the morphological image, a process for matching the position of the first marker in the functional image, and a process for creating a composite image of the functional image and the morphological image Yes.

特開平4−303416号公報JP-A-4-303416 特開2001−170018号公報JP 2001-170018 A

従来の生体磁場計測装置では、検査対象の測定位置設定方法が、検査対象と検査対象を配置するための基準を合わせるステップと、前記基準と測定装置(測定手段)の基準を合わせるステップのニ段階に分かれており、操作手順が煩雑となる。   In the conventional biomagnetic field measurement apparatus, the measurement position setting method of the inspection object includes a step of aligning the inspection object and a reference for arranging the inspection object, and a step of aligning the reference and the reference of the measurement apparatus (measuring means) The operation procedure is complicated.

また、上記の測定位置設定方法は、正確な位置調整を行うために操作者が検査対象の脇で作業することが要求される。従って、測定装置内部に検査対象に加えて、操作者が配置するスペースが必要となる。   In addition, the measurement position setting method described above requires an operator to work beside the inspection target in order to perform accurate position adjustment. Therefore, a space for the operator to arrange in addition to the inspection object is required inside the measuring apparatus.

そこで、本発明の課題は、生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化すること。また、生体磁場計測装置において正確な位置調整を実現し、測定装置の占有スペースを縮小化すること。   Accordingly, an object of the present invention is to simplify an operation procedure related to setting of a measurement position of an inspection object in a biomagnetic field measurement apparatus. In addition, to achieve accurate position adjustment in the biomagnetic field measurement device, to reduce the space occupied by the measurement device.

そして、上記の課題を達成した生体磁場計測装置及び生体磁気計測における検査対象の測定位置設定方法を提供することにある。   And it is providing the measuring position setting method of the test object in the biomagnetic field measuring device which achieved said subject, and biomagnetic measurement.

上記目的を達成するための本発明の構成は以下の通りである。   The configuration of the present invention for achieving the above object is as follows.

磁束計を備えた測定手段と、
検査対象を配置するためのステージと、
前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、
前記基準と検査対象の測定位置を合わせる基準/検査対象位置調整機構と、
前記ステージを前記測定手段に搬送するステージ搬送機構と、
前記ステージを前記測定手段の予め決められた位置に決定するステージ位置決め機構を備えたことを特徴とする。
A measuring means with a magnetometer;
A stage for placing inspection objects;
A standard for determining the positional relationship between the measuring means and the stage;
A reference / inspection object position adjusting mechanism for aligning the measurement position of the inspection object with the reference;
A stage transport mechanism for transporting the stage to the measuring means;
A stage positioning mechanism is provided for determining the stage at a predetermined position of the measuring means.

本発明によれば、生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化することができ、また同時に正確な位置調整が実現可能となる。さらに、測定装置の占有スペースを縮小化することができる。   According to the present invention, it is possible to simplify the operation procedure related to the setting of the measurement position of the inspection object in the biomagnetic field measurement apparatus, and at the same time, it is possible to realize accurate position adjustment. Furthermore, the space occupied by the measuring device can be reduced.

本発明の生体磁場計測装置の代表的な構成について説明する。   A typical configuration of the biomagnetic field measurement apparatus of the present invention will be described.

本発明の生体磁場計測装置は、磁気シールドルームと、検査対象の磁場を計測するためのSQUID磁束計(測定手段の磁束計)と、SQUID磁束計を冷却する低温容器と、低温容器の位置を固定するガンドリーと、低温容器に冷媒を供給するための冷媒供給ルートと、低温容器の冷媒が蒸発したガスを磁気シールドルームの外部に排出するためのガス排気ルートと、検査対象を測定位置に搬送させるためのステージと、検査対象の配置を決定する基準平面(基準)とを具備している。   The biomagnetic field measurement apparatus of the present invention includes a magnetic shield room, a SQUID magnetometer for measuring a magnetic field to be inspected (a magnetometer of a measuring means), a cryocontainer that cools the SQUID magnetometer, and the position of the cryocontainer. Gandries to be fixed, a refrigerant supply route for supplying refrigerant to the cryogenic container, a gas exhaust route for discharging the gas evaporated from the refrigerant in the cryogenic container to the outside of the magnetic shield room, and the inspection object to the measurement position And a reference plane (reference) for determining the arrangement of the inspection object.

磁気シールドルームは、ステージが収納可能な最小限の形状を有する。   The magnetic shield room has a minimum shape that can accommodate the stage.

基準平面(基準)に配置された基準マーカは、基準平面(基準)とSQUID磁束計から基準平面(基準)に下ろした垂線との交点に配置される。   The reference marker arranged on the reference plane (reference) is arranged at the intersection of the reference plane (reference) and the perpendicular line drawn from the SQUID magnetometer to the reference plane (reference).

基準マーカと検査対象の測定位置をあわせるために、ステージはステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)およびステージ位置調整機構(z軸方向の基準/検査対象位置調整機構)を備える。   In order to match the measurement position of the reference marker and the inspection object, the stage is equipped with a stage position adjustment mechanism (x-axis direction reference / inspection object position adjustment mechanism) and stage position adjustment mechanism (y-axis direction reference / inspection object position adjustment mechanism). And a stage position adjustment mechanism (z-axis direction reference / inspection object position adjustment mechanism).

ステージ位置調整機構(基準/検査対象位置調整機構)は、x軸方向、y軸方向、z軸方向に位置を移動する位置調整駆動手段を有する。   The stage position adjustment mechanism (reference / inspection object position adjustment mechanism) has position adjustment drive means for moving the position in the x-axis direction, the y-axis direction, and the z-axis direction.

基準平面(基準)は、例えば、アクリル板(非磁性材料)のような光透過性の高い材料で構成されている。ステージの搬送は、ステージ搬送機構を使用する。   The reference plane (reference) is made of a highly light-transmitting material such as an acrylic plate (nonmagnetic material), for example. The stage is transported using a stage transport mechanism.

ステージ搬送機構は、例えば、ステージと、スライドレールと、ベアリングから構成される。ステージ搬送機構により、ステージはステージ駆動方向(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)へ搬送される。   A stage conveyance mechanism is comprised from a stage, a slide rail, and a bearing, for example. The stage is transported in the stage driving direction (reference in the y-axis direction / inspection position adjusting mechanism) by the stage transport mechanism.

ステージ位置決め機構は、例えば、ステージ位置決めピンとステージ位置決め溝から構成される。ステージ位置決め機構は、y軸方向の位置ずれ(言い換えると、y軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。   The stage positioning mechanism includes, for example, a stage positioning pin and a stage positioning groove. The stage positioning mechanism is desired to be configured to reduce the displacement in the y-axis direction (in other words, vibration in the y-axis direction).

上記構成を実現するために、ステージ位置決めピンに衝突時の衝撃を吸収する弾性材(例えば、ゴムやスポンジ)を使用する。また、ステージ位置決め溝のステージ位置決めピンとの接触面に粘着テープを使用する。   In order to realize the above configuration, an elastic material (for example, rubber or sponge) that absorbs an impact at the time of collision is used for the stage positioning pin. Moreover, an adhesive tape is used for the contact surface of the stage positioning groove with the stage positioning pin.

検査対象を測定位置に搬送後、ステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)を使用して、x軸方向の位置ずれを補正することが可能である。また同時に、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)を使用して、y軸方向の位置ずれを補正することが可能である。   After transporting the inspection object to the measurement position, it is possible to correct the positional deviation in the x-axis direction using a stage position adjustment mechanism (reference in the x-axis direction / inspection object position adjustment mechanism). At the same time, it is possible to correct the positional deviation in the y-axis direction using the stage position adjusting mechanism (reference in the y-axis direction / inspection position adjusting mechanism).

基準平面(基準)は、検査対象を配置するステージに取り付けられる。また、基準平面(基準)は、検査対象の配置を容易にするために基準位置調整機構を備えている。具体的に基準平面(基準)は、基準平面位置決め機構と基準平面駆動機構を具備している。   The reference plane (reference) is attached to the stage on which the inspection object is arranged. Further, the reference plane (reference) includes a reference position adjusting mechanism for facilitating the arrangement of the inspection object. Specifically, the reference plane (reference) includes a reference plane positioning mechanism and a reference plane drive mechanism.

基準平面位置決め機構は、基準平面とステージとの平行度を保持する機能がある。本機能を実現するための1つの手段として、例えば、L字アングルを利用することができる。   The reference plane positioning mechanism has a function of maintaining the parallelism between the reference plane and the stage. As one means for realizing this function, for example, an L-shaped angle can be used.

この基準平面位置決め機構33は、ステージに直接取り付けられている。この基準平面(基準)は、検査対象がステージとの間に配置されるように基準平面位置決め機構へ取り付けられている。   The reference plane positioning mechanism 33 is directly attached to the stage. This reference plane (reference) is attached to the reference plane positioning mechanism so that the inspection object is disposed between the reference plane and the stage.

ただし、検査対象が容易にステージへ配置できるよう、基準平面(基準)は、基準平面駆動機構が備えられている。これより基準平面(基準)は、位置調整が可能となる。   However, the reference plane (reference) is provided with a reference plane drive mechanism so that the inspection object can be easily arranged on the stage. Thus, the position of the reference plane (reference) can be adjusted.

次に本発明の内容を実施例に基づき説明する。   Next, the contents of the present invention will be described based on examples.

図1に示すように、本発明の生体磁場計測装置は、磁気シールドルーム1と、検査対象の磁場を計測するためのSQUID磁束計12と、SQUID磁束計12を冷却する低温容器5と、低温容器5の位置を固定するガンドリー6と、低温容器5に冷媒を供給するための冷媒供給ルート7と、低温容器5の冷媒が蒸発したガスを磁気シールドルーム1外部に排出するためのガス排気ルート8と、検査対象11を測定位置に搬送させるためのステージ9と、検査対象11の配置を決定する基準平面10(基準)とを具備している。   As shown in FIG. 1, the biomagnetic field measurement apparatus of the present invention includes a magnetic shield room 1, a SQUID magnetometer 12 for measuring a magnetic field to be examined, a cryogenic container 5 for cooling the SQUID magnetometer 12, and a low temperature. Gandry 6 for fixing the position of the container 5, a refrigerant supply route 7 for supplying the refrigerant to the low temperature container 5, and a gas exhaust route for discharging the gas evaporated from the refrigerant in the low temperature container 5 to the outside of the magnetic shield room 1. 8, a stage 9 for transporting the inspection object 11 to the measurement position, and a reference plane 10 (reference) for determining the arrangement of the inspection object 11.

磁気シールドルームは1、ステージ9が収納可能な最小限の形状を有している。これにより、生体磁気計測装置のスペースが縮小することが可能となる。   The magnetic shield room 1 has a minimum shape that can accommodate the stage 9. As a result, the space of the biomagnetic measurement device can be reduced.

基準平面10(基準)に配置された基準マーカ10aは、基準平面10(基準)とSQUID磁束計12から基準平面10(基準)に下ろした垂線(つまり、基準平面の法線(z軸方向)13)との交点にある。   The reference marker 10a arranged on the reference plane 10 (reference) is a perpendicular line drawn from the reference plane 10 (reference) and the SQUID magnetometer 12 to the reference plane 10 (reference) (that is, the normal of the reference plane (z-axis direction)). 13) at the intersection.

基準マーカ11aと検査対象の測定位置11aをあわせるために、ステージ9はステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)17、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)16およびステージ位置調整機構(z軸方向の基準/検査対象位置調整機構)18を備える。   In order to align the reference marker 11a with the measurement position 11a of the inspection object, the stage 9 includes a stage position adjustment mechanism (x-axis direction reference / inspection object position adjustment mechanism) 17, a stage position adjustment mechanism (y-axis direction reference / inspection object). A position adjustment mechanism) 16 and a stage position adjustment mechanism (reference / inspection position adjustment mechanism in the z-axis direction) 18.

操作者は検査対象の測定位置11aを基準平面10(基準)から目で確認しながら調整するので、基準平面10(基準)を通して検査対象の位置を確認できることが望まれる。   Since the operator adjusts the measurement position 11a of the inspection object while visually confirming from the reference plane 10 (reference), it is desirable that the position of the inspection object can be confirmed through the reference plane 10 (reference).

従って、基準平面10(基準)は、例えば、アクリル板のような光透過性の高い材料で構成されている。特に、無色透明なアクリル板は、容易に検査対象の位置を確認することができる。   Therefore, the reference plane 10 (reference) is made of a material having high light transmittance such as an acrylic plate. In particular, the colorless and transparent acrylic plate can easily confirm the position of the inspection object.

また、生体磁場計測装置では磁場を測定するので、基準平面10(基準)は非磁性材料を使用することが望ましい。非磁性材料以外の場合、検査対象の磁場測定に影響を与えない対策、例えば、磁場測定時に基準平面10(基準)を取り外して磁場測定をおこなう。   Since the biomagnetic field measuring apparatus measures a magnetic field, it is desirable to use a non-magnetic material for the reference plane 10 (reference). In the case of materials other than non-magnetic materials, measures that do not affect the magnetic field measurement to be inspected, for example, the reference plane 10 (reference) is removed during the magnetic field measurement, and the magnetic field measurement is performed.

検査対象11の位置調整後、検査対象を測定位置に搬送する。ステージ9の搬送は、ステージ搬送機構14を使用する。ステージ搬送機構14は、例えば、ステージ9と、スライドレール14aと、ベアリング(14b〜14e)から構成される。   After adjusting the position of the inspection object 11, the inspection object is transported to the measurement position. The stage 9 is transported using a stage transport mechanism 14. The stage transport mechanism 14 includes, for example, a stage 9, a slide rail 14a, and bearings (14b to 14e).

ステージ搬送機構14では、ステージ9をx軸方向の位置ずれ(言い換えると、x軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。   The stage transport mechanism 14 is desired to have a configuration in which the position of the stage 9 is reduced in the x-axis direction (in other words, vibration in the x-axis direction).

また、検査対象に衝撃を与えないように搬送するために、ステージ搬送機構14は、z軸方向の位置ずれ(言い換えると、z軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。ステージ搬送機構14により、ステージ9はステージ駆動方向(y軸方向)20へ搬送される。   Further, in order to transport the inspection object without impact, the stage transport mechanism 14 is desired to have a configuration in which the displacement in the z-axis direction (in other words, vibration in the z-axis direction) is reduced. The stage 9 is transported in the stage drive direction (y-axis direction) 20 by the stage transport mechanism 14.

この時、検査対象11および基準平面10(基準)は低温容器5に衝突しない。操作者がステージ9をステージ位置決め機構15まで搬送すると、検査対象は測定位置に配置される。図では、検査対象は足から測定位置に搬入されるが、頭から測定位置に搬入しても良い。   At this time, the inspection object 11 and the reference plane 10 (reference) do not collide with the cryogenic container 5. When the operator transports the stage 9 to the stage positioning mechanism 15, the inspection target is placed at the measurement position. In the figure, the inspection object is carried from the foot to the measurement position, but may be carried from the head to the measurement position.

机19は、計算機3、モニタ4を載置する。SQUID磁束計12の信号は、駆動回路信号ケーブル21を介して駆動回路2に送られる。駆動回路2の信号は、測定データ転送ケーブル22を介して計算機3に送られる。
図2に示すように、検査対象は測定位置に配置される。この時、検査対象の測定位置11aは、特定位置のSQUID磁束計12aから基準平面10(基準)に下ろした垂線、つまり基準平面(基準)の法線(z軸方向)13)と同一直線上に配置される。
The desk 19 mounts the computer 3 and the monitor 4. The signal of the SQUID magnetometer 12 is sent to the drive circuit 2 via the drive circuit signal cable 21. The signal of the drive circuit 2 is sent to the computer 3 via the measurement data transfer cable 22.
As shown in FIG. 2, the inspection object is placed at the measurement position. At this time, the measurement position 11a to be inspected is on the same straight line as the perpendicular line drawn from the SQUID magnetometer 12a at the specific position to the reference plane 10 (reference), that is, the normal line (z-axis direction) 13) of the reference plane (reference). Placed in.

位置あわせの精度および再現性を決定するステージ位置決め機構15は、例えば、ステージ位置決めピン9aとステージ位置決め溝15aから構成される。   The stage positioning mechanism 15 that determines the accuracy and reproducibility of alignment includes, for example, a stage positioning pin 9a and a stage positioning groove 15a.

ステージ位置決め機構15は、y軸方向の位置ずれ(言い換えると、y軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。上記構成を実現するために、ステージ位置決めピン9aに衝突時の衝撃を吸収する弾性材(例えば、ゴムやスポンジ)を使用する。   The stage positioning mechanism 15 is desired to have a configuration that reduces the displacement in the y-axis direction (in other words, vibration in the y-axis direction). In order to realize the above configuration, an elastic material (for example, rubber or sponge) that absorbs an impact at the time of collision is used for the stage positioning pin 9a.

また、ステージ位置決め溝のステージ位置決めピンとの接触面に粘着テープを使用する。また、投錨効果を利用した方法を使用することもできる。   Moreover, an adhesive tape is used for the contact surface of the stage positioning groove with the stage positioning pin. A method using a throwing effect can also be used.

図3に示すように、ステージ9に搭載される検査対象11は測定位置に配置される。   As shown in FIG. 3, the inspection object 11 mounted on the stage 9 is arranged at the measurement position.

予め基準平面10(基準)の基準マーカ10aに位置調整された検査対象の測定位置11aは、ステージ搬送機構により搬送され、特定位置のSQUID磁束計12aから基準平面10(基準)に下ろした垂線、つまり基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と同一直線上に配置される。   The measurement position 11a to be inspected, which has been adjusted in advance to the reference marker 10a on the reference plane 10 (reference), is transported by the stage transport mechanism, and is a perpendicular drawn from the SQUID magnetometer 12a at the specific position to the reference plane 10 (reference). That is, they are arranged on the same straight line as the normal line (z-axis direction) 13 of the reference plane (reference).

基準平面10(基準)の基準マーカ10aは、ステージ位置決め機構15により基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。   The reference marker 10 a on the reference plane 10 (reference) matches the normal line (z-axis direction) 13 of the reference plane (reference) by the stage positioning mechanism 15.

したがって、検査対象の測定位置11aは基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。この場合、x軸方向の位置の正確さと精度は、ステージ位置決め機構15によって決定する。   Therefore, the measurement position 11a to be inspected coincides with the normal line (z-axis direction) 13 of the reference plane (reference). In this case, the accuracy and precision of the position in the x-axis direction are determined by the stage positioning mechanism 15.

また、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)16を使用して、y軸方向の位置ずれを補正することが可能である。   Further, it is possible to correct the positional deviation in the y-axis direction by using the stage position adjusting mechanism (reference in y-axis direction / inspection object position adjusting mechanism) 16.

さらに、基準平面の大きさ(y軸方向)10bは、検査対象11が低温容器5の底面と衝突防止ために、検査対象11の頭から腹部が覆われることが望ましい。または、検査対象11の顎から腹部が覆われていても良い。   Furthermore, the reference plane size (y-axis direction) 10b is preferably such that the abdomen is covered from the head of the inspection object 11 in order to prevent the inspection object 11 from colliding with the bottom surface of the cryogenic container 5. Alternatively, the abdomen may be covered from the jaw of the inspection object 11.

図4に示すように、ステージ9に搭載される検査対象11は測定位置に配置される。   As shown in FIG. 4, the inspection object 11 mounted on the stage 9 is disposed at the measurement position.

予め基準平面10(基準)の基準マーカ10aに位置調整された検査対象の測定位置11aは、ステージ搬送機構により搬送され、特定位置のSQUID磁束計12aから基準平面10(基準)に下ろした垂線、つまり基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と同一直線上に配置される。   The measurement position 11a to be inspected, which has been adjusted in advance to the reference marker 10a on the reference plane 10 (reference), is transported by the stage transport mechanism, and is a perpendicular drawn from the SQUID magnetometer 12a at the specific position to the reference plane 10 (reference). That is, they are arranged on the same straight line as the normal line (z-axis direction) 13 of the reference plane (reference).

基準平面10(基準)の基準マーカ10aは、ステージ位置決め機構15により基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。   The reference marker 10 a on the reference plane 10 (reference) matches the normal line (z-axis direction) 13 of the reference plane (reference) by the stage positioning mechanism 15.

したがって、検査対象の測定位置11aは基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。この場合、x軸方向の位置の正確さと精度は、ステージ搬送機構14によって決定する。   Therefore, the measurement position 11a to be inspected coincides with the normal line (z-axis direction) 13 of the reference plane (reference). In this case, the accuracy and precision of the position in the x-axis direction are determined by the stage transport mechanism 14.

また、ステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)17を使用して、x軸方向の位置ずれを補正することが可能である。   Further, it is possible to correct the positional deviation in the x-axis direction by using the stage position adjustment mechanism (x-axis direction reference / inspection object position adjustment mechanism) 17.

さらに、基準平面(基準)の大きさ(x軸方向)10cは、検査対象11が低温容器5の底面と衝突防止ために、検査対象を十分配置が可能なステージの幅(x軸方向)以下が望ましい。   Furthermore, the size (x-axis direction) 10c of the reference plane (reference) is equal to or less than the width of the stage (x-axis direction) at which the inspection object 11 can be sufficiently arranged to prevent the inspection object 11 from colliding with the bottom surface of the cryogenic vessel 5. Is desirable.

図7に示すように、基準平面10(基準)は、検査対象11を配置するステージ9に取り付けられる。   As shown in FIG. 7, the reference plane 10 (reference) is attached to the stage 9 on which the inspection object 11 is arranged.

また、基準平面10(基準)は、検査対象の配置を容易にするために基準位置調整機構を備えている。具体的に基準平面10(基準)は、基準平面位置決め機構30と、基準平面位置決め機構33と、基準平面駆動機構34と、基準平面駆動機構32とを具備している。   Further, the reference plane 10 (reference) is provided with a reference position adjusting mechanism for facilitating the arrangement of inspection objects. Specifically, the reference plane 10 (reference) includes a reference plane positioning mechanism 30, a reference plane positioning mechanism 33, a reference plane driving mechanism 34, and a reference plane driving mechanism 32.

基準平面位置決め機構30は、基準平面10とステージとの平行度を保持する機能がある。本機能を実現するための1つの手段として、例えば、L字アングルを利用することができる。   The reference plane positioning mechanism 30 has a function of maintaining the parallelism between the reference plane 10 and the stage. As one means for realizing this function, for example, an L-shaped angle can be used.

基準平面位置決め機構30は、基準平面位置決め機構33に1つ、または複数取り付けられている。この基準平面位置決め機構33は、ステージに直接取り付けられている。または、基準平面駆動機構32を介してステージに間接的に取り付けられている。   One or more reference plane positioning mechanisms 30 are attached to the reference plane positioning mechanism 33. The reference plane positioning mechanism 33 is directly attached to the stage. Alternatively, it is indirectly attached to the stage via the reference plane drive mechanism 32.

この基準平面10(基準)は、検査対象がステージ9との間に配置されるように基準平面位置決め機構30へ取り付けられている。ただし、検査対象が容易にステージへ配置できるよう、基準平面10(基準)には基準平面駆動機構34が備えられている。   The reference plane 10 (reference) is attached to the reference plane positioning mechanism 30 so that the inspection target is arranged between the stage 9 and the reference plane. However, the reference plane 10 (reference) is provided with a reference plane drive mechanism 34 so that the inspection object can be easily arranged on the stage.

これより基準平面10(基準)は、基準平面駆動方向29に位置調整が可能となる。また、基準平面10(基準)は、基準平面駆動機構32により基準平面駆動方向(x軸方向)31への位置調整が可能となる。   As a result, the position of the reference plane 10 (reference) can be adjusted in the reference plane driving direction 29. Further, the position of the reference plane 10 (reference) in the reference plane drive direction (x-axis direction) 31 can be adjusted by the reference plane drive mechanism 32.

また、基準平面10(基準)は、z軸方向への基準位置調整機構を備えていても良い。検査対象の生体磁場計測のために、基準平面位置決め機構30、基準平面位置決め機構33、基準平面駆動機構34、および基準平面駆動機構32は、非磁性材料で構成するのが望ましい。   Further, the reference plane 10 (reference) may include a reference position adjustment mechanism in the z-axis direction. In order to measure the biomagnetic field to be examined, it is desirable that the reference plane positioning mechanism 30, the reference plane positioning mechanism 33, the reference plane drive mechanism 34, and the reference plane drive mechanism 32 are made of a nonmagnetic material.

図5に示すように、基準平面10(基準)の基準マーカは、基準平面(基準)の法線と同軸のレーザ25で構成される。   As shown in FIG. 5, the reference marker on the reference plane 10 (reference) is composed of a laser 25 coaxial with the normal line of the reference plane (reference).

基準平面10(基準)の基準マーカは、基準平面10(基準)と、基準平面10(基準)に取り付けられたレーザ発振器24と反射板23から構成される。操作者は、基準平面(基準)の法線と同軸のレーザ25を検査対象の測定位置11aに位置調整する。   The reference marker on the reference plane 10 (reference) is composed of the reference plane 10 (reference), a laser oscillator 24 attached to the reference plane 10 (reference), and a reflector 23. The operator adjusts the position of the laser 25 coaxial with the normal of the reference plane (reference) to the measurement position 11a to be inspected.

この位置調整はy方向である。   This position adjustment is in the y direction.

検査対象の生体磁場計測のために、反射板23とレーザ発振器24は比磁性材料で構成されるのが望ましい。レーザ発振器24は検査対象の位置合わせをする時に使用し、検査対象の磁場測定の際には使用しない。   In order to measure the biomagnetic field to be examined, it is desirable that the reflector 23 and the laser oscillator 24 be made of a specific magnetic material. The laser oscillator 24 is used when aligning the inspection object, and is not used when measuring the magnetic field of the inspection object.

図6に示すように、基準平面10の基準マーカは、基準平面の法線と同軸のレーザ28で構成される。   As shown in FIG. 6, the reference marker on the reference plane 10 is composed of a laser 28 coaxial with the normal of the reference plane.

基準平面10の基準マーカは、基準平面10と、基準平面10に取り付けられたレーザ発振器27と反射板26から構成される。操作者は、基準平面の法線と同軸のレーザ28を検査対象の測定位置11aに位置調整する。   The reference marker on the reference plane 10 includes a reference plane 10, a laser oscillator 27 attached to the reference plane 10, and a reflection plate 26. The operator adjusts the position of the laser 28 coaxial with the normal of the reference plane to the measurement position 11a to be inspected.

この位置調整はx方向である。x方向とy方向の位置調整を併せてすることにより、正確な検査対象の測定位置11aの位置調整が行なわれる。   This position adjustment is in the x direction. By combining the position adjustment in the x direction and the y direction, the position of the measurement position 11a to be inspected accurately can be adjusted.

検査対象の生体磁場計測のために、反射板26とレーザ発振器27は比磁性材料で構成されるのが望ましい。レーザ発振器27は検査対象の位置合わせをする時に使用し、検査対象の磁場測定の際には使用しない。   In order to measure the biomagnetic field to be examined, it is desirable that the reflector 26 and the laser oscillator 27 are made of a specific magnetic material. The laser oscillator 27 is used when aligning the inspection object, and is not used when measuring the magnetic field of the inspection object.

図8に示すように、磁気シールドルーム1が密閉型の形状を有している。   As shown in FIG. 8, the magnetic shield room 1 has a sealed shape.

この場合、検査対象11を搬送するステージ9は、レール1および2(36aと36b)によりステージ駆動方向(x軸方向)35へ搬送される。   In this case, the stage 9 that transports the inspection object 11 is transported in the stage drive direction (x-axis direction) 35 by the rails 1 and 2 (36a and 36b).

図11に示す磁気シールドルーム1でもステージは、ステージ駆動方向がx軸方向に搬送移動する。   In the magnetic shield room 1 shown in FIG. 11, the stage is transported and moved in the x-axis direction in the stage driving direction.

図9に示すように、基準平面(基準)の大きさ(y軸方向)10bは、操作者37が検査対象の測定位置11aを指で確認できるような寸法が望ましい。具体的には、磁束計の測定範囲と等しい大きさ(y軸方向)が望ましい。   As shown in FIG. 9, the size (y-axis direction) 10b of the reference plane (reference) is preferably such that the operator 37 can confirm the measurement position 11a to be inspected with a finger. Specifically, a size (y-axis direction) equal to the measurement range of the magnetometer is desirable.

図10に示すように、基準平面(基準)の大きさ(x軸方向)10cは、操作者37が検査対象の測定位置aを指で確認できるような寸法が望ましい。具体的には、磁束計の測定範囲と等しい大きさ(x軸方向)が望ましい。   As shown in FIG. 10, the size (x-axis direction) 10c of the reference plane (reference) is preferably a dimension that allows the operator 37 to confirm the measurement position a to be inspected with a finger. Specifically, a size equal to the measurement range of the magnetometer (x-axis direction) is desirable.

上記実施例では、測定手段が一つの磁束計である。測定手段は、一つまたは複数の磁束計を有することが可能である。基準平面(基準)には、一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つが交点を結ぶことにより、残りの磁束計の位置が合うように仕組まれた構成が構築されている。   In the above embodiment, the measuring means is a single magnetometer. The measuring means can have one or more magnetometers. In the reference plane (reference), a predetermined structure among one or a plurality of magnetometers is connected to form an intersection so that the positions of the remaining magnetometers are aligned.

最後に上述した実施例を生体磁場計測装置の測定位置設定方法の観点からまとめる。   Finally, the above-described embodiments are summarized from the viewpoint of the measurement position setting method of the biomagnetic field measurement apparatus.

まず、操車者の操作により、測定手段が備えられたステージに検査対象は配置するステップが実行される。引き続き、操車者の操作により、測定手段とステージの位置関係を予め定めた基準平面(基準)が基準位置調整機構を用いて検査対象に配置するステップが実行される。   First, a step of placing the inspection object on the stage provided with the measuring means is executed by the operation of the driver. Subsequently, a step is performed in which a reference plane (reference) in which the positional relationship between the measurement means and the stage is determined in advance is arranged on the inspection object using the reference position adjustment mechanism by the operation of the vehicle operator.

この後、操作者の操作により、基準平面(基準)に検査対象を基準/検査対象位置調整機構を用いて位置調整するステップが実行される。引き続き、操車者の操作により、測定手段にステージを搬送するステップが実行される。   Thereafter, a step of adjusting the position of the inspection object on the reference plane (reference) using the reference / inspection object position adjusting mechanism is performed by the operation of the operator. Subsequently, a step of transporting the stage to the measuring means is executed by the operation of the driver.

さらに、操作者の操作により、測定手段の予め決められた位置にステージ位置決め機構を用いてステージを位置決め配置するステップが実行される。この測定位置設定方法を実行することにより、生体磁場計測装置による精度の良い測定が行なわれる。   Furthermore, a step of positioning and arranging the stage using a stage positioning mechanism at a predetermined position of the measuring means is executed by the operation of the operator. By executing this measurement position setting method, accurate measurement is performed by the biomagnetic field measurement apparatus.

本発明における第1の実施例の生体磁場計測装置の全体の構成例を示した図。特に、検査対象の位置調整を磁気シールドルームの外部で実施した例。The figure which showed the example of a whole structure of the biomagnetic field measuring apparatus of 1st Example in this invention. In particular, an example of adjusting the position of the inspection object outside the magnetic shield room. 本発明における第1の実施例の生体磁場計測装置の全体の構成例を示した図。特に、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。The figure which showed the example of a whole structure of the biomagnetic field measuring apparatus of 1st Example in this invention. The figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in a measurement position especially. 本発明の第1の実施例において、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面のマーカおよび検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(y−z平面)。The figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in the measurement position in 1st Example of this invention. In particular, a diagram (y-z plane) illustrating the positional relationship between a SQUID magnetometer at a specific position, a marker on a reference plane, and a measurement position of an inspection target. 本発明の第1の実施例において、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面のマーカおよび検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(x−z平面)。The figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in the measurement position in 1st Example of this invention. In particular, a diagram (xz plane) illustrating the positional relationship between a SQUID magnetometer at a specific position, a marker on a reference plane, and a measurement position of an inspection target. 本発明における第2の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面の法線と同軸のレーザ1および検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(y−z平面)。The figure which showed the structural example of the reference plane of the biomagnetic field measuring device of 2nd Example in this invention, and the figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in a measurement position. In particular, a diagram (y-z plane) illustrating the positional relationship between the SQUID magnetometer at a specific position, the laser 1 coaxial with the normal of the reference plane, and the measurement position of the inspection object. 本発明における第2の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面の法線と同軸のレーザ2および検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(x−z平面)。The figure which showed the structural example of the reference plane of the biomagnetic field measuring device of 2nd Example in this invention, and the figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in a measurement position. In particular, a diagram (xz plane) illustrating a positional relationship among a SQUID magnetometer at a specific position, a laser 2 coaxial with the normal of a reference plane, and a measurement position of an inspection target. 本発明の第1の実施例において、ステージに取り付けられた基準平面を説明した図。特に、基準平面の駆動方向を説明した図(x−z平面)。The figure explaining the reference plane attached to the stage in the 1st example of the present invention. In particular, a diagram illustrating the driving direction of the reference plane (xz plane). 本発明における第3の実施例の生体磁場計測装置の全体構成例を示した図。特に、検査対象の位置調整を磁気シールドルームの内部で実施した例で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。The figure which showed the example of whole structure of the biomagnetic field measuring apparatus of the 3rd Example in this invention. The figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in the measurement position in the example which implemented especially the position adjustment of the test object inside the magnetic shield room. 本発明における第4の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、基準平面の大きさを説明した図(y−z平面)。The figure which showed the structural example of the reference plane of the biomagnetic field measuring device of 4th Example in this invention, and the figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in a measurement position. In particular, a diagram illustrating the size of the reference plane (yz plane). 本発明における第4の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、基準平面の大きさを説明した図(x−z平面)。The figure which showed the structural example of the reference plane of the biomagnetic field measuring device of 4th Example in this invention, and the figure explaining the state which has arrange | positioned the test object mounted in a stage in a measurement position. In particular, a diagram illustrating the size of the reference plane (xz plane). 本発明における第1の実施例の生体磁場計測装置で、別の磁気シールドルームの例を示した図。The figure which showed the example of another magnetic shield room in the biomagnetic field measuring apparatus of 1st Example in this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…磁気シールドルーム、1a…磁気シールドルームの床、2…駆動回路、3…計算機、4…モニタ、5…低温容器、6…ガントリー、7…冷媒供給ルート、8…ガス排気ルート、9…ステージ、9a…ステージ位置決めピン、10…基準平面(基準)、10a…基準のマーカ、10b…基準平面の大きさ(y軸方向)、10c…基準平面の大きさ(x軸方向)、11…検査対象、11a…検査対象の測定位置、12…SQUID磁束計、12a…特定位置のSQUID磁束計、13…基準平面の法線(z軸方向)、14…ステージ搬送機構、14a…スライドレール、14b…ベアリング1、14c…ベアリング2、14d…ベアリング3、14e…ベアリング4、15…ステージ位置決め機構、15a…ステージ位置決め溝、16…ステージ位置調整機構(y軸方向)、17…ステージ位置調整機構(x軸方向)、18…ステージ位置調整機構(z軸方向)、19…机、20…ステージ駆動方向(y軸方向)、21…駆動回路信号ケーブル、22…測定データ転送ケーブル、23…反射板1、24…レーザ発振器(第一のレーザ)、25…基準平面の法線と同軸のレーザ1(第一のレーザ)、26…反射板2、27…レーザ発振器(第ニのレーザ)、28…基準平面の法線と同軸のレーザ2(第ニのレーザ)、29…基準平面駆動方向1、30…基準平面位置決め機構1、31…基準平面駆動方向2(x軸方向)、32…基準平面駆動機構2、33…基準平面位置決め機構2、34…基準平面駆動機構1、35…ステージ駆動方向(x軸方向)、36a…レール1、36b…レール2、37…操作者。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic shield room, 1a ... Magnetic shield room floor, 2 ... Drive circuit, 3 ... Computer, 4 ... Monitor, 5 ... Low temperature container, 6 ... Gantry, 7 ... Refrigerant supply route, 8 ... Gas exhaust route, 9 ... Stage, 9a ... Stage positioning pin, 10 ... Reference plane (reference), 10a ... Reference marker, 10b ... Reference plane size (y-axis direction), 10c ... Reference plane size (x-axis direction), 11 ... Inspection object, 11a ... Measurement position of inspection object, 12 ... SQUID magnetometer, 12a ... SQUID magnetometer at a specific position, 13 ... Normal of reference plane (z-axis direction), 14 ... Stage transport mechanism, 14a ... Slide rail, 14b ... Bearing 1, 14c ... Bearing 2, 14d ... Bearing 3, 14e ... Bearing 4, 15 ... Stage positioning mechanism, 15a ... Stage positioning groove, 16 ... ST Position adjustment mechanism (y-axis direction), 17 ... stage position adjustment mechanism (x-axis direction), 18 ... stage position adjustment mechanism (z-axis direction), 19 ... desk, 20 ... stage drive direction (y-axis direction), 21 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Drive circuit signal cable, 22 ... Measurement data transfer cable, 23 ... Reflecting plates 1, 24 ... Laser oscillator (first laser), 25 ... Laser 1 (first laser) coaxial with the normal of the reference plane, 26 Reflector 2, 27 ... Laser oscillator (second laser) 28 ... Laser 2 (second laser) coaxial with normal of reference plane, 29 ... Reference plane drive direction 1, 30 ... Reference plane positioning mechanism 1 31 ... reference plane drive direction 2 (x-axis direction), 32 ... reference plane drive mechanism 2, 33 ... reference plane positioning mechanism 2,34 ... reference plane drive mechanism 1, 35 ... stage drive direction (x-axis direction), 36a ... Rail 1, 36b ... Le 2, 37 ... operator.

Claims (9)

磁束計を備えた測定手段と、
検査対象を配置するためのステージと、
前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、
前記基準と検査対象の測定位置を合わせる基準/検査対象位置調整機構と、
前記ステージを前記測定手段に搬送するステージ搬送機構と、
前記ステージを前記測定手段の予め決められた位置に決定するステージ位置決め機構を備えたことを特徴とする生体磁場計測装置。
A measuring means with a magnetometer;
A stage for placing inspection objects;
A standard for determining the positional relationship between the measuring means and the stage;
A reference / inspection object position adjusting mechanism for aligning the measurement position of the inspection object with the reference;
A stage transport mechanism for transporting the stage to the measuring means;
A biomagnetic field measurement apparatus comprising a stage positioning mechanism for determining the stage at a predetermined position of the measuring means.
請求項1に記載された生体磁場計測装置において、
前記基準/検査対象位置調整機構は、水平方向、および垂直方向に駆動する位置調整駆動手段を有することを特徴とする生体磁場計測装置。
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 1,
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 1, wherein the reference / inspection object position adjustment mechanism includes a position adjustment drive unit that drives in a horizontal direction and a vertical direction.
請求項1記載の生体磁場計測装置において、
前記基準は、前記検査対象と前記ステージとの間に位置し、かつ前記ステージと傾きなく水平に設けられることを特徴とする生体磁場計測装置。
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 1,
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 1, wherein the reference is positioned between the inspection object and the stage and is provided horizontally with no inclination with respect to the stage.
請求項3記載の生体磁場計測装置において、
前記測定手段は、一つまたは複数の磁束計を有し、
前記基準は、前記一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つより下方に位置し、
前記基準は、前記一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つより下ろした垂線が交差する交点に備えられることを特徴とする生体磁場計測装置。
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 3, wherein
The measuring means comprises one or more magnetometers;
The reference is located below a predetermined one of the one or more magnetometers,
The biomagnetic field measuring apparatus according to claim 1, wherein the reference is provided at an intersection where a perpendicular line lower than a predetermined one of the one or a plurality of magnetometers intersects.
請求項1〜4のいずれかに記載された生体磁場計測装置において、
前記基準は非磁性材料で構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
In the biomagnetic field measurement apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The biomagnetic field measuring apparatus characterized in that the reference is made of a nonmagnetic material.
請求項1〜5のいずれかに記載された生体磁場計測装置において、
前記基準はアクリル板のような光透過性の高い材料で構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
In the biomagnetic field measurement apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The biomagnetic field measuring apparatus according to claim 1, wherein the reference is made of a highly light-transmitting material such as an acrylic plate.
請求項6に記載の生体磁場計測装置において、
前記測定手段に備えられた前記1つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた磁束計の位置から下ろした垂線が、水平に設けられた前記基準と交差する交点に基準マーカを設け、
前記基準マーカは、前記基準または前記ステージ若しくは磁束計を備えられる1つまたは複数のレーザ光源からの照射されるレーザで構成されることを特徴とする生体磁場計測装置。
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 6,
A perpendicular marker drawn from the position of a predetermined magnetometer among the one or more magnetometers provided in the measuring means is provided with a reference marker at an intersection where the reference is provided horizontally,
The biomagnetic field measurement apparatus, wherein the reference marker is composed of a laser irradiated from one or a plurality of laser light sources provided with the reference or the stage or a magnetometer.
請求項7に記載の生体磁場計測装置において、
前記基準マーカは、前記1つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた磁束計の位置から水平に設けられた前記基準に下ろした垂線と同軸のレーザで構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
The biomagnetic field measurement apparatus according to claim 7,
The biomagnetic field characterized in that the reference marker is composed of a laser coaxial with a perpendicular line drawn down to the reference and provided horizontally from a position of a predetermined magnetometer among the one or more magnetometers Measuring device.
操作により、測定手段が備えられたステージに検査対象を配置するステップと、
操作により、前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準を前記検査対象に配置するステップと、
操作により、前記基準に前記検査対象を位置調整するステップと、
操作により、前記測定手段に前記ステージを搬送するステップと、
操作により、前記測定手段の予め決められた位置に前記ステージを配置するステップと、を含むことを特徴とする生体磁場計測装置の測定位置設定方法。
A step of placing an inspection object on a stage provided with a measuring means by operation;
A step of arranging a reference for determining a positional relationship between the measuring unit and the stage in advance on the inspection object;
Adjusting the inspection object relative to the reference by operation;
Transporting the stage to the measuring means by operation;
And a step of placing the stage at a predetermined position of the measuring means by an operation, and a measuring position setting method for a biomagnetic field measuring apparatus.
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