JP2008016619A - Ferrite magnetic core and electronic component using the same - Google Patents

Ferrite magnetic core and electronic component using the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ferrite magnetic core which has superior direct current superposition characteristics, proper magnetic characteristics with respect to stresses, and little variations in the magnetic permeability, in particular, and which is capable of obtaining stable inductance, and to provide an electronic component that uses this. <P>SOLUTION: There is provided a ferrite magnetic core that uses a compound magnetic substance comprising the first phase of ferrite containing Fe<SB>2</SB>O<SB>3</SB>, NiO (a part thereof may be substituted with CuO), and ZnO as major components and a second phase consisting of nonmagnetic ceramics. The core contains 2.5-25 wt.% of nonmagnetic ceramics, relative to the main components. In the core, an average ferrite crystal grain diameter is 0.3-2 μm, the linear expansion coefficient for nonmagnetic ceramics is smaller than the linear expansion coefficient for ferrite, and the linear expansion coefficient of the compound magnetic substance is 6-10 ppm/°C. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、チップインダクタとして使用されるフェライト磁心に関し、特には樹脂モールドされるインダクタや、内部や外部に金属導体を備えた積層型インダクタや、これに半導体素子を実装可能なように実装電極を設けたフェライト基板、更に半導体素子や、他のリアクタンス素子などを実装したモジュール(複合部品)などの電子部品に関するものである。   The present invention relates to a ferrite magnetic core used as a chip inductor, in particular, a resin-molded inductor, a multilayer inductor having a metal conductor inside or outside, and a mounting electrode so that a semiconductor element can be mounted thereon. The present invention relates to an electronic component such as a module (composite component) mounted with a provided ferrite substrate, a semiconductor element, and another reactance element.

携帯電話や携帯情報端末(PDA)、ノート型コンピュータ、あるいはデジタルカメラなどの小型電子機器に用いられるDCDCコンバータなどのスイッチング電源は、近年益々小型・軽量化が進み、また動作周波数も、より高周波帯域へと向かっている。このため、電気回路を構成する電子部品の小型化・軽量化・高性能化への要求が高まっている。このような用途に用いられるフェライト磁心は、巻線に重畳して流れる直流電流値に対して、インダクタンス値が非線形特性を示すことが求められ、特に、高周波・高印加磁界であってもインダクタンスが安定した、直流重畳特性に優れたインダクタンス素子やフェライト基板が求められている。   Switching power supplies such as DCDC converters used in small electronic devices such as mobile phones, personal digital assistants (PDAs), notebook computers, and digital cameras are becoming increasingly smaller and lighter in recent years, and the operating frequency is also higher. Heading to. For this reason, there is an increasing demand for downsizing, weight reduction, and high performance of electronic components that constitute electric circuits. Ferrite cores used in such applications are required to exhibit non-linear characteristics with respect to the DC current value that flows superimposed on the windings. There is a demand for a stable inductance element and ferrite substrate having excellent DC superimposition characteristics.

このようなフェライト磁心に用いられるフェライト組成物としては、磁気特性として、大電流印加による高磁界においても容易に飽和しないこと、即ち高飽和磁束密度であることが望まれる。高い飽和磁束密度(Bs)を持つフェライト組成物としては、MnZn系フェライトが知られているが、電気抵抗が低く、直巻線ができないことから小型・薄型化への対応が困難である。そこでMnZn系フェライトと比べてBsの絶対値は相対的に低いものの、電気抵抗が高く、直巻線が可能なNiZn系フェライトやNiCuZn系フェライトが用いられる場合が多くなっている。   The ferrite composition used for such a ferrite core is desired to have a magnetic property that it is not easily saturated even in a high magnetic field by applying a large current, that is, has a high saturation magnetic flux density. As a ferrite composition having a high saturation magnetic flux density (Bs), MnZn-based ferrite is known. However, since electric resistance is low and direct winding cannot be performed, it is difficult to cope with downsizing and thinning. Therefore, although the absolute value of Bs is relatively lower than that of MnZn-based ferrite, NiZn-based ferrite and NiCuZn-based ferrite that have high electrical resistance and can be directly wound are often used.

一方、直流重畳時のインダクタンス値を向上させるために、フェライト磁心には、その磁気回路中に磁気ギャップを配置することが行なわれている。例えば、フェライト磁心をドラム型磁心として開磁路型のインダクタンス素子としたり、EI磁心などの場合には、E型磁心の中脚部において、I型磁心と突当面側を他の脚部よりも段差をもって形成し、I型磁心との間に生じた隙間に紙や樹脂などの非磁性のギャップシートを挟むなどして、磁気ギャップを形成する。また、積層型インダクタでは、磁性体層間に非磁性体層(例えば誘電体セラミクス)を積層配置したり、カーボンペーストを消失させるなどして空隙を形成したりして、磁気ギャップを形成して開磁路型のインダクタンス素子としている。   On the other hand, in order to improve the inductance value when DC is superimposed, a magnetic gap is arranged in the magnetic circuit of the ferrite core. For example, in the case of an open magnetic circuit type inductance element using a ferrite magnetic core as a drum magnetic core, or in the case of an EI magnetic core, the I-type magnetic core and the abutting surface side of the middle leg of the E-type magnetic core are more A magnetic gap is formed by forming a step and sandwiching a non-magnetic gap sheet such as paper or resin in a gap formed between the I-type magnetic core. In a multilayer inductor, a non-magnetic layer (for example, dielectric ceramics) is laminated between magnetic layers, or a gap is formed by eliminating carbon paste to form a magnetic gap. It is a magnetic path type inductance element.

このように磁心形状を工夫するなどして磁気ギャップを設ける場合、複雑な形状の金型が必要になり、また磁心を精密に加工することも必要である。しかしながらフェライト磁心自体が小型化する現状では、加工は益々困難となり、工程や設備が増加する問題がある。また、積層型インダクタの場合には、2種類以上の異種材料を積層して使用することが必要となり、密着性の低下などから、異なる材料層間でデラミネーション(層間剥離)が生じる問題もあった。   Thus, when providing a magnetic gap by devising the magnetic core shape or the like, a complicatedly shaped die is required, and it is also necessary to precisely process the magnetic core. However, in the present situation where the ferrite core itself is downsized, the processing becomes more difficult and there is a problem that the number of processes and facilities increases. In addition, in the case of a multilayer inductor, it is necessary to use two or more kinds of different materials in a stacked manner, and there is a problem that delamination (delamination) occurs between different material layers due to a decrease in adhesiveness. .

そこで近年、磁気ギャップがない閉磁路構造でも直流重畳特性を改善できるような方法が検討されてきている。例えば、特許文献1には、Ni−Zn系フェライトに対してZrOを0.1wt%〜25wt%添加して、磁路中に磁気ギャップを設ける事無く、インダクタンス素子を構成することが開示されている。
また、特許文献2にはFe、ZnO、CuO、及びNiOを主成分とするフェライト粉末に、シリコン(Si)粉末あるいはシリカ(SiO)粉末、アルミナ(Al)粉末などを少量(数wt%以下)添加混合し、焼結し、磁性材料本来の磁気的特性を損なうことなく、材料自体の直流重畳特性を向上し、磁気回路中に磁気ギャップを形成せずに済むようにしたフェライト焼結体が開示されている。
また直流重畳特性の改善について直接開示は無いが、特許文献3には機械的強度向上の目的から、Fe 40〜52.5mol%、ZnO 35mol%以下、CuO 2〜20mol%、および残部がNiOから成る組成を主成分とし、これに、0.01〜3.0wt%の酸化ジルコニウム(ZrO)あるいは相当量のジルコニウム原子を含む塩類を添加含有することが開示されている。その比較例には酸化ジルコニウム(ZrO)を10wt%添加すると、1MHzにおける初透磁率が未添加のものと比べて約1/4程度となることが開示されており、直流重畳特性が改善できることが示唆されている。
特開2003−112968号公報 特開2005−145781号公報 特開平07−133150号公報
Therefore, in recent years, methods have been studied that can improve DC superposition characteristics even in a closed magnetic circuit structure without a magnetic gap. For example, Patent Document 1 discloses that an inductance element is configured without adding a magnetic gap in a magnetic path by adding 0.1 wt% to 25 wt% of ZrO 2 to Ni—Zn ferrite. ing.
Patent Document 2 discloses a ferrite powder mainly composed of Fe 2 O 3 , ZnO, CuO, and NiO, silicon (Si) powder, silica (SiO 2 ) powder, alumina (Al 2 O 3 ) powder, and the like. Add and mix a small amount (several wt% or less), sinter, improve the direct current superposition characteristics of the material itself without damaging the original magnetic properties of the magnetic material, so that no magnetic gap is formed in the magnetic circuit A ferrite sintered body is disclosed.
Further, although there is no direct disclosure of the improvement of the DC superposition characteristics, Patent Document 3 discloses Fe 2 O 3 40 to 52.5 mol%, ZnO 35 mol% or less, CuO 2 to 20 mol%, and the balance for the purpose of improving the mechanical strength. Is composed of NiO as a main component, and 0.01 to 3.0 wt% of zirconium oxide (ZrO 2 ) or a salt containing a considerable amount of zirconium atoms is added thereto. In the comparative example, it is disclosed that when 10 wt% of zirconium oxide (ZrO 2 ) is added, the initial permeability at 1 MHz is about ¼ compared with that without addition, and DC superposition characteristics can be improved. Has been suggested.
JP 2003-112968 A JP 2005-145781 A JP 07-133150 A

一般に磁性体に歪みを与えると透磁率が変化することが知られている。これは磁歪効果と呼ばれる現象であって、前記フェライト組成物においても同様に透磁率の変化が生じる。歪が与えられる要因としては、例えば、フェライト磁心を樹脂でモールドする場合の樹脂が収縮する際に生じる圧縮応力や、プリント基板へはんだ実装する場合に、フェライト磁心とプリント基板との線膨張係数差によって生じる応力がある。
また積層型インダクタは、フェライトからなる磁性体シートあるいは磁性体ペーストと、AgまたはAg合金等からなる内部電極用の導電ペーストとを厚膜積層技術によって積層一体化した後、焼成し、得られた焼成体表面に外部電極用ペーストを印刷または転写した後に焼き付けて製造されるが、磁性層には内部電極との線膨張係数の差異による応力が作用する。まためっきを行なう場合には、めっき皮膜などからの応力もある。
このように、様々な応力に晒されたフェライト磁心の内部には残留応力が存在することとなり、その結果、磁歪効果によってフェライトの透磁率を低下させ、所望のインダクタンスが得られない場合があった。
Generally, it is known that the magnetic permeability changes when a magnetic material is strained. This is a phenomenon called a magnetostrictive effect, and a change in magnetic permeability similarly occurs in the ferrite composition. Factors that cause distortion include, for example, the compressive stress generated when the resin shrinks when the ferrite core is molded with resin, and the difference in linear expansion coefficient between the ferrite core and the printed circuit board when soldered to the printed circuit board. There is a stress caused by.
The multilayer inductor was obtained by laminating and integrating a magnetic sheet or magnetic paste made of ferrite and a conductive paste for internal electrodes made of Ag or an Ag alloy by a thick film lamination technique, and then firing. The external electrode paste is printed or transferred to the surface of the fired body and then baked. The magnetic layer is subjected to stress due to a difference in linear expansion coefficient from the internal electrode. Further, when plating is performed, there is stress from a plating film or the like.
Thus, residual stress exists inside the ferrite core exposed to various stresses. As a result, the magnetic permeability of the ferrite is lowered by the magnetostrictive effect, and a desired inductance may not be obtained. .

ZrOなどの非磁性体材料によって微視的に磁路を分断する従来技術によれば、非磁性体材料を含まない場合に比べて、大電流印加による高磁界においても高い透磁率が得られ、直流重畳特性を改善するのに有効な手段であると言える。しかしながら、応力に対する磁気特性の変化については何等考慮されていなかった。
そこで本発明は、直流重畳特性に優れ、応力に対する磁気特性、特には透磁率の変化が少なく、もって安定したインダクタンスが得られるフェライト磁心およびこれを用いた電子部品を提供することを目的とする。
According to the prior art in which the magnetic path is microscopically divided by a non-magnetic material such as ZrO 2 , a higher magnetic permeability can be obtained even in a high magnetic field by applying a large current than when a non-magnetic material is not included. It can be said that this is an effective means for improving the DC superposition characteristics. However, no consideration was given to changes in magnetic properties with respect to stress.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a ferrite core that is excellent in direct current superposition characteristics, has little change in magnetic characteristics with respect to stress, particularly magnetic permeability, and can provide a stable inductance, and an electronic component using the same.

本発明は、Fe、NiO(一部をCuOで置換しても良い)、ZnOを主成分とするフェライトの第1相と非磁性のセラミクスからなる第2相を含む複合磁性体を用いたフェライト磁心であって、前記主成分に対して非磁性のセラミクスを2.5〜25wt%含み、フェライト平均結晶粒径が0.3〜2μmであり、前記非磁性のセラミクスの線膨張係数は、前記フェライトの線膨張係数よりも小さく、もって複合磁性体の線膨張係数が6〜10ppm/℃であることを特徴とするフェライト磁心である。
前記第2相を構成する非磁性のセラミクスが、ZrSiO(ジルコン)、ZrO(ジルコニア)、LiO・Al・4SiO(スポデュメン)、LiO・Al・2SiO(ユークリプタイト)のいずれかであるのが好ましい。
また、第1相を構成するフェライトが、Fe:47〜50.5mol%、ZnO:19〜30mol%(15mol%以下をCuOで置換しても良い)、残部NiOを主成分とするのもの好ましい。更に、副成分として、Nb、Ta.V、TiO、Bi、Co、SnO、CaO、SiO換算で1.5wt%以下含んでいても良い。これら副成分は、結晶粒界に析出して焼結性を促進したり、結晶粒界に固溶して結晶磁気異方性を改善したりする。
The present invention provides a composite magnetic material comprising a first phase of ferrite mainly composed of Fe 2 O 3 , NiO (partially substituted with CuO) and ZnO and a second phase composed of nonmagnetic ceramics. The ferrite core used includes 2.5 to 25 wt% of nonmagnetic ceramic with respect to the main component, the ferrite average crystal grain size is 0.3 to 2 μm, and the linear expansion coefficient of the nonmagnetic ceramic. Is a ferrite magnetic core that is smaller than the linear expansion coefficient of the ferrite, and that the composite magnetic body has a linear expansion coefficient of 6 to 10 ppm / ° C.
Ceramic nonmagnetic constituting the second phase, ZrSiO 4 (zircon), ZrO 2 (zirconia), Li 2 O · Al 2 O 3 · 4SiO 2 ( Supodeyumen), Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2 (eucryptite) is preferred.
Also, the ferrite constituting the first phase, Fe 2 O 3: 47~50.5mol% , ZnO: 19~30mol% ( may be substituted following 15 mol% in CuO), the main component the remainder NiO Are preferred. Further, as subcomponents, Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 . V 2 O 5 , TiO 2 , Bi 2 O 3 , Co 3 O 4 , SnO 2 , CaO, and SiO 2 may be contained in an amount of 1.5 wt% or less. These subcomponents precipitate at the crystal grain boundaries to promote sinterability, or dissolve at the crystal grain boundaries to improve the magnetocrystalline anisotropy.

第2の発明は、第1の発明のフェライト磁心において、その内部に線路を形成してインダクタとしたことを特徴とする電子部品である。前記フェライト磁心の表面に前記線路と接続する端子電極を設けるのが好ましい。前記磁性体の表面に半導体素子を実装し、前記端子電極と接続するのも好ましい。   A second invention is an electronic component characterized in that in the ferrite magnetic core of the first invention, a line is formed therein to form an inductor. It is preferable to provide a terminal electrode connected to the line on the surface of the ferrite magnetic core. It is also preferable that a semiconductor element is mounted on the surface of the magnetic body and connected to the terminal electrode.

本発明によれば、直流重畳特性に優れ、応力に対する磁気特性、特には透磁率の変化が少なく、もって安定したインダクタンスが得られるフェライト磁心およびこれを用いた電子部品を提供することが出来る。   According to the present invention, it is possible to provide a ferrite core that is excellent in direct current superposition characteristics, has little change in magnetic characteristics with respect to stress, in particular, magnetic permeability, and can provide a stable inductance, and an electronic component using the same.

以下に実施するための最良の形態について説明する。
本発明においては、Fe、ZnO、NiO(一部をCuOで置換しても良い)を主成分とするフェライトの仮焼体を、粉砕条件の調整により、あるいは粉砕粉を分級したり、Fe、Ni,Znの各塩化物の水溶液を噴霧焙焼するなどして得たBET比表面積が5〜20m/gのフェライト粉末と、非磁性のセラミクスとを混合して所定の形状に成形された成形体を、1000℃以下の温度で焼成して、Fe、ZnO、NiO(一部をCuOで置換しても良い)を主成分とするフェライトの第1相と、非磁性のセラミクスからなる第2相とを組織中に共存したフェライト磁心を得る。
The best mode for carrying out the invention will be described below.
In the present invention, a ferrite calcined body mainly composed of Fe 2 O 3 , ZnO, NiO (a part of which may be replaced with CuO) is classified by adjusting the grinding conditions or by classifying the ground powder. A ferrite powder having a BET specific surface area of 5 to 20 m 2 / g obtained by spray roasting an aqueous solution of each of chlorides of Fe, Ni and Zn and nonmagnetic ceramics are mixed into a predetermined shape. The formed molded body is fired at a temperature of 1000 ° C. or less, and a first phase of ferrite mainly composed of Fe 2 O 3 , ZnO, NiO (a part of which may be replaced by CuO), and non- A ferrite core in which the second phase composed of magnetic ceramics coexists in the structure is obtained.

本発明において第1相を構成するフェライト組成物は、Fe、ZnO、NiO(一部をCuOで置換しても良い)を主成分とするものであり、更に、副成分として、Nb、Ta、V、Ti、Bi、Co、Sn、Ca,Siの1種乃至2種以上を含んでいても良い。第1相を構成するフェライトは、Fe:47〜50.5mol%、ZnO:19〜30mol%、残部NiO(15mol%以下をCuOで置換しても良い)を主成分とするのが好ましい。 In the present invention, the ferrite composition constituting the first phase is mainly composed of Fe 2 O 3 , ZnO, NiO (part of which may be replaced with CuO), and further, Nb as a subcomponent. , Ta, V, Ti, Bi, Co, Sn, Ca, Si may be included. The ferrite constituting the first phase is mainly composed of Fe 2 O 3 : 47 to 50.5 mol%, ZnO: 19 to 30 mol%, and the balance NiO (15 mol% or less may be replaced with CuO). preferable.

本発明に係るフェライト組成物において、FeをFe換算で47〜50.5mol%含有させるのは透磁率を低下させずに、高い飽和磁束密度Bsを得るためである。47モル%未満であると所望の透磁率、飽和磁束密度が得られず、50.5モル%より多いとFe2+の増加によって抵抗値が低下するという問題が生じる。
ZnをZnO換算で19〜30mol%含有させるのは高い飽和磁束密度を得るためである。19モル%未満であると所望の磁束密度が得られず、30モル%より多いとキュリー温度が低下し実用温度範囲を下回るという問題が生じる。なお、低温焼結化を目的として、Niの一部をCuで15mol%以下(CuO換算)置換しても良い。また、Niは、主成分組成からFe量とZnO量を引いた残りとなる。所望の透磁率を得ながら、高い飽和磁束密度を得るには、NiO/CuOのモル比を0.3〜5.8とするのが好ましい。
In the ferrite composition according to the present invention, the reason why Fe is contained in an amount of 47 to 50.5 mol% in terms of Fe 2 O 3 is to obtain a high saturation magnetic flux density Bs without reducing the magnetic permeability. If it is less than 47 mol%, the desired magnetic permeability and saturation magnetic flux density cannot be obtained, and if it exceeds 50.5 mol%, there is a problem that the resistance value decreases due to an increase in Fe 2+ .
The reason why Zn is contained in an amount of 19 to 30 mol% in terms of ZnO is to obtain a high saturation magnetic flux density. If it is less than 19 mol%, the desired magnetic flux density cannot be obtained, and if it exceeds 30 mol%, the Curie temperature is lowered, resulting in a problem that it falls below the practical temperature range. For the purpose of low-temperature sintering, a part of Ni may be replaced with Cu by 15 mol% or less (CuO conversion). Ni is the remainder obtained by subtracting the Fe 2 O 3 amount and the ZnO amount from the main component composition. In order to obtain a high saturation magnetic flux density while obtaining a desired magnetic permeability, the NiO / CuO molar ratio is preferably set to 0.3 to 5.8.

本発明の係るフェライト組成物において、更に副成分として、Nb、Ta、V、Ti、Bi、Co、Sn、Ca、Siの酸化物を、それぞれ、Nb、Ta、V、TiO、Bi、Co、SnO、CaO、SiO換算で、Nb:0.01〜1.0wt%、Ta:0.1〜1.5wt%、V:0.1〜1.5wt%、TiO:0.1〜1.5wt%、Bi:0.1〜1.5wt%、Co:0.1〜1.5wt%、SnO:0.1〜1.5wt%、CaO:0.1〜1.5wt%、SiO:0.1〜1.5wt%含んでいても良い。
副成分としてNbをNb換算で0.01〜1.0wt%含有すれば結晶粒径を制御する効果を得る。TaをTa換算で0.01〜1.0wt%含有することで、抵抗率を向上することが出来る。TiをTiO換算で0.01〜2.0wt%含有することで、抵抗率を向上することが出来る。VをV換算で0.1〜1.5wt%含有するのは、低温焼結を促進するためである。BiをBi換算で0.1〜1.5wt%含有するのは、低温焼結を促進するとともに、抵抗率を向上させるためである。CoをCo換算で0.1〜1.5wt%含有するのは、高周波損失を低減するためである。SnをSnO換算で0.1〜1.5wt%含有するのは、ヒステリシス損失を低減するためである。CaをCaO換算で0.1〜1.5wt%含有するのは、粒成長を抑制するためである。SiをSiO換算で0.1〜1.5wt%含有するのは、粒成長を抑制するためである。
In the ferrite composition according to the present invention, Nb, Ta, V, Ti, Bi, Co, Sn, Ca, and Si oxides are further added as subcomponents to Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , and V 2 , respectively. In terms of O 5 , TiO 2 , Bi 2 O 3 , Co 3 O 4 , SnO 2 , CaO, SiO 2 , Nb 2 O 5 : 0.01 to 1.0 wt%, Ta 2 O 5 : 0.1 to 1 .5wt%, V 2 O 5: 0.1~1.5wt%, TiO 2: 0.1~1.5wt%, Bi 2 O 3: 0.1~1.5wt%, Co 3 O 4: 0 .1~1.5wt%, SnO 2: 0.1~1.5wt% , CaO: 0.1~1.5wt%, SiO 2: may contain 0.1~1.5wt%.
If Nb is contained as an auxiliary component in an amount of 0.01 to 1.0 wt% in terms of Nb 2 O 5 , the effect of controlling the crystal grain size is obtained. The Ta by containing 0.01 to 1.0% by Ta 2 O 5 in terms, it is possible to improve the resistivity. The resistivity can be improved by containing 0.01 to 2.0 wt% of Ti in terms of TiO. The reason why V is contained in an amount of 0.1 to 1.5 wt% in terms of V 2 O 5 is to promote low-temperature sintering. The reason why Bi is contained in an amount of 0.1 to 1.5 wt% in terms of Bi 2 O 3 is to promote low temperature sintering and improve resistivity. The reason why Co is contained in an amount of 0.1 to 1.5 wt% in terms of Co 3 O 4 is to reduce high-frequency loss. The reason for containing 0.1 to 1.5 wt% of Sn in terms of SnO 2 is to reduce hysteresis loss. The reason why Ca is contained in an amount of 0.1 to 1.5 wt% in terms of CaO is to suppress grain growth. The reason why Si is contained in an amount of 0.1 to 1.5 wt% in terms of SiO 2 is to suppress grain growth.

これらの副成分が所定量よりも多い場合には、低温焼結性を阻害したり、焼結密度が低下したり、機械的強度(抗折強度)が低下したりする問題がある。また少ない場合には、その添加による明確な効果が得られない。また、前記副成分は単独で添加しても2種以上添加しても良い。複合添加する場合には、その総量を5wt%以下とするのが好ましい。総量が5wt%を超える場合も、焼結性を阻害する場合がある。
また素原料中に不可避的に含まれるNa,S,Cl,P、W,B等の不可避不純物は、極力低減するのが好ましいが、工業的に供される素原料中に含む程度は、その含有を許容し、0.05wt%以下であるのが好ましい。
When these subcomponents are more than a predetermined amount, there are problems that the low temperature sinterability is hindered, the sintered density is lowered, and the mechanical strength (bending strength) is lowered. In addition, when the amount is small, a clear effect due to the addition cannot be obtained. The subcomponents may be added alone or in combination of two or more. In the case of complex addition, the total amount is preferably 5 wt% or less. Even when the total amount exceeds 5 wt%, the sinterability may be hindered.
Inevitable impurities such as Na, S, Cl, P, W, and B that are inevitably contained in the raw material are preferably reduced as much as possible. Inclusion is allowed and is preferably 0.05 wt% or less.

フェライト組成物における主成分と副成分の含有量の測定は、蛍光X線分析、ICP発光分光分析を用いて行う。予め蛍光X線分析により含有している元素の定性を行い、含有される元素を同し、予め準備された標準試料との比較による検量線法によって定量する。   The content of the main component and subcomponent in the ferrite composition is measured using X-ray fluorescence analysis and ICP emission spectroscopic analysis. The elements contained are qualitatively determined by fluorescent X-ray analysis in advance, and the elements contained are quantified by a calibration curve method based on comparison with a standard sample prepared in advance.

フェライト組成物は粉末の状態で供されるが、そのBET比表面積は5〜20m/gとするのが好ましい。BET比表面積が大きいほど、反応に対する活性度が上がるため、焼成において低い温度から緻密化が促進され、1000℃以下の低い焼成温度であってもフェライトを緻密化することが出来、もって得られる結晶粒径は小さく、また均一なものとなる。
また、フェライト粉末のBET比表面積が5m/g未満であると、焼結体におけるフェライト(第1相)の平均結晶粒径が2μmを超える場合があり、BET比表面積が20m/g超であると凝集し易くなるとともに、粉末表面に水分を吸着し易くなるので、非磁性のセラミクス粉末との均一な混合が困難となる。
The ferrite composition is provided in a powder state, and the BET specific surface area is preferably 5 to 20 m 2 / g. The larger the BET specific surface area, the higher the activity for the reaction. Therefore, the densification is promoted from a low temperature in firing, and the ferrite can be densified even at a low firing temperature of 1000 ° C. or less. The particle size is small and uniform.
Further, if the BET specific surface area of the ferrite powder is less than 5 m 2 / g, the average crystal grain size of ferrite (first phase) in the sintered body may exceed 2 μm, and the BET specific surface area exceeds 20 m 2 / g. If it is, it will become easy to aggregate and it will become easy to adsorb | suck a water | moisture content on the powder surface, Therefore Uniform mixing with a nonmagnetic ceramic powder becomes difficult.

本発明において第2相を構成する非磁性のセラミクスは、前記焼成温度においてFe、NiO、ZnO等と反応性が乏しいセラミクスであり、ZrSiO(ジルコン)、ZrO(ジルコニア)、LiO・Al・4SiO(スポデュメン)、LiO・Al・2SiO(ユークリプタイト)などが例示される。前記非磁性のセラミクスは、フェライト粉末と同様にBET比表面積が5〜20m/gの粉末を用いるのがこの好ましく、より好ましくはフェライト粉末、非磁性のセラミクス粉末ともに、そのBET比表面積が10m/g以下の粉末である。 In the present invention, the nonmagnetic ceramic constituting the second phase is a ceramic that is poorly reactive with Fe 2 O 3 , NiO, ZnO, etc. at the firing temperature, and is ZrSiO 4 (zircon), ZrO 2 (zirconia), Li 2 O · Al 2 O 3 · 4SiO 2 ( Supodeyumen), such as Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ( eucryptite) are exemplified. As the non-magnetic ceramic, it is preferable to use a powder having a BET specific surface area of 5 to 20 m 2 / g similarly to the ferrite powder. More preferably, both the ferrite powder and the non-magnetic ceramic powder have a BET specific surface area of 10 m. 2 / g or less powder.

非磁性のセラミクス粉末のBET比表面積が5m/g未満であるとフェライトの粒成長を抑制する効果が発揮され難くなるとともに、粗大なフェライト結晶粒が生じ易くなる。非磁性のセラミクスは、焼成において実質的に粒成長せず第2相として存在し、第1相を構成するフェライトの粒成長を抑制する核となり、結果、焼結体においてフェライト(第1相)は平均結晶粒径が0.3〜2μmであり、10μm以上の粗大な結晶粒を有さない組織を有することとなる。
非磁性のセラミクス粉末のBET比表面積が20m/g超であると、凝集しやすくなるとともに、粉末表面に水分を吸着し易くなるので、フェライト粉末とともに溶剤分散、混合を行なう場合にはフェライト粉末との均一な混合が困難となる。
When the BET specific surface area of the nonmagnetic ceramic powder is less than 5 m 2 / g, the effect of suppressing the grain growth of ferrite is hardly exhibited, and coarse ferrite crystal grains are easily generated. Non-magnetic ceramics do not substantially grow during firing and exist as the second phase, serving as a nucleus that suppresses the grain growth of ferrite constituting the first phase. As a result, ferrite (first phase) is formed in the sintered body. Has an average crystal grain size of 0.3 to 2 μm, and has a structure having no coarse crystal grains of 10 μm or more.
When the nonmagnetic ceramic powder has a BET specific surface area of more than 20 m 2 / g, it is easy to agglomerate and moisture is easily adsorbed on the surface of the powder. It becomes difficult to mix uniformly.

フェライト(第1相)の平均結晶粒径は、内部・外部応力による初透磁率μiのへ変化に影響を及ぼす。つまり、平均結晶粒径が大きくなると磁壁の移動が容易となり、応力の影響を受けやすく安定した特性を得にくくなる。また、平均結晶粒径が小さすぎると初透磁率μi、飽和磁束密度Bsの低下、保磁力Hcの著しい増加を招く。したがって、本発明では平均結晶粒径を0.3〜2μmの範囲とする。   The average crystal grain size of ferrite (first phase) affects the change in initial permeability μi due to internal and external stress. That is, when the average crystal grain size is increased, the domain wall is easily moved, and it is easily affected by stress, and it is difficult to obtain stable characteristics. On the other hand, if the average crystal grain size is too small, the initial permeability μi, the saturation magnetic flux density Bs are lowered, and the coercive force Hc is significantly increased. Therefore, in the present invention, the average crystal grain size is in the range of 0.3 to 2 μm.

そもそも、フェライトの初透磁率(μi)は以下の式で定義されるが、NiZnフェライト、NiCuZnフェライトは、磁歪定数が負であるため、初透磁率μiは圧縮応力を加えていくと増加し、ある応力下で最大となる。そして、さらに圧縮応力を加えると減少する挙動を示す。   In the first place, the initial permeability (μi) of ferrite is defined by the following formula, but since NiZn ferrite and NiCuZn ferrite have negative magnetostriction constants, the initial permeability μi increases when compressive stress is applied, Maximum under certain stress. And when the compressive stress is further applied, the behavior decreases.

(数1)
μi∝Bs/(aK1+bλsσ)
(Bs=飽和磁束密度、K1=磁気異方性定数、λs=磁歪定数、σ=応力、a、bは定数)
(Equation 1)
μi∝Bs 2 / (aK1 + bλsσ)
(Bs = saturation magnetic flux density, K1 = magnetic anisotropy constant, λs = magnetostriction constant, σ = stress, a and b are constants)

上式によれば、フェライトのスピネル結晶への応力を緩和することにより、上式中の応力項σを小さく出来、初透磁率μiの低減が抑えられることが分かる。本発明では非磁性のセラミクスの線膨張係数を、フェライトの線膨張係数よりも小さいものとしている。このため、非磁性のセラミクスの添加量が多くなるに従い、フェライト(第1相)には大きな引張応力が作用する。このような引張応力の作用によってスピネル結晶への応力を緩和して、さらに応力に対する初透磁率μiの変化を緩慢なものとしている。
また、格子歪を緩和することで、磁気異方性定数K1や飽和磁歪定数λsが小さくなり、その結果、応力に対する初透磁率μiの劣化が低減し、もって安定したインダクタンスが得られる。
According to the above equation, it can be seen that by relaxing the stress on the spinel crystal of ferrite, the stress term σ in the above equation can be reduced, and the reduction of the initial permeability μi can be suppressed. In the present invention, the linear expansion coefficient of the nonmagnetic ceramic is set to be smaller than the linear expansion coefficient of ferrite. For this reason, as the amount of nonmagnetic ceramic added increases, a large tensile stress acts on the ferrite (first phase). The stress on the spinel crystal is relaxed by the action of such tensile stress, and the change in the initial permeability μi with respect to the stress is made slow.
In addition, by relaxing the lattice strain, the magnetic anisotropy constant K1 and the saturation magnetostriction constant λs are reduced. As a result, the deterioration of the initial permeability μi with respect to stress is reduced, and a stable inductance can be obtained.

ところで磁気特性の一つである保磁力Hcは、外部磁場による磁壁の動きやすさによって決まり、磁性体の結晶粒の大きさ、残留ひずみ、粒界生成物や、結晶粒内の空孔などの構造的な欠陥の量で変化することは良く知られている。結晶粒が微細であったり、残留ひずみがある場合には、磁化反転のための磁壁ピンニングの頻度が高くなるので、保磁力Hcが増加する。また、結晶粒が減少すると、同様にして磁壁ピンニングの頻度が高くなるので、保磁力Hcは増加する。また一般的に保磁力Hcは、一軸方向の応力に対して引っ張り、圧縮にかかわらず単調に増加することが知られている
本発明においても、フェライトの平均結晶粒径を微細なものとしているため、保磁力Hcの増加を招く。しかしながら本発明者等は、非磁性のセラミクス(第2相)の線膨張係数が、フェライト(第1相)の線膨張係数よりも小さい場合において、保磁力Hcが非磁性のセラミクス粉末の添加量に対して単調に増加するのではなく、極大値を示すことを新たに知見した。
この様な挙動は、前記引張り応力に基づき、引張応力によってフェライト結晶内の残留ひずみが低減し、フェライトのスピネル結晶を形成するイオン配列の歪みや応力が緩和されて格子定数が変化することによって生じると考えられる。保磁力Hcはヒステリシス損失と関係するが、ヒステリシス損失の増加を抑えることが出来るため、フェライト磁心のコア損失の著しい増加を防ぐのに有効である。
By the way, the coercive force Hc, which is one of the magnetic characteristics, is determined by the ease of movement of the domain wall by the external magnetic field, such as the size of the crystal grains of the magnetic material, residual strain, grain boundary products, and vacancies in the crystal grains. It is well known that it varies with the amount of structural defects. When the crystal grains are fine or there is residual strain, the frequency of domain wall pinning for magnetization reversal increases, and the coercive force Hc increases. Further, when the crystal grains decrease, the frequency of domain wall pinning increases in the same manner, so that the coercive force Hc increases. In general, the coercive force Hc is known to increase monotonously regardless of the tension and compression of the uniaxial stress. In the present invention, the average crystal grain size of ferrite is made fine. This increases the coercive force Hc. However, the present inventors have found that when the linear expansion coefficient of the nonmagnetic ceramic (second phase) is smaller than the linear expansion coefficient of the ferrite (first phase), the addition amount of the ceramic powder whose coercive force Hc is nonmagnetic It was newly found that it does not increase monotonously but shows a maximum value.
Such a behavior is caused by the fact that the residual strain in the ferrite crystal is reduced by the tensile stress based on the tensile stress, and the lattice constant is changed by relaxing the strain and stress of the ionic arrangement forming the ferrite spinel crystal. it is conceivable that. Although the coercive force Hc is related to the hysteresis loss, the increase in the hysteresis loss can be suppressed. Therefore, the coercive force Hc is effective in preventing a significant increase in the core loss of the ferrite core.

(実施例1)
(フェライトと非磁性のセラミクスとの混合粉の作製)
まず、フェライトを構成するFe2O3、NiO、CuOおよびZnOの各主成分、及びCo、BiO、SnO、SiOの副成分とを湿式混合した後乾燥した後、850℃で2時間仮焼した。次いで、ボールミルで仮焼成粉を、BET比表面積が7.1m/gとなるまで18時間粉砕した後、表1に示す所定のBET比表面積を有する非磁性のセラミクスを所定量加えて2時間混合し、仮焼混合粉を作製した。
更に、この仮焼混合粉にバインダとしてポリビニルアルコールを加えて、スプレードライヤーにて顆粒化した後、所定形状に成形し、大気中にて950℃で2時間焼成して外径φ14mm、内径φ7mm、厚み5mmのトロイダル磁心と角型磁心を得た。得られた試料について結晶粒径や、初透磁率μi、飽和磁束密度Bs等の磁気特性、抗応力特性、そして直流重畳特性を評価した。表1に各試料の組成とあわせて、評価結果を示す。またあわせて、Cu−Kα線によるX線回折測定により試料の結晶相の同定を行なった。なお、表中試料番号の前に*を付したものは比較例であり、それ以外は実施例であることを示している。
なお、フェライト組成物は、Fe:47.5mol%、NiO:19.7mol%、CuO:8.8mol%、ZnO:24.0mol%を主成分とし、この主成分に対してBi:1wt%、Co:0.08wt%、SnO:0.5wt%、SiO:0.5wt%を副成分として添加・含有するものとした(表1の試料番号1)。
(Example 1)
(Preparation of mixed powder of ferrite and non-magnetic ceramics)
First, constituting the ferrite Fe2 O3, NiO, CuO and the main component of ZnO, and Co 3 O 4, BiO 2, after SnO 2, and a sub-component of SiO 2 and dried after wet mixing for 2 hours at 850 ° C. It was calcined. Next, the calcined powder was pulverized with a ball mill for 18 hours until the BET specific surface area became 7.1 m 2 / g, and then a predetermined amount of nonmagnetic ceramic having a predetermined BET specific surface area shown in Table 1 was added for 2 hours. Mixing was performed to prepare a calcined mixed powder.
Furthermore, after adding polyvinyl alcohol as a binder to the calcined mixed powder and granulating it with a spray dryer, it is molded into a predetermined shape, and is baked at 950 ° C. for 2 hours in the atmosphere, with an outer diameter of φ14 mm, an inner diameter of φ7 mm, A toroidal magnetic core and a square magnetic core having a thickness of 5 mm were obtained. The obtained samples were evaluated for crystal grain size, initial magnetic permeability μi, magnetic properties such as saturation magnetic flux density Bs, anti-stress properties, and direct current superposition properties. Table 1 shows the evaluation results together with the composition of each sample. In addition, the crystal phase of the sample was identified by X-ray diffraction measurement using Cu-Kα rays. In the table, the sample number attached with * is a comparative example, and the others are examples.
Incidentally, the ferrite composition, Fe 2 O 3: 47.5mol% , NiO: 19.7mol%, CuO: 8.8mol%, ZnO: a 24.0Mol% as a main component, Bi 2 to this main component O 3 : 1 wt%, Co 3 O 4 : 0.08 wt%, SnO 2 : 0.5 wt%, SiO 2 : 0.5 wt% were added and contained as subcomponents (Sample No. 1 in Table 1) .

Figure 2008016619
Figure 2008016619

表1において、非磁性セラミクスの比重、線膨張係数は理化学辞典等からの文献値である。非磁性セラミクスの添加量において、体積%(vol%)と質量%(wt%)の換算は、前記比重を基にて行なっている。   In Table 1, the specific gravity and linear expansion coefficient of nonmagnetic ceramics are literature values from physics and chemistry dictionaries. Conversion of volume% (vol%) and mass% (wt%) in the amount of nonmagnetic ceramic added is performed based on the specific gravity.

以下、各評価項目について、その評価方法を簡単に説明する。
(フェライトの平均結晶粒径)
フェライト磁心の表面を電子顕微鏡を用いて5000倍で複数の試料で、かつ複数の視野にて写真撮影し、この写真上で任意の方向に一定長さの線を引き、この線上に存在する粒子を計測して、前記長さを粒子数で除した値を求め、その平均値を平均結晶粒径としている。なお写真撮影と同一視野で、EPMAやEDXによる組成分析を行なっておき、非磁性セラミクスとフェライト結晶とを区別した。
Hereinafter, the evaluation method for each evaluation item will be briefly described.
(Average grain size of ferrite)
The surface of the ferrite core is photographed with a plurality of samples at a magnification of 5000 using an electron microscope and a plurality of fields of view, and a line of a certain length is drawn on the photograph in an arbitrary direction. Is measured to obtain a value obtained by dividing the length by the number of particles, and the average value is taken as the average crystal grain size. In addition, composition analysis by EPMA or EDX was performed in the same field of view as photography, and non-magnetic ceramics and ferrite crystals were distinguished.

(初透磁率μi)
トロイダル形状のフェライト磁心に銅線を7ターン巻き、測定周波数100KHz、測定電流1mAでLCRメーターを用いてインダクタンスを測定し、下記の式を用いて初透磁率μiを算出した。
初透磁率μi=(le ×L)/(μ0 ×Ae×N
le :磁路長 L:試料のインダクタンス、μ0:真空の透磁率=4π×10−7(H/m)
Ae :試料の断面積,N:コイルの巻数
(Initial permeability μi)
A copper wire was wound around the toroidal ferrite core for 7 turns, the inductance was measured using an LCR meter at a measurement frequency of 100 KHz and a measurement current of 1 mA, and the initial permeability μi was calculated using the following equation.
Initial permeability μi = (le × L) / (μ0 × Ae × N 2 )
le: Magnetic path length L: Sample inductance, μ0: Vacuum permeability = 4π × 10 −7 (H / m)
Ae: cross-sectional area of sample, N: number of turns of coil

(線膨張係数)
焼結後の円柱状試料を用いて、熱膨張率を室温から900℃まで測定し、室温から890℃までの平均線熱膨張係数を算出した。
(Linear expansion coefficient)
Using the cylindrical sample after sintering, the thermal expansion coefficient was measured from room temperature to 900 ° C., and the average linear thermal expansion coefficient from room temperature to 890 ° C. was calculated.

(抵抗率)
トロイダル形状のフェライト磁心を半分に切断し、その2箇所の切断面全面に導電性ペーストを塗布、乾燥して、その導電性ペーストを塗布した2面間で絶縁抵抗計を用いて抵抗を測定した。
その後、測定した抵抗値と試料の面積、長さより抵抗率を算出した。
(Resistivity)
The toroidal ferrite core was cut in half, and the conductive paste was applied to the entire two cut surfaces, dried, and the resistance was measured using an insulation resistance meter between the two surfaces coated with the conductive paste. .
Thereafter, the resistivity was calculated from the measured resistance value and the area and length of the sample.

(飽和磁束密度、残留磁束密度、保磁力)
磁場の強さを4000A/m、測定周波数を10kHzに設定して、残留磁束密度Br及び保磁力HcをB−Hアナライザで測定した。
(Saturation magnetic flux density, residual magnetic flux density, coercivity)
The strength of the magnetic field was set to 4000 A / m, the measurement frequency was set to 10 kHz, and the residual magnetic flux density Br and the coercive force Hc were measured with a BH analyzer.

(抗応力特性)
8mm×4mm×2mmの角型磁心に銅線を12回巻線した後、これをテンションメータを備えた加圧ジグに配置し、一軸方向から圧縮力を印加して、このときのインダクタンス値を連続的に測定し、得られた測定値からインダクタンス変化率を算出した。インダクタンス変化率は以下の式により求めた。
(L1−L0)/L0×100(%)
L1:一軸圧縮力印加時のインダクタンス値
L0:一軸圧縮力印加なしのインダクタンス値
(Anti-stress characteristics)
After winding a copper wire 12 times on a square magnetic core of 8 mm x 4 mm x 2 mm, this was placed in a pressure jig equipped with a tension meter, and a compressive force was applied from one axial direction, and the inductance value at this time was The measurement was continuously performed, and the inductance change rate was calculated from the obtained measurement value. The inductance change rate was obtained by the following equation.
(L1-L0) / L0 × 100 (%)
L1: Inductance value when uniaxial compressive force is applied
L0: Inductance value without application of uniaxial compressive force

(直流重畳特性)
測定条件はJISC2514の直流重畳インダクタンスの測定条件に従い、設定電圧を0.1V、周波数10kHzとした条件にて、得られたトロイダルコアに銅線を10ターン巻回した後、このトロイダルコアに直流電流を通電し、電流量を増大させていってインダクタンスの変化量を計測した。
(DC superposition characteristics)
The measurement conditions are in accordance with the measurement conditions of DC superimposing inductance of JISC2514. Under the conditions that the set voltage is 0.1 V and the frequency is 10 kHz, a copper wire is wound around the obtained toroidal core, and then a direct current is applied to the toroidal core. The amount of change in inductance was measured while increasing the amount of current.

表1に示すように、非磁性のセラミクスのうち、MgO・SiO(エンスタタイト)、CaO・Al・2SiO(アノーサイト)、BaO・Al・2SiO(セルシアン)を用いた場合には、Fe、ZnやCuなどと反応が生じ、他の結晶相が析出し、低密度化、保磁力の増加、コア損失の増加するなどの問題があった。また、Zr(WO)(PO(リン酸タングステン酸ジルコニウム)は、分解が生じてタングステンが析出し、比抵抗の著しい低下を招いた。
一方、ZrSiO(ジルコン)、ZrO(ジルコニア)、LiO・Al・4SiO(スポデュメン)、LiO・Al・2SiO(ユークリプタイト)では、分解、反応によって生じた新たな結晶相は見られなった。
As shown in Table 1, among the non-magnetic ceramics, MgO · SiO 2 (enstatite), CaO · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ( anorthite), BaO · Al 2 O 3 · 2SiO 2 a (celsian) When used, it reacts with Fe, Zn, Cu, etc., and other crystal phases are precipitated, resulting in problems such as low density, increased coercive force, and increased core loss. In addition, Zr 2 (WO 4 ) (PO 4 ) 2 (zirconium tungstate phosphate) was decomposed to precipitate tungsten, which caused a significant decrease in specific resistance.
On the other hand, the ZrSiO 4 (zircon), ZrO 2 (zirconia), Li 2 O · Al 2 O 3 · 4SiO 2 ( Supodeyumen), Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ( eucryptite), decomposition, reaction The new crystal phase produced by was not seen.

図1は、非磁性のセラミクスとして、LiO・Al・4SiO(スポデュメン):試料番号3、LiO・Al・2SiO(ユークリプタイト):試料番号7、ZrO(ジルコニア):試料番号11、ZrSiO(ジルコン):試料番号15を添加した試料(実施例)と、非磁性のセラミクスを含まない試料(試料番号1:比較例)の直流重畳特性図である。
実施例の何れの試料も、比較例と比べて直流重畳特性が改善されていることが分かる。また、各試料のインダクタンス値の初期値(印加磁界0A/m)において差があるが、LiO・Al・4SiO(スポデュメン)、ZrO(ジルコニア)、ZrSiO(ジルコン)については、非磁性のセラミクスの線膨張係数との関係が見られ、フェライトとの線膨張係数差が小さいほど、フェライトに作用する引張応力が小さいため透磁率の低下が抑えられて、相対的に大きなインダクタンス値を示す。負の線膨張係数を有するLiO・Al・2SiO(ユークリプタイト)は、他の非磁性のセラミクスとは前記説明とは異なる挙動を示す。この理由は明らかでは無いが、フェライトに圧縮応力を作用させている場合も想定され、圧縮応力と引張応力が相殺されて、比較的高いインダクタンス値を示すとも考えられる。
FIG. 1 shows non-magnetic ceramics: Li 2 O · Al 2 O 3 · 4SiO 2 (spodumene): sample number 3, Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2 (eucryptite): sample number 7, ZrO 2 (zirconia): Sample No. 11, ZrSiO 4 (Zircon): DC superposition characteristics diagram of sample added with sample No. 15 (Example) and sample not containing nonmagnetic ceramics (Sample No. 1: comparative example) It is.
It can be seen that the direct current superimposition characteristics are improved in all the samples of the examples as compared with the comparative example. Moreover, although there is a difference in the initial value of the inductance value of each sample (applied magnetic field 0 A / m), Li 2 O.Al 2 O 3 .4SiO 2 (spodumene), ZrO 2 (zirconia), ZrSiO 4 (zircon) Shows a relationship with the coefficient of linear expansion of non-magnetic ceramics. The smaller the difference in coefficient of linear expansion from ferrite, the smaller the tensile stress acting on the ferrite, so the lowering of the permeability is suppressed, and it is relatively large. Indicates the inductance value. Li 2 O.Al 2 O 3 .2SiO 2 (eucryptite) having a negative linear expansion coefficient behaves differently from the above description from other nonmagnetic ceramics. The reason for this is not clear, but it is also assumed that a compressive stress is applied to the ferrite, and it is considered that the compressive stress and the tensile stress are offset and a relatively high inductance value is exhibited.

図2はインダクタンスの抗応力特性を示す図である。比較例の試料と比べて、実施例の試料ではインダクタンスの変化率が小さく、抗応力特性に優れることが分かる。また圧縮応力に対するインダクタンスの変化率の挙動を見ると、実施例の試料では、比較例の試料と比べてフェライトに大きな引張応力が作用していることが分かる。   FIG. 2 is a diagram showing the anti-stress characteristic of the inductance. Compared with the sample of the comparative example, it can be seen that the sample of the example has a low rate of change in inductance and is excellent in anti-stress characteristics. Moreover, when the behavior of the change rate of the inductance with respect to a compressive stress is seen, it turns out that the big tensile stress is acting on the ferrite in the sample of an Example compared with the sample of a comparative example.

図3は、非磁性のセラミクスの添加量に対する保磁力特性図である。保磁力Hcが非磁性のセラミクス粉末の添加量に対して単調に増加するのではなく、極大値を示すことが分かる。なお、第1相を構成するフェライトが前記した組成範囲である場合には、保磁力は最大でも1300A/mであり、本願発明のフェライト磁心は専ら閉磁路で用いられるため、フェライト(第1相)のみで構成するものよりも保磁力は大きいが実用上の問題は無い。   FIG. 3 is a coercivity characteristic diagram with respect to the addition amount of nonmagnetic ceramics. It can be seen that the coercive force Hc does not increase monotonously with the addition amount of the nonmagnetic ceramic powder, but shows a maximum value. When the ferrite constituting the first phase is in the composition range described above, the coercive force is 1300 A / m at the maximum, and the ferrite core of the present invention is exclusively used in a closed magnetic circuit. ) Has a coercive force larger than that of only the above structure, but there is no practical problem.

(実施例2)
次に、本発明に係るフェライト磁心を用いて構成した積層型電子部品について説明する。
本発明の積層型電子部品は、磁性フェライト層と内部電極とを多層積層して構成され、磁性フェライト層をFe、NiO(一部をCuOで置換しても良い)、ZnOを主成分とするフェライトの第1相と非磁性のセラミクスからなる第2相を含む複合磁性体を用いて構成したものである。
図4は、本発明の積層型電子部品の一実施形態である積層型チップインダクタの一例を示す内部透過斜視図である。積層型チップインダクタ1は、磁性フェライト層2と内部電極3とが交互に積層一体化された多層構造であり、その端部には、内部電極3と電気的に導通する外部電極5,5が設けられている。
積層型チップインダクタを構成する磁性フェライト層2は、実施例1で開示したフェライト組成物と非磁性のセラミクスで構成されたものであり、フェライト組成物として、Fe:47.5mol%、NiO:19.7mol%、CuO:8.8mol%、ZnO:24.0mol%を主成分とし、この主成分に対してBi:1wt%、Co:0.08wt%、SnO:0.5wt%、SiO:0.5wt%を副成分とを含み、さらに
非磁性のセラミクスとして、ZrSiO(ジルコン)、ZrO(ジルコニア)、LiO・Al・4SiO(スポデュメン)、LiO・Al・2SiO(ユークリプタイト)を含む。
この混合粉を、ポリビニルブチラールを主成分としたバインダと、エタノール、トルエン、キシレン等の溶媒とともにボールミル中で混練してスラリーとし、粘度を調製した後、ポリエステルフィルム等の樹脂フィルム上にドクターブレード法等で塗布し、乾燥して磁性フェライト層用シートとする。この磁性フェライト層用シートに内部電極用ペーストを印刷、乾燥し、積層した後、焼成して形成する。
また、エチルセルロース等のバインダと、テルピネオール、ブチルカルビトール等の溶剤とともに混練して磁性フェライト層用ペーストを作成し、このペーストを内部電極用ペーストと交互に印刷積層して、焼成し形成しても良い。
(Example 2)
Next, a multilayer electronic component constructed using the ferrite magnetic core according to the present invention will be described.
The multilayer electronic component of the present invention is formed by multilayerly laminating a magnetic ferrite layer and internal electrodes, and the magnetic ferrite layer is mainly composed of Fe 2 O 3 , NiO (a part of which may be replaced with CuO), and ZnO. The composite magnetic material includes a first phase of ferrite as a component and a second phase composed of nonmagnetic ceramics.
FIG. 4 is an internally transparent perspective view showing an example of a multilayer chip inductor which is an embodiment of the multilayer electronic component of the present invention. The multilayer chip inductor 1 has a multilayer structure in which magnetic ferrite layers 2 and internal electrodes 3 are alternately laminated and integrated, and external electrodes 5 and 5 electrically connected to the internal electrode 3 are provided at the ends thereof. Is provided.
The magnetic ferrite layer 2 constituting the multilayer chip inductor is composed of the ferrite composition disclosed in Example 1 and nonmagnetic ceramics. As the ferrite composition, Fe 2 O 3 : 47.5 mol%, NiO: 19.7 mol%, CuO: 8.8 mol%, ZnO: 24.0 mol% as main components, Bi 2 O 3 : 1 wt%, Co 3 O 4 : 0.08 wt%, SnO 2: 0.5wt%, SiO 2: a 0.5 wt% and a subcomponent, a further non-magnetic ceramics, ZrSiO 4 (zircon), ZrO 2 (zirconia), Li 2 O · Al 2 O 3 · 4SiO 2 including (Supodeyumen), Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ( eucryptite).
This mixed powder is kneaded in a ball mill with a binder mainly composed of polyvinyl butyral and a solvent such as ethanol, toluene and xylene to prepare a slurry, and after adjusting the viscosity, a doctor blade method is applied on a resin film such as a polyester film. The magnetic ferrite layer sheet is obtained by coating with, for example, and drying. An internal electrode paste is printed on the magnetic ferrite layer sheet, dried, laminated, and then fired.
Alternatively, a magnetic ferrite layer paste may be prepared by kneading together with a binder such as ethyl cellulose and a solvent such as terpineol or butyl carbitol, and this paste may be printed and laminated alternately with the internal electrode paste, followed by firing. good.

積層型チップインダクタ1を構成する内部電極3は、抵抗率が小さく、インダクタとした時に損失の少ないAgを主体とした導電材を用いて形成するのが好ましい。また、Agであれば焼成を大気中で行なえる点でも好ましい。内部電極3は1.5〜20.5ターン程度の巻き数となるように、コイル状やスパイラル状にビアホールなどで接続され、そのパターンは、積層方向から見て、円形、長円形、長方形、方形等の形状となる。内部電極3は閉磁路コイルを構成し、その両端は外表面に延出して外部電極5,5と接続されている。   The internal electrode 3 constituting the multilayer chip inductor 1 is preferably formed using a conductive material mainly composed of Ag having a low resistivity and a small loss when the inductor is used. Further, Ag is also preferable because firing can be performed in the air. The internal electrode 3 is connected by a via hole or the like in a coil shape or a spiral shape so that the number of turns is about 1.5 to 20.5 turns, and the pattern is circular, oval, rectangular, It becomes a shape such as a square. The internal electrode 3 constitutes a closed magnetic circuit coil, and both ends thereof extend to the outer surface and are connected to the external electrodes 5 and 5.

積層型チップインダクタ1の外形寸法には特に制限はない。用途に応じて適宜設定することができる。一般的な形状を例示すれば、寸法は0.4〜4.5mm×0.2〜3.2mm×0.15〜1.9mm程度の略直方体形状である。   There are no particular restrictions on the external dimensions of the multilayer chip inductor 1. It can set suitably according to a use. If a general shape is illustrated, the dimension will be a substantially rectangular parallelepiped shape of about 0.4 to 4.5 mm × 0.2 to 3.2 mm × 0.15 to 1.9 mm.

内部電極3としてAgを用いる場合には、焼成時の温度を、800〜930℃、好ましくは850〜900℃とするのが好ましい。焼成温度が800℃未満であると焼成不足となり、一方、930℃を超えるとAgが拡散して、抵抗率の低下や電磁気特性を著しく低下させることがある。焼成温度を低く抑える場合には、800〜930℃で保持する焼成時間を長くすれば、焼結が不足するのを防ぐことが出来る。好ましくは、焼成時間は1〜5時間である。   When using Ag as the internal electrode 3, the temperature during firing is preferably 800 to 930 ° C, and more preferably 850 to 900 ° C. If the firing temperature is less than 800 ° C., the firing is insufficient. On the other hand, if it exceeds 930 ° C., Ag diffuses and the resistivity and electromagnetic characteristics may be significantly lowered. In the case where the firing temperature is kept low, the sintering can be prevented from being insufficient if the firing time held at 800 to 930 ° C. is lengthened. Preferably, the firing time is 1 to 5 hours.

このようにして得られた積層型チップインダクタについて、直流重畳特性、抗応力特性を評価したが、実施例1で開示した結果と同様に、優れた特性が得られた。   The multilayer chip inductor thus obtained was evaluated for direct current superposition characteristics and anti-stress characteristics. As with the results disclosed in Example 1, excellent characteristics were obtained.

(実施例3)
実施例2と同様の製造プロセスにて、図5に示すモジュールを作製した。このモジュールは、多層基板1a内にインダクタLout(図示せず)を内蔵し、主面に形成された実装用の電極に、スイッチング素子を含む半導体集積回路IC、コンデンサCを実装するものであって、図6に示した降圧型DC−DCコンバータを構成する。裏面にはプリント基板に実装のための端子電極も形成されている。得られた多層基板1aについて、直流重畳特性、抗応力特性を評価したが、実施例1で開示した結果と同様に、優れた特性が得られた。またDC−DCコンバータを動作させたところ、優れた変換効率を得られることを確認した。
(Example 3)
A module shown in FIG. 5 was manufactured by the same manufacturing process as in Example 2. This module incorporates an inductor Lout (not shown) in a multilayer substrate 1a and mounts a semiconductor integrated circuit IC including a switching element and a capacitor C on a mounting electrode formed on the main surface. The step-down DC-DC converter shown in FIG. 6 is configured. Terminal electrodes for mounting on the printed circuit board are also formed on the back surface. The obtained multilayer substrate 1a was evaluated for direct current superposition characteristics and anti-stress characteristics. As with the results disclosed in Example 1, excellent characteristics were obtained. Moreover, when the DC-DC converter was operated, it was confirmed that excellent conversion efficiency could be obtained.

本発明によれば、直流重畳特性に優れ、応力に対する磁気特性、特には透磁率の変化が少なく、もって安定したインダクタンスが得られるフェライト磁心およびこれを用いた電子部品を提供することが出来る。   According to the present invention, it is possible to provide a ferrite core that is excellent in direct current superposition characteristics, has little change in magnetic characteristics with respect to stress, in particular, magnetic permeability, and has a stable inductance, and an electronic component using the same.

本発明の一実施例に係る試料と、比較例に係る試料の直流重畳特性図である。It is a direct current superimposition characteristic figure of the sample concerning one example of the present invention, and the sample concerning a comparative example. 本発明の一実施例に係る試料と、比較例に係る試料の抗応力特性図である。It is an anti-stress characteristic figure of the sample concerning one example of the present invention, and the sample concerning a comparative example. 非磁性のセラミクス添加量と保磁力の関係を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the relationship between a nonmagnetic ceramic addition amount and a coercive force. 本発明の一実施例に係る電子部品の外観斜視図である。1 is an external perspective view of an electronic component according to an embodiment of the present invention. 本発明の他の実施例に係る電子部品の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the electronic component which concerns on the other Example of this invention. 本発明の他の実施例に係る電子部品の等価回路図である。It is the equivalent circuit schematic of the electronic component which concerns on the other Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 積層型チップインダクタ
2 磁性フェライト層
3 内部電極
5 外部電極
1 multilayer chip inductor 2 magnetic ferrite layer 3 internal electrode 5 external electrode

Claims (6)

Fe、NiO(一部をCuOで置換しても良い)、ZnOを主成分とするフェライトの第1相と非磁性のセラミクスからなる第2相を含む複合磁性体を用いたフェライト磁心であって、
前記主成分に対して非磁性のセラミクスを2.5〜25wt%含み、フェライト平均結晶粒径が0.3〜2μmであり、前記非磁性のセラミクスの線膨張係数は、前記フェライトの線膨張係数よりも小さく、もって複合磁性体の線膨張係数が6〜10ppm/℃であることを特徴とするフェライト磁心。
Ferrite core using a composite magnetic material including a first phase of ferrite mainly composed of Fe 2 O 3 , NiO (a part of which may be replaced with CuO), and a second phase composed of nonmagnetic ceramics. Because
Nonmagnetic ceramic is contained in an amount of 2.5 to 25 wt% with respect to the main component, the ferrite average crystal grain size is 0.3 to 2 μm, and the linear expansion coefficient of the nonmagnetic ceramic is the linear expansion coefficient of the ferrite. A ferrite magnetic core having a linear expansion coefficient of 6 to 10 ppm / ° C.
前記第2相を構成する非磁性のセラミクスが、ZrSiO(ジルコン)、ZrO(ジルコニア)、LiO・Al・4SiO(スポデュメン)、LiO・Al・2SiO(ユークリプタイト)のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載のフェライト磁心。 Ceramic nonmagnetic constituting the second phase, ZrSiO 4 (zircon), ZrO 2 (zirconia), Li 2 O · Al 2 O 3 · 4SiO 2 ( Supodeyumen), Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2. The ferrite magnetic core according to claim 1, wherein the ferrite magnetic core is any one of 2 (eucryptite). 主成分が、Fe:47〜50.5mol%、ZnO:19〜30mol%、残部NiO(15mol%以下をCuOで置換しても良い)であることを特徴とする請求項1又は2に記載のフェライト磁心。 The main components are Fe 2 O 3 : 47 to 50.5 mol%, ZnO: 19 to 30 mol%, and the balance NiO (15 mol% or less may be replaced with CuO). The ferrite core described in 1. 請求項1乃至3のいずれかに記載のフェライト磁心において、その内部に線路を形成してインダクタとしたことを特徴とする電子部品。   4. An electronic component according to claim 1, wherein a line is formed inside the ferrite magnetic core to form an inductor. 前記フェライト磁心の表面に前記線路と接続する端子電極を設けたことを特徴とする請求項4に記載の電子部品。   The electronic component according to claim 4, wherein a terminal electrode connected to the line is provided on a surface of the ferrite magnetic core. 前記前記磁性体の表面に半導体素子を実装し、前記端子電極と接続したことを特徴とする請求項5に記載の電子部品。   The electronic component according to claim 5, wherein a semiconductor element is mounted on the surface of the magnetic body and connected to the terminal electrode.
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