JP2008028353A - 半導体装置およびその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1伝導型の第1領域(第1p型領域p1)と、前記第1伝導型とは逆伝導の第2伝導型の第2領域(第1n型領域n1)と、第1伝導型の第3領域(第2p型領域p2)と、第2伝導型の第4領域(第2n型領域n2)とが順に接合されたサイリスタ2と、前記第3領域に形成されたゲート電極13と、前記第3領域が形成されるもので前記バルク半導体基板10に形成された第2伝導型のウエル領域11とを有する半導体装置1であって、前記サイリスタ2の第1領域側に第1電圧が印加され、前記サイリスタ2の第4領域側に前記第1電圧よりも高い第2電圧が印加され、前記ウエル領域11に前記第1電圧よりも高い電圧もしくは前記第1電圧と同等の電圧が印加されることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (13)
- バルク半導体基板と、
第1伝導型の第1領域と、前記第1伝導型とは逆伝導の第2伝導型の第2領域と、第1伝導型の第3領域と、第2伝導型の第4領域とが順に接合されたもので、前記バルク半導体基板に形成されたサイリスタと、
前記第3領域に形成されたゲート電極と、
前記第3領域が形成されるもので前記バルク半導体基板に形成された第2伝導型のウエル領域と
を有する半導体装置であって、
前記サイリスタの第1領域側に第1電圧が印加され、
前記サイリスタの第4領域側に前記第1電圧よりも高い第2電圧が印加され、
前記ウエル領域に前記第1電圧よりも高い電圧もしくは前記第1電圧と同等の電圧が印加される
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記ウエル領域に印加される電圧は前記第2電圧以下の電圧である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記サイリスタが形成されるバルク半導体基板に、前記サイリスタのカソード側に接続される電界効果トランジスタを有し、
前記ウエル領域に過剰キャリアが発生した場合に、前記電界効果トランジスタのゲートを昇圧して、前記電界効果トランジスタをオン状態とする
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第2導電型のウエル領域が前記ゲート電極に接続されるサイリスタワード線の配設方向に対して平行に形成されていて、
前記ウエル領域のバイアスを制御するウエル配線と、
前記ウエル領域の端部に配置されたもので前記ウエル領域と前記ウエル配線とを接続するコンタクトと
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第2導電型のウエル領域が前記ゲート電極に接続されるサイリスタワード線の配設方向に対して平行に形成されていて、
前記ウエル領域のバイアスを制御するウエル配線と、
前記サイリスタワード線に沿って配置されたもので前記ウエル領域と前記ウエル配線とを接続するコンタクトと
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 一つの前記サイリスタと一つの前記電界効果トランジスタとを単位セルとして、該単位セルが複数配列され、
前記第2導電型のウエル領域が前記各単位セル毎に分離して形成されているセル構造を有し、
前記ウエル領域のバイアスを制御するウエル配線と、
前記ゲート電極に接続されるサイリスタワード線に沿って前記単位セル毎に形成されたもので、前記ウエル領域と前記ウエル配線とを接続するコンタクトと、
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 一つの前記サイリスタと一つの前記電界効果トランジスタとを単位セルとして、該単位セルが複数配列され、
前記第2導電型のウエル領域が各単位セル毎に分離して形成されているセル構造を有し、
前記ウエル領域のバイアスを制御するウエル配線と、
前記ゲート電極に接続されるサイリスタワード線に沿って前記単位セル毎に形成されたもので、前記ウエル領域と前記ウエル配線とを接続するコンタクトとを有し、
前記ウエル配線は前記コンタクト毎に周辺回路へ引き出されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記周辺回路により前記コンタクト毎に独立に前記ウエル領域の電位が制御される
ことを特徴とする請求項7記載の半導体装置。 - 一つの前記サイリスタと一つの前記電界効果トランジスタとを単位セルとして、該単位セルが複数配列され、
前記第2導電型のウエル領域が各単位セル毎に分離して形成されているセル構造を有し、
前記ウエル領域のバイアスを制御するウエル配線と、
前記ゲート電極に接続されるサイリスタワード線に沿って前記単位セル毎に形成されたもので、前記ウエル領域と前記ウエル配線とを接続するコンタクトと、
前記ウエル領域と前記コンタクトとの間に形成された選択トランジスタと
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記コンタクトは第1導電型を有する
ことを特徴とする請求項4乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置。 - バルク半導体基板と、
第1伝導型の第1領域と、前記第1伝導型とは逆伝導の第2伝導型の第2領域と、第1伝導型の第3領域と、第2伝導型の第4領域とが順に接合されたもので、前記バルク半導体基板に形成されたサイリスタと、
前記第3領域に形成されたゲート電極と、
前記第3領域が形成されるもので前記バルク半導体基板に形成された第2伝導型のウエル領域と
を有する半導体装置の駆動方法であって、
前記第1領域側に第1電圧を印加し、
前記第4領域側に前記第1電圧よりも高い第2電圧を印加し、
前記ウエル領域に前記第1電圧よりも高い電圧もしくは前記第1電圧と同等の電圧を印加する
ことを特徴とする半導体装置の駆動方法。 - 前記ウエル領域に印加する電圧は前記第2電圧以下の電圧である
ことを特徴とする請求項11記載の半導体装置の駆動方法。 - 前記サイリスタが形成されるバルク半導体基板に、前記サイリスタのカソード側に接続される電界効果トランジスタを有し、
前記ウエル領域に過剰キャリアが発生した場合に、前記電界効果トランジスタのゲートを昇圧して、前記電界効果トランジスタをオン状態として、前記過剰キャリアをカソード側からも逃がす
ことを特徴とする請求項11記載の半導体装置の駆動方法。
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